JPH0871514A

JPH0871514A - 減圧洗浄・乾燥装置

Info

Publication number: JPH0871514A
Application number: JP6240559A
Authority: JP
Inventors: Hideo Ishii; 秀雄石井; Nobuyuki Yamaji; 信幸山地; Hidehisa Tachibana; 秀久橘; Hiroyasu Murata; 裕康村田; Tatsunori Ito; 達規伊藤
Original assignee: Sansha Electric Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Sansha Electric Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1994-09-07
Filing date: 1994-09-07
Publication date: 1996-03-19
Anticipated expiration: 2015-04-17
Also published as: JP3032938B2

Abstract

(57)【要約】【目的】石油系溶剤などの可燃性溶剤を洗浄剤として
ワークの洗浄・乾燥を安全、効率良く行うことができる
減圧洗浄・乾燥装置を提供する。【構成】減圧容器１は補助タンク２１，２２とをバル
ブ及び減圧装置により連通し、洗浄前に補助タンクから
減圧容器に洗浄剤を移動させ、減圧容器を減圧装置によ
り減圧し、減圧洗浄する。洗浄後、洗浄剤を補助タンク
に移動させ、減圧容器内でワークを乾燥させる。補助タ
ンク内で洗浄剤を待機させている間に、蒸気再生装置に
より再生する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、金属、プラスチック部
品等のワークを石油系溶剤等の加熱性溶剤を用いて減圧
中で洗浄すると共に減圧中で乾燥させる洗浄及び乾燥装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、環境汚染を防止するために、ワー
ク洗浄・乾燥装置においてはフロンレス化、トリエタン
レス化が推進されている。このために、環境汚染のおそ
れのない水洗浄方式を採用することも考えられるが、水
洗浄の場合には、排水設備、純水設備に費用が掛るとい
う問題点がある。また、乾燥処理を迅速に行えないとい
う問題点もある。さらには、金属部品の洗浄を行う場合
には防錆対策も考慮しなければならないという問題点が
ある。従って、フロン、トリエタンの代替洗浄剤として
イソパラフィン、ナフテンなどの石油系溶剤が着目され
ている。このような石油系溶剤は大気中に排出されても
フロン、トリエタンなどによって引き起される環境汚染
のおそれはなく、しかも安価で洗浄力もある。しかし、
引火点が低いために安全性の問題と、沸点が高いのでフ
ロン、トリエタンと比べて乾燥性が悪いという二つの問
題点がある。

【０００３】これらも問題点に着目して、引火点が低く
沸点が高い石油系溶剤等に代表される可燃性溶剤を洗浄
剤として用いて金属、プラスチック部品等のワークの洗
浄及び乾燥を安全でしかも効率良く行うことのできる真
空洗浄及び真空乾燥方法が特開平６−１５２３９号公
報、特開平６−７７５２号公報、特開平６−３１１０３
号公報で提案されている。

【０００４】すなわち、石油系溶剤等の可燃性溶剤を洗
浄剤として使用する場合の安全性および乾燥性の問題を
解決するため、真空洗浄および真空乾燥を行うようにし
ている。

【０００５】この真空洗浄・乾燥装置においては、真空
雰囲気中でワークの洗浄が行われる。従って、ワークに
付着しているエアー溜まりがなくなり、溶剤の浸透性が
向上する等の効果が得られる。この結果、従来の洗浄方
法では洗浄することが困難であった盲穴、細かい穴、下
向きの穴などの部分、あるいは多孔性部品の洗浄を確実
に行うことができる。また、ワークとして多数のワーク
を一緒に洗浄する場合におけるワーク相互の隙間部分の
洗浄を確実に行える。

【０００６】さらに、真空容器内に貯留されている石油
系溶剤の沸点を下げることができる。従って、低い温度
でも石油系溶剤の蒸発が促進されるので、石油系溶剤の
乾燥性を従来の方法に比べて飛躍的に向上させることが
できる。また、大気乾燥においては、ワークの表面に溶
剤ガス吸着層として残るおそれがあるのが、真空乾燥に
よれば、このような吸着層も取ることができる。

【０００７】これに加えて、金属部品などの錆び易い部
品を洗浄する場合には、酸素濃度の極めて低い真空中で
洗浄及び乾燥が行われるので、洗浄および乾燥工程にお
いて、部品に錆が発生することがない。

