JPH087678Y2 - 基板の搬送装置 - Google Patents
基板の搬送装置Info
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- JPH087678Y2 JPH087678Y2 JP1991033381U JP3338191U JPH087678Y2 JP H087678 Y2 JPH087678 Y2 JP H087678Y2 JP 1991033381 U JP1991033381 U JP 1991033381U JP 3338191 U JP3338191 U JP 3338191U JP H087678 Y2 JPH087678 Y2 JP H087678Y2
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- guide rail
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- substrate
- guide
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 39
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
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- Reciprocating Conveyors (AREA)
- Stacking Of Articles And Auxiliary Devices (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、例えば電子部品の装
着、搬送工程等において、電子部品が半田付け実装され
た基板をマガジンに収納するのに好適な基板搬送装置に
関する。
着、搬送工程等において、電子部品が半田付け実装され
た基板をマガジンに収納するのに好適な基板搬送装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、電子部品が装着され、半田付け
が済んだ基板は、その最終工程でマガジンに収納され
る。その際基板をマガジンに押し込むプッシャーとし
て、従来は例えば図2のようなものが使われていた。図
2において、2は図2において左右方向にストローク動
作するシリンダであり、6a、6b、6cは、そのプラ
ンジャーの先端に設けられたプッシャーである。図2の
プッシャーが6aの状態は、コンベアー8からプッシャ
ーを離している状態、すなわちプッシャーがプッシング
テイクオフ状態であることを示す。また、プッシャーが
6bの状態は、基板12aをマガジンに収納するため
に、プッシャー6bで押し始める状態、つまりプッシャ
ーがプッシングテイクオン状態であることを示す。さら
に、プッシャーが6cの状態は、プッシャー6cが基板
12cをマガジン4へ収納した状態をあらわしている。
が済んだ基板は、その最終工程でマガジンに収納され
る。その際基板をマガジンに押し込むプッシャーとし
て、従来は例えば図2のようなものが使われていた。図
2において、2は図2において左右方向にストローク動
作するシリンダであり、6a、6b、6cは、そのプラ
ンジャーの先端に設けられたプッシャーである。図2の
プッシャーが6aの状態は、コンベアー8からプッシャ
ーを離している状態、すなわちプッシャーがプッシング
テイクオフ状態であることを示す。また、プッシャーが
6bの状態は、基板12aをマガジンに収納するため
に、プッシャー6bで押し始める状態、つまりプッシャ
ーがプッシングテイクオン状態であることを示す。さら
に、プッシャーが6cの状態は、プッシャー6cが基板
12cをマガジン4へ収納した状態をあらわしている。
【0003】このような一連の動作は、シリンダ2の往
復ストロークにより行なわれる。基板12aがプッシャ
ーの6a、6b、6cに至る一連の動作により、基板1
2cの収納動作が行われているとき、その次に収納する
基板12bが図2に示すSの位置で待機している。すな
わちプーリー10の位置からLだけ手前のところで止ま
り、その前の基板12aがマガジン4に収納されるのを
待つ。プッシャーにより、基板12aが12cで示すよ
うにマガジンラック4に収納された後、シリンダー2の
プランジャーが引き込むことによってプッシャーが6a
で示す位置に戻る。すると、そこに固定されたピン11
により、プッシャー6aがバネ7の弾力に抗して揺動
し、その先端がコンベアー8上からから上がる。その
後、コンベアー8がプーリー10により間欠駆動され、
基板12bをプッシャー30による搬送開始位置まで移
動させる。そして前と同じようにして、この基板12b
がマガジン4に収納される。
復ストロークにより行なわれる。基板12aがプッシャ
