JPH0865950A - Motor and optical scanner using the same - Google Patents

Motor and optical scanner using the same

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JPH0865950A
JPH0865950A JP21671594A JP21671594A JPH0865950A JP H0865950 A JPH0865950 A JP H0865950A JP 21671594 A JP21671594 A JP 21671594A JP 21671594 A JP21671594 A JP 21671594A JP H0865950 A JPH0865950 A JP H0865950A
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JP
Japan
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holding member
motor
bearing
dynamic pressure
holding
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Application number
JP21671594A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasushi Mizusaki
康史 水嵜
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Nidec Instruments Corp
Original Assignee
Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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  • Sliding-Contact Bearings (AREA)
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Abstract

PURPOSE: To eliminate seizure due to the contact of dynamic pressure bearing surfaces by stably maintaining a high speed rotation for a long period. CONSTITUTION: A motor has a dynamic pressure bearing for bearing a first holding member 2 for holding a magnet 21 and a second holding member 3 for holding a coil 31 via fluid. The coil 31 is energized to relatively rotate the members 2 and 3. The dynamic pressure bearing of the motor is formed of the outer periphery 23 of the member 2 and the inner periphery 35 of the holder 3, and nickel-phosphorus plating 25a in which polytetrafluoroethylene is dispersed is provided at least at one bearing surface of both the surfaces 23, 35. Further, the motor is mounted with a polygon mirror 1 for scanning a luminous flux from a light source at the small-diameter part 24 of the member 2.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、動圧軸受けを有するモ
ータ及びそのモータでポリゴンミラーを回転駆動するよ
うにした光学走査装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a motor having a dynamic pressure bearing and an optical scanning device in which a polygon mirror is rotationally driven by the motor.

【0002】[0002]

【従来の技術】レーザ走査用モータ、磁気ドラム用モー
タ、ジャイロモータあるいは高速スピンドルモータのよ
うな高速で回転するモータ等には、高速回転を可能とす
るため、回転に伴って発生する動圧流体でロータ(回転
軸)部を支持する動圧流体軸受が採用されている。例え
ば、ポリゴンミラーを拘束回転させるレーザ走査用のモ
ータは、図5に示すように、ポリゴンミラー1と回転駆
動用のマグネット21が取り付けられて回転する第一の
保持部材(ロータ)2と、駆動用のコイル31を保持し
軸受部材となる第二の保持部材(ステータ)3とから成
り、僅かな隙間8を以て対向する第一の保持部材2の外
周面23と第二の保持部材3の内周面35との間で動圧
軸受が構成されている。第一の保持部材2には、更に、
ポリゴンミラー1の回転バランスを矯正するバランスプ
レート11とスラストマグネット22が取り付けられ、
第二の保持部材3には、スラストマグネット22と協働
して第一の保持部材2に浮動力を発生させるためのスラ
ストマグネット32と、第二の保持部材3の一部を構成
するステータコア33とケース体34とが取り付けられ
ている。なお、第二の保持部材3は、ホルダー4に嵌合
固定されている。
2. Description of the Related Art A laser scanning motor, a magnetic drum motor, a gyro motor, or a motor that rotates at high speed such as a high-speed spindle motor is capable of rotating at high speed. A hydrodynamic bearing that supports the rotor (rotating shaft) is used. For example, as shown in FIG. 5, a laser scanning motor for constraining rotation of a polygon mirror includes a polygon mirror 1 and a first holding member (rotor) 2 to which a magnet 21 for rotation driving is attached and which rotates. Of the second holding member 3 and the second holding member (stator) 3 that holds the coil 31 for use as a bearing member, and faces the outer peripheral surface 23 of the first holding member 2 and the second holding member 3 with a slight gap 8 therebetween. A dynamic pressure bearing is configured with the peripheral surface 35. The first holding member 2 further includes
The balance plate 11 and the thrust magnet 22 for correcting the rotational balance of the polygon mirror 1 are attached,
The second holding member 3 includes a thrust magnet 32 that cooperates with the thrust magnet 22 to generate a floating force in the first holding member 2, and a stator core 33 that forms a part of the second holding member 3. And the case body 34 are attached. The second holding member 3 is fitted and fixed to the holder 4.

【0003】この動圧流体軸受は、回転時に動圧を発生
させて回転軸を浮揚させて支持するため、回転軸と軸受
部材との間には、極めて狭い一定の軸受隙間が形成され
ている。このため、回転軸の外周面(軸受面)と軸受部
材の内周面(軸受面)とに不要な凸起が生じないように
精密に仕上げなければ、回転中に回転軸と軸受部材とが
接触して摩擦熱を発生し、接触部分の溶融により軸と軸
受が凝着する、いわゆる焼付現象を惹き起こす危険があ
る。この焼き付き現象は、一般には起動停止時の軸受負
荷能力の低い状態での接触による摩耗が焼付の引き金と
なるが、また外力を受けた際の振動等によって、高速回
転時に接触する場合にも起こる。
In this dynamic pressure fluid bearing, since a dynamic pressure is generated during rotation to levitate and support the rotating shaft, a very narrow fixed bearing gap is formed between the rotating shaft and the bearing member. . For this reason, unless the outer peripheral surface (bearing surface) of the rotating shaft and the inner peripheral surface (bearing surface) of the bearing member are precisely finished so that unnecessary protrusions do not occur, the rotating shaft and the bearing member will not rotate during rotation. There is a risk of causing frictional heat upon contact and causing a so-called seizure phenomenon in which the shaft and the bearing are adhered to each other due to melting of the contact portion. This seizure phenomenon generally causes wear due to contact when the bearing load capacity is low at the time of start and stop, but also occurs when contact occurs at high speed due to vibration when external force is applied. .

【0004】一方、この種の高速回転モータにおいて
は、軽量化を図って立ち上がり時間を短くすると共に、
動圧軸受を構成する部分の内側に回転駆動用のマグネッ
ト21と駆動用のコイル31を配置してモータのコンパ
クト化と回転軸の振れや傾きを極力小さくすることが求
められる。このような構造の動圧軸受の場合、軸受の形
状・構造が複雑になるためアルミ合金を旋削加工する方
が加工コストの点で遥かに有利であることから、第一の
保持部材2と第二の保持部材3の双方をアルミニウムな
どで作成することが望まれている。
On the other hand, in this type of high-speed rotary motor, the weight is reduced and the rise time is shortened.
It is required to arrange the magnet 21 for driving rotation and the coil 31 for driving inside the portion constituting the dynamic pressure bearing to make the motor compact and minimize the runout and tilt of the rotary shaft. In the case of the dynamic pressure bearing having such a structure, since the bearing shape and structure are complicated, it is much more advantageous to machine the aluminum alloy in terms of machining cost. It is desired that both the second holding members 3 be made of aluminum or the like.

