JPH0869900A - 高周波加速空胴用チューナ装置 - Google Patents
高周波加速空胴用チューナ装置Info
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- JPH0869900A JPH0869900A JP20473294A JP20473294A JPH0869900A JP H0869900 A JPH0869900 A JP H0869900A JP 20473294 A JP20473294 A JP 20473294A JP 20473294 A JP20473294 A JP 20473294A JP H0869900 A JPH0869900 A JP H0869900A
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- drive device
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 空胴本体からチューナポート内面とチューナ
外筒面とで形成される環状の空隙を通って漏洩してくる
高周波電力を吸収して、大きな定在波が立つのを抑止
し、異常発熱によるガス放出や損傷を回避して真空劣化
や真空破壊が起きないようにする。 【構成】 漏洩してくる高周波電力を吸収する高周波吸
収体30をチューナポート９ａに臨む駆動装置支持台17、
または駆動装置支持台17に臨むチューナ11の背面あるい
は外筒面のいずれか少なくとも１個所以上に設けた。
外筒面とで形成される環状の空隙を通って漏洩してくる
高周波電力を吸収して、大きな定在波が立つのを抑止
し、異常発熱によるガス放出や損傷を回避して真空劣化
や真空破壊が起きないようにする。 【構成】 漏洩してくる高周波電力を吸収する高周波吸
収体30をチューナポート９ａに臨む駆動装置支持台17、
または駆動装置支持台17に臨むチューナ11の背面あるい
は外筒面のいずれか少なくとも１個所以上に設けた。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば超ＬＳＩ微細加
工等に用いられる加速器に使用される高周波加速空胴に
係り、とりわけ空胴本体の共振周波数を調整するために
用いるチューナ装置の改良に関する。
工等に用いられる加速器に使用される高周波加速空胴に
係り、とりわけ空胴本体の共振周波数を調整するために
用いるチューナ装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】加速器は、電子、陽子、イオンなどの荷
電粒子ビームを電磁力で数十億電子ボルト（数Ｇev）程
度の高エネルギー状態に加速する装置であって、もとも
と原子核や素粒子の研究のために開発されてきた。しか
し、近年では、ほぼ光速で走る電子が軌道を曲げられた
時に発生する放射光（ＳＯＲ）と呼ばれるＸ線を利用し
て、超ＬＳＩ微細加工（リソグラフィ）や物質材料科
学、生命科学等などの広範な科学技術分野までの適用進
展を見ている。
電粒子ビームを電磁力で数十億電子ボルト（数Ｇev）程
度の高エネルギー状態に加速する装置であって、もとも
と原子核や素粒子の研究のために開発されてきた。しか
し、近年では、ほぼ光速で走る電子が軌道を曲げられた
時に発生する放射光（ＳＯＲ）と呼ばれるＸ線を利用し
て、超ＬＳＩ微細加工（リソグラフィ）や物質材料科
学、生命科学等などの広範な科学技術分野までの適用進
展を見ている。
【０００３】この電子ビーム加速器は図４に示されてい
るように、電子を生成して数千万ボルト（数十Ｍev）ま
で電子を加速する線型加速器１を有し、ここで加速され
た電子は輸送管２を経て、入射器３によりビームダクト
４内に入射される。ビームダクト４に入射された電子
は、偏向電磁石５により所定方向磁場（図では紙面の表
から裏に向かう方向の磁場）をかけられて所定方向（図
では時計方向）に偏向される一方、四極電磁石６により
電子27に収束が行われ、さらに高周波加速空胴７により
高エネルギー（数Ｇev）に加速される。加速された電子
27はビームダクト４内を周回し続け、偏向電磁石５で偏
向される時に放射光を発生する。この放射光を利用系８
に導き、リソグラフィや物質材料科学・生命科学などの
研究に利用する。この際、放射光の発生で失われた電子
27のエネルギーは、高周波加速空胴７によって補給され
る。
るように、電子を生成して数千万ボルト（数十Ｍev）ま
で電子を加速する線型加速器１を有し、ここで加速され
た電子は輸送管２を経て、入射器３によりビームダクト
４内に入射される。ビームダクト４に入射された電子
