JPH0865545A - 欠陥検出方法及び装置 - Google Patents
欠陥検出方法及び装置Info
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- JPH0865545A JPH0865545A JP6199524A JP19952494A JPH0865545A JP H0865545 A JPH0865545 A JP H0865545A JP 6199524 A JP6199524 A JP 6199524A JP 19952494 A JP19952494 A JP 19952494A JP H0865545 A JPH0865545 A JP H0865545A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 シェーディング補正を高速にて行うことがで
き、かつ低コストにて構成できる欠陥検出方法及び装置
を提供する。 【構成】 対物レンズ１の焦点位置に置かれた第１の撮
像手段３と、光軸上を移動可能な第２の撮像手段４と、
第１と第２の撮像手段のそれぞれの画像信号又は画像デ
ータを差し引いてシェーディング補正した画像データを
得る画像減算手段１１と、シェーディング補正された画
像データを処理して欠陥を検出する演算手段１３とを備
え、対象物２０を焦点位置で撮像した画像と焦点位置か
らずれた位置で撮像した画像の差によってシェーディン
グ補正した画像データを求めることにより、平滑化処理
を光学的な処理に置きかえ、処理時間を大幅に短縮しか
つコスト低下を図る。
き、かつ低コストにて構成できる欠陥検出方法及び装置
を提供する。 【構成】 対物レンズ１の焦点位置に置かれた第１の撮
像手段３と、光軸上を移動可能な第２の撮像手段４と、
第１と第２の撮像手段のそれぞれの画像信号又は画像デ
ータを差し引いてシェーディング補正した画像データを
得る画像減算手段１１と、シェーディング補正された画
像データを処理して欠陥を検出する演算手段１３とを備
え、対象物２０を焦点位置で撮像した画像と焦点位置か
らずれた位置で撮像した画像の差によってシェーディン
グ補正した画像データを求めることにより、平滑化処理
を光学的な処理に置きかえ、処理時間を大幅に短縮しか
つコスト低下を図る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、製品の出荷検査などの
検査工程を自動化するための欠陥検出方法及び装置に関
するものである。
検査工程を自動化するための欠陥検出方法及び装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、製品の小型化、精密化に伴って製
造工程においても細かな傷やごみの検査に対する要求が
高まっている。しかし、人の目視による検査では精度や
信頼性の面で限界に達している。特に、ディスプレー装
置などの表示検査では、目視による検査では検査基準が
曖昧になり、安定した適切な検査基準が維持しにくいと
いった問題があり、画像処理を用いた検査の自動化が望
まれている。
造工程においても細かな傷やごみの検査に対する要求が
高まっている。しかし、人の目視による検査では精度や
信頼性の面で限界に達している。特に、ディスプレー装
置などの表示検査では、目視による検査では検査基準が
曖昧になり、安定した適切な検査基準が維持しにくいと
いった問題があり、画像処理を用いた検査の自動化が望
まれている。
【０００３】画像処理装置を用いたディスプレーの欠陥
検査装置においては、背景の明るさムラと欠陥部分を分
離するシェーディング補正の処理が重要な機能の１つで
ある。従来のシェーディング補正は、画像処理ソフトウ
ェアによるところが大きく、その処理に時間を要してい
た。
検査装置においては、背景の明るさムラと欠陥部分を分
離するシェーディング補正の処理が重要な機能の１つで
ある。従来のシェーディング補正は、画像処理ソフトウ
ェアによるところが大きく、その処理に時間を要してい
た。
【０００４】以下、図３を参照しながら従来のシェーデ
