JPH0869985A - ダイシング装置のテーブル機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 止めネジをいちいち着脱しなくてもクランプ
部の位置を簡単に変更出来るようにした、ダイシング装
置のテーブル機構を提供する。 【構成】 ダイシング装置でのダイシングに際し、テー
プを介してフレームに装着されたウェーハを保持するた
めのテーブル機構１であって、このテーブル機構はウェ
ーハを吸引保持するチャックテーブル２と、ダイシング
の妨げにならないようにフレームを押し下げるクランプ
機構３とから構成され、このクランプ機構はクランプ部
７と、クランプ部の径方向の移動を案内するガイドレー
ル６と、ガイドレールに対してクランプ部を固定するロ
ック部８とから構成され、このロック部８は解除位置と
非解除位置とに選択的に位置付けられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ダイシング装置のテー
ブル機構に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のダイシング装置は、例えば図５に
示すようにカセット載置領域Ａに載置したカセットＣ内
から搬出入手段ＢによってウェーハＷ（通常図４のよう
にテープＥを介してフレームＦに装着されている）を待
機領域Ｄに搬出し、そのフレームＦ付きウェーハＷを旋
回アームを有する搬送手段Ｇによってテーブル機構Ｈに
搬送すると共にチャックテーブルＴに吸引保持し、この
チャックテーブルＴをアライメント手段Ｉに移動してア
ライメントした後、回転ブレードを有する切削手段Ｊに
よりウェーハＷを切削するようになっている。前記テー
ブル機構Ｈは図６に示すように、チャックテーブルＴの
両側にクランプ機構Ｋが設けられ、このクランプ機構Ｋ
は内側端部がネジＫａで固定された一対のガイドバーＫ
ｂと、このガイドバーＫｂに差し渡して止めネジＫｃで
取り付けられたクランプ部Ｋｄと、このクランプ部に固
定されたエアモータＫｅと、このエアモータＫｅの回転
に伴って回動するクランプ爪Ｋｆとから構成されてい
る。このクランプ機構Ｋは図７に示すように、チャック
テーブルＴ上にフレームＦ付きウェーハＷが搬送される
と、前記エアモータＫｅが回転してクランプ爪Ｋｆをそ
れぞれ内側（矢印Ｐ、Ｑ）に回転させ、フレームＦを押
し下げてクランプ部Ｋｄに固定させる。このようにフレ
ームＦを押し下げてウェーハＷの上面より下方に固定す
るのは、切削手段Ｊによるダイシング時に回転ブレード
の妨げにならないようにするためである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】前記従来のクランプ機
構Ｋによると、ウェーハＷのサイズが異なるとそれに伴
ってフレームＦの大きさも異なるためクランプ部Ｋｄの
位置を換えなければならない。このため、従来は図６に
示すように一対のガイドバーＫｂに複数個のネジ孔Ｋｇ
を対設し、このネジ孔Ｋｇを利用してクランプ部Ｋｄの
取付位置を変更出来るようにしてある。しかしながら、
クランプ部Ｋｄの取付位置を変更する度毎に止めネジＫ
ｃを着脱しなければならないので面倒であり、作業能率
の低下を来すことにもなる。そこで、本発明は、止めネ
ジをいちいち着脱しなくてもクランプ部の位置を簡単に
変更出来るようにした、ダイシング装置のテーブル機構
を提供することを課題とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】前記課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、ダイシング装置での
ダイシングに際し、テープを介してフレームに装着され
たウェーハを保持するためのテーブル機構であって、こ
のテーブル機構はウェーハを吸引保持するチャックテー
ブルと、ダイシングの妨げにならないようにフレームを
押し下げるクランプ機構とから構成され、このクランプ
機構はクランプ部と、クランプ部の径方向の移動を案内
するガイドレールと、ガイドレールに対してクランプ部
を固定するロック部とから構成され、このロック部は解
除位置と非解除位置とに選択的に位置付けられる、ダイ
シング装置のテーブル機構を要旨とする。

【０００５】

【作 用】ロック部を解除位置にするとクランプ部をガ
イドレールに沿って移動させることが出来、所定位置に
移動させた後にロック部を非解除位置にすればクランプ
部を固定することが出来る。従来のようにクランプ部の
移動に際し、その止めネジをいちいち着脱する必要がな
くなる。