は、偏向電磁石５により所定方向磁場（図では紙面の表
から裏に向かう方向の磁場）をかけられて所定方向（図
では時計方向）に偏向される一方、四極電磁石６により
電子27に収束が行われ、さらに高周波加速空胴７により
高エネルギー（数Ｇev）に加速される。加速された電子
27はビームダクト４内を周回し続け、偏向電磁石５で偏
向される時に放射光を発生する。この放射光を利用系８
に導き、リソグラフィや物質材料科学・生命科学などの
研究に利用する。この際、放射光の発生で失われた電子
27のエネルギーは、高周波加速空胴７によって補給され
る。
【０００４】なお、ビームダクトや高周波加速空胴７
は、電子27が残留気体と衝突してエネルギーを損失する
のを防止するため、例えば１０-7Ｐａ台の超高真空状態
に維持されている。図５は本発明のチューナ装置を適用
する高周波加速空胴の一例で、９は略円筒体の空胴本体
で、両側はビームダクト４に接続されている。空胴本体
９には空胴本体内に高周波電力を供給するためのアンテ
ナ10と、空胴本体９の共振周波数を調整するチューナ11
と、このチューナ11を空胴本体９内に進退させるチュー
ナ駆動装置12を備えている。
は、電子27が残留気体と衝突してエネルギーを損失する
のを防止するため、例えば１０-7Ｐａ台の超高真空状態
に維持されている。図５は本発明のチューナ装置を適用
する高周波加速空胴の一例で、９は略円筒体の空胴本体
で、両側はビームダクト４に接続されている。空胴本体
９には空胴本体内に高周波電力を供給するためのアンテ
ナ10と、空胴本体９の共振周波数を調整するチューナ11
と、このチューナ11を空胴本体９内に進退させるチュー
ナ駆動装置12を備えている。
【０００５】上記構成の高周波加速空胴７において、ア
ンテナ10から空胴本体９の共振周波数の高周波電力を空
胴本体９に供給すると共振により加速電界26が発生し、
この加速電界26により電子27が加速される。
ンテナ10から空胴本体９の共振周波数の高周波電力を空
胴本体９に供給すると共振により加速電界26が発生し、
この加速電界26により電子27が加速される。
【０００６】なお、高周波加速空胴７は電子がリング状
の加速器を周回する周波数の整数倍の規定の共振周波数
（数百ＭＨｚ）となる様に設計されている。しかし、共
振周波数を設計値通りになるように製作することは難し
い。さらに運転時の温度上昇や外圧による変形に基づく
周波数のずれも無視できない。これらの周波数変化を調
整するためチューナ装置が用いられる。
の加速器を周回する周波数の整数倍の規定の共振周波数
（数百ＭＨｚ）となる様に設計されている。しかし、共
振周波数を設計値通りになるように製作することは難し
い。さらに運転時の温度上昇や外圧による変形に基づく
周波数のずれも無視できない。これらの周波数変化を調
整するためチューナ装置が用いられる。
【０００７】共振周波数は、空胴本体９の静電容量を
Ｃ、インダクタンスをＬとすると、１／（２π√ＬＣ）
であらわされる。Ｌはチューナ11を空胴本体９内に挿入
することにより小さくできるので、チューナ11を挿入す
れば共振周波数を上げることができる。逆にチューナ11
を引抜くと共振周波数を下げることができる。チューナ
11の駆動は、前述のようにチューナ駆動装置12で行う。
Ｃ、インダクタンスをＬとすると、１／（２π√ＬＣ）
であらわされる。Ｌはチューナ11を空胴本体９内に挿入
することにより小さくできるので、チューナ11を挿入す
れば共振周波数を上げることができる。逆にチューナ11
を引抜くと共振周波数を下げることができる。チューナ
11の駆動は、前述のようにチューナ駆動装置12で行う。
【０００８】従来のチューナ11およびチューナ駆動装置
12からなる高周波加速空胴用チューナ装置を図６に示
す。空胴本体９に取付けられたチューナポート９ａのフ
ランジに駆動装置支持台17がボルト24で締結される。両
者の間にはガスケット18を挟んで真空シールを行う。
12からなる高周波加速空胴用チューナ装置を図６に示
す。空胴本体９に取付けられたチューナポート９ａのフ
ランジに駆動装置支持台17がボルト24で締結される。両
者の間にはガスケット18を挟んで真空シールを行う。
【０００９】チューナ11は外筒15と、らせん状の冷却溝
13ａを有し、外筒15の内側にはめ込まれている冷却筒13
とから成り、冷却筒13に固着されている内管14ａと外筒
15に固着されている外管14ｂとで２重管を構成する駆動
管14で、チューナ駆動装置12に連結された冷却水ヘッダ
ー16に支持されている。
13ａを有し、外筒15の内側にはめ込まれている冷却筒13
