JPH0872221A - スクリーン印刷機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 自動位置合わせスクリーン印刷機の位置合わ
せ機能を利用してスクリーン製版とガラス原版とのセン
タリングを行い、スクリーン製版とガラス原版の測長用
マークのずれ量を測定する。 【構成】 自動位置合わせ機能付のスクリーン印刷機に
おいて、スクリーン製版２の画像寸法精度を確認する目
的で、印刷機のスクリーン製版取り付け位置の上方に１
個の短スケールの小型測長機５を固定し、スクリーン製
版２に付けられた測長用マークと、同じ設計値で製作さ
れた基準となるガラス製版７上の測長用マークとのずれ
量を測長できることを特徴としている。また、小型測長
機をスクリーン製版上を走行するスキージヘッドに取り
付けたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、エレクトロニクスの精
密パターン形成の分野で使用される大型スクリーン製版
の寸法、精度を調べるスクリーン印刷機に係るもので、
特に、大型で精密なスクリーン印刷プロセスを管理する
ために必要な技術である。

【０００２】

【従来の技術】大型スクリーン製版の寸法、精度を調べ
ることは、フラットパネルディスプレーのような大型製
品のスクリーン印刷の工程を管理するためには必要不可
欠なことである。同じフォトマスク原版から作った複数
のスクリーン製版でも、寸法、精度にばらつきがあるた
め、予めスクリーン製版の寸法を調べて、スクリーン製
版をランク別に選択する必要がある。スクリーン製版に
よる印刷は、基板等のワークに対して重ね合せられる。
すなわち、１つのワークに対して異なるパターンを重ね
て印刷するために複数種類の製版が用いられる。その
際、複数種類のスクリーン製版の精度がまちまちであれ
ば、重ねて印刷するパターンの位置がずれてしまう。そ
の結果、基板の故障や、回路の故障を起こしてしまうた
め、予めスクリーン製版の寸法を調べ、寸法精度にばら
つきのないスクリーン製版同志を用いることにより、ワ
ークへの印刷精度を高める必要がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】スクリーン製版の原版
であるフォトマスク（ガラス）原版の寸法測定は、図１
９に示すように、外寸で１０００ｍｍ×１０００ｍｍ程
度まで対応できる長尺測長機が開発されている。しか
し、そのフォトマスクを使用して作成したスクリーン製
版の大きさは、パターンの領域がフォトマスクと同じで
あっても、スクリーン枠までの外周領域が存在し、フォ
トマスクに対して外寸で１．５〜２倍の大きさになる。
このため、スクリーン製版の寸法測定の場合はフォトマ
スク原版よりもさらに大型の測長機が必要となる。しか
しながら、精度、価格の面からもこれだけの大きさの測
長機が製品化されることは非常に困難であった。

【０００４】このため、大型のスクリーン製版を測長す
るためには、一軸のガラススケールを直接、被測長物に
合せたり、原版であるフォトマスクと重ね合せて、その
ずれ量を顕微鏡で測定せざるを得ない。このように、ス
クリーン製版の測長は、人手にたよることになり、再現
性が劣り、非常に手間がかかっていた。

【０００５】本発明は、以上のような問題点を解決する
ためになされたものであり、スクリーン製版の大きさを
測定することができるスクリーン印刷機を提供すること
を目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明に係るスクリーン
印刷機は、スクリーン製版と、上記スクリーン製版と物
体とを対応させて位置決めする位置合わせ手段とを備え
ており、また、位置合わせ手段により上記スクリーン製
版と物体とを対応させて位置決めした場合に、スクリー
ン製版上のマークと物体の上記スクリーン製版のマーク
に対応する物体上のマークとのずれ量を測定する測長機
を備えたことを特徴とする。

【０００７】本発明に係るスクリーン印刷機は、スクリ
ーン製版上を移動する移動体を有し、上記測長機を移動
体に取り付けたことを特徴とする。

【０００８】本発明に係るスクリーン印刷機において、
スクリーン製版と物体は、少なくとも対応する２つのマ
ークをそれぞれ有し、上記位置合わせ手段は、上記スク
リーン製版の２つのマーク間の中央部が上記物体の２つ
のマーク間の中央部に重なるように位置決めし、上記測
長機は、スクリーン製版と物体の少なくとも１対の対応
するマークのずれ量を測長することを特徴とする。

