JPH0877684A - 磁気ヘッドと磁気ディスクの同時検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 磁気ヘッドの電磁変換特性検査と磁気ディス
クの突起検査とを、同一検査装置で同時に検査する。 【構成】 スピンドル31とキャリッジ機構４および電磁
変換特性測定回路62を具備する磁気ヘッド検査装置にお
いて、キャリッジ機構４に配設され、磁気ヘッド２に対
する振動センサ631 と、振動センサの出力信号に対する
突起検出回路632とを設け、スピンドル31とキャリッジ
機構４に対して、被検査の各磁気ディスク１と各磁気ヘ
ッド２を逐次に装着し、回転する各磁気ディスク１に各
磁気ヘッド２を逐次にローディングし、電磁変換特性測
定回路62による各磁気ヘッド２の電磁変換特性を測定
し、同時に、振動センサ631 と突起検出回路632 とによ
り、各磁気ディスク２に存在する突起を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、磁気ヘッドの電磁変
換特性と、磁気ディスクの突起とを同時に検査する方法
に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータシステムに使用される磁気
ディスク装置は、複数枚の磁気ディスクと、それぞれに
対する磁気ヘッドとにより構成されており、各磁気ディ
スクと磁気ヘッドは、単体の段階でそれぞれの特性が検
査装置により検査される。磁気ディスクの検査項目に
は、表面に存在する突起に対する突起検査と、磁気媒体
の記録性能に対する媒体検査があり、また磁気ヘッドの
検査項目には、ディスクの表面に対する浮上特性検査
と、ディスクに対するデータの書込み／読出しによる電
磁変換特性検査がある。各検査項目に対してそれぞれ検
査装置が設けられているが、各検査装置には共通する基
本構成があり、これを図２に示す。図２に示す基本構成
は、各種のディスク１，１’，１”を装着するスピンド
ル31と、これを回転するモータ（Ｍ）32よりなる回転機
構３と、被検査の磁気ヘッド２またはディスク検査用の
磁気ヘッド２’を、それぞれの支持アーム２a により支
持して移動するキャリッジ機構４、モータ32の回転とキ
ャリッジ機構４の移動とをそれぞれ制御する制御部５、
各種の測定項目に対する測定部６、および制御部５と測
定部６に対して設けたマイクロプロセッサ（ＭＰＵ）７
よりなる。ただし、測定部６は各測定項目に対応したそ
れぞれの回路を有し、また、ディスク１は検査用または
被検査の磁気ディスク、ディスク１’は浮上特性検査用
のガラスディスク、ディスク１”は磁気ヘッド２’の浮
上高の較正用の基準突起を有するバンプディスクであ
る。

【０００３】図３は、磁気ヘッド２の各検査項目に対す
る検査装置の構成図である。(a) は、浮上特性検査に対
する構成を示し、測定部６は距離センサ611 と信号処理
回路612 よりなる浮上特性検査部61を有する。スピンド
ル31にはガラスディスク１’が装着されて回転し、これ
に対して、被検査の各磁気ヘッド２はキャリッジ機構４
に逐次に装着され、移動してローディングされる。各磁
気ヘッド２の浮上高は距離センサ611 と信号処理回路61
2 により測定され、ＭＰＵ７に入力して各磁気ヘッド２
の浮上特性のデータが出力される。(b) は、電磁変換特
性検査に対する構成を示し、スピンドル31には磁気ディ
スク１が装着されて回転し、これに対して、被検査の各
磁気ヘッド２が上記と同様にローディングされ、ディス
ク１に対して電磁変換特性測定回路62よりのテストデー
タが書込み／読出しされ、読出しデータは電磁変換特性
測定回路62に入力して磁気ヘッド２の電磁変換特性が測
定され、ＭＰＵ７より各磁気ヘッド２の測定データが出
力される。

