JPH0876044A - 走査光学装置 - Google Patents
走査光学装置Info
- Publication number
- JPH0876044A JPH0876044A JP22902894A JP22902894A JPH0876044A JP H0876044 A JPH0876044 A JP H0876044A JP 22902894 A JP22902894 A JP 22902894A JP 22902894 A JP22902894 A JP 22902894A JP H0876044 A JPH0876044 A JP H0876044A
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- JP
- Japan
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- permanent magnet
- rotary sleeve
- rotary
- optical device
- scanning optical
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- Pending
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- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 駆動モータの回転スリーブの高さ位置精度を
高めると共に、回転スリーブの抜け出しを防止する。 【構成】 駆動モータ12の固体軸21の基部に第1の
永久磁石28を設けられ、回転スリーブ22の下端に第
1の永久磁石28と反発するように第2の永久磁石29
が設けられ、ハウジング20に第2の永久磁石29を第
1の永久磁石28に押し付ける方向に反発力を付与する
第3の永久磁石30が配置され、第2の永久磁石29と
第3の永久磁石30との磁気的な中心間距離Lmが、回転
スリーブ22とカバー34間の軸方向距離Lcよりも大と
されている。そして、3つの永久磁石28、29、30
の反発力により回転スリーブ22の高さを保持し、回転
スリーブ22が抜け出し方向に移動するとカバー34で
規制する。
高めると共に、回転スリーブの抜け出しを防止する。 【構成】 駆動モータ12の固体軸21の基部に第1の
永久磁石28を設けられ、回転スリーブ22の下端に第
1の永久磁石28と反発するように第2の永久磁石29
が設けられ、ハウジング20に第2の永久磁石29を第
1の永久磁石28に押し付ける方向に反発力を付与する
第3の永久磁石30が配置され、第2の永久磁石29と
第3の永久磁石30との磁気的な中心間距離Lmが、回転
スリーブ22とカバー34間の軸方向距離Lcよりも大と
されている。そして、3つの永久磁石28、29、30
の反発力により回転スリーブ22の高さを保持し、回転
スリーブ22が抜け出し方向に移動するとカバー34で
規制する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばレーザビームな
どの光束を用いた記録装置において、光束を感光体に走
査するための回転多面鏡を内蔵する走査光学装置に関す
るものである。
どの光束を用いた記録装置において、光束を感光体に走
査するための回転多面鏡を内蔵する走査光学装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】近年、この種の走査光学装置では、回転
多面鏡を高速又は高精度で回転させることが要求されて
おり、特にレーザビームプリンタなどにおいては高精度
の偏向装置を得るために、非接触で回転する軸受を用い
た偏向走査装置が用いられている。
多面鏡を高速又は高精度で回転させることが要求されて
おり、特にレーザビームプリンタなどにおいては高精度
の偏向装置を得るために、非接触で回転する軸受を用い
た偏向走査装置が用いられている。
【0003】この偏向走査装置に用いれられている駆動
モータは、図6に示すようにステータ1を備えたハウジ
ング2にセラミック材から成る固定軸3が立ち上げら
れ、この固定軸3にロータ4を設けたセラミック材から
成る回転スリーブ5が回転自在に嵌装されている。この
回転スリーブ5には、回転多面鏡6が取り付けられてい
ると共に、下端には永久磁石7が取り付けられ、またハ