ーの6a、6b、6cに至る一連の動作により、基板1
2cの収納動作が行われているとき、その次に収納する
基板12bが図2に示すSの位置で待機している。すな
わちプーリー10の位置からLだけ手前のところで止ま
り、その前の基板12aがマガジン4に収納されるのを
待つ。プッシャーにより、基板12aが12cで示すよ
うにマガジンラック4に収納された後、シリンダー2の
プランジャーが引き込むことによってプッシャーが6a
で示す位置に戻る。すると、そこに固定されたピン11
により、プッシャー6aがバネ7の弾力に抗して揺動
し、その先端がコンベアー8上からから上がる。その
後、コンベアー8がプーリー10により間欠駆動され、
基板12bをプッシャー30による搬送開始位置まで移
動させる。そして前と同じようにして、この基板12b
がマガジン4に収納される。
【0004】図3は、従来のマガジン収納プッシャーの
他の例であるが、図2と実質的に同様の動作によって基
板を収納する。シリンダ2aはプッシャー16を上下方
向に動作させるもので、プッシャー16がコンベアーの
上に降下させた状態がプッシングテイクオンの状態であ
り、プッシャー16がコンベアーの上に上昇した状態が
プッシングテイクオフの状態である。これを繰り返すこ
とにより、基板18a、18bを順次マガジンラック4
に収納することは、前記の装置と同じである。
他の例であるが、図2と実質的に同様の動作によって基
板を収納する。シリンダ2aはプッシャー16を上下方
向に動作させるもので、プッシャー16がコンベアーの
上に降下させた状態がプッシングテイクオンの状態であ
り、プッシャー16がコンベアーの上に上昇した状態が
プッシングテイクオフの状態である。これを繰り返すこ
とにより、基板18a、18bを順次マガジンラック4
に収納することは、前記の装置と同じである。
【0005】
【考案が解決しようとする課題】図2に示された装置で
は、プッシャーは、それが図2において左方向に戻ると
きも、6bで示すように、その先端はコンベアー8の上
にあり、6aで示す位置に戻ることによってはじめてそ
の先端がコンベアー8から上に持ち上げられる。その間
次の基板12bは、図2においてSの位置で待機しなけ
ればならないため、全体としての搬送(収納)効率が悪
く、基板収納動作のサイクルタイムが長くなるという問
題がある。
は、プッシャーは、それが図2において左方向に戻ると
きも、6bで示すように、その先端はコンベアー8の上
にあり、6aで示す位置に戻ることによってはじめてそ
の先端がコンベアー8から上に持ち上げられる。その間
次の基板12bは、図2においてSの位置で待機しなけ
ればならないため、全体としての搬送(収納)効率が悪
く、基板収納動作のサイクルタイムが長くなるという問
題がある。
【0006】他方、図3の装置の場合は、プッシャー1
6を任意の位置で上下できるため、それをコンベアー8
の上から離した状態で戻すことができ、この間に次の基
板18bをプッシング動作の開始位置に搬送することが
できる。従って、図2の装置に比べて、基板を押し出す
サイクルタイムを短くすることができる。しかし、プッ
シャー16を往復させる駆動機構の他に、その上下の駆
動のためアクチュエータ(シリンダ)やそれを駆動する
ためのバルブなどを余分に設けなくてはならない。それ
だけ装置が複雑となり、装置の価格も高くなる。本考案
の目的は、これらの問題を解決し、基板を押し出すサイ
クルタイムの短い基板の搬送装置を簡素な構造で提供す
ることを目的とするものである。
6を任意の位置で上下できるため、それをコンベアー8
の上から離した状態で戻すことができ、この間に次の基
板18bをプッシング動作の開始位置に搬送することが
できる。従って、図2の装置に比べて、基板を押し出す
サイクルタイムを短くすることができる。しかし、プッ
シャー16を往復させる駆動機構の他に、その上下の駆
動のためアクチュエータ(シリンダ)やそれを駆動する
ためのバルブなどを余分に設けなくてはならない。それ
だけ装置が複雑となり、装置の価格も高くなる。本考案
の目的は、これらの問題を解決し、基板を押し出すサイ
クルタイムの短い基板の搬送装置を簡素な構造で提供す
ることを目的とするものである。
【0007】
【問題点を解決するための手段】前記問題点を解決する
ために、本考案では、コンベアー8上を搬送されてきた
基板20a、20bを、コンベアー8上から押し出す基
板の搬送装置において、コンベアー8と平行な方向に往
復駆動される上下動自在なプッシャー30と、該プッシ
ャー30と一定の位置関係で回転自在に軸支されたガイ
ドローラー33と、前記プッシャー30の全ストローク
に亙って同プッシャー30がコンベアー8上を走行する
ようガイドローラー33を案内する下段のガイドレール
31と、該下段のガイドレール31の上にあって、プッ