ィング補正技術について説明する。
ィング補正技術について説明する。
【０００５】図３において、２１は対象物、２２は撮像
用レンズ、２３はＣＣＤカメラ、２４は画像処理装置で
ある。画像処理装置２４は、８ビットのＡ／Ｄ変換器２
５、第１のフレームメモリ２６、第２のフレームメモリ
２７、第３のフレームメモリ２８と、ＣＰＵ２９にて構
成されている。
用レンズ、２３はＣＣＤカメラ、２４は画像処理装置で
ある。画像処理装置２４は、８ビットのＡ／Ｄ変換器２
５、第１のフレームメモリ２６、第２のフレームメモリ
２７、第３のフレームメモリ２８と、ＣＰＵ２９にて構
成されている。
【０００６】以上のように構成された欠陥検出装置の動
作を説明する。対象物２１をＣＣＤカメラ２３により撮
像した画像信号が画像処理装置２４に入力される。画像
処理装置２４では、８ビットのＡ／Ｄ変換器２５により
デジタル画像信号に変換され、第１のフレームメモリ２
６に蓄えられる。ＣＰＵ２９は第１のフレームメモリ２
６に蓄えられた画像データを基に第２のフレームメモリ
２７上に平滑化画像を作成する。次に、ＣＰＵ２９は、
第１のフレームメモリ２６と第２のフレームメモリ２７
に蓄えられた画像データの減算を行い、第３のフレーム
メモリ２８に蓄える。この処理により第３のフレームメ
モリ２８にはシェーディング補正された画像データが作
成されている。ＣＰＵ２９は、第３のフレームメモリ２
８に蓄えられた画像データに対して欠陥検出処理を行
う。この欠陥検出処理は後述の実施例と同様であるの
で、ここでの説明は省略する。
作を説明する。対象物２１をＣＣＤカメラ２３により撮
像した画像信号が画像処理装置２４に入力される。画像
処理装置２４では、８ビットのＡ／Ｄ変換器２５により
デジタル画像信号に変換され、第１のフレームメモリ２
６に蓄えられる。ＣＰＵ２９は第１のフレームメモリ２
６に蓄えられた画像データを基に第２のフレームメモリ
２７上に平滑化画像を作成する。次に、ＣＰＵ２９は、
第１のフレームメモリ２６と第２のフレームメモリ２７
に蓄えられた画像データの減算を行い、第３のフレーム
メモリ２８に蓄える。この処理により第３のフレームメ
モリ２８にはシェーディング補正された画像データが作
成されている。ＣＰＵ２９は、第３のフレームメモリ２
８に蓄えられた画像データに対して欠陥検出処理を行
う。この欠陥検出処理は後述の実施例と同様であるの
で、ここでの説明は省略する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような構成では計算量の最も多い画像の平滑化処理をＣ
ＰＵ２９の演算によっているため、処理に時間がかかる
という問題があった。また、画像の平滑化処理を専用の
ハードウェアによって行うこともできるが、ハードウェ
アの規模が大きくなり、コスト高になるという問題があ
った。
ような構成では計算量の最も多い画像の平滑化処理をＣ
ＰＵ２９の演算によっているため、処理に時間がかかる
という問題があった。また、画像の平滑化処理を専用の
ハードウェアによって行うこともできるが、ハードウェ
アの規模が大きくなり、コスト高になるという問題があ
った。
【０００８】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、シェ
ーディング補正を高速にて行うことができ、かつ低コス
トにて構成できる欠陥検出方法及び装置を提供すること
を目的としている。
ーディング補正を高速にて行うことができ、かつ低コス
トにて構成できる欠陥検出方法及び装置を提供すること
を目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の欠陥検出方法
は、対象物を焦点位置で撮像した画像と焦点位置からず
れた位置で撮像した画像の差によってシェーディング補
正した画像データを求め、その画像データから対象物上
の欠陥を検出することを特徴とする。
は、対象物を焦点位置で撮像した画像と焦点位置からず
れた位置で撮像した画像の差によってシェーディング補
正した画像データを求め、その画像データから対象物上