【0005】そこで、アルミニウムの耐摩耗性等を向上
させるため、軸受部材となる第二の保持部材3の内周面
35には硬質アルマイト処理、ロータとなる第一の保持
部材2の外周面23にはSiC微粒子を含むNi−P無
電解メッキが従来施されている。
Therefore, in order to improve the wear resistance of aluminum and the like, a hard alumite treatment is applied to the inner peripheral surface 35 of the second holding member 3 serving as the bearing member, and the outer peripheral surface 23 of the first holding member 2 serving as the rotor. Has been conventionally subjected to Ni-P electroless plating containing SiC particles.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、硬質ア
ルマイト処理とSiC微粒子を含むNi−P無電解メッ
キを施す場合、両材料とも非常に硬度が高く耐摩耗性に
は優れるものの、めっき反応においては不純物ともいえ
るSiCを多量に分散させたメッキ液であるため反応む
らを起こし易く皮膜に突起が発生することから、ロータ
となる第一の保持部材2の高回転中における衝撃や姿勢
変化による両面23、35の接触が焼き付けを起こす問
題を有している。そして、メッキの反応むらが起きない
ようにするには、工程管理を非常に厳しくする必要があ
り、しかも歩留まりが悪くなる。
However, when the hard alumite treatment and the Ni-P electroless plating containing SiC fine particles are applied, both materials have very high hardness and excellent wear resistance, but impurities in the plating reaction. Since it is a plating solution in which a large amount of SiC can be said to be generated, reaction unevenness is likely to occur and projections are formed on the coating film. There is a problem that the contact of 35 causes seizure. Then, in order to prevent uneven reaction of plating, it is necessary to make the process control extremely strict, and the yield is deteriorated.

【0007】特に、光学走査装置のようにモータの動圧
軸受の外にポリゴンミラー1のような質量の大きな部材
を取り付ける場合には、ポリゴンミラー1の回転偏心や
取り付け作業の不安定性により、接触による焼き付けが
生じ易い。焼き付けが生じると、モータの発熱により周
辺の精密部材であるレンズ等への悪影響が出てくる危険
性が生ずる。
In particular, when a member having a large mass such as the polygon mirror 1 is attached to the outside of the dynamic pressure bearing of the motor as in the optical scanning device, the polygon eccentric rotation of the polygon mirror 1 and the instability of the attachment work cause contact. It is easy to be burned by. When baking occurs, there is a risk that the heat generated by the motor may adversely affect the surrounding precision members such as the lens.

【0008】本発明は、長期間、安定した高速回転を維
持し、かつ動圧軸受け面間の接触による焼き付けが生じ
ないモータを提供することを目的とする。また、本発明
は、動圧軸受け面間に焼き付けが生じないモータを使用
して長期間安定した品質を維持できる光学走査装置を提
供することを目的とする。
An object of the present invention is to provide a motor that maintains stable high speed rotation for a long period of time and does not cause seizure due to contact between the dynamic pressure bearing surfaces. Another object of the present invention is to provide an optical scanning device that can maintain stable quality for a long period of time by using a motor that does not cause seizure between dynamic pressure bearing surfaces.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、請求項1の発明は、マグネットを保持する第一の保
持部材と、コイルを保持する第二の保持部材とを流体を
介して軸受けする動圧軸受け部を有し、コイルに通電す
ることにより、第一の保持部材と第二の保持部材とを相
対回転させてなるモータにおいて、動圧軸受け部の少な
くとも一方の軸受け面に、ポリテトラフルオロエチレン
を分散させたニッケル−燐メッキを施している。
In order to achieve the above object, the invention of claim 1 has a first holding member for holding a magnet and a second holding member for holding a coil, which are borne by a fluid. In a motor having a dynamic pressure bearing portion, the first holding member and the second holding member are relatively rotated by energizing a coil, at least one bearing surface of the dynamic pressure bearing portion is Nickel-phosphorus plating in which tetrafluoroethylene is dispersed is applied.

【0010】また、請求項2の発明は、光源からの光束
を走査するポリゴンミラーと、マグネットを保持する第
一の保持部材とコイルを保持する第二の保持部材とを流
体を介して軸受けする動圧軸受け部を有し、コイルに通
電することにより第一の保持部材と第二の保持部材とを
相対回転させてなるモータとを備え、ポリゴンミラーを
このモータで回転駆動するようになした光学走査装置に
おいて、モータの動圧軸受け部の少なくとも一方の軸受
け面に、ポリテトラフルオロエチレンを分散させたニッ
ケル−燐メッキを施している。
Further, in the invention of claim 2, the polygon mirror for scanning the light flux from the light source, the first holding member for holding the magnet, and the second holding member for holding the coil are borne by the fluid. It has a dynamic pressure bearing portion, and is provided with a motor that relatively rotates the first holding member and the second holding member by energizing the coil, and the polygon mirror is rotationally driven by this motor. In the optical scanning device, at least one bearing surface of the dynamic pressure bearing portion of the motor is plated with nickel-phosphorus in which polytetrafluoroethylene is dispersed.

【0011】更に、請求項3の発明は、請求項2の光学
走査装置において、ポリテトラフルオロエチレンを分散
させたニッケル−燐メッキの膜厚を10μm以下として
いる。
Further, according to the invention of claim 3, in the optical scanning device of claim 2, the film thickness of the nickel-phosphorus plating in which polytetrafluoroethylene is dispersed is 10 μm or less.