シャー30の全ストローク中の中間部分においてガイド
ローラー33を案内する上段のガイドレール32と、該
上段のガイドレール32の先端位置に基端が回転自在に
枢着され、先端が自重で下段のガイドレール31上に当
たって上段のガイドレール32の先端から下段のガイド
レール31にわたって下り勾配を形成するガイドバー3
4とを備えたことを特徴とする基板搬送装置を提供す
る。
ために、本考案では、コンベアー8上を搬送されてきた
基板20a、20bを、コンベアー8上から押し出す基
板の搬送装置において、コンベアー8と平行な方向に往
復駆動される上下動自在なプッシャー30と、該プッシ
ャー30と一定の位置関係で回転自在に軸支されたガイ
ドローラー33と、前記プッシャー30の全ストローク
に亙って同プッシャー30がコンベアー8上を走行する
ようガイドローラー33を案内する下段のガイドレール
31と、該下段のガイドレール31の上にあって、プッ
シャー30の全ストローク中の中間部分においてガイド
ローラー33を案内する上段のガイドレール32と、該
上段のガイドレール32の先端位置に基端が回転自在に
枢着され、先端が自重で下段のガイドレール31上に当
たって上段のガイドレール32の先端から下段のガイド
レール31にわたって下り勾配を形成するガイドバー3
4とを備えたことを特徴とする基板搬送装置を提供す
る。
【0008】
【作用】前記本考案による基板の搬送装置では、プッシ
ャー30が往復する際に、ガイドローラー33が上下の
ガイドレール32、31を走行することで、プッシャー
30が往復するときの高さを規制する。すなわち、ガイ
ドローラー33が下段のガイドレール31上を上段のガ
イドレール32のガイドバー34が設けられている先端
側に向けて進むと、プッシャー30はコンベアー8上を
進行する。そして、ガイドローラー33は上段のガイド
レール32の先端側を通過するとき、自重で先端が下段
のガイドレール31に当たっていたガイドバー34をそ
の重力に抗して押し上げ、上段のガイドレール32の先
端より先に出る。すると、ガイドバー34が再び重力で
落ち、その先端が下段のガイドレール31上に当たって
上段のガイドレール32から下段のガイドレール31に
わたる勾配が形成される。 このプッシャー30の前進動
作のとき、コンベアー8上に基板20a、20bが有れ
ば、その基板20a、20bをプッシャー30によって
コンベアー8から押し出すことができる。
ャー30が往復する際に、ガイドローラー33が上下の
ガイドレール32、31を走行することで、プッシャー
30が往復するときの高さを規制する。すなわち、ガイ
ドローラー33が下段のガイドレール31上を上段のガ
イドレール32のガイドバー34が設けられている先端
側に向けて進むと、プッシャー30はコンベアー8上を
進行する。そして、ガイドローラー33は上段のガイド
レール32の先端側を通過するとき、自重で先端が下段
のガイドレール31に当たっていたガイドバー34をそ
の重力に抗して押し上げ、上段のガイドレール32の先
端より先に出る。すると、ガイドバー34が再び重力で
落ち、その先端が下段のガイドレール31上に当たって
上段のガイドレール32から下段のガイドレール31に
わたる勾配が形成される。 このプッシャー30の前進動
作のとき、コンベアー8上に基板20a、20bが有れ
ば、その基板20a、20bをプッシャー30によって
コンベアー8から押し出すことができる。
【0009】次に、プッシャー30が元の位置の戻ると
き、前述のように、ガイドレバー34が元の位置に復帰
し、上段のガイドレール32から上段のガイドレール3
1にわたる下り勾配が形成されているので、ガイドロー
ラー33はこのガイドレバー34が形成する勾配の沿っ
て上り、上段のガイドレール32に乗る。さらに、ガイ
ドローラー33が上段のレール32上を走行しながら元
に戻るため、ガイドローラー33と一定の位置関係にあ
るプッシャー30はコンベアー8の上に離れた状態で戻
る。従って、プッシャー30はコンベアー8上の基板2
0a、20bを押し戻さない。そして、ガイドローラー
34が上段のガイドレール32のガイドバー34が設け
られていない端部で上段のガイドレール32から下段の
ガイドレール31に落ち、これによりプッシャー30が
再びコンベアー8上に載る。
き、前述のように、ガイドレバー34が元の位置に復帰
し、上段のガイドレール32から上段のガイドレール3
1にわたる下り勾配が形成されているので、ガイドロー
ラー33はこのガイドレバー34が形成する勾配の沿っ
て上り、上段のガイドレール32に乗る。さらに、ガイ
ドローラー33が上段のレール32上を走行しながら元
に戻るため、ガイドローラー33と一定の位置関係にあ
るプッシャー30はコンベアー8の上に離れた状態で戻