とから成り、冷却筒13に固着されている内管14ａと外筒
15に固着されている外管14ｂとで２重管を構成する駆動
管14で、チューナ駆動装置12に連結された冷却水ヘッダ
ー16に支持されている。
【００１０】また、冷却水ヘッダー16にはベローズ28の
一端が固着され、ベローズ28の他端は駆動装置支持台17
に固着されている。この様な構成のチューナ装置におい
て、チューナ11の外筒15の表面には大きな高周波電流が
流れて、ジュール発熱が生ずる。このため冷却水（他の
流体でもよい）を流して冷却する必要がある。その場合
の冷却水は、図示しない外部の冷却系から冷却水ヘッダ
ー16の冷却水供給孔16ａに供給され、内管14ａ、チュー
ナ11部の冷却溝13ａ、外管14ｂを通って冷却水排出孔16
ｂから外部の冷却系に戻る。またガスケット18およびベ
ローズ28で真空シールされているので、空胴本体９内は
超高真空に保持される。
一端が固着され、ベローズ28の他端は駆動装置支持台17
に固着されている。この様な構成のチューナ装置におい
て、チューナ11の外筒15の表面には大きな高周波電流が
流れて、ジュール発熱が生ずる。このため冷却水（他の
流体でもよい）を流して冷却する必要がある。その場合
の冷却水は、図示しない外部の冷却系から冷却水ヘッダ
ー16の冷却水供給孔16ａに供給され、内管14ａ、チュー
ナ11部の冷却溝13ａ、外管14ｂを通って冷却水排出孔16
ｂから外部の冷却系に戻る。またガスケット18およびベ
ローズ28で真空シールされているので、空胴本体９内は
超高真空に保持される。
【００１１】一方、チューナ駆動装置12は駆動装置支持
台17に固定された支持枠19と、支持枠19に取付けられた
レール20と、レール20上を上下運動する可動台21と、回
転運動を可動台21の上下運動に変換するボールネジ22
と、回転運動を伝達するためのベルト車23ａ，23ｂ、ベ
ルト24とサーボモータ25とで構成されている。
台17に固定された支持枠19と、支持枠19に取付けられた
レール20と、レール20上を上下運動する可動台21と、回
転運動を可動台21の上下運動に変換するボールネジ22
と、回転運動を伝達するためのベルト車23ａ，23ｂ、ベ
ルト24とサーボモータ25とで構成されている。
【００１２】この様な構成のチューナ装置では、サーボ
モータ25が回転するとボルト24を介してボールネジ22に
その回転が伝達され、ボールネジ22と噛み合っている可
動台21が上下動する。可動台21には駆動管14が固着され
た冷却水ヘッダー16が固定されているので、駆動管14に
固着されたチューナ11が空胴本体９内に進退する。
モータ25が回転するとボルト24を介してボールネジ22に
その回転が伝達され、ボールネジ22と噛み合っている可
動台21が上下動する。可動台21には駆動管14が固着され
た冷却水ヘッダー16が固定されているので、駆動管14に
固着されたチューナ11が空胴本体９内に進退する。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】この様な構成の高周波
加速空胴用チューナ装置において、外筒15とチューナポ
ート９ａの内面、駆動管14とチューナポート９ａの内
面、駆動管14とベローズ28とで同軸構造を形成し、この
同軸構造の環状の空隙29を通して空胴本体９内の高周波
電力が漏洩してくる。漏洩してきた漏洩高周波電力によ
って環状の空隙29には大きな定在波が立つため、定在波
電力による大きな電流が流れ、チューナポート９ａや外
筒15、駆動管14およびベローズ28に異常発熱を生ずる。
その結果、各部からガスが放出され真空度を劣化させた
り、部分放電を誘発してチューナポート９ａや外筒15が
焼損や融着等を起す恐れがある。さらに板厚の薄いベロ
ーズ28が焼損して真空破壊に進展する等の不具合があ
る。
加速空胴用チューナ装置において、外筒15とチューナポ
ート９ａの内面、駆動管14とチューナポート９ａの内
面、駆動管14とベローズ28とで同軸構造を形成し、この
同軸構造の環状の空隙29を通して空胴本体９内の高周波
電力が漏洩してくる。漏洩してきた漏洩高周波電力によ
って環状の空隙29には大きな定在波が立つため、定在波
電力による大きな電流が流れ、チューナポート９ａや外
筒15、駆動管14およびベローズ28に異常発熱を生ずる。
その結果、各部からガスが放出され真空度を劣化させた
り、部分放電を誘発してチューナポート９ａや外筒15が
焼損や融着等を起す恐れがある。さらに板厚の薄いベロ
ーズ28が焼損して真空破壊に進展する等の不具合があ
る。
【００１４】本発明は以上の様な事情に基づいてなされ
