JPH0865950A

JPH0865950A - モータ及びモータを使用した光学走査装置

Info

Publication number: JPH0865950A
Application number: JP21671594A
Authority: JP
Inventors: Yasushi Mizusaki; 康史水嵜
Original assignee: Sankyo Seiki Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Nidec Instruments Corp
Priority date: 1994-08-19
Filing date: 1994-08-19
Publication date: 1996-03-08

Abstract

(57)【要約】【目的】長期間、安定した高速回転を維持し、かつ動
圧軸受け面間の接触による焼き付けが生じないようにす
る。【構成】モータは、マグネット２１を保持する第一の
保持部材２と、コイル３１を保持する第二の保持部材３
とを流体を介して軸受けする動圧軸受け部を有し、コイ
ル３１に通電することにより、第一の保持部材２と第二
の保持部材３とを相対回転させるようにしている。この
モータの動圧軸受け部は、第一の保持部材２の外周面２
３と第二の保持部材３の内周面３５とで構成され、両面
２３，３５の少なくとも一方の軸受け面に、ポリテトラ
フルオロエチレンを分散させたニッケル−燐メッキ２５
ａを施している。また、このモータには、光源からの光
束を走査するポリゴンミラー１が、第一の保持部材２の
小径部２４に取り付けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、動圧軸受けを有するモ
ータ及びそのモータでポリゴンミラーを回転駆動するよ
うにした光学走査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザ走査用モータ、磁気ドラム用モー
タ、ジャイロモータあるいは高速スピンドルモータのよ
うな高速で回転するモータ等には、高速回転を可能とす
るため、回転に伴って発生する動圧流体でロータ（回転
軸）部を支持する動圧流体軸受が採用されている。例え
ば、ポリゴンミラーを拘束回転させるレーザ走査用のモ
ータは、図５に示すように、ポリゴンミラー１と回転駆
動用のマグネット２１が取り付けられて回転する第一の
保持部材（ロータ）２と、駆動用のコイル３１を保持し
軸受部材となる第二の保持部材（ステータ）３とから成
り、僅かな隙間８を以て対向する第一の保持部材２の外
周面２３と第二の保持部材３の内周面３５との間で動圧
軸受が構成されている。第一の保持部材２には、更に、
ポリゴンミラー１の回転バランスを矯正するバランスプ
レート１１とスラストマグネット２２が取り付けられ、
第二の保持部材３には、スラストマグネット２２と協働
して第一の保持部材２に浮動力を発生させるためのスラ
ストマグネット３２と、第二の保持部材３の一部を構成
するステータコア３３とケース体３４とが取り付けられ
ている。なお、第二の保持部材３は、ホルダー４に嵌合
固定されている。

【０００３】この動圧流体軸受は、回転時に動圧を発生
させて回転軸を浮揚させて支持するため、回転軸と軸受
部材との間には、極めて狭い一定の軸受隙間が形成され
ている。このため、回転軸の外周面（軸受面）と軸受部
材の内周面（軸受面）とに不要な凸起が生じないように
精密に仕上げなければ、回転中に回転軸と軸受部材とが
接触して摩擦熱を発生し、接触部分の溶融により軸と軸
受が凝着する、いわゆる焼付現象を惹き起こす危険があ
る。この焼き付き現象は、一般には起動停止時の軸受負
荷能力の低い状態での接触による摩耗が焼付の引き金と
なるが、また外力を受けた際の振動等によって、高速回
転時に接触する場合にも起こる。

【０００４】一方、この種の高速回転モータにおいて
は、軽量化を図って立ち上がり時間を短くすると共に、
動圧軸受を構成する部分の内側に回転駆動用のマグネッ
ト２１と駆動用のコイル３１を配置してモータのコンパ
クト化と回転軸の振れや傾きを極力小さくすることが求
められる。このような構造の動圧軸受の場合、軸受の形
状・構造が複雑になるためアルミ合金を旋削加工する方
が加工コストの点で遥かに有利であることから、第一の
保持部材２と第二の保持部材３の双方をアルミニウムな
どで作成することが望まれている。