【0012】[0012]

【作用】したがって、請求項1のモータでは、その軸受
け面に摩擦係数の低いポリテトラフルオロエチレンを分
散させたニッケル−燐メッキを施しているので、硬度が
高く、耐摩耗性に優れ、かつ摩擦係数の低い軸受けとす
ることができる。しかも、運転時、軸受け面間の接触に
よる部分的な発熱により、軸受け表面に析出したポリテ
トラフルオロエチレンが溶融し、潤滑皮膜を形成するの
で、摩擦係数が非常に低い軸受けとすることができる。
また、仮にその皮膜が摩耗してもメッキ中に析出したポ
リテトラフルオロエチレンが連続的に露出してくるの
で、低摩擦係数を維持することができる。
Therefore, in the motor of claim 1, since the bearing surface is plated with nickel-phosphorus in which polytetrafluoroethylene having a low coefficient of friction is dispersed, the hardness is high, the wear resistance is excellent, and the friction is good. The bearing can have a low coefficient. Moreover, during operation, due to partial heat generation due to contact between the bearing surfaces, the polytetrafluoroethylene deposited on the bearing surface melts and forms a lubricating film, so that the bearing can have a very low friction coefficient.
Further, even if the coating is worn, the polytetrafluoroethylene deposited during plating is continuously exposed, so that a low friction coefficient can be maintained.

【0013】加えて、請求項2の発明では、ポリゴンミ
ラーを駆動するモータとして、その軸受け面に摩擦係数
の低いポリテトラフルオロエチレンを分散させたニッケ
ル−燐メッキを施しているので、回転がロックされるこ
とによる無用な発熱での他の精密部品への悪影響や修理
作業が生じない。
In addition, according to the invention of claim 2, as a motor for driving the polygon mirror, nickel-phosphorus plating in which polytetrafluoroethylene having a low friction coefficient is dispersed is applied to the bearing surface thereof, so that the rotation is locked. There is no need for adverse effects on other precision parts and repair work due to useless heat generation due to the above.

【0014】また、請求項3の発明では、同様に、回転
がロックされることによる無用な発熱での他の精密部品
への悪影響や修理作業が生じることがないうえに、メッ
キの膜厚を10μm以下としているので、メッキ面の面
粗度が悪くならず、摩耗が生じにくい。また、仮にメッ
キ面が摩耗によりほとんど滅失しても、軸受け面間の寸
法精度は、10μm以下の値のみの変化であり、動圧特
性への影響は少ない。
Further, in the third aspect of the present invention, similarly, unnecessary heat generation due to the rotation being locked does not adversely affect other precision parts or repair work, and the thickness of the plating film is reduced. Since the thickness is 10 μm or less, the surface roughness of the plated surface does not deteriorate and abrasion is unlikely to occur. Further, even if the plated surface is almost lost due to wear, the dimensional accuracy between the bearing surfaces changes only by a value of 10 μm or less, and has little influence on the dynamic pressure characteristics.

【0015】[0015]

【実施例】以下、本発明の構成を図面に示す実施例に基
づいて詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The structure of the present invention will be described in detail below with reference to the embodiments shown in the drawings.

【0016】図1に本発明のモータおよび光学走査装置
の一実施例を示す。このモータは、図示しない光源から
の光束を、回転多面鏡であるポリゴンミラー1で反射さ
せ、図示しないFθレンズ等の各種レンズにより感光ド
ラム上に微小のビーム径として収束させ、静電潜像を書
き込む光学走査装置に使用されるものである。
FIG. 1 shows an embodiment of the motor and the optical scanning device of the present invention. This motor reflects a light flux from a light source (not shown) by a polygon mirror 1 which is a rotary polygon mirror and converges it as a minute beam diameter on a photosensitive drum by various lenses such as an Fθ lens (not shown) to form an electrostatic latent image. It is used in an optical scanning device for writing.

【0017】このモータの主要構成は、従来と同様に、
ポリゴンミラー1と回転駆動用のマグネット21が取り
付けられて回転する第一の保持部材2と、駆動用のコイ
ル31を保持する第二の保持部材3とからなっている。
第一の保持部材2には、更に、ポリゴンミラー1の回転
バランスを矯正するバランスプレート11とスラストマ
グネット22が取り付けられ、第二の保持部材3には、
スラストマグネット22と協働して第一の保持部材2に
浮動力を発生させるためのスラストマグネット32と、
第二の保持部材3の一部を構成するステータコア33と
ケース体34とが取り付けられている。なお、第二の保
持部材3は、ホルダー4に嵌合固定されている。
The main structure of this motor is as follows:
The polygon mirror 1 and a rotation driving magnet 21 are attached to rotate a first holding member 2 and a second holding member 3 holding a driving coil 31.
The balance plate 11 and the thrust magnet 22 that correct the rotational balance of the polygon mirror 1 are further attached to the first holding member 2, and the second holding member 3 is
A thrust magnet 32 for generating a floating force on the first holding member 2 in cooperation with the thrust magnet 22;
The stator core 33 and the case body 34, which form a part of the second holding member 3, are attached. The second holding member 3 is fitted and fixed to the holder 4.

【0018】ポリゴンミラー1は、第一の保持部材2の
小径部24にはめ込まれ、その小径部24と大径部25
とをつなぐ連結部28に、ミラー1の平面部を突き当て
ることにより、位置決めされている。そして、バランス
プレート11を、ネジ14により、第一の保持部材2の
小径部24に取り付けることにより、ミラー1は、ミラ
ー押さえ板12と板バネ13とを介して、バランスプレ
ート11と連結部28に挟み込まれ固定される。このバ
ランスプレート11は、第一の保持部材2の加工誤差又
はポリゴンミラー1やマグネット21等を取り付ける際
の組み付け誤差等により、回転体全体の重心位置が正規
な位置からずれた場合の調整部材である。その調整は、
バランスプレート11の外周寄りの位置に、径や深さが
設定された一個又は複数個の凹孔11aを形成すること
により行われる。この調整により、ワウフラッタ等の振
動や軸受け面間の衝突等を解消し、減少させている。ま
た、このバランスプレート11の中心付近には、後述す
る動圧軸受け部と連通し、モータ内部の空気を外部に逃
がす孔11bが、外周端には、回転体全体を着脱する際
に使用する把持部11cがそれぞれ設けられている。
The polygon mirror 1 is fitted into the small diameter portion 24 of the first holding member 2, and the small diameter portion 24 and the large diameter portion 25 thereof are arranged.
Positioning is performed by abutting the flat surface portion of the mirror 1 to the connecting portion 28 that connects the and. Then, the balance plate 11 is attached to the small-diameter portion 24 of the first holding member 2 with the screw 14, whereby the mirror 1 is connected to the balance plate 11 and the connecting portion 28 via the mirror pressing plate 12 and the plate spring 13. It is sandwiched between and fixed. The balance plate 11 is an adjusting member when the center of gravity of the entire rotating body deviates from the normal position due to a processing error of the first holding member 2 or an assembly error when mounting the polygon mirror 1, the magnet 21, and the like. is there. The adjustment is
This is performed by forming one or a plurality of recessed holes 11a whose diameter and depth are set in a position near the outer periphery of the balance plate 11. By this adjustment, vibration such as wow and flutter and collision between bearing surfaces are eliminated and reduced. Further, near the center of the balance plate 11, there is provided a hole 11b which communicates with a dynamic pressure bearing portion which will be described later and allows air inside the motor to escape to the outside. Each part 11c is provided.