ウジング2には永久磁石7に異種の磁極が対向するよう
に永久磁石8が固定されており、永久磁石7、8の互い
に反発する作用によりスラスト方向の荷重を支持してい
る。そして、駆動モータが駆動されると固定軸3と回転
スリーブ5との間に空気膜が形成され、回転スリーブ5
が非接触で回転するようにされたものが知られている。
モータは、図6に示すようにステータ1を備えたハウジ
ング2にセラミック材から成る固定軸3が立ち上げら
れ、この固定軸3にロータ4を設けたセラミック材から
成る回転スリーブ5が回転自在に嵌装されている。この
回転スリーブ5には、回転多面鏡6が取り付けられてい
ると共に、下端には永久磁石7が取り付けられ、またハ
ウジング2には永久磁石7に異種の磁極が対向するよう
に永久磁石8が固定されており、永久磁石7、8の互い
に反発する作用によりスラスト方向の荷重を支持してい
る。そして、駆動モータが駆動されると固定軸3と回転
スリーブ5との間に空気膜が形成され、回転スリーブ5
が非接触で回転するようにされたものが知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の従
来例では、永久磁石7、8間の反発力だけでスラスト荷
重を受けているため、スラスト軸受のスラスト剛性が小
さく、回転スリーブの高さ位置精度を高めることができ
ず、また外乱などによるスラスト方向の動きを規制する
規制力も弱く、特に回転スリーブの抜け出し方向に対す
る規制が無いために、軸受に損傷を与える虞れがある。
来例では、永久磁石7、8間の反発力だけでスラスト荷
重を受けているため、スラスト軸受のスラスト剛性が小
さく、回転スリーブの高さ位置精度を高めることができ
ず、また外乱などによるスラスト方向の動きを規制する
規制力も弱く、特に回転スリーブの抜け出し方向に対す
る規制が無いために、軸受に損傷を与える虞れがある。
【0005】本発明の目的は、上述の問題点を解決し
て、駆動モータにおける回転スリーブの高さ位置精度を
高めると共に、回転スリーブの抜け出しを防止するよう
にした走査光学装置を提供することにある。
て、駆動モータにおける回転スリーブの高さ位置精度を
高めると共に、回転スリーブの抜け出しを防止するよう
にした走査光学装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る走査光学装置は、回転軸と、該回転軸に
対し相対的に回転する回転スリーブと、該回転スリーブ
に固定して光束を偏向走査させる回転多面鏡と、該回転
多面鏡を覆うカバー部材とを有する走査光学装置におい
て、前記回転軸に設けた第1の永久磁石と反発するよう
な第2の永久磁石を配置し、前記回転軸を固定した基台
には、前記第2の永久磁石を前記第1の永久磁石に押し
付ける方向に反発力を付与するための第3の永久磁石を
配置し、前記第2の永久磁石と第3の永久磁石との磁気
的な中心間距離が、前記回転軸の軸線方向における前記
回転スリーブの略回転中心位置の上端と前記カバー部材
の対向位置間の距離よりも大きくしたことを特徴とす
る。
の本発明に係る走査光学装置は、回転軸と、該回転軸に
対し相対的に回転する回転スリーブと、該回転スリーブ
に固定して光束を偏向走査させる回転多面鏡と、該回転
多面鏡を覆うカバー部材とを有する走査光学装置におい
て、前記回転軸に設けた第1の永久磁石と反発するよう
な第2の永久磁石を配置し、前記回転軸を固定した基台
には、前記第2の永久磁石を前記第1の永久磁石に押し
付ける方向に反発力を付与するための第3の永久磁石を
配置し、前記第2の永久磁石と第3の永久磁石との磁気
的な中心間距離が、前記回転軸の軸線方向における前記
回転スリーブの略回転中心位置の上端と前記カバー部材
の対向位置間の距離よりも大きくしたことを特徴とす
る。
【0007】
【作用】上記の構成を有する走査光学装置は、第3の永
久磁石と第2の永久磁石との反発作用により、回転スリ
ーブに設けられた第2の永久磁石を回転軸に設けた第1
の永久磁石に押し付けると共に、回転スリーブが抜け出
し方向に移動したとき、カバー部材により回転スリーブ
の移動が規制される。
久磁石と第2の永久磁石との反発作用により、回転スリ
ーブに設けられた第2の永久磁石を回転軸に設けた第1
の永久磁石に押し付けると共に、回転スリーブが抜け出
し方向に移動したとき、カバー部材により回転スリーブ
の移動が規制される。
【0008】
【実施例】本発明を図1〜図5に図示の実施例に基づい
