JPH0868936A - アフォ−カル結像光学装置およびその光学装置を用いたレ−ザ装置 - Google Patents
アフォ−カル結像光学装置およびその光学装置を用いたレ−ザ装置Info
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- JPH0868936A JPH0868936A JP20662694A JP20662694A JPH0868936A JP H0868936 A JPH0868936 A JP H0868936A JP 20662694 A JP20662694 A JP 20662694A JP 20662694 A JP20662694 A JP 20662694A JP H0868936 A JPH0868936 A JP H0868936A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 この発明は光学系の全長を短くでき、しかも
転送距離を長くできるようにしたアフォ−カル結像光学
装置を提供することにある。 【構成】 所定の物体面Aの像を倍率Mで変換して所定
の結像面Bに転送するアフォ−カル結像光学装置におい
て、上記物体面と上記結像面との間には焦点距離がf
1 、f2 、f3 に設定された第1乃至第3の3つの光学
素子11〜13が所定の設定条件で同一光軸上に順次配
置されてなることを特徴とする。
転送距離を長くできるようにしたアフォ−カル結像光学
装置を提供することにある。 【構成】 所定の物体面Aの像を倍率Mで変換して所定
の結像面Bに転送するアフォ−カル結像光学装置におい
て、上記物体面と上記結像面との間には焦点距離がf
1 、f2 、f3 に設定された第1乃至第3の3つの光学
素子11〜13が所定の設定条件で同一光軸上に順次配
置されてなることを特徴とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は望遠鏡やビ−ム成形光
学系などに用いられるアフォ−カル結像光学装置および
その光学装置を用いたレ−ザ装置に関する。
学系などに用いられるアフォ−カル結像光学装置および
その光学装置を用いたレ−ザ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のアフォ−カル結像光学装置は、図
7に示すように焦点距離がfa とfbの第1のレンズ1
と第2のレンズ2を同一光軸上に所定の間隔で配置して
なり、物体面Aの物体の像を結像面Bに倍率Mで転送す
る機能を有している。このときの結像条件は、2つのレ
ンズ1、2の配置条件をつぎのように選ぶことで実現さ
れる。
7に示すように焦点距離がfa とfbの第1のレンズ1
と第2のレンズ2を同一光軸上に所定の間隔で配置して
なり、物体面Aの物体の像を結像面Bに倍率Mで転送す
る機能を有している。このときの結像条件は、2つのレ
ンズ1、2の配置条件をつぎのように選ぶことで実現さ
れる。
【0003】 da =d …(1)式 db =fa +fb …(2)式 dc =(1−M)・fb −M2 ・d …(3)式 M=−fb /fa …(4)式 ただし、 da ;物体面Aと第1のレンズ1間の距離、 db ;第1のレンズ1と第2のレンズ2との間の距離、 dc ;第2のレンズ2と結像面Bとの間の距離、 M ;結像倍率、 fa ;第1のレンズ1の焦点距離、 fb ;第2のレンズ2の焦点距離 である。
【0004】ところで、このような2つのレンズ1、2
から構成されたアフォ−カル結像光学装置によると、転
送像は物体像の倒立像となっている。そのため、正立像
を得るためには2つの結像光学装置を直列に配置しなけ
ればならないから、装置が大型化するということがあっ
た。
から構成されたアフォ−カル結像光学装置によると、転
送像は物体像の倒立像となっている。そのため、正立像
を得るためには2つの結像光学装置を直列に配置しなけ
ればならないから、装置が大型化するということがあっ
た。
【0005】また、第1のレンズ1と第2のレンズ2と
の2枚組みの構成であると、以下のようなことがある。