の欠陥を検出することを特徴とする。
【００１０】また、本発明の欠陥検出装置は、対象物の
シェーディング補正した画像データに基づいて対象物上
の欠陥を検出する欠陥検出装置において、対物レンズの
焦点位置に置かれた第１の撮像手段と、光軸上を移動可
能な第２の撮像手段と、第１と第２の撮像手段のそれぞ
れの画像信号又は画像データを差し引いてシェーディン
グ補正した画像データを得る画像減算手段と、シェーデ
ィング補正された画像データを処理して欠陥を検出する
演算手段とを備えたことを特徴とする。
シェーディング補正した画像データに基づいて対象物上
の欠陥を検出する欠陥検出装置において、対物レンズの
焦点位置に置かれた第１の撮像手段と、光軸上を移動可
能な第２の撮像手段と、第１と第２の撮像手段のそれぞ
れの画像信号又は画像データを差し引いてシェーディン
グ補正した画像データを得る画像減算手段と、シェーデ
ィング補正された画像データを処理して欠陥を検出する
演算手段とを備えたことを特徴とする。
【００１１】画像減算手段は、アナログ画像信号を２ビ
ット以上のデジタル信号に変換する第１と第２のＡ／Ｄ
変換器と、デジタル画像信号を蓄える第１と第２の画像
記憶手段と、第１と第２の画像記憶手段に蓄えられた画
像データを順次減算する減算手段とを備えた構成とする
ことができ、また第１と第２の撮像手段から出力される
アナログ信号をオペアンプを用いてアナログ信号のまま
減算した後、デジタル信号に変換するように構成するこ
とができる。
ット以上のデジタル信号に変換する第１と第２のＡ／Ｄ
変換器と、デジタル画像信号を蓄える第１と第２の画像
記憶手段と、第１と第２の画像記憶手段に蓄えられた画
像データを順次減算する減算手段とを備えた構成とする
ことができ、また第１と第２の撮像手段から出力される
アナログ信号をオペアンプを用いてアナログ信号のまま
減算した後、デジタル信号に変換するように構成するこ
とができる。
【００１２】また、第１の撮像手段と第２の撮像手段に
代えて、第２の撮像手段のみ設けるとともに、第２の撮
像手段を対物レンズの焦点位置と焦点位置からずれた位
置との間で移動させる手段を設けた構成とすることもで
きる。
代えて、第２の撮像手段のみ設けるとともに、第２の撮
像手段を対物レンズの焦点位置と焦点位置からずれた位
置との間で移動させる手段を設けた構成とすることもで
きる。
【００１３】
【作用】本発明の欠陥検出方法によれば、焦点位置から
ずれた位置で撮像することによって得られる画像が平滑
化処理を施した画像に相当することから、焦点位置で撮
像した画像と焦点位置からずれた位置で撮像した画像と
の差によってシェーディング補正した画像データを求め
ることができ、従来時間を要していた平滑化処理を光学
的な処理に置きかえることができ、処理時間の大幅な短
縮ができ、かつコスト低下を図ることができる。
ずれた位置で撮像することによって得られる画像が平滑
化処理を施した画像に相当することから、焦点位置で撮
像した画像と焦点位置からずれた位置で撮像した画像と
の差によってシェーディング補正した画像データを求め
ることができ、従来時間を要していた平滑化処理を光学
的な処理に置きかえることができ、処理時間の大幅な短
縮ができ、かつコスト低下を図ることができる。
【００１４】また、本発明の欠陥検出装置によれば、第
１の撮像手段にて焦点の合った画像を得、第２の撮像手
段にて少し焦点がぼけて、平滑化処理を施した画像に相
当する画像を得、それらの差を画像減算手段にて求める
ことによりシェーディング補正された画像データを得る
ことができ、それに基づいて演算手段にて欠陥を検出す
ることができる。又、第２の撮像手段の位置を調整して
ボケ量を調整することにより、平滑化のサイズを任意に
変化させることができる。
１の撮像手段にて焦点の合った画像を得、第２の撮像手
段にて少し焦点がぼけて、平滑化処理を施した画像に相
当する画像を得、それらの差を画像減算手段にて求める
ことによりシェーディング補正された画像データを得る
ことができ、それに基づいて演算手段にて欠陥を検出す
ることができる。又、第２の撮像手段の位置を調整して
