JPH0877509A - Magnetic head - Google Patents

Magnetic head

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Publication number
JPH0877509A
JPH0877509A JP21012194A JP21012194A JPH0877509A JP H0877509 A JPH0877509 A JP H0877509A JP 21012194 A JP21012194 A JP 21012194A JP 21012194 A JP21012194 A JP 21012194A JP H0877509 A JPH0877509 A JP H0877509A
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JP
Japan
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magnetic
recording medium
magnetic head
gap
head
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Application number
JP21012194A
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Japanese (ja)
Inventor
Tatsuo Hisamura
達雄 久村
Isao Kogure
伊左夫 木暮
Takashi Shibata
隆司 柴田
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気記録媒体摺動面の微小凹凸を更に小さく
して平滑面に極力近づけることにより、磁気記録媒体を
傷付けたり磁性粉の脱落を生じることが少なく、磁気記
録媒体と良好に接触することができる磁気ヘッドを提供
する。 【構成】 磁気記録媒体と摺動する強磁性酸化物12の
磁気記録媒体摺動面Raにおける中心線平均面粗度RA
を2nm以下とする。
(57) [Abstract] [Purpose] A magnetic recording medium is less likely to be scratched or drop out of the magnetic powder by further reducing the minute irregularities on the sliding surface of the magnetic recording medium and making them as close as possible to a smooth surface. To provide a magnetic head that can make good contact with. [Structure] Centerline average surface roughness RA of a magnetic recording medium sliding surface Ra of a ferromagnetic oxide 12 sliding on a magnetic recording medium
Is 2 nm or less.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ビデオテープレコーダ
(以下「VTR」という。)等の磁気記録再生装置に組
み込まれる磁気ヘッドに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head incorporated in a magnetic recording / reproducing apparatus such as a video tape recorder (hereinafter referred to as "VTR").

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、一般に、VTR等の磁気記録再生
装置においては、高画質化等を目的として情報信号の短
波長化が進められており、これに対応して優れた磁気特
性を有する磁性フェライトからなるフェライトヘッド、
及び強磁性酸化材料を主コアとし、強磁性金属材料を磁
気ギャップ近傍部に配したメタル・イン・ギャップヘッ
ド(いわゆるMIGヘッド)が使用されるようになって
きた。
2. Description of the Related Art Conventionally, in a magnetic recording / reproducing apparatus such as a VTR, the wavelength of an information signal has been shortened for the purpose of improving the image quality. Ferrite head made of ferrite,
Further, a metal-in-gap head (so-called MIG head) in which a ferromagnetic oxide material is used as a main core and a ferromagnetic metal material is arranged in the vicinity of a magnetic gap has come into use.

【0003】例えば、上記MIGヘッドは、図20に示
すように、フロントギャップFG及びバックギャップB
Gを境として左右別々に形成された一対の磁気コア半体
1,1がギャップ部をあけて突き合わされて接合一体化
されたものである。これら磁気コア半体1,1は酸化物
磁性材料2,2と強磁性金属膜3,3とによって構成さ
れており、磁気コア半体1,1の対向面に設けた強磁性
金属膜3,3の突き合わせ面間にフロントギャップFG
及びバックギャップBGが形成されている。尚、磁気コ
ア半体1,1の突き合わせ面には、フロントギャップF
G及びバックギャップBGのトラック幅を規制するため
のトラック幅規制溝4,4が設けられている。
For example, the MIG head has a front gap FG and a back gap B as shown in FIG.
A pair of magnetic core halves 1 and 1 which are separately formed on the left and right with G as a boundary are abutted and integrated with each other with a gap. The magnetic core halves 1 and 1 are composed of oxide magnetic materials 2 and 2 and ferromagnetic metal films 3 and 3, and the ferromagnetic metal films 3 and 3 provided on the opposing surfaces of the magnetic core halves 1 and 1. Front gap FG between the 3 butting surfaces
And a back gap BG is formed. The front gap F is formed on the abutting surface of the magnetic core halves 1, 1.
Track width regulating grooves 4 and 4 for regulating the track widths of G and the back gap BG are provided.

【0004】更に、トラック幅規制溝4,4には融着ガ
ラス5が溶融充填されており、この融着ガラス5で磁気
コア半体1,1を接合している。また、磁気コア半体
1,1の突き合わせ面側にはコイル巻装用の巻線溝6,
6を設けており、両巻線溝6,6を合せることによって
コイル挿通孔7が形成されている。このコイル挿通孔7
には図示しないコイルが挿通され、これにより、各磁気
コア半体1,1にコイルがそれぞれ巻装される。
Further, a fused glass 5 is melt-filled in the track width regulating grooves 4, 4 and the magnetic core halves 1, 1 are joined by the fused glass 5. Further, the winding groove 6 for coil winding is formed on the abutting surface side of the magnetic core halves 1, 1.
6 is provided, and the coil insertion hole 7 is formed by aligning both winding grooves 6, 6. This coil insertion hole 7
A coil (not shown) is inserted through the coil, so that the coil is wound around each of the magnetic core halves 1, 1.

【0005】ところで、上記のような構成を有する磁気
ヘッドは、通常、円筒型の回転ドラムに装着されて使用
され、この回転ドラムの周囲を取り巻くように走行する
磁気記録媒体(磁気テープ)と接触することにより信号
の記録・再生を行うことができる。従って、この時の接
触状態を良好とするために、図20に示すように、磁気
ヘッドの磁気記録媒体摺動面にはx方向及びy方向に対
して曲率が与えられている。
By the way, the magnetic head having the above-mentioned structure is usually used by being mounted on a cylindrical rotary drum, and comes into contact with a magnetic recording medium (magnetic tape) running so as to surround the rotary drum. By doing so, it is possible to record / reproduce signals. Therefore, in order to improve the contact state at this time, as shown in FIG. 20, the magnetic recording medium sliding surface of the magnetic head is given a curvature in the x direction and the y direction.