つまり、物体面Aと結像面Bとの間の距離である、像の
転送距離をLとすると、この距離Lは以下のようにな
る。 L=da +db +dc =(1−M)・db +(1−M2 )・d ここで、M<0を考慮すると、d=0のときに最大とな
り、Lmax は、 Lmax =(1−M)・db となる。
の2枚組みの構成であると、以下のようなことがある。
つまり、物体面Aと結像面Bとの間の距離である、像の
転送距離をLとすると、この距離Lは以下のようにな
る。 L=da +db +dc =(1−M)・db +(1−M2 )・d ここで、M<0を考慮すると、d=0のときに最大とな
り、Lmax は、 Lmax =(1−M)・db となる。
【0006】これより、転送距離Lはレンズ間距離db
の(1−M)倍に制約されることになる。たとえば、図
8に示すように倍率を10倍(M=−10)としてdb =1
m程度とすると、fa=90mm、fb =900mm とすれば、
db =0.99mであるから、転送距離Lの最大値は10.9m
に制約されることになり、その転送距離が十分でないと
いうことがある。
の(1−M)倍に制約されることになる。たとえば、図
8に示すように倍率を10倍(M=−10)としてdb =1
m程度とすると、fa=90mm、fb =900mm とすれば、
db =0.99mであるから、転送距離Lの最大値は10.9m
に制約されることになり、その転送距離が十分でないと
いうことがある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の2
つのレンズからなるアフォ−カル結像光学装置は、正立
像を得るためには2つの装置を直列に配置しなければな
らず、また十分な転送距離が得られないなどのことがあ
った。
つのレンズからなるアフォ−カル結像光学装置は、正立
像を得るためには2つの装置を直列に配置しなければな
らず、また十分な転送距離が得られないなどのことがあ
った。
【0008】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、第1の目的は、正立像あるいは倒立像を得ることが
できるだけでなく、転送距離を長くできるようにしたア
フォ−カル結像光学装置を提供することにある。
で、第1の目的は、正立像あるいは倒立像を得ることが
できるだけでなく、転送距離を長くできるようにしたア
フォ−カル結像光学装置を提供することにある。
【0009】第2の目的は、上記アフォ−カル結像光学
装置によってレ−ザ発振器から出力されたレ−ザ光を一
定のビ−ム径で遠くへ転送できるようにしたレ−ザ装置
を提供することにある。
装置によってレ−ザ発振器から出力されたレ−ザ光を一
定のビ−ム径で遠くへ転送できるようにしたレ−ザ装置
を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】この発明の第1の手段
は、所定の物体面の像を倍率Mで変換して所定の結像面
に転送するアフォ−カル結像光学装置において、上記物
体面と上記結像面との間には焦点距離がf1 、f2 、f
3 に設定された第1乃至第3の3つの光学素子が下記
(A)式〜(D)式の条件で同一光軸上に順次配置され
てなることを特徴とするアフォ−カル結像光学装置にあ
る。
は、所定の物体面の像を倍率Mで変換して所定の結像面
に転送するアフォ−カル結像光学装置において、上記物
体面と上記結像面との間には焦点距離がf1 、f2 、f
3 に設定された第1乃至第3の3つの光学素子が下記
(A)式〜(D)式の条件で同一光軸上に順次配置され
てなることを特徴とするアフォ−カル結像光学装置にあ
る。
【0011】
【数2】
【0012】ただし、 d1 ;物体面と第1の光学素子との間の距離、 d2 ;第1の光学素子と第2の光学素子との間の距離、 d3 ;第2の光学素子と第3の光学素子との間の距離、 d4 ;第3の光学素子と結像面との間の距離。
【0013】この発明の第2の手段は、レ−ザ発振器を
有し、このレ−ザ発振器から出力されたレ−ザ光の光路
上に、このレ−ザ光を転送するために請求項1に記載さ