ボケ量を調整することにより、平滑化のサイズを任意に
変化させることができる。
【００１５】また、画像減算手段において、Ａ／Ｄ変換
器でデジタル変換した画像データを減算すると精度の高
いデータが得られ、またアナログ信号のまま減算すると
構成が簡単で済み、コスト低下を図ることができる。
器でデジタル変換した画像データを減算すると精度の高
いデータが得られ、またアナログ信号のまま減算すると
構成が簡単で済み、コスト低下を図ることができる。
【００１６】また、撮像手段として、焦点位置と、焦点
位置からずれ位置との間で移動可能な１台の撮像手段を
用いた構成とすると、撮像手段の移動時間が必要になる
が、コスト低下を図ることができる。
位置からずれ位置との間で移動可能な１台の撮像手段を
用いた構成とすると、撮像手段の移動時間が必要になる
が、コスト低下を図ることができる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の一実施例の欠陥検出装置につ
いて図１、図２を参照しながら説明する。
いて図１、図２を参照しながら説明する。
【００１８】図１において、２０は対象物、１は対物レ
ンズ、２はハーフミラー、３はＣＣＤカメラから成る第
１の撮像手段、４はＣＣＤカメラから成る第２の撮像手
段、５は第２の撮像手段４を光軸に沿って位置調整する
１軸ステージである。６は第１の撮像手段３の画像信号
が入力される第１のＡ／Ｄ変換器、７は第２の撮像手段
４の画像信号が入力される第２のＡ／Ｄ変換器であり、
８ビットのＡ／Ｄ変換器にて構成されている。８は第１
の画像記憶手段、９は第２の画像記憶手段、１０は減算
手段であり、第１と第２のＡ／Ｄ変換器６、７、第１と
第２の画像記憶手段８、９、及び減算手段１０にて画像
減算手段１１が構成されている。１２はフレームメモ
リ、１３は演算手段である。
ンズ、２はハーフミラー、３はＣＣＤカメラから成る第
１の撮像手段、４はＣＣＤカメラから成る第２の撮像手
段、５は第２の撮像手段４を光軸に沿って位置調整する
１軸ステージである。６は第１の撮像手段３の画像信号
が入力される第１のＡ／Ｄ変換器、７は第２の撮像手段
４の画像信号が入力される第２のＡ／Ｄ変換器であり、
８ビットのＡ／Ｄ変換器にて構成されている。８は第１
の画像記憶手段、９は第２の画像記憶手段、１０は減算
手段であり、第１と第２のＡ／Ｄ変換器６、７、第１と
第２の画像記憶手段８、９、及び減算手段１０にて画像
減算手段１１が構成されている。１２はフレームメモ
リ、１３は演算手段である。
【００１９】次に、以上の構成の欠陥検出装置の動作を
説明する。対象物２０は、対物レンズ１とハーフミラー
２を介して第１の撮像手段３にて撮像される。第１の撮
像手段３は対物レンズ１の焦点位置に配置されており、
そのためピントの合った画像が撮像される。この第１の
撮像手段３による画像信号は第１のＡ／Ｄ変換器６によ
り８ビットのデジタル信号に変換され、第１の画像記憶
手段８に蓄えられる。
説明する。対象物２０は、対物レンズ１とハーフミラー
２を介して第１の撮像手段３にて撮像される。第１の撮
像手段３は対物レンズ１の焦点位置に配置されており、
そのためピントの合った画像が撮像される。この第１の
撮像手段３による画像信号は第１のＡ／Ｄ変換器６によ
り８ビットのデジタル信号に変換され、第１の画像記憶
手段８に蓄えられる。
【００２０】一方、ハーフミラー２で分岐されたもう一
方の光路に向けられた画像は１軸ステージ５によって位
置調整可能な第２の撮像手段４により撮像される。第２
の撮像手段４は１軸ステージ５によって合焦点位置から
少し外れた位置に配置されており、ピントのぼけた画像
が撮像される。この第２の撮像手段４による画像信号は
第２のＡ／Ｄ変換器７により８ビットのデジタル信号に
変換され、第２の画像記憶手段９に蓄えられる。これら
第１と第２の画像記憶手段８、９に蓄えられた２つのデ
ジタル画像データは減算手段１０にて順次減算され、フ
レームメモリ１２に蓄えられる。演算手段１３はフレー
ムメモリ１２に蓄えられているシェーディング補正され
