JPH086644A - 数値制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 トルク指令値を補正することで制御対象の挙
動を安定させ、ワークの加工精度を向上させることがで
きる工作機械の数値制御装置を提供する。 【構成】 トルク指令値を補正する補正トルク値演算部
３は、加工周期毎に補正トルク値ＳＴＦＣＩ（ＳＴＦＣ
Ｏ）が更新されるように補正トルク値ＳＴＦＣＩを算出
する。次加工周期に前加工周期で算出した補正トルク値
ＳＴＦＣＯをフィードフォワード制御値としてトルク指
令値ＳＴに加え込む。また、トルク指令値ＳＴと速度検
出値ＳＶＤとから外乱トルク推定値を算出する外乱トル
ク推定部及び位置指令値ＳＰと位置検出値ＳＰＤＦとの
位置誤差値より位置誤差トルク推定値を算出する位置誤
差値トルク推定部を有し、外乱トルク推定値と位置誤差
トルク推定値より補正トルク値ＳＴＦＣＩを算出する。
更に、位置誤差値から関数発生を行なう関数発生部が備
えられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は工作機械の数値制御装置
に関するものであり、特に繰り返し制御時のトルク指令
値を補正し制御対象の挙動を安定させることにより、加
工精度を向上させる機能を有する送り軸数値制御装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】工作機械の送り軸制御を行なう数値制御
装置の該略を示したブロック図を図８に示す。主制御装
置４から出力される位置指令値ＳＰと位置検出値ＳＰＤ
により減算器１４で位置誤差値を算出する。位置制御部
１は前記位置誤差値に位置ループゲインを乗じ速度指令
値ＳＶとして減算器１５に出力する。また減算器１５に
は速度検出値ＳＶＤを入力し速度誤差を算出し、該速度
誤差に応じて速度制御部２でトルク指令値ＳＴを算出す
る。そして電力増幅部８では該トルク指令値ＳＴに応じ
た電流でモータ９を駆動する。モータ９には位置検出器
１２が取付けられ、テーブル１０には別置きの位置検出
器１３が取付けられており、それぞれの位置検出値ＳＰ
ＤＳ、ＳＰＤＦより位置検出値ＳＰＤを算出する位置検
出部６と位置検出値ＳＰＤＳより速度検出値ＳＶＤを算
出する速度検出部７を備えている。加工精度を向上させ
るための手段として、フルクローズド位置検出値ＳＰＤ
Ｆと位置指令値ＳＰとの位置誤差値を位置偏差演算部８
１で算出を行ない、位置指令値ＳＰに該位置誤差値に対
して数値処理（フィルタ処理や位相整合）を行なった数
値である補正位置指令値ＳＰＣを加え込み、主制御装置
４より位置指令値ＳＰ＋位置指令値補正分ＳＰＣ＝補正
位置指令ＳＰ’を指令する方法がとられている。なお、
この補正工程は加工中、加工周期毎に行なわれるもので
はなく、加工前に制御系とはオフラインで加工周期数回
分行なわれる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の数値制御装置により周期的目標値を繰り返し制
御を行なう場合、位置指令値を補正した後で速度検出部
のリップルやトルクの変動（主に摺動トルク、イナーシ
ャの変動、モータ制御の不安定さに起因する外乱）が軌
跡誤差として加工ワーク表面上に現われ、リップルマー
クなど面粗さの低下や加工精度の低下が発生するという
問題点がある。また、補正をメジャーループ（制御周期
が長い）である位置制御ループに対して行なう為、マイ
ナーループ（制御周期が短い）である速度制御ループや
電流制御ループで発生する外乱に対して効果が薄く、位
置補正値自体にメジャーループで発生する外乱成分が重
畳してしまうという欠点や、オフラインで位置指令値の
補正を行なう為、補正を行なうための無駄な工数が発生
するという欠点がある。本発明は上述した事情から成さ
れたものであり、本発明の目的は繰り返し制御を行なう
場合のトルク指令値を補正することで制御対象の挙動を
安定させ、ワークの加工精度を向上させることができる
工作機械の数値制御装置を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
めに、請求項１記載の発明は、主制御装置からの位置指
令値と制御対象からの位置検出値とから位置誤差値を算
出し位置制御を行なう位置制御部と、該位置誤差値と、
該位置検出値と、から算出される速度検出値から速度誤
差値を算出し速度制御を行なう速度制御部と、該速度制
御部から出力されるトルク指令値を電流指令値に変換す
る電力増幅部と、制御対象の位置を検出する位置検出器
と、を有し、周期的目標値の繰り返し制御を行なう数値
制御装置において、該位置指令値と該位置検出値と該速
度検出値と該トルク指令値とからトルク値を補正し補正
トルク値を加工周期毎に算出する補正トルク値演算手段
を有し、前加工周期において算出された該補正トルク値
を次加工周期にフィードフォワード制御値として該トル
ク指令値に加え込むことを特徴とする。請求項２記載の
発明は、請求項１記載の数値制御装置において、前記補
正トルク値演算手段は、該トルク指令値と該速度検出値
とからトルク偏差値を推定する外乱トルク推定手段を有
することを特徴とする。請求項３記載の発明は、請求項
１記載の数値制御装置において、前記補正トルク値演算
手段は、該位置指令値と該位置検出値との位置誤差値よ
りトルク偏差値を推定する位置誤差値トルク推定手段を
有することを特徴とする。請求項４記載の発明は、請求
項１記載の数値制御装置において、前記補正トルク値演
算手段は、該位置誤差値に基づいて関数発生を行なう関
数発生部を有することを特徴とする。請求項５記載の発
明は、請求項１記載の数値制御装置において、前記補正
トルク値演算手段は、該トルク指令値と該速度検出値と
から推定した第１のトルク偏差値と、該位置指令値と該
位置検出値との位置誤差値より推定した第２のトルク偏
差値と、により前記補正トルク値を算出する数値処理部
を有することを特徴とする。