れたアフォ−カル光学装置が配置されてなることを特徴
とするレ−ザ装置にある。
有し、このレ−ザ発振器から出力されたレ−ザ光の光路
上に、このレ−ザ光を転送するために請求項1に記載さ
れたアフォ−カル光学装置が配置されてなることを特徴
とするレ−ザ装置にある。
【0014】
【作用】上記第1の手段によれば、3つの光学素子のう
ちの1つを所定のものに選択することで、物体面の像を
結像面に倒立あるいは正立のいずれかの状態で結像させ
ることができ、しかもその転送距離を十分に拡大するこ
とができる。上記第2の手段によれば、第1の手段の結
像光学装置でレ−ザ光を転送するため、そのレ−ザ光の
光束断面形状を変えることなく遠くへ転送できる。
ちの1つを所定のものに選択することで、物体面の像を
結像面に倒立あるいは正立のいずれかの状態で結像させ
ることができ、しかもその転送距離を十分に拡大するこ
とができる。上記第2の手段によれば、第1の手段の結
像光学装置でレ−ザ光を転送するため、そのレ−ザ光の
光束断面形状を変えることなく遠くへ転送できる。
【0015】
【実施例】以下、この発明の実施例を図面を参照して説
明する。図1は、物体面Aと結像面Bとの間には光学素
子としての凸レンズからなる第1のレンズ11、凹レン
ズからなる第2のレンズ12および凸レンズからなる第
3のレンズ13が光軸を一致させて所定の間隔で配置さ
れたアフォ−カル結像光学装置である。
明する。図1は、物体面Aと結像面Bとの間には光学素
子としての凸レンズからなる第1のレンズ11、凹レン
ズからなる第2のレンズ12および凸レンズからなる第
3のレンズ13が光軸を一致させて所定の間隔で配置さ
れたアフォ−カル結像光学装置である。
【0016】図2は物体面Aと結像面Bとの間に光学素
子としてそれぞれ凸レンズからなる第1のレンズ11
a、第2のレンズ12aおよび第3のレンズ13aが所
定の間隔で配置されたアフォ−カル結像光学装置であ
る。
子としてそれぞれ凸レンズからなる第1のレンズ11
a、第2のレンズ12aおよび第3のレンズ13aが所
定の間隔で配置されたアフォ−カル結像光学装置であ
る。
【0017】第1乃至第3の各レンズ11〜13、11
a〜13aの焦点距離をf1 〜f3とすると、図1に示
すようにf1 、f3 >0、f2 <0であることで倒立型
の結像光学系が構成され、図2に示すようにf1 、f
2 、f3 >0とすることで正立型の結像光学系が構成さ
れる。
a〜13aの焦点距離をf1 〜f3とすると、図1に示
すようにf1 、f3 >0、f2 <0であることで倒立型
の結像光学系が構成され、図2に示すようにf1 、f
2 、f3 >0とすることで正立型の結像光学系が構成さ
れる。
【0018】図1と図2に示す結像光学装置は物体面A
の像を結像面Bに所定の倍率Mで変換して転送するため
のものであって、図1に示す第1乃至第3のレンズ11
〜13と、図2に示す第1乃至第3のレンズ11a〜1
3aは下記(5)式〜(8)式の条件で配置されてい
る。
の像を結像面Bに所定の倍率Mで変換して転送するため
のものであって、図1に示す第1乃至第3のレンズ11
〜13と、図2に示す第1乃至第3のレンズ11a〜1
3aは下記(5)式〜(8)式の条件で配置されてい
る。
【0019】
【数3】
【0020】ただし、 d1 ;物体面と第1の光学素子との間の距離、 d2 ;第1の光学素子と第2の光学素子との間の距離、 d3 ;第2の光学素子と第3の光学素子との間の距離、 d4 ;第3の光学素子と結像面との間の距離。つまり、
この発明は、物体面Aと結像面Bとの間に3つの光学素
子が上記(5)〜(8)式の条件で配置されている構成
が特徴となっている。
この発明は、物体面Aと結像面Bとの間に3つの光学素
子が上記(5)〜(8)式の条件で配置されている構成
が特徴となっている。
【0021】つぎに、図3(a)を参照して転送距離に
関する作用を図5との比較により説明する。図3に示す
構成は、図1に示す構成と同様、倒立型の結像光学系で
あって、図5の構成との比較を容易にするため、d1 =
da 、fa =f1 とし、倍率はともにMとした。このと