て詳細に説明する。図1は第1の実施例の構成図を示
し、フレーム10上にレーザーユニット11が設けら
れ、このレーザーユニット11から出射されたレーザー
光は、駆動モータ12に取り付けられた回転多面鏡13
により偏向走査され、結像レンズ14、15を経て感光
体16上に走査されるように成っている。
て詳細に説明する。図1は第1の実施例の構成図を示
し、フレーム10上にレーザーユニット11が設けら
れ、このレーザーユニット11から出射されたレーザー
光は、駆動モータ12に取り付けられた回転多面鏡13
により偏向走査され、結像レンズ14、15を経て感光
体16上に走査されるように成っている。
【0009】駆動モータ12は図2に示すように、フレ
ーム10に設けられたハウジング20の凹部20a内
に、セラミックで形成された略垂直な固定軸21が下端
を固定されて立設され、この固定軸21には、セラミッ
クで形成され下端がハウジングの凹部20a内に達する
長さの回転スリーブ22が回転自在に嵌装されている。
また回転スリーブ22にはアルミニウム、黄銅などから
成るフランジ23が焼き嵌めなどにより固定され、この
フランジ23の外周に駆動マグネット24が接着などに
より固定されている。更に、ハウジング20上に固定さ
れた基板25上に、ステータ26が駆動マグネット24
に対向するように配置されて駆動モータ12が構成さ
れ、フランジ23の上面には回転多面鏡13が取り付け
られ、この回転多面鏡13は板ばね27により固定され
ている。
ーム10に設けられたハウジング20の凹部20a内
に、セラミックで形成された略垂直な固定軸21が下端
を固定されて立設され、この固定軸21には、セラミッ
クで形成され下端がハウジングの凹部20a内に達する
長さの回転スリーブ22が回転自在に嵌装されている。
また回転スリーブ22にはアルミニウム、黄銅などから
成るフランジ23が焼き嵌めなどにより固定され、この
フランジ23の外周に駆動マグネット24が接着などに
より固定されている。更に、ハウジング20上に固定さ
れた基板25上に、ステータ26が駆動マグネット24
に対向するように配置されて駆動モータ12が構成さ
れ、フランジ23の上面には回転多面鏡13が取り付け
られ、この回転多面鏡13は板ばね27により固定され
ている。
【0010】固定軸21の基部には環状の第1の永久磁
石28が嵌着され、回転スリーブ22の下端には、環状
の第2の永久磁石29が同種の磁極を第1の永久磁石2
8の磁極と上下方向に対向するように固定されている。
また、第2の永久磁石29よりも上方にあるハウジング
20の凹部20aの周縁には、第2の永久磁石29を第
1の永久磁石28に押し付ける方向に反発力が作用する
磁極の向きに、環状の第3の永久磁石30が配置されて
いる。
石28が嵌着され、回転スリーブ22の下端には、環状
の第2の永久磁石29が同種の磁極を第1の永久磁石2
8の磁極と上下方向に対向するように固定されている。
また、第2の永久磁石29よりも上方にあるハウジング
20の凹部20aの周縁には、第2の永久磁石29を第
1の永久磁石28に押し付ける方向に反発力が作用する
磁極の向きに、環状の第3の永久磁石30が配置されて
いる。
【0011】ここで、第3の永久磁石30の内径はハウ
ジング20の凹部20aに配置されるために、回転スリ
ーブ22及び第2の永久磁石29の外径よりも大きくな
っている。そのため、第2の永久磁石29を第1の永久
磁石28に押し付ける方向に反発力を作用させるため
に、磁極N、Sが図3に示すように配置されている。な
お、磁極のN、Sが全て逆であっても、同様な反発力が
作用する。
ジング20の凹部20aに配置されるために、回転スリ
ーブ22及び第2の永久磁石29の外径よりも大きくな
っている。そのため、第2の永久磁石29を第1の永久
磁石28に押し付ける方向に反発力を作用させるため
に、磁極N、Sが図3に示すように配置されている。な
お、磁極のN、Sが全て逆であっても、同様な反発力が
作用する。
【0012】また、回転スリーブ22の上端には蓋部3
1が設けられ、蓋部31と固定軸21の上端との間が空
気溜り32となっている。蓋部31の中心には、回転ス
リーブ22の固定軸21への嵌装を容易にするための空
気抜き孔が設けられ、この空気抜き孔には挿脱自在の封
止栓33が取り付けられている。
1が設けられ、蓋部31と固定軸21の上端との間が空
