JPH0871477A - ノズル容器 - Google Patents
ノズル容器Info
- Publication number
- JPH0871477A JPH0871477A JP6206438A JP20643894A JPH0871477A JP H0871477 A JPH0871477 A JP H0871477A JP 6206438 A JP6206438 A JP 6206438A JP 20643894 A JP20643894 A JP 20643894A JP H0871477 A JPH0871477 A JP H0871477A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- fluid
- cap
- container
- syringe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/01—Manufacture or treatment
- H10W72/011—Apparatus therefor
- H10W72/0113—Apparatus for manufacturing die-attach connectors
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】塗布する流体に無駄がなく、ノズルの加工が容
易でノズルからの吐出量にばらつきがなく均一に流体を
塗布できるノズル容器を提供する。 【構成】ノズル容器内の流路３を等角度で複数本に分岐
しそれぞれの流路３に接続する流体出口６をノズル１側
に広がる漏斗状にしてノズルホルダ２のノズル１の全領
域を被覆するように形成する。これにより、それぞれの
ノズル１から吐出される流体７の量がどの位置でも安定
して一定量となり流体１を均一に塗布できる。
易でノズルからの吐出量にばらつきがなく均一に流体を
塗布できるノズル容器を提供する。 【構成】ノズル容器内の流路３を等角度で複数本に分岐
しそれぞれの流路３に接続する流体出口６をノズル１側
に広がる漏斗状にしてノズルホルダ２のノズル１の全領
域を被覆するように形成する。これにより、それぞれの
ノズル１から吐出される流体７の量がどの位置でも安定
して一定量となり流体１を均一に塗布できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はノズル容器に関し、特に
半導体用樹脂の塗布に用いるノズル容器に関する。
半導体用樹脂の塗布に用いるノズル容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の流体塗布用のノズル容器は、図４
に示すように、複数のノズル８を有するノズルホルダ９
と、流体入口１０を有するキャップ１１と、ノズルホル
ダ９に流体７を供給するシリンジ５によって構成されて
いる。シリンジ５内の流体７は、シリンジ５内部にエア
ー圧力をかけることにより流体入口１０を通りノズル８
から押し出されるが、各々のノズル８からの流体吐出量
を一定にするためにキャップ１１内は流体圧力を全ノズ
ルに分散されるためノズル８側が広口の漏斗状となって
いる。又、ノズル容器は、内部の清掃ができるように、
ノズルホルダ９にキャップ１１が螺合され脱着ができる
構造となっている。
に示すように、複数のノズル８を有するノズルホルダ９
と、流体入口１０を有するキャップ１１と、ノズルホル
ダ９に流体７を供給するシリンジ５によって構成されて
いる。シリンジ５内の流体７は、シリンジ５内部にエア
ー圧力をかけることにより流体入口１０を通りノズル８
から押し出されるが、各々のノズル８からの流体吐出量
を一定にするためにキャップ１１内は流体圧力を全ノズ
ルに分散されるためノズル８側が広口の漏斗状となって
いる。又、ノズル容器は、内部の清掃ができるように、
ノズルホルダ９にキャップ１１が螺合され脱着ができる
構造となっている。
【０００３】この構造のノズル容器では、シリンジ５内
に流体７がなくなりエアー圧力がキャップ１１の流体入
口１０に直接伝わるようになると、各々のノズル８から
の流体吐出量にばらつきが生じる。このばらつきをなく
すため、シリンジ５内に流体７がなくなると新しいシリ
ンジ５と交換しているが、ノズルホールダ９とキャップ
１１内部には流体７がそのまま残り、この液体７が半導
体チップ接着用樹脂のように粘度が高く長時間常温で放
置できない場合、ノズル８のつまりを防止するため頻繁