き、第2のレンズ12と第3のレンズ13とを対として
考えると、次式が成立する。
関する作用を図5との比較により説明する。図3に示す
構成は、図1に示す構成と同様、倒立型の結像光学系で
あって、図5の構成との比較を容易にするため、d1 =
da 、fa =f1 とし、倍率はともにMとした。このと
き、第2のレンズ12と第3のレンズ13とを対として
考えると、次式が成立する。
【0022】 1/f=1/f2 +1/f3 −(d3 /f2 )・f3 …(9)式 h1 =(f/f2 )・d3 …(10)式 h2 =(f/f2 )・d3 …(11)式 ただし、 f ;レンズ対f2 、f3 の合成焦点、 h1 ;レンズ対f2 、f3 の第1主平面の位置、 h2 ;レンズ対f2 、f3 の第2主平面の位置。 上記(9)式に上記(7)式を代入すると、 M=f/f1 …(12)式 となる。
【0023】上記(12)式と図5の構造の倍率Mを示す
(4)式とを比較すると、f=fbであることが分か
る。また、上記(10)式と(11)式より、h1 >0、h
2 <0であることを考慮すると、図3(a)に示す構成
は図3(b)に示すようなアフォ−カル結像光学系と等
価である。同図において4は、第2のレンズ12、第3
のレンズ13を対としたときの第1主平面であり、5は
第2主平面である。
(4)式とを比較すると、f=fbであることが分か
る。また、上記(10)式と(11)式より、h1 >0、h
2 <0であることを考慮すると、図3(a)に示す構成
は図3(b)に示すようなアフォ−カル結像光学系と等
価である。同図において4は、第2のレンズ12、第3
のレンズ13を対としたときの第1主平面であり、5は
第2主平面である。
【0024】図3(b)に示す構成において、(dc =
d4 +h2 )であり、ΔL1 は、 ΔL1 =db −(d2 +d3 ) =d3 −h1 =d3 ・{1−(fb /f3 )} …(13)式 となる。ΔL1 は図7に示す2枚組みのアフォ−カル結
像光学系と、この発明の3枚組みの光学系との、光学系
全長の差を示す。
d4 +h2 )であり、ΔL1 は、 ΔL1 =db −(d2 +d3 ) =d3 −h1 =d3 ・{1−(fb /f3 )} …(13)式 となる。ΔL1 は図7に示す2枚組みのアフォ−カル結
像光学系と、この発明の3枚組みの光学系との、光学系
全長の差を示す。
【0025】また、図3(b)においてΔL2 は、 ΔL2 =(da +db +dc )−(d1 +d2 +d3 +d4 ) =d3 −(h1 +h2 ) =d3 {1−fb ・(1/f2 −1/f3 )} …(14)式 となる。
【0026】ΔL2 はレンズを2枚組の光学系と、3枚
組の光学系との物体面Aの像の転送距離の差を示す。上
記(13)式と(14)式により、次の条件を満たせば、従
来の2枚組よりもこの発明の3枚組のアフォ−カル光学
系の全長を短くし、しかも転送距離を大きくできること
が分かる。 f3 <fb …(14)式 1/f2 +1/f3 <1/fb …(15)式 以上より、具体的な作用を示すと図4のようになる。こ
のとき、図7に示す従来の2枚組構造と比較するため、
M=−10、d1 =0、fa =90mm、fb =900mm とし
た。つまり、図4においては、f1 =90mm、f2 =−30
mm、f3 =300mmとしており、このときΔL1 =−560mm
、ΔL2 =7840mmとなる。
組の光学系との物体面Aの像の転送距離の差を示す。上
記(13)式と(14)式により、次の条件を満たせば、従
来の2枚組よりもこの発明の3枚組のアフォ−カル光学
系の全長を短くし、しかも転送距離を大きくできること
が分かる。 f3 <fb …(14)式 1/f2 +1/f3 <1/fb …(15)式 以上より、具体的な作用を示すと図4のようになる。こ
のとき、図7に示す従来の2枚組構造と比較するため、
M=−10、d1 =0、fa =90mm、fb =900mm とし
た。つまり、図4においては、f1 =90mm、f2 =−30
mm、f3 =300mmとしており、このときΔL1 =−560mm