気溜り32となっている。蓋部31の中心には、回転ス
リーブ22の固定軸21への嵌装を容易にするための空
気抜き孔が設けられ、この空気抜き孔には挿脱自在の封
止栓33が取り付けられている。
【0013】更に、回転多面鏡13及び駆動モータ12
全体を覆い、レーザー光の入出射口のみを開口したカバ
ー34がハウジング20に固定され、回転多面鏡13の
風切り音などを防止するようになっており、固定軸21
の軸線方向におけるこのカバー34と封止栓33間の距
離Lcは、第2の永久磁石29と第3の永久磁石30の磁
気的中心間距離Lmよりも小さく設定されている。
全体を覆い、レーザー光の入出射口のみを開口したカバ
ー34がハウジング20に固定され、回転多面鏡13の
風切り音などを防止するようになっており、固定軸21
の軸線方向におけるこのカバー34と封止栓33間の距
離Lcは、第2の永久磁石29と第3の永久磁石30の磁
気的中心間距離Lmよりも小さく設定されている。
【0014】このように構成された走査光学装置は、装
置における回転側と固定側は回転時に完全に非接触状態
を保ち、スラスト方向は第1、第2、第3の永久磁石2
8、29、30の反発力と、空気溜り32のダンパ効果
とによって支持することができるために、スラスト剛性
が向上しスラスト方向の位置精度が高まる。また、スラ
スト負荷変動や外乱などによるスラスト方向の動きも、
これらにより規制されるために安定したものとなる。
置における回転側と固定側は回転時に完全に非接触状態
を保ち、スラスト方向は第1、第2、第3の永久磁石2
8、29、30の反発力と、空気溜り32のダンパ効果
とによって支持することができるために、スラスト剛性
が向上しスラスト方向の位置精度が高まる。また、スラ
スト負荷変動や外乱などによるスラスト方向の動きも、
これらにより規制されるために安定したものとなる。
【0015】更に、回転側に固定軸21から抜け出す方
向の力が作用した場合であっても、上述したようにLm>
Lcの関係に設定されているために、回転スリーブ22と
回転多面鏡13などから成る回転体に抜け出し方向の力
が作用して、第2の永久磁石29と第3の永久磁石30
の上下方向の位置関係が逆転する、即ち、第2の永久磁
石29が第3の永久磁石30の上に出る前に、封止栓3
3がカバー34に当接して規制されるため、回転体は抜
け出すことがない。
向の力が作用した場合であっても、上述したようにLm>
Lcの関係に設定されているために、回転スリーブ22と
回転多面鏡13などから成る回転体に抜け出し方向の力
が作用して、第2の永久磁石29と第3の永久磁石30
の上下方向の位置関係が逆転する、即ち、第2の永久磁
石29が第3の永久磁石30の上に出る前に、封止栓3
3がカバー34に当接して規制されるため、回転体は抜
け出すことがない。
【0016】仮に、回転体に抜け出し方向の力が作用し
たために、第2の永久磁石29と第3の永久磁石30と
の上下方向の位置関係が逆転したときには、第3の永久
磁石30は第2の永久磁石29に対して逆方向の力が作
用するようになり、第2の永久磁石が取り付けられた回
転体は上方向へ抜け出してしまい、元の位置関係に復元
できなくなるが、前記のようにLm>Lcの関係に設定され
ているため抜け出すことがなく、軸受に損傷などを与え
ない。
たために、第2の永久磁石29と第3の永久磁石30と
の上下方向の位置関係が逆転したときには、第3の永久
磁石30は第2の永久磁石29に対して逆方向の力が作
用するようになり、第2の永久磁石が取り付けられた回
転体は上方向へ抜け出してしまい、元の位置関係に復元
できなくなるが、前記のようにLm>Lcの関係に設定され
ているため抜け出すことがなく、軸受に損傷などを与え
ない。
【0017】また、固定軸21と回転スリーブ22がセ
ラミックで形成されているので、塵埃などが混入したと
きや、高速回転中に振動を受けて接触したときでも、か
じりなどが生ずる可能性が少ない。セラミックはその中
でも高強度窒化ケイ素( Si3 N4)が特に優れているた
めに、摩擦やかじりを生ずる可能性が更に少なくなる。
ラミックで形成されているので、塵埃などが混入したと
きや、高速回転中に振動を受けて接触したときでも、か
じりなどが生ずる可能性が少ない。セラミックはその中
でも高強度窒化ケイ素( Si3 N4)が特に優れているた
めに、摩擦やかじりを生ずる可能性が更に少なくなる。
【0018】図4は第2の実施例の構成図であり、カバ