た画像データに基に欠陥を検出する。
方の光路に向けられた画像は１軸ステージ５によって位
置調整可能な第２の撮像手段４により撮像される。第２
の撮像手段４は１軸ステージ５によって合焦点位置から
少し外れた位置に配置されており、ピントのぼけた画像
が撮像される。この第２の撮像手段４による画像信号は
第２のＡ／Ｄ変換器７により８ビットのデジタル信号に
変換され、第２の画像記憶手段９に蓄えられる。これら
第１と第２の画像記憶手段８、９に蓄えられた２つのデ
ジタル画像データは減算手段１０にて順次減算され、フ
レームメモリ１２に蓄えられる。演算手段１３はフレー
ムメモリ１２に蓄えられているシェーディング補正され
た画像データに基に欠陥を検出する。
【００２１】図２に、演算手段１３が行う欠陥検出の画
像処理フローを示す。図２において、ステップ＃１はヒ
ストグラム作成処理、ステップ＃２はしきい値処理、ス
テップ＃３はラベリング処理、ステップ＃４は判定処理
である。
像処理フローを示す。図２において、ステップ＃１はヒ
ストグラム作成処理、ステップ＃２はしきい値処理、ス
テップ＃３はラベリング処理、ステップ＃４は判定処理
である。
【００２２】以下に詳細に説明すると、演算手段１３は
まずフレームメモリ１２に蓄えられた画像データに対し
てヒストグラム作成処理を行う（ステップ＃１）。ヒス
トグラムは、画像の濃度の分布を示すもので、最も分布
の大きな濃度を背景濃度とする。この背景濃度を基準と
してしきい値濃度を設定する。濃度しきい値は背景濃度
よりあらかじめ決められた濃度だけ大きい濃度ＴＨＵと
背景濃度よりあらかじめ決められた濃度だけ小さい濃度
ＴＨＬである。次に、これらのしきい値ＴＨＵ、ＴＨＬ
でしきい値処理を行う（ステップ＃２）。これは、フレ
ームメモリ１２に蓄えられた画像データを、ＴＨＵより
濃度の大きい部分、及びＴＨＬより濃度の小さい部分を
１とし、その他の部分を０とする処理である。次に、ラ
ベリング処理を行う（ステップ＃３）。これは、しきい
値処理で１となった部分についてラベル付けを行う処理
で、各ラベルの面積、外接矩形の大きさ、場所を計算す
る。次に、判定処理を行う（ステップ＃４）。判定処理
では、ラベリング処理で得られたラベルデータを基に、
大きさや場所を考慮し、各ラベルがＯＫかＮＧかを判定
する。
まずフレームメモリ１２に蓄えられた画像データに対し
てヒストグラム作成処理を行う（ステップ＃１）。ヒス
トグラムは、画像の濃度の分布を示すもので、最も分布
の大きな濃度を背景濃度とする。この背景濃度を基準と
してしきい値濃度を設定する。濃度しきい値は背景濃度
よりあらかじめ決められた濃度だけ大きい濃度ＴＨＵと
背景濃度よりあらかじめ決められた濃度だけ小さい濃度
ＴＨＬである。次に、これらのしきい値ＴＨＵ、ＴＨＬ
でしきい値処理を行う（ステップ＃２）。これは、フレ
ームメモリ１２に蓄えられた画像データを、ＴＨＵより
濃度の大きい部分、及びＴＨＬより濃度の小さい部分を
１とし、その他の部分を０とする処理である。次に、ラ
ベリング処理を行う（ステップ＃３）。これは、しきい
値処理で１となった部分についてラベル付けを行う処理
で、各ラベルの面積、外接矩形の大きさ、場所を計算す
る。次に、判定処理を行う（ステップ＃４）。判定処理
では、ラベリング処理で得られたラベルデータを基に、
大きさや場所を考慮し、各ラベルがＯＫかＮＧかを判定
する。
【００２３】上記実施例の画像減算手段１１は、第１と
第２のＡ／Ｄ変換器６、７で画像信号をデジタル信号に
変換して第１と第２の画像記憶手段８、９に画像データ
として蓄え、それらの画像データを減算手段１０にて減
算するように構成したが、第１と第２の撮像手段３、４
から出力されるアナログ信号をオペアンプを用いてアナ
ログ信号のまま減算した後、Ａ／Ｄ変換器でデジタル信
号に変換するように構成してもよい。
第２のＡ／Ｄ変換器６、７で画像信号をデジタル信号に
変換して第１と第２の画像記憶手段８、９に画像データ
として蓄え、それらの画像データを減算手段１０にて減
算するように構成したが、第１と第２の撮像手段３、４
から出力されるアナログ信号をオペアンプを用いてアナ