【０００５】そこで、アルミニウムの耐摩耗性等を向上
させるため、軸受部材となる第二の保持部材３の内周面
３５には硬質アルマイト処理、ロータとなる第一の保持
部材２の外周面２３にはＳｉＣ微粒子を含むＮｉ−Ｐ無
電解メッキが従来施されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、硬質ア
ルマイト処理とＳｉＣ微粒子を含むＮｉ−Ｐ無電解メッ
キを施す場合、両材料とも非常に硬度が高く耐摩耗性に
は優れるものの、めっき反応においては不純物ともいえ
るＳｉＣを多量に分散させたメッキ液であるため反応む
らを起こし易く皮膜に突起が発生することから、ロータ
となる第一の保持部材２の高回転中における衝撃や姿勢
変化による両面２３、３５の接触が焼き付けを起こす問
題を有している。そして、メッキの反応むらが起きない
ようにするには、工程管理を非常に厳しくする必要があ
り、しかも歩留まりが悪くなる。

【０００７】特に、光学走査装置のようにモータの動圧
軸受の外にポリゴンミラー１のような質量の大きな部材
を取り付ける場合には、ポリゴンミラー１の回転偏心や
取り付け作業の不安定性により、接触による焼き付けが
生じ易い。焼き付けが生じると、モータの発熱により周
辺の精密部材であるレンズ等への悪影響が出てくる危険
性が生ずる。

【０００８】本発明は、長期間、安定した高速回転を維
持し、かつ動圧軸受け面間の接触による焼き付けが生じ
ないモータを提供することを目的とする。また、本発明
は、動圧軸受け面間に焼き付けが生じないモータを使用
して長期間安定した品質を維持できる光学走査装置を提
供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
め、請求項１の発明は、マグネットを保持する第一の保
持部材と、コイルを保持する第二の保持部材とを流体を
介して軸受けする動圧軸受け部を有し、コイルに通電す
ることにより、第一の保持部材と第二の保持部材とを相
対回転させてなるモータにおいて、動圧軸受け部の少な
くとも一方の軸受け面に、ポリテトラフルオロエチレン
を分散させたニッケル−燐メッキを施している。

【００１０】また、請求項２の発明は、光源からの光束
を走査するポリゴンミラーと、マグネットを保持する第
一の保持部材とコイルを保持する第二の保持部材とを流
体を介して軸受けする動圧軸受け部を有し、コイルに通
電することにより第一の保持部材と第二の保持部材とを
相対回転させてなるモータとを備え、ポリゴンミラーを
このモータで回転駆動するようになした光学走査装置に
おいて、モータの動圧軸受け部の少なくとも一方の軸受
け面に、ポリテトラフルオロエチレンを分散させたニッ
ケル−燐メッキを施している。

【００１１】更に、請求項３の発明は、請求項２の光学
走査装置において、ポリテトラフルオロエチレンを分散
させたニッケル−燐メッキの膜厚を１０μｍ以下として
いる。

【００１２】

【作用】したがって、請求項１のモータでは、その軸受
け面に摩擦係数の低いポリテトラフルオロエチレンを分
散させたニッケル−燐メッキを施しているので、硬度が
高く、耐摩耗性に優れ、かつ摩擦係数の低い軸受けとす
ることができる。しかも、運転時、軸受け面間の接触に
よる部分的な発熱により、軸受け表面に析出したポリテ
トラフルオロエチレンが溶融し、潤滑皮膜を形成するの
で、摩擦係数が非常に低い軸受けとすることができる。
また、仮にその皮膜が摩耗してもメッキ中に析出したポ
リテトラフルオロエチレンが連続的に露出してくるの
で、低摩擦係数を維持することができる。

【００１３】加えて、請求項２の発明では、ポリゴンミ
ラーを駆動するモータとして、その軸受け面に摩擦係数
の低いポリテトラフルオロエチレンを分散させたニッケ
ル−燐メッキを施しているので、回転がロックされるこ
とによる無用な発熱での他の精密部品への悪影響や修理
作業が生じない。