にノズル８の清掃を行っており、そのためノズル容器内
の半導体チップ接着用樹脂が無駄になっている。近年、
半導体チップサイズが大きくなりノズル容器が大きくな
るにつれてノズル容器内の体積がシリンジ５内の体積の
約２５％にもなっており、半導体チップ接着用樹脂を無
駄にする量が増えている。又、塗布面積が大きくなる
と、各々のノズル８からの塗布量がばらつくようにな
る。
に流体７がなくなりエアー圧力がキャップ１１の流体入
口１０に直接伝わるようになると、各々のノズル８から
の流体吐出量にばらつきが生じる。このばらつきをなく
すため、シリンジ５内に流体７がなくなると新しいシリ
ンジ５と交換しているが、ノズルホールダ９とキャップ
１１内部には流体７がそのまま残り、この液体７が半導
体チップ接着用樹脂のように粘度が高く長時間常温で放
置できない場合、ノズル８のつまりを防止するため頻繁
にノズル８の清掃を行っており、そのためノズル容器内
の半導体チップ接着用樹脂が無駄になっている。近年、
半導体チップサイズが大きくなりノズル容器が大きくな
るにつれてノズル容器内の体積がシリンジ５内の体積の
約２５％にもなっており、半導体チップ接着用樹脂を無
駄にする量が増えている。又、塗布面積が大きくなる
と、各々のノズル８からの塗布量がばらつくようにな
る。
【０００４】このノズル８からの塗布量のばらつきをな
くすため、実開平３−９０６４５号公報では、図５およ
び図６（ａ），（ｂ）に示すように、Ｔ字型の共通導管
１３に１列に植設された複数のノズル８ａのそれぞれの
中途に流路抵抗を調節する縮軽部１２を形成し、Ｘとｄ
を変えることによって流路抵抗を共通導管１３の中心か
ら遠ざかるにつれて小さくし、各々のノズル８ａからの
流体吐出量を一定にできる構造を提案している。
くすため、実開平３−９０６４５号公報では、図５およ
び図６（ａ），（ｂ）に示すように、Ｔ字型の共通導管
１３に１列に植設された複数のノズル８ａのそれぞれの
中途に流路抵抗を調節する縮軽部１２を形成し、Ｘとｄ
を変えることによって流路抵抗を共通導管１３の中心か
ら遠ざかるにつれて小さくし、各々のノズル８ａからの
流体吐出量を一定にできる構造を提案している。
【０００５】しかしながら、この構造のノズル容器は、
縮径部１２をもつノズル８ａの加工が難しい上粘度の高
い流体には適用が難しく縮径部１２に流体がつまり易
く、また洗浄によりノズル８ａ内部の流体づまりを除去
することが困難である。
縮径部１２をもつノズル８ａの加工が難しい上粘度の高
い流体には適用が難しく縮径部１２に流体がつまり易
く、また洗浄によりノズル８ａ内部の流体づまりを除去
することが困難である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】以上説明したように従
来のノズル容器は、ノズルのつまりを防止するため頻繁
にノズルの清掃を行わなければならず、そのため塗布す
る高価な半導体チップ接着用樹脂が無駄になるという問
題点があった。
来のノズル容器は、ノズルのつまりを防止するため頻繁
にノズルの清掃を行わなければならず、そのため塗布す
る高価な半導体チップ接着用樹脂が無駄になるという問
題点があった。
【０００７】又、塗布面積が大きくなると塗布量がばら
つき、このばらつきを防止する構造のノズル容器では、
ノズルの加工が難しい上粘度の高い流体には適用が難し
くノズル内部の流体づまりを除去することが困難である
という問題点があった。
つき、このばらつきを防止する構造のノズル容器では、
ノズルの加工が難しい上粘度の高い流体には適用が難し
くノズル内部の流体づまりを除去することが困難である
という問題点があった。
【０００８】本発明の目的は、塗布する流体に無駄がな
く、加工が容易でノズルからの吐出量にばらつきがなく
均一に流体を塗布できるノズル容器を提供することにあ
る。
く、加工が容易でノズルからの吐出量にばらつきがなく
均一に流体を塗布できるノズル容器を提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、流体吐出用の
複数のノズルが所定形状の領域内に植設されたノズルホ
ルダと、このノズルホルダに螺合し前記複数のノズルに
流体を供給するキャップと、このキャップに接続しエア
ー圧力により前記キャップ内に前記流体を供給するシリ
ンジとを有するノズル容器において、前記キャップ内に
中心部を除く周辺部に等角度で複数本に分岐されて配置
