JPH0870585A - 超音波アクチュエータ駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 相対運動部材が外部に露出していても、ゴミ
等の付着により、駆動力や駆動効率が低下することを防
止する。 【構成】 駆動信号により励振される圧電１２、１３
と、圧電素子１２、１３が接合され、その圧電素子の励
振により駆動部に楕円運動を生じる弾性体１１と、弾性
体１１の駆動部に加圧接触する相対運動部材２０と、相
対運動部材２０に付着した付着物を取り除く掃除部材１
８とを含む。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波アクチュエータ
を用いた駆動装置に関し、特に、縦振動モードと屈曲振
動モードを２相駆動して、板状弾性体の駆動面に楕円運
動を発生させて駆動力を得る超音波アクチュエータ駆動
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図７は、リニア型超音波モータの従来例
を示す図である。従来のリニア型超音波モータは、棒状
弾性体１０１の一端側に加振用の変成器１０２が配置さ
れ、他端側に制振用の変成器１０３が配置されている。
各変成器１０２，１０３には、振動子１０２ａ，１０３
ａが接合されている。加振用の振動子１０２ａに発振器
１０２ｂから交流電圧を印加して棒状弾性体１０１を振
動させ、この振動が棒状弾性体１０１を伝播することに
より進行波となる。この進行波により、棒状弾性体１０
１に加圧接触された移動体１０４が駆動される。

【０００３】一方、棒状弾性体１０１の振動は、制振用
の変成器１０３を通じて振動子１０３ａに伝えられ、こ
の振動子１０３ａによって振動エネルギーが電気エネル
ギーに変換される。この振動子１０３ａに接続された負
荷１０３ｂにより電気エネルギーを消費することにより
振動を吸収する。この制振用の変成器１０３により、棒
状弾性体１０１の端面の反射を抑制して、棒状弾性体１
０１の固有モードの定在波の発生を防いでいる。

【０００４】図７のリニア型超音波モータは、移動体１
０４の移動範囲だけ、棒状弾性体１０１の長さが必要で
あり、その棒状弾性体１０１の全体を加振しなければな
らず、装置が大型化するとともに、固有モードの定在波
の発生を防止するために、制振用の変成器１０３などが
必要となる、という問題があった。

【０００５】このような問題を解決するために、自走式
の超音波モータが種々提案されており、例えば、「第５
回電磁力関連のダイナミックスシンポジウム講演論文
集」の「２２２ 光ピックアップ移動を目的とした圧電
リニアモータ」に記載されている「異形縮退縦Ｌ１−屈
曲Ｂ４モード・平板モータ」が知られている。

【０００６】図８は、異形縮退縦Ｌ１−屈曲Ｂ４モード
・平板モータの従来例を示す模式図であって、図８
（Ａ）は正面図、図８（Ｂ）は側面図、図８（Ｃ）は平
面図である。弾性体１は、矩形平板状の基礎部１ａと、
その基礎部１ａの一方の面に形成された駆動部１ｂ，１
ｃとから構成されている。圧電素子２，３は、弾性体１
の基礎部１ａの他方の面に貼付され、縦振動Ｌ１モード
と屈曲振動Ｂ４モードを発生させる素子である。弾性体
１の駆動部１ｂ，１ｃは、基礎部１ａに発生する屈曲振
動Ｂ４モードの腹の位置に設けられており、相対運動部
材（不図示）に押し付けられる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記した図７の超音波
アクチュエータは、相対運動部材が駆動装置外に露出さ
れている場合に、外部のゴミ等の付着物が相対運動部材
に付着することがあり、その付着物が付着したまま、超
音波アクチュエータ駆動装置内に入り込んでしまう可能
性があった。この場合に、弾性体の駆動面と相対運動部
材の間に付着物が挟まってしまい、相対運動部材へ弾性
体の駆動力がうまく伝達されず、駆動力及び駆動効率が
低下する、という問題点が発生する。

【０００８】特に、相対運動部材が線状部材である場合
に、弾性体との接触が１次元（点接触）であるので、相
対運動部材と弾性対が面接触する場合に比較すると、駆
動力及び駆動効率の低下量が大きい、という問題点も発
生する。

