JPH087262B2 - レーザドップラ方式による被測定物の移動速度、長さ等の測定におけるドップラ信号同調方法 - Google Patents

レーザドップラ方式による被測定物の移動速度、長さ等の測定におけるドップラ信号同調方法

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JPH087262B2
JPH087262B2 JP41170190A JP41170190A JPH087262B2 JP H087262 B2 JPH087262 B2 JP H087262B2 JP 41170190 A JP41170190 A JP 41170190A JP 41170190 A JP41170190 A JP 41170190A JP H087262 B2 JPH087262 B2 JP H087262B2
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signal
doppler
electric signal
dut
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伸次 杉木
和則 鈴木
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ACT Electronics Corp
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はレ−ザドップラ方式によ
る被測定物の移動速度、長さ等の測定において、被測定
物で散乱される散乱光に基づいて生ずるドップラ信号の
同調方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】レ−ザドップラ方式により被測定物の移
動速度や長さ等を測定することは本件発明者が先に開発
した。その測定原理は図1に示すように、He−Neレ
−ザ等のレ−ザ光源2からのレ−ザ光aをビ−ムスプリ
ッタ11で二分し、その一方のレ−ザ光aとミラ−12
で反射されたレ−ザ光aとを交差角φで被測定物(例え
ばロ−プ等の走行体)1に照射すると、被測定物1で散
乱される散乱光bが集光レンズ等の光学系13を介して
センサ(光電変換器)3に受光されてヘテロダイン検波
され、同センサ3から図3のようにペデスタル信号Bに
ドップラ信号dが重畳されている電気信号Aが出力され
るようにしたものである。
【0003】このドップラ信号のドップラ周波数fD は
次式で表される。 fD =2v/λ sinφ/2・cos Δθ fD :ドップラ周波数 v:被測定物の移動速度 λ:レ−ザ波長(632.8nm) φ:ビ−ム交差角 Δθ:ビ−ム法線と被測定物の直角からのずれ角 前記式のようにドップラ周波数fD は被測定物1の移動
速度vに比例するので、前記ドップラ信号dを取り出し
て処理部4で処理すれば、被測定物1の移動速度vを求
めることができるのは勿論、同速度vを時間積分すれば
被測定物1の長さを測定することもできる。
【0004】ちなみに、前記ドップラ信号dの周波数は
被測定物1の表面の散乱状態にもよるが、ペデスタル信
号Bの周波数の100〜500倍もあり、また、ドップ
ラ信号dのレベルはペデスタル信号Bのレベルの1/1
0〜1/50である。また、前記式から明らかなよう
に、ドップラ信号dの周波数は被測定物1の移動速度に
比例する。
【0005】前記電気信号Aから前記のような特性を有
するドップラ信号dを取り出すには、従来はバンドパス
フィルタ方式やPLL方式によりドップラ信号dと同調
を取っていた。
【0006】バンドパスフィルタ方式には一つのバンド
パスフィルタを使用する方法と、通過周波数帯域の異な
るに二以上のバンドパスフィルタを使用する方法とがあ
る。前者の方法は、一つのバンドパスフィルタの通過帯
域を前記電気信号Aの低い周波数帯から高い周波数帯ま
で変えて各帯域毎に電気信号を通過させ、その通過した
電気信号の全てをCPUでスキャンして、周波数が所定
周波数以上で且つレベルが最大である信号に同調させて
ドップラ信号dを取り出すものである。後者の方法は、
各バンドパスフィルタを通過した電気信号Aを、CPU
でスキャンして、周波数が所定周波数以上で且つレベル
が最大である信号に同調させてドップラ信号dを取り出
すものである。
【0007】PLL方式は電気信号Aに含まれるドップ
ラ信号dをル−プで追随してドップラ信号dに同調させ
てドップラ信号dを取り出すものである。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】前記した同調方法のう
ちバンドパスフィルタを使用する方法は次のような課題
があった。.バンドパスフィルタを通過した全ての電
気信号を一通りスキャンしなければ最大レベルの電気信
号を見つけることができないので、同調が取れるまでに
時間がかかり、応答速度が遅い。.周波数が所定周波
数以上で且つレベルが最大である信号に同調させるもの
であるため、ペデスタル信号Bの周波数が処理部4の動
作周波数帯域より低い場合はそのペデスタル信号Bに同
調することはないが、被測定物1の移動速度が速くなっ
てペデスタル信号Bの周波数も高くなり、その周波数が
処理部4の動作周波数帯域に入ると、レベルが大きく且
つ周波数の高いペデスタル信号Bに同調することがあ
り、ドップラ信号dを取り出すことができなくなる。
【0009】.前記の課題を解決するため、従来
は、ペデスタル信号Bの周波数が被測定物1の移動速度
に比例して高くなることを見越して、高くなった周波数
のペデスタル信号Bを除去するためのハイパスフィルタ
を測定部4に入れていた。しかしこれでは被測定物1の
移動速度が速い場合はよいが、移動速度が急激に下がっ
