JPH0872237A

JPH0872237A - インクジェットヘッド駆動装置及びその駆動方法

Info

Publication number: JPH0872237A
Application number: JP6208896A
Authority: JP
Inventors: Noriyoshi Otsuki; 徳義大槻; Masahiro Fujii; 正寛藤井
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1994-09-01
Filing date: 1994-09-01
Publication date: 1996-03-19
Anticipated expiration: 2017-02-04
Also published as: JP3252612B2

Abstract

(57)【要約】【目的】静電気力によってインク吐出を行うインクジ
ェットヘッドの動作安定化を目的とする。【構成】振動板と対向する個別電極に電位差を生じさ
せて静電気力を発生する駆動回路において、個別電極と
電界を印加する端子を短絡させる動作安定スイッチを設
けた。動作安定スイッチはヘッドの非動作時には、短絡
状態となる制御を行う。【効果】振動板の動作が安定して、印字品質が向上し
た。また、実装設計の簡略化によりコストダウン、納期
短縮ができた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はインクジェットヘッドの
駆動方法及び駆動回路、特にそのアクチュエータを構成
する振動板の動作安定化に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェットプリンタは、記録時の騒
音が極めて小さいこと、高速印字が可能であること、イ
ンクの自由度が高く安価な普通紙を使用できることなど
多くの利点を有する。このような背景において、インク
流路の一部に設けられた振動板と、振動板に対向して設
けられた個別電極間にパルス電圧を印加し、振動板を静
電気により変形させてノズル孔からインク液滴を吐出さ
せるもの、すなわちアクチュエータに静電気を用いたイ
ンクジェットヘッドが、例えば、特開平２−２８９３５
１号公報に開示されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】特開平２−２８９３５
１号公報に開示されてる例では、個別電極４と共通電
極５によって構成されるコンデンサの静電容量が、特に
小さい場合には、端子間のインピーダンスが高くなるた
め、隣接する個別電極に印加されたパルス電圧の誘導、
外部からの静電気放電等による雑音が重畳され、振動板
の動作が不安定になりやすかった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明はこのような課題
を解決し、振動板の動作を安定させて印字品質を向上を
図るインクジェットヘッドの駆動装置及びその駆動方法
を提供することを目的としており、その駆動装置は、ノ
ズル孔と、前記ノズル孔に連通するインク流路と、前記
インク流路の一部に設けられた振動板と、前記振動板に
対向して設けられた個別電極とを有し、前記振動板と前
記個別電極間に電気パルスを印加し、前記振動板を静電
気力により変形させ、前記ノズル孔からインク液滴を吐
出するインクジェットヘッドの駆動装置において、前記
インクジェットヘッドの非動作時に前記個別電極と駆動
電圧を供給する電源の高電位側または低電位側とを短絡
させる安定化手段を有することを特徴とする。前記安定
化手段とは、例えば、前記インクジェットヘッドの非動
作時に出力される動作安定信号によって、駆動されるト
ランジスタであり、更に、前記トランジスタに対して、
並列にダイオードを設けても良い。

【０００５】また、本発明の駆動装置の好ましい様態
は、前記振動板がＰ型半導体で形成されている場合、前
記個別電極側が低電位となる電気パルスを印加して、前
記インク液滴を吐出を行い、前記安定化手段は、前記イ
ンクジェットヘッドの非動作時に、前記個別電極と駆動
電圧を供給する電源の高電位側とを短絡させ、前記振動
板がＮ型半導体で形成されている場合、前記個別電極側
が高電位となる電気パルスを印加して、前記インク液滴
の吐出を行い、前記安定化手段は、前記インクジェット
ヘッドの非動作時に、前記個別電極と駆動電圧を供給す
る電源の低電位側とを短絡させることを特徴とする。

【０００６】また、本発明の駆動方法は、ノズル孔と、
前記ノズル孔に連通するインク流路と、前記インク流路
の一部に設けられた振動板と、前記振動板に対向して設
けられた個別電極とを有し、前記振動板と前記個別電極
間にインク吐出信号を印加し、前記振動板を静電気力に
より変形させ、前記ノズル孔からインク液滴を吐出する
インクジェットヘッドの駆動方法において、前記インク
ジェットヘッドの非動作時には、前記個別電極と駆動電
圧を供給する電源の高電位側または低電位側との短絡・
解放を切り換える安定化手段を短絡状態に保持し、前記
インク液滴を吐出する際は、前記安定化手段を解放状態
に切り換えた後、前記インク吐出信号を印加することを
特徴とする。また、前記インク吐出信号の印加を終了
し、所定の時間が経過した後、再び、前記安定化手段を
短絡状態に保持する。