【０００９】本発明の目的は、相対運動部材が外部に露
出していても、ゴミ等の付着物が付着して、駆動力や駆
動効率が低下することを防止した超音波アクチュエータ
駆動装置を提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、請求項１の発明は、駆動信号により励振される電気
−機械変換素子（１２、１３）と、前記電気−機械変換
素子が接合され、その電気−機械変換素子の励振により
駆動部に楕円運動又は進行性振動波を生じる弾性体（１
１）と、前記弾性体の駆動部に加圧接触する相対運動部
材（２０）と、前記相対運動部材に付着した付着物を取
り除く掃除部材（１８）と、を含むように構成されてい
る。

【００１１】請求項２の発明は、駆動信号により励振さ
れる電気−機械変換素子と（１２、１３）、前記電気−
機械変換素子が接合され、その電気−機械変換素子の励
振により駆動部に楕円運動を生じる弾性体（１１）と、
前記弾性体の駆動部に加圧され、その駆動部の楕円運動
により回転運動が生ずる駆動ローラ（１４）と、前記駆
動ローラの回転が伝達される相対運動部材（２０）と、
前記駆動ローラの反対側の面で前記相対運動部材に接触
し、その相対運動部材の移動に伴って発生する摩擦的な
反力を低減する補助ローラ（１５）と、前記弾性体を前
記駆動ローラに加圧する第１加圧部材（１６）と、前記
相対運動部材を前記補助ローラと前記駆動ローラとによ
って挟み込みながら加圧する第２加圧部材（１７）と、
前記相対運動部材に付着した付着物を取り除く掃除部材
（１８）と、を含むように構成されている。

【００１２】請求項３の発明は、請求項１又は請求項２
記載の超音波アクチュエータ駆動装置において、前記掃
除部材は、超音波振動することを特徴とする。

【００１３】請求項４の発明は、請求項３記載の超音波
アクチュエータ駆動装置において、前記掃除部材（１
８）は、駆動信号により励振される掃除用電気−機械変
換素子（１８−１）と、前記掃除用電気−機械変換素子
と共に励振する掃除用弾性体（１８−２）と、前記掃除
用弾性体に設けられ、前記相対運動部材に付着した付着
物を取り除く除去部材（１８−３）と、を備えたことを
特徴とする。

【００１４】請求項５の発明は、請求項１から請求項４
のいずれか１項に記載の超音波アクチュエータ駆動装置
において、前記電気−機械変換素子と前記掃除用電気−
機械変換素子とは、同一の駆動回路によって駆動される
ことを特徴とする。

【００１５】請求項６の発明は、請求項１から請求項５
のいずれか１項に記載の超音波アクチュエータ駆動装置
において、前記相対運動部材は、面状部材（２１）であ
り、前記掃除部材（１８Ａ）は、前記相対運動部材の前
記弾性体側を掃除すること特徴とする。

【００１６】

【作用】本発明によれば、相対運動部材は、弾性体と接
触する直前に、外部で付着したゴミ等の付着物が掃除部
材により取り除かれる。従って、相対運動部材と弾性体
との間に付着物が進入することがなくなり、駆動力や駆
動効率が低下することを防止できる。

【００１７】

【実施例】

（第１実施例）以下、図面等を参照して、実施例につ
き、さらに詳細に説明する。図１，図２は、本発明によ
る超音波アクチュエータ駆動装置の第１実施例を示した
外観図であって、図１は側面から見た図であり、図２
（ａ）は相対運動部材の駆動する方向から見た図であ
り、図２（ｂ）は図１（ａ）の一点鎖線の箇所を切断し
た断面図である。

【００１８】この実施例の駆動装置は、弾性体１１と、
圧電素子１２、１３と、駆動ローラ１４と、補助ローラ
１５と、第１加圧部材１６と、第２加圧部材１７と、掃
除部材１８と、支持部材１９とから構成されている。弾
性体１１は、基礎部１１ａと、２つの駆動部１１ｂ，１
１ｃとを有し、その基礎部１１ａには、圧電素子１２，
１３が配置されている。駆動部１１ｂ，１１ｃの先端に
は、摺動材１１ｄが接合されている。