、ΔL2 =7840mmとなる。
【0027】したがって、この発明の構成によれば、図
7に示す従来の構成に比べて光学系の全長を約4割の長
さにすることができ、転送距離は約1.7倍に拡大され
ることになる。
7に示す従来の構成に比べて光学系の全長を約4割の長
さにすることができ、転送距離は約1.7倍に拡大され
ることになる。
【0028】しかも、第2のレンズを凹レンズとする
か、あるいは凸レンズとするかによって光学系を倒立型
あるいは正立型のいずれかを選択することができる。上
記実施例では各レンズが薄肉単レンズの場合について説
明したが、上記各レンズが厚肉レンズである場合あるい
は2枚以上の組み合わせレンズで構成されている場合に
も、この発明を適用することができる。そのときの構成
を図5に示す。
か、あるいは凸レンズとするかによって光学系を倒立型
あるいは正立型のいずれかを選択することができる。上
記実施例では各レンズが薄肉単レンズの場合について説
明したが、上記各レンズが厚肉レンズである場合あるい
は2枚以上の組み合わせレンズで構成されている場合に
も、この発明を適用することができる。そのときの構成
を図5に示す。
【0029】すなわち、図5において21〜23は第1
乃至第3の厚肉あるいは組み合わせレンズを示し、これ
らの有効あるいは合成焦点距離をf1 〜f3 とする。2
1a、21bは第1のレンズの第1の主平面と第2の主
平面であり、22a、22bは第2のレンズ22の第1
の主平面と第2の主平面、23a、23bは第3のレン
ズ23の第1の主平面と第2の主平面である。そして、
d1 〜d4 を図に示すように定義し、これらの値を
(5)式〜(8)式のように設定すれば、上記一実施例
と同様の作用効果を得ることができる。
乃至第3の厚肉あるいは組み合わせレンズを示し、これ
らの有効あるいは合成焦点距離をf1 〜f3 とする。2
1a、21bは第1のレンズの第1の主平面と第2の主
平面であり、22a、22bは第2のレンズ22の第1
の主平面と第2の主平面、23a、23bは第3のレン
ズ23の第1の主平面と第2の主平面である。そして、
d1 〜d4 を図に示すように定義し、これらの値を
(5)式〜(8)式のように設定すれば、上記一実施例
と同様の作用効果を得ることができる。
【0030】図6(a)〜(c)は上述した結像光学装
置の応用例を示す。図6(a)はレ−ザ発振器21の出
射側に結像光学装置51を配設し、上記レ−ザ発振器2
1から発振出力されたレ−ザ光Lを上記結像光学装置5
1に導入することで、所定位置まで導くようにしたもの
である。
置の応用例を示す。図6(a)はレ−ザ発振器21の出
射側に結像光学装置51を配設し、上記レ−ザ発振器2
1から発振出力されたレ−ザ光Lを上記結像光学装置5
1に導入することで、所定位置まで導くようにしたもの
である。
【0031】つまり、レ−ザ発振器21の出口像が物体
面Aであり、結像面Bで拡大結像させるようにしてい
る。上記結像光学装置51によってビ−ム拡がり角や回
析によるエネルギの散逸、ビ−ム強度分布の劣化を抑制
できるから、高効率な長距離ビ−ム転送が可能となる。
面Aであり、結像面Bで拡大結像させるようにしてい
る。上記結像光学装置51によってビ−ム拡がり角や回
析によるエネルギの散逸、ビ−ム強度分布の劣化を抑制
できるから、高効率な長距離ビ−ム転送が可能となる。
【0032】図6(b)はレ−ザ発振器31から発振出
力されてビ−ム成形手段32により成形されたレ−ザ光
Lを結像光学装置51に入射させる。この結像光学装置
51から出射されたレ−ザ光Lはレ−ザ増幅器32に入
射し、増幅されてから出射するようになっている。
力されてビ−ム成形手段32により成形されたレ−ザ光
Lを結像光学装置51に入射させる。この結像光学装置
51から出射されたレ−ザ光Lはレ−ザ増幅器32に入
射し、増幅されてから出射するようになっている。
【0033】つまり、レ−ザ発振器31からの出力ビ−
ム像を、成形手段32によってレ−ザ増幅器32の形状
と相似形に成形し、その成形像を物体面Aとして結像光
学装置51に入射させ、上記レ−ザ増幅器32の入射面