【０００７】

【作用】本発明においては、インクジェットヘッドの振
動板と個別電極からなるアクチュエータに電気パルスを
印加することにより、静電気力によって振動板を変形さ
せインク流路にインクを吸引している。次にその電気パ
ルスの印加を停止し、アクチュエータに蓄えられた電荷
を放電することにより、振動板を復元し、その復元力に
よってインク液滴をノズル孔から吐出している。ところ
が、回路構成によっては、個別電極に電気パルスを印加
する経路のインピーダンスが高く、アクチュエータに電
気パルスを印加していない非動作状態においても、エネ
ルギーが小さいノイズによって振動板に静電気力が働
き、振動板の動作が不安定になり、これによっては、予
期せぬインク吐出が行われてしまう。本発明において
は、動作安定スイッチを設けることによって、個別電極
に電気パルスを印加する経路のインピーダンスを低くし
ている。そのため、エネルギーが小さいノイズによって
振動板の動作に影響を与えることがなくなり、安定した
インク吐出動作が可能になる。

【０００８】

【実施例】

（実施例１）図２は本発明の一実施例におけるインクジ
ェットヘッドの分解斜視図であり、一部断面図で示して
ある。本実施例はインク液滴を基板の端部に設けたノズ
ル孔から吐出させるエッジイジェクトタイプの例を示す
ものであるが、基板の上面部に設けたノズル孔からイン
ク液滴を吐出させるフェイスイジェクトタイプでもよ
い。図３は組み立てられたインクジェットヘッド全体の
断面側面図、図４は図３のＡ−Ａ線矢視図である。本実
施例のインクジェットヘッド１０は次に詳述する構造を
持つ３枚の基板１、２、３を重ねて接合した積層構造と
なっている。

【０００９】中間の第１の基板１は、シリコン基板であ
り、複数のノズル孔４を構成するように、基板１の表面
に一端より平行に等間隔で形成された複数のノズル溝１
１と、各々のノズル溝１１に連通し、底壁を振動板５と
する吐出室６を構成することになる凹部１２と、凹部１
２の後部に設けられたオリフィス７を構成することにな
るインク流入口のための細溝１３と、各々の吐出室６に
インクを供給するための共通のインクキャビティ８を構
成することになる凹部１４とを有する。また、振動板５
の下部には後述する電極を装着するため振動室９を構成
することになる凹部１５が設けられている。

【００１０】本実施例においては、振動板５とこれに対
向して配置される電極との対向間隔、即ちギャップ部１
６の長さＧ（図３参照、以下「ギャップ長」と記す。）
が、凹部１５の深さと電極の厚さとの差になるように、
間隔保持手段を第１の基板１の下面に形成した振動室用
の凹部１５により構成している。また、別の例として凹
部の形成は第２の基板２の上面でもよい。ここでは、凹
部１５の深さをエッチングにより０．６μｍとしてい
る。なお、ノズル溝１１のピッチは０．７２ｍｍであ
り、その幅は７０μｍである。

【００１１】また、第１の基板１への共通電極１７の付
与については、半導体及び電極である金属の材料による
仕事関数の大小が重要であり、本実施例では共通電極材
料にはチタンを下付けとし白金、またはクロムを下付け
とし金を使用しているが、本実施例に限定されるもので
はなく、半導体及び電極材料の特性により別の組合わせ
でもよい。

【００１２】第１の基板１の下面に接合される下側の第
２の基板にはホウ珪酸系ガラスを使用し、この第２の基
板２の接合によって振動室９を構成するとともに、第２
の基板２上の振動板５に対応する各々の位置に、金を
０．１μｍスパッタし、振動板５とほぼ同じ形状に金パ
ターンを形成して個別電極２１としている。個別電極２
１はリード部２２及び端子部２３を持つ。更に、電極端
子部２３を除きパイレックススパッタ膜を全面に０．２
μｍ被覆して絶縁層２４を形成し、インクジェットヘッ
ド駆動時の絶縁破壊、ショートを防止するための膜を形
成している。