【0006】この磁気ヘッドの磁気記録媒体摺動面の曲
率は、通常、研磨加工によって形成される。まず、円筒
研磨加工によってx方向に粗く曲面を形成し、その後、
精密研磨テープを用いてx方向及びy方向の両方向に適
度な曲面を形成することにより上記曲率が与えられる。
尚、上記精密研磨テープによる研磨では、加工費や作業
性等を考慮すると共に円筒研磨により生じた傷を取り除
く必要性から、一般的には、6000〜8000メッシ
ュ程度の砥粒を含んだ仕上げ用精密研磨テープが用いら
れている。
The curvature of the sliding surface of the magnetic recording medium of this magnetic head is usually formed by polishing. First, a rough curved surface is formed in the x direction by cylindrical polishing, and then
The curvature is given by forming a suitable curved surface in both the x-direction and the y-direction using a precision polishing tape.
In the polishing with the above-mentioned precision polishing tape, it is necessary to consider the processing cost and workability and to remove the scratches caused by the cylindrical polishing. Therefore, in general, for finishing containing abrasive grains of about 6000 to 8000 mesh. Precision polishing tape is used.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】このようにして研磨加
工された従来の磁気ヘッドの磁気記録媒体摺動面におけ
る強磁性酸化物の表面粗さは、図21に示すようなもの
であった。この図21は、表面粗さ測定器(WYKO)
によって上記磁気ヘッドの磁気記録媒体摺動面の強磁性
酸化物の表面を測定したものであり、x方向が磁気記録
媒体の摺動方向、y方向がトラック幅方向を表してい
る。
The surface roughness of the ferromagnetic oxide on the sliding surface of the magnetic recording medium of the conventional magnetic head thus polished was as shown in FIG. This FIG. 21 is a surface roughness measuring device (WYKO).
Is a measurement of the surface of the ferromagnetic oxide on the sliding surface of the magnetic recording medium of the magnetic head, where the x direction represents the sliding direction of the magnetic recording medium and the y direction represents the track width direction.

【0008】この従来の磁気ヘッドでは、強磁性酸化物
の表面は30ナノメートル(nm)程度の凹凸を生じて
おり、中心線平均面粗度(RA)は2.78nm、平均
二乗粗さ(RMS)は3.59nmであり、最高位と最
低位との高低差(P−V)は33.1nmとなってい
る。一般に、上記のような研磨処理を施された磁気ヘッ
ドにおいては、磁気記録媒体摺動面における強磁性酸化
物の表面の中心線平均面粗度は2〜10nmとなってい
る。
In this conventional magnetic head, the surface of the ferromagnetic oxide has irregularities of about 30 nanometers (nm), the center line average surface roughness (RA) is 2.78 nm, and the mean square roughness ( RMS) is 3.59 nm, and the height difference (P-V) between the highest position and the lowest position is 33.1 nm. Generally, in the magnetic head that has been subjected to the above-described polishing treatment, the center line average surface roughness of the surface of the ferromagnetic oxide on the sliding surface of the magnetic recording medium is 2 to 10 nm.

【0009】この磁気ヘッドの磁気記録媒体摺動面の微
小凹凸は磁気記録媒体を傷付け、磁性粉の脱落を生じ、
そして脱落した磁性粉の磁気ヘッドへの付着及びそれに
よる磁気ヘッドと磁気記録媒体との接触不良(これによ
る信号出力の低下をヘッドクロッグと呼ぶ)を招く原因
となる。
The fine irregularities on the sliding surface of the magnetic recording medium of this magnetic head damage the magnetic recording medium and cause the magnetic powder to fall off.
This causes the magnetic powder that has fallen off to adhere to the magnetic head and the resulting contact failure between the magnetic head and the magnetic recording medium (the reduction in signal output due to this is called head clog).

【0010】本発明は、このような従来の課題に鑑みて
なされたものであり、磁気記録媒体摺動面の微小凹凸を
更に小さくして平滑面に極力近づけることにより、上記
課題を解決することができる磁気ヘッドを提供すること
を目的としている。
The present invention has been made in view of the above conventional problems, and solves the above problems by further reducing the minute irregularities on the sliding surface of the magnetic recording medium to make it as close as possible to a smooth surface. It is an object of the present invention to provide a magnetic head capable of performing the above.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、上述したよう
な課題等を解決し、上記目的を達成するために、例え
ば、図1〜図8に示すように、強磁性酸化物12からな
る磁気コア半体11を突き合わせるように接合して一体
化し、この突き合わせ面間に磁気ギャップFG,BGを
形成してなる磁気ヘッドにおいて、磁気記録媒体と摺動
する強磁性酸化物12の磁気記録媒体摺動面Raにおけ
る中心線平均面粗度RAを2nm以下としたことを特徴
としている。
In order to solve the above-mentioned problems and the like and to achieve the above-mentioned objects, the present invention comprises, for example, a ferromagnetic oxide 12 as shown in FIGS. Magnetic recording of a ferromagnetic oxide 12 sliding on a magnetic recording medium in a magnetic head formed by joining and integrating magnetic core halves 11 so as to abut each other and forming magnetic gaps FG and BG between the abutting surfaces. The center line average surface roughness RA of the medium sliding surface Ra is set to 2 nm or less.

【0012】また、本発明は、例えば、図9〜図18に
示すように、強磁性酸化物32と少なくともギャップ形
成面41に配された強磁性金属膜33からなる磁気コア
半体31が、強磁性金属膜33,33同士を突き合わせ
るように接合して一体化し、この突き合わせ面間に磁気
ギャップFG,BGを形成してなる磁気ヘッドにおい
て、磁気記録媒体と摺動する強磁性酸化物32の磁気記
録媒体摺動面Ra,Ra1における中心線平均面粗度RA
を2nm以下としたことを特徴としている。
Further, according to the present invention, for example, as shown in FIGS. 9 to 18, a magnetic core half body 31 composed of a ferromagnetic oxide 32 and a ferromagnetic metal film 33 disposed on at least the gap forming surface 41 is formed. In a magnetic head having ferromagnetic metal films 33, 33 joined so as to abut against each other and integrated, and magnetic gaps FG, BG are formed between the abutting faces, a ferromagnetic oxide 32 that slides on a magnetic recording medium. Center line average surface roughness RA on the sliding surfaces Ra and Ra1 of the magnetic recording medium
Is 2 nm or less.

