JPH0879892A - Ultrasonic probe - Google Patents
Ultrasonic probeInfo
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- JPH0879892A JPH0879892A JP23414094A JP23414094A JPH0879892A JP H0879892 A JPH0879892 A JP H0879892A JP 23414094 A JP23414094 A JP 23414094A JP 23414094 A JP23414094 A JP 23414094A JP H0879892 A JPH0879892 A JP H0879892A
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- ultrasonic probe
- hydrophobic
- conductive adhesive
- acoustic
- ultrasonic
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、超音波断層像を得てこ
れにより診断を行う探傷または体腔内超音波診断装置に
係わり、より詳しくは送受信用超音波探触子先端部の構
造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flaw detection or intracorporeal ultrasonic diagnostic apparatus for obtaining an ultrasonic tomographic image and diagnosing the ultrasonic tomographic image, and more particularly, to a structure of a transmitting / receiving ultrasonic probe tip.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、超音波探触子は非破壊検査装置や
医療用の超音波診断装置として急速な需要の伸びをみせ
ている。超音波内視鏡の探触子は、超音波振動子から高
周波の音響振動（超音波）を生体中に放射し、反射して
戻ってきた超音波を超音波振動子で受信し、僅かな界面
特性の違いによって異なる情報を処理することで、生体
内部の断面像を得ている。2. Description of the Related Art In recent years, ultrasonic probes have shown rapid growth in demand as non-destructive inspection devices and ultrasonic diagnostic devices for medical use. The probe of the ultrasonic endoscope emits high-frequency acoustic vibration (ultrasonic wave) from the ultrasonic transducer into the living body, receives the reflected and returned ultrasonic wave with the ultrasonic transducer, and receives a slight By processing different information depending on the interface characteristics, a cross-sectional image of the inside of the living body is obtained.
【０００３】超音波振動子は、大別すると圧電素子、音
響整合層、および背面負荷材から構成されている。前記
超音波振動子は、上記圧電素子表面に形成された電極に
高周波の電圧パルスを印加し、圧電素子を共振させて急
速に変形を起こし、超音波パルスを発生させるものであ
る。The ultrasonic vibrator is roughly composed of a piezoelectric element, an acoustic matching layer, and a back load material. The ultrasonic transducer applies a high-frequency voltage pulse to the electrodes formed on the surface of the piezoelectric element, causes the piezoelectric element to resonate, and causes rapid deformation to generate an ultrasonic pulse.
【０００４】ところが、血管用超音波探触子のように高
周波化、小型化が必要なものでは、圧電素子の形状は小
さくなり、厚さも非常に薄くする必要があって、超音波
振動子の実装方法や、結線方法が非常に困難になってき
ているため、当出願人においても、特開平５−３００５
９３号公報所載の技術による対策などを試みている。こ
れは、圧電素子を主とする積層体の下部に板状の支持部
材を設け、駆動軸と接合することにより、小型化を図る
ものである。However, in the case of an ultrasonic probe for blood vessels that requires higher frequency and smaller size, the shape of the piezoelectric element must be small and the thickness must be very thin. Since the mounting method and the wiring method have become very difficult, the applicant of the present invention has also disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. H05-3005.
Attempts are being made to take countermeasures using the technology described in Japanese Patent Publication No. 93. This aims at downsizing by providing a plate-like support member in the lower part of the laminated body mainly composed of piezoelectric elements and joining it to the drive shaft.
【０００５】ここでは、従来から周知の超音波探触子、
特に超音波診断装置用の超音波探触子について、図８〜
図９を用いて具体的に説明する。図８は超音波探触子の
先端部の正面断面図、図９は超音波探触子の先端部をシ
ース中に挿入した状態を示す正面断面図である。Here, a conventionally known ultrasonic probe,
Particularly, regarding an ultrasonic probe for an ultrasonic diagnostic apparatus, FIG.
This will be specifically described with reference to FIG. FIG. 8 is a front sectional view of the tip of the ultrasonic probe, and FIG. 9 is a front sectional view showing a state in which the tip of the ultrasonic probe is inserted into the sheath.
【０００６】表面電極１０７，１０８が設けられた圧電
素子１０５の超音波放射面に、音響整合層１０４が形成
され、反対面には絶縁性の背面制動材１０３が連接さ
れ、振動子部を形成している。この振動子部は、導電性
のハウジング１０６に接着され、表面電極１０７，１０
８は、入出力電極として用いるハウジング１０６，同軸
ケーブル１１３の芯線１１０にそれぞれ導電部材１０９
で接続されている。そして空隙部は、絶縁性の樹脂１１
２で封止・絶縁されている。なお、ハウジング１０６
は、銀ロウ１１４によりフレキシブルシャフト１２４に
接合され、これにより超音波探触子はフレキシブルシャ
フト１２４の軸方向に対して、前後および回転方向に駆
動自在となっている。また、同軸ケーブル１１３はフレ
キシブルシャフト１２４内に挿通され、その周線１１１
は導電部材１０９によりハウジング１０６に接続・固着
されている。An acoustic matching layer 104 is formed on the ultrasonic wave emitting surface of the piezoelectric element 105 provided with the surface electrodes 107 and 108, and an insulating back braking material 103 is connected to the opposite surface to form a vibrator portion. are doing. This vibrator portion is adhered to the conductive housing 106, and the surface electrodes 107, 10
Reference numeral 8 denotes a conductive member 109 for the housing 106 used as an input / output electrode and the core wire 110 of the coaxial cable 113.
Connected by. And the void is made of insulating resin 11
2 is sealed and insulated. The housing 106
Is joined to the flexible shaft 124 by the silver brazing 114, whereby the ultrasonic probe can be driven back and forth and in the rotational direction with respect to the axial direction of the flexible shaft 124. Further, the coaxial cable 113 is inserted into the flexible shaft 124, and its peripheral line 111
Are connected and fixed to the housing 106 by a conductive member 109.
【０００７】このように形成された超音波探触子は、図
９に示すように、流動パラフィン、水、生理食塩水、ゲ
ル状物質などの音響媒体を充満した、ポリエチレンなど
からなるチューブ状のシース１２９に挿入された状態
で、体腔内に挿入される。As shown in FIG. 9, the ultrasonic probe thus formed has a tubular shape made of polyethylene or the like, which is filled with an acoustic medium such as liquid paraffin, water, physiological saline, and a gel substance. It is inserted into the body cavity while being inserted into the sheath 129.