【０００８】これらの利点に加えて、真空容器１内は所
定の真空度に保持されるので、酸素濃度が低く、しかも
密閉状態である。また、中が負圧になっているので、石
油系溶剤や溶剤蒸気が外部に漏れ出ることがない。ま
た、ワークの洗浄および乾燥を同一の密閉された真空容
器内で行うので、その中に貯留されている石油系溶剤の
ガスが外部に漏れないなどの特徴を有している。

【０００９】また、この装置においては、真空容器内の
可燃性石油溶剤は蒸留タンクに回収されて、ここで真空
蒸留・再生される。再生された後の溶剤蒸気は熱交換器
において再び液化されて、真空ポンプ内に還流される。
従って、真空タンク内の溶剤の劣化を防止することがで
きる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところが、真空容器内
を真空にするには、真空に要する大きな能力を有する真
空ポンプが必要で、真空にするのに時間がかかるなどの
問題がある。また、溶剤を真空蒸留再生する場合、真空
洗浄を行う過程で、蒸留再生すると、真空容器内の溶剤
が少なくなり、ワークの量を多くすることができなくな
る。また、再生中も洗浄されるので、完全な洗浄ができ
ないという問題がある。さらに、洗浄後に真空蒸留再生
を行うと、数多くの被洗浄物を連続に行うことができな
いという問題点もあった。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明は、上記の問題
点を留意してなされたもので、石油系溶剤等の可燃性溶
剤を洗浄剤として使用し、ワークを減圧中で減圧洗浄及
び減圧乾燥を行う洗浄・乾燥装置であって、ワークの減
圧洗浄及び乾燥を行うための減圧容器と、上記洗浄剤を
収納する補助タンクと、上記減圧容器及び補助タンク内
を減圧させる減圧装置と、上記減圧容器、補助タンク及
び減圧装置をそれぞれの間にバルブとを有する。

【００１２】上記バルブが上記減圧容器を減圧するとき
に開く第１のバルブと、上記洗浄剤を上記減圧容器と上
記補助タンクとの間を起動させるときに開く第２のバル
ブと、上記補助タンクを減圧するときに開く第３のバル
ブとにより構成される。

【００１３】上記洗浄剤を、補助タンクから上記減圧容
器へ移動させる前に補助タンクを上昇させ、上記減圧容
器から上記補助タンクへ移動させる前に補助タンクを降
下させる補助タンク昇降手段を有する。

【００１４】上記補助タンクが、２個有し上記補助タン
ク昇降手段が相互の補助タンクを上昇位置と下降位置に
配置する昇降手段である。

【００１５】上記補助タンクが上昇位置の配置時に、上
記洗浄剤を再成する減圧蒸留再成を行う手段を有する。

【００１６】上記第２のバルブの開放時、上記洗浄剤を
上記補助タンクから上記減圧容器へ移しこみ上記第２バ
ルブの閉塞時に上記減圧容器が減圧洗浄室を形成すると
ともに、上記第２バルブの開放時、上記洗浄剤を上記減
圧容器から上記補助タンクへ移しこみ上記第２バルブの
閉塞時に上記減圧容器が減圧乾燥機を形成する。

【００１７】上記減圧容器の底面外部又は内部に上記洗
浄剤中に超音波を照射する超音波振動子を配置した。

【００１８】上記減圧容器の底面外部から上記洗浄剤を
回収し、上記減圧容器の側面又は上部から上記洗浄剤の
圧流を上記ワークに吹きつけるシャワー洗浄手段を配置
した。

【００１９】上記減圧容器内を上下に仕切るためのゲー
トバルブを有し、このゲートバルブによって仕切られた
上記減圧容器内の上側部分に、減圧手段が配置された。

【００２０】また、石油系溶剤等の可燃性溶剤を洗浄剤
として使用し、ワークを減圧中で減圧洗浄及び減圧乾燥
を行う洗浄・乾燥装置であって、ワークの減圧洗浄及び
乾燥を行うための減圧容器と、上記洗浄剤を加熱し洗浄
蒸気を発生させ上記洗浄蒸気を上記減圧容器に送り込む
蒸気発生タンクと、上記洗浄剤を収納する補助タンク
と、上記蒸気発生タンク及び補助タンク内を減圧する減
圧装置と、上記減圧容器を減圧するときに開く第１のバ
ルブと、上記洗浄剤を上記蒸気発生タンクと補助タンク
との間に移動させるときに開く第４のバルブと、上記補
助タンクを減圧するときに開く第３のバルブと、上記洗
浄蒸気を上記減圧容器に移しこむときに開く第５のバル
ブと、上記補助タンクに洗浄剤を再成する減圧蒸留再生
手段とを設けた。