【0013】[0013]

【作用】本発明は、上述のように構成したことにより、
磁気ヘッドH1,H2の強磁性酸化物12,32の磁気
記録媒体摺動面Ra,Ra1における中心線平均面粗度R
Aを2nm以下としたため、摺動による磁気記録媒体の
損傷を軽減し、磁気ヘッドH1,H2の磁気記録媒体摺
動面Ra,Ra1に付着する磁性粉等の異物を減少させ、
ヘッドクロッグ状態に陥るまでの時間を延長することが
できる。
The present invention has the above-mentioned configuration,
Center line average surface roughness R on the magnetic recording medium sliding surfaces Ra and Ra1 of the ferromagnetic oxides 12 and 32 of the magnetic heads H1 and H2.
Since A is set to 2 nm or less, damage to the magnetic recording medium due to sliding is reduced, and foreign matter such as magnetic powder attached to the magnetic recording medium sliding surfaces Ra and Ra1 of the magnetic heads H1 and H2 is reduced.
The time to fall into the head clog state can be extended.

【0014】[0014]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図1〜図9は本発明の第1実施例及びこれに関連
する図、図10〜図17は本発明の第2実施例及びこれ
に関連する図を示し、更に、図18及び図19は本発明
の第3及び第4実施例を示す図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 to 9 show the first embodiment of the present invention and the drawings related thereto, FIGS. 10 to 17 show the second embodiment of the present invention and the drawings related thereto, and FIGS. It is a figure which shows the 3rd and 4th Example of this invention.

【0015】第1実施例は磁気コア半体が磁性フェライ
トにより構成されている磁気ヘッドに適用したものであ
り、図1は第1実施例に係る磁気ヘッドH1の全体構成
図、図2〜図5はその磁気ヘッドH1の製造方法を説明
するための図であり、図6〜図9はその磁気ヘッドH1
の特性等を説明するための図である。
The first embodiment is applied to a magnetic head whose magnetic core half body is composed of magnetic ferrite, and FIG. 1 is an overall configuration diagram of a magnetic head H1 according to the first embodiment, FIGS. 5 is a diagram for explaining a method of manufacturing the magnetic head H1, and FIGS. 6 to 9 show the magnetic head H1.
FIG. 4 is a diagram for explaining characteristics and the like of FIG.

【0016】第1実施例に示す磁気ヘッドH1は、図1
に示すように、フロントギャップFG及びバックギャッ
プBGを境として形成された一対の磁気コア半体11,
11がギャップ部をあけて突き合わされて接合一体化さ
れたもので、磁気コア半体11,11は磁性フェライト
12,12によって構成されている。この磁気コア半体
11,11の対向面にはフロントギャップFG及びバッ
クギャップBGのトラック幅を規制するためのトラック
幅規制溝14,14及びコイル巻装用の巻線溝16,1
6がそれぞれ設けられている。そして、トラック幅規制
溝14,14には融着ガラス15,15が溶融充填され
ており、この融着ガラス15,15によって一対の磁気
コア半体11,11が接合されている。また、磁気コア
半体11,11の巻線溝16,16を合せることによっ
て形成されたコイル挿通孔17には図示しないコイルが
挿通され、これにより、各磁気コア半体11,11の突
き合わせ面側にコイルがそれぞれ巻装される。
The magnetic head H1 shown in the first embodiment is shown in FIG.
, The pair of magnetic core halves 11, which are formed with the front gap FG and the back gap BG as boundaries,
The magnetic core halves 11 and 11 are made of magnetic ferrites 12 and 12 and are joined together by abutting with a gap. On the facing surfaces of the magnetic core halves 11, 11, there are track width regulating grooves 14, 14 for regulating the track widths of the front gap FG and the back gap BG, and winding grooves 16, 1 for coil winding.
6 are provided respectively. The track width regulating grooves 14, 14 are melt-filled with fused glass 15, 15, and the pair of magnetic core halves 11, 11 are joined by the fused glass 15, 15. Further, a coil (not shown) is inserted into the coil insertion hole 17 formed by aligning the winding grooves 16, 16 of the magnetic core halves 11, 11, whereby the abutting surfaces of the magnetic core halves 11, 11 are joined together. A coil is wound around each side.

【0017】このような構成を有する磁気ヘッドH1
は、例えば、次のような製造方法に従って製造すること
ができる。まず、図2に示すように、磁気コア半体11
を形成すべく、磁性フェライト基板20の磁気ギャップ
形成面21にガラスを充填して磁気ギャップの幅を規制
する断面略V字状のトラック幅規制溝14を所定の間隔
を保持して複数形成する。そして、図3に示すように、
上記磁性フェライト基板20のトラック幅規制溝14内
に融着ガラス15を流し込む。
The magnetic head H1 having such a structure
Can be manufactured, for example, according to the following manufacturing method. First, as shown in FIG.
In order to form, the magnetic gap forming surface 21 of the magnetic ferrite substrate 20 is filled with glass to form a plurality of track width regulating grooves 14 having a substantially V-shaped cross section for regulating the width of the magnetic gap with a predetermined interval. . Then, as shown in FIG.
The fused glass 15 is poured into the track width regulating groove 14 of the magnetic ferrite substrate 20.

【0018】次に、図4に示すように、コイルを巻装す
るための巻線溝16をトラック幅規制溝14と直交する
ように形成して、磁気コア半体ブロック18を形成す
る。尚、巻線溝16はフロントギャップのデプスを決定
するものであり、一方の側面16aは傾斜面として、そ
の解放端がフロントギャップのデプス零の位置となるよ
うに形成される。その後、磁気コア半体ブロック18の
磁気ギャップ形成面21に平滑研磨加工を行い、スパッ
タリング法等の真空薄膜形成法によって図示しないギャ
ップスペーサーを形成する。
Next, as shown in FIG. 4, a winding groove 16 for winding the coil is formed so as to be orthogonal to the track width regulating groove 14 to form a magnetic core half block 18. The winding groove 16 determines the depth of the front gap, and one side surface 16a is formed as an inclined surface such that its open end is at the zero depth position of the front gap. Then, the magnetic gap forming surface 21 of the magnetic core half block 18 is subjected to smooth polishing, and a gap spacer (not shown) is formed by a vacuum thin film forming method such as a sputtering method.