たもので、漏洩してくる漏洩高周波電力を吸収して、大
きな定在波が立つのを抑止し、真空破壊や損傷のない高
性能、高信頼性の高周波加速空胴用チューナ装置を提供
する事を目的とする。
たもので、漏洩してくる漏洩高周波電力を吸収して、大
きな定在波が立つのを抑止し、真空破壊や損傷のない高
性能、高信頼性の高周波加速空胴用チューナ装置を提供
する事を目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】大きな電流が流れる原因
は、漏洩高周波電力が反射を繰返して共振し大きな定在
波電力になるためである。上記目的を達成するために、
請求項１に対応する発明はチューナの外筒面とチューナ
ポートの内面とで形成される環状の空隙を通って漏洩し
てくる漏洩高周波電力を吸収する高周波吸収体を設けた
ものである。
は、漏洩高周波電力が反射を繰返して共振し大きな定在
波電力になるためである。上記目的を達成するために、
請求項１に対応する発明はチューナの外筒面とチューナ
ポートの内面とで形成される環状の空隙を通って漏洩し
てくる漏洩高周波電力を吸収する高周波吸収体を設けた
ものである。
【００１６】請求項２に対応する発明は、請求項１記載
の高周波吸収体をチューナポートに臨む駆動装置支持
台、または駆動装置支持台に臨むチューナの背面あるい
は外筒面のいずれか少なくとも１個所に被着したもので
ある。
の高周波吸収体をチューナポートに臨む駆動装置支持
台、または駆動装置支持台に臨むチューナの背面あるい
は外筒面のいずれか少なくとも１個所に被着したもので
ある。
【００１７】請求項３に対応する発明は、高周波吸収体
をチューナポートに臨む駆動装置支持台に被着するとと
もに、この高周波吸収体で吸収された漏洩高周波電力の
ジュール発熱を取り除く冷却流路を前記駆動支持台に設
けたものである。
をチューナポートに臨む駆動装置支持台に被着するとと
もに、この高周波吸収体で吸収された漏洩高周波電力の
ジュール発熱を取り除く冷却流路を前記駆動支持台に設
けたものである。
【００１８】
【作用】請求項１から請求項３に対応する発明によれ
ば、漏洩してくる高周波電力のほとんどは高周波吸収体
に吸収されるので、大きな定在波が立たない。したがっ
て、各部の異常発熱やガス放出がなく、さらに焼損や真
空破壊を防止できる。また高周波吸収体の発熱は、外筒
や駆動装置支持台へ伝導し、冷却水で系外に取出され
る。
ば、漏洩してくる高周波電力のほとんどは高周波吸収体
に吸収されるので、大きな定在波が立たない。したがっ
て、各部の異常発熱やガス放出がなく、さらに焼損や真
空破壊を防止できる。また高周波吸収体の発熱は、外筒
や駆動装置支持台へ伝導し、冷却水で系外に取出され
る。
【００１９】
【実施例】以下本発明による高周波加速空胴チューナ装
置の一実施例について、図１を参照して説明する。な
お、従来例と同一のものは同符号を付してその説明を省
略する。
置の一実施例について、図１を参照して説明する。な
お、従来例と同一のものは同符号を付してその説明を省
略する。
【００２０】30は漏洩高周波電力を吸収する高周波吸収
体で、駆動装置支持台17に被着されている。駆動装置支
持台17には冷却水の流路31と、駆動装置支持台17の外周
から流路31に貫通する冷却水供給孔17ａおよび冷却水排
出孔17ｂが設けられている。なお高周波吸収体30の形状
はドーナツ状のリングであるが、扇形の複数のセクター
で構成してもよい。またその材質はフェライト、炭化け
い素（ＳｉＣ）等が一般に用いられる。
体で、駆動装置支持台17に被着されている。駆動装置支
持台17には冷却水の流路31と、駆動装置支持台17の外周
から流路31に貫通する冷却水供給孔17ａおよび冷却水排
出孔17ｂが設けられている。なお高周波吸収体30の形状
はドーナツ状のリングであるが、扇形の複数のセクター
で構成してもよい。またその材質はフェライト、炭化け
い素（ＳｉＣ）等が一般に用いられる。
【００２１】次に、以上のように構成された実施例の作
用効果について説明する。チューナポート９ａの内面と
チューナ11の外筒15とで形成される環状の空隙29を通っ
て空胴本体９から漏洩してきた漏洩高周波電力は高周波
吸収体30に吸収され、ジュール損失による熱に変換され
る。この発熱は駆動装置支持台17に伝導し、流路31を流
れる冷却水で系外へ取り出される。
用効果について説明する。チューナポート９ａの内面と
チューナ11の外筒15とで形成される環状の空隙29を通っ
て空胴本体９から漏洩してきた漏洩高周波電力は高周波
吸収体30に吸収され、ジュール損失による熱に変換され