ー34にはその下側に、回転スリーブ22の略回転中心
に向けた半球状の凸部35が設けられている。この凸部
35の下端と回転スリーブ22の封止栓33の上面との
距離Lpは、Lm>Lpに設定されている。
ー34にはその下側に、回転スリーブ22の略回転中心
に向けた半球状の凸部35が設けられている。この凸部
35の下端と回転スリーブ22の封止栓33の上面との
距離Lpは、Lm>Lpに設定されている。
【0019】従って、回転中に回転体に抜け出し方向の
力が作用して、回転スリーブ22が抜け出るようになっ
ても、凸部35に封止栓33が当接して動きを規制さ
れ、抜け出しが防止される。また、凸部35と封止栓3
3が接触したとき、ほぼ点接触となるため軸受などの損
傷は更に小さくなる。
力が作用して、回転スリーブ22が抜け出るようになっ
ても、凸部35に封止栓33が当接して動きを規制さ
れ、抜け出しが防止される。また、凸部35と封止栓3
3が接触したとき、ほぼ点接触となるため軸受などの損
傷は更に小さくなる。
【0020】図5は第3の実施例の構成図であり、カバ
ー部材34の回転スリーブ22の略回転中心上の位置
に、上下方向のねじ孔が設けられ、このねじ孔に下端が
半球状の凸面に形成され上下方向に移動可能にねじ36
が螺合されている。
ー部材34の回転スリーブ22の略回転中心上の位置
に、上下方向のねじ孔が設けられ、このねじ孔に下端が
半球状の凸面に形成され上下方向に移動可能にねじ36
が螺合されている。
【0021】この実施例においては、ねじ36を移動さ
せて、その下端と回転スリーブ22の上面との距離Ls
が、Lm>Lsとなるようにすることにより、先の実施例と
同様の効果を得ることができる。また、カバー34の高
さ方向の精度が悪くても、ねじ36により距離Lsを調整
することができるので、加工コストを安価にすることが
できる。
せて、その下端と回転スリーブ22の上面との距離Ls
が、Lm>Lsとなるようにすることにより、先の実施例と
同様の効果を得ることができる。また、カバー34の高
さ方向の精度が悪くても、ねじ36により距離Lsを調整
することができるので、加工コストを安価にすることが
できる。
【0022】なお、上述の各実施例では、高速回転に有
利とされるインナロータ型の走査光学装置を例に説明し
たが、アウタロータ型、面対向型のものであっても適用
することが可能である。また、回転多面鏡を覆うカバー
34として、回転体全体を覆う防音キャップを例に説明
したが、それ以外のカバー部材、例えば光学系全体を覆
うものであっても同様の効果が得られる。
利とされるインナロータ型の走査光学装置を例に説明し
たが、アウタロータ型、面対向型のものであっても適用
することが可能である。また、回転多面鏡を覆うカバー
34として、回転体全体を覆う防音キャップを例に説明
したが、それ以外のカバー部材、例えば光学系全体を覆
うものであっても同様の効果が得られる。
【0023】更に、軸受の上端の形態は上述の実施例に
限定されるものではなく、空気溜り32を設けない形態
のものであれば、回転体とカバー34との距離が最も接
近した部分間の距離を、距離Lmよりも小さく設定すれば
よい。
限定されるものではなく、空気溜り32を設けない形態
のものであれば、回転体とカバー34との距離が最も接
近した部分間の距離を、距離Lmよりも小さく設定すれば
よい。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る走査光
学装置は、回転スリーブに取り付けた第2の永久磁石を
固定軸に設けた第1の永久磁石に押し付ける方向に反発
力を付与するための第3の永久磁石が配置されているの
で、スラスト軸受剛性を向上させ、回転スリーブの高さ
位置精度を高めることができ、また第2の永久磁石と第
3の永久磁石との磁気的な中心間距離が、回転軸の軸線
方向における回転スリーブとカバー間の距離よりも大と
なっているので、回転スリーブが抜け出し方向に移動し
たとき、カバーにより回転スリーブの移動が規制され、
軸受に抜け出しによる損傷を与えることを防止できる。
学装置は、回転スリーブに取り付けた第2の永久磁石を
固定軸に設けた第1の永久磁石に押し付ける方向に反発
力を付与するための第3の永久磁石が配置されているの
で、スラスト軸受剛性を向上させ、回転スリーブの高さ
位置精度を高めることができ、また第2の永久磁石と第
3の永久磁石との磁気的な中心間距離が、回転軸の軸線