【０００９】本発明に係るスクリーン印刷機において、
測定用マークをそれぞれ有する長さ既知の基準物体と長
さ不知の測定物体をそれぞれ別個に同位置に位置合わせ
する位置合わせ手段と、上記位置合わせ手段によりそれ
ぞれ別個に位置合わせされた基準物体と測定物体の測定
用マークの位置をそれぞれ測定してずれ量を求める測長
機を備えたことを特徴とする。

【００１０】

【作用】本発明におけるスクリーン印刷機は、自動位置
合わせのスクリーン印刷機の位置合わせ手段を利用し
て、スクリーン製版と、ガラス原版等の物体との位置合
わせを行い、スクリーン製版と、物体（ガラス原版）の
測長用マークのずれ量を測長機により、迅速にかつ精密
に測定する。

【００１１】また、本発明においては、測長機をスキー
ジヘッド等の移動体に取り付ける。スキージヘッドのよ
うに、スクリーン製版上を走行する移動体に測長機を取
り付ければ、特に、測長機を取り付ける部品を用いるこ
となく、測長機をスクリーン製版上のマーク上に位置さ
せることができる。

【００１２】また、この発明においては、複数のマーク
の中央部が重なるようにスクリーン製版と物体（ガラス
原版）を重ね合せ、測長機は一対のマークのずれ量を測
長する。そして、そのずれ量を用いてスクリーン製版と
物体の全体のずれ量を計算する。

【００１３】また、この発明においては、ガラス原版の
ように長さがすでにわかっている基準物体とスクリーン
製版や印刷画像のように長さがわからない測定物体を別
個に同じ位置に位置合わせをし、両者のずれ量を求め
る。求めたずれ量から長さ不知の測定物体の長さを計算
する。

【００１４】

【実施例】

実施例１．図１は、この発明の一実施例による自動位置
合わせスクリーン印刷機の側面図である。また、図２
は、その平面図である。図１及び図２において、１は
Ｘ，Ｙ，θテーブル、２はスクリーン製版、２ａはスク
リーン製版２のスクリーン枠、２ｂはスクリーン製版２
のスクリーン、３はスクリーン枠ホルダ、４は４つの位
置合わせ用カメラ、５は短スケールの小型測長機、６は
スキージヘッド、７は基準となるガラス原版、８はスキ
ージヘッド６をスライドさせるスキージヘッド台であ
る。

【００１５】図１、図２のように、Ｘ，Ｙ，θ方向に可
動のＸ，Ｙ，θテーブル１上方に設置した４本のカメラ
を有する自動位置合わせ機能を持つスクリーン印刷機に
おいて、スクリーン製版取り付け位置上方に短スケール
の小型測長機５を取り付ける。測長されるべきスクリー
ン製版２の画像外周部４ヶ所に測長マークを付ける。さ
らに、基準となるべき、ガラス（フォトマスク）原版上
にも同じ設計値で４ヶ所の測長マークＭ１，Ｍ２，Ｍ
３，Ｍ４を付け、通常の測定機により、正確に測長して
おく。このガラス原版７の測長マークから測定された値
をここで長さＡとする。なお、ここでは、スクリーン製
版２とガラス原版７へ測長マークを別々に付ける場合を
説明したが、図２に示すように、ガラス原版７に予め、
測長マークをパターンとして設けておき、スクリーン製
版２にその測長マークを焼き付けて現像することによ
り、スクリーン製版２の測長マークとしてもかまわな
い。

【００１６】図３に示すように、設計図面（設計値）か
らガラス原版７を作成する場合、あるいは、ガラス原版
７からスクリーン製版２を作成する場合、あるいは、ス
クリーン製版２から印刷画像を作成する場合のいずれの
場合においても、ずれ量が発生する。この実施例で特に
問題としている点は、ガラス原版７からスクリーン製版
２を作成する場合のずれ量を正確にかつ、簡単に測定し
ようとするものである。

【００１７】前述したように、ガラス原版７の測長マー
クを用いて通常の測長機により測定した値が長さＡであ
る。この長さＡに対してガラス原版７とスクリーン製版
２とのずれ量を加算することにより、スクリーン製版２
の長さを計算することが可能になる。このずれ量を計算
するために、ガラス原版７とスクリーン製版２にそれぞ
れ対応する測長マークをつけ、この測長マークのずれ量
をスクリーン印刷機に設けた小型測長機５により測定す
るのがこの実施例の特徴点である。