る。この発熱は駆動装置支持台17に伝導し、流路31を流
れる冷却水で系外へ取り出される。
【００２２】このように、漏洩高周波電力のほとんどは
高周波吸収体30に吸収されるので、反射波と漏洩高周波
電力とによる定在波が立たず、大きな定在波電力による
チューナポート９ａ、外筒15およびベローズ28の異常発
熱がなくなり、各部からのガス放出や、焼損に起因する
真空劣化や真空破壊を起す事がない。さらにガス放出に
よる真空劣化に伴う耐電圧低下や定在波電力による異常
電圧で、チューナポート９ａ内面と外筒15との間に誘発
される部分放電による焼損や融着等も回避する事ができ
る。
高周波吸収体30に吸収されるので、反射波と漏洩高周波
電力とによる定在波が立たず、大きな定在波電力による
チューナポート９ａ、外筒15およびベローズ28の異常発
熱がなくなり、各部からのガス放出や、焼損に起因する
真空劣化や真空破壊を起す事がない。さらにガス放出に
よる真空劣化に伴う耐電圧低下や定在波電力による異常
電圧で、チューナポート９ａ内面と外筒15との間に誘発
される部分放電による焼損や融着等も回避する事ができ
る。
【００２３】次に本発明の他の実施例について図２、図
３を参照して説明する。図２は第２の実施例で、高周波
吸収体30を駆動装置支持台17に臨むチューナの背面に被
着したもので、漏洩高周波電力の吸収に関しては第１の
実施例と同等の機能を有する。一方高周波吸収体30の発
熱は、外筒15に伝導し、冷却溝13ａを流れる冷却水で系
外に取り出される。
３を参照して説明する。図２は第２の実施例で、高周波
吸収体30を駆動装置支持台17に臨むチューナの背面に被
着したもので、漏洩高周波電力の吸収に関しては第１の
実施例と同等の機能を有する。一方高周波吸収体30の発
熱は、外筒15に伝導し、冷却溝13ａを流れる冷却水で系
外に取り出される。
【００２４】図３は第３の実施例で外筒15の駆動装置支
持台17に臨む外周側に高周波吸収体30を被着したもの
で、漏洩高周波電力の吸収、除熱に関しては第２の実施
例と同等の機能を有する。また、第１の実施例、第２の
実施例および第３の実施例を適宜組合せて使用してもよ
い。
持台17に臨む外周側に高周波吸収体30を被着したもの
で、漏洩高周波電力の吸収、除熱に関しては第２の実施
例と同等の機能を有する。また、第１の実施例、第２の
実施例および第３の実施例を適宜組合せて使用してもよ
い。
【００２５】
【発明の効果】以上説明した様に本発明によれば、チュ
ーナ外筒面とチューナポート内面とで形成された環状の
空隙を通って空胴本体から漏洩してくる漏洩高周波電力
を、高周波吸収体で吸収し、熱として系外に取り出すた
め、各部の異常発熱によるガス放出やベローズの焼損に
よる真空破壊を回避できる。さらに異常電圧で誘発され
る部分放電による焼損や融着等も回避できる高性能で高
信頼の加速空胴用チューナ装置を提供できる。
ーナ外筒面とチューナポート内面とで形成された環状の
空隙を通って空胴本体から漏洩してくる漏洩高周波電力
を、高周波吸収体で吸収し、熱として系外に取り出すた
め、各部の異常発熱によるガス放出やベローズの焼損に
よる真空破壊を回避できる。さらに異常電圧で誘発され
る部分放電による焼損や融着等も回避できる高性能で高
信頼の加速空胴用チューナ装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による加速空胴用チューナ装置の第１の
実施例の縦断面図。
実施例の縦断面図。
【図２】本発明による加速空胴用チューナ装置の第２の
実施例の縦断面図。
実施例の縦断面図。
【図３】本発明による加速空胴用チューナ装置の第３の
実施例の縦断面図。
実施例の縦断面図。
【図４】電子加速器の概略全体を示す構成図。
【図５】従来の高周波加速空胴の一例を示す概略縦断面
図。
図。
【図６】従来の高周波加速空胴用チューナ装置の一例を
示す縦断面図。
示す縦断面図。
【符号の説明】７ …高周波加速空胴 ９…空胴本体 ９ａ…チューナポート 11…チューナ12 …チューナ駆動装置 13…冷却筒 13ａ…冷却溝 14…駆動管 14ａ…内管 14ｂ…外管 15…外筒 16…冷却水ヘッダー 17…駆動装置支持台 17ａ…冷却水供給孔 17ｂ…冷却水排出孔 26…加速電界 27…電子 28…ベローズ 29…環状の空隙 30…高周波吸収体 31…流路
Claims (3)
- 【請求項１】 空胴本体のチューナポート上に駆動装置
支持台を介装して設けられているチューナ駆動装置と、
このチューナ駆動装置の動力でチューナポートから前記
空胴本体に進退するチューナとを有し、チューナの進退