方向における回転スリーブとカバー間の距離よりも大と
なっているので、回転スリーブが抜け出し方向に移動し
たとき、カバーにより回転スリーブの移動が規制され、
軸受に抜け出しによる損傷を与えることを防止できる。
【図1】第1の実施例の構成図である。
【図2】要部構成図である。
【図3】永久磁石の配置図である。
【図4】第2の実施例の構成図である。
【図5】第3の実施例の構成図である。
【図6】従来例の構成図である。
10 フレーム 12 駆動モータ 13 回転多面鏡 21 固定軸 22 回転スリーブ 28 第1の永久磁石 29 第2の永久磁石 30 第3の永久磁石 31 蓋部 33 封止栓 34 カバー
Claims (6)
- 【請求項1】 回転軸と、該回転軸に対し相対的に回転
する回転スリーブと、該回転スリーブに固定して光束を
偏向走査させる回転多面鏡と、該回転多面鏡を覆うカバ
ー部材とを有する走査光学装置において、前記回転軸に
設けた第1の永久磁石と反発するような第2の永久磁石
を配置し、前記回転軸を固定した基台には、前記第2の
永久磁石を前記第1の永久磁石に押し付ける方向に反発
力を付与するための第3の永久磁石を配置し、前記第2
の永久磁石と第3の永久磁石との磁気的な中心間距離
が、前記回転軸の軸線方向における前記回転スリーブの
略回転中心位置の上端と前記カバー部材の対向位置間の
距離よりも大きくしたことを特徴とする走査光学装置。 - 【請求項2】 前記回転スリーブには前記回転軸上端と
の間に空気溜りを設けるための蓋部を付設した請求項1
に記載の走査光学装置。 - 【請求項3】 前記カバー部材には、前記回転スリーブ
の略回転中心に相当する位置に、前記回転スリーブに向
かって凸となるようなピボットを設けた請求項1に記載
の走査光学装置。 - 【請求項4】 前記カバー部材には、前記回転スリーブ
の略回転中心に相当する位置に、上下方向に移動可能な
距離調整手段を設けた請求項1に記載の走査光学装置。 - 【請求項5】 前記回転軸、回転スリーブをセラミック
材料とした請求項1に記載の走査光学装置。 - 【請求項6】 前記回転軸、回転スリーブを高強度窒化
ケイ素Si3 N4 とした請求項1に記載の走査光学装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22902894A JPH0876044A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 走査光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22902894A JPH0876044A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 走査光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0876044A true JPH0876044A (ja) | 1996-03-22 |
Family
ID=16885621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22902894A Pending JPH0876044A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 走査光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0876044A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100431415B1 (ko) * | 2002-08-08 | 2004-05-13 | 삼성전기주식회사 | 공기 동압 베어링이 적용된 레이저 스캔 모터 |
-
1994
- 1994-08-31 JP JP22902894A patent/JPH0876044A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100431415B1 (ko) * | 2002-08-08 | 2004-05-13 | 삼성전기주식회사 | 공기 동압 베어링이 적용된 레이저 스캔 모터 |
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