【0019】次いで、図5に示すように、上記一対の磁
気コア半体ブロック18,18の接合を行う。この際、
両ブロック18,18の磁気ギャップ形成面21,21
を相対向させてトラック幅規制溝14,14の位置合わ
せを行い、突き合わせ方向の加圧を行いながら窒素雰囲
気中で450〜650℃の温度範囲で加熱して、両ブロ
ック18,18の融着ガラス15,15を融着させるこ
とによって接合する。これにより、一対の磁気コア半体
ブロック18,18が接合されて一体化されると共に、
その突き合わせ面間には再生ギャップとして機能するフ
ロントギャップFG及び、図示しないバックギャップが
形成される。
Next, as shown in FIG. 5, the pair of magnetic core half blocks 18, 18 are joined. On this occasion,
Magnetic gap forming surfaces 21 and 21 of both blocks 18 and 18
Are aligned to face each other, and the track width regulating grooves 14 and 14 are aligned, and heating is performed in a temperature range of 450 to 650 ° C. in a nitrogen atmosphere while applying pressure in the butting direction to fuse the blocks 18 and 18 together. The glasses 15 and 15 are joined by fusing. As a result, the pair of magnetic core half blocks 18, 18 are joined and integrated, and
A front gap FG that functions as a reproducing gap and a back gap (not shown) are formed between the abutting surfaces.

【0020】その後、一対の磁気コア半体ブロック1
8,18の接合物のフロントギャップ側に円筒研磨加工
を施し、図5において斜線で示す部分を取り除くと共
に、所定の曲率を有する曲面を形成する。そして、同図
においてA−A線及びB−B線で示す切断線に沿って磁
気コア半体ブロック18,18を切断することにより、
磁気ヘッドH1が形成される。
After that, the pair of magnetic core half blocks 1
Cylindrical polishing is performed on the front gap side of the joints 8 and 18 to remove the hatched portion in FIG. 5 and form a curved surface having a predetermined curvature. Then, by cutting the magnetic core half blocks 18, 18 along the cutting lines indicated by the lines AA and BB in FIG.
The magnetic head H1 is formed.

【0021】このようにして作製された磁気ヘッドH1
は、フロントギャップ部分を突き出すようにして磁気ヘ
ッドベース22に貼り付けられた後、図6に示すよう
に、回転ドラム24と固定ドラム25により構成された
円筒型の磁気ヘッドラッピング装置23の回転ドラム2
4に装着される。この回転ドラム24が精密研磨テープ
26に接触して高速回転することで磁気ヘッドH1の磁
気記録媒体摺動部分が研磨され、これにより、所定の曲
率を有し且つ磁性フェライト部分の中心線平均面粗度が
2nm以下の磁気ヘッドH1が完成する。
The magnetic head H1 manufactured in this way
Is attached to the magnetic head base 22 so as to project the front gap portion, and then, as shown in FIG. 6, the rotary drum of the cylindrical magnetic head wrapping device 23 composed of the rotary drum 24 and the fixed drum 25. Two
It is attached to 4. The rotary drum 24 comes into contact with the precision polishing tape 26 and rotates at a high speed to polish the sliding portion of the magnetic recording medium of the magnetic head H1, which has a predetermined curvature and the center line average surface of the magnetic ferrite portion. The magnetic head H1 having a roughness of 2 nm or less is completed.

【0022】このようにして完成した磁気ヘッドH1の
効果を確認すべく、次のような実験を行った。即ち、図
2〜図5に示したプロセスにより作製した磁気ヘッドH
1を40個用意し、これらを10個づつ4つのグループ
に分けて、図6に示す最終面仕上げ時に、各グループ毎
に粒度の異なる精密研磨テープによるラッピング処理を
施した。そして、これらの磁気ヘッドH1に対して、図
7に示す斜線部分の中心線平均面粗度Raを上記表面粗
さ測定器WYKOにより測定した。その後、磁気ヘッド
H1をカムコーダーに装着し、温度40℃、湿度40%
の環境下で磁気テープ(P6−120HMPテープ)を
走行させ、ヘッドクロッグ状態に陥るまでの時間を測定
し、各グループ毎にワイブル評価による平均寿命を算出
した。
The following experiment was conducted to confirm the effect of the magnetic head H1 thus completed. That is, the magnetic head H manufactured by the process shown in FIGS.
Forty pieces of No. 1 were prepared, and these were divided into four groups of 10 pieces, respectively, and at the time of final surface finishing shown in FIG. Then, with respect to these magnetic heads H1, the center line average surface roughness Ra of the shaded portion shown in FIG. 7 was measured by the surface roughness measuring instrument WYKO. After that, the magnetic head H1 was attached to the camcorder, and the temperature was 40 ° C and the humidity was 40%.
The magnetic tape (P6-120HMP tape) was run under the above environment, and the time until falling into the head clog state was measured, and the average life by Weibull evaluation was calculated for each group.

【0023】このようにして求められた中心線平均面粗
度と平均寿命との関係を図8に示した。この図8によれ
ば、磁気ヘッドH1の磁気記録媒体摺動部分における磁
性フェライト面の中心線平均面粗度が2nm以下になる
と、平均寿命が大きく延びることがわかる。
The relationship between the centerline average surface roughness and the average life thus obtained is shown in FIG. It can be seen from FIG. 8 that the average life is greatly extended when the center line average surface roughness of the magnetic ferrite surface in the sliding portion of the magnetic recording medium of the magnetic head H1 is 2 nm or less.

【0024】図9は、磁気ヘッドH1の磁気記録媒体摺
動面Raを20000メッシュ程度の砥粒を含んだ仕上
げ用精密研磨テープを用いて研磨したものである。これ
によれば、強磁性酸化物の中心線平均面粗度(RA)は
1.68nm、平均二乗粗さ(RMS)は2.38nm
であり、凹凸の最高位と最低位との高低差(P−V)は
4.56nmであった。従って、図21に示した従来の
磁気ヘッドの摺動面と比較して、この磁気記録媒体摺動
面の凹凸が格段に小さくなっていることが明らかになっ
た。
FIG. 9 shows that the sliding surface Ra of the magnetic recording medium of the magnetic head H1 is polished using a precision polishing tape for finishing containing abrasive particles of about 20000 mesh. According to this, the center line average surface roughness (RA) of the ferromagnetic oxide is 1.68 nm, and the root mean square roughness (RMS) is 2.38 nm.
The height difference (P-V) between the highest level and the lowest level of the unevenness was 4.56 nm. Therefore, it was revealed that the unevenness on the sliding surface of the magnetic recording medium was significantly smaller than that on the sliding surface of the conventional magnetic head shown in FIG.