【００１９】圧電素子１２，１３は、電気エネルギ−を
機械エネルギ−に変換する電気−機械変換素子である。
なお、圧電素子の代わりに、電歪素子等を用いてもよ
い。この圧電素子１２，１３は、弾性体１１の接合面に
接合されており、圧電素子１２，１３の励振により、弾
性体１１に発生した縦振動Ｌ１モードと屈曲振動Ｂ４モ
ードの合成振動により、駆動面に楕円運動が発生する。
圧電素子１２ａ，１３ａは、弾性体１１の振動状態を検
出する機械−電気変換素子であり、駆動回路は、この検
出値をもとに好適な駆動状態に制御される。

【００２０】駆動ローラ１４は、弾性体１１の駆動部１
１ｂ，１１ｃに加圧され、駆動部１１ｂ，１１ｃに発生
した楕円運動により回転運動が生じ、相対運動部材２０
へ駆動力を伝達するローラである。補助ローラ１５は、
相対運動部材２０の駆動に伴って発生する摩擦的な反力
を低減するためのローラである。第１加圧部材１６は、
弾性体１１を駆動ローラ１４に加圧する部材である。緩
衝材１６ａは、加圧により弾性体１１の振動の減衰を防
止するためのものであり、フェルト等の材料が好適に使
用される。第２加圧部材１７は、相対運動部材２０を駆
動ローラ１４と補助ローラ１５とによって挟み込みなが
ら加圧する部材である。掃除部材１８は、相対運動部材
２０の付着物を取り除く部材である。支持部材１９は、
弾性体１１と駆動ローラ１４と補助ローラ１５と第１及
び第２加圧部材１６，１７と掃除部材１８を支持する部
材である。

【００２１】相対運動部材２０は、弾性体１１の幅より
幅が小さい部材（例えば、線状部材）であり、駆動ロー
ラ１４と補助ローラ１５に挟み込まれて、駆動ローラ１
４から駆動力が伝達されることにより駆動される。

【００２２】以上のような構成によると、圧電素子１
２，１３は、駆動信号により励振されて、弾性体１１の
駆動部１１ｂ，１１ｃに楕円運動が生じ、弾性体１１と
弾性体駆動面に加圧接触された駆動ローラ１４との間に
駆動力が発生し、駆動ローラ１４が回転する。駆動ロー
ラ１４の回転に伴い、駆動ローラ１４に加圧接触された
相対運動部材２０が駆動される。

【００２３】この実施例では、圧電素子１２，１３は、
図１（Ｂ）のように、分極されており、後述する図３
（Ａ）のような２相の入力電圧Ａ，Ｂが印加される。

【００２４】図１に示すように、この超音波モータは、
２つの圧電素子１２，１３に高周波電圧Ａ，Ｂを印加す
ることによって、屈曲振動と縦振動との複合振動を起こ
し、これにより駆動部１１ｂ，１１ｃとの先端に楕円運
動を発生させ、駆動力を発生させる構成になっている。
ここで、Ｇはグランドである。また、２つの圧電素子１
２，１３は、互いに極性が同一方向になるように分極さ
れ、高周波電圧Ａ，Ｂは、π／２の時間的位相差を有し
ている。なお、２つの圧電素子１２，１３の分極は互い
に逆方向であってもよい。

【００２５】図３（Ａ）は、超音波モータに入力される
２相の高周波電圧Ａ，Ｂの時間的変化をｔ１〜ｔ９で示
している。図３（Ａ）の横軸は、高周波電圧の実効値を
示している。図３（Ｂ）は、超音波モータの断面の変形
の様子を示し、超音波モータに発生する屈曲振動の時間
的変化（ｔ１〜ｔ９）を示している。図３（Ｃ）は、超
音波モータの断面の変形の様子を示し、超音波モータに
発生する縦振動の時間的変化（ｔ１〜ｔ９）を示してい
る。図３（Ｄ）は、超音波モータの突起部１１ｂ，１１
ｃとに発生する楕円運動の時間的変化（ｔ１〜ｔ９）を
示している。

【００２６】次に、この実施例の超音波モータの動作
を、時間的変化（ｔ１〜ｔ９）ごとに説明する。時間ｔ
１において、図３（Ａ）に示すように、高周波電圧Ａは
正の電圧を発生し、同様に高周波電圧Ｂは同一の正の電
圧を発生する。図３（Ｂ）に示すように、高周波電圧
Ａ，Ｂによる屈曲運動は互いに打ち消し合い、質点Ｙ１
とＺ１とが振幅零となる。また、図３（Ｃ）に示すよう
に、高周波電圧Ａ，Ｂによる縦振動は伸張する方向に発
生する。質点Ｙ２とＺ２とは矢印で示されるように、節
Ｘを中心にして最大の伸長を示す。その結果、図３
（Ｄ）に示すように、上記両振動が複合され、質点Ｙ１
とＹ２との運動の合成が質点Ｙの運動となり、また、質
点Ｚ１とＺ２との運動の合成が質点Ｚの運動となる。