【００２１】上記減圧容器の中央部に、上記溶剤の蒸気
を凝集・補足する冷却パイプを設けた。

【００２２】

【作用】ワークを入れる減圧容器と、洗浄剤を収納する
補助タンクとの間に減圧差を設ける。ワークの洗浄前
は、減圧容器の方を補助タンクより減圧し、バルブを開
くと補助タンクの洗浄剤は減圧容器に移動し、ワークの
洗浄を行うことができる。洗浄後、補助タンクの方を減
圧容器より減圧し、バルブを開くと減圧容器から補助タ
ンクに洗浄剤が移動する。

【００２３】補助タンクから減圧容器へ移動させる前に
補助タンクを上昇させ、減圧容器から補助タンクへ移動
させる前に補助タンクを下降させることにより洗浄剤を
全て移動させることができる。

【００２４】補助タンクを２個設けることにより、洗浄
しない側の補助タンク内の洗浄剤を再生することができ
る。

【００２５】補助タンクの洗浄剤を減圧容器に移動させ
ることにより、減圧容器で、ワークを洗浄し、洗浄後減
圧容器の洗浄剤を補助タンクに移動させることにより減
圧容器でワークを乾燥させることができる。

【００２６】ワークの洗浄時、超音波振動子を用いるこ
とにより、ワークの洗浄効果を高めることができる。ま
た、洗浄剤の圧流をワークに吹き付けることにより、シ
ャワー洗浄による洗浄効果を高めることができる。

【００２７】減圧容器内をゲートバルブにより上下に仕
切ることにより、減圧容器の上部を乾燥室として使用す
ると短時間に乾燥ができ、下部の洗浄剤がかかることを
防止できる。

【００２８】蒸気発生タンク内で洗浄剤を加熱し洗浄蒸
気を発生させ、この蒸気を減圧容器に送り込み、ワーク
を蒸気洗浄させる。また、蒸気発生前は、蒸気発生タン
クの方を補助タンクより減圧しバルブを開くと、補助タ
ンクの洗浄剤は蒸気発生タンクに移動し、蒸気発生タン
クで蒸気を発生させることができる。また、洗浄後、補
助タンクの方を蒸気発生タンクより減圧しバルブを開く
と、蒸気発生タンクから補助タンクに洗浄剤を移動させ
ることができる。そして、待機時に洗浄剤を発生させる
ことができる。

【００２９】減圧容器の中央部に冷却パイプを設けたこ
とにより、溶剤の蒸気を凝集補足でき、冷却パイプより
上部でワークの乾燥を行うことができる。

【００３０】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。

【００３１】図１は本発明を適用した減圧洗浄・乾燥装
置を示してある。図において、１は減圧洗浄・乾燥室を
構成している減圧容器であり、上部に密閉可能な蓋１ａ
が取り付けられている。この減圧容器１には、供給管
（図示せず）を介して石油の可燃性溶剤等の洗浄剤を供
給可能となっている。また、ワーク搬送機構により、洗
浄対象のワークＷがこの中に設置されるようになってい
る。洗浄時には、図に示すように一定量の洗浄剤２が貯
留され、その中にワークＷが浸漬される。

【００３２】減圧容器１において、その外側の底面に
は、超音波振動子５が取り付けられている。また、この
減圧容器１の底には、図示しないが内部に貯留した石油
系溶剤の排出管が接続されており、この排出管にはバル
ブが取り付けられている。さらに、減圧容器１の上方の
側面には、排気管３が接続されている。この排気管３は
バルブ４を介して水封式真空ポンプ８に接続されてい
る。

【００３３】水封式真空ポンプ８の吐出側は、気水混合
排水管９に接続されている。また、この水封式真空ポン
プ８には、図示しない封水供給機構によって封水が供給
されるようになっている。気水混合排水管９の端９ａ
は、気液分離槽１１の貯留水１１ａ内に開口している。
気液分離槽１１の上端には、上方に延びる排気管１２が
接続されており、その側面にはオーバーフロー管として
の排水管１３が接続されている。排水管１３は水平に延
びた後に下方に向けて延びて、油水分離機１４の吸引口
に接続している。油水分離機１４の吸引口は、図示しな
い回収タンク内に開口している。油分の取り除かれた水
は排水出口から排出される。