【0019】第一の保持部材2は、アルミ材で構成され
ており、その大径部25の内周面にはヨーク27を介し
て回転駆動用のマグネット21が取り付けられ、大径部
25のミラー1が取り付けられた面とは反対の面には周
波数発電機用マグネット26が取り付けられている。第
一の保持部材2の外周面23には、動圧発生用のくの字
状の複数の溝29が設けられ、動圧軸受け部の軸受け面
の一方を構成している。この溝29を含む外周面23全
体には、後述する方法でポリテトラフルオロエチレンを
分散させたニッケル−燐メッキ25aが施されている。
第一の保持部材2の小径部24の内周面には、第二の保
持部材3の一端に取り付けられたスラストマグネット3
2に対向する位置にスラストマグネット22が取り付け
られており、両マグネット22,32の吸引力により、
第一の保持部材2は、第二の保持部材3に対し、スラス
ト方向について非接触な状態が維持される。この吸引力
は、両マグネット22,32の対向する磁極の極性を図
1に示されるように逆にすることで発生している。
The first holding member 2 is made of an aluminum material, and the rotation driving magnet 21 is attached to the inner peripheral surface of the large-diameter portion 25 via a yoke 27. A frequency generator magnet 26 is mounted on the surface opposite to the surface on which the mirror 1 is mounted. The outer peripheral surface 23 of the first holding member 2 is provided with a plurality of doglegged grooves 29 for generating dynamic pressure, and constitutes one of the bearing surfaces of the dynamic pressure bearing portion. The entire outer peripheral surface 23 including the grooves 29 is plated with nickel-phosphorus 25a in which polytetrafluoroethylene is dispersed by a method described later.
The thrust magnet 3 attached to one end of the second holding member 3 is provided on the inner peripheral surface of the small diameter portion 24 of the first holding member 2.
The thrust magnet 22 is attached at a position facing 2 and by the attraction force of both magnets 22 and 32,
The first holding member 2 is maintained in a non-contact state with the second holding member 3 in the thrust direction. This attractive force is generated by reversing the polarities of the opposing magnetic poles of the two magnets 22 and 32 as shown in FIG.

【0020】第二の保持部材3の一端に位置する最小径
部3aには、上述したようにスラストマグネット32が
スラストマグネット22に対向するように、最小径部3
aに隣接する小径部3bには、周波数発電機用回路基板
36が周波数発電機用マグネット26に対向するよう
に、小径部3bに隣接する中径部3cには、駆動用のコ
イル31を保持し第二の保持部材3の一部を構成するス
テータコア33がマグネット21に対向するようにそれ
ぞれ取り付けられている。第二の保持部材3の他端に位
置する大径部3dには、第二の保持部材3の一部を構成
する円筒状のケース体34が第一の保持部材2の外周面
23に対し間隙8をもって囲む形で取り付けられてい
る。更に、大径部3dには、ケース体34の取り付け面
と反対の面に、駆動コイル31への通電用回路パターン
が形成された駆動用回路基板37が取り付けられてい
る。
In the minimum diameter portion 3a located at one end of the second holding member 3, the minimum diameter portion 3 is arranged so that the thrust magnet 32 faces the thrust magnet 22 as described above.
The small-diameter portion 3b adjacent to a has a driving coil 31 held in the medium-diameter portion 3c adjacent to the small-diameter portion 3b so that the frequency generator circuit board 36 faces the frequency-generator magnet 26. The stator cores 33 forming a part of the second holding member 3 are attached so as to face the magnets 21. At the large-diameter portion 3d located at the other end of the second holding member 3, a cylindrical case body 34 forming a part of the second holding member 3 with respect to the outer peripheral surface 23 of the first holding member 2. It is mounted so as to surround it with a gap 8. Further, a drive circuit board 37 having a circuit pattern for energizing the drive coil 31 is attached to the large diameter portion 3d on the surface opposite to the attachment surface of the case body 34.

【0021】ケース体34は、アルミ材で構成されてお
り、ケース体34には、軸方向に貫通する複数の通気孔
34aと、その通気孔34aと間隙8とを連通する複数
の連通孔34b(本実施例では内周面の対向する位置に
二つ設置)とが設けられている。このケース体34の内
周面35は、動圧軸受け部の軸受け面の他方を構成する
ものであり、その面は、後述する方法でポリテトラフル
オロエチレンを分散させたニッケル−燐メッキ25aが
施されている。ケース体34は、ネジ7により、ホルダ
ー4に固定される。
The case body 34 is made of an aluminum material, and the case body 34 has a plurality of ventilation holes 34a penetrating in the axial direction and a plurality of communication holes 34b for communicating the ventilation holes 34a with the gap 8. (In this embodiment, two are installed at opposite positions on the inner peripheral surface). The inner peripheral surface 35 of the case body 34 constitutes the other of the bearing surfaces of the dynamic pressure bearing portion, and the surface is plated with nickel-phosphorus 25a in which polytetrafluoroethylene is dispersed by a method described later. Has been done. The case body 34 is fixed to the holder 4 with the screw 7.

【0022】ホルダー4は、底付き円筒形状とされ、そ
の中心にケース体34が入れられる。そして、ホルダー
4には、ホルダー4とケース体34との間にできる空間
に連通する通気孔4aと、第二の保持部材3に取り付け
られた駆動用回路基板37に接する形でモータを載置す
る載置部4bと、ケース体34の被固定部34cが載置
される円形の固定部4cと、ケース体34を固定するた
めにネジ7が入る孔4dが設けられている。
The holder 4 has a cylindrical shape with a bottom, and a case body 34 is placed in the center thereof. Then, the motor is mounted on the holder 4 so as to be in contact with the ventilation hole 4a communicating with the space formed between the holder 4 and the case body 34 and the driving circuit board 37 attached to the second holding member 3. The mounting portion 4b, the circular fixing portion 4c on which the fixed portion 34c of the case body 34 is mounted, and the hole 4d into which the screw 7 is inserted to fix the case body 34 are provided.