された流路と、この複数本に分岐されて配置された流路
に接続し前記ノズル側に広がる漏斗状の形状を有し前記
所定形状のノズル領域を被覆する流体出口とを備えてい
る。
複数のノズルが所定形状の領域内に植設されたノズルホ
ルダと、このノズルホルダに螺合し前記複数のノズルに
流体を供給するキャップと、このキャップに接続しエア
ー圧力により前記キャップ内に前記流体を供給するシリ
ンジとを有するノズル容器において、前記キャップ内に
中心部を除く周辺部に等角度で複数本に分岐されて配置
された流路と、この複数本に分岐されて配置された流路
に接続し前記ノズル側に広がる漏斗状の形状を有し前記
所定形状のノズル領域を被覆する流体出口とを備えてい
る。
【００１０】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１１】図１は本発明の第１の実施例の断面図、図
２（ａ），（ｂ）は図１のキャップの底面図およびノズ
ルホルダの底面図である。本発明の第１の実施例は、図
１および図２（ａ），（ｂ）に示すように、複数のノズ
ル１が正方形状に植設されたノズルホルダ２と、このノ
ズルホルダ２に螺合し４等角に分割された位置に分岐し
て配置された４本の流路３とこの流路３に接続し正方形
状に植設されたノズル１の全領域を覆うようにノズル側
に広い漏斗状の４つの流体出口６とを有するキャップ４
と、このキャップ４に接続しキャップ４に流体７を供給
するシリンジ５によって構成される。
２（ａ），（ｂ）は図１のキャップの底面図およびノズ
ルホルダの底面図である。本発明の第１の実施例は、図
１および図２（ａ），（ｂ）に示すように、複数のノズ
ル１が正方形状に植設されたノズルホルダ２と、このノ
ズルホルダ２に螺合し４等角に分割された位置に分岐し
て配置された４本の流路３とこの流路３に接続し正方形
状に植設されたノズル１の全領域を覆うようにノズル側
に広い漏斗状の４つの流体出口６とを有するキャップ４
と、このキャップ４に接続しキャップ４に流体７を供給
するシリンジ５によって構成される。
【００１２】流体７はシリンジ５内のエアー圧力により
４分岐して配置された４本の流路３を通り流体出口６か
ら流出するが、流体出口６は圧力が分散されるように漏
斗状に口が開いているので、流体出口６より押し出され
た流体７は、対応する領域のノズル１の各々にほぼ均一
に流体圧力が伝わり、各々のノズル１から吐出される流
体７の量は均一となる。このノズル容器は、従来のノズ
ル容器と同様にシリンジ５内の流体７がなくなるとシリ
ンジ５の交換を行うが、ノズル容器の容器積が小さいの
で、内部に残り廃棄される流体７の量が少く流体７の無
駄を省くことができる。
４分岐して配置された４本の流路３を通り流体出口６か
ら流出するが、流体出口６は圧力が分散されるように漏
斗状に口が開いているので、流体出口６より押し出され
た流体７は、対応する領域のノズル１の各々にほぼ均一
に流体圧力が伝わり、各々のノズル１から吐出される流
体７の量は均一となる。このノズル容器は、従来のノズ
ル容器と同様にシリンジ５内の流体７がなくなるとシリ
ンジ５の交換を行うが、ノズル容器の容器積が小さいの
で、内部に残り廃棄される流体７の量が少く流体７の無
駄を省くことができる。
【００１３】図３（ａ），（ｂ）は本発明の第２の実施
例のキャップの底面図およびノズルホルダーの底面図で
ある。本発明の第２の実施例は、図１および図３
（ａ），（ｂ）に示すように、複数のノズル１が長方形
状に植設されたノズルホルダ２と、このノズルホルダー
２に螺合し同一直線上の２つの位置に分岐して配置され
た２本の流路３とこの流路３に接続し長方形状に植設さ
れたノズル１の全領域を覆うように漏斗状に口を開いた
流体出口６とを有するキャップ４と、このキャップ４に
接続しキャップ４に流体７を供給するシリンジ５によっ
て構成され、流体塗布面積が長方形状の場合に適用され
る。
例のキャップの底面図およびノズルホルダーの底面図で
ある。本発明の第２の実施例は、図１および図３
（ａ），（ｂ）に示すように、複数のノズル１が長方形
状に植設されたノズルホルダ２と、このノズルホルダー
２に螺合し同一直線上の２つの位置に分岐して配置され
た２本の流路３とこの流路３に接続し長方形状に植設さ
れたノズル１の全領域を覆うように漏斗状に口を開いた
流体出口６とを有するキャップ４と、このキャップ４に
接続しキャップ４に流体７を供給するシリンジ５によっ
