JPH0877951A

JPH0877951A - 画像表示装置

Info

Publication number: JPH0877951A
Application number: JP20960694A
Authority: JP
Inventors: Kumiko Kaneko; 久美子金子; Shinichi Kawate; 信一河手
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1994-09-02
Filing date: 1994-09-02
Publication date: 1996-03-22
Anticipated expiration: 2018-05-06
Also published as: JP3402780B2

Abstract

(57)【要約】【目的】内部が真空に保たれた気密容器中で、電子ビ
ームを蛍光体に衝突させることで生じる発光を利用して
画像を表示する表示部と、気密容器封止後の真空度を維
持するためのゲッターとを備えた画像表示装置におい
て、部品点数を減らして製造工程を短縮し、製造上の歩
留りを向上させると同時に画面内の無駄な空間をなくし
た画像表示装置を得る。【構成】気密容器封止後の真空度を維持するためのゲ
ッター１２を、気密容器を構成する外枠１１内に設けた
ゲッター収納部１３に収納し、このゲッター収納部１３
と気密容器内を連通させる連通手段が形成されているこ
とを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、内部が真空に保たれた
気密容器中で、電子ビームを蛍光体に衝突させることで
生じる発光を利用して画像を表示する画像表示装置及び
その製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】画像表示装置には、プラズマディスプレ
イ、ＥＬ表示装置、電子線を用いた画像表示装置、蛍光
表示装置等があり、大画面化、高精細化、高品質化の要
求が増大し、各画像表示装置が開発されている。

【０００３】ここでは、従来の画像表示装置及びその製
造方法として、蛍光表示を使用した画像表示装置を例に
して説明する。

【０００４】図７は従来の蛍光表示装置の一例を示す図
であり、同図（ａ）はその上面図、同図（ｂ）はその断
面図である。

【０００５】図７において、基板１０１はガラス板など
の透明な板であり、画像を表示する表示面となる。基板
１０１には、カップ状の下板１０２が、基板１０１の周
縁部において気密接着され、基板１０１と下板１０２と
で気密容器が構成されている。この気密容器の内部にお
いて、基板１０１には陽極パターン１０６が設けられて
いる。陽極パターン１０６には、表面に電子線衝撃によ
って発光する蛍光物質が塗布され、衝突電子の電荷を流
し去る導電物質で形成されている。なお、図７（ａ）に
示すように、ここでは数字表示専用のセグメント状のパ
ターンとなっている。

【０００６】そして、陽極パターン１０６に対向してフ
ィラメント１０４が配置されている。フィラメント１０
４はディスプレイの障害にならないような非常に細い線
状のもので、電子を熱放出する電子ビーム発生源であ
る。

【０００７】陽極パターン１０６とフィラメント１０４
との間には、フィラメント１０４からの電子放射を制御
する網状の制御格子であるコントロールグリッド１０５
が配置されており、これらフィラメント１０４、コント
ロールグリッド１０５および陽極パターン１０６で表示
部１０３が構成される。

【０００８】また、気密容器内部には、ゲッター拡散防
止板１０８により表示部１０３とは間を隔ててゲッター
１０７が配置されている。

【０００９】ゲッター１０７は、加熱されて拡散するこ
とにより気密容器内にゲッター物質からなる蒸着膜を形
成し、この蒸着膜が気密容器内の放出ガスを吸着するこ
とで、気密容器内の真空度を維持する作用を持つ物質で
ある。

【００１０】ゲッター拡散防止板１０８は、ゲッター１
０７を拡散させる際、ゲッター物質が表示部１０３上に
付着するのを防ぐためのもので、ゲッター１０７と表示
部１０３の間に直立に配置され、基板１０１の端部に低
融点ガラスによって固着されている。なお、このゲッタ
ー拡散防止板１０８は、ゲッターを拡散させる際、ゲッ
ター物質が表示部１０３の上に付着しないような位置に
なるよう管理されている。

【００１１】また、このゲッター拡散防止板１０８の立
面部のほぼ中央には、フィラメント１０４の一端が固定
されており、ゲッター１０７は、このゲッター拡散防止
板１０８の表示部１０３とは反対側の立面部に、点溶接
またはろう付けなどの手段によって固着されている。