【0023】図2に第一の保持部材2の外周面23の表
面処理工程図を示す。まず、第一の保持部材2を水洗−
酸洗い−水洗の工程により表面を洗浄する。次に、第一
の保持部材2を、次亜燐酸ニッケル液にポリテトラフル
オロエチレンを分散させて得たメッキ材料中に浸漬し、
ポリテトラフルオロエチレンを分散させたニッケル−燐
メッキを無電解にて施す(以下、無電解Ni−P−PT
FEメッキと呼ぶ)。この無電解Ni−P−PTFEメ
ッキは、支持台9に未貫通の穴91を設け、その穴91
に第一の保持部材2の小径部24を入れ、大径部25の
外周面23をメッキする。なお、この無電解Ni−P−
PTFEメッキは、ポリテトラフルオロエチレンを20
容積%以上含有し、PHが5〜5.5で、かつ約90℃
の液中で行われる。その後、水洗−乾燥の工程を経て表
面処理が終わる。なお、ケース体34の内周面35への
メッキも、使用する治具は異なるが、同様な工程で表面
処理される。
FIG. 2 shows a surface treatment process diagram of the outer peripheral surface 23 of the first holding member 2. First, wash the first holding member 2 with water.
The surface is washed by the step of pickling-water washing. Next, the first holding member 2 is immersed in a plating material obtained by dispersing polytetrafluoroethylene in a nickel hypophosphite solution,
Electroless nickel-phosphorus plating in which polytetrafluoroethylene is dispersed (hereinafter referred to as electroless Ni-P-PT
Called FE plating). In this electroless Ni-P-PTFE plating, the support base 9 is provided with a non-penetrating hole 91, and the hole 91 is formed.
Then, the small diameter portion 24 of the first holding member 2 is put in, and the outer peripheral surface 23 of the large diameter portion 25 is plated. In addition, this electroless Ni-P-
PTFE plating uses polytetrafluoroethylene 20
Containing volume% or more, PH 5 to 5.5, and about 90 ℃
It is performed in the liquid. Then, the surface treatment is completed through a washing-drying process. The inner peripheral surface 35 of the case body 34 is also surface-treated in the same process, although the jig used is different.

【0024】上記表面処理工程によって得られた軸受け
面23,35は、一般的に行われているバレルメッキ方
法に比べ、メッキ面の凹凸が非常に少なくなる。即ち、
バレルメッキ方法では、かごの中に入れられた部材同士
がメッキの最中に接触するため、そのメッキ面は、大き
さは微小ではあるが、メッキがつかない部分を海島状に
有する状態となる。図3にその断面状態を示す。第一の
保持部材2の大径部25は、アルミ材の素地上に、無電
解Ni−P−PTFEメッキが施された層(以下、PT
FE層と呼ぶ)25aが載置される二層構造になってお
り、その構造により外周面23が構成されている。PT
FE層25aのところどころにはメッキが付いていない
部分25bがある。そしてメッキ面の表面に生じた凹凸
の差の平均(以下、面粗度と呼ぶ)は、大きくなり、い
わゆる面粗度が悪い状態となる。これに対し、上記の実
施例の工法では、メッキ面同志が接触することは無いの
で、そのメッキ面は、断面状態を示す図4に見られるよ
うに、メッキがつかない部分はほとんど無い状態とな
る。そして、PTFE層25aの厚さは、約5μmとな
っている。PTFE層25aの厚さが、10μmを超す
と面粗度が悪くなり、摩耗の原因となる。また、隙間8
は約10μmを越えると動圧の発生が悪化してまうの
で、10μmを越える肉厚のPTFE層25aを形成し
ても完全なPTFE層が残っていても動圧軸受として機
能せずに無駄となることがある。そこで、PTFE層2
5aの肉厚は10μm以下とするのが好ましい。また、
PTFE層25aの摩耗を考慮すれば、このPTFE層
25aを厚くすることは、間隙8の寸法精度の点でも好
ましいものではない。なお、このPTFE層25aを
0.5μmを下回る値にすると、面粗度上は好ましい
が、摩耗のためPTFE層25aの役割が早く終わって
しまいがちなので、0.5μm以上とするのが好まし
い。また、仮にそのメッキ面が摩耗によりほとんど滅失
しても、軸受け面間の寸法精度は、10μm以下の値の
みの変化であり、動圧特性への影響は少ない。なお、両
面23,35に、共に10μmのメッキを行うと計20
μm以下の値の変化となり、軸受け面間の寸法精度上は
若干問題ではあるが、許容範囲内である。しかし、好ま
しくは、両面23,35のメッキ面の厚さを合わせて計
10μm以下にするのが好ましい。
The bearing surfaces 23 and 35 obtained by the above surface treatment process have much less unevenness on the plated surface as compared with the generally used barrel plating method. That is,
In the barrel plating method, the members placed in the basket contact each other during plating, so the plating surface is in a sea-island shape, although the size is very small. . The cross-sectional state is shown in FIG. The large-diameter portion 25 of the first holding member 2 is a layer (hereinafter, referred to as PT) obtained by applying electroless Ni-P-PTFE plating on a base material of an aluminum material.
It has a two-layer structure on which an FE layer) 25a is placed, and the outer peripheral surface 23 is constituted by this structure. PT
In some places of the FE layer 25a, there is an unplated portion 25b. Then, the average of the difference in the irregularities generated on the surface of the plated surface (hereinafter referred to as surface roughness) becomes large, and the so-called surface roughness becomes poor. On the other hand, in the construction method of the above-described embodiment, since the plating surfaces do not come into contact with each other, the plating surface has almost no plating-free portion as shown in FIG. 4 showing the cross-sectional state. Become. The thickness of the PTFE layer 25a is about 5 μm. If the thickness of the PTFE layer 25a exceeds 10 μm, the surface roughness deteriorates, causing wear. In addition, the gap 8
When the thickness exceeds about 10 μm, the generation of dynamic pressure deteriorates. Therefore, even if the PTFE layer 25a having a thickness exceeding 10 μm is formed, even if the complete PTFE layer remains, it does not function as a dynamic pressure bearing and is wasted. May be. Therefore, the PTFE layer 2
The wall thickness of 5a is preferably 10 μm or less. Also,
Considering the abrasion of the PTFE layer 25a, thickening the PTFE layer 25a is not preferable in terms of the dimensional accuracy of the gap 8. When the PTFE layer 25a has a value of less than 0.5 μm, it is preferable in terms of surface roughness, but the role of the PTFE layer 25a tends to end early due to abrasion, so 0.5 μm or more is preferable. Further, even if the plated surface is almost lost due to wear, the dimensional accuracy between the bearing surfaces changes only by a value of 10 μm or less, and has little influence on the dynamic pressure characteristics. If both sides 23 and 35 are plated to a thickness of 10 μm, a total of 20
The change in value is less than or equal to μm, which is within the allowable range, although it is a little problem in terms of dimensional accuracy between bearing surfaces. However, it is preferable that the total thickness of the plated surfaces of both surfaces 23 and 35 is 10 μm or less in total.