【００１４】また、請求項３の発明では、同様に、回転
がロックされることによる無用な発熱での他の精密部品
への悪影響や修理作業が生じることがないうえに、メッ
キの膜厚を１０μｍ以下としているので、メッキ面の面
粗度が悪くならず、摩耗が生じにくい。また、仮にメッ
キ面が摩耗によりほとんど滅失しても、軸受け面間の寸
法精度は、１０μｍ以下の値のみの変化であり、動圧特
性への影響は少ない。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の構成を図面に示す実施例に基
づいて詳細に説明する。

【００１６】図１に本発明のモータおよび光学走査装置
の一実施例を示す。このモータは、図示しない光源から
の光束を、回転多面鏡であるポリゴンミラー１で反射さ
せ、図示しないＦθレンズ等の各種レンズにより感光ド
ラム上に微小のビーム径として収束させ、静電潜像を書
き込む光学走査装置に使用されるものである。

【００１７】このモータの主要構成は、従来と同様に、
ポリゴンミラー１と回転駆動用のマグネット２１が取り
付けられて回転する第一の保持部材２と、駆動用のコイ
ル３１を保持する第二の保持部材３とからなっている。
第一の保持部材２には、更に、ポリゴンミラー１の回転
バランスを矯正するバランスプレート１１とスラストマ
グネット２２が取り付けられ、第二の保持部材３には、
スラストマグネット２２と協働して第一の保持部材２に
浮動力を発生させるためのスラストマグネット３２と、
第二の保持部材３の一部を構成するステータコア３３と
ケース体３４とが取り付けられている。なお、第二の保
持部材３は、ホルダー４に嵌合固定されている。

【００１８】ポリゴンミラー１は、第一の保持部材２の
小径部２４にはめ込まれ、その小径部２４と大径部２５
とをつなぐ連結部２８に、ミラー１の平面部を突き当て
ることにより、位置決めされている。そして、バランス
プレート１１を、ネジ１４により、第一の保持部材２の
小径部２４に取り付けることにより、ミラー１は、ミラ
ー押さえ板１２と板バネ１３とを介して、バランスプレ
ート１１と連結部２８に挟み込まれ固定される。このバ
ランスプレート１１は、第一の保持部材２の加工誤差又
はポリゴンミラー１やマグネット２１等を取り付ける際
の組み付け誤差等により、回転体全体の重心位置が正規
な位置からずれた場合の調整部材である。その調整は、
バランスプレート１１の外周寄りの位置に、径や深さが
設定された一個又は複数個の凹孔１１ａを形成すること
により行われる。この調整により、ワウフラッタ等の振
動や軸受け面間の衝突等を解消し、減少させている。ま
た、このバランスプレート１１の中心付近には、後述す
る動圧軸受け部と連通し、モータ内部の空気を外部に逃
がす孔１１ｂが、外周端には、回転体全体を着脱する際
に使用する把持部１１ｃがそれぞれ設けられている。

【００１９】第一の保持部材２は、アルミ材で構成され
ており、その大径部２５の内周面にはヨーク２７を介し
て回転駆動用のマグネット２１が取り付けられ、大径部
２５のミラー１が取り付けられた面とは反対の面には周
波数発電機用マグネット２６が取り付けられている。第
一の保持部材２の外周面２３には、動圧発生用のくの字
状の複数の溝２９が設けられ、動圧軸受け部の軸受け面
の一方を構成している。この溝２９を含む外周面２３全
体には、後述する方法でポリテトラフルオロエチレンを
分散させたニッケル−燐メッキ２５ａが施されている。
第一の保持部材２の小径部２４の内周面には、第二の保
持部材３の一端に取り付けられたスラストマグネット３
２に対向する位置にスラストマグネット２２が取り付け
られており、両マグネット２２，３２の吸引力により、
第一の保持部材２は、第二の保持部材３に対し、スラス
ト方向について非接触な状態が維持される。この吸引力
は、両マグネット２２，３２の対向する磁極の極性を図
１に示されるように逆にすることで発生している。