【０００５】

【作用】本発明にあっては繰り返し制御時、加工周期毎
にトルクの変動（主に摺動トルク、イナーシャの変動、
モータ制御の不安定さなどに起因する外乱）を推定で
き、さらにサーボ系の制御遅れや検出器のリップルによ
る位置誤差より関数を発生させることにより位置誤差ト
ルク推定値とし、前記トルク変動推定値と共にトルク指
令値にフィードフォワード制御値として加えるようにし
た為、制御対象の挙動を安定させることができる。ま
た、一連の補正工程をオンラインで行なえる。

【０００６】

【実施例】以下、図面に基づいて本発明に係る数値制御
装置について説明する。図１は、本発明の数値制御装置
の一例を図８に対応させて示すブロック図である。な
お、図８で使用する同じ番号のブロック及び同じ記号の
信号は同様の機能、内容である。従って、加工精度を向
上させるための手段以外は図８と同様なので説明を省略
する。補正トルク値演算部３にはテーブル１０に取付け
られた位置検出器１３により検出されたフルクローズド
位置検出値ＳＰＤＦと位置指令値ＳＰが入力される。ま
た、モータ９に取付けられた位置検出器１２により検出
されたセミクローズド位置検出値ＳＰＤＳより速度検出
部７を介して速度検出値ＳＶＤと、速度制御部２で算出
されたトルク指令値ＳＴにフィードフォワードゲイン補
正部５によりフィードフォワードゲインＫfc倍された補
正トルク値ＳＴＦＣＯが加算器１６に入力され算出され
た補正トルク指令値ＳＴ’が入力される。フィードフォ
ワードゲインＫfcは、０〜１００％の間で可変であり、
フィードフォワード制御値としてトルク指令値ＳＴに加
え込まれる補正トルク値ＳＴＦＣＯの値を加減できる。
このように、補正トルク値演算部３は、上記位置指令値
ＳＰ、フルクローズド位置検出値ＳＰＤＦ、補正トルク
指令値ＳＴ’、そして速度検出値ＳＶＤが入力されると
補正トルク値ＳＴＦＣＩを加工周期毎に算出する補正ト
ルク値演算手段であり、補正トルク値ＳＴＦＣＩを主制
御装置４に転送する。主制御装置４でフィルタ処理およ
び位相整合（図６参照）された補正トルク値ＳＴＦＣＯ
がフィードフォワードゲインＫfcを乗じて、トルク指令
値ＳＴと加算器１６により加算される。なお補正トルク
値の表記に２種類（ＳＴＦＣＯ、ＳＴＦＣＩ）あるの
は、主制御装置内でＳＴＦＣＩがフィルタ処理及び位相
整合された後にＳＴＦＣＯとして出力される為、便宜上
区別した。