【0025】次に、以上のように構成されたポリゴンミ
ラーモータの駆動について説明する。
Next, driving of the polygon mirror motor configured as described above will be described.

【0026】駆動用回路基板37の駆動回路に駆動信号
が入力されると、駆動用のコイル31への通電が開始さ
れる。そして、コイル31とマグネット21の相互作用
により、第二の保持部材3が回転し始め、それと一体固
定されているポリゴンミラー1も回転し始める。すると
動圧の媒体となる空気が、図1の矢印で示されるよう
に、ケース体34に設けられた複数の通気孔34aから
連通孔34bを通り、間隙8に取り込まれる。なお、こ
の空気は、図1の矢印で示されるように、ホルダー4の
通気孔4aから取り込まれたもので、ケース体34に取
り付けられたフィルター38を通り、複数の通気孔34
a内に入ってきたものである。間隙8に取り込まれた空
気は、動圧発生用のくの字状の複数の溝29に供給さ
れ、ケース体34の内周面35との間で動圧力を発生し
ている。これにより、ラジアル方向の軸受けがなされる
と共に、ポリゴンミラー1の高速回転が達成される。こ
の回転は、通常、1〜3万rpmであるが、ポリゴンミ
ラー1の面数や印字密度等に合せ、数千rpmから10
万rpm程度まで対応が可能となっている。ポリゴンミ
ラー1が高速回転されると、ポリゴンミラー1の下部の
空気も粘性により外に飛ばされ、その部分が負圧とな
り、図1の矢印で示されるように、複数の通気孔34a
内の空気と間隙8内の空気が取り込まれる。このように
して、連続した空気の流れができ、動圧による高速回転
が維持される。
When a drive signal is input to the drive circuit of the drive circuit board 37, the energization of the drive coil 31 is started. Then, due to the interaction between the coil 31 and the magnet 21, the second holding member 3 starts to rotate, and the polygon mirror 1 integrally fixed thereto also starts to rotate. Then, as a medium of dynamic pressure, air is taken into the gap 8 from the plurality of ventilation holes 34a provided in the case body 34 through the communication holes 34b as shown by the arrow in FIG. As shown by the arrow in FIG. 1, this air is taken in through the ventilation hole 4a of the holder 4, passes through the filter 38 attached to the case body 34, and passes through the plurality of ventilation holes 34a.
It came in a. The air taken into the gap 8 is supplied to a plurality of V-shaped grooves 29 for generating a dynamic pressure, and a dynamic pressure is generated between the air and the inner peripheral surface 35 of the case body 34. As a result, bearings are provided in the radial direction, and high-speed rotation of the polygon mirror 1 is achieved. This rotation is normally 1 to 30,000 rpm, but it is from several thousand rpm to 10 rpm depending on the number of faces of the polygon mirror 1 and the printing density.
It can handle up to 10,000 rpm. When the polygon mirror 1 is rotated at a high speed, the air under the polygon mirror 1 is also blown out due to viscosity, and that portion becomes negative pressure, and as shown by the arrow in FIG.
The air inside and the air inside the gap 8 are taken in. In this way, a continuous air flow is created, and high speed rotation due to dynamic pressure is maintained.

【0027】なお、駆動開始時のモータの姿勢や回転中
の外部からの衝撃、姿勢変化により、軸受け面23,3
5が接触したとしても、その両面23,35に無電解N
i−P−PTFEメッキ25aが施されているので、摩
擦係数の低いポリテトラフルオロエチレンの効果によ
り、その両面23,35が焼き付くことはほとんどなく
なり、モータの回転が停止するという事態もなくなる。
そして、その両面23,35の接触がたびたび起こった
としても、その接触による部分的な発熱により、ポリテ
トラフルオロエチレンが溶融し、潤滑皮膜が形成される
ので、焼き付きは生じない。また、仮にPTFE層25
aが摩耗しても、連続的にポリテトラフルオロエチレン
が露出してくるので、低摩擦係数を維持することができ
る。
The bearing surfaces 23, 3 are affected by the attitude of the motor at the start of driving, external impact during rotation, and attitude changes.
Even if 5 comes into contact, electroless N
Since the i-P-PTFE plating 25a is applied, the effects of polytetrafluoroethylene having a low coefficient of friction hardly cause seizure of both surfaces 23 and 35, and the motor rotation is not stopped.
Even if the two surfaces 23 and 35 frequently come into contact with each other, partial heat generated by the contact melts the polytetrafluoroethylene to form a lubricating film, so that seizure does not occur. Also, if the PTFE layer 25
Even if “a” is worn, the polytetrafluoroethylene is continuously exposed, so that a low friction coefficient can be maintained.

【0028】また、間隙8は、駆動用のコイル31や各
種マグネット21,26,22,32,36が存置され
る空間と連通しており、更には、バランスプレート11
の孔11bを介して外部と連通している。これにより、
図1の矢印で示されるような内部空間の空気流路が出来
る。そして、この内部空間に導入された空気は、動圧軸
受け部の空気の逃がしとモータの冷却という二つの役割
に加え、第一の保持部材2を正規位置に保持する役割を
担っている。即ち、第一の保持部材2に対して、軸方向
の外乱が加わり、第一の保持部材2が上方又は下方に変
位しようとすると、バランスプレート11の孔11bの
オリフィス効果により、その変位が抑止される。
The gap 8 communicates with the space in which the driving coil 31 and the various magnets 21, 26, 22, 32, 36 are placed, and further, the balance plate 11
It communicates with the outside through the hole 11b. This allows
An air flow path in the internal space is formed as shown by the arrow in FIG. The air introduced into the internal space has two roles of releasing the air from the dynamic pressure bearing portion and cooling the motor, and also has a role of holding the first holding member 2 at the regular position. That is, when an axial disturbance is applied to the first holding member 2 and the first holding member 2 attempts to be displaced upward or downward, the displacement is suppressed by the orifice effect of the hole 11b of the balance plate 11. To be done.