【０００８】なお、導電部材１０９には、銀ロウ、ハン
ダ、導電性接着剤などが用いられることが、一般的であ
るが、前述のように超音波探触子の小型化にともない、
圧電素子の熱による破壊を防止し、微小部分の作業性に
優れる点から導電性接着剤を用いることが多くなってい
る。導電性接着剤としては、特開昭６２−１６１３００
号公報所載のエポキシ系樹脂１００重量部に対し銀粉５
０重量部以上の割合で添加したものなどが一般的であ
る。It is common that silver solder, solder, conductive adhesive or the like is used for the conductive member 109, but with the miniaturization of the ultrasonic probe as described above,
A conductive adhesive is often used because it prevents the piezoelectric element from being destroyed by heat and is excellent in workability of a minute portion. As a conductive adhesive, there is disclosed in JP-A-62-161300.
Silver powder 5 per 100 parts by weight of the epoxy resin described in the publication
It is generally added in a proportion of 0 parts by weight or more.
【０００９】一方最近の技術として、特開平４−１８１
８９６号公報所載の、人体と接触するときの滑り性を得
るとともに、音響レンズの耐薬品性を確保するため、Ｐ
ＴＦＥ粒子を有機バインダーに分散させた塗料で音響レ
ンズをコートするという技術が開示されている。On the other hand, as a recent technique, Japanese Patent Laid-Open No. 4-181
In order to obtain the slipperiness in contact with the human body and the chemical resistance of the acoustic lens described in Japanese Patent No.
A technique of coating an acoustic lens with a paint in which TFE particles are dispersed in an organic binder is disclosed.
【００１０】[0010]
【発明が解決しようとする課題】前述の従来技術によれ
ば、超音波探触子の先端部は音響整合のため、液状また
はゲル状の音響媒体に浸漬されることになる。また、圧
電素子と入出力電極とは導電性接着剤で接続・接合さ
れ、必要に応じその周辺はエポキシ樹脂で封止されてい
る。このような構造においては、超音波探触子を音響媒
体が直接またはエポキシ樹脂の封止層を透過して、導電
性接着剤を膨潤させる現象が発生する。According to the above-mentioned prior art, the tip of the ultrasonic probe is immersed in a liquid or gel acoustic medium for acoustic matching. Further, the piezoelectric element and the input / output electrode are connected and joined with a conductive adhesive, and the periphery thereof is sealed with an epoxy resin if necessary. In such a structure, a phenomenon occurs in which the acoustic medium swells the conductive adhesive directly in the ultrasonic probe or through the epoxy resin sealing layer.
【００１１】導電性接着剤はエポキシ樹脂などの有機樹
脂からなる接着剤の硬化収縮により、接着剤中に添加さ
れている導電性フィラー（銀粉、銅粉など）どうしが接
触して導電性が発現するため、接着剤が膨潤する事によ
り導電性フィラー間の接触が絶たれ、導電性が失われる
か、抵抗が大きくなり特性が悪化するという問題点があ
った。The conductive adhesive is made conductive by the contact between conductive fillers (silver powder, copper powder, etc.) added in the adhesive due to curing shrinkage of the adhesive made of organic resin such as epoxy resin. Therefore, there is a problem that the swelling of the adhesive breaks the contact between the conductive fillers, resulting in a loss of conductivity or an increase in resistance, which deteriorates the characteristics.
【００１２】また、音響媒体の超音波探触子の内部への
侵入は、導電性接着剤の劣化以外にも、背面負荷材や音
響整合層自体の劣化、たとえば剥離や膨潤などの劣化を
も引き起こすという問題点がある。In addition to the deterioration of the conductive adhesive, the penetration of the acoustic medium into the ultrasonic probe may cause deterioration of the back load material and the acoustic matching layer itself, such as deterioration such as peeling and swelling. There is a problem of causing it.
【００１３】さらに、特開平４−１８１８９６号公報所
載の技術は、フッ素樹脂を音響レンズにコートしている
が、音響媒体はコ−トされた音響レンズ以外の部分、た
とえば接着剤層などからも侵入し、劣化を引き起こす。
さらに、上記技術におけるフッ素樹脂は、ＰＴＦＥ粒子
と熱可塑性もしくは熱硬化性樹脂と硬化剤からなるた
め、いかにＰＴＦＥが疎水性であっても、残りの熱可塑
性もしくは熱硬化性樹脂が親水性であれば、実際にはこ
のコート層からも音響媒体が内部に侵入し、特性劣化を
引き起こすこととなる。なお、上記技術には、フッ素樹
脂の具体的な成分の記載はないが、市販品として上げら
れる塗料はいずれもこの問題点を解決するものではな
い。Further, in the technique disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 4-181896, the acoustic resin is coated with a fluororesin, but the acoustic medium is formed from a portion other than the coated acoustic lens, such as an adhesive layer. Also enters and causes deterioration.
Furthermore, since the fluororesin in the above technology comprises PTFE particles, a thermoplastic or thermosetting resin, and a curing agent, no matter how hydrophobic the PTFE is, the remaining thermoplastic or thermosetting resin may be hydrophilic. For example, in reality, the acoustic medium also penetrates into the interior through this coat layer, causing characteristic deterioration. It should be noted that the above technique does not describe specific components of the fluororesin, but none of the commercially available paints solves this problem.