てドップラ信号Bの周波数も下がると、周波数の下がっ
たドップラ信号Bも前記ハイパスフィルタで除去されて
しまい、ドップラ信号dの同調がとれないという新たな
課題が発生する。
【0010】前記PLL方式はドップラ信号dに同調し
てル−プが定常状態になるまでに時間がかかるため、応
答速度が遅い。
【0011】
【発明の目的】本発明の目的はドップラ信号への応答速
度が速く、迅速に同調できるドップラ信号同調方法を提
供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明は図1のように、
被測定物1にレ−ザ光源2からレ−ザ光aを照射し、同
被測定物1からの散乱光bをセンサ3により受光して、
同センサ3から図3に示すような電気信号Aを出力し、
処理部4においてその電気信号Aの中からドップラ信号
dを取り出し、そのドップラ信号dを処理して被測定物
1の移動速度、長さ等を測定するようにしたレ−ザドッ
プラ方式による被測定物の移動速度、長さ等の測定にお
いて、前記電気信号Aを図2に示す通過周波数帯域の異
なる二以上のバンドパスフィルタ5を通し、各フィルタ
5を通過した個々の電気信号Aのレベルを図2のコンパ
レ−タ6においてしきい値と比較して、そのしきい値以
上の電気信号Aだけを出力し、このしきい値以上の電気
信号Aの中から図2のプライオリティエンコ−ダ7にお
いて周波数が最も高い電気信号Aを判定し、前記バンド
パスフィルタ5を通過した電気信号Aの中から、この判
定された電気信号Aと同じ周波数の電気信号Aをドップ
ラ信号dとして取り出すようにしたものである。
【0013】
【作用】本発明では通過周波数帯域の異なる二以上のバ
ンドパスフィルタ5を通過した周波数帯の異なる個々の
電気信号Aの出力レベルをしきい値と比較して、そのし
きい値以上の電気信号Aだけを取り出す。
【0014】次に、プライオリティエンコ−ダ7におい
て、そのしきい値以上の電気信号Aの中から周波数が最
も高い電気信号Aが判定されるので、ここで判定される
電気信号Aはしきい値以上のレベルで且つペデスタル信
号Bの周波数から最も離れた周波数帯の電気信号とな
る。
【0015】更に、プライオリティエンコ−ダ7から出
力される制御信号により電子式切換回路8が切換えられ
て、バンドパスフィルタ5を通過した電気信号Aの中か
らプライオリティエンコ−ダ7で判定された電気信号A
と同じ周波数の電気信号Aがドップラ信号dとして取り
出される。このため、レベルが大きく且つ周波数が高い
ペデスタル信号Bがあっても、また、所定レベル以上の
ドップラ信号dが二以上あっても、そのペデスタル信号
Bに関係なく、また、二以上のドップラ信号dのうち所
定のしきい値以上のレベルで且つ周波数が最も高いドッ
プラ信号dが確実に、しかも迅速に選択される。
【0016】
【実施例】図1はレ−ザドップラ方式による被測定物の
移動速度や長さ等の測定方法の原理図である。この測定
方法は半導体レ−ザ等のレ−ザ光源2から出力されるレ
−ザ光aをビ−ムスプリッタ11を通して被測定物1に
照射すると共に、ビ−ムスプリッタ11で分岐されてミ
ラ−12により反射されたレ−ザ光aを被測定物1に交
差角φで照射する。
【0017】被測定物1から散乱される散乱光bを図2
のように集光レンズ10を通してセンサ3で受光し、同
センサ3から受光レベルに応じたレベルの図3の電気信
号Aが出力される。この電気信号Aにはペデスタル信号
Bにドップラ信号dが重畳されている。この電気信号A
を図2の増幅器9で増幅して処理部4に入力し、処理部
4においてその電気信号Aの中からドップラ信号dを取
り出し、そのドップラ信号dを処理して被測定物1の移
動速度vを求めたり、この速度vに基づいて被測定物1
の長さを求めたりする。
【0018】本発明において前記電気信号Aの中からド
ップラ信号dを同調選択するには図2のように、増幅器
9で増幅された電気信号Aを通過周波数帯域が異なるバ
ンドパスフィルタ5を通して、夫々の周波数帯域の電気
信号Aを取り出す。取り出した個々の電気信号Aをコン
パレ−タ5において、予め設定してあるしきい値と比較
して、そのしきい値よりレベルの高い電気信号Aだけを
コンパレ−タ5から出力する。
【0019】その出力された電気信号Aをプライオリテ
ィエンコ−ダ7に入力して、重みの最も大きい(本発明
では周波数が最も高い)入力信号を判定し、判定された
電気信号に応じてプライオリティエンコ−ダ7から制御
信号eを出力する。
【0020】この制御信号eを図2の電子式の切換回路
8に入力して、各バンドパスフィルタから同切換回路8
に入力されている電気信号Aのうち、プライオリティエ
ンコ−ダ7で判定された電気信号Aと同じ周波数の電気
信号Aをドップラ信号dとして同切換回路8から出力す
る。
【0021】
【発明の効果】本発明によればドップラ信号dを取り出
すときに、バンドパスフィルタ5を通過した周波数帯の
異なる多数の電気信号Aを全てスキャンしてレベルの大
きな電気信号を探す必要がないので、同調の応答速度が
速くなり、ドップラ信号dを迅速に選択することができ
る。ちなみに、従来は同調をとるまでの時間が100m
sec程度であったが、本発明によれば10μsec程
度となる。また、処理部4にハイパスフィルタを入れる
必要がないので、ハイパスフィルタを入れた場合の課題
が一掃される。
【図面の簡単な説明】
【図1】レ−ザドップラ方式による被測定物の移動速
度、長さ等の測定方法の原理図である。
【図2】本発明の同調方法の一例を示す説明図である。
【図3】本発明におけるドップラ信号の説明図である。
【符号の説明】
1 被測定物 2 レ−ザ光源 3 センサ 4 処理部 5 バンドパスフィルタ a レ−ザ光 b 散乱光 d ドップラ信号 A 電気信号