【0029】本実施例では、複数の通気孔34aを通る
空気の流れにより、モータの熱が奪われるので、ファン
等の部品を付加することなく、冷却効果を上げることが
出来る。本実施例のPTFE層25aは、塗装と異な
り、無電解メッキにて処理されるので、被膜厚さのコン
トロ−ルができ、間隙8の寸法精度や軸受け面23,3
5の面粗度が管理し易くなり、後加工も不要もしくは低
減される。
In this embodiment, the heat of the motor is taken away by the flow of air through the plurality of ventilation holes 34a, so that the cooling effect can be improved without adding any parts such as a fan. Unlike the coating, the PTFE layer 25a of this embodiment is processed by electroless plating, so that the thickness of the coating can be controlled, and the dimensional accuracy of the gap 8 and the bearing surfaces 23 and 3 can be controlled.
The surface roughness of No. 5 becomes easy to manage, and post-processing is unnecessary or reduced.

【0030】なお、上述の実施例は、本発明の好適な実
施例の一例ではあるが、これに限定されるものではな
く、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実
施可能である。例えば、無電解Ni−P−PTFEメッ
キの代わりにポリテトラフルオロエチレンを分散した無
電解ニッケル−ほう素メッキでも同様に焼き付きが防止
される。また、無電解Ni−P−PTFEメッキを施し
たした後、熱処理を行うことによって、ベースとなるN
i−P膜の更なる硬度アップが可能となる。また、熱処
理の温度によっては、ポリテトラフルオロエチレンのみ
が溶融し、ベースとなるNi−P膜を覆うこととなり、
面粗度が良くなる。
The above embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention. For example, electrophotographic nickel-boron plating in which polytetrafluoroethylene is dispersed instead of electroless Ni-P-PTFE plating also prevents seizure. In addition, after performing electroless Ni-P-PTFE plating, heat treatment is performed to obtain N serving as a base.
It is possible to further increase the hardness of the i-P film. Also, depending on the temperature of the heat treatment, only polytetrafluoroethylene melts, covering the Ni-P film that is the base,
The surface roughness is improved.

【0031】更に、上述の実施例では、両軸受け面2
3,35に無電解Ni−P−PTFEメッキが施されて
おり、焼き付き防止の面で非常に優れたものとなってい
るが、両軸受け面23,35の一方のみに無電解Ni−
P−PTFEメッキを施し、他方には、従来のシリカ微
粒子を含むニッケル−燐無電解メッキや硬質アルマイト
処理をしたものであっても、従来構成に比べ、焼き付き
防止の改善効果がある。また、無電解Ni−P−PTF
Eメッキを施す際、そのメッキの密着力を向上させるた
め、アルミ材の素地上に下地メッキとしてニッケル−燐
メッキを無電解等によりメッキした上にこの無電解Ni
−P−PTFEメッキを施しても良い。更には、従来の
シリカ微粒子を含むニッケル−燐無電解メッキや硬質ア
ルマイト処理をしたものに、この無電解Ni−P−PT
FEメッキを施しても良い。
Further, in the above embodiment, both bearing surfaces 2
Electroless Ni-P-PTFE plating is applied to 3, 35, which is very excellent in terms of preventing seizure, but only one of the bearing surfaces 23, 35 has electroless Ni-.
Even if P-PTFE plating is applied and nickel-phosphorus electroless plating containing conventional silica fine particles or hard alumite treatment is applied to the other, there is an effect of improving seizure prevention as compared with the conventional configuration. In addition, electroless Ni-P-PTF
In order to improve the adhesion of the E-plating, in order to improve the adhesion of the plating, nickel-phosphorus plating is electrolessly plated as a base plating on an aluminum base material, and then this electroless Ni is used.
-P-PTFE plating may be applied. Furthermore, nickel-phosphorus electroless plating containing fine silica particles and hard alumite-treated ones are added to this electroless Ni-P-PT.
FE plating may be applied.

【0032】第一の保持部材2やケース体34は、アル
ミ材ではなく、ステンレスやSK材などでも良いが、ア
ルミ材が加工性や駆動性等の面で優れており、コスト低
減が可能となる。また、第二の保持部材3の一部がステ
ータコア33やケース体34とされ、第二の保持部材3
は、三つの別部材となっているが、一部又は全部を一体
化し、二部材又は一部材としても良い。
The first holding member 2 and the case body 34 may be made of stainless steel or SK material instead of the aluminum material, but the aluminum material is excellent in workability and drivability, and the cost can be reduced. Become. Further, a part of the second holding member 3 is the stator core 33 or the case body 34, and the second holding member 3
Are three separate members, but a part or all of them may be integrated to form two members or one member.

【0033】また、動圧を発生させる流体としては、空
気等の気体ではなく、油等の液体でも良い。実施例で
は、マグネットを保持する第一の保持部材を回転させて
いるが、コイルを保持する第二の保持部材を回転させる
ようにしても良い。
The fluid for generating the dynamic pressure may be liquid such as oil instead of gas such as air. In the embodiment, the first holding member holding the magnet is rotated, but the second holding member holding the coil may be rotated.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
1の発明のモータでは、その軸受け面に摩擦係数の低い
ポリテトラフルオロエチレンを分散させたニッケル−燐
メッキを施しているので、硬度が高く、耐摩耗性に優
れ、かつ摩擦係数の低い軸受けとすることができる。し
かも、運転時、軸受け面間の接触による部分的な発熱に
より、軸受け表面のポリテトラフルオロエチレンが溶融
し、潤滑皮膜を形成するので、摩擦係数が非常に低い軸
受けとすることができる。また、仮にその皮膜が摩耗し
てもポリテトラフルオロエチレンが連続的に露出してく
るので、低摩擦係数を維持する事が出来る。このため、
長期間、安定した高速回転を維持し、かつ軸受け面間の
接触による焼き付けが生じないモータを提供することが
できる。
As is apparent from the above description, in the motor of the first aspect of the present invention, the bearing surface is plated with nickel-phosphorus in which polytetrafluoroethylene having a low friction coefficient is dispersed. The bearing can have a high friction coefficient, a high wear resistance, and a low friction coefficient. Moreover, during operation, partial heat generation due to contact between the bearing surfaces melts polytetrafluoroethylene on the bearing surface to form a lubricating film, so that the bearing can have a very low friction coefficient. Further, even if the coating is worn, polytetrafluoroethylene is continuously exposed, so that a low friction coefficient can be maintained. For this reason,
It is possible to provide a motor that maintains stable high-speed rotation for a long period of time and does not cause seizure due to contact between bearing surfaces.