【００２７】時間ｔ２において、図３（Ａ）に示すよう
に、高周波電圧Ｂは零となり、高周波電圧Ａは正の電圧
を発生する。図３（Ｂ）に示すように、高周波電圧Ａに
よる屈曲運動が発生し、質点Ｙ１が正方向に振幅し、質
点Ｚ１が負方向に振幅する。また、図３（Ｃ）に示すよ
うに、高周波電圧Ａによる縦振動が発生し、質点Ｙ２と
質点Ｚ２とが時間ｔ１のときよりも縮む。その結果、図
３（Ｄ）に示すように、上記両振動が複合され、質点Ｙ
とＺとが時間ｔ１のときよりも右回りに移動する。

【００２８】時間ｔ３において、図３（Ａ）に示すよう
に、高周波電圧Ａは正の電圧を発生し、同様に高周波電
圧Ｂは同一の負の電圧を発生する。図３（Ｂ）に示すよ
うに、高周波電圧Ａ及びＢによる屈曲運動が合成されて
増幅され、質点Ｙ１が時間ｔ２のときよりも正方向に増
幅され、最大の正の振幅値を示す。質点Ｚ１が時間ｔ２
のときよりも負方向に増幅され、最大の負の振幅値を示
す。また、図３（Ｃ）に示すように、高周波電圧Ａ及び
Ｂによる縦振動が互いに打ち消しあい、質点Ｙ２とＺ２
とが元の位置に戻る。その結果、図３（Ｄ）に示すよう
に、上記両振動が複合され、質点ＹとＺとが時間ｔ２の
ときよりも右回りに移動する。

【００２９】時間ｔ４において、図３（Ａ）に示すよう
に、高周波電圧Ａは零となり、高周波電圧Ｂは負の電圧
を発生する。図３（Ｂ）に示すように、高周波電圧Ｂに
よる屈曲運動が発生し、質点Ｙ１は時間ｔ３のときより
も振幅が低下し、質点Ｚ１時間ｔ３のときよりも振幅が
低下する。また、図３（Ｃ）に示すように、高周波電圧
Ｂによる縦振動が発生し、質点Ｙ２とＺ２が収縮する。
その結果、図３（Ｄ）に示すように、上記両振動が複合
され、質点ＹとＺとが時間ｔ３のときよりも右回りに移
動する。

【００３０】時間ｔ５において、図３（Ａ）に示すよう
に、高周波電圧Ａは負の電圧を発生し、同様に高周波電
圧Ｂは同一の負の電圧を発生する。図３（Ｂ）に示すよ
うに、高周波電圧Ａ，Ｂによる屈曲運動は互いに打ち消
し合い、質点Ｙ１とＺ１とが振幅零となる。また、図３
（Ｃ）に示すように、高周波電圧Ａ，Ｂによる縦振動は
収縮する方向に発生する。質点Ｙ２とＺ２とは矢印で示
されるように、節Ｘを中心にして最大の収縮を示す。そ
の結果、図３（Ｄ）に示すように、上記両振動が複合さ
れ、質点ＹとＺとが時間ｔ４のときよりも右回りに移動
する。

【００３１】時間ｔ６〜ｔ９に変化するにしたがって、
上述の原理と同様に屈曲振動及び縦振動が発生し、その
結果、図３（Ｄ）に示すように、質点Ｙ及び質点Ｚが右
回りに移動し、楕円運動をする。以上の原理により、こ
の超音波アクチュエータ駆動装置は、突起部１１ａ，１
１ｂとの先端に楕円運動を発生させ、駆動力を発生させ
る構成となっている。従って、突起部１１ｂ，１１ｃの
先端を相対運動部材２０に加圧すると、弾性体１１は、
相対運動部材２０を移動させる。

【００３２】このときに、掃除部材１８は、超音波アク
チュエータ駆動装置の外部で相対運動部材２０（線状部
材）に付着した付着物を取り除く。従って、駆動ローラ
１４と相対運動部材２０との間又は駆動ローラ１４と弾
性体１１との間に、相対運動部材２０に付着した付着物
が進入することがなくなり、駆動力や駆動効率が低下す
ることを防止できる。