【００２０】第二の保持部材３の一端に位置する最小径
部３ａには、上述したようにスラストマグネット３２が
スラストマグネット２２に対向するように、最小径部３
ａに隣接する小径部３ｂには、周波数発電機用回路基板
３６が周波数発電機用マグネット２６に対向するよう
に、小径部３ｂに隣接する中径部３ｃには、駆動用のコ
イル３１を保持し第二の保持部材３の一部を構成するス
テータコア３３がマグネット２１に対向するようにそれ
ぞれ取り付けられている。第二の保持部材３の他端に位
置する大径部３ｄには、第二の保持部材３の一部を構成
する円筒状のケース体３４が第一の保持部材２の外周面
２３に対し間隙８をもって囲む形で取り付けられてい
る。更に、大径部３ｄには、ケース体３４の取り付け面
と反対の面に、駆動コイル３１への通電用回路パターン
が形成された駆動用回路基板３７が取り付けられてい
る。

【００２１】ケース体３４は、アルミ材で構成されてお
り、ケース体３４には、軸方向に貫通する複数の通気孔
３４ａと、その通気孔３４ａと間隙８とを連通する複数
の連通孔３４ｂ（本実施例では内周面の対向する位置に
二つ設置）とが設けられている。このケース体３４の内
周面３５は、動圧軸受け部の軸受け面の他方を構成する
ものであり、その面は、後述する方法でポリテトラフル
オロエチレンを分散させたニッケル−燐メッキ２５ａが
施されている。ケース体３４は、ネジ７により、ホルダ
ー４に固定される。

【００２２】ホルダー４は、底付き円筒形状とされ、そ
の中心にケース体３４が入れられる。そして、ホルダー
４には、ホルダー４とケース体３４との間にできる空間
に連通する通気孔４ａと、第二の保持部材３に取り付け
られた駆動用回路基板３７に接する形でモータを載置す
る載置部４ｂと、ケース体３４の被固定部３４ｃが載置
される円形の固定部４ｃと、ケース体３４を固定するた
めにネジ７が入る孔４ｄが設けられている。

【００２３】図２に第一の保持部材２の外周面２３の表
面処理工程図を示す。まず、第一の保持部材２を水洗−
酸洗い−水洗の工程により表面を洗浄する。次に、第一
の保持部材２を、次亜燐酸ニッケル液にポリテトラフル
オロエチレンを分散させて得たメッキ材料中に浸漬し、
ポリテトラフルオロエチレンを分散させたニッケル−燐
メッキを無電解にて施す（以下、無電解Ｎｉ−Ｐ−ＰＴ
ＦＥメッキと呼ぶ）。この無電解Ｎｉ−Ｐ−ＰＴＦＥメ
ッキは、支持台９に未貫通の穴９１を設け、その穴９１
に第一の保持部材２の小径部２４を入れ、大径部２５の
外周面２３をメッキする。なお、この無電解Ｎｉ−Ｐ−
ＰＴＦＥメッキは、ポリテトラフルオロエチレンを２０
容積％以上含有し、ＰＨが５〜５．５で、かつ約９０℃
の液中で行われる。その後、水洗−乾燥の工程を経て表
面処理が終わる。なお、ケース体３４の内周面３５への
メッキも、使用する治具は異なるが、同様な工程で表面
処理される。