【００１３】第１の基板１の上面に接合される上側の第
３の基板３は、第２の基板２と同じくホウ珪酸系ガラス
を用いている。この第３の基板３の接合によって、ノズ
ル孔４、吐出室６、オリフィス７及びインクキャビティ
８が構成される。そして、第３の基板３にはインクキャ
ビティ８に連通するインク供給口３１が設けられる。イ
ンク供給口３１は接続パイプ３２及びチューブ３３を介
して図示しないインクタンクに接続される。

【００１４】次に、第１の基板１と第２の基板２を温度
３００〜５００℃、電圧５００〜８００Ｖの印加で陽極
接合し、また同条件で第１の基板１と第３の基板３を接
合し、図３のようにインクジェットヘッドを組み立て
る。陽極接合後に、振動板５と第２の基板２上の個別電
極２１との間に形成されるギャップ長さＧは、凹部１５
の深さと個別電極２１の厚さとの差であり、本実施例で
は０．５μｍとしてある。また、振動板５と個別電極２
１上の絶縁層２４との空隙間隔Ｇ１は０．３μｍとなっ
ている。

【００１５】上記のようにインクジェットヘッドを組み
立てた後は、共通電極１７と個別電極２１の端子部２３
間にそれぞれ配線１０１により駆動回路１０２を接続
し、インクジェットプリンタを構成する。インク１０３
は、図示しないインクタンクよりインク供給口３１を経
て第１の基板１の内部に供給され、インクキャビティ
８、吐出室６等を満たしている。そして、吐出室６のイ
ンクは、図３に示されるように、インクジェットヘッド
１０の駆動時にノズル孔４よりインク液滴１０４となっ
て吐出され、記録紙１０５に印字される。

【００１６】インク液滴が吐出する詳細を図５、図６、
図７を用いて説明する。図５、図６、図７は現象を説明
するための概略図である。非動作時には図５に示すよう
に、振動板５と個別電極２１の双方がプラス電位となる
ように駆動回路１０２を制御する（双方がプラス極性と
される）。振動板５と個別電極２１の電位差は０となっ
ているため、振動板５に静電気力はかからず、振動板は
変形しない。インクを吐出する際には、図６に示すよう
に駆動回路１０２から個別電極２１の電位が低くなるよ
うに電圧を印加する。（マイナス極性とする）。そのた
め、振動板５と個別電極２１の間に電位差が生じて静電
気力が発生し、振動板５が撓むことによって吐出室６の
中にインクが流入する。図７に示すように、再び、個別
電極２１を再びプラス極性とすると、個別電極２１と振
動板５の間に発生した静電気力が消滅し、振動板５の形
状が復原力によって、復元される。そのため、吐出室６
のインクがノズル孔４から吐出することになる。

【００１７】次に上記のように構成された本実施例の電
気的接続について説明する。金属−絶縁層−半導体層か
らなる構造、いわゆるＭＩＳ構造において、印加電圧の
極性により、電流の値に大きな差がある場合と差のない
場合が生ずることが、空間電荷層（空乏層ともいう）の
影響から現象として知られている。基板材質である半導
体がＰ形シリコンの場合は、基板電極側にプラス電圧を
かけた時は導体とみなせるが、マイナス電圧をかけた時
は空間電荷層の存在により導体とはみなせずに容量を持
つことがわかっている。この点から本発明のインクジェ
ットヘッドの駆動について、図８以降に基づいて説明す
る。

【００１８】図８は本実施例における振動板と個別電極
の部分拡大詳細図であり、電荷の様子を模式化して示し
たものである。第１の基板１にＰ形シリコンを用い、第
１の基板１（振動板５）側、すなわち共通電極１７をプ
ラス極性、個別電極２１側をマイナス極性になるように
駆動回路１０２に接続し、共通電極１７と個別電極２１
に駆動回路１０２によりパルス電圧を印加した場合であ
る。

【００１９】共通電極は、金、ロジウムもしくは、白金
からなる層１７、クロムもしくはチタニウム層１８の２
層から構成され、第１の基板１との接触部分は、常にオ
ーミックコンタクトとなるように形成されている。この
ような２層構造の電極の場合、第１の基板１がＰ型半導
体基板であるときは、層１８の厚さを５０〜１００Åと
し、第１の基板１がＮ型半導体基板であるときは、層１
８の厚さを３００Å以上とすれば、良好なオーミックコ
ンタクトが形成される。層２６は、酸化膜（ＳiＯ₂）で
あり、層２４、ギャップ１６と共に絶縁層を形成する。