【００１２】次に、蛍光表示装置の製造方法について概
説する。

【００１３】まず、基板１０１上に、複数個の表示部１
０３、ゲッター１０７およびゲッター拡散防止板１０８
を配置する。

【００１４】次に、下板１０２と基板１０１を重ね合わ
せ、重ね合わせ部には低融点ガラス等を塗布する。そし
て、電気炉内で装置全体を加熱し、基板１０１と下板１
０２を固着させて気密容器を形成する。その後、気密容
器内の空間を排気管（不図示）を通して、真空ポンプに
より真空排気を行う。続いて、ホットプレート等の加熱
手段によって装置全体を加熱し脱ガスを行う。最後にゲ
ッター１０７を適時拡散させつつ、排気管をガスバーナ
ーで加熱し溶着することで気密容器の封止を行う。

【００１５】以上のようにして蛍光表示装置を形成して
いる。

【００１６】なお、気密容器を構成する基板１０１、下
板１０２については、大気圧に耐えて真空雰囲気を維持
でき、かつフィラメント１０４と陽極パターン１０６間
に印加される高電圧に耐えるだけの絶縁性を有するもの
を用いることが望ましい。

【００１７】ここでは、強度的に特に問題とならないた
め基板１０１と下板１０２のみで気密容器を構成したも
のを例にして説明しているが、外周を囲む外枠とそれを
挟むように対向して配置される２枚のプレート（フェー
スプレートとバックプレート等）によって気密容器が構
成されているものもある。

【００１８】

【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、上
記のような従来の画像表示装置では、以下のような問題
点がある。

【００１９】（１）画像表示装置内でゲッター物質を
拡散させる際、ゲッターから拡散されるゲッター物質が
表示部等の上に付着すると、表示部の特性劣化や不安定
要因になるため、表示部とゲッターの間に拡散防止用の
板を設けている。しかし、ゲッター拡散防止板の取り付
け工程が増え、部品点数も多くなるため、作業が煩雑と
なってしまう。

【００２０】（２）ゲッター拡散防止板は、ゲッター
物質が表示部上に付着しないように表示部とゲッターの
間に配置されている。このゲッター拡散防止板及びゲッ
ターは基板の一角に置かれるため、ゲッター拡散防止板
及びゲッターを配置する空間が必要になる。従って、ゲ
ッター拡散防止板から外枠部分の間は表示部とすること
ができず、有効表示面積が小さくなる。言い換えれば、
画面面積が小さくなり、無駄な空間が多くなるのであ
る。

【００２１】（３）ゲッター拡散防止板は表示部とゲ
ッターの間に低融点ガラスで固着させるが、脱ガス時の
加熱で画像表示装置の温度が上昇するとゲッター拡散防
止板に塗布した低融点ガラスの粘性が低下して、低融点
ガラスが表示部に流れだしたり、ゲッター拡散防止板が
位置ずれをおこすことがある。ゲッター拡散防止板がず
れるとゲッターを拡散させる際、ゲッターから拡散され
たゲッター物質が表示部等の上に付着してしまう。これ
らのことは、表示部の特性劣化や不安定要因になり、製
造上の歩留りの低下を招く。

【００２２】本発明は上記したような従来の技術が有す
る問題点を解決するためになされたものであり、部品点
数を減らして製造工程を短縮し、製造上の歩留りを向上
させると同時に画面上の無駄な空間をなくした画像表示
装置を提供することにある。

【００２３】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の画像表示装置は、電子ビームを発生する電子源
が設けられたバックプレートと、前記電子源からの電子
ビームが衝突することにより発光する蛍光体が設けら
れ、外枠を介して前記バックプレートと対向配置される
ことで、内部が真空に保たれた気密容器を前記バックプ
レートおよび前記外枠とともに構成するフェースプレー
トと、前記気密容器の真空度を維持するために前記気密
容器内に拡散されるゲッターとを有する画像表示装置に
おいて、前記ゲッターは、前記外枠の内部に形成された
ゲッター収納部に収納され、前記外枠には、前記ゲッタ
ー収納部と前記気密容器内を連通させる連通手段が形成
されていることを特徴とする。