【００１４】本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされ
たもので、請求項１、２、３または４に係る発明の目的
は、シース内に封入された音響媒体が圧電素子の表面電
極と入出力電極との接続部に侵入することを防止して、
特性劣化の生じない超音波探触子を提供することであ
る。請求項２に係る発明の目的は、上記目的に加え、上
記表面電極と入出力電極との接続部を直接的または間接
的に疎水性有機高分子材料で被覆することにより、シー
ス内に封入された音響媒体が圧電素子の表面電極と入出
力電極との接続部に侵入することを二重に防護すること
である。請求項３または請求項４に係る発明の目的は、
上記目的に加え、超音波探触子の耐熱許容範囲を越える
高温硬化による特性劣化を防止することである。The present invention has been made in view of the above conventional problems, and an object of the present invention is to provide an acoustic medium enclosed in a sheath as a surface electrode of a piezoelectric element. Preventing entry into the connection with the input / output electrodes,
An object of the present invention is to provide an ultrasonic probe in which characteristic deterioration does not occur. The object of the invention according to claim 2 is, in addition to the above object, that the connection portion between the surface electrode and the input / output electrode is directly or indirectly covered with a hydrophobic organic polymer material to be enclosed in a sheath. It is to double protect the acoustic medium from invading the connection portion between the surface electrode of the piezoelectric element and the input / output electrode. The object of the invention according to claim 3 or claim 4 is
In addition to the above-mentioned object, it is to prevent characteristic deterioration due to high temperature curing exceeding the heat resistance allowable range of the ultrasonic probe.
【００１５】[0015]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１、２、３または４に係る発明は、音響媒体
を封入したシース内に、先端部を挿入してなる超音波探
触子において、少なくとも先端部を構成する圧電素子の
表面電極と入出力電極とを疎水性の導電性接着剤で接続
してなることを特徴とする。請求項２に係る発明は、上
記手段に加え、前記表面電極と入出力電極とを疎水性の
導電性接着剤にて接続した部位が、直接的または間接的
に疎水性有機高分子材料で被覆してなることを特徴とす
る。請求項３に係る発明は、請求項１または２の手段に
加え、前記疎水性の導電性接着剤は、金粉末、銀粉末、
金属ホウ化物粉末または金属炭化物粉末と、有機系の酸
化珪素化合物または有機系の金属化合物とを含み、１５
０℃以下の温度で硬化してなることを特徴とする。請求
項４に係る発明は、請求項２の手段に加え、前記疎水性
有機高分子材料は、有機系の酸化珪素化合物または有機
系の金属化合物を含み、１５０℃以下の温度で硬化して
なることを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to claim 1, 2, 3 or 4 is an ultrasonic probe in which a tip portion is inserted into a sheath in which an acoustic medium is enclosed. In the tentacle, at least the surface electrode of the piezoelectric element forming the tip portion and the input / output electrode are connected by a hydrophobic conductive adhesive. In the invention according to claim 2, in addition to the above means, a portion where the surface electrode and the input / output electrode are connected by a hydrophobic conductive adhesive is directly or indirectly covered with a hydrophobic organic polymer material. It is characterized by being done. According to a third aspect of the present invention, in addition to the means of the first or second aspect, the hydrophobic conductive adhesive is gold powder, silver powder,
Containing a metal boride powder or a metal carbide powder and an organic silicon oxide compound or an organic metal compound, 15
It is characterized by being cured at a temperature of 0 ° C. or lower. In addition to the means of claim 2, the invention according to claim 4 is characterized in that the hydrophobic organic polymer material contains an organic silicon oxide compound or an organic metal compound and is cured at a temperature of 150 ° C. or lower. It is characterized by
【００１６】[0016]
【作用】請求項１、２、３または４に係る発明の作用で
は、圧電素子の表面電極と入出力電極とを接続する疎水
性の導電性接着剤が、含有する金属粉末により電流を導
通させつつ、侵入する音響媒体を表面で阻止する。請求
項２に係る発明の作用では、上記作用に加え、疎水性の
導電性接着剤で接続した部位を被覆した疎水性有機高分
子材料が、その表面にて音響媒体の侵入を阻止する。さ
らに、超音波ゲルなどのアルカリイオンを含む音響媒体
が疎水性有機高分子材料の皮膜を透過してきた場合も、
疎水性の導電性接着剤の表面で阻止する。請求項３に係
る発明の作用では、請求項１または２に係る発明の作用
に加え、低温硬化の疎水性の導電性接着剤が、超音波探
触子の耐熱許容範囲で硬化し、超音波探触子を正常に機
能させる。請求項４に係る発明の作用では、請求項２に
係る発明の作用に加え、低温硬化の疎水性有機高分子材
料が、超音波探触子の耐熱許容範囲で硬化し、超音波探
触子を正常に機能させる。In the operation of the invention according to claim 1, 2, 3 or 4, the hydrophobic conductive adhesive for connecting the surface electrode of the piezoelectric element and the input / output electrode causes the current to be conducted by the metal powder contained therein. At the same time, it blocks the intruding acoustic medium at the surface. In the operation of the invention according to claim 2, in addition to the above-mentioned operation, the hydrophobic organic polymer material covering the portion connected with the hydrophobic conductive adhesive prevents the acoustic medium from entering the surface. Furthermore, when an acoustic medium containing alkali ions such as ultrasonic gel has penetrated through the film of the hydrophobic organic polymer material,
Block at the surface of the hydrophobic conductive adhesive. In the operation of the invention according to claim 3, in addition to the operation of the invention according to claim 1 or 2, the low temperature curable hydrophobic conductive adhesive cures within the heat resistance allowable range of the ultrasonic probe, Make the transducer work properly. In the operation of the invention according to claim 4, in addition to the operation of the invention according to claim 2, the low-temperature curable hydrophobic organic polymer material is cured within the heat-resistant allowable range of the ultrasonic probe, To function normally.
【００１７】[0017]
【実施例１】図１〜図６は第１実施例を示し、図１は超
音波探触子の正面断面図、図２〜図３は超音波探触子の
振動子部の製造工程を示す斜視図、図４は振動子部の正
面図、図５は振動子部の他の例を示す正面図、図６は超
音波探触子本体の正面断面図である。[Embodiment 1] FIGS. 1 to 6 show a first embodiment, FIG. 1 is a front sectional view of an ultrasonic probe, and FIGS. 2 to 3 show a manufacturing process of a transducer portion of the ultrasonic probe. 4 is a front view of the transducer part, FIG. 5 is a front view showing another example of the transducer part, and FIG. 6 is a front cross-sectional view of the ultrasonic probe body.