る。従って、プッシャー30はコンベアー8上の基板2
0a、20bを押し戻さない。そして、ガイドローラー
34が上段のガイドレール32のガイドバー34が設け
られていない端部で上段のガイドレール32から下段の
ガイドレール31に落ち、これによりプッシャー30が
再びコンベアー8上に載る。
【0010】
【実施例】次に、図面を参照しながら、本考案の実施例
を詳細に説明する。図1で示すように、マガジン4の直
前にプッシャー機構を設置する。すなわち、上下2本の
ガイドレール32、31を有するガイド部材19を固定
し、その上にモータMにより駆動されるタイミングプー
リ22、タイミングベルト24を取り付ける。タイミン
グベルト24にはスライドユニット26が固定され、こ
のスライドユニット26の下に、上下動自在にブロック
28が設けられ、スライドユニット26とブロック28
との間にバネ35が係装されている。このブロック26
には、ガイドローラが回転自在に軸支されている。さら
に、このブロック26の下部にプッシャー30が取り付
けられている。タイミングベルト24は、スライドユニ
ット26を所定のストロークでコンベアー8と平行に往
復させる。
を詳細に説明する。図1で示すように、マガジン4の直
前にプッシャー機構を設置する。すなわち、上下2本の
ガイドレール32、31を有するガイド部材19を固定
し、その上にモータMにより駆動されるタイミングプー
リ22、タイミングベルト24を取り付ける。タイミン
グベルト24にはスライドユニット26が固定され、こ
のスライドユニット26の下に、上下動自在にブロック
28が設けられ、スライドユニット26とブロック28
との間にバネ35が係装されている。このブロック26
には、ガイドローラが回転自在に軸支されている。さら
に、このブロック26の下部にプッシャー30が取り付
けられている。タイミングベルト24は、スライドユニ
ット26を所定のストロークでコンベアー8と平行に往
復させる。
【0011】ガイドローラー33は、前記ガイド部材1
9のガイドレール31、32に沿って走行する。下段の
ガイドレール31は、コンベアー8と平行に配置され、
前記タイミングベルト24によりガイドローラー33の
全ストロークをカバーする長さに形成されている。上段
のガイドレール32は、下段のガイドレール31の上に
それと平行に配置され、前記ガイドローラー33の全ス
トロークのうち、中間部分のみをカバーする長さに形成
されている。さらに、この上段のガイドレール32の図
1において右端には、ガイドバー34の一端が回転自在
に枢着されており、ガイドバー34の他端は、下段のガ
イドレール31上に当たっている。これにより、ガイド
レール31は、上段のガイドレール32の端部と下段の
ガイドレール31に亙る勾配が形成される。
9のガイドレール31、32に沿って走行する。下段の
ガイドレール31は、コンベアー8と平行に配置され、
前記タイミングベルト24によりガイドローラー33の
全ストロークをカバーする長さに形成されている。上段
のガイドレール32は、下段のガイドレール31の上に
それと平行に配置され、前記ガイドローラー33の全ス
トロークのうち、中間部分のみをカバーする長さに形成
されている。さらに、この上段のガイドレール32の図
1において右端には、ガイドバー34の一端が回転自在
に枢着されており、ガイドバー34の他端は、下段のガ
イドレール31上に当たっている。これにより、ガイド
レール31は、上段のガイドレール32の端部と下段の
ガイドレール31に亙る勾配が形成される。
【0012】図4に2本のガイドレール31、32上を
転がるガイドローラー33の動きが示されている。すな
わち、ガイドローラー33は、図3のE→A→B→C→
Dの順番で進み、そのガイドローラー33に直接的ある
いは間接的に連結されたプッシャー30を上下動させな
がら往復させる。ガイドローラー33が下のガイドレー
ル31を図4において右方向に進むとき、ガイドローラ
ー33がガイドバー34を押し上げて通過するが、ガイ
ドローラー33がそこを通過した後は、ガイドバー34
が戻り、上段のガイドレール32の端部と下段のガイド
レール31に亙る勾配が形成される。従って、ガイドロ
ーラー33が図4において左方向に戻るときは、ガイド
ローラー33がこのガイドバー34に案内されて、上側
のガイドレール32に乗り、その上を走行して戻る。
転がるガイドローラー33の動きが示されている。すな
わち、ガイドローラー33は、図3のE→A→B→C→
Dの順番で進み、そのガイドローラー33に直接的ある
いは間接的に連結されたプッシャー30を上下動させな
がら往復させる。ガイドローラー33が下のガイドレー
ル31を図4において右方向に進むとき、ガイドローラ
ー33がガイドバー34を押し上げて通過するが、ガイ
ドローラー33がそこを通過した後は、ガイドバー34