ログ信号のまま減算した後、Ａ／Ｄ変換器でデジタル信
号に変換するように構成してもよい。
【００２４】また、上記実施例では第１の撮像手段３と
第２の撮像手段４を設けた例を示したが、これら第１の
撮像手段３と第２の撮像手段４に代えて、１軸ステージ
５にて移動可能な第２の撮像手段４のみを設け、この撮
像手段４を対物レンズ１の焦点位置と焦点からずれた位
置との間で移動させ、それぞれの位置で対象物２０を撮
像し、それらの映像信号を時系列的にＡ／Ｄ変換し、そ
のデジタル画像信号を順次第１と第２の画像記憶手段
８、９に蓄えるようにしてもよい。
第２の撮像手段４を設けた例を示したが、これら第１の
撮像手段３と第２の撮像手段４に代えて、１軸ステージ
５にて移動可能な第２の撮像手段４のみを設け、この撮
像手段４を対物レンズ１の焦点位置と焦点からずれた位
置との間で移動させ、それぞれの位置で対象物２０を撮
像し、それらの映像信号を時系列的にＡ／Ｄ変換し、そ
のデジタル画像信号を順次第１と第２の画像記憶手段
８、９に蓄えるようにしてもよい。
【００２５】
【発明の効果】本発明の欠陥検出方法によれば、以上の
説明から明らかなように、焦点位置からずれた位置で撮
像することによって得られる画像が平滑化処理を施した
画像に相当することから、焦点位置で撮像した画像と焦
点位置からずれた位置で撮像した画像との差によってシ
ェーディング補正した画像データを求めることができ、
従来時間を要していた平滑化処理を光学的な処理に置き
かえることができ、処理時間を大幅に短縮でき、かつコ
スト低下を図ることができる。
説明から明らかなように、焦点位置からずれた位置で撮
像することによって得られる画像が平滑化処理を施した
画像に相当することから、焦点位置で撮像した画像と焦
点位置からずれた位置で撮像した画像との差によってシ
ェーディング補正した画像データを求めることができ、
従来時間を要していた平滑化処理を光学的な処理に置き
かえることができ、処理時間を大幅に短縮でき、かつコ
スト低下を図ることができる。
【００２６】また、本発明の欠陥検出装置によれば、第
１の撮像手段にて焦点の合った画像が得られ、第２の撮
像手段にて少し焦点がぼけて、平滑化処理を施した画像
に相当する画像が得られ、それらの差を画像減算手段に
て求めることによりシェーディング補正した画像データ
が得られ、それに基づいて演算手段にて欠陥を検出する
ことができる。又、第２の撮像手段の位置を調整してボ
ケ量を調整することにより、平滑化のサイズを任意に変
化させることができる。
１の撮像手段にて焦点の合った画像が得られ、第２の撮
像手段にて少し焦点がぼけて、平滑化処理を施した画像
に相当する画像が得られ、それらの差を画像減算手段に
て求めることによりシェーディング補正した画像データ
が得られ、それに基づいて演算手段にて欠陥を検出する
ことができる。又、第２の撮像手段の位置を調整してボ
ケ量を調整することにより、平滑化のサイズを任意に変
化させることができる。
【００２７】また、画像減算手段においては、Ａ／Ｄ変
換器でデジタル変換した画像データを減算すると精度の
高いデータが得られ、またアナログ信号のまま減算する
こともでき、その場合構成が簡単で済み、コスト低下を
図ることができる。
換器でデジタル変換した画像データを減算すると精度の
高いデータが得られ、またアナログ信号のまま減算する
こともでき、その場合構成が簡単で済み、コスト低下を
図ることができる。
【００２８】また、撮像手段として、焦点位置と、焦点
位置からずれ位置との間で移動可能な１台の撮像手段を
用いた構成とすると、撮像手段の移動時間が必要になる
が、コスト低下を図ることができる。
位置からずれ位置との間で移動可能な１台の撮像手段を
用いた構成とすると、撮像手段の移動時間が必要になる
が、コスト低下を図ることができる。
【図１】本発明の一実施例の欠陥検出装置の構成図であ
る。
る。
【図２】同実施例における演算手段の処理フロー図であ
る。
る。
【図３】従来例の欠陥検出装置の構成図である。