【００２４】このとき、前記連通手段は、スリットであ
ってもよく、切り欠き、くりぬき穴であってもよい。

【００２５】

【作用】上記のように構成され、製造された画像表示装
置では、ゲッターは、連通手段を介して気密容器内と連
通するゲッター収納部に収納されているので、ゲッター
物質の拡散時には、ゲッター物質はゲッター収納部から
連通手段を通って気密容器内の所定の部位に拡散され
る。これにより、ゲッター物質の拡散する場所を規制す
るゲッター拡散防止板が不要になる。

【００２６】また、ゲッター収納部は外枠の内部に形成
されているので、気密容器内にゲッターおよびゲッター
拡散防止板を配置する必要がなく、そのスペースを画像
表示部とすることが可能になる。

【００２７】さらに、ゲッターを外枠の内部に形成され
たゲッター収納部に配置することで、ゲッターの位置決
めを厳しく管理する必要がなくなる。

【００２８】

【実施例】電子ビームを用いた画像表示装置には、例え
ばフェースプレートとバックプレートに挟まれた真空容
器内に電子ビームを発生する電子源を有し、その電子源
には表面伝導型電子放出素子を用い、その電子ビームを
加速して蛍光体に照射し、発光させて画像を表示させる
薄型の画像表示装置が本出願人より出願されている（特
開平３−２６１０２４）。ここでは、本発明を上記表面
伝導型電子放出素子を用いた画像表示装置に適用した例
について説明する。

【００２９】（第１実施例）図１は本発明の画像表示装
置の第１実施例の一部を破断した斜視図である。図２
は、図１に示した画像表示装置の要部拡大図であり、図
３は後述する電子放出部形成用薄膜を形成する際に用い
られるマスクの一例を示す平面図である。

【００３０】図１および図２において、電子ビームを発
生する電子源として複数の表面伝導型の電子放出素子４
が形成されたバックプレート１と、電子放出素子４から
放出された電子に作用して画像を表示するフェースプレ
ート７とが外枠１１を介して互いに対向配置されてい
る。バックプレート１と外枠１１およびフェースプレー
ト７と外枠１１はそれぞれ低融点ガラスにより気密接着
（封着）され、これらバックプレート１、外枠１１およ
びフェースプレート７で気密容器が構成されている。

【００３１】電子放出素子４には、絶縁材（不図示）を
介してグリッド６が設けられている。このグリッド６
は、電子放出素子４より放出された電子を制御する変調
電極であり、制御された電子はグリッド６に設けられた
電子通過孔５を通ってフェースプレート７に到達する。

【００３２】フェースプレート７には、その内面に蛍光
体８および加速電極であるメタルバック９が形成されて
おり、電子放出素子４から放出された電子の衝突により
蛍光体８が発光することで画像を表示する。

【００３３】一方、外枠１１には、ゲッター１２が収納
されるゲッター収納部１３が形成され、ゲッター収納部
１３と気密容器の内部とは連通手段としてのスリット１
６により連通されている。このスリット１６は、ゲッタ
ー１２が拡散して気密容器内の脱ガスを行うのに必要な
体積を十分に満たしており、電子放出素子４とゲッター
収納部とスリット１６の角度の関係から、ゲッター１２
を拡散させても電子放出素子４等まで拡散することがな
いように設計されている。

【００３４】本実施例では、外枠１１の四隅にゲッター
１２を配置したが、その位置および数は、後述するゲッ
ター物質の拡散に必要な数だけ、必要な位置に配置する
ことができる。

【００３５】以上のような構成において、まず、これら
表面伝導型電子放出素子の典型的な素子構成を図４を参
考にして説明する。

【００３６】図４において、絶縁性基板２１上には、一
対の素子電極２３、２３ａが配置され、その素子電極間
を跨ぐようにして、スパッタで形成された金属酸化物薄
膜等からなる電子放出部形成用薄膜２２が形成されてい
る。この電子放出部形成用薄膜２２には、フォーミング
と呼ばれる通電処理により電子放出部２４が形成されて
いる。フォーミングとは前記電子放出部形成用薄膜２２
の両端に電圧を印加通電し、電子放出部形成用薄膜２２
を局所的に破壊、変形もしくは変質させ、電気的に高抵
抗な状態にした領域である電子放出部２４を形成するこ
とである。なお、電子放出部２４では、電子放出部形成
用薄膜２２の一部に亀裂が発生し、その亀裂付近から電
子放出が行われている。