【００１８】図４は、この実施例におけるスクリーン製
版２の測長手順を示す図である。また、図５から図１３
は、測長手順を説明するための図である。なお、図５か
ら図１３においては、説明を簡単にするために、図４に
示した各ステップの説明に必要な部品のみを示してい
る。

【００１９】ステップＳ１：図５に示すように、測長さ
れるべきスクリーン製版２をスクリーン枠ホルダ３に固
定し、その測長用マークＣ１〜Ｃ４のうち、測長用マー
クＣ１を小型測長機５の視野に入れ、測長用マークＣ１
を小型測長機５のクロスラインＬに合せ、小型測長機５
の原点座標（０，０）とする。

【００２０】ステップＳ２：図５に示すように、ダミー
基板ＤをＸ，Ｙ，θテーブル１に固定し、矢印Ｗ１に示
すように、スクリーン製版２の下へ移動させる。こうし
て、図６に示す状態で、スクリーン製版２の測長用マー
クＣ１〜Ｃ４をダミー基板Ｄ上に印刷し、位置合わせ用
マークＤ１〜Ｄ４とする。

【００２１】ステップＳ３：図６の矢印Ｗ２に示すよう
に、Ｘ，Ｙ，θテーブル１を位置合わせ用カメラ４の下
へ戻し、図７に示すように、ダミー基板Ｄ上の位置合わ
せ用マークＤ１〜Ｄ４の位置をコンピュータで記憶す
る。

【００２２】ステップＳ４：ダミー基板Ｄを取り外し、
代りに図８に示すように、基準となるガラス原版７を
Ｘ，Ｙ，θテーブル１上にセットし、印刷機の自動位置
合わせ機能を使い、固定位置を決める。この位置決め
は、実際の印刷時の位置決めと同じアルゴリズムを用い
る。例えば、以下に述べるセンタリングという動作を行
う。

【００２３】図９及び図１０は、ガラス原版７の位置を
固定するセンタリング動作を説明する図である。ガラス
原版７をＸ，Ｙ，θテーブル１上においた状態では、図
９に示すように、ガラス原版７の測長用マークＭ１〜Ｍ
４は任意の位置にある。このガラス原版７の測長用マー
クＭ１からＭ４の位置を位置合わせ用カメラ４で測定す
る。そして、ダミー基板Ｄの位置合わせ用マークＤ１〜
Ｄ４の位置とガラス原版７の測長用マークＭ１〜Ｍ４の
位置を用いて位置決めを行う。

【００２４】図１０に示すように、位置合わせ用マーク
Ｄ１〜Ｄ４のセンタＤＣと測長用マークＭ１〜Ｍ４のセ
ンタＭＣが互いに重なる様に、ガラス原版７のＸ軸方向
及びＹ軸方向の位置合わせをする。さらに、位置合わせ
用マークＤ１とＤ４を結ぶ直線が測長用マークＭ１とＭ
４を結ぶ直線と平行になるようにθ方向の位置合わせを
行う。前述したガラス原版７の通常の測定機により測定
した長さＡは、図１０において、Ｍ１−Ｍ４間の長さと
する。また、ここでは、Ｍ１−Ｍ２間の長さも長さＡで
あるものとする。

【００２５】ステップＳ５：ガラス原版７をのせたＸ，
Ｙ，θテーブル１を図８の矢印Ｗ１に示すように、スク
リーン製版２の下側へ移動する。Ｘ，Ｙ，θテーブル１
をスクリーン製版２の下側へ移動した場合でも図１１に
示すように、ガラス原版７の測長用マークＭ１〜Ｍ４の
センタＭＣとスクリーン製版２の測長用マークＣ１〜Ｃ
４のセンタＣＣとが重なることになる。このように、ス
クリーン印刷機の位置合わせ機能を用いることによりス
クリーン製版２とガラス原版７が位置決めされ、スクリ
ーン製版２とガラス原版７はセンタ同志が重なった状態
となる。スクリーン印刷機の位置合わせ機能は、基板と
スクリーン製版を正しく位置決めするためのものである
が、ここではこの位置合わせ機能を用いてスクリーン製
版２とガラス原版７を位置決めしている。この時に、ス
クリーン製版２の測長マークＣ１〜Ｃ４と、基準となる
ガラス原版７の測長用マークＭ１〜Ｍ４のずれ量は、そ
れぞれ等しくなる。