【０００４】図４は、磁気ディスク１の各検査項目に対
する検査装置の構成図である。(a) は、突起検査に対す
る構成を示し、キャリッジ機構４の適当な箇所に設けた
振動センサ631 と、測定部６に設けた突起検出回路632
よりなる突起検出部63を有する。スピンドル31には、ま
ずバンプディスク１”が装着されて回転し、これに検査
用の磁気ヘッド２’が上記と同様にローディングされ、
その浮上高が基準突起の高さに較正され、較正された浮
上高に対するディスク１”の周速が求められる。これが
終了すると、スピンドル31に対して被検査の各磁気ディ
スク１が逐次に装着され、制御部５の制御により上記の
周速でそれぞれ回転し、これらに対して磁気ヘッド２’
がローディングされる。磁気ヘッド２’がディスク１に
存在する突起に衝突すると、振動センサ２b が振動し、
この信号が突起検出回路63に入力して突起が検出され、
ＭＰＵ７より各磁気ディスク１の突起データが出力され
る。(b) は、媒体検査に対する構成を示し、測定部６は
媒体特性測定回路64有し、スピンドル31には被検査の各
磁気ディスク１が逐次に装着されて回転し、これらに検
査用の磁気ヘッド２’がローディングされ、媒体特性測
定回路64よりのテストデータが書込み／読出しされ、読
出しデータは媒体特性測定回路64に入力して各磁気ディ
スク１の媒体特性が測定され、ＭＰＵ７より各磁気ヘッ
ド２の測定データが出力される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】さて、最近における磁
気ディスク装置の需要の増加に対応して、上記した磁気
ディスク１と磁気ヘッド２の各特性検査と、それぞれに
対する検査装置とを、可能なかぎり簡略化することが好
ましい。このために各検査項目の必要性を再検討した結
果、図３(a) に示した浮上特性検査は、新型の磁気ヘッ
ドの開発や研究などには必要であるが、生産段階におけ
る多数の磁気ヘッド２ついては、厳密な浮上特性はかな
らずしも必要でなく、その良否が判定できればよいとさ
れている。これに対して、図４(a) に示した突起検査に
おいては、被検査の各磁気ディスク１には突起が存在す
るものの、突起以外の面は平滑であるので、突起の検出
と同時に、突起との衝突を利用して、磁気ヘッド２’の
浮上特性は、厳密ではないが、その良否の判定はある程
度可能である。また、図３(b) の電磁変換特性検査にお
いても、テストデータの読出しレベルなどに異常がある
ときは、磁気ヘッド２の浮上高が正常でない場合が多い
ので、読出しレベルの異常により、やはり厳密ではない
が、磁気ヘッド２の浮上特性の良否の判定はある程度可
能である。これらにより浮上特性検査とその検査装置を
省略することができよう。次に、上記の電磁変換特性検
査と突起検査は、従来は別個の検査装置によりなされて
いるが、これらを同一検査装置により同時に検査するこ
とが望ましく、これが可能であれば両者に対する検査装
置は一元化される。以上の考え方により、検査装置は、
磁気ヘッド２の電磁変換特性と磁気ディスク１の突起と
に対する１台と、磁気ディスク１の媒体検査に対する１
台の２台に簡略化される。この発明は、上記の考え方に
よりなされたもので、磁気ヘッドの電磁変換特性検査と
磁気ディスクの突起検査とを、同一検査装置で同時に行
う検査方法を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明は、磁気ヘッド
と磁気ディスクの同時検査方法であって、スピンドルと
キャリッジ機構および電磁変換特性測定回路を具備する
磁気ヘッド検査装置において、キャリッジ機構に配設さ
れ、磁気ヘッドの振動に対する振動センサと、振動セン
サの出力信号に対する突起検出回路とを設ける。スピン
ドルとキャリッジ機構に対して被検査の各磁気ディスク
と各磁気ヘッドとを逐次に装着し、スピンドルにより回
転する各磁気ディスクに対して、各磁気ヘッドをローデ
ィングして、電磁変換特性測定回路による各磁気ヘッド
の電磁変換特性の測定と同時に、振動センサと突起検出
回路により、各磁気ディスクに存在する突起を検出する
ものである。

【０００７】

【作用】上記の同時検査方法における、磁気ヘッドと磁
気ディスクはともに被検査のもので、各磁気ヘッドと各
磁気ディスクのそれぞれは、キャリッジ機構とスピンド
ルに逐次に装着され、回転する各磁気ディスクに対して
各磁気ヘッドがローディングされ、各磁気ヘッドの電磁
変換特性が電磁変換特性測定回路により測定され、これ
とともに、各磁気ディスクに存在する突起が振動センサ
と突起検出回路により検出されるもので、両検査が同時
になされて、従来の個別の検査装置の一方は不要とな
り、また検査時間は従来に比べて著しく短縮される。さ
らに、上記の突起検出における突起との衝突の状態、ま
たは電磁変換特性測定におけるテストデータの読出しレ
ベルの異常により、磁気ヘッド２の浮上特性の良否があ
る程度判定されて、従来の個別になされた浮上特性検査
を省略することができる。