【００３３】図４は、第１実施例に係る掃除部材を説明
する図である。掃除部材１８は、駆動信号により励振さ
れる掃除部圧電素子１８−１と、掃除部圧電素子１８−
１と共に励振する掃除部弾性体１８−２と、掃除部弾性
体１８−２に設けられ、線状の相対運動部材２０に付着
した付着物を取り除くブラシ状の除去部１８−３とから
構成される。

【００３４】掃除部圧電素子１８−１は、駆動信号によ
り励振され、その励振に伴い掃除部弾性体１８−２が励
振される。掃除部弾性体１８−２の励振により、除去部
１８−３が振動し、相対運動部材２０に付着した付着物
が除去される。この実施例では、除去部１８−３を超音
波振動させたために、相対運動部材２０が除去部１８−
３を通過するときに生じる摩擦抵抗が減少する。また、
除去部１８−３を振動させたことにより、除去効果も向
上する。なお、本実施例では、掃除部材１８の除去を超
音波振動により駆動するようにしたが、超音波振動をさ
せなくても付着物を除去する効果は生じる。

【００３５】図５は、第１実施例による超音波アクチュ
エータ駆動装置の駆動回路を示すブロック図である。発
振器３１は、弾性体１１と圧電素子１２，１３から構成
される振動体の１次の縦振動モードと４次の屈曲振動モ
ードに相当する周波数の信号を発振するためのものであ
る。発振器３１の出力は分岐して、一方の出力は、増幅
器３３によって増幅された後に、Ａ相電圧として、圧電
素子１２及び掃除部圧電素子１８−１の電極に入力され
る。また、分岐した他方の出力は、移相器３２に接続さ
れており、この移相器３２によって、Ａ相電圧とはπ／
２だけ位相をずらしてＢ相電圧とした後に、増幅器３４
を介して、圧電素子１３の電極に入力される。

【００３６】掃除部圧電素子１８−１に印加する駆動信
号は、掃除部弾性体１８−２と超音波アクチュエータの
弾性体１１との共振周波数をほぼ同じにすることによ
り、超音波アクチュエータに印加する駆動信号の発生部
と掃除部材１８に印加する駆動信号の発生部とを共通に
することができ、これにより駆動回路を簡略化すること
ができる。なお、掃除部圧電素子１８−１に印加する駆
動信号は、超音波アクチュエータに印加する駆動信号と
別にしてもよい。

【００３７】（第２実施例）図６は、本発明による超音
波アクチュエータ駆動装置の第２実施例を示した外観図
である。なお、前述した第１実施例と同様な機能を果た
す部分には、同一の符号を付して重複する説明を適宜省
略する。第１実施例では、線状の相対運動部材を駆動す
る場合について説明したが、第２実施例は、相対運動部
材が線状でない場合、例えば、紙状や平板状の場合の例
である。

【００３８】相対運動部材２１は、紙状又は平板状であ
り、駆動ローラ１４と補助ローラ１５に挟み込まれ、駆
動ローラ１４から駆動力が伝達されることにより駆動さ
れる。第２実施例では、補助ローラ１５側の相対運動部
材２１の面の付着物は性能低下にほとんど影響がないた
めに、駆動ローラ１４側の面のみの付着物を除去するよ
うに除去部１８Ａを設けるようにした。

【００３９】以上説明した実施例に限定されず、種々の
変形や変更が可能であって、それらも本発明に含まれ
る。本実施例では、相対運動部材の付着物を除去する部
材として、ブラシ状の除去部材を用いたが、スポンジ等
の部材に圧接することによって、付着物を除去してもよ
い。また、ブラシやスポンジ等の部材を設けなくても、
空気を吹き付けることにより、付着物を吹き飛ばして除
去する方法など、相対運動部材に付着した付着物を除去
する方法ならどのような方法でもよい。