【０００７】図２は本発明の補正トルク値演算部３の内
部を示したブロック図である。補正トルク値演算部３に
おける内部処理は、大きく分けて２つのブロックに分れ
る。１つはトルク指令値、本実施例においては補正トル
ク値ＳＴ’と速度検出値ＳＶＤとからトルク偏差値を推
定する外乱トルク推定手段としての外乱トルク推定部２
２であり、もう１つは位置指令値ＳＰとフルクローズド
位置検出値ＳＰＤＦとの位置誤差値よりトルク偏差値を
推定する位置誤差値トルク推定手段としての位置誤差値
トルク推定部２１である。外乱トルク推定部２２は、ま
ず、入力された補正トルク指令値ＳＴ’にトルク係数Ｋ
t を乗じ、実トルク値を算出の後、速度検出部７で算出
された速度検出値ＳＶＤに摺動摩擦係数Ｆ＋イナーシャ
Ｊ・ラプラス演算子Ｓ（Ｓは時間微分を意味する。）を
乗じた値にて減算器２２６で減算することにより、摺動
摩擦トルク変動分とイナーシャによるトルク変動分およ
びモータ制御の不安定トルク分が推定できる。サーボ性
能以上の周波数を含む信号をそのまま使用すると制御系
が不安定になるため、ローパスフィルタ（ＬＰＦ）２２
３にて処理を行なう。また、トルク定数演算部２２４に
おいてディメンジョンをトルク指令値ＳＴ’と揃えるた
めトルク定数Ｋt にて除算を行なう。さらに、ゲイン
（１ーＫd ）を乗じて、外乱トルク推定値ＳＴＯＢとし
数値処理部２３に出力する。また、位置誤差値トルク推
定部２１に入力されるフルクローズド位置検出値ＳＰＤ
Ｆには通常ノイズ成分が含まれるため、ローパスフィル
タ（ＬＰＦ）２１１によりノイズ成分を除去し、フィル
タによる位相遅れを位相整合器２１２にて行なう。ノイ
ズ除去されたフルクローズド位置検出値ＳＰＤＦと位置
指令値ＳＰを減算器２１５に入力し、位置誤差値ＳＤを
得る。位置誤差値ＳＤにより関数発生部２１３でトルク
指令値ＳＴと同じディメンジョンの位置誤差トルク推定
値ＳＴＤが出力され、ゲインＫd を乗じて位置誤差トル
ク推定値ＳＴＤＩとして数値処理部２３に出力される。
なお、外乱トルク推定部２２と位置誤差値トルク推定部
２１から出力される各トルク値ＳＴＯＢ、ＳＴＤＩにゲ
イン（Ｋd および１ーＫd ）が乗じてあるのは、各推定
部からの出力に重み付けを行なうためである。例えば、
位置誤差トルク推定値ＳＴＤＩの値を重視する場合、Ｋ
d ＝８０％とすると外乱トルク推定値ＳＴＯＢのゲイン
は１ー０．８＝０．２；つまり２０％となり、位置誤差
トルク推定値ＳＴＤＩ：外乱トルク推定値ＳＴＯＢは
８：２の割合で重み付けされる。次に、数値処理部２３
に第１のトルク偏差値としての外乱トルク推定値ＳＴＯ
Ｂと第２のトルク偏差値としての位置誤差トルク推定値
ＳＴＤＩとを入力し、補正トルク値ＳＴＦＣＩを出力す
る。位置誤差トルク推定値ＳＴＤＩは、外乱トルク推定
値ＳＴＯＢを包含している場合が多く、通常Ｋd を５０
％以上で使用する。ゲインＫd は制御対象の状況やサー
ボ調整者の目的により、調整される。