【００１８】まず、本実施例の超音波探触子１８Ａの先
端部の構成について、説明する。図１において、１８は
超音波探触子本体を示し、後に詳しく説明するように、
圧電素子５と音響整合層４と背面負荷材１とを積層した
振動子部３を内蔵している。振動子部３は、同軸ケーブ
ル１３からの電圧パルスにより超音波を発信し、シース
内の音響媒体を介して被観測物に向け放射する。被観測
物に当たり反射した超音波（エコー波）は再びシース内
の音響媒体を介して振動子部３に戻る。本実施例では、
この振動子部３を内蔵した超音波探触子本体１８の先端
部全体を、疎水性有機高分子材料の有機珪素化合物で被
覆し、コーティング３１を形成している。このコーティ
ング３１は音響媒体と超音波探触子本体１８とを遮断す
る。First, the structure of the tip of the ultrasonic probe 18A of this embodiment will be described. In FIG. 1, reference numeral 18 denotes an ultrasonic probe main body, which will be described in detail later.
The vibrator unit 3 in which the piezoelectric element 5, the acoustic matching layer 4, and the back load material 1 are laminated is built in. The transducer unit 3 emits ultrasonic waves by the voltage pulse from the coaxial cable 13 and radiates the ultrasonic waves toward the object to be observed through the acoustic medium in the sheath. The ultrasonic wave (echo wave) reflected upon hitting the object to be observed returns to the transducer unit 3 again via the acoustic medium in the sheath. In this embodiment,
The entire tip portion of the ultrasonic probe main body 18 containing the vibrator portion 3 is covered with an organic silicon compound which is a hydrophobic organic polymer material to form a coating 31. The coating 31 blocks the acoustic medium from the ultrasonic probe main body 18.
【００１９】つぎに、超音波探触子１８Ａの製造方法に
ついて説明する。図２において、圧電素子５は、予め板
状圧電セラミックス（ＰＺＴ、ＰＬＺＴ、チタン酸鉛、
メタニオブ酸鉛など）の表裏に表面電極たるＧＮＤ電極
７とプラス電極８を付設し、厚み方向に分極してある。
この場合、圧電素子５は電気的導通を確実にするため、
圧電セラミックスの側面の半ばまで、表面電極を延設し
ている。この圧電素子５のＧＮＤ電極７の側には、エポ
キシ樹脂からなる音響整合層４を重合し、プラス電極８
の側には、タングステンフィラー入りのエポキシ樹脂か
らなる背面負荷材１を接合し、積層体を形成する。つい
で、図３に示すように、矢印４０の位置にて、精密裁断
機で裁断し、図４に示す振動子部３を得る。Next, a method of manufacturing the ultrasonic probe 18A will be described. In FIG. 2, the piezoelectric element 5 is a plate-shaped piezoelectric ceramic (PZT, PLZT, lead titanate,
A GND electrode 7 and a positive electrode 8 which are surface electrodes are attached to the front and back of (lead metaniobate, etc.) and polarized in the thickness direction.
In this case, the piezoelectric element 5 ensures electrical conduction,
The surface electrode is extended to the middle of the side surface of the piezoelectric ceramic. On the GND electrode 7 side of the piezoelectric element 5, the acoustic matching layer 4 made of epoxy resin is polymerized, and the positive electrode 8
The back load material 1 made of an epoxy resin containing a tungsten filler is bonded to the side of the above to form a laminated body. Then, as shown in FIG. 3, a vibrator is cut at a position of an arrow 40 with a precision cutter to obtain the vibrator unit 3 shown in FIG.
【００２０】図５に示す３Ａは、振動子部の他の例で、
高周波化のため圧電セラミックスの厚さを非常に薄くせ
ざるをえない場合に、圧電素子５は入出力電極との接続
を容易にするため、側面の厚さいっぱいにまで表面電極
を延設する。この構造により、導電性の背面負荷材１を
連接すると、表面電極どうしが短絡するので、ＧＮＤ電
極７の端部に接して絶縁性の背面負荷材２を導電性の背
面負荷材１と併設して短絡を避けている。なお、絶縁性
の背面負荷材２はタングステンフィラーを含まないエポ
キシ樹脂で形成する。振動子部５と振動子部５Ａとは、
超音波探触子の設計仕様により選択する。FIG. 3A shows another example of the vibrator section,
When the thickness of the piezoelectric ceramics has to be made extremely thin for higher frequencies, the piezoelectric element 5 has surface electrodes extending to the full thickness of the side surface in order to facilitate connection with the input / output electrodes. . With this structure, when the conductive back load material 1 is connected, the surface electrodes are short-circuited to each other. Therefore, the insulating back load material 2 and the conductive back load material 1 are provided in contact with the end portions of the GND electrode 7. To avoid short circuit. The insulative back load material 2 is formed of an epoxy resin containing no tungsten filler. The vibrator unit 5 and the vibrator unit 5A are
Select according to the ultrasonic probe design specifications.
【００２１】つぎに、図６に示すように、金属パイプを
加工したハウジング６に、予め接着剤にて絶縁板１９を
固着し、振動子部３はその上に接着・固定する。一方、
ハウジング６はフレキシブルシャフト２４と銀ロウ１４
によりロウ付けする。なお、ハウジング６は耐蝕性のあ
るステンレス鋼に無電解ニッケルメッキを施してある。
同軸ケーブル１３はフレキシブルシャフト２４の中を挿
通し、その周線１１をハウジング６に疎水性の導電性接
着剤９にて接続・固着する。ハウジング６は、振動子部
３のＧＮＤ電極７と先端側にて、疎水性の導電性接着剤
９を介して接続する。この際、疎水性の導電性接着剤９
は導電性の背面負荷材１と短絡しないように注意する。
このため予め背面負荷材１の表面にエポキシ樹脂などの
皮膜を付設しておいてもよい。また同軸ケーブル１３の
芯線１０は、導電性の背面負荷材１上にて振動子部３の
プラス電極８と後端側にて、疎水性の導電性接着剤９を
介して接続する。さらに、空隙部には、エポキシ樹脂に
よる封止樹脂１２を充填し、超音波探触子本体１８を得
る。ここで、疎水性の導電性接着剤としては、有機珪素
化合物たるシランカップリング剤ＫＢＭ−５０３（信越
化学工業（株）製）の３％エタノール希釈溶液に、粒径
１〜６μｍの銀を２０ｗｔ％混合したものを用いた。こ
の混合液をディスペンサーで各電極の接続部に塗布し、
１００℃にて１時間乾燥させた。Next, as shown in FIG. 6, the insulating plate 19 is previously fixed to the housing 6 in which the metal pipe is processed with an adhesive, and the vibrator portion 3 is adhered and fixed thereon. on the other hand,
The housing 6 has a flexible shaft 24 and a silver solder 14.