【００４０】また、電気機械変換素子として、圧電体の
例で説明したが、電歪素子であってもよい。さらに、振
動モードとして、Ｌ１−Ｂ４モードの振動を例に説明し
たが、Ｌ１−Ｂ２，Ｌ１−Ｂ６，Ｌ２−Ｂ４などの他の
モードを使用するようにしてもよい。さらにまた、弾性
体側を固定して、相対運動部材を移動させ例で説明した
が、相対運動部材を固定して、自走式としてもよい。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、外
部で相対運動部材に付着したゴミ等の付着物を掃除部材
により取り除くようにしたので、相対運動部材又は弾性
体に接触する接触部材と弾性体との間に、付着物の進入
することがなくなり、駆動力や駆動効率が低下すること
を防止できる、という効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による超音波アクチュエータ駆動装置の
第１の実施例を示した外観図（側面図）である。

【図２】第１実施例にかかる超音波アクチュエータ駆動
装置の外観図（相対運動部材の駆動する方向から見た図
および図１（ａ）の一点鎖線手の箇所を切断した断面
図）である。

【図３】第１の実施例にかかる超音波アクチュエータ駆
動装置の駆動動作を説明する図である。

【図４】第１実施例にかかる超音波アクチュエータ駆動
装置の掃除部材を説明する図である。

【図５】第１実施例にかかる超音波アクチュエータ駆動
装置の駆動回路を示すブロック図である。

【図６】本発明による超音波アクチュエータ駆動装置の
第２の実施例を示した模式図である。

【図７】リニア型超音波モータの従来例を示す図であ
る。

【図８】異形縮退縦Ｌ１−屈曲Ｂ４モード・平板モータ
の一例を示す模式図である。

【符号の説明】

１１ 弾性体 １２、１３ 圧電素子 １４ 駆動ローラ １５ 補助ローラ １６ 第１加圧部材 １７ 第２加圧部材 １８ 掃除部材 １９ 支持部材 ２０ 相対運動部材 ３１ 発振部 ３２ 移相部 ３３、３４ 増幅部

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 駆動信号により励振される電気−機械変
   換素子と；前記電気−機械変換素子が接合され、その電
   気−機械変換素子の励振により駆動部に楕円運動又は進
   行性振動波を生じる弾性体と；前記弾性体の駆動部に加
   圧接触する相対運動部材と；前記相対運動部材に付着し
   た付着物を取り除く掃除部材と；を含む超音波アクチュ
   エータ駆動装置。
2. 【請求項２】 駆動信号により励振される電気−機械変
   換素子と；前記電気−機械変換素子が接合され、その電
   気−機械変換素子の励振により駆動部に楕円運動を生じ
   る弾性体と；前記弾性体の駆動部に加圧され、その駆動
   部の楕円運動により回転運動が生ずる駆動ローラと；前
   記駆動ローラの回転が伝達される相対運動部材と；前記
   駆動ローラの反対側の面で前記相対運動部材に接触し、
   その相対運動部材の移動に伴って発生する摩擦的な反力
   を低減する補助ローラと；前記弾性体を前記駆動ローラ
   に加圧する第１加圧部材と；前記相対運動部材を前記補
   助ローラと前記駆動ローラとによって挟み込みながら加
   圧する第２加圧部材と；前記相対運動部材に付着した付
   着物を取り除く掃除部材と；を含む超音波アクチュエー
   タ駆動装置。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２記載の超音波アク
   チュエータ駆動装置において、 前記掃除部材は、超音波振動することを特徴とする超音
   波アクチュエータ駆動装置。
4. 【請求項４】 請求項３記載の超音波アクチュエータ駆
   動装置において、 前記掃除部材は、 駆動信号により励振される掃除用電気−機械変換素子
   と；前記掃除用電気−機械変換素子と共に励振する掃除
   用弾性体と；前記掃除用弾性体に設けられ、前記相対運
   動部材に付着した付着物を取り除く除去部材と；を備え
   たことを特徴とする超音波アクチュエータ駆動装置。
5. 【請求項５】 請求項１から請求項４のいずれか１項に
   記載の超音波アクチュエータ駆動装置において、 前記電気−機械変換素子と前記掃除用電気−機械変換素
   子とは、同一の駆動回路によって駆動されることを特徴
   とする超音波アクチュエータ駆動装置。
6. 【請求項６】 請求項１から請求項５のいずれか１項に
   記載の超音波アクチュエータ駆動装置において、 前記相対運動部材は、面状部材であり、 前記掃除部材は、前記相対運動部材の前記弾性体側を掃
   除することを特徴とする超音波アクチュエータ駆動装
   置。