【０００８】図３は図２で示した数値処理部２３の構成
を示したブロック図である。数値処理部２３に外乱トル
ク推定値ＳＴＯＢと位置誤差トルク推定値ＳＴＤＩとが
入力され、加算器３５と減算器３６とにそれぞれの値が
入力される。加算器３５による出力は、符号判定器３３
と演算器３７とに出力される。また、減算器３６からの
出力は絶対値化され、スイッチ３４に出力される。符号
判定器３３は、符号判定によりスイッチ３４のＰ側、Ｎ
側の切り替えを行なう。この符号判定による切り替わり
の条件は任意に設定が可能である。スイッチ３４がＰ側
の場合、演算器３７は加算器として働き、Ｎ側の場合、
演算器３７は減算器として働く機能を持つ。演算器３７
からの出力は１／２にされた後、補正トルク値ＳＴＦＣ
Ｉとして出力される。

【０００９】図４に数値処理部２３による補正トルク演
算処理結果の例を示す。Ｘ軸には制御位置（時刻）、Ｙ
軸はトルクを示してある。以下図に従って説明する。図
４（ａ）には、外乱トルク推定部２２からの出力である
外乱トルク推定値ＳＴＯＢと位置誤差値トルク推定部２
１からの出力である位置誤差トルク推定値ＳＴＤＩとが
示されてある。図４（ｂ）は図３の符号判定器３３の条
件を、外乱トルク推定値ＳＴＯＢ＋位置誤差トルク推定
値ＳＴＤＩ≦０の場合はスイッチ３４をＮ側に、外乱ト
ルク推定値ＳＴＯＢ＋位置誤差トルク推定値ＳＴＤＩ＞
０の場合はスイッチ３４をＰ側に切り替わるように設定
した場合の補正トルク値ＳＴＦＣＩを示す。これからわ
かるように上記条件の場合、同位置（時刻）の各トルク
推定値の絶対値の大きい方を選択することがわかる。動
的に補正量をかける場合にこの条件を選択することが多
い。図４（ｃ）は図３の符号判定器３３の条件を、外乱
トルク推定値ＳＴＯＢ＋位置誤差トルク推定値ＳＴＤＩ
＞０の場合はスイッチ３４をＮ側に、外乱トルク推定値
ＳＴＯＢ＋位置誤差トルク推定値ＳＴＤＩ≦０の場合は
スイッチ３４をＰ側に切り替わるように設定した場合の
補正トルク値ＳＴＦＣＩを示す。この条件では、同位置
（時刻）の各トルク推定値の絶対値の小さい方の値を選
択する。図４（ｄ）は図３のスイッチ３４をオープン
（Ｎ側、Ｐ側に切り替わらないように符号判定器３３を
設定）にした場合の補正トルク値ＳＴＦＣＩである。こ
の条件を選択すると、（外乱トルク推定値ＳＴＯＢ＋位
置誤差トルク推定値ＳＴＤＩ）／２の値が出力されるた
め、外乱トルク推定値ＳＴＯＢと位置誤差トルク推定値
ＳＴＤＩの中間値を補正トルク値ＳＴＦＣＩとして使用
できる。

【００１０】図５は図２の位置誤差値トルク推定部２１
内の関数発生部２１３の構成を示すブロック図である。
この関数発生部２１３は、位置誤差値に基づいて関数発
生を行なう。まず、位置誤差値ＳＤがローパスフィルタ
４１と積分器４５に入力される。位置誤差値ＳＤはロー
パスフィルタ４１でノイズを除去すると共にサーボ性能
以上の周波数を低減させる処理が行なわれ、また定常偏
差を除去するため積分器４５で時間積分し、それぞれ加
算器４６にて加算される。通常位置誤差値ＳＤを扱う位
置制御ループよりもトルク指令値ＳＴを扱う速度及び電
流制御ループの制御周期は短いため、位置誤差値ＳＤを
補間器４２により補間処理（補間処理の一例としてスプ
ライン関数を使用し数値補間をする）を行なうことで速
度及び電流制御ループで扱える値（同じ制御周期の値）
とする。次にラプラス演算子Ｓの二乗（時間の２回微
分）を乗じ、位相整合器４４により位相合わせを行ない
位置誤差トルク推定値ＳＴＤを出力する。