【００２４】上記表面処理工程によって得られた軸受け
面２３，３５は、一般的に行われているバレルメッキ方
法に比べ、メッキ面の凹凸が非常に少なくなる。即ち、
バレルメッキ方法では、かごの中に入れられた部材同士
がメッキの最中に接触するため、そのメッキ面は、大き
さは微小ではあるが、メッキがつかない部分を海島状に
有する状態となる。図３にその断面状態を示す。第一の
保持部材２の大径部２５は、アルミ材の素地上に、無電
解Ｎｉ−Ｐ−ＰＴＦＥメッキが施された層（以下、ＰＴ
ＦＥ層と呼ぶ）２５ａが載置される二層構造になってお
り、その構造により外周面２３が構成されている。ＰＴ
ＦＥ層２５ａのところどころにはメッキが付いていない
部分２５ｂがある。そしてメッキ面の表面に生じた凹凸
の差の平均（以下、面粗度と呼ぶ）は、大きくなり、い
わゆる面粗度が悪い状態となる。これに対し、上記の実
施例の工法では、メッキ面同志が接触することは無いの
で、そのメッキ面は、断面状態を示す図４に見られるよ
うに、メッキがつかない部分はほとんど無い状態とな
る。そして、ＰＴＦＥ層２５ａの厚さは、約５μｍとな
っている。ＰＴＦＥ層２５ａの厚さが、１０μｍを超す
と面粗度が悪くなり、摩耗の原因となる。また、隙間８
は約１０μｍを越えると動圧の発生が悪化してまうの
で、１０μｍを越える肉厚のＰＴＦＥ層２５ａを形成し
ても完全なＰＴＦＥ層が残っていても動圧軸受として機
能せずに無駄となることがある。そこで、ＰＴＦＥ層２
５ａの肉厚は１０μｍ以下とするのが好ましい。また、
ＰＴＦＥ層２５ａの摩耗を考慮すれば、このＰＴＦＥ層
２５ａを厚くすることは、間隙８の寸法精度の点でも好
ましいものではない。なお、このＰＴＦＥ層２５ａを
０．５μｍを下回る値にすると、面粗度上は好ましい
が、摩耗のためＰＴＦＥ層２５ａの役割が早く終わって
しまいがちなので、０．５μｍ以上とするのが好まし
い。また、仮にそのメッキ面が摩耗によりほとんど滅失
しても、軸受け面間の寸法精度は、１０μｍ以下の値の
みの変化であり、動圧特性への影響は少ない。なお、両
面２３，３５に、共に１０μｍのメッキを行うと計２０
μｍ以下の値の変化となり、軸受け面間の寸法精度上は
若干問題ではあるが、許容範囲内である。しかし、好ま
しくは、両面２３，３５のメッキ面の厚さを合わせて計
１０μｍ以下にするのが好ましい。

【００２５】次に、以上のように構成されたポリゴンミ
ラーモータの駆動について説明する。

【００２６】駆動用回路基板３７の駆動回路に駆動信号
が入力されると、駆動用のコイル３１への通電が開始さ
れる。そして、コイル３１とマグネット２１の相互作用
により、第二の保持部材３が回転し始め、それと一体固
定されているポリゴンミラー１も回転し始める。すると
動圧の媒体となる空気が、図１の矢印で示されるよう
に、ケース体３４に設けられた複数の通気孔３４ａから
連通孔３４ｂを通り、間隙８に取り込まれる。なお、こ
の空気は、図１の矢印で示されるように、ホルダー４の
通気孔４ａから取り込まれたもので、ケース体３４に取
り付けられたフィルター３８を通り、複数の通気孔３４
ａ内に入ってきたものである。間隙８に取り込まれた空
気は、動圧発生用のくの字状の複数の溝２９に供給さ
れ、ケース体３４の内周面３５との間で動圧力を発生し
ている。これにより、ラジアル方向の軸受けがなされる
と共に、ポリゴンミラー１の高速回転が達成される。こ
の回転は、通常、１〜３万ｒｐｍであるが、ポリゴンミ
ラー１の面数や印字密度等に合せ、数千ｒｐｍから１０
万ｒｐｍ程度まで対応が可能となっている。ポリゴンミ
ラー１が高速回転されると、ポリゴンミラー１の下部の
空気も粘性により外に飛ばされ、その部分が負圧とな
り、図１の矢印で示されるように、複数の通気孔３４ａ
内の空気と間隙８内の空気が取り込まれる。このように
して、連続した空気の流れができ、動圧による高速回転
が維持される。