【0035】加えて、請求項2の発明では、ポリゴンミ
ラーを駆動するモータの軸受け面に摩擦係数の低いポリ
テトラフルオロエチレンを分散させたニッケル−燐メッ
キを施しているので、回転がロックされることによる無
用な発熱で、装置内の他の精密部品へ悪影響を及ぼすこ
とはなくなり、余分な修理作業も生じない。このため、
長期間安定した品質を維持できる光学走査装置を提供す
ることができる。
In addition, in the invention of claim 2, the rotation is locked because the bearing surface of the motor for driving the polygon mirror is plated with nickel-phosphorus in which polytetrafluoroethylene having a low friction coefficient is dispersed. Unnecessary heat generation caused by this does not adversely affect other precision parts in the apparatus, and extra repair work does not occur. For this reason,
An optical scanning device that can maintain stable quality for a long period of time can be provided.

【0036】また、請求項3の発明では、更に、ポリテ
トラフルオロエチレンを分散させたニッケル−燐メッキ
の膜厚を10μm以下としているので、メッキ面の面粗
度が悪くならず、摩耗が生じにくい。また、仮にそのメ
ッキ面が摩耗によりほとんど滅失しても、軸受け面間の
寸法精度は、10μm以下の値のみの変化であり、動圧
特性への影響は少ない。このため、より一層安定した品
質を維持できる光学走査装置を提供することができる。
Further, according to the third aspect of the invention, since the thickness of the nickel-phosphorus plating in which polytetrafluoroethylene is dispersed is 10 μm or less, the surface roughness of the plated surface does not deteriorate and wear occurs. Hateful. Further, even if the plated surface is almost lost due to wear, the dimensional accuracy between the bearing surfaces changes only by a value of 10 μm or less, and has little influence on the dynamic pressure characteristics. Therefore, it is possible to provide an optical scanning device that can maintain more stable quality.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例の要部の一部切欠き断面図であ
る。
FIG. 1 is a partially cutaway sectional view of an essential part of an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施例で使用されている軸受け面の表
面処理工程図である。
FIG. 2 is a surface treatment process diagram of a bearing surface used in an embodiment of the present invention.

【図3】バレルメッキ方法でメッキされた軸受け面の表
面状況を示す断面図である。
FIG. 3 is a sectional view showing a surface condition of a bearing surface plated by a barrel plating method.

【図4】本発明の実施例で示された方法によってメッキ
された軸受け面の表面状況を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a surface condition of a bearing surface plated by the method shown in the embodiment of the present invention.

【図5】光学走査装置に使用されるポリゴンミラーモー
タの要部断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view of essential parts of a polygon mirror motor used in an optical scanning device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ポリゴンミラー 2 第一の保持部材 3 第二の保持部材 21 マグネット 23 軸受け面 25a ポリテトラフルオロエチレンを分散させたニッ
ケル−燐メッキ(PTFE層) 31 コイル 35 軸受け面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Polygon mirror 2 1st holding member 3 2nd holding member 21 Magnet 23 Bearing surface 25a Nickel-phosphorus plating (PTFE layer) 31 in which polytetrafluoroethylene was dispersed 31 Coil 35 Bearing surface

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 マグネットを保持する第一の保持部材
と、コイルを保持する第二の保持部材とを流体を介して
軸受けする動圧軸受け部を有し、前記コイルに通電する
ことにより、上記第一の保持部材と第二の保持部材とを
相対回転させてなるモータにおいて、上記動圧軸受け部
の少なくとも一方の軸受け面に、ポリテトラフルオロエ
チレンを分散させたニッケル−燐メッキを施したことを
特徴とするモータ。
1. A dynamic pressure bearing portion for bearing a first holding member for holding a magnet and a second holding member for holding a coil through a fluid, and by energizing the coil, In a motor in which a first holding member and a second holding member are relatively rotated, at least one bearing surface of the dynamic pressure bearing portion is plated with nickel-phosphorus in which polytetrafluoroethylene is dispersed. A motor characterized by.
【請求項2】 光源からの光束を走査するポリゴンミラ
ーと、マグネットを保持する第一の保持部材とコイルを
保持する第二の保持部材とを流体を介して軸受けする動
圧軸受け部を有し、前記コイルに通電することにより、
上記第一の保持部材と第二の保持部材とを相対回転させ
てなるモータとを備え、上記ポリゴンミラーをこのモー
タで回転駆動するようになした光学走査装置において、
前記モータの動圧軸受け部の少なくとも一方の軸受け面
に、ポリテトラフルオロエチレンを分散させたニッケル
−燐メッキを施したことを特徴とする光学走査装置。
2. A dynamic pressure bearing portion for bearing a polygon mirror for scanning a light beam from a light source, a first holding member for holding a magnet and a second holding member for holding a coil through a fluid. By energizing the coil,
An optical scanning device comprising a motor configured to relatively rotate the first holding member and the second holding member, wherein the polygon mirror is rotationally driven by the motor,
An optical scanning device characterized in that nickel-phosphorus plating in which polytetrafluoroethylene is dispersed is applied to at least one bearing surface of a dynamic pressure bearing portion of the motor.
【請求項3】 請求項2の光学走査装置において、ポリ
テトラフルオロエチレンを分散させたニッケル−燐メッ
キの膜厚を10μm以下としたことを特徴とする光学走
査装置。
3. The optical scanning device according to claim 2, wherein the film thickness of nickel-phosphorus plating in which polytetrafluoroethylene is dispersed is set to 10 μm or less.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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