JPH0879892A

JPH0879892A - 超音波探触子

Info

Publication number: JPH0879892A
Application number: JP23414094A
Authority: JP
Inventors: Takae Hayashi; 孝枝林; Daisuke Matsuo; 大介松尾; Hiroaki Kasai; 広明葛西; 雅道 ▲ひじ▼野; Masamichi Hijino; Naohito Shiga; 直仁志賀; Yukihiko Sawada; 之彦沢田; Katsuhiro Wakabayashi; 勝裕若林
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 1994-09-02
Filing date: 1994-09-02
Publication date: 1996-03-22

Abstract

(57)【要約】【目的】シース内に封入された音響媒体が圧電素子の
電極と入出力電極との接続部に侵入することを防止し
て、特性劣化の生じない超音波探触子を提供する。【構成】音響媒体を封入したシース内に、先端部１８
を挿入してなる超音波探触子１８Ａにおいて、少なくと
も先端部１８を構成する圧電素子５の表面電極７、８と
入出力電極６、１０とを疎水性の導電性接着剤９で接続
している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波断層像を得てこ
れにより診断を行う探傷または体腔内超音波診断装置に
係わり、より詳しくは送受信用超音波探触子先端部の構
造に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、超音波探触子は非破壊検査装置や
医療用の超音波診断装置として急速な需要の伸びをみせ
ている。超音波内視鏡の探触子は、超音波振動子から高
周波の音響振動（超音波）を生体中に放射し、反射して
戻ってきた超音波を超音波振動子で受信し、僅かな界面
特性の違いによって異なる情報を処理することで、生体
内部の断面像を得ている。

【０００３】超音波振動子は、大別すると圧電素子、音
響整合層、および背面負荷材から構成されている。前記
超音波振動子は、上記圧電素子表面に形成された電極に
高周波の電圧パルスを印加し、圧電素子を共振させて急
速に変形を起こし、超音波パルスを発生させるものであ
る。

【０００４】ところが、血管用超音波探触子のように高
周波化、小型化が必要なものでは、圧電素子の形状は小
さくなり、厚さも非常に薄くする必要があって、超音波
振動子の実装方法や、結線方法が非常に困難になってき
ているため、当出願人においても、特開平５−３００５
９３号公報所載の技術による対策などを試みている。こ
れは、圧電素子を主とする積層体の下部に板状の支持部
材を設け、駆動軸と接合することにより、小型化を図る
ものである。

【０００５】ここでは、従来から周知の超音波探触子、
特に超音波診断装置用の超音波探触子について、図８〜
図９を用いて具体的に説明する。図８は超音波探触子の
先端部の正面断面図、図９は超音波探触子の先端部をシ
ース中に挿入した状態を示す正面断面図である。

【０００６】表面電極１０７，１０８が設けられた圧電
素子１０５の超音波放射面に、音響整合層１０４が形成
され、反対面には絶縁性の背面制動材１０３が連接さ
れ、振動子部を形成している。この振動子部は、導電性
のハウジング１０６に接着され、表面電極１０７，１０
８は、入出力電極として用いるハウジング１０６，同軸
ケーブル１１３の芯線１１０にそれぞれ導電部材１０９
で接続されている。そして空隙部は、絶縁性の樹脂１１
２で封止・絶縁されている。なお、ハウジング１０６
は、銀ロウ１１４によりフレキシブルシャフト１２４に
接合され、これにより超音波探触子はフレキシブルシャ
フト１２４の軸方向に対して、前後および回転方向に駆
動自在となっている。また、同軸ケーブル１１３はフレ
キシブルシャフト１２４内に挿通され、その周線１１１
は導電部材１０９によりハウジング１０６に接続・固着
されている。

【０００７】このように形成された超音波探触子は、図
９に示すように、流動パラフィン、水、生理食塩水、ゲ
ル状物質などの音響媒体を充満した、ポリエチレンなど
からなるチューブ状のシース１２９に挿入された状態
で、体腔内に挿入される。

【０００８】なお、導電部材１０９には、銀ロウ、ハン
ダ、導電性接着剤などが用いられることが、一般的であ
るが、前述のように超音波探触子の小型化にともない、
圧電素子の熱による破壊を防止し、微小部分の作業性に
優れる点から導電性接着剤を用いることが多くなってい
る。導電性接着剤としては、特開昭６２−１６１３００
号公報所載のエポキシ系樹脂１００重量部に対し銀粉５
０重量部以上の割合で添加したものなどが一般的であ
る。

【０００９】一方最近の技術として、特開平４−１８１
８９６号公報所載の、人体と接触するときの滑り性を得
るとともに、音響レンズの耐薬品性を確保するため、Ｐ
ＴＦＥ粒子を有機バインダーに分散させた塗料で音響レ
ンズをコートするという技術が開示されている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】前述の従来技術によれ
ば、超音波探触子の先端部は音響整合のため、液状また
はゲル状の音響媒体に浸漬されることになる。また、圧
電素子と入出力電極とは導電性接着剤で接続・接合さ
れ、必要に応じその周辺はエポキシ樹脂で封止されてい
る。このような構造においては、超音波探触子を音響媒
体が直接またはエポキシ樹脂の封止層を透過して、導電
性接着剤を膨潤させる現象が発生する。