【００２６】ステップＳ６：スクリーン製版２を取り外
し、Ｘ，Ｙ，θテーブル１上の基準となるガラス原版７
の測長用マークＭ１へ小型測長機５の視野を移動させ、
測長用マークＭ１に小型測長機５のクロスラインＬを合
せ、その移動量をＸ方向、Ｙ方向で読み取る。この時の
座標を座標（Ｘ，Ｙ）とする。図１３は、ステップＳ１
で測定した測長用マークＣ１の座標と、ガラス原版７の
測長用マークＭ１の関係を示す図である。スクリーン製
版２がガラス原版７と全く同じサイズで作成されていれ
ば、測長用マークＣ１と測長用マークＭ１は重なるはず
である。しかし、実際には、ガラス原版７からスクリー
ン製版２の製作工程においてずれが生じてしまう。この
ずれが図１３においては、移動量Ｘ、及び移動量Ｙとし
て示されている。

【００２７】ステップＳ７：次に、スクリーン製版２の
長さを計算する。それぞれの移動量Ｘ，Ｙの２倍がスク
リーン製版２と、基準となるガラス原版７とのＸ方向、
Ｙ方向の長さの差となり、スクリーン製版２の測長がで
きる。前述したように、ガラス原版７の基準の長さをＡ
としている。図１３に示すように、Ｘ方向へのずれ量が
Ｘであり、Ｙ方向へのずれ量がＹである場合には、スク
リーン製版２とガラス原版７とがセンタリングされてい
るため、これらずれ量Ｘ、及びずれ量Ｙがセンタから片
側へ向かってのずれ量であるため、全体としては、２Ｘ
及び２Ｙのずれ量が生じていることになる。従って、ス
クリーン製版２のＸ方向の長さは、Ａ＋２Ｘで求められ
る。同様に、スクリーン製版２のＹ方向の長さはＡ＋２
Ｙで求められる。

【００２８】なお、これらステップＳ１からステップＳ
７の動作中は、小型測長機５本体は物理的な移動を全く
行わない。小型測長機５は物理的に位置を移動しなくと
も、例えば、１ｃｍの範囲の長さを測定できるようなも
のを用意しておく。スクリーン製版２とガラス原版７の
測定用マークの位置ずれは１ｃｍを超える程大きくなる
ものではない。小型測長機５は１ｃｍ程度の短スケール
の測長ができるものであればよく、小型測長機５の場所
を全く移動させなくともクロスラインＬの付いた小型顕
微鏡の視野の移動により、最高１ｃｍの範囲の測長がで
きれば十分である。

【００２９】以上のように、この実施例は、自動位置合
わせ機能付のスクリーン印刷機において、スクリーン製
版２の画像寸法精度を確認する目的で、印刷機のスクリ
ーン製版取り付け位置の上方に１個の短スケールの小型
測長機５を固定し、スクリーン製版２に付けられた測長
用マークと同じ設計値で製作された基準となるガラス製
版７上の測長用マークとのずれ量を測長することを特徴
とする。また、小型測長機５をスクリーン製版２上を走
行するスキージヘッド６に取り付けたことを特徴とす
る。

【００３０】以上のように、この実施例によれば、長さ
不知のスクリーン製版２と基準となるガラス原版７との
微小な差を測長する短スケール小型測長機５を利用する
ため、スクリーン製版２を測長する場合、簡単な装置で
高い精度の測長ができる。

【００３１】実施例２．上記実施例においては、小型測
長機５をひとつだけ設けて、ずれ量Ｘ，Ｙを１ヵ所だけ
測定する場合について説明したが、図１４に示すよう
に、小型測長機５を二つ設け、２対の測定用マークのず
れ量を測定するようにしてもかまわない。

【００３２】実施例３．上記実施例においては、小型測
長機５は物理的に全く移動しない場合を説明したが、移
動させるようにしてもよい。図１５に示すようにスキー
ジヘッド６はスクリーン製版２上を走行することができ
るように取り付けられているため、スキージヘッド６に
小型測長機５を取り付けることにより、小型測長機５が
Ｙ方向に移動可能である。このように、Ｙ方向に移動す
ることにより、ひとつの小型測長機５でスキージストロ
ーク方向の２か所のずれ量の測定が可能になる。