【0025】尚、本実施例においては、一対の磁気コア
半体ブロック18,18の両方に巻線溝16,16が設
けられた例を示したが、巻線溝16はどちらか一方の磁
気コア半体ブロック18に設けられればよい。
In this embodiment, the winding grooves 16 and 16 are provided in both of the pair of magnetic core half blocks 18 and 18, but the winding groove 16 may be used in either one of the magnetic core blocks. It may be provided in the core half block 18.

【0026】次に、本発明の第2実施例について説明す
る。この第2実施例は磁気コア半体が磁性フェライトと
ギャップ形成面に配された強磁性金属膜とによって構成
されている磁気ヘッドに適用したものであり、図10は
第2実施例に係る磁気ヘッドH2の全体構成図、図11
〜図14はその磁気ヘッドH2の製造方法を説明するた
めの図であり、図15〜図17はその磁気ヘッドH2の
特性を説明するための図である。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. This second embodiment is applied to a magnetic head in which the magnetic core half body is composed of a magnetic ferrite and a ferromagnetic metal film arranged on the gap forming surface, and FIG. 10 shows a magnetic head according to the second embodiment. Head H2 overall configuration diagram, FIG.
14 to 14 are diagrams for explaining the method of manufacturing the magnetic head H2, and FIGS. 15 to 17 are diagrams for explaining the characteristics of the magnetic head H2.

【0027】第2実施例に示す磁気ヘッドH2は、図1
0に示すように、フロントギャップFG及びバックギャ
ップBGを境として形成された一対の磁気コア半体3
1,31がギャップ部をあけて突き合わされて接合一体
化されたもので、磁気コア半体31,31は磁性フェラ
イト32と強磁性金属膜33とによって構成されてい
る。そして、一対の磁気コア半体31,31の対向面に
は強磁性金属膜33が配されるように構成されている。
更に、一対の磁気コア半体31,31の対向面にはフロ
ントギャップFG及びバックギャップBGのトラック幅
を規制するためのトラック幅規制溝34,34及びコイ
ル巻装用の巻線溝36,36がそれぞれ設けられてい
る。
The magnetic head H2 shown in the second embodiment is shown in FIG.
As shown in 0, the pair of magnetic core halves 3 formed with the front gap FG and the back gap BG as boundaries.
The magnetic core halves 31 and 31 are composed of a magnetic ferrite 32 and a ferromagnetic metal film 33. The ferromagnetic metal film 33 is arranged on the facing surfaces of the pair of magnetic core halves 31, 31.
Further, track width regulating grooves 34, 34 for regulating the track widths of the front gap FG and the back gap BG, and winding grooves 36, 36 for coil winding are provided on the opposing surfaces of the pair of magnetic core halves 31, 31. Each is provided.

【0028】そして、トラック幅規制溝34,34には
強磁性金属膜33を介して融着ガラス35,35が溶融
充填されており、これら強磁性金属膜33及び融着ガラ
ス35を介して一対の磁気コア半体31,31が接合さ
れている。更に、磁気コア半体31,31の巻線溝3
6,36を合せることによって形成されたコイル挿通孔
37には図示しないコイルが挿通され、これにより、各
磁気コア半体31,31の突き合わせ面側にコイルがそ
れぞれ巻装される。
The track width regulating grooves 34, 34 are melt-filled with the fused glass 35, 35 via the ferromagnetic metal film 33, and the pair of fused glass 35 and the fused glass 35 are interposed therebetween. The magnetic core halves 31, 31 are joined together. Furthermore, the winding groove 3 of the magnetic core halves 31, 31
A coil (not shown) is inserted through the coil insertion hole 37 formed by combining the six and 36, whereby the coils are wound around the abutting surfaces of the magnetic core halves 31, 31, respectively.

【0029】また、上記強磁性金属膜33は、磁性フェ
ライト32の対向面の形状に略沿って設けられており、
再生用磁気ギャップとして機能するフロントギャップF
G及びバックギャップBGに対して平行となるように形
成されている。従って、一対の強磁性金属膜33,33
の突き合わせ面間にフロントギャップFG及びバックギ
ャップBGが形成される。
The ferromagnetic metal film 33 is provided substantially along the shape of the facing surface of the magnetic ferrite 32.
Front gap F that functions as a reproducing magnetic gap
It is formed so as to be parallel to G and the back gap BG. Therefore, the pair of ferromagnetic metal films 33, 33
A front gap FG and a back gap BG are formed between the butting surfaces of.

【0030】このような強磁性金属膜33を構成する材
料としては、次の(1)〜(3)に示すような各種の材
料を用いることができる。 (1)Fe−Al−Si、Fe−Ni−Al−Si、F
e−Ga−Si、Fe−Al−Ge等、及びそれらに8
原子%以下のCo、Ti、Cr、Nb、Mo、Ta、R
u、Au、Pd、N、C、O等を1種又は数種を添加し
た結晶材料、(2)Coを主としてZr、Ta、Ti、
Hf、Mo、Nbの1種又は数種を添加して構成された
アモルファス材料、(3)Co、Feに主としてZr、
Ta、Ti、Hf、Mo、Nb、Si、Al、Bの1種
又は数種とN、C、Oの1種又は数種を添加して構成さ
れた微結晶材料、等が選ばれる。そして、強磁性金属膜
33はスパッタリング法等の真空薄膜形成法によって磁
性フェライト32上に被着させることによって形成され
る。
As the material forming such a ferromagnetic metal film 33, various materials shown in the following (1) to (3) can be used. (1) Fe-Al-Si, Fe-Ni-Al-Si, F
e-Ga-Si, Fe-Al-Ge, etc., and 8
Co, Ti, Cr, Nb, Mo, Ta, R of atomic% or less
u, Au, Pd, N, C, O, etc., one or several kinds of crystalline materials added, (2) Co mainly Zr, Ta, Ti,
An amorphous material formed by adding one or several kinds of Hf, Mo, and Nb, (3) Co, Fe, mainly Zr,
A microcrystalline material formed by adding one or several kinds of Ta, Ti, Hf, Mo, Nb, Si, Al and B and one or several kinds of N, C and O is selected. Then, the ferromagnetic metal film 33 is formed by depositing on the magnetic ferrite 32 by a vacuum thin film forming method such as a sputtering method.