を結像面Bとし、その像を増幅器32によって増幅する
ようになっている。
ム像を、成形手段32によってレ−ザ増幅器32の形状
と相似形に成形し、その成形像を物体面Aとして結像光
学装置51に入射させ、上記レ−ザ増幅器32の入射面
を結像面Bとし、その像を増幅器32によって増幅する
ようになっている。
【0034】このような構成とすることで、ビ−ム拡が
り角および回析の影響を受けることなく増幅器32へエ
ネルギを入射できるから、増幅効率の向上が計れる。図
6(c)はレ−ザ発振器31から出力されたレ−ザ光L
が結像光学装置51に入射され、その結像光学装置51
から出射したレ−ザ光Lを、反射ミラ−34で光路をか
えて、たとえば色素レ−ザ発振器などの被励起レ−ザ発
振器35を励起する励起光として利用するようにした構
成である。この場合、レ−ザ発振器31の出射面が物体
面Aであり、被励起レ−ザ発振器35への入射面が結像
面Bとなる。
り角および回析の影響を受けることなく増幅器32へエ
ネルギを入射できるから、増幅効率の向上が計れる。図
6(c)はレ−ザ発振器31から出力されたレ−ザ光L
が結像光学装置51に入射され、その結像光学装置51
から出射したレ−ザ光Lを、反射ミラ−34で光路をか
えて、たとえば色素レ−ザ発振器などの被励起レ−ザ発
振器35を励起する励起光として利用するようにした構
成である。この場合、レ−ザ発振器31の出射面が物体
面Aであり、被励起レ−ザ発振器35への入射面が結像
面Bとなる。
【0035】このような構成によれば、レ−ザ光Lをそ
の特性を変えることなく十分に遠くへ転送することがで
きるから、被励起レ−ザ発振器24の配置上の制約を受
けることなく、高効率でのビ−ム転送が可能となる。
の特性を変えることなく十分に遠くへ転送することがで
きるから、被励起レ−ザ発振器24の配置上の制約を受
けることなく、高効率でのビ−ム転送が可能となる。
【0036】
【発明の効果】以上述べたように請求項1に記載された
この発明によれば、光学素子を従来の2枚組から3枚組
に変え、これら3枚の光学素子を光軸を一致させるとと
もに、所定の関係を満足する間隔で配置した。
この発明によれば、光学素子を従来の2枚組から3枚組
に変え、これら3枚の光学素子を光軸を一致させるとと
もに、所定の関係を満足する間隔で配置した。
【0037】それによって、従来のアフォ−カル結像光
学系に比べて全長を短くすることができるばかりか、転
送距離を長くすることができる。さらに、3つの光学素
子の1つを凹レンズあるいは凸レンズとすることで倒立
結像あるいは正立結像のいずれかに設定できるなどのこ
とがある。
学系に比べて全長を短くすることができるばかりか、転
送距離を長くすることができる。さらに、3つの光学素
子の1つを凹レンズあるいは凸レンズとすることで倒立
結像あるいは正立結像のいずれかに設定できるなどのこ
とがある。
【0038】請求項2に記載されたこの発明によれば、
請求項1に記載されたアフォ−カル光学系をレ−ザ光の
光路上に配置することで、上記レ−ザ光をエネルギ損失
やビ−ム強度分布の劣化などを招くことなく十分に長い
距離を転送することができる。
請求項1に記載されたアフォ−カル光学系をレ−ザ光の
光路上に配置することで、上記レ−ザ光をエネルギ損失
やビ−ム強度分布の劣化などを招くことなく十分に長い
距離を転送することができる。
【図1】この発明の一実施例を示す倒立型のアフォ−カ
ル結像光学装置の構成図。
ル結像光学装置の構成図。
【図2】同じく正立型のアフォ−カル結像光学装置の構
成図。
成図。
【図3】(a)は同じく倒立型のアフォ−カル結像光学
装置の作用説明図、(b)は(a)の光学装置の等価
図。
装置の作用説明図、(b)は(a)の光学装置の等価
図。
【図4】同じく図3(a)に示す光学装置の実際の計算
結果を示す説明図。
結果を示す説明図。
【図5】この発明の他の実施例のアフォ−カル結像光学
装置の等価図。
装置の等価図。
【図6】(a)〜(c)はそれぞれアフォ−カル結像光
学装置を利用したレ−ザ装置の説明図。
学装置を利用したレ−ザ装置の説明図。
【図7】従来の2枚組レンズのアフォ−カル結像光学装