【００３３】また、図示していないが、実施例２に示し
たように、２つの小型測長機５をスキージヘッド６に取
り付け、スキージヘッド６を移動させてスキージストロ
ーク方向の２か所で測定する場合には、合せて４か所以
上の測定が可能になる。

【００３４】実施例４．図１６及び図１７は、小型測長
機５の他の取り付け方法を示す図である。図１６および
図１７において、６はスキージヘッド、６ａはスキー
ジ、６ｂはスキージ６ａをＺ方向に移動させるエアシリ
ンダ、６ｃはスキージヘッド６をＲ１及びＲ２方向に回
転させる回転軸である。回転軸６ｃはスキージヘッド６
をＲ１、Ｒ２方向に回転させる軸であり、図１６に示す
状態で印刷を行う。また、図１７に示す状態でスキージ
６ａの清掃を行うことができる。前述した実施例で述べ
たような小型測長機５による測定作業と印刷作業とは排
他的なものである。したがって、印刷していない時に測
定を行い、印刷を行っているときは測定を行わない。こ
のような相反する作業を行うため、図１７に示すような
スキージ６ａの清掃状態において、測定を行うようにし
た点がこの実施例の特徴である。したがって、図１７に
示すように、スキージ６ａの清掃状態で小型測長機５が
前述したような測長用マークの測定を行う。このよう
に、スキージ６ａの清掃状態においては、スクリーン製
版２の取り外しも可能になり、前述したように、ガラス
原版７の測長用マークを測定する場合は、スクリーン製
版２を取り外す必要があるため、図１７に示すように、
スキージ６ａの清掃状態で小型測長機５が測長用マーク
の測定を行えるのは非常に便利である。

【００３５】実施例５．図１８は、スクリーン製版と基
板の測長を行う場合を示す図である。前述した例におい
ては、ガラス原版７とスクリーン製版２のずれ量を測定
する場合について説明したが、スクリーン印刷機に小型
測長機５を取り付けた場合には、スクリーン製版２を用
いて実際に印刷した基板の印刷結果を測長することも可
能になる。

【００３６】この実施例では、図３に示したスクリーン
製版２と印刷された画像のずれ量を求め、印刷された画
像の長さを求める場合について、図１８を用いて説明す
る。まず、ステップＳ１１において、スクリーン製版２
上の測長用マークの位置を測定する。次に、ステップＳ
１２において、スクリーン製版２を用いて基板への印刷
を行う。この基板への印刷によりスクリーン製版２上に
ある測長マークも印刷マークとして基板上に印刷され
る。次に、ステップＳ１３において、スクリーン製版２
を取り外し、印刷された印刷マークの位置測定を行う。
次に、ステップＳ１１とステップＳ１３において、測定
された測長用マークの位置と印刷マークの位置の差から
ずれ量を計算し、ステップＳ１４において、印刷された
画像の長さの計算を行う。このようにして、図３に示し
たスクリーン製版２と印刷された画像のずれ量を求め、
印刷された画像の長さを求めることができる。

【００３７】実施例６．この実施例においては、図３に
示すガラス原版７と印刷画像のずれ量を求める場合につ
いて説明する。長さ既知のガラス原版７と印刷画像のず
れ量を求める方法はスクリーン製版をセットせず、もち
ろん、測長用マークの印刷を行わずに行うことができ
る。つまり、図４のステップＳ３のダミー基板の代りに
ガラス原版とし、ステップ５のガラス原版の代りに印刷
画像とし、そのずれ量を求めることができる。このよう
にして、スクリーン製版２の測長だけでなく、実際の基
板上の印刷物も同様の手順で簡便に測長できる。また、
実際のスクリーン印刷に使用する印刷機による自動位置
合わせ機能を利用するため、スクリーン製版２の測長時
のセンタリングと、印刷の際のセンタリングの整合性が
ある。このため、印刷後の画像の伸びの予測がしやすく
なる。