Braze with. The housing 6 is made of corrosion-resistant stainless steel plated with electroless nickel.
The coaxial cable 13 is inserted through the flexible shaft 24, and its peripheral line 11 is connected and fixed to the housing 6 with a hydrophobic conductive adhesive 9. The housing 6 is connected to the GND electrode 7 of the vibrator portion 3 on the tip side via a hydrophobic conductive adhesive 9. At this time, the hydrophobic conductive adhesive 9
Be careful not to short-circuit with the conductive back load material 1.
Therefore, a film such as an epoxy resin may be attached to the surface of the back load material 1 in advance. Further, the core wire 10 of the coaxial cable 13 is connected to the plus electrode 8 of the vibrator portion 3 on the conductive back load material 1 at the rear end side via the hydrophobic conductive adhesive 9. Further, the voids are filled with the sealing resin 12 made of epoxy resin to obtain the ultrasonic probe main body 18. Here, as the hydrophobic conductive adhesive, 20 wt% of silver having a particle diameter of 1 to 6 μm was added to a 3% ethanol diluted solution of a silane coupling agent KBM-503 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) which is an organic silicon compound. % Mixture was used. Apply this mixed solution to the connection part of each electrode with a dispenser,
It was dried at 100 ° C. for 1 hour.
【００２２】この超音波探触子本体１８の先端部を、図
１に示すように、疎水性有機高分子材料である有機珪素
化合物、ここでは疎水性の導電性接着剤の母材と同一の
シランカップリング剤ＫＢＭ−５０３（信越化学工業
（株）製）の３％エタノール希釈液に浸漬（ディッピン
グ）し、引き上げた後、１００℃にて、１時間乾燥させ
ることにより、コ−ティング３１を形成し、超音波探触
子１８Ａを完成させる。As shown in FIG. 1, the tip portion of the ultrasonic probe main body 18 is the same as the base material of an organic silicon compound, which is a hydrophobic organic polymer material, here a hydrophobic conductive adhesive. The coating 31 is dipped in a 3% ethanol diluted solution of a silane coupling agent KBM-503 (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), pulled up, and then dried at 100 ° C. for 1 hour to obtain the coating 31. Then, the ultrasonic probe 18A is completed.
【００２３】本実施例の作用について説明する。超音波
探触子１８Ａの先端部の全面に、有機珪素化合物のコー
ティング３１を設けたので、音響媒体が超音波探触子の
内部に侵入することを防止する。それ故、音響媒体の内
の、アルカリイオンを含む生理食塩水や超音波ゲルなど
が、エポキシ樹脂の封止層１２を透過して、圧電素子の
母体のＰＺＴ、ＰＬＺＴ、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛
などのセラミックスや電極を侵食することはない。さら
に、電極間の接続に疎水性の導電性接着剤９を用いてい
るので、コーティング３１および封止樹脂１２を透過し
た音響媒体があっても疎水性の導電性接着剤による接続
部がその表面で阻止し特性劣化を二重に防護している。The operation of this embodiment will be described. Since the coating 31 of the organosilicon compound is provided on the entire surface of the tip of the ultrasonic probe 18A, the acoustic medium is prevented from entering the inside of the ultrasonic probe. Therefore, in the acoustic medium, a physiological saline solution containing an alkali ion, an ultrasonic gel, or the like permeates the sealing layer 12 made of an epoxy resin to form PZT, PLZT, lead titanate, or metaniobate of the matrix of the piezoelectric element. It does not corrode ceramics such as lead or electrodes. Furthermore, since the hydrophobic conductive adhesive 9 is used for the connection between the electrodes, even if there is an acoustic medium that has permeated the coating 31 and the sealing resin 12, the connection portion made of the hydrophobic conductive adhesive has its surface. To prevent double deterioration of characteristics.
【００２４】本実施例の効果について説明する。上記構
成により電極間の接続部への音響媒体の侵入を二重に防
護しているので、音響媒体による特性劣化がなく、小型
で耐久性の高い、高性能の超音波探触子を得ることがで
きる。また、超音波探触子の先端部の全体を、有機珪素
化合物のコーティング３１で覆うため、圧電素子などの
材料劣化を防止する。さらに、疎水性の導電性接着剤に
よる電極間の接続部の上をエポキシ樹脂で封止している
ので、シース接触による欠落などの機械的強度の不良を
防止する。The effect of this embodiment will be described. Since the above configuration double protects the acoustic medium from penetrating into the connection portion between the electrodes, it is possible to obtain a high-performance ultrasonic probe that is small in size, has high durability, and does not deteriorate in characteristics due to the acoustic medium. You can Further, since the entire tip portion of the ultrasonic probe is covered with the coating 31 of the organic silicon compound, deterioration of the material such as the piezoelectric element is prevented. Further, since the connection between the electrodes made of the hydrophobic conductive adhesive is sealed with the epoxy resin, it is possible to prevent the mechanical strength from being defective due to the contact with the sheath.
【００２５】本実施例の変形例について説明する。本実
施例では、疎水性の導電性接着剤の母材にシランカップ
リング剤を用いたが、これに限らず疎水性材料であれば
よく、有機珪素化合物では、テトライソシアネートシラ
ン（Ｓi(ＮＣＯ)4）のエタノール希釈液、アルコキシシ
ラン（Ｓi(ＯＲ)4）、有機金属化合物では、ＮＴ−Ｌ２
００３（日産化学工業（株）製）、アドバンスドハード
コート（東燃（株）製）なども有効である。A modified example of this embodiment will be described. In this embodiment, the silane coupling agent is used as the base material of the hydrophobic conductive adhesive, but the present invention is not limited to this, and any hydrophobic material may be used. For the organosilicon compound, tetraisocyanate silane (Si (NCO)) is used. 4 ) ethanol diluted solution, alkoxysilane (Si (OR) 4 ), organometallic compound, NT-L2
003 (manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd.) and advanced hard coat (manufactured by Tonen Corporation) are also effective.