【００３７】以下、フォーミンク゛により形成した電子
放出部２４を含む電子放出部形成用薄膜２２を、電子放
出部を含む薄膜と呼ぶ。前記フォーミング処理をした表
面伝導型電子放出素子は、上述の電子放出部を含む薄膜
に電圧を印加し、素子電極２３、２３ａ間に電流を流す
ことにより、上述の電子放出部２４より電子が放出され
る。

【００３８】前述した電子放出部を含む薄膜のうち電子
放出部２４は粒径が数十オングストロームの導電性微粒
子からなり、電子放出部２４以外の薄膜は微粒子膜から
なる。なおここで述べる微粒子膜とは、複数の微粒子が
集合した膜であり、その微細構造は、微粒子が個々に分
散配置した状態のみならず、微粒子が互いに隣接、ある
いは重なり合った状態（島状も含む）の膜もさす。

【００３９】電子放出部２４を含む薄膜の具体例を挙げ
るならば、Ｐｄ、Ｒｕ、Ａｇ、Ａｕ、Ｔｉ、Ｉｎ、Ｃ
ｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｓｎ、Ｔａ、Ｗ、Ｐｂ等の金
属、ＰｄＯ、ＳｎＯ₂ 、Ｉｎ₂ Ｏ₃ 、ＰｂＯ、Ｓｂ₂ Ｏ
₃ 等の酸化物、ＨｆＢ₂ 、ＺｒＢ ₂ 、ＬａＢ₆ 、ＣｅＢ
₆ 、ＹＢ₄ 、ＧｄＢ₄ 等の硼化物、ＴｉＣ、ＺｒＣ、Ｈ
ｆＣ、ＴａＣ、ＳｉＣ、ＷＣ等の炭化物、ＴｉＮ、Ｚｒ
Ｎ、ＨｆＮ等の窒化物、Ｓｉ、Ｇｅ等の半導体、カーボ
ン、ＡｇＭｇ、ＮｉＣｕ、Ｐｂ、Ｓｎ等である。なお、
それらの中で、ＳｎＯ₂ 膜を用いたもの、Ａｕ薄膜によ
るもの[G.Dittmer:"Thin Solid Films",9,317(1972)],
Ｉｎ₂Ｏ₃／ＳｎＯ₃薄膜によるもの［M.Hartwell and
C.G.Fonstad:"IEEE Trans. ED Conf.",519(1975)]、カ
ーボン薄膜によるもの［荒木久他：真空、第２６巻、
第１号、２２頁（１９８３）］等が詳しく報告されてい
る。

【００４０】次に、電子放出素子４として、ＰｄＯを用
いて画像表示装置を作製した例を以下に説明する。

【００４１】まず、バックプレート１上にリフトオフ法
によって、素子電極間隔Ｌ１（図３参照）が２μｍ，素
子電極幅Ｗ１（図３参照）が４００μｍ、厚さ１０００
オングストロームのＡｕの素子電極３、３ａを作製す
る。次に、その上に有機Ｐｄ溶液（CCP4230 奥野製薬株
式会社製）を塗布して、約３００℃でおよそ１５分間の
加熱焼成処理をする。そして、図３に示すような素子電
極間隔Ｌ１だけ間をおいて位置する一対の素子電極３、
３ａを跨ぐような開口２０ａを有するマスク２０を用
い、レジストパターンを施して、エッチングを行い、長
さ２８０μｍ、幅３０μｍの電子放出部形成用薄膜を作
製する。これらの工程によって、表面伝導型電子放出素
子を同一ガラス基板上に６００×４００個作製する。な
お、電子放出部形成用薄膜はその他に、真空蒸着法、ス
パッタ法、化学的気相堆積法、分散塗布法、ディッピン
グ法、スピナー法等いずれによっても形成することがで
きる。