【００３４】２１，２２は補助タンクであり、減圧容器
１の溶剤を収納できる容量を有している。この補助タン
ク２１，２２の底にはそれぞれ収納した溶剤の排出管２
３，２４が接続されており、この排出管２３，２４はそ
れぞれバルブ２５，２６を介して減圧容器１の底叉は底
近傍に接続されている。また、補助タンク２１，２２の
上部にはそれぞれ排気管２９，３０が接続され、さらに
これらの排気管２９，３０はそれぞれバルブ３１，３２
を介して真空ポンプ８に接続されている。

【００３５】また、補助タンク２１，２２の下部にはそ
れぞれ排出管３３，３４が接続され、それぞれバルブ３
５，３６を介して蒸気再生タンク３７に接続されてい
る。蒸気再生タンク３７は、石油系溶剤２の真空蒸留再
生を行うもので、加熱源、蒸留残留物を排出する排出管
などが設けられている。この蒸気再生タンク３７の出力
側には熱交換器３８が接続され、この熱交換器３８にお
いて再び液化されて、圧送ポンプ３９に還流される。圧
送ポンプ３９にはバルブ４１，４２が接続され、バルブ
４１，４２から接続管４３，４４を介して補助タンク２
１，２２の上部から内部に還流される。

【００３６】このように構成された本例の装置において
は、まず、バルブ２５，２６を閉め、石油系溶剤２を補
助タンク２１，２２内に貯留している。そして、蓋１ａ
を開きワークＷを減圧容器１内に収納し、蓋１ａを閉じ
る。次に、バルブ４を開き真空ポンプ８を動作させて減
圧容器１内を洗浄剤が例えば第３石油類では５０Ｔｏｒ
ｒまで減圧する。減圧後バルブを閉じ減圧容器内を減圧
状態に保持する。高い位置にある一方の補助タンク２１
側のバルブ２５を開くと、圧力差によって補助タンク２
１内の石油系溶剤は減圧された減圧容器１内に流れ込
む。図１は洗浄剤が減圧容器１に流れ込んだ状態を示し
ている。洗浄剤が流れ込んだ後、バルブ２５を閉じバル
ブ３１を開き真空ポンプ８により補助タンク２１内を減
圧する。

【００３７】また、ワークＷは流れ込んだ溶剤２によっ
て浸漬され真空ポンプ８により減圧容器１内を５０Ｔｏ
ｒｒに減圧し、バルブ４を閉じて減圧状態に保持し、こ
の後超音波振動子５を駆動して洗浄剤２に浸漬されてい
るワークＷの超音波洗浄を行う。

【００３８】ここに、減圧容器内から吸引された石油系
溶剤のミストや蒸気を含む排気は、水封式真空ポンプ８
に充填されている封水に溶解あるいは混合して、封水と
共に気水混合排水管９に排出する。この気水混合配水管
９を通った後、封水は気液分離槽１１内に貯留されてい
る水１１ａ内に排出される。この気液分離槽１１におい
て、封水中の石油系溶剤がさらに貯留水内に溶解あるい
は混合して回収される。また、そこに含まれている油分
は分離して表面に浮き上がってくる。石油系溶剤が充分
に除去された後の排気は、排気管１２を通って大気中に
排出される。

【００３９】一方、気液分離槽１１内の貯留水の表面に
浮いた油分はオーバーフロー水と共に排水管１３を通っ
て排出される。ここで油分分離器１４において、排出さ
れた水から、その中に含まれている石油系溶剤及び油分
（洗浄）から回収される。回収された油分などは排油出
口から回収タンクなどに回収される。

【００４０】ワークＷを超音波洗浄中に補助タンク２１
を下方に補助タンク２２を上方に移動させ待機させると
ともに、空の補助タンク２１に接続されたバルブ３１を
開き、補助タンク２１内を１０トルに減圧した後、バル
ブ３１を閉じ減圧状態を維持する。