【００１１】図６は補正トルク値ＳＴＦＣＩを入力し補
正トルク値ＳＴＦＣＯを出力する主制御装置４の構成を
示すブロック図である。主制御装置４は、位置指令値Ｓ
Ｐを記憶するメモリ５５を備え、ここより位置指令値Ｓ
Ｐを出力する。またバッファメモリ５４には補正トルク
値演算部３で算出された補正トルク値ＳＴＦＣＩが入力
される。このバッファメモリ５４は、ローパスフィルタ
５３による処理、位相整合器５２による処理を行なうた
めに使用される。ローパスフィルタ処理、位相整合処理
が行なわれた後の補正トルク値ＳＴＦＣＯはメモリ５１
に保存され、位置指令値ＳＰに対応した補正トルク値Ｓ
ＴＦＣＯが出力される。

【００１２】図７に本実施例に係る数値制御装置を使用
した場合の効果を従来の数値制御器を使用した場合と比
較して示す。Ｘ軸は制御位置（時刻）、Ｙ軸は制御対象
のフルクローズド検出位置と位置指令値との位置誤差値
を示す。図７（ａ）は、従来の数値制御装置を使用した
場合の制御対象の位置誤差を示しており、最大約±８μ
ｍ程度の位置誤差値が発生する。また大きな脈動も生じ
ている。この場合、加工ワーク表面にも位置誤差値と同
様の脈動が現われ、問題となることが多い。この原因は
速度フィードバックに使用している位置検出器１２の脈
動が大きく影響しているものと思われる。速度フィード
バックに使用する速度検出値ＳＶＤは位置検出値ＳＰＤ
Ｓを微分して作成する為、速度検出値ＳＶＤに脈動があ
る場合、微分を行なうことで脈動の振幅が大きくなる。
特に高次数の脈動が大きくなることが推測されるが、サ
ーボ性能以上の周波数成分は制御器でフィルタリングさ
れてしまい、検出器１回転あたり数１０周期のリップル
が実際に問題となることが多い。このことより位置誤差
値ＳＤを位置指令値ＳＰに対して直接補正を行なっても
効果が薄いことが言える。図７（ｂ）は、本発明の数値
制御装置を使用した場合の制御対象の位置誤差を示して
ある。位置誤差値は約±１μｍ程度にまで抑えらること
がわかる。また脈動も低減されている。

【００１３】なお、本発明は前述の図１から図６に示し
た本実施例に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱
しない範囲での下記のような変形を行なってもよい。 （１）本実施例の補正トルク値は主制御装置から転送せ
ず、補正トルク値演算部３内にメモリを持ち、該メモリ
より主制御装置４からの位置指令値ＳＰに同期した補正
トルク値ＳＴＦＣＯを出力してもよい。 （２）本実施例では離散系の制御装置で説明を行なった
が連続系制御装置でもよい。 （３）本実施例の説明では関数発生部２１３内の処理に
おいてローパスフィルタ４１を用いたが この部分の処
理は離散系制御装置においては重み付け平均、移動平均
などの手法を用いてもよい。 （４）本実施例の補正トルク値演算部３内の数値処理に
おいて、位置誤差トルク推定値ＳＴＤＩと外乱トルク推
定値ＳＴＯＢの和や差を直接算出する方式でもよい。 （５）本実施例では、実加工中、加工周期毎に補正トル
ク値ＳＴＦＣＯが更新するように扱ったが、加工前、加
工周期毎に位置誤差値ＳＤが小さくなるよう補正トルク
値ＳＴＦＣＯを算出し、トルクフィードフォワード制御
値（＝補正トルク値ＳＴＦＣＯ）を固定値として扱って
もよい。

【００１４】

【発明の効果】以上述べてきたように、本発明で示す数
値制御装置によれば繰り返し制御時、加工周期毎にトル
クの変動（主に摺動トルク、イナーシャの変動、モータ
制御の不安定さなどに起因する外乱）を推定でき、さら
にサーボ系の制御遅れや速度検出部のリップルによる位
置誤差より関数を発生させることにより位置誤差トルク
推定値とし、前記トルク変動推定値と共にトルク指令値
にフィードフォワード制御値として加えるようにした
為、制御対象の挙動を安定させることができるため、ワ
ークの加工精度を向上させることができる。また、一連
の補正工程をオンラインで行なえるため、工数の削減に
つながる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る数値制御装置の一例を示すブロ
ック図である。