【０００６】

【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳説する。図１は本発明に係るテーブル機構１を示すも
ので、このテーブル機構１はウェーハＷを吸引保持する
ためのチャックテーブル２と、ダイシングの妨げになら
ないようにフレームＦを押し下げるクランプ機構３とか
ら構成されている。

【０００７】前記クランプ機構３はテーブル保持台４の
両側に対設され、内側端部がネジ５で固定された一対の
ガイドレール６と、このガイドレール６に沿って径方向
（Ｘ軸方向）に摺動可能に嵌合されたクランプ部７と、
このクランプ部７をガイドレール６に固定するロック部
８とから構成されている。

【０００８】前記クランプ部７は、エアモータ９が固定
されると共にこのエアモータ９の回転に伴って回転する
クランプ爪１０が取り付けられ、図３に示すようにこの
クランプ爪１０によってフレームＦを押し下げてクラン
プ部７に固定出来るようにしてある。

【０００９】前記ロック部８は、図２に示すようにクラ
ンプ部７内にバネ１１を介して装着され、先端に設けら
れた突起８ａがクランプ部７の孔７ａから外部に突出
し、前記ガイドレール６の側面に設けられた複数個の位
置決め用凹溝６ａに嵌入することでクランプ部７を固定
出来るようにしてある。即ち、実線で示した位置はロッ
ク部８の非解除位置Ｒである。

【００１０】又、ロック部８の頭部のつまみ８ｂをバネ
１１に抗して手前（Ｙ軸方向）に引くと、前記突起８ａ
がガイドレール６の凹溝６ａから外れ、クランプ部７を
ガイドレール６に沿って移動させることが出来る。即
ち、図２に仮想線で示した位置はロック部８の解除位置
Ｓである。

【００１１】クランプ部７を所定の位置に移動させる
と、バネ１１の復元力によって先端の突起８ａがガイド
レール６の凹溝６ａ内に嵌り込み、クランプ部７を再び
固定することが出来る。クランプ部７の移動中はロック
部８の突起８ａがガイドレール６の側面に当接している
ので、その間ずっとつまみ８ｂを引っ張っていなくても
解除位置Ｓがそのまま保持され、突起８ａが凹溝６ａの
位置に至るとバネ１１の復元力によって凹溝６ａ内に自
動的に挿入され非解除位置Ｒとなる。従って、クランプ
部７の移動操作は極めて簡単であり、且つ位置決めも確
実に出来る。

【００１２】このようにして、ロック部８は解除位置Ｓ
と非解除位置Ｒとに選択的に位置付けられ、ガイドレー
ル６に対してクランプ部７の移動及び固定が出来るよう
にしてある。尚、テーブル機構１は、前記と同様にダイ
シング装置に組み込んで使用される。

【００１３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ダイシング装置のウェーハを吸引保持するテーブル機構
において、フレームを押し下げて固定するクランプ部の
位置を簡単に変更出来るようにしたので、従来のように
クランプ部の止めネジをその都度着脱しなくても済み、
作業者の負担を軽減すると共に作業能率を向上させる等
の優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係るテーブル機構を示す要部斜視図
である。

【図２】 同、ロック部の構造を示す断面図である。

【図３】 フレーム付きウェーハを保持した状態を示す
要部正面図である。

【図４】 フレーム付きウェーハの平面図である。

【図５】 ダイシング装置の一例を示す斜視図である。

【図６】 従来のテーブル機構を示す要部斜視図であ
る。

【図７】 同、フレーム付きウェーハを保持した状態を
示す要部正面図である。

【符号の説明】

１…テーブル機構 ２…チャックテーブル ３…ク
ランプ機構 ４…テーブル保持台 ５…ネジ ６
…ガイドレール ６ａ…凹溝 ７…クランプ部
８…ロック部 ８ａ…突起 ８ｂ…つまみ ９…
エアモータ １０…クランプ爪 １１…バネ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ダイシング装置でのダイシングに際し、
   テープを介してフレームに装着されたウェーハを保持す
   るためのテーブル機構であって、このテーブル機構はウ
   ェーハを吸引保持するチャックテーブルと、ダイシング
   の妨げにならないようにフレームを押し下げるクランプ
   機構とから構成され、このクランプ機構はクランプ部
   と、クランプ部の径方向の移動を案内するガイドレール
   と、ガイドレールに対してクランプ部を固定するロック
   部とから構成され、このロック部は解除位置と非解除位
   置とに選択的に位置付けられる、ダイシング装置のテー
   ブル機構。