【００４１】このように、本例の洗浄・乾燥装置におい
ては、安全工学協会編柳生昭三著「ガス及び蒸留の乾燥
限界」において５０Ｔｏｒｒ以下の減圧下では蒸気濃度
にかかわらず爆発が生じないことが報告されているよう
に爆発の危険性はない。減圧雰囲気中でワークＷの洗浄
が行われる。従って、ワークに付着しているエアー溜ま
りがなくなり、溶剤の浸透性が向上するなどの効果が得
られる。この結果、従来の洗浄方法では洗浄することが
困難であった盲穴、細かい穴、下向きの穴などの部分、
あるいは多孔性部品の洗浄を確実に行うことができる。
また、ワークＷとして多数のワークを一緒に洗浄する場
合におけるワーク相互の隙間部分の洗浄を確実に行え
る。また、貯留されている石油系溶剤中のエアーが脱気
され、超音波のキャビテーションが効率良く発生するの
で、超音波の洗浄力が向上する。

【００４２】ワークＷの洗浄が終了し、バルブ２５を開
くと、補助タンク２１の方が減圧容器１よりも減圧され
ているため、減圧容器１内の洗浄剤２は補助タンク２１
へ移動する。図２は洗浄剤が補助タンク２１に移動した
状態を示す。減圧溶剤１の底部の洗浄剤も減圧差と補助
タンク２１と減圧容器１の高低差によって補助タンク２
１に移動する。減圧容器１の洗浄剤がなくなると、バル
ブ２５を閉じ待機状態にする。

【００４３】この待機状態において、図２に示すように
バルブ４を開き、減圧容器１内を真空ポンプ８により減
圧すると、減圧容器１内に貯留されている石油系溶剤２
の沸点を下げることができる。従って、低い温度でも石
油系溶剤の蒸発が促進されるので、石油系溶剤の乾燥性
を従来の方法に比べて飛躍的に向上させることができ
る。また、待機乾燥においては、ワークの表面に溶剤ガ
スが吸着層として残る恐れがあるが、減圧中乾燥によれ
ば、このような吸着層も取ることができる。よって、乾
燥後におけるワーク表面の後処理、例えば接着、塗装な
どが吸着層によって悪影響を受けるという弊害も解消で
きる。

【００４４】これに加えて、金属部品などの錆び易い部
品を洗浄する場合には、酸素濃度の極めて低い減圧中で
洗浄及び乾燥が行われるので、洗浄および乾燥高低にお
いて部品に錆が発生することない。

【００４５】これらの利点に加え、本例においては、減
圧容器１内は所定の減圧状態に保持されるので、酸素濃
度が低く、しかも密閉状態である。また、中が負圧にな
っているので、万一漏れがあったとしても、石油系溶剤
な溶剤蒸気が外部に漏れ出ることがない。従って、安全
性が高い。また、ワークの洗浄及び乾燥を同一の密閉さ
れた減圧容器１内で行うので、その中に貯留されている
石油系溶剤のガスが下位部に漏れない。よって、外部の
作業環境を安全でしかも環境汚染のない状態に保持でき
るという利点がある。

【００４６】さらに、本例においては、減圧容器１内を
減圧するための排気系に水封式真空ポンプ８を使用し、
可燃性の石油系溶剤のミストや蒸気をその封水に溶解あ
るいは混合した状態で排出しているので、排出中に含ま
れる石油系溶剤ガスの濃度を低減できる。本例の装置に
よれば、外部環境を安全でしかも環境汚染のない状態に
保持できる。また、このように石油系溶剤が外部に漏れ
るおそれが極めて少ないので、防爆仕様、消化設備など
が不要、あるいは、必要最低限に抑えることができる。
よって装置価格を低減することができる。

【００４７】一方、補助タンク２１及び２２の底面に
は、洗浄剤の排出管３３，３４が接続され、この排出管
３３，３４はそれぞれバルブ３５，３６を介して洗浄剤
を蒸留する蒸留再生タンク３７が接続されている。蒸留
発生タンク３７の出力には溶剤蒸気を液化するための熱
交換器３８が接続されている。この熱交換器３８の出力
は圧送ポンプ３９及びバルブ４１，４２を介して補助タ
ンク２１及び２２の上部に接続されている。