【００２６】さらに、疎水性材料として、有機珪素化合
物では、シリルイソシアネート化合物、クロロシラン化
合物、ペルヒドロポリシラザンなどがあり、珪素を除く
有機金属化合物では、アルミニウムアルコレート化合
物、アルミニウムキレート化合物、環状アルミニウムオ
リゴマー、アルミナゾル、チタネート化合物、Ｚｒアル
コレート化合物などを用いることができる。ただし、溶
剤可溶型の疎水性材料においては、希釈用溶媒には可溶
でありながら、液状またはゲル状の音響媒体には不溶で
あることが必要であり、具体的には水、整理食塩水など
の水溶液、およびアルコール系溶液などに不溶であるこ
とが必要である。Further, as the hydrophobic material, organosilicon compounds include silylisocyanate compounds, chlorosilane compounds, perhydropolysilazanes, etc., and organometallic compounds other than silicon include aluminum alcoholate compounds, aluminum chelate compounds, cyclic aluminum oligomers, Alumina sol, titanate compounds, Zr alcoholate compounds and the like can be used. However, a solvent-soluble hydrophobic material needs to be soluble in a diluent solvent but insoluble in a liquid or gel acoustic medium. It must be insoluble in aqueous solutions such as water, alcoholic solutions, and the like.
【００２７】また、前記希釈用溶媒の沸点はあまり高く
ないものが良く、１５０℃以下、好ましくは１００℃以
下で乾燥できることが望ましい。さらに、前記疎水性材
料は、防湿防水性が高いが、水以外の音響媒体では必ず
しも全ての音響媒体の透過を阻止できないため、水以外
の音響媒体を透過しにくい材料を選択して用いることに
より、所望の音響媒体を使用することができる。なお、
コ−ティング３１に用いられる疎水性材料についても、
上述した疎水性材料および希釈用溶媒がそのまま適用す
ることができる。しかしながら、コーティング３１に用
いる場合、上述した疎水性材料における音響媒体の透過
量は２０℃環境下で０．０５ｇ／cm2 ・２４時間以下、
好ましくは０．００２ｇ／cm2 ・２４時間以下が望まし
い。The boiling point of the diluent solvent is not so high, and it is desirable that the solvent can be dried at 150 ° C. or lower, preferably 100 ° C. or lower. Further, the hydrophobic material has high moisture-proof and waterproof property, but since it is not possible to prevent the transmission of all acoustic media in acoustic media other than water, it is possible to select and use a material that does not easily penetrate acoustic media other than water. , Any desired acoustic medium can be used. In addition,
Regarding the hydrophobic material used for the coating 31,
The above-mentioned hydrophobic material and diluent solvent can be applied as they are. However, when used for the coating 31, the transmission amount of the acoustic medium in the above-mentioned hydrophobic material is 0.05 g / cm 2 · 24 hours or less under an environment of 20 ° C.
It is preferably 0.002 g / cm 2 · 24 hours or less.
【００２８】本実施例では、疎水性の導電性接着剤に含
有される導電性材料に銀粉末をもちいたが、これに限ら
ず導電性を有する粉末であればよく、金粉末や、金属ホ
ウ化物粉末では、ホウ化チタン粉ＴｉＢ2 −ＰＯ，Ｔｉ
Ｂ2 −ＰＦ、ホウ化ジルコニウム粉ＺｒＢ2 −Ｏ，Ｚｒ
Ｂ2 −Ｆ（いづれも日本新金属（株）製）、金属炭化物
粉末では、チタンカーバイト粉ＴｉＣ−０１、窒化チタ
ン粉ＴｉＮ−０１（いづれも日本新金属（株）製）など
も有効である。In the present embodiment, silver powder was used as the conductive material contained in the hydrophobic conductive adhesive, but the conductive material is not limited to this, and any conductive powder may be used, such as gold powder or metal powder. In the oxide powder, titanium boride powder TiB 2 -PO, Ti
B 2 -PF, zirconium boride powder ZrB 2 -O, Zr
B 2 -F (Izure manufactured by Japan New Metals Co., Ltd. (stock) as well), in the metal carbide powder, titanium carbide powder TiC-01, titanium nitride powder TiN-01 (manufactured by Izure also Japan New Metals Co., Ltd.) and the like is also effective is there.
【００２９】母材の疎水性材料への、導電性材料の含有
量は、５〜３０ｗｔ％が望ましい。５％では導電性が充
分得られず、３０％を越えると成形が困難となる。ま
た、粒径は粒子の表面積を稼いで導電性を向上させ、且
つ疎水性材料中での分散性を高めるため、１〜６μｍが
最適である。The content of the conductive material in the hydrophobic material of the base material is preferably 5 to 30 wt%. If it is 5%, sufficient conductivity cannot be obtained, and if it exceeds 30%, molding becomes difficult. In addition, the particle size is optimally 1 to 6 μm in order to increase the surface area of the particles, improve conductivity, and enhance dispersibility in the hydrophobic material.
【００３０】本実施例では、疎水性の導電性接着剤をデ
ィスペンサーで塗布したが、刷毛塗りも有効である。ま
た、本実施例では、同軸ケーブル１３の周線１１をハウ
ジング６に疎水性の導電性接着剤にて接続・固着してい
るが、金属どうしの接続であるため、ハンダづけしても
よい。さらに、本実施例では、超音波探触子１８Ａの先
端部の全面に、疎水性有機高分子材料のコーティング３
１を設けているが、振動子部３を構成する部材（圧電素
子の表面電極と入出力電極の接続部を除く）が音響媒体
に侵されない場合には、コーティング３１を省くことが
できる。In this embodiment, the hydrophobic conductive adhesive was applied by the dispenser, but brush application is also effective. Further, in this embodiment, the peripheral line 11 of the coaxial cable 13 is connected and fixed to the housing 6 with a hydrophobic conductive adhesive, but since the connections are made of metal, they may be soldered. Further, in this embodiment, the coating 3 of the hydrophobic organic polymer material is applied to the entire surface of the tip of the ultrasonic probe 18A.
1 is provided, but the coating 31 can be omitted when the members (excluding the connecting portion between the surface electrode of the piezoelectric element and the input / output electrode) forming the vibrator portion 3 are not invaded by the acoustic medium.