１ 対物レンズ ３ 第１の撮像手段 ４ 第２の撮像手段 ６ 第１のＡ／Ｄ変換器 ７ 第２のＡ／Ｄ変換器 ８ 第１の画像記憶手段 ９ 第２の画像記憶手段 １０ 減算手段 １１ 画像減算手段 １３ 演算手段 ２０ 対象物
Claims (5)
- 【請求項１】 対象物を焦点位置で撮像した画像と焦点
位置からずれた位置で撮像した画像の差によってシェー
ディング補正した画像データを求め、その画像データか
ら対象物上の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検出
方法。 - 【請求項２】 対象物のシェーディング補正した画像デ
ータに基づいて対象物上の欠陥を検出する欠陥検出装置
において、対物レンズの焦点位置に置かれた第１の撮像
手段と、光軸上を移動可能な第２の撮像手段と、第１と
第２の撮像手段のそれぞれの画像信号又は画像データを
差し引いてシェーディング補正した画像データを得る画
像減算手段と、シェーディング補正された画像データを
処理して欠陥を検出する演算手段とを備えたことを特徴
とする欠陥検出装置。 - 【請求項３】 画像減算手段は、アナログ画像信号を２
ビット以上のデジタル信号に変換する第１と第２のＡ／
Ｄ変換器と、デジタル画像信号を蓄える第１と第２の画
像記憶手段と、第１と第２の画像記憶手段に蓄えられた
画像データを順次減算する減算手段とを備えたことを特
徴とする請求項２に記載の欠陥検出装置。 - 【請求項４】 画像減算手段は、第１、第２の撮像手段
から出力されるアナログ信号をオペアンプを用いてアナ
ログ信号のまま減算した後、デジタル信号に変換するよ
うに構成したことを特徴とする請求項２に記載の欠陥検
出装置。 - 【請求項５】 第１の撮像手段と第２の撮像手段に代え
て、第２の撮像手段のみ設けるとともに、第２の撮像手
段を対物レンズの焦点位置と焦点位置からずれた位置と
の間で移動させる手段を設けたことを特徴とする請求項
２又は３に記載の欠陥検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19952494A JP3383708B2 (ja) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | 欠陥検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP19952494A JP3383708B2 (ja) | 1994-08-24 | 1994-08-24 | 欠陥検出装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0865545A true JPH0865545A (ja) | 1996-03-08 |
| JP3383708B2 JP3383708B2 (ja) | 2003-03-04 |
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| JP (1) | JP3383708B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006180210A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Sony Corp | 撮像装置および方法、並びにプログラム |
-
1994
- 1994-08-24 JP JP19952494A patent/JP3383708B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006180210A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Sony Corp | 撮像装置および方法、並びにプログラム |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3383708B2 (ja) | 2003-03-04 |
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