【００４８】そして、ワークＷを洗浄中及び乾燥中にお
いて、待機中の補助タンク２２に接続されたバルブ３６
とバルブ４２を開くと、補助タンク２２内の溶剤がバル
ブ３６を介して蒸留再生タンク３７に回収されて、ここ
で減圧蒸留再生される。再生された後の溶剤蒸気は、熱
交換器３８において、再び液化される。液化された溶剤
は、圧送ポンプ３９により送り出されバルブ４２を介し
て補助タンク２２の上部から還流される。従ってワーク
Ｗの洗浄中及び乾燥中において、待機中の補助タンク内
の洗浄剤が再生される。従って補助タンク内の溶剤の劣
化を防止することができ、ワークの洗浄品質を長時間維
持させることができ、かつワークの洗浄中及び乾燥中に
洗浄剤を完全に再生させることができる。また、ワーク
の洗浄中の洗浄剤も同じで最大量のワークを洗浄するこ
とができる。

【００４９】次に図３には図１の実施例の変形例を示し
てある。この図に示す例においては、超音波洗浄の代わ
りにシャワー洗浄を行うようにしたものである。すなわ
ち、図３に示すように、減圧容器１の内側周面には、石
油系溶剤をワークＷに吹き付けるための複数のシャワー
ノズル５３を配置してある。このシャワーノズル５３か
らワークＷに吹き付けられた石油系溶剤は、減圧容器１
の底に洗浄剤５４として溜まり、バルブ５１を介して圧
送ポンプ５２を含む循環系によって循環使用される。こ
の場合も図１と同じく補助タンク２１又は２２から溶剤
を減圧容器１に送り込みワークＷの減圧洗浄中又は乾燥
中に待機中の補助タンクの溶剤を蒸留再生タンク３７で
蒸留再生し、再生された洗浄剤を待機中の補助タンクに
還流させている。

【００５０】なお、洗浄方法としては、シャワー洗浄の
他に減圧容器１内の貯留した石油系溶剤２内にワークを
浸漬した状態で石油系溶剤の圧流をワークに吹き付ける
などの噴留洗浄方法を採用してもよい。

【００５１】図４に示す洗浄装置は、図１の装置におい
て超音波洗浄の代わりに減圧中の蒸気洗浄を行うように
構成したものである。この図に示すように、減圧容器１
の下部又は下部側面には、石油系溶剤の蒸気を容器内部
に供給するための蒸気供給管６２が接続されている。こ
の蒸気接続管６２は、バルブ６３を介して蒸気発生タン
ク６０に接続されている。この蒸気発生タンク６０の外
側の底面に加熱源６１が配置されている。図１の洗浄・
乾燥装置では、減圧装置１に補助タンクが接続されてい
た。本図の洗浄・乾燥装置では蒸気発生タンク６０に接
続されている。すなわち補助タンク２１，２２の底には
それぞれ溶剤の排出管２３，２４が接続され、バルブ２
５，２６を介して蒸気発生タンク６０に接続されてい
る。

【００５２】補助タンク２１又は２２から送り込まれた
蒸気発生タンク６０の溶剤は、加熱源６０によって加熱
されて蒸留する。これによって得られた洗浄剤の蒸気が
バルブ６３を介して減圧容器１内に供給されるようにな
っている。その他の構成は図１の装置と同様であり、対
応する部分には同一の符号を付している。

【００５３】本例の減圧蒸気洗浄においても、石油系溶
剤が外部に漏れる恐れがないので安全である。また、減
圧下では石油系溶剤の沸点が下がるために、加熱温度を
下げることができる。この結果、加熱エネルギーを節約
することができる。また、このように加熱温度下げるこ
とにより、石油系溶剤の劣化も抑制することができる。

【００５４】また、減圧容器１内を減圧引きしている状
態でバルブ６３を開けると、蒸気発生タンク６０も減圧
されるので、その中の石油系溶剤２は所定の温度に加温
しておけば、溶剤の蒸気圧以下に減圧されると自動的に
沸騰が始まり溶剤の蒸気を発生されることができる。

【００５５】図５に示す洗浄・乾燥装置は、ワークの昇
降シリンダを用いて減圧容器１内にワークＷを昇降でき
るようにしている。図１の減圧装置と同様にして減圧洗
浄が行われる。そして、洗浄終了後、溶剤に浸漬された
状態にあるワークＷを昇降シリンダ７１によって破線で
示すように上方まで持ち上げてそこで保持する。この状
態で真空ポンプ８により減圧し減圧乾燥を行う。しか
し、この場合、減圧容器１内の容積が大きいため減圧す
るのに時間がかかる。また、容器１の底にたまっている
溶剤２がワークにかかることがある。このため、減圧容
器１の内部空間を上下に二分割するためのゲートバルブ
７２が設置されている。このゲートバルブ７２によって
仕切られる減圧容器１の上側空間が減圧乾燥室１ｂとし
て利用され、この側面に排気管３が接続される。