が戻り、上段のガイドレール32の端部と下段のガイド
レール31に亙る勾配が形成される。従って、ガイドロ
ーラー33が図4において左方向に戻るときは、ガイド
ローラー33がこのガイドバー34に案内されて、上側
のガイドレール32に乗り、その上を走行して戻る。
【0013】図5は図4におけるP−Q線の断面図によ
り、ガイド部材19におけるガイドレール21、32の
上下関係を示している。図6は図4におけるガイドバー
34の動きの拡大図であり、ガイドローラー33がCの
位置からDの位置に転がり移動するときのガイドバー3
4の動きを示している。次に、図1により搬送収納動作
について説明する。スライドユニット26は、原点xか
らスタート位置yの位置に一旦戻る。それによってガイ
ドローラー33が下段のガイドレール32に下がる。こ
の位置では、ブロック28に連結されたプッシャー30
が符号30aで示すようにコンベアー8の上にあり、同
コンベアー8の上の基板20aを押せる状態にある。す
なわち、プッシャー30は、プッシングテイクオン状態
となっている。
り、ガイド部材19におけるガイドレール21、32の
上下関係を示している。図6は図4におけるガイドバー
34の動きの拡大図であり、ガイドローラー33がCの
位置からDの位置に転がり移動するときのガイドバー3
4の動きを示している。次に、図1により搬送収納動作
について説明する。スライドユニット26は、原点xか
らスタート位置yの位置に一旦戻る。それによってガイ
ドローラー33が下段のガイドレール32に下がる。こ
の位置では、ブロック28に連結されたプッシャー30
が符号30aで示すようにコンベアー8の上にあり、同
コンベアー8の上の基板20aを押せる状態にある。す
なわち、プッシャー30は、プッシングテイクオン状態
となっている。
【0014】そして、この状態からモータMを回転さ
せ、タイミングベルト24をP1 の方向に走行させて、
スライドユニット26をスタート位置yからz方向に移
動させる。このとき、ガイドローラー33は、下段のガ
イドレール31上を移動するため、プッシャー30が3
0aの位置から30bで示す位置までコンベアー8上を
移動し、同コンベアー8上の基板20aを押し出す。こ
れにより、基板20を20aの位置から20bで示すよ
うに、マガジンラック4に挿入する。
せ、タイミングベルト24をP1 の方向に走行させて、
スライドユニット26をスタート位置yからz方向に移
動させる。このとき、ガイドローラー33は、下段のガ
イドレール31上を移動するため、プッシャー30が3
0aの位置から30bで示す位置までコンベアー8上を
移動し、同コンベアー8上の基板20aを押し出す。こ
れにより、基板20を20aの位置から20bで示すよ
うに、マガジンラック4に挿入する。
【0015】続いてスライドユニット26が前記z方向
と逆方向に戻るとき、前述したように、ガイドローラー
33がガイドバー34に案内されて上段のガイドレール
32に上がるので、プッシャーも30もコンベアー8の
上から離れ、その上を通って元の位置に戻る。すなわち
プッシャーはプッシングテイクオフ状態で戻る。この
間、次の基板20bをコンベアー8でプッシング開始位
置に進めることができる。
と逆方向に戻るとき、前述したように、ガイドローラー
33がガイドバー34に案内されて上段のガイドレール
32に上がるので、プッシャーも30もコンベアー8の
上から離れ、その上を通って元の位置に戻る。すなわち
プッシャーはプッシングテイクオフ状態で戻る。この
間、次の基板20bをコンベアー8でプッシング開始位
置に進めることができる。
【0016】このようにしてプッシャー30は、プッシ
ングオン動作とプッシングオフ動作とを繰り返し、基板
30を順次マガジンラック4に挿入する。マガジンラッ
ク4は、図示してない昇降機構により、基板20が1枚
ずつ挿入される度に、その棚1段分ずる上昇(または下
降)しながら、基板を棚に挿入していく。なお、図1に
おいて、20bは、次にマガジンラック4に収納する基
板がコンベアー8上でで待機している状態である。
ングオン動作とプッシングオフ動作とを繰り返し、基板
30を順次マガジンラック4に挿入する。マガジンラッ
ク4は、図示してない昇降機構により、基板20が1枚
ずつ挿入される度に、その棚1段分ずる上昇(または下
降)しながら、基板を棚に挿入していく。なお、図1に
おいて、20bは、次にマガジンラック4に収納する基
板がコンベアー8上でで待機している状態である。
【0017】この装置では、前述のようにプッシャーを
上げて戻り動作が行われるので、従来の搬送収納動作に
比較してプッシング動作のサイクルタイムを短くするこ
とができる。また、駆動機構としては、前記のようなタ
イミングベルトだけを備えればよいので、簡素な装置で
実現できる。