【００４２】次に、表面伝導型の電子放出素子４の作製
後、外部との電気的接続のため、フォトリソグラフィ工
程を用いて厚さ１μｍのＡｕ配線を形成する。

【００４３】そして、絶縁材として例えばＳｉＯ₂ 膜を
スパッタ等により約１０μｍ形成し、さらにその絶縁体
上にＡｕ，Ａｌ，Ｃｕ等の金属を蒸着して、エッチング
を行い、電子通過孔５、グリッド６を作製する。

【００４４】また、画像表示装置のフェースプレート７
の内側表面には、あらかじめ蛍光体８を塗布し、さらに
蛍光体８の表面に導電性を持たせたメタルバック９を形
成しておく。

【００４５】そして、前記フェースプレート７と、スリ
ット１６を持った外枠１１とバックプレート１と、ゲッ
タ１２とを取り付けるべき部分に、低融点ガラス１５
（日本電気硝子（株）製ＬＳ−３０８１）を塗布し、外
枠１１内のゲッター収納部１３にはゲッター１２を配置
しておく。

【００４６】次に、外枠１１を挟むようにしてバックプ
レート１とフェースプレート７を対向させて貼り合わ
せ、治具等で固定しながら装置全体を加熱できる容器を
備えた電気炉（不図示）に入れ、例えば３００〜６５０
℃の範囲で加熱する。その後、ゆっくりと冷却して室温
に戻し、画像表示装置を電気炉から取出す。

【００４７】以上のようにして、フェースプレート７と
バックプレート１と外枠１１とが、低融点ガラス１５に
よって固着し、封着されることで、真空もれのない強固
な接合を得ることができる。

【００４８】ところで、バックプレートと外枠およびフ
ェースプレートと外枠とを封着する封着材は、バックプ
レート１とフェースプレート７が外枠を介して気密封着
できる材料であれば、どのような材料で構成されていて
も構わない。特に、その具体例をあげるならば、非結晶
性の低融点ガラス、結晶性の低融点ガラスなどがあり、
それらを有機溶剤と混合したり、ニトロセルロースなど
のバインダと、そのバインダを溶解させる有機溶剤とを
混合させてペースト状に調合したものでもよい。少なく
とも封着材の塗布作業温度では粘着性があるものを用い
るのが望ましい。

【００４９】封着材の塗布方法は、スプレー法、ディス
ペンサー法による注入法など、どのような方法であって
もよく、封着材収納部に所望の封着材を塗布形成できれ
ばよい。

【００５０】次に画像表示装置に取り付けられた排気管
（不図示）から真空ポンプによって、気密容器内を１０
^ー6Ｔｏｒｒ以下に真空排気する。その後、配線を通して
素子電極間に数Ｖ〜十数Ｖ印加し、前述したフォーミン
グと呼ばれる通電処理を行って電子放出部を形成する。

【００５１】続いて、ホットプレート等によって本画像
表示装置を約１３０℃で加熱し、脱ガスを行う。

【００５２】そして、ゲッター１２を適時拡散させつつ
画像表示装置の排気管（不図示）をガスバーナーで加熱
し、溶着することで気密容器の封止を行う。

【００５３】なお、外枠１１にはゲッター収納部１３か
ら気密容器内に向かってスリット状の隙間が開いてお
り、ゲッターの拡散により、気密容器内部の所定の部位
に、ゲッター物質からなる蒸着膜が形成される。この蒸
着膜により気密容器内部の放出ガスが吸着され、気密容
器内の真空度が維持される。

【００５４】以上説明したように、外枠１１に、ゲッタ
ー収納部１３を形成し、このゲッター収納部１３内にゲ
ッター１２を収納するとともに、ゲッター収納部１３と
気密容器内とを連通するスリット１６を形成すること
で、ゲッター物質の拡散する場所を規制するゲッター拡
散防止板を用いずに、ゲッター物質を気密容器内の所定
の部位に拡散させることができるようになった。その結
果、ゲッター拡散防止板を用いないことにより、部品点
数が少なくなり、製造工程が短縮された。また、ゲッタ
ー拡散防止板を用いないことで、ゲッター拡散防止板に
起因する問題点、例えばゲッター拡散防止板の位置ずれ
もなくなり、歩留りが向上した。