て構成され、流体塗布面積が長方形状の場合に適用され
る。
【００１４】流体７はシリンジ５内のエアー圧力により
分岐した２本の流路３を通り流体出口６から流出する
が、流体出口６は圧力が分散されるように漏斗状に口が
開いているので、中心を結ぶ直線方向に伸びた長方形状
の対応する領域のノズル１の各々にほぼ均一に流体圧力
が伝わり、各々のノズル１から吐出される流体７の量は
均一となる。このノズル容器は、第１の実施例と同様に
シリンジ５内の流体７がなくなるとシリンジ５の交換を
行うが、この実施例では第１の実施例と比べ流路３と流
体出口６の容積が小さいので、内部に残り廃棄される流
体７の量をさらに少くできる。例えば、流体の塗布面積
が１０ｃｍ2 の場合、従来のノズル容器の内容積約１，
５００ｍｍ3 に対し本実施例では６００ｍｍ3 まで小さ
くすることが可能であり、廃棄する量を６０％節減でき
る。
分岐した２本の流路３を通り流体出口６から流出する
が、流体出口６は圧力が分散されるように漏斗状に口が
開いているので、中心を結ぶ直線方向に伸びた長方形状
の対応する領域のノズル１の各々にほぼ均一に流体圧力
が伝わり、各々のノズル１から吐出される流体７の量は
均一となる。このノズル容器は、第１の実施例と同様に
シリンジ５内の流体７がなくなるとシリンジ５の交換を
行うが、この実施例では第１の実施例と比べ流路３と流
体出口６の容積が小さいので、内部に残り廃棄される流
体７の量をさらに少くできる。例えば、流体の塗布面積
が１０ｃｍ2 の場合、従来のノズル容器の内容積約１，
５００ｍｍ3 に対し本実施例では６００ｍｍ3 まで小さ
くすることが可能であり、廃棄する量を６０％節減でき
る。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、ノズル容
器内の流路を等角度で複数本に分岐しそれぞれの流路に
接続する流体出口をノズル側に広がる漏斗状にしてノズ
ルホルダのノズルの全領域を被覆するように形成したの
で、それぞれのノズルから吐出される流体の量がどの位
置でも安定して一定量となり流体を均一に塗布できると
いう効果がある。
器内の流路を等角度で複数本に分岐しそれぞれの流路に
接続する流体出口をノズル側に広がる漏斗状にしてノズ
ルホルダのノズルの全領域を被覆するように形成したの
で、それぞれのノズルから吐出される流体の量がどの位
置でも安定して一定量となり流体を均一に塗布できると
いう効果がある。
【００１６】また、ノズル容器の内容積が小さくなって
いるので、ノズル容器内に残留し廃棄される高価な流体
の量を低減できるので資材費を節減できる効果もある。
いるので、ノズル容器内に残留し廃棄される高価な流体
の量を低減できるので資材費を節減できる効果もある。
【図１】本発明の第１の実施例の断面図である。
【図２】（ａ），（ｂ）は図１のキャップの底面図およ
びノズルホルダの底面図である。
びノズルホルダの底面図である。
【図３】（ａ），（ｂ）は本発明の第２の実施例のキャ
ップの底面図およびノズルホルダの底面図である。
ップの底面図およびノズルホルダの底面図である。
【図４】従来のノズル容器の一例の断面図である。
【図５】従来のＴ字形共通導管の側面図である。
【図６】（ａ），（ｂ）は図５のノズルの部分拡大側面
図およびそのＡ−Ａ′線断面図である。
図およびそのＡ−Ａ′線断面図である。
１，８，８ａ ノズル ２，９ ノズルホルダ ３ 流路 ４，１１ キャップ ５ シリンジ ６ 流体出口 ７ 流体 １０ 流体入口 １２ 縮径部 １３ 共通導管 １４ エアー
Claims (3)
- 【請求項１】 流体吐出用の複数のノズルが所定形状の
領域内に植設されたノズルホルダと、このノズルホルダ
に螺合し前記複数のノズルに流体を供給するキャップ
と、このキャップに接続しエアー圧力により前記キャッ
プ内に前記流体を供給するシリンジとを有するノズル容
器において、前記キャップ内に複数本に分岐されて配置
された流路と、この複数本に分岐されて配置された流路
に接続し前記所定形状のノズルの領域を被覆する流体出
口とを備えたことを特徴とするノズル容器。 - 【請求項２】 前記流体出口がノズル側に広がる漏斗状
の形状を有することを特徴とする請求項１記載のノズル
容器。 - 【請求項３】 前記分岐された複数の流路と、この分岐
された複数の流路に接続する流体出口がキャップの中心
部を除く周辺部に等角度で配置されていることを特徴と