【００３８】図３に示したように、ガラス原版７に対し
てスクリーン製版２のずれ量を求め、あるいは、スクリ
ーン製版２に対して印刷画像のずれ量を求め、あるい
は、ガラス原版７に対して印刷画像のずれ量を求め、こ
れらを統計的に解析することにより、最終的に生成され
る印刷画像の最終的なずれ量がガラス原版７やスクリー
ン製版２のずれ量とどのように関係しているかを解析す
ることができる。したがって、このような統計的な解析
に基づき、最終的な印刷画像がどの様になるかを予測す
ることが可能になる。

【００３９】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、スク
リーン印刷機を用いてスクリーン製版の長さを測定する
ことができる。また、印刷画像の長さも測定することが
可能になる。

【００４０】また、この発明によれば、測長機をスキー
ジヘッド等の移動体に取り付けので、１個の測長機によ
り複数箇所の測定が可能になる。

【００４１】また、この発明によれば、センタリングと
いう位置合わせ動作を行うことにより、１箇所のずれ量
を測定することにより、全体の長さを算出することがで
きる。

【００４２】また、この発明によれば、基準物体と測定
物体を同位置に位置合わせしてそれぞれ測定マークを測
定することにより、測定物体の長さを求めることが可能
になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の一実施例によるスクリーン印刷機
の側面図である。

【図２】 この発明の一実施例によるスクリーン印刷機
の平面図である。

【図３】 この発明のスクリーン印刷の各工程を示す図
である。

【図４】 この発明のスクリーン印刷機の測長方法を示
す図である。

【図５】 この発明の測長方法の各状態を示す図であ
る。

【図６】 この発明の測長方法の各状態を示す図であ
る。

【図７】 この発明の測長方法の各状態を示す図であ
る。

【図８】 この発明の測長方法の各状態を示す図であ
る。

【図９】 この発明の測長方法の各状態を示す図であ
る。

【図１０】 この発明の測長方法の各状態を示す図であ
る。

【図１１】 この発明の測長方法の各状態を示す図であ
る。

【図１２】 この発明の測長方法の各状態を示す図であ
る。

【図１３】 この発明の測長方法の各状態を示す図であ
る。

【図１４】 この発明の他の実施例によるスクリーン印
刷機を示す図である。

【図１５】 この発明の他の実施例によるスクリーン印
刷機を示す図である。

【図１６】 この発明の他の実施例による測長機の取り
付け部を示す図である。

【図１７】 この発明の他の実施例による測長機の取り
付け部を示す図である。

【図１８】 この発明の他の実施例による測長方法を示
す図である。

【図１９】 従来の測長機を示す図である。

【符号の説明】

１ Ｘ，Ｙ，θテーブル、２ スクリーン製版、３ ス
クリーン枠ホルダ、４位置合わせ用カメラ、５ 小型測
長機、６ スキージヘッド、７ ガラス原版、８ スキ
ージヘッド台。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スクリーン製版と、上記スクリーン製版
   と物体とを対応させて位置決めする位置合わせ手段とを
   備えたスクリーン印刷機において、位置合わせ手段によ
   り上記スクリーン製版と物体とを対応させて位置決めし
   た場合に、スクリーン製版上のマークと上記スクリーン
   製版のマークに対応する物体上のマークとのずれ量を測
   定する測長機を備えたことを特徴とするスクリーン印刷
   機。
2. 【請求項２】 上記スクリーン印刷機は、スクリーン製
   版上を移動する移動体を有し、上記測長機を移動体に取
   り付けたことを特徴とする請求項１記載のスクリーン印
   刷機。
3. 【請求項３】 上記スクリーン製版と物体は、少なくと
   も対応する２つのマークをそれぞれ有し、上記位置合わ
   せ手段は、上記スクリーン製版の２つのマーク間の中央
   部が上記物体の２つのマーク間の中央部に重なるように
   位置決めし、上記測長機は、スクリーン製版と物体の少
   なくとも１対の対応するマークのずれ量を測長すること
   を特徴とする請求項１又は請求項２記載のスクリーン印
   刷機。
4. 【請求項４】 スクリーン印刷機において、測定用マー
   クをそれぞれ有する長さ既知の基準物体と長さ不知の測
   定物体をそれぞれ別個に同位置に位置合わせする位置合
   わせ手段と、上記位置合わせ手段によりそれぞれ別個に
   位置合わせされた基準物体と測定物体の測定用マークの
   位置のずれ量を測定して求める測長機を備えたことを特
   徴とするスクリーン印刷機。