【００３１】[0031]
【実施例２】図７は第２実施例を示し、超音波探触子の
正面断面図である。図７において、３Ａは振動子部を示
し、第１実施例にて示した振動子部の他の例に相当す
る。ただし、エポキシ樹脂からなる音響整合層４に替え
て、アルミナ平板からなる音響整合層４Ａを圧電素子５
のＧＮＤ電極７上にエポキシ樹脂にて接着している。ま
た、第１実施例では、超音波探触子本体１８を疎水性有
機高分子材料のコーティング３１で被覆したが、本実施
例ではコーティング３１はなく、電極間を疎水性の導電
性接着剤にて接続した部位の周囲の空隙に、封止を兼ね
て疎水性有機高分子材料をディスペンサーで充填・固化
し封止部１５を形成している。以上の外、超音波探触子
１８Ｂの構造、製造方法および使用材料は第１実施例お
よびその変形例と同一のため同一の部材には同一の符号
を付し、説明を省略する。Second Embodiment FIG. 7 shows a second embodiment and is a front sectional view of an ultrasonic probe. In FIG. 7, reference numeral 3A denotes a vibrator portion, which corresponds to another example of the vibrator portion shown in the first embodiment. However, instead of the acoustic matching layer 4 made of epoxy resin, the acoustic matching layer 4A made of an alumina flat plate is used as the piezoelectric element 5.
It is adhered to the GND electrode 7 of No. 2 by an epoxy resin. Further, in the first embodiment, the ultrasonic probe main body 18 is covered with the coating 31 of the hydrophobic organic polymer material, but in the present embodiment, the coating 31 is not provided, and a hydrophobic conductive adhesive is used between the electrodes. The hydrophobic organic polymer material is filled and solidified with a dispenser in a space around the connected portion to form a sealing portion 15 also for sealing. In addition to the above, the structure, manufacturing method, and used material of the ultrasonic probe 18B are the same as those of the first embodiment and its modification, and therefore, the same members are designated by the same reference numerals and the description thereof is omitted.
【００３２】本実施例の作用について説明する。超音波
探触子１８Ｂの疎水性有機高分子材料からなる封止部１
５の部分以外のところは、金属製のハウジング６とアル
ミナ平板の音響整合層４Ａであるが、音響媒体の内、ア
ルカリイオンを含む整理食塩水および超音波ゲル以外の
もの、たとえば、流動パラフィン、水、アルコール溶液
などを使う場合には、それによってこの部分が侵食され
ることはない。また、封止部１５の部分は疎水性有機高
分子材料からなり、音響媒体が超音波探触子１８Ｂの内
部に侵入するのを阻止する。さらに、電極間の接続には
疎水性の導電性接着剤を用いた結果、同一の疎水性材料
が重なるので、結合を強固にし、音響媒体の侵入を二重
に阻止する。The operation of this embodiment will be described. Sealing portion 1 made of hydrophobic organic polymer material for ultrasonic probe 18B
Except for the portion 5, there is a metal housing 6 and an acoustic matching layer 4A of an alumina flat plate, but among acoustic media, other than the saline solution containing alkali ions and ultrasonic gel, for example, liquid paraffin, If water or alcohol solution is used, this part will not be eroded. The sealing portion 15 is made of a hydrophobic organic polymer material and prevents the acoustic medium from entering the inside of the ultrasonic probe 18B. Furthermore, as a result of using a hydrophobic conductive adhesive for the connection between the electrodes, the same hydrophobic material overlaps, strengthening the bond and preventing the intrusion of the acoustic medium doubly.
【００３３】本実施例の効果について説明する。音響媒
体の種類を限定する場合において、上記構成により電極
間の接続部への音響媒体の侵入を二重に防護しているの
で、音響媒体による特性劣化がなく、小型で耐久性の高
い、高性能の超音波探触子を得ることができる。さら
に、電極間の接続部には、同一の疎水性材料が重なるの
で、結合を強固にし、応力による剥がれなどを防止でき
る。また、音響放射面には、コーティングを施さないた
め、音響特性を考慮せずに厚く成膜することができる。The effect of this embodiment will be described. In the case of limiting the type of acoustic medium, the above configuration double protects the invasion of the acoustic medium into the connection part between the electrodes, so there is no characteristic deterioration due to the acoustic medium, and it is compact and highly durable. A high performance ultrasonic probe can be obtained. Further, since the same hydrophobic material overlaps the connection portion between the electrodes, the bond can be strengthened and peeling due to stress can be prevented. Further, since the acoustic radiation surface is not coated, a thick film can be formed without considering acoustic characteristics.
【００３４】本実施例の変形例について説明する。本実
施例では、音響整合層にアルミナ平板を用い、音響媒体
にアルカリイオンを含まないものを使用するなどの制限
をしているが、音響整合層にエポキシ樹脂を用いて、そ
の上部も疎水性有機高分子材料にて被覆するようにして
もよい。この場合は音響媒体を特に制限する必要はなく
なる。また、音響整合層はアルミナ平板のまま、上記と
同一構造にしてもよいのは勿論である。A modification of this embodiment will be described. In this embodiment, the acoustic matching layer is made of an alumina flat plate, and the acoustic medium does not contain alkali ions. However, the acoustic matching layer is made of epoxy resin, and the upper part of the acoustic matching layer is made hydrophobic. It may be coated with an organic polymer material. In this case, it is not necessary to limit the acoustic medium. The acoustic matching layer may of course have the same structure as the above, with the flat alumina plate.
【００３５】[0035]
【発明の効果】請求項１〜４に係る発明によれば、シー
ス内に封入された音響媒体が圧電素子の表面電極と入出
力電極との接続部に侵入することを防止して、特性劣化
の生じない超音波探触子を提供することができる。請求
項２に係る発明によれば、上記効果に加え、上記表面電
極と入出力電極との接続部を直接的または間接的に疎水
性有機高分子材料で被覆することにより、シース内に封
入された音響媒体が圧電素子の表面電極と入出力電極と
の接続部に侵入することを二重に防護することができ
る。請求項３〜４に係る発明によれば、上記効果に加
え、超音波探触子の耐熱許容範囲を越える高温硬化によ
る特性劣化を防止することができる。According to the first to fourth aspects of the present invention, the acoustic medium enclosed in the sheath is prevented from invading the connection portion between the surface electrode of the piezoelectric element and the input / output electrode, and the characteristics are deteriorated. It is possible to provide an ultrasonic probe that does not generate According to the second aspect of the present invention, in addition to the above effects, the connection portion between the surface electrode and the input / output electrode is directly or indirectly covered with the hydrophobic organic polymer material to be enclosed in the sheath. It is possible to doubly protect the acoustic medium from invading the connection portion between the surface electrode of the piezoelectric element and the input / output electrode. According to the inventions according to claims 3 to 4, in addition to the above effects, it is possible to prevent characteristic deterioration due to high temperature curing exceeding the allowable heat resistance range of the ultrasonic probe.