【0031】このような構成を有する磁気ヘッドH2
は、例えば、次のような製造方法に従って製造すること
ができる。まず、図11に示すように、磁気コア半体3
1を形成すべく、磁性フェライト基板40の磁気ギャッ
プ形成面41にガラスを充填して磁気ギャップの幅を規
制する断面略V字状のトラック幅規制溝34を所定の間
隔を保持して複数形成する。そして、図12に示すよう
に、磁性フェライト基板40の磁気ギャップ形成面41
にスパッタリング法等の真空薄膜形成法によって強磁性
金属膜33を被着形成する。その後、磁性フェライト基
板40のトラック幅規制溝34内に融着ガラス15を流
し込む。
The magnetic head H2 having such a structure
Can be manufactured, for example, according to the following manufacturing method. First, as shown in FIG. 11, the magnetic core half 3
In order to form No. 1, a plurality of track width regulating grooves 34 having a substantially V-shaped cross section for regulating the width of the magnetic gap by filling the magnetic gap forming surface 41 of the magnetic ferrite substrate 40 with glass are formed at a predetermined interval. To do. Then, as shown in FIG. 12, a magnetic gap forming surface 41 of the magnetic ferrite substrate 40.
Then, a ferromagnetic metal film 33 is deposited by vacuum thin film forming method such as sputtering. Then, the fused glass 15 is poured into the track width regulation groove 34 of the magnetic ferrite substrate 40.

【0032】次に、図13に示すように、コイルを巻装
するための巻線溝36をトラック幅規制溝34と直交す
るように形成して、磁気コア半体ブロック38を形成す
る。そして、磁気コア半体ブロック38の磁気ギャップ
形成面41に平滑研磨加工を行い、スパッタリング法等
の真空薄膜形成法によって図示しないギャップスペーサ
ーを形成する。尚、巻線溝36はフロントギャップのデ
プスを決定するものであり、一方の側面16aは傾斜面
とされ、その解放端がフロントギャップのデプス零の位
置となるようになされている。
Next, as shown in FIG. 13, a winding groove 36 for winding the coil is formed so as to be orthogonal to the track width regulating groove 34, and a magnetic core half block 38 is formed. Then, the magnetic gap forming surface 41 of the magnetic core half block 38 is subjected to smooth polishing, and a gap spacer (not shown) is formed by a vacuum thin film forming method such as a sputtering method. The winding groove 36 determines the depth of the front gap, and one side surface 16a is an inclined surface, and its open end is at the position where the depth of the front gap is zero.

【0033】次いで、図14に示すように、一対の磁気
コア半体ブロック38,38の接合を行う。この際、両
ブロック38,38の磁気ギャップ形成面41,41を
相対向させてトラック幅規制溝34,34の位置合わせ
を行い、強磁性金属膜33,33が相対向するように両
ブロック38,38を突き合わせ、その突き合わせ方向
の加圧を行いながら窒素雰囲気中で450〜650℃の
温度範囲で加熱して、両ブロック38,38の融着ガラ
ス35,35を融着させることによって接合する。これ
により、一対の磁気コア半体ブロック38,38が接合
されて一体化されると共に、その突き合わせ面間(強磁
性金属膜33,33の突き合わせ面間)には再生ギャッ
プとして機能するフロントギャップFG及び、図示しな
いバックギャップが形成される。
Next, as shown in FIG. 14, the pair of magnetic core half blocks 38, 38 are joined. At this time, the magnetic gap forming surfaces 41, 41 of the blocks 38, 38 are opposed to each other to align the track width regulating grooves 34, 34, and the ferromagnetic metal films 33, 33 are opposed to each other. , 38 are abutted and heated in a temperature range of 450 to 650 ° C. in a nitrogen atmosphere while pressurizing in the abutting direction to fuse the fused glasses 35, 35 of both blocks 38, 38 for joining. . As a result, the pair of magnetic core half blocks 38, 38 are joined and integrated, and the front gap FG that functions as a reproducing gap is provided between the abutting surfaces (between the abutting surfaces of the ferromagnetic metal films 33, 33). Also, a back gap (not shown) is formed.

【0034】その後、一対の磁気コア半体ブロック3
8,38の接合物のフロントギャップ側に円筒研磨加工
を施し、図14において斜線で示す部分を取り除くと共
に、所定の曲率を有する曲面を形成する。そして、同図
においてA−A線及びB−B線で示す切断線に沿って磁
気コア半体ブロック38,38を切断することにより、
磁気ヘッドH2が形成される。
After that, the pair of magnetic core half blocks 3
Cylindrical polishing is performed on the front gap side of the joined objects 8 and 38 to remove the hatched portion in FIG. 14 and form a curved surface having a predetermined curvature. Then, by cutting the magnetic core half blocks 38, 38 along the cutting lines indicated by lines AA and BB in FIG.
The magnetic head H2 is formed.

【0035】このようにして作製された磁気ヘッドH2
は、フロントギャップ部分を突き出すようにして磁気ヘ
ッドベース22に貼り付けられた後、図15に示すよう
に、回転ドラム24と固定ドラム25により構成された
円筒型の磁気ヘッドラッピング装置23の回転ドラム2
4に装着される。この回転ドラム24が精密研磨テープ
26に接触して高速回転することで磁気ヘッドH2の磁
気記録媒体摺動部分が研磨され、これにより、所定の曲
率を有し且つ磁性フェライト部分の中心線平均面粗度が
2nm以下の磁気ヘッドH2が完成する。
The magnetic head H2 manufactured in this way
Is attached to the magnetic head base 22 so as to project the front gap portion, and then, as shown in FIG. 15, the rotary drum of the cylindrical magnetic head wrapping device 23 composed of the rotary drum 24 and the fixed drum 25. Two
It is attached to 4. The rotating drum 24 is brought into contact with the precision polishing tape 26 and rotates at a high speed, so that the sliding portion of the magnetic recording medium of the magnetic head H2 is polished, so that the center line average surface of the magnetic ferrite portion has a predetermined curvature. The magnetic head H2 having a roughness of 2 nm or less is completed.