置の構成図。
置の構成図。
【図8】同じく実際の計算結果を示す説明図。
11…第1のレンズ(光学素子)、12…第2のレンズ
(光学素子)、13…第3のレンズ(光学素子)、31
…レ−ザ発振器、A…物体面、B…結像面。
(光学素子)、13…第3のレンズ(光学素子)、31
…レ−ザ発振器、A…物体面、B…結像面。
Claims (2)
- 【請求項1】 所定の物体面の像を倍率Mで変換して所
定の結像面に転送するアフォ−カル結像光学装置におい
て、 上記物体面と上記結像面との間には焦点距離がf1 、f
2 、f3 に設定された第1乃至第3の3つの光学素子が
下記(A)式〜(D)式の条件で同一光軸上に順次配置
されてなることを特徴とするアフォ−カル結像光学装
置。 【数1】 ただし、 d1 ;物体面と第1の光学素子との間の距離、 d2 ;第1の光学素子と第2の光学素子との間の距離、 d3 ;第2の光学素子と第3の光学素子との間の距離、 d4 ;第3の光学素子と結像面との間の距離。 - 【請求項2】 レ−ザ発振器を有し、このレ−ザ発振器
から出力されたレ−ザ光の光路上に、このレ−ザ光を転
送するために請求項1に記載されたアフォ−カル光学装
置が配置されてなることを特徴とするレ−ザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20662694A JPH0868936A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | アフォ−カル結像光学装置およびその光学装置を用いたレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20662694A JPH0868936A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | アフォ−カル結像光学装置およびその光学装置を用いたレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0868936A true JPH0868936A (ja) | 1996-03-12 |
Family
ID=16526492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20662694A Pending JPH0868936A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | アフォ−カル結像光学装置およびその光学装置を用いたレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0868936A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003057028A (ja) * | 2001-08-20 | 2003-02-26 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | 距離センサ |
| CN102566324A (zh) * | 2005-08-31 | 2012-07-11 | Asml荷兰有限公司 | 光刻装置和补偿中间掩模版引入的cdu的器件制造方法 |
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| WO2014012417A1 (zh) * | 2012-07-18 | 2014-01-23 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 一种绿光激光变倍扩束系统及激光加工设备 |
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-
1994
- 1994-08-31 JP JP20662694A patent/JPH0868936A/ja active Pending
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