【０００８】

【実施例】図１は、この発明の同時検査方法を実行する
検査装置１０の概略構成を示す。検査装置１０は、前記
した図２の基本構成に、図３(b) の電磁変換特性検査構
成と、図４(a) の突起検査構成とを加えて構成される。
すなわち、キャリッジ機構４に振動センサ631 を、測定
部６に電磁変換特性測定回路62と突起検出回路632 とを
設ける。

【０００９】検査においては、準備作業として、バンプ
ディスク１”をスピンドル31に装着して回転し、これに
適当な数個の磁気ヘッド２を順次にローディングして、
各磁気ヘッド２の浮上高を基準突起に高さに較正し、各
較正された浮上高に対するディスク１”の周速をそれぞ
れ求め、これらの平均値を基準周速とする。準備作業が
終了すると、スピンドル31とキャリッジ機構４に対し
て、被検査の各磁気ディスク１と各磁気ヘッド２を逐次
に装着し、制御部５の制御により、各磁気ディスク１
を、それぞれを基準周速で回転する。回転する各磁気デ
ィスク１に磁気ヘッド２をローディングし、電磁変換特
性測定回路62によりそれぞれの電磁変換特性が測定さ
れ、これと同時に、振動センサ631 と突起検出回路632
とにより、各磁気ディスク１に存在する突起が検出され
る。突起検査が終了した各磁気ディスク１は、前記の図
４(b) に示した媒体検査装置により磁気媒体の性能が検
査されて、単体に対するすべての検査が完了する。

【００１０】

【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による同
時検査方法によれば、被検査の各磁気ヘッドの電磁変換
特性の測定と、各磁気ディスクの突起検出とが１台の検
査装置により同時になされ、さらに、突起検出における
突起との衝突の状態、または電磁変換特性測定における
読出しレベルなどの異常により、磁気ヘッドの浮上特性
の良否がある程度判定されて、浮上特性検査とその検査
装置を省略できるもので、磁気ヘッドと磁気ディスク検
査の迅速化と、これらの検査装置の簡略化に寄与する効
果には、優れたものがある。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、この発明の同時検査方法を実行する検
査装置の構成図である。

【図２】図２は、磁気ディスクと磁気ヘッドの各検査装
置に共通する基本構成を示す構成図である。

【図３】図３は、磁気ヘッドの各検査項目に対する検査
装置の構成を示し、(a) は浮上特性検査に対する構成
図、(b) は電磁変換特性検査に対する構成図である。

【図４】図４は、磁気ディスクの各検査項目に対する検
査装置の構成を示し、(a) は突起検査に対する構成図、
(b) は媒体検査に対する構成図である。

【符号の説明】 １…被検査、または検査用の磁気ディスク、１’…ガラ
スディスク、１”…バンプディスク、２…被検査の磁気
ヘッド、２’…検査用の磁気ヘッド、２a …支持アー
ム、３…回転機構、31…スピンドル、32…モータ
（Ｍ）、４…キャリッジ機構、５…制御部、６…測定
部、61…浮上特性検査部、611 …距離センサ、612 …信
号処理回路、62…電磁変換特性測定回路、63…突起検出
部、631 …振動センサ、632 …突起検出回路、64…媒体
特性測定回路、７…マイクロプロセッサ（ＭＰＵ）、１
０…この発明を実行する検査装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】磁気ディスクを装着して回転するスピンド
   ルと、磁気ヘッドを支持して移動するキャリッジ機構、
   該磁気ヘッドの電磁変換特性を測定する電磁変換特性測
   定回路とを具備する磁気ヘッド検査装置において、前記
   キャリッジ機構に配設され、前記磁気ヘッドの振動に対
   する振動センサと、該振動センサの出力信号に対する突
   起検出回路とを設け、前記スピンドルとキャリッジ機構
   に対して、被検査の各磁気ディスクと各磁気ヘッドとを
   逐次に装着し、該スピンドルにより回転する該各磁気デ
   ィスクに対して該各磁気ヘッドをローディングし、前記
   電磁変換特性測定回路による該各磁気ヘッドの電磁変換
   特性の測定と同時に、前記振動センサと突起検出回路に
   より、該各磁気ディスクに存在する突起を検出すること
   を特徴とする、磁気ヘッドと磁気ディスクの同時検査方
   法。