【0036】このようにして完成した磁気ヘッドH2の
効果を確認すべく、次のような実験を行った。即ち、図
11〜図14に示したプロセスにより作製した磁気ヘッ
ドH2を40個用意し、これらを10個づつ4つのグル
ープに分けて、図15に示す最終面仕上げ時に、各グル
ープ毎に粒度の異なる精密研磨テープによるラッピング
処理を施した。そして、これらの磁気ヘッドH2に対し
て、図16に示す斜線部分の中心線平均面粗度Ra,R
a1を上記表面粗さ測定器WYKOにより測定した。その
後、磁気ヘッドH2をカムコーダーに装着し、温度40
℃、湿度40%の環境下で磁気テープ(P6−120H
MPテープ)を走行させ、ヘッドクロッグ状態に陥るま
での時間を測定し、各グループ毎にワイブル評価による
平均寿命を算出した。
The following experiment was conducted to confirm the effect of the magnetic head H2 thus completed. That is, 40 magnetic heads H2 produced by the process shown in FIGS. 11 to 14 are prepared, and these are divided into four groups of 10 each, and at the time of final surface finishing shown in FIG. Lapping processing was performed using different precision polishing tapes. Then, for these magnetic heads H2, the center line average surface roughness Ra, R of the shaded portion shown in FIG.
a1 was measured by the surface roughness measuring instrument WYKO. After that, the magnetic head H2 is attached to the camcorder, and the temperature is set to 40
Magnetic tape (P6-120H)
(MP tape) was run, the time until it fell into a head clog state was measured, and the average life by Weibull evaluation was calculated for each group.

【0037】このようにして求められた中心線平均面粗
度と平均寿命との関係を図17に示した。この図17に
よれば、磁気ヘッドH2の磁気記録媒体摺動面における
磁性フェライト面の中心線平均面粗度が2nm以下にな
ると、平均寿命が大きく延びることがわかる。
The relationship between the center line average surface roughness and the average life thus obtained is shown in FIG. According to FIG. 17, it can be seen that the average life is greatly extended when the center line average surface roughness of the magnetic ferrite surface on the sliding surface of the magnetic recording medium of the magnetic head H2 is 2 nm or less.

【0038】尚、本実施例においては、一対の磁気コア
半体ブロック38,38の両方に巻線溝36,36が設
けられた例を示したが、巻線溝36はどちらか一方の磁
気コア半体ブロック38に設けられればよい。
In this embodiment, the winding grooves 36, 36 are provided on both the pair of magnetic core half blocks 38, 38, but the winding groove 36 may be formed on either one of the magnetic core half blocks 38, 38. It may be provided in the core half block 38.

【0039】また、上記第2実施例においては、磁気ギ
ャップと平行に強磁性金属膜が配された形のMIGヘッ
ドについて説明したが、本発明は、図18に示すよう
に、強磁性金属膜がX型に配されている磁気ヘッドH3
や、図19に示すように、強磁性金属膜が斜めに配され
ている磁気ヘッドH4についても適用することができ
る。そして、図18及び図19に示すような構成の磁気
ヘッドH3,H4によっても、上記実施例と同様の効果
を得ることができる。
Further, although the MIG head in which the ferromagnetic metal film is arranged in parallel with the magnetic gap has been described in the second embodiment, the present invention, as shown in FIG. 18, shows the ferromagnetic metal film. Magnetic head H3 with X-shaped arrangement
Alternatively, as shown in FIG. 19, it can be applied to a magnetic head H4 in which a ferromagnetic metal film is obliquely arranged. The magnetic heads H3 and H4 having the configurations shown in FIGS. 18 and 19 can also achieve the same effects as those of the above embodiment.

【0040】以上説明したが、本発明は上記実施例に限
定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲
で種々変更できるものである。
As described above, the present invention is not limited to the above embodiments, but various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

【0041】[0041]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
磁気記録媒体摺動面の強磁性酸化物の中心線平均面粗度
を2nm以下とするようにしたため、磁気記録媒体摺動
面と摺動することによる磁気記録媒体の損傷を軽減する
ことができると共に、磁気記録媒体摺動面に付着する磁
性粉等の異物を減少させて、磁気ヘッドがヘッドクロッ
グ状態に陥るまでの時間を延長することができるという
効果が得られる。
As described above, according to the present invention,
Since the center line average surface roughness of the ferromagnetic oxide on the sliding surface of the magnetic recording medium is set to 2 nm or less, damage to the magnetic recording medium due to sliding on the sliding surface of the magnetic recording medium can be reduced. At the same time, it is possible to reduce the amount of foreign matter such as magnetic powder adhered to the sliding surface of the magnetic recording medium and to extend the time until the magnetic head falls into the head clog state.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1実施例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a first embodiment of the present invention.

【図2】図1の磁気ヘッドの製造工程を示すもので、磁
性フェライト基板に略V型の溝を形成した状態の斜視図
である。
FIG. 2 is a perspective view showing a manufacturing process of the magnetic head of FIG. 1 and showing a state in which a substantially V-shaped groove is formed in a magnetic ferrite substrate.

【図3】同、ガラスを充填して磁気コア半体ブロックを
作製した状態の斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view of a magnetic core half block manufactured by filling glass with the same.

【図4】同、磁気コア半体ブロックに巻線用の溝を形成
した状態の斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view of a magnetic core half block in which winding grooves are formed.

【図5】同、ギャップスペーサーを介して磁気コア半体
ブロックを突き合わせて磁気コアブロックを作製した状
態を示す斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing a state in which magnetic core half blocks are butted to each other via a gap spacer to manufacture a magnetic core block.