【００５６】ゲートバルブ７２の図を実線で示すように
開いた状態で、ワークＷが洗浄剤に浸漬し超音波洗浄を
行う。洗浄終了後は、昇降シリンダ７１によってワーク
Ｗを、ゲートバルブによる仕切り位置よりも上方に引き
上げて、図の破線位置に保持する。しかる後に、ゲート
バルブ７２を図の破線で示すように引き出して、減圧容
器１内を上下に二分する。この後、上側の乾燥室１ｂ内
においてワークＷの減圧乾燥を行う。その他の動作は、
図１に示す装置と同様である。

【００５７】これにより、減圧乾燥１ｂの容積を減少さ
せることができる。また、ゲートバルブ２２を閉めた状
態では、減圧容器の底に溜まっている石油系溶剤２が上
側の減圧乾燥室１ｂに浸入することがない。これにより
乾燥室１ｂの減圧度を高めることができ、乾燥時間を短
縮することができる。また、乾燥後のワークＷの取り出
しの際には、ゲートバルブ２２によって減圧容器内の石
油系溶剤２が大気側とは分離されているので、石油系溶
剤が大気にさらされることがない。そして、大気中への
蒸発を防止できるので、外部環境を安全でしかも汚染の
ない状態に保持できる。

【００５８】図６に示す装置は、図５のゲートバルブ７
２の代わりに冷却パイプ８１を減圧容器１内の上下方向
の中程の位置に設置した構成を採用している。本例の装
置においては、減圧・乾燥時に、昇降シリンダ７１によ
ってワークＷを破線で示すように冷却パイプ８１よりも
上方に持ち上げる。この状態で減圧乾燥を行うと、減圧
容器１の底に溜まっている石油系溶剤から発性する蒸気
は、冷却パイプ８１に触れて凝縮してそこに捕捉され、
そりよれも上方にあるワークＷまでは至らない。従っ
て、本例の装置によっても減圧乾燥を効率良く行うこと
ができる。

【００５９】上記実施例においては、洗浄剤として石油
系溶剤を使用し場合について説明しているが、その他の
可燃性溶剤例えば、アルコール、アセトン、シリコン系
溶剤、テルペン系溶剤を使用した場合においても、上記
実施例と同様な手段を用いてワーク洗浄することができ
る。

【００６０】

【発明の効果】以上説明したように減圧中で洗浄するこ
とにより、ワークに付着しているエアー溜まりがなくな
り、また、溶剤の浸透性が向上し、ワークの微細穴、ワ
ーク相互間などの洗浄を確実に行うことができる。ま
た、可燃性溶剤の爆発防限界外の減圧で洗浄及び乾燥を
行うので、減圧までの時間が短縮でき、真空ポンプの能
力を必要以上に高める必要もない。ワークの洗浄待機中
に溶剤を再生することができ、再生時間を短縮できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の減圧洗浄・乾燥装置の実施例の概略図
である。