【図２】 本発明に係る数値制御装置の補正トルク演算
部の一例を示すブロック図である。

【図３】 図２に示した数値処理部の構成を示すブロッ
ク図である。

【図４】 本実施例における補正トルク演算処理結果の
一例を示す図である。

【図５】 図２に示した関数発生部の構成を示すブロッ
ク図である。

【図６】 本実施例における主制御装置の構成を示すブ
ロック図である。

【図７】 従来と本発明の数値制御装置の効果の一例を
示す図である。

【図８】 従来の数値制御装置の構成を示すブロック図
である。

【符号の説明】

１ 位置制御部 ２ 速度制御部 ３ 補正トルク値演算部 ４ 主制御装置 ５ フィードフォワードゲイン補正部 ６ 位置検出部 ７ 速度検出部 ８ 電力増幅部 ９ モータ １０ テーブル １１ ボールネジ １２、１３ 位置検出器 １４、１５、３６、２１５、２２６ 減算器 １６、３５、４６ 加算器 ２１ 位置誤差値トルク推定部 ２２ 外乱トルク推定部 ２３ 数値処理部 ３３ 符号判定器 ３４ スイッチ ３７ 演算器 ４１、５３、２１１、２２３ ローパスフィルタ ４２ 補間器 ４４、５２、２１２ 位相整合器 ４５ 積分器 ５１、５５ メモリ ５４ バッファメモリ ６１、６２、６３、６４、６５ トルク波形 ７１、７２ 位置誤差値波形 ８１ 位置偏差演算部 ２１３ 関数発生部 ２２４ トルク定数演算部 ＳＰ 位置指令値 ＳＰ’補正後位置指令値 ＳＶ 速度指令値 ＳＴ トルク指令値 ＳＴ’補正トルク指令値 ＳＰＤ 位置検出値 ＳＶＤ 速度検出値 ＳＰＤＳ セミクローズド位置検出値 ＳＰＤＦ フルクローズド位置検出値 ＳＴＦＣＩ 補正トルク値 ＳＴＦＣＯ 補正トルク値 ＳＤ 位置誤差値 ＳＴＤ 位置誤差トルク推定値 ＳＴＯＢ 外乱トルク推定値 ＳＴＤＩ 位置誤差トルク推定値（ゲインＫd ×ＳＴ
Ｄ） ＳＰＣ 位置誤差補正量

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 主制御装置からの位置指令値と制御対象
   からの位置検出値とから位置誤差値を算出し位置制御を
   行なう位置制御部と、 該位置誤差値と、該位置検出値から算出される速度検出
   値と、から速度誤差値を算出し速度制御を行なう速度制
   御部と、 該速度制御部から出力されるトルク指令値を電流指令値
   に変換する電力増幅部と、 制御対象の位置を検出する位置検出器と、 を有し、周期的目標値の繰り返し制御を行なう数値制御
   装置において、 該位置指令値と該位置検出値と該速度検出値と該トルク
   指令値とからトルク値を補正し補正トルク値を加工周期
   毎に算出する補正トルク値演算手段を有し、 前加工周期において算出された該補正トルク値を次加工
   周期にフィードフォワード制御値として該トルク指令値
   に加え込むことを特徴とする数値制御装置。
2. 【請求項２】 前記補正トルク値演算手段は、該トルク
   指令値と該速度検出値とからトルク偏差値を推定する外
   乱トルク推定手段を有することを特徴とする請求項１記
   載の数値制御装置。
3. 【請求項３】 前記補正トルク値演算手段は、該位置指
   令値と該位置検出値との位置誤差値よりトルク偏差値を
   推定する位置誤差値トルク推定手段を有することを特徴
   とする請求項１記載の数値制御装置。
4. 【請求項４】 前記補正トルク値演算手段は、該位置誤
   差値に基づいて関数発生を行なう関数発生部を有するこ
   とを特徴とする請求項１記載の数値制御装置。
5. 【請求項５】 前記補正トルク値演算手段は、該トルク
   指令値と該速度検出値とから推定した第１のトルク偏差
   値と、該位置指令値と該位置検出値との位置誤差値より
   推定した第２のトルク偏差値と、により前記補正トルク
   値を算出する数値処理部を有することを特徴とする請求
   項１記載の数値制御装置。