【００２７】なお、駆動開始時のモータの姿勢や回転中
の外部からの衝撃、姿勢変化により、軸受け面２３，３
５が接触したとしても、その両面２３，３５に無電解Ｎ
ｉ−Ｐ−ＰＴＦＥメッキ２５ａが施されているので、摩
擦係数の低いポリテトラフルオロエチレンの効果によ
り、その両面２３，３５が焼き付くことはほとんどなく
なり、モータの回転が停止するという事態もなくなる。
そして、その両面２３，３５の接触がたびたび起こった
としても、その接触による部分的な発熱により、ポリテ
トラフルオロエチレンが溶融し、潤滑皮膜が形成される
ので、焼き付きは生じない。また、仮にＰＴＦＥ層２５
ａが摩耗しても、連続的にポリテトラフルオロエチレン
が露出してくるので、低摩擦係数を維持することができ
る。

【００２８】また、間隙８は、駆動用のコイル３１や各
種マグネット２１，２６，２２，３２，３６が存置され
る空間と連通しており、更には、バランスプレート１１
の孔１１ｂを介して外部と連通している。これにより、
図１の矢印で示されるような内部空間の空気流路が出来
る。そして、この内部空間に導入された空気は、動圧軸
受け部の空気の逃がしとモータの冷却という二つの役割
に加え、第一の保持部材２を正規位置に保持する役割を
担っている。即ち、第一の保持部材２に対して、軸方向
の外乱が加わり、第一の保持部材２が上方又は下方に変
位しようとすると、バランスプレート１１の孔１１ｂの
オリフィス効果により、その変位が抑止される。

【００２９】本実施例では、複数の通気孔３４ａを通る
空気の流れにより、モータの熱が奪われるので、ファン
等の部品を付加することなく、冷却効果を上げることが
出来る。本実施例のＰＴＦＥ層２５ａは、塗装と異な
り、無電解メッキにて処理されるので、被膜厚さのコン
トロ−ルができ、間隙８の寸法精度や軸受け面２３，３
５の面粗度が管理し易くなり、後加工も不要もしくは低
減される。

【００３０】なお、上述の実施例は、本発明の好適な実
施例の一例ではあるが、これに限定されるものではな
く、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実
施可能である。例えば、無電解Ｎｉ−Ｐ−ＰＴＦＥメッ
キの代わりにポリテトラフルオロエチレンを分散した無
電解ニッケル−ほう素メッキでも同様に焼き付きが防止
される。また、無電解Ｎｉ−Ｐ−ＰＴＦＥメッキを施し
たした後、熱処理を行うことによって、ベースとなるＮ
ｉ−Ｐ膜の更なる硬度アップが可能となる。また、熱処
理の温度によっては、ポリテトラフルオロエチレンのみ
が溶融し、ベースとなるＮｉ−Ｐ膜を覆うこととなり、
面粗度が良くなる。

【００３１】更に、上述の実施例では、両軸受け面２
３，３５に無電解Ｎｉ−Ｐ−ＰＴＦＥメッキが施されて
おり、焼き付き防止の面で非常に優れたものとなってい
るが、両軸受け面２３，３５の一方のみに無電解Ｎｉ−
Ｐ−ＰＴＦＥメッキを施し、他方には、従来のシリカ微
粒子を含むニッケル−燐無電解メッキや硬質アルマイト
処理をしたものであっても、従来構成に比べ、焼き付き
防止の改善効果がある。また、無電解Ｎｉ−Ｐ−ＰＴＦ
Ｅメッキを施す際、そのメッキの密着力を向上させるた
め、アルミ材の素地上に下地メッキとしてニッケル−燐
メッキを無電解等によりメッキした上にこの無電解Ｎｉ
−Ｐ−ＰＴＦＥメッキを施しても良い。更には、従来の
シリカ微粒子を含むニッケル−燐無電解メッキや硬質ア
ルマイト処理をしたものに、この無電解Ｎｉ−Ｐ−ＰＴ
ＦＥメッキを施しても良い。

【００３２】第一の保持部材２やケース体３４は、アル
ミ材ではなく、ステンレスやＳＫ材などでも良いが、ア
ルミ材が加工性や駆動性等の面で優れており、コスト低
減が可能となる。また、第二の保持部材３の一部がステ
ータコア３３やケース体３４とされ、第二の保持部材３
は、三つの別部材となっているが、一部又は全部を一体
化し、二部材又は一部材としても良い。