上げて戻り動作が行われるので、従来の搬送収納動作に
比較してプッシング動作のサイクルタイムを短くするこ
とができる。また、駆動機構としては、前記のようなタ
イミングベルトだけを備えればよいので、簡素な装置で
実現できる。
【0018】
【考案の効果】以上説明したように、本考案による搬送
装置によれば、プッシャーを往復させる駆動機構だけ
で、プッシャーの往復に合わせてプッシャーのストロー
クの両端位置でプッシャーを上下させることができるの
で、簡素な構成により、基板のプッシング動作のサイク
ルタイムを短くすることができる。
装置によれば、プッシャーを往復させる駆動機構だけ
で、プッシャーの往復に合わせてプッシャーのストロー
クの両端位置でプッシャーを上下させることができるの
で、簡素な構成により、基板のプッシング動作のサイク
ルタイムを短くすることができる。
【図1】本考案の実施例を示す基板収納搬送装置の概略
側面図である。
側面図である。
【図2】従来例を示す基板収納搬送装置の概略側面図で
ある。
ある。
【図3】他の従来例を示す基板収納搬送装置の概略側面
図である。
図である。
【図4】ガイドローラーの動きを説明するガイド部材付
近の側面図である。
近の側面図である。
【図5】図4におけるP−Q線断面図である。
【図6】ガイド部材のガイドバーの動きを説明するガイ
ド部材の要部拡大側面図である。
ド部材の要部拡大側面図である。
【符号の説明】8 コンベアー 20a、20b 基板 30 プッシャー 33 ガイドローラー 31 下段のガイドレール 32 上段のガイドレール 34 ガイドバー
Claims (1)
- 【請求項1】 コンベアー(8)上を搬送されてきた基
板(20a)、(20b)を、コンベアー(8)上から
押し出す基板の搬送装置において、コンベアー(8)と
平行な方向に往復駆動される上下動自在なプッシャー
(30)と、該プッシャー(30)と一定の位置関係で
回転自在に軸支されたガイドローラー(33)と、前記
プッシャー(30)の全ストロークに亙って同プッシャ
ー(30)がコンベアー(8)上を走行するようガイド
ローラー(33)を案内する下段のガイドレール(3
1)と、該下段のガイドレール(31)の上にあって、
プッシャー(30)の全ストローク中の中間部分におい
てガイドローラー(33)を案内する上段のガイドレー
ル(32)と、該上段のガイドレール(32)の先端位
置に基端が回転自在に枢着され、先端が自重で下段のガ
イドレール(31)上に当たって上段のガイドレール
(32)の先端から下段のガイドレール(31)にわた
って下り勾配を形成するガイドバー(34)とを備えた
ことを特徴とする基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991033381U JPH087678Y2 (ja) | 1991-04-13 | 1991-04-13 | 基板の搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991033381U JPH087678Y2 (ja) | 1991-04-13 | 1991-04-13 | 基板の搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04120300U JPH04120300U (ja) | 1992-10-27 |
| JPH087678Y2 true JPH087678Y2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=31916064
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991033381U Expired - Lifetime JPH087678Y2 (ja) | 1991-04-13 | 1991-04-13 | 基板の搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH087678Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55151716U (ja) * | 1979-04-16 | 1980-11-01 | ||
| JPH0280625U (ja) * | 1988-12-10 | 1990-06-21 |
-
1991
- 1991-04-13 JP JP1991033381U patent/JPH087678Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04120300U (ja) | 1992-10-27 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960917 |