【００５５】さらに、ゲッター１２が外枠１１のゲッタ
ー収納部１３に収納されるので、装置内のスペースが有
効に活用され、装置全体に対する画像面積を大きくする
ことができる。

【００５６】また、外枠１１にゲッター収納部１３を設
けることで、ゲッター位置を厳しく管理しなくても、ゲ
ッター位置決めを容易に行うことができるため、生産性
が向上した。

【００５７】（第２実施例）図５は本発明の画像表示装
置の第２実施例の斜視図である。

【００５８】本実施例では、図５に示すように、外枠３
１内のゲッター収納部３３と、気密容器内との連通手段
として、フェースプレート側に、切り欠き３７を持たせ
た点が、第１実施例と異なる。その他の構成、製造方法
は第１実施例と同様であるので、その説明は省略する。

【００５９】このような構成においては、外枠３１の一
部だけを除いた形であるので、ゲッター３２を拡散させ
た時、ゲッター物質が電子源である電子放出素子３４等
に付着する可能性がさらに低くなる。また、外枠の強度
も大きくなる。

【００６０】（第３実施例）図６は本発明の画像表示装
置の第３実施例を示す図であり、同図（ａ）はその斜視
図、同図（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図である。

【００６１】本実施例では、図６に示すように、外枠４
１内のゲッター収納部４３と、気密容器内との連通手段
として、くりぬき穴４８を持たせた点が第１実施例と異
なる。その他の構成、製造方法は第１実施例と同様であ
るので、その説明は省略する。

【００６２】このような構成においては、くりぬき穴４
８は、図６に示すような円柱に限らず、形、向き、およ
び大きさ等をゲッター４２の特性及び気密容器の大き
さ、形状によって自由に設定し、ゲッター物質が電子放
出素子等に付着しない最良の形、大きさにすることがで
きるため、ゲッター物質が電子源である電子放出素子等
に、より付着しないようになる。また、くりぬき穴４８
は外枠の一部を除いた形であるので、外枠の強度も大き
くなる。

【００６３】なお、本実施例では、ゲッター収納部４３
が１つに対して、くりぬき穴４８を１つ配置している
が、くりぬき穴４８は、１つに限ることなく何個でもよ
い。

【００６４】ところで、上述した各実施例では、ゲッタ
ーとして高周波加熱用リングゲッターを想定して説明し
たが、高周波加熱用ゲッターに限ることなく、線状ゲッ
ターで電流を流すことでゲッターを拡散させるタイプの
ゲッターであってもよく、どのようなゲッターであって
もよい。

【００６５】また、画像表示装置の加熱方法として電気
炉を用いて説明をしているが、特にこれに限定されるも
のではなく、要するに画像表示装置を所望の温度で、所
定の時間加熱できればどのようなものであってもよい。

【００６６】なお、電子源としては、表面伝導型電子放
出素子の他に、熱カソードを用いた熱電子源、電界放出
型電子放出素子（W.P.Dyke & W.W.Dolan,"Field emissi
on",Advance in Electoron Physics,8,89(1956)やC.A.S
pindt,"Physical propertiesof thin-film field emiss
ion cathodes with molybdenum cones",J.Appl.Phys.,4
7,5248(1976) 等）、あるいは金属／絶縁層／金属型電
子放出素子（C.A.Mead,"The tunnel-emission amplifie
r,J.Appl.Phys.,32,648(1961) 等）などが知られてい
る。

【００６７】本発明は前述した表面伝導型電子放出素子
を電子源として用いた画像表示装置に限定されるもので
はなく、上記熱電子源、電界放出型電子放出素子、金属
／絶縁層／金属型電子放出素子を電子源とした画像表示
装置、例えばプラズマディスプレイ、蛍光表示装置な
ど、気密容器によって表示部が構成され、内部が真空に
保たれているその他の表示装置、記録装置においても有
効である。

【００６８】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されている効果を奏する。

【００６９】請求項１に記載のものにおいては、ゲッタ
ーを外枠のゲッター収納部に収納し、ゲッター収納部と
気密容器内とを連通する連通手段を設けることで、ゲッ
ター拡散防止板が不要になるので、部品点数が少なくな
り、製造工程が短縮された。