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】被測定物1にレ−ザ光源2からレ−ザ光a
    を照射し、同被測定物1からの散乱光bをセンサ3によ
    り受光して、同センサ3から電気信号Aを出力し、処理
    部4においてその電気信号Aの中からドップラ信号dを
    取り出し、そのドップラ信号dを処理して被測定物1の
    移動速度、長さ等を測定するようにしたレ−ザドップラ
    方式による被測定物の移動速度、長さ等の測定におい
    て、前記電気信号Aを通過周波数帯域の異なる二以上の
    バンドパスフィルタ5を通し、各フィルタ5を通過した
    個々の電気信号Aのレベルをしきい値と比較してそのし
    きい値以上の電気信号Aだけを出力し、そのしきい値以
    上の電気信号Aのうち周波数が最も高い電気信号Aを判
    定し、前記バンドパスフィルタ5を通過した電気信号A
    の中から、この判定された電気信号Aと同じ周波数の電
    気信号をドップラ信号dとして取り出すようにしたこと
    を特徴とするレ−ザドップラ方式による速度、長さ等の
    測定におけるドップラ信号同調方法。
JP41170190A 1990-12-19 1990-12-19 レーザドップラ方式による被測定物の移動速度、長さ等の測定におけるドップラ信号同調方法 Expired - Lifetime JPH087262B2 (ja)

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JP6808859B2 (ja) * 2020-01-24 2021-01-06 キヤノン株式会社 速度計、および物品製造方法

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