【図１】実施例１の超音波探触子を示す正面断面図であ
る。FIG. 1 is a front sectional view showing an ultrasonic probe according to a first embodiment.
【図２】実施例１の振動子部の製造工程を示す斜視図で
ある。FIG. 2 is a perspective view showing a manufacturing process of the vibrator unit according to the first embodiment.
【図３】実施例１の振動子部の製造工程を示す斜視図で
ある。FIG. 3 is a perspective view showing a manufacturing process of the vibrator unit according to the first embodiment.
【図４】実施例１の振動子部を示す正面図である。FIG. 4 is a front view showing a vibrator unit according to the first embodiment.
【図５】実施例１の振動子部他の例を示す正面図であ
る。FIG. 5 is a front view showing another example of the vibrator portion of the first embodiment.
【図６】実施例１の超音波探触子本体を示す正面断面図
である。FIG. 6 is a front cross-sectional view showing the ultrasonic probe main body of the first embodiment.
【図７】実施例２の超音波探触子を示す正面断面図であ
る。FIG. 7 is a front sectional view showing an ultrasonic probe according to a second embodiment.
【図８】従来の超音波探触子を示す正面断面図である。FIG. 8 is a front sectional view showing a conventional ultrasonic probe.
【図９】従来の超音波探触子をシース中に挿入した状態
を示す正面断面図である。FIG. 9 is a front sectional view showing a state in which a conventional ultrasonic probe is inserted into a sheath.
１ 背面負荷材（導電性） ２ 背面負荷材（絶縁性） ３ 振動子部 ４ 音響整合層 ５ 圧電素子 ６ ハウジング ７ ＧＮＤ電極 ８ プラス電極 ９ 疎水性の導電性接着剤 １０ 芯線 １１ 周線 １２ 封止樹脂 １３ 同軸ケーブル １４ 銀ロウ １８ 超音波探触子本体 １９ 絶縁板 ２４ フレキシブルシャフト ３１ コーティング 1 Back Load Material (Conductive) 2 Back Load Material (Insulating) 3 Transducer Section 4 Acoustic Matching Layer 5 Piezoelectric Element 6 Housing 7 GND Electrode 8 Positive Electrode 9 Hydrophobic Conductive Adhesive 10 Core Wire 11 Circumference 12 Sealing Resin 13 Coaxial cable 14 Silver braze 18 Ultrasonic probe body 19 Insulation plate 24 Flexible shaft 31 Coating
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ▲ひじ▼野 雅道 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 (72)発明者 志賀 直仁 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 (72)発明者 沢田 之彦 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 (72)発明者 若林 勝裕 東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号 オリ ンパス光学工業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor ▲ Hiji ▼ Masaido 2-43-2 Hatagaya, Shibuya-ku, Tokyo Inside Olympus Optical Co., Ltd. (72) Inventor Naoto Shiga 2-43 Hatagaya, Shibuya-ku, Tokyo No. 2 Olympus Optical Co., Ltd. (72) Inventor Norihiko Sawada 2-43, Hatagaya, Shibuya-ku, Tokyo No. 43-2 Olympus Optical Co., Ltd. (72) Inventor Katsuhiro Wakabayashi 2-chome Hatagaya, Shibuya-ku, Tokyo No. 43-2 Olympus Optical Co., Ltd.
Claims (4)
を挿入してなる超音波探触子において、 少なくとも先端部を構成する圧電素子の表面電極と入出
力電極とを疎水性の導電性接着剤で接続してなることを
特徴とする超音波探触子。1. An ultrasonic probe in which a tip portion is inserted into a sheath that encloses an acoustic medium, wherein at least a surface electrode and an input / output electrode of a piezoelectric element forming the tip portion are made of a hydrophobic conductive material. An ultrasonic probe characterized by being connected with an adhesive.
導電性接着剤にて接続した部位が、直接的または間接的
に疎水性有機高分子材料で被覆してなることを特徴とす
る請求項１記載の超音波探触子。2. A portion where the surface electrode and the input / output electrode are connected by a hydrophobic conductive adhesive is directly or indirectly coated with a hydrophobic organic polymer material. The ultrasonic probe according to claim 1.
銀粉末、金属ホウ化物粉末または金属炭化物粉末と、有
機系の酸化珪素化合物または有機系の金属化合物とを含
み、１５０℃以下の温度で硬化してなることを特徴とす
る請求項１または請求項２記載の超音波探触子。3. The hydrophobic conductive adhesive is gold powder,
A silver powder, a metal boride powder or a metal carbide powder, and an organic silicon oxide compound or an organic metal compound, which are cured at a temperature of 150 ° C. or lower. 2. The ultrasonic probe described in 2.
酸化珪素化合物または有機系の金属化合物を含み、１５
０℃以下の温度で硬化してなることを特徴とする請求項
２記載の超音波探触子。4. The hydrophobic organic polymer material contains an organic silicon oxide compound or an organic metal compound, 15
The ultrasonic probe according to claim 2, wherein the ultrasonic probe is cured at a temperature of 0 ° C. or lower.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23414094A JPH0879892A (en) | 1994-09-02 | 1994-09-02 | Ultrasonic probe |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23414094A JPH0879892A (en) | 1994-09-02 | 1994-09-02 | Ultrasonic probe |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0879892A true JPH0879892A (en) | 1996-03-22 |
Family
ID=16966275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23414094A Pending JPH0879892A (en) | 1994-09-02 | 1994-09-02 | Ultrasonic probe |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0879892A (en) |
Cited By (5)
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-
1994
- 1994-09-02 JP JP23414094A patent/JPH0879892A/en active Pending
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