により前記空胴本体の共振周波数を調整する高周波加速
空胴用チューナ装置において、前記空胴本体から、前記
チューナの外筒面とチューナポート内面とで形成される
環状の空隙を通って漏洩してくる漏洩高周波電力を吸収
する高周波吸収体を設けた事を特徴とする高周波加速空
胴用チューナ装置。 - 【請求項２】 高周波吸収体をチューナポートに臨む駆
動装置支持台、または駆動装置支持台に臨むチューナの
背面あるいは外筒面のいずれか少なくとも１個所に被着
した事を特徴とする請求項１記載の高周波加速空胴用チ
ューナ装置。 - 【請求項３】 空胴本体のチューナポート上に駆動装置
支持台を介装して設けられているチューナ駆動装置と、
このチューナ駆動装置の動力でチューナポートから前記
空胴本体に進退するチューナとを有し、チューナの進退
により前記空胴本体の共振周波数を調整する高周波加速
空胴用チューナ装置において、前記空胴本体から、前記
チューナの外筒面とチューナポート内面とで形成される
環状の空隙を通って漏洩してくる漏洩高周波電力を吸収
する高周波吸収体を、前記チューナポートに臨む駆動装
置支持台に被着するとともに、この高周波吸収体で吸収
された漏洩高周波電力のジュール発熱を取り除く冷却流
路を前記駆動装置支持台に設けた事を特徴とする高周波
加速空胴用チューナ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20473294A JPH0869900A (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | 高周波加速空胴用チューナ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20473294A JPH0869900A (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | 高周波加速空胴用チューナ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0869900A true JPH0869900A (ja) | 1996-03-12 |
Family
ID=16495403
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20473294A Pending JPH0869900A (ja) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | 高周波加速空胴用チューナ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0869900A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102468525A (zh) * | 2011-08-25 | 2012-05-23 | 中国船舶重工集团公司第七二四研究所 | 一种微波多路旋转铰链通道高隔离度设计实现方法 |
| CN107896416A (zh) * | 2017-12-13 | 2018-04-10 | 合肥中科离子医学技术装备有限公司 | 一种超导回旋加速器谐振腔微扰棒驱动机构及其工作方式 |
| CN109362171A (zh) * | 2018-11-14 | 2019-02-19 | 中国原子能科学研究院 | 一种谐振腔频率自动调谐装置 |
-
1994
- 1994-08-30 JP JP20473294A patent/JPH0869900A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102468525A (zh) * | 2011-08-25 | 2012-05-23 | 中国船舶重工集团公司第七二四研究所 | 一种微波多路旋转铰链通道高隔离度设计实现方法 |
| CN107896416A (zh) * | 2017-12-13 | 2018-04-10 | 合肥中科离子医学技术装备有限公司 | 一种超导回旋加速器谐振腔微扰棒驱动机构及其工作方式 |
| CN109362171A (zh) * | 2018-11-14 | 2019-02-19 | 中国原子能科学研究院 | 一种谐振腔频率自动调谐装置 |
| CN109362171B (zh) * | 2018-11-14 | 2024-05-10 | 中国原子能科学研究院 | 一种谐振腔频率自动调谐装置 |
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