【００２０】Ｐ形シリコンはボロンをドープしており、
電子がドープされたボロンの数だけ不足するので、ドー
プ量と等しい正孔を持っていることが知られている。Ｐ
形シリコン中の正孔１９は共通電極１７のプラス電荷に
より、絶縁層２６側へ反発させられる。この正孔１９の
移動により、アクセプター（イオン化したボロン）は、
基板電極１７から電荷の供給を受けるので、第１の基板
１内には正孔の流れが生じ、空間電荷層を発生せず導体
とみなすことができる。また個別電極２１側はマイナス
電荷が帯電され、この結果、印加したパルス電圧が振動
板５を撓ませるに充分な静電気による吸引力を発生す
る。したがって、振動板５は個別電極２１側へ撓むこと
になる。

【００２１】図９は振動板と個別電極の部分拡大詳細図
で、電荷の様子を模式化して示したものである。ただ
し、本実施例とは逆の極性とし、第１の基板１側をマイ
ナス、個別電極２１側をプラスにした場合を示してい
る。

【００２２】Ｐ形シリコンである振動板５中の正孔１９
が、共通電極１７のマイナス電荷により引きつけられ、
共通電極１７側へ移動するが、ドープ材であるボロンが
シリコン結晶に固定されていて移動できないため、シリ
コン内部は正孔１９によりプラスに帯電された層と、ア
クセプター２０（イオン化したボロン）によりマイナス
に帯電された層２５の２層が分かれて存在することにな
り、そこには移動可能な正孔は存在しない。

【００２３】したがって、第１の基板１は、この空間電
荷層２５の距離とシリコンの誘電率によって定まる容量
のコンデンサを持つものとみなせるため、導体としての
機能を果たさなくなり、振動板５と個別電極２１間に発
生する静電引力は、印加したパルス電圧に対しその容量
分だけ減少することになる。よって振動板５は十分撓ま
ず、インク吐出性能も確保できなくなる。また全く振動
板５を撓ませることができなくなる場合もあり、第１の
基板１側をマイナス極性として駆動することは好ましく
ない。

【００２４】また、基板材料である半導体がＮ形シリコ
ンで、基板にマイナス電荷をかけた場合は、Ｐ形シリコ
ンの場合とは逆に、マイナス電荷がドナー（イオン化し
た砒素）に共通電極から供給されるため、そこに電荷の
流れが生じ、基板は導体としてみなせる。しかしなが
ら、基板にプラス電荷を印加したときは、空間電荷層が
発生し、そこには移動可能な電子が存在しないため、基
板は導体とはならず、容量を持つ。したがって、前述し
たＰ形半導体の場合とは逆の電圧をかけることによって
Ｐ形半導体の場合と同様に駆動でき、インク吐出性能を
確保することができる。

【００２５】次に上述の構成によるインクジェットヘッ
ドの駆動回路１０２の一例を図１に示す。個別電極２１
と振動板５によってコンデンサ４５が構成されている。
振動板５は、電界印加端子４６からプラス電位がかけら
れている。４１は駆動スイッチであり、個別電極２１に
マイナス電位を与えるための電気パルスを供給するもの
である。（以下、駆動スイッチ４１を制御する信号を、
インク吐出信号と呼ぶ。）図１０を用いて図１に示した
回路の動作を説明する。図１０に示したインク吐出信号
２０１は、Ｈ側が電気パルスを印加した状態を示してい
る。インクジェットヘッドの非動作時にはインク吐出信
号は印加されず、駆動スイッチ４１はＯＦＦ状態になっ
ている。そのため、個別電極２１にはプラス電位がかけ
られる。インク吐出信号２０１が印加されると駆動スイ
ッチ４１がＯＮ状態になり、２０３に示すとおり個別電
極２１の電位はコンデンサ４５の静電容量Ｃと抵抗４８
の抵抗値Ｒ２によって設定される時定数Ｃ×Ｒ２のカー
ブでマイナス電位になる。一定時間個別電極２１の電位
をマイナス電位に固定してからインク吐出信号の印加を
停止することによって、個別電極２１の電位は、コンデ
ンサ４５の静電容量Ｃと抵抗４７の抵抗値Ｒ１と抵抗４
８の抵抗値Ｒ２によって設定される時定数Ｃ×（Ｒ１＋
Ｒ２）のカーブでプラス電位になる。