【図２】本発明の減圧洗浄・乾燥装置の乾燥時の状態を
示す概略構成図である。

【図３】本発明の減圧洗浄・乾燥装置の他の実施例の概
略図である。

【図４】本発明の減圧洗浄・乾燥装置の他の実施例の概
略図である。

【図５】本発明の減圧洗浄・乾燥装置の他の実施例の概
略図である。

【図６】本発明の減圧洗浄・乾燥装置の他の実施例の概
略図である。

【符号の説明】

１減圧容器１ａ蓋１ｂ乾燥室２洗浄剤３，２９，３０排気管４，７，２５，２６，３１，３２，３５，３６，４０，
４１，４２，５１，６３バルブ５超音波振動子８真空ポンプ９，１３排水管９ａ排水管の端１１気液分離槽１１ａ貯留水１２排気管１４油水分離機２０，２１補助タンク２３，２４，３３，３４排出管３７蒸気再生タンク３８熱交換器３９圧送ポンプ４３，４４接続管５２圧送ポンプ５３シャワーノズル６０蒸気発生タンク６１加熱源６２蒸気接続管７１昇降シリンダ７２ゲートバルブ８１冷却パイプＷワーク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者村田裕康大阪府大阪市東淀川区淡路２丁目14番３号株式会社三社電機製作所内 (72)発明者伊藤達規大阪府大阪市東淀川区淡路２丁目14番３号株式会社三社電機製作所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】石油系溶剤等の可燃性溶剤を洗浄剤とし
て使用し、ワークを減圧中で減圧洗浄及び減圧乾燥を行
う洗浄・乾燥装置であって、ワークの減圧洗浄及び乾燥
を行うための減圧容器と、上記洗浄剤を収納する補助タ
ンクと、上記減圧容器及び補助タンク内を減圧させる減
圧装置と、上記減圧容器、補助タンク及び減圧装置をそ
れぞれの間にバルブとを有することを特徴とする減圧洗
浄・乾燥装置。
【請求項２】上記バルブが上記減圧容器を減圧すると
きに開く第１のバルブと、上記洗浄剤を上記減圧容器と
上記補助タンクとの間を起動させるときに開く第２のバ
ルブと、上記補助タンクを減圧するときに開く第３のバ
ルブとにより構成される請求項１記載の減圧洗浄・乾燥
装置。
【請求項３】上記洗浄剤を上記補助タンクから上記減
圧容器へ移動させる前に補助タンクを上昇させ、上記減
圧容器から上記補助タンクへ移動させる前に補助タンク
を降下させる補助タンク昇降手段を有する請求項１記載
の減圧洗・乾燥浄装置。
【請求項４】上記補助タンクが、２個有し上記補助タ
ンク昇降手段が相互の補助タンクを上昇位置と下降位置
に配置する昇降手段である請求項３記載の減圧洗・乾燥
浄装置。
【請求項５】上記補助タンクが、上昇位置の配置時
に、上記洗浄剤を再成する減圧蒸留再成を行う手段を有
する請求項３又は４記載の減圧洗・乾燥浄装置。
【請求項６】上記第２のバルブの開放時、上記洗浄剤
を上記補助タンクから上記減圧容器へ移しこみ、上記第
２バルブの閉塞時に上記減圧容器が減圧洗浄室を形成す
るとともに、上記第２バルブの開放時、上記洗浄剤を上
記減圧容器から上記補助タンクへ移しこみ、上記第２バ
ルブの閉塞時に上記減圧容器が減圧乾燥機を形成する請
求項２載の減圧洗・乾燥浄装置。
【請求項７】上記減圧容器の底面外部又は内部に上記
洗浄剤中に超音波を照射する超音波振動子を配置した１
請求項１記載の減圧洗・乾燥浄装置。
【請求項８】上記減圧容器の底面外部から上記洗浄剤
を回収し、上記減圧容器の側面又は上部から上記洗浄剤
の圧流を上記ワークに吹きつけるシャワー洗浄手段を配
置した請求項１記載の減圧洗・乾燥浄装置。
【請求項９】上記減圧容器内を上下に仕切るためのゲ
ートバルブを有し、このゲートバルブによって仕切られ
た上記減圧容器内の上側部分に、減圧手段が配置された
請求項１記載の減圧・乾燥浄装置。
【請求項１０】石油系溶剤等の可燃性溶剤を洗浄剤と
して使用し、ワークを減圧中で減圧洗浄及び減圧乾燥を
行う洗浄・乾燥装置であって、ワークの減圧洗浄及び乾
燥を行うための減圧容器と、上記洗浄剤を加熱し洗浄蒸
気を発生させ上記洗浄蒸気を上記減圧容器に送り込む蒸
気発生タンクと、上記洗浄剤を収納する補助タンクと、
上記蒸気発生タンク及び補助タンク内を減圧する減圧装
置と、上記減圧容器を減圧するときに開く第１のバルブ
と、上記洗浄剤を上記蒸気発生タンクと補助タンクとの
間に移動させるときに開く第４のバルブと、上記補助タ
ンクを減圧するときに開く第３のバルブと、上記洗浄蒸
気を上記減圧容器に移しこむときに開く第５のバルブ
と、上記補助タンクに洗浄剤を再成する減圧蒸留再生手
段とを設けた減圧洗浄・乾燥装置。
【請求項１１】上記減圧容器の中央部に上記溶剤の蒸
気を凝集・補足する冷却パイプを設けた請求項１０記載
の減圧・乾燥浄装置。