【００３３】また、動圧を発生させる流体としては、空
気等の気体ではなく、油等の液体でも良い。実施例で
は、マグネットを保持する第一の保持部材を回転させて
いるが、コイルを保持する第二の保持部材を回転させる
ようにしても良い。

【００３４】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、請求項
１の発明のモータでは、その軸受け面に摩擦係数の低い
ポリテトラフルオロエチレンを分散させたニッケル−燐
メッキを施しているので、硬度が高く、耐摩耗性に優
れ、かつ摩擦係数の低い軸受けとすることができる。し
かも、運転時、軸受け面間の接触による部分的な発熱に
より、軸受け表面のポリテトラフルオロエチレンが溶融
し、潤滑皮膜を形成するので、摩擦係数が非常に低い軸
受けとすることができる。また、仮にその皮膜が摩耗し
てもポリテトラフルオロエチレンが連続的に露出してく
るので、低摩擦係数を維持する事が出来る。このため、
長期間、安定した高速回転を維持し、かつ軸受け面間の
接触による焼き付けが生じないモータを提供することが
できる。

【００３５】加えて、請求項２の発明では、ポリゴンミ
ラーを駆動するモータの軸受け面に摩擦係数の低いポリ
テトラフルオロエチレンを分散させたニッケル−燐メッ
キを施しているので、回転がロックされることによる無
用な発熱で、装置内の他の精密部品へ悪影響を及ぼすこ
とはなくなり、余分な修理作業も生じない。このため、
長期間安定した品質を維持できる光学走査装置を提供す
ることができる。

【００３６】また、請求項３の発明では、更に、ポリテ
トラフルオロエチレンを分散させたニッケル−燐メッキ
の膜厚を１０μｍ以下としているので、メッキ面の面粗
度が悪くならず、摩耗が生じにくい。また、仮にそのメ
ッキ面が摩耗によりほとんど滅失しても、軸受け面間の
寸法精度は、１０μｍ以下の値のみの変化であり、動圧
特性への影響は少ない。このため、より一層安定した品
質を維持できる光学走査装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の要部の一部切欠き断面図であ
る。

【図２】本発明の実施例で使用されている軸受け面の表
面処理工程図である。

【図３】バレルメッキ方法でメッキされた軸受け面の表
面状況を示す断面図である。

【図４】本発明の実施例で示された方法によってメッキ
された軸受け面の表面状況を示す断面図である。

【図５】光学走査装置に使用されるポリゴンミラーモー
タの要部断面図である。

【符号の説明】

１ポリゴンミラー２第一の保持部材３第二の保持部材２１マグネット２３軸受け面２５ａポリテトラフルオロエチレンを分散させたニッ
ケル−燐メッキ（ＰＴＦＥ層）３１コイル３５軸受け面

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】マグネットを保持する第一の保持部材
と、コイルを保持する第二の保持部材とを流体を介して
軸受けする動圧軸受け部を有し、前記コイルに通電する
ことにより、上記第一の保持部材と第二の保持部材とを
相対回転させてなるモータにおいて、上記動圧軸受け部
の少なくとも一方の軸受け面に、ポリテトラフルオロエ
チレンを分散させたニッケル−燐メッキを施したことを
特徴とするモータ。
【請求項２】光源からの光束を走査するポリゴンミラ
ーと、マグネットを保持する第一の保持部材とコイルを
保持する第二の保持部材とを流体を介して軸受けする動
圧軸受け部を有し、前記コイルに通電することにより、
上記第一の保持部材と第二の保持部材とを相対回転させ
てなるモータとを備え、上記ポリゴンミラーをこのモー
タで回転駆動するようになした光学走査装置において、
前記モータの動圧軸受け部の少なくとも一方の軸受け面
に、ポリテトラフルオロエチレンを分散させたニッケル
−燐メッキを施したことを特徴とする光学走査装置。
【請求項３】請求項２の光学走査装置において、ポリ
テトラフルオロエチレンを分散させたニッケル−燐メッ
キの膜厚を１０μｍ以下としたことを特徴とする光学走
査装置。