【００２６】インクジェットヘッドの動作を安定させ、
高品位の印字を行うためには、振動板５の振動を、極力
短い時間で静止させなければならない。また、非動作時
には確実に振動板５を固定しなければならない。しか
し、個別電極２１に電気パルスを印加する経路のインピ
ーダンスが高いと、外部から重畳されるノイズによって
振動板５と個別電極２１の間に電位差が生じて静電気力
が発生し、振動板５が振動してしまうことが有り得る。
また、その結果意図しないインク吐出が行われる不具合
が生じることも有り得る。

【００２７】このような状態を避けるためには、個別電
極２１と電界印加端子４６の間のインピーダンスを小さ
くすればよい。そのために、図１に示したように動作安
定スイッチ４２をインクジェットヘッド駆動回路に設け
た。（以下、動作安定スイッチ４２を制御する信号を動
作安定信号と呼ぶ。）動作安定スイッチ４２は、その動
作安定効果を高めるため、個別電極２１との配線長を極
力短くすることが望ましい。本実施例では、動作安定ス
イッチ４２としてＰＮＰ型トランジスタを用いたため、
反転アンプ４９を用いて動作安定信号が印加された際に
動作安定スイッチ４２がＯＮ状態になる構成にした。実
際の動作例を図１０に示す。インクジェットヘッドの非
動作時には動作安定信号２０２を印加した状態にする。
インク液滴を吐出する際には、インク吐出信号を印加す
る前に、まず動作安定信号２０２の印加を停止する。動
作安定スイッチ４２がＯＦＦ状態になるのに充分な時間
Ｔ１が経過した後インク吐出信号２０１を印加する。イ
ンク流入に充分な時間Ｔ２が経過した後インク吐出信号
２０１の印加を停止する。時定数Ｃ×（Ｒ１＋Ｒ２）の
カーブでＶＨになるのに充分な時間Ｔ３が経過した後、
動作安定信号２０２を印加する。この、Ｔ３の間にイン
クが吐出することになる。

【００２８】個別電極２１に電気パルスを供給する際に
は、フレキシブル基板等を用いることが多い。そのた
め、信号ラインのインピーダンスにより隣接する個別電
極に印加する電気パルスが誘導パルスとして重畳されて
しまうことがある。本発明の動作安定スイッチを設ける
ことによって、誘導パルスを実用上問題ないレベルまで
低減することができる。

【００２９】（実施例２）本発明を実施するための、他
の実施例を図１１に示す。動作安定スイッチ４２とし
て、ＰＮＰトランジスタ５０とダイオード５１を並列に
設ける構成とした。ＰＮＰトランジスタは、実施例１で
説明した方法と同じ方法で駆動する。他の要素の機能も
実施例１と同様である。

【００３０】本実施例においては、何らかのノイズによ
り個別電極に電源のプラス電位より高い電位が生じた際
にダイオード５１がＯＮ状態になる。そのため、個別電
極２１と電界印加端子４６が短絡状態となり、個別電極
２１と振動板５に生じる電位差を実用上問題ないレベル
に低減することができる。

【００３１】（実施例３）実施例１、実施例２では、振
動板５にプラス電位を与えて駆動する例を示した。前述
したように振動板５の材質によっては（Ｎ型半導体の場
合）、振動板５にマイナス電位をかけて駆動する場合が
ある。その際の実施例を図１２に示す。振動板５にマイ
ナス電位をかけて駆動する場合は、インクジェットヘッ
ドの非動作時に個別電極２１を低電位に固定する必要が
ある。そのため、動作安定スイッチ４２としてＮＰＮ型
トランジスタ、駆動スイッチ４１としてＰＮＰ型トラン
ジスタを用いた。このような構成で実施することによっ
て図２に示したインク吐出信号、動作安定信号をそれぞ
れ端子４３、端子４４から入力することによって前述の
実施例同様安定したインク吐出動作を行うことができ、
高品質の印字を行うことができる。