【００７０】また、ゲッター拡散防止板に起因する問題
点、例えばゲッター拡散防止板の位置ずれもなくなるた
め、歩留りが向上した。

【００７１】さらに、ゲッターを外枠のゲッター収納部
に収納することで、装置全体に対する画像面積を大きく
することができる。また、外枠にゲッター収納部を設け
ることでゲッター位置を厳しく管理する必要がなくな
り、生産性が向上した。

【００７２】請求項２に記載のものにおいては、ゲッタ
ーが気密容器内の放出ガスを吸着し、脱ガスを行うのに
必要な体積を十分に満たすことができる。

【００７３】請求項３に記載のものにおいては、外枠の
一部だけを除いた形であるので、ゲッターを拡散させた
時、ゲッター物質が電子源に付着する可能性がさらに低
くなる。また、外枠の強度も大きくなる。

【００７４】請求項４に記載のものにおいては、くりぬ
き穴は、円柱に限らず、形、向き、および大きさ等をゲ
ッターの特性及び気密容器の大きさ、形状によって自由
に設定し、ゲッター物質が電子源に付着しない最良の
形、大きさにすることができるため、ゲッター物質が電
子源に、より付着しないようになる。また、くりぬき穴
は外枠の一部を除いた形であるので、外枠の強度も大き
くなる。

【００７５】請求項５に記載の方法においては、ゲッタ
ー拡散防止板の取り付け工程がなくなったため、製造工
程が短縮された。また、ゲッターはゲッター収納部に収
納されるので、ゲッターの位置決めが容易になり、ゲッ
ター拡散防止板の位置ずれもないため、生産性、歩留り
が向上した。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の画像表示装置の第１実施例の一部を破
断した斜視図である。

【図２】図１に示した画像表示装置の要部拡大図であ
る。

【図３】電子放出部形成用薄膜を形成する際に用いられ
るマスクの一例を示す平面図である。

【図４】表面伝導型放出素子の典型的な素子構成を示す
図であり、同図（ａ）はその平面図、同図（ｂ）はその
Ａ−Ａ’線断面図である。

【図５】本発明の画像表示装置の第２実施例の斜視図で
ある。

【図６】本発明の画像表示装置の第３実施例を示す図で
あり、同図（ａ）はその斜視図、同図（ｂ）はそのＡ−
Ａ’線断面図である。

【図７】従来の画像表示装置の一例を示す図であり、同
図（ａ）はその上面図、同図（ｂ）はその断面図であ
る。

【符号の説明】

１バックプレート３、３ａ、２３、２３ａ素子電極４、３４電子放出素子５電子通過孔６グリッド７フェースプレート８蛍光体９メタルバック１１、３１、４１外枠１２、３２、４２ゲッター１３、３３、４３ゲッター収納部１５低融点ガラス１６スリット２０マスク２０ａ開口２１絶縁性基板２２薄膜（電子放出部形成用薄膜）２４電子放出部３７切り欠き４８くりぬき穴

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電子ビームを発生する電子源が設けられ
たバックプレートと、前記電子源が発生する電子ビーム
が衝突することにより発光する蛍光体が設けられ、外枠
を介して前記バックプレートと対向配置されることで、
内部が真空に保たれた気密容器を前記バックプートおよ
び前記外枠とともに構成するフェースプレートと、前記
気密容器内の真空度を維持するために前記気密容器内に
拡散されるゲッターとを有する画像表示装置において、前記ゲッターは、前記外枠の内部に形成されたゲッター
収納部に収納され、前記外枠には、前記ゲッター収納部と前記気密容器内を
連通させる連通手段が形成されていることを特徴とする
画像表示装置。
【請求項２】請求項１または２記載の画像表示装置に
おいて、前記連通手段はスリットであることを特徴とする画像表
示装置。
【請求項３】請求項１または２記載の画像表示装置に
おいて、前記連通手段は切り欠きであることを特徴とする画像表
示装置。
【請求項４】請求項１または２記載の画像表示装置に
おいて、前記連通手段はくりぬき穴であることを特徴とする画像
表示装置。