【図6】同、磁気ヘッドの摺動面を仕上げ研磨する工程
を示す説明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a step of finish polishing the sliding surface of the magnetic head.

【図7】第1実施例に係る磁気ヘッドの磁気記録媒体摺
動面の表面粗度の測定部分を示す拡大正面図である。
FIG. 7 is an enlarged front view showing a portion for measuring the surface roughness of the sliding surface of the magnetic recording medium of the magnetic head according to the first embodiment.

【図8】同、磁気記録媒体摺動面の中心線平均面粗度と
平均寿命との関係を示すグラフである。
FIG. 8 is a graph showing the relationship between the center line average surface roughness and the average life of the sliding surface of the magnetic recording medium.

【図9】本発明に係る磁気ヘッドの磁気記録媒体摺動面
の表面形状を拡大して示す斜視図である。
FIG. 9 is an enlarged perspective view showing a surface shape of a sliding surface of a magnetic recording medium of a magnetic head according to the present invention.

【図10】本発明の第2実施例を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing a second embodiment of the present invention.

【図11】図2の磁気ヘッドの製造工程を示すもので、
磁性フェライト基板に略V型の溝を形成した状態の斜視
図である。
11 shows a manufacturing process of the magnetic head of FIG.
FIG. 6 is a perspective view showing a state in which a substantially V-shaped groove is formed on a magnetic ferrite substrate.

【図12】同、略V型の溝に磁性膜を形成した後ガラス
を充填して磁気コア半体ブロックを作製した状態の斜視
図である。
FIG. 12 is a perspective view showing a state in which a magnetic film is formed in a substantially V-shaped groove and then glass is filled to produce a magnetic core half block.

【図13】同、磁気コア半体ブロックに巻線用の溝を形
成した状態の斜視図である。
FIG. 13 is a perspective view of the magnetic core half block in which winding grooves are formed.

【図14】同、ギャップスペーサーを介して磁気コア半
体ブロックを突き合わせて磁気コアブロックを作製した
状態を示す斜視図である。
FIG. 14 is a perspective view showing a state in which magnetic core half blocks are butted to each other via a gap spacer to produce a magnetic core block.

【図15】同、磁気ヘッドの摺動面を仕上げ研磨する工
程を示す説明図である。
FIG. 15 is an explanatory diagram showing a step of finish polishing the sliding surface of the magnetic head.

【図16】第2実施例に係る磁気ヘッドの磁気記録媒体
摺動面の表面粗度の測定部分を示す拡大正面図である。
FIG. 16 is an enlarged front view showing a portion for measuring the surface roughness of the sliding surface of the magnetic recording medium of the magnetic head according to the second embodiment.

【図17】同、磁気記録媒体摺動面の中心線平均面粗度
と平均寿命との関係を示すグラフである。
FIG. 17 is a graph showing the relationship between the center line average surface roughness and the average life of the sliding surface of the magnetic recording medium.

【図18】本発明の第3実施例を示す斜視図である。FIG. 18 is a perspective view showing a third embodiment of the present invention.

【図19】本発明の第4実施例を示す斜視図である。FIG. 19 is a perspective view showing a fourth embodiment of the present invention.

【図20】従来の磁気ヘッドを示す斜視図である。FIG. 20 is a perspective view showing a conventional magnetic head.

【図21】従来の磁気ヘッドの磁気記録媒体摺動面の表
面形状を拡大して示す斜視図である。
FIG. 21 is an enlarged perspective view showing a surface shape of a sliding surface of a magnetic recording medium of a conventional magnetic head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11,31 磁気コア半体 12,32 磁性フェライト 14,34 トラック幅規制溝 15,35 融着ガラス 16,36 巻線溝 17,37 コイル挿通孔 18,38 磁気コア半体ブロック 20,40 磁性フェライト基板 21,41 磁気ギャップ形成面 22 磁気ヘッドベース 23 磁気ヘッドラッピング装置 26 精密研磨テープ 33 強磁性金属膜 H1,H2,H3,H4 磁気ヘッド FG フロントギャップ BG バックギャップ 11,31 Magnetic core half body 12,32 Magnetic ferrite 14,34 Track width regulation groove 15,35 Fused glass 16,36 Winding groove 17,37 Coil insertion hole 18,38 Magnetic core half block 20,40 Magnetic ferrite Substrate 21, 41 Magnetic gap forming surface 22 Magnetic head base 23 Magnetic head lapping device 26 Precision polishing tape 33 Ferromagnetic metal film H1, H2, H3, H4 Magnetic head FG Front gap BG Back gap

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 強磁性酸化物からなる磁気コア半体を突
き合わせるように接合して一体化し、この突き合わせ面
間に磁気ギャップを形成してなる磁気ヘッドにおいて、 磁気記録媒体と摺動する上記強磁性酸化物の磁気記録媒
体摺動面における中心線平均面粗度を2nm以下とした
ことを特徴とする磁気ヘッド。
1. A magnetic head comprising magnetic core halves made of a ferromagnetic oxide, which are joined to each other so as to abut each other, and a magnetic gap is formed between the abutting faces, which slides on a magnetic recording medium. A magnetic head having a center line average surface roughness of a ferromagnetic oxide of 2 nm or less on a sliding surface of a magnetic recording medium.
【請求項2】 強磁性酸化物と少なくとも磁気ギャップ
形成面に配された強磁性金属膜からなる磁気コア半体
を、上記強磁性金属膜同士を突き合わせるように接合し
て一体化し、この突き合わせ面間に磁気ギャップを形成
してなる磁気ヘッドにおいて、 磁気記録媒体と摺動する上記強磁性酸化物の磁気記録媒
体摺動面における中心線平均面粗度を2nm以下とした
ことを特徴とする磁気ヘッド。
2. A magnetic core half body composed of a ferromagnetic oxide and a ferromagnetic metal film disposed on at least a magnetic gap forming surface is joined and integrated so that the ferromagnetic metal films are abutted to each other, and the abutting is performed. In a magnetic head having a magnetic gap between the surfaces, the center line average surface roughness of the sliding surface of the ferromagnetic oxide sliding on the magnetic recording medium is 2 nm or less. Magnetic head.
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