【００３２】

【発明の効果】本発明の動作安定スイッチを用いて、イ
ンクジェットヘッドの非動作時に個別電極と電源の高電
位側または低電位側と短絡することによって、個別電極
への信号供給ラインのインピーダンスを大幅に低減する
ことができた。そのため、隣接する信号ラインからの誘
導ノイズや外部から印加されるノイズの重畳を実用上問
題ないレベルまで低減することができ、動作が安定して
高品質の印字を行うことができるようになった。さら
に、回路上信号供給ラインのインピーダンスを小さくこ
とができたため、信号の引き回し等実装設計が簡略化さ
れ、開発費の低減ができ製品のコストダウンが可能にな
った。また、実装設計の簡略化により納期短縮にも大き
な成果を上げることができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明における第１の例を示すインクジェット
ヘッド駆動回路図。

【図２】本発明のインクジェットヘッドの構成を示す分
解斜視図。

【図３】本発明のインクジェットヘッドの構成を示す垂
直断面図。

【図４】本発明のインクジェットヘッドの構成を示す水
平断面図。

【図５】本発明におけるインク吐出方法を説明するため
の構造概略図。

【図６】本発明におけるインク吐出方法を説明するため
の構造概略図。

【図７】本発明におけるインク吐出方法を説明するため
の構造概略図。

【図８】本発明のインクジェットヘッドの電気的接合を
説明する概略図。

【図９】本発明のインクジェットヘッドの電気的接合を
説明する概略図。

【図１０】本発明の駆動回路を動作させるための信号タ
イミング図。

【図１１】本発明における第２の例を示すインクジェッ
トヘッド駆動回路図。

【図１２】本発明における第３の例を示すインクジェッ
トヘッド駆動回路図。

【符号の説明】

４，ノズル孔５，振動板６，吐出室１７，共通電極２１，個別電極４１，駆動スイッチ４２，動作安定スイッチ４５，個別電極と振動板によって構成されるコンデンサ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ノズル孔と、前記ノズル孔に連通するイ
ンク流路と、前記インク流路の一部に設けられた振動板
と、前記振動板に対向して設けられた個別電極とを有
し、前記振動板と前記個別電極間に電気パルスを印加
し、前記振動板を静電気力により変形させ、前記ノズル
孔からインク液滴を吐出するインクジェットヘッドの駆
動装置において、前記インクジェットヘッドの非動作時に前記個別電極と
駆動電圧を供給する電源の高電位側または低電位側とを
短絡させる安定化手段を有することを特徴とするインク
ジェットヘッド駆動装置。
【請求項２】請求項１において、前記安定化手段は、
前記インクジェットヘッドの非動作時に出力される動作
安定信号によって、駆動されるトランジスタであること
を特徴とするインクジェットヘッド駆動装置。
【請求項３】請求項２において、前記トランジスタに
対して、並列にダイオードを設けたことを特徴とするイ
ンクジェットヘッド駆動装置。
【請求項４】請求項１において、前記振動板はＰ型半
導体で形成され、前記個別電極側が低電位となる電気パ
ルスを印加し、前記インク液滴を吐出する駆動手段と、
前記インクジェットヘッドの非動作時には、前記個別電
極と駆動電圧を供給する電源の高電位側とを短絡させる
安定化手段を有することを特徴とするインクジェットヘ
ッド駆動装置。
【請求項５】請求項１において、前記振動板はＮ型半
導体で形成され、前記個別電極側が高電位となる電気パ
ルスを印加し、前記インク液滴を吐出する駆動手段と、
前記インクジェットヘッドの非動作時には、前記個別電
極と駆動電圧を供給する電源の低電位側とを短絡させる
安定化手段を有することを特徴とするインクジェットヘ
ッド駆動装置。
【請求項６】ノズル孔と、前記ノズル孔に連通するイ
ンク流路と、前記インク流路の一部に設けられた振動板
と、前記振動板に対向して設けられた個別電極とを有
し、前記振動板と前記個別電極間にインク吐出信号を印
加し、前記振動板を静電気力により変形させ、前記ノズ
ル孔からインク液滴を吐出するインクジェットヘッドの
駆動方法において、前記インクジェットヘッドの非動作時には、前記個別電
極と駆動電圧を供給する電源の高電位側または低電位側
との短絡・解放を切り換える安定化手段を短絡状態に保
持し、前記インク液滴を吐出する際は、前記安定化手段
を解放状態に切り換えた後、前記インク吐出信号を印加
することを特徴とするインクジェットヘッドの駆動方
法。
【請求項７】請求項６において、前記インク吐出信号
の印加を終了し、所定の時間が経過した後、再び、前記
安定化手段を短絡状態に保持することを特徴とするイン
クジェットヘッドの駆動方法。