する請求項１記載のノズル容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6206438A JPH0871477A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | ノズル容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6206438A JPH0871477A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | ノズル容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0871477A true JPH0871477A (ja) | 1996-03-19 |
Family
ID=16523386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6206438A Pending JPH0871477A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | ノズル容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0871477A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002096474A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-04-02 | Dainippon Printing Co Ltd | 微細パターン形成装置と微細ノズルの製造方法および微細パターンの形成方法 |
| JP2007238193A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Kanto Auto Works Ltd | 物品の搬送装置 |
| JP2013046886A (ja) * | 2011-08-29 | 2013-03-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | パターン形成装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0626695A (ja) * | 1992-07-07 | 1994-02-04 | Fujitsu General Ltd | 空気調和機の制御装置 |
-
1994
- 1994-08-31 JP JP6206438A patent/JPH0871477A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0626695A (ja) * | 1992-07-07 | 1994-02-04 | Fujitsu General Ltd | 空気調和機の制御装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002096474A (ja) * | 2000-07-21 | 2002-04-02 | Dainippon Printing Co Ltd | 微細パターン形成装置と微細ノズルの製造方法および微細パターンの形成方法 |
| WO2002011182A3 (fr) * | 2000-07-21 | 2002-08-22 | Dainippon Printing Co Ltd | Technique de dessin a motifs fins |
| US6767473B2 (en) | 2000-07-21 | 2004-07-27 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Method for fine pattern formation |
| JP2007238193A (ja) * | 2006-03-06 | 2007-09-20 | Kanto Auto Works Ltd | 物品の搬送装置 |
| JP2013046886A (ja) * | 2011-08-29 | 2013-03-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | パターン形成装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19970114 |