【００１１】導電性接着剤はエポキシ樹脂などの有機樹
脂からなる接着剤の硬化収縮により、接着剤中に添加さ
れている導電性フィラー（銀粉、銅粉など）どうしが接
触して導電性が発現するため、接着剤が膨潤する事によ
り導電性フィラー間の接触が絶たれ、導電性が失われる
か、抵抗が大きくなり特性が悪化するという問題点があ
った。

【００１２】また、音響媒体の超音波探触子の内部への
侵入は、導電性接着剤の劣化以外にも、背面負荷材や音
響整合層自体の劣化、たとえば剥離や膨潤などの劣化を
も引き起こすという問題点がある。

【００１３】さらに、特開平４−１８１８９６号公報所
載の技術は、フッ素樹脂を音響レンズにコートしている
が、音響媒体はコ−トされた音響レンズ以外の部分、た
とえば接着剤層などからも侵入し、劣化を引き起こす。
さらに、上記技術におけるフッ素樹脂は、ＰＴＦＥ粒子
と熱可塑性もしくは熱硬化性樹脂と硬化剤からなるた
め、いかにＰＴＦＥが疎水性であっても、残りの熱可塑
性もしくは熱硬化性樹脂が親水性であれば、実際にはこ
のコート層からも音響媒体が内部に侵入し、特性劣化を
引き起こすこととなる。なお、上記技術には、フッ素樹
脂の具体的な成分の記載はないが、市販品として上げら
れる塗料はいずれもこの問題点を解決するものではな
い。

【００１４】本発明は上記従来の問題点に鑑みてなされ
たもので、請求項１、２、３または４に係る発明の目的
は、シース内に封入された音響媒体が圧電素子の表面電
極と入出力電極との接続部に侵入することを防止して、
特性劣化の生じない超音波探触子を提供することであ
る。請求項２に係る発明の目的は、上記目的に加え、上
記表面電極と入出力電極との接続部を直接的または間接
的に疎水性有機高分子材料で被覆することにより、シー
ス内に封入された音響媒体が圧電素子の表面電極と入出
力電極との接続部に侵入することを二重に防護すること
である。請求項３または請求項４に係る発明の目的は、
上記目的に加え、超音波探触子の耐熱許容範囲を越える
高温硬化による特性劣化を防止することである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１、２、３または４に係る発明は、音響媒体
を封入したシース内に、先端部を挿入してなる超音波探
触子において、少なくとも先端部を構成する圧電素子の
表面電極と入出力電極とを疎水性の導電性接着剤で接続
してなることを特徴とする。請求項２に係る発明は、上
記手段に加え、前記表面電極と入出力電極とを疎水性の
導電性接着剤にて接続した部位が、直接的または間接的
に疎水性有機高分子材料で被覆してなることを特徴とす
る。請求項３に係る発明は、請求項１または２の手段に
加え、前記疎水性の導電性接着剤は、金粉末、銀粉末、
金属ホウ化物粉末または金属炭化物粉末と、有機系の酸
化珪素化合物または有機系の金属化合物とを含み、１５
０℃以下の温度で硬化してなることを特徴とする。請求
項４に係る発明は、請求項２の手段に加え、前記疎水性
有機高分子材料は、有機系の酸化珪素化合物または有機
系の金属化合物を含み、１５０℃以下の温度で硬化して
なることを特徴とする。

【００１６】

【作用】請求項１、２、３または４に係る発明の作用で
は、圧電素子の表面電極と入出力電極とを接続する疎水
性の導電性接着剤が、含有する金属粉末により電流を導
通させつつ、侵入する音響媒体を表面で阻止する。請求
項２に係る発明の作用では、上記作用に加え、疎水性の
導電性接着剤で接続した部位を被覆した疎水性有機高分
子材料が、その表面にて音響媒体の侵入を阻止する。さ
らに、超音波ゲルなどのアルカリイオンを含む音響媒体
が疎水性有機高分子材料の皮膜を透過してきた場合も、
疎水性の導電性接着剤の表面で阻止する。請求項３に係
る発明の作用では、請求項１または２に係る発明の作用
に加え、低温硬化の疎水性の導電性接着剤が、超音波探
触子の耐熱許容範囲で硬化し、超音波探触子を正常に機
能させる。請求項４に係る発明の作用では、請求項２に
係る発明の作用に加え、低温硬化の疎水性有機高分子材
料が、超音波探触子の耐熱許容範囲で硬化し、超音波探
触子を正常に機能させる。

【００１７】

【実施例１】図１〜図６は第１実施例を示し、図１は超
音波探触子の正面断面図、図２〜図３は超音波探触子の
振動子部の製造工程を示す斜視図、図４は振動子部の正
面図、図５は振動子部の他の例を示す正面図、図６は超
音波探触子本体の正面断面図である。

【００１８】まず、本実施例の超音波探触子１８Ａの先
端部の構成について、説明する。図１において、１８は
超音波探触子本体を示し、後に詳しく説明するように、
圧電素子５と音響整合層４と背面負荷材１とを積層した
振動子部３を内蔵している。振動子部３は、同軸ケーブ
ル１３からの電圧パルスにより超音波を発信し、シース
内の音響媒体を介して被観測物に向け放射する。被観測
物に当たり反射した超音波（エコー波）は再びシース内
の音響媒体を介して振動子部３に戻る。本実施例では、
この振動子部３を内蔵した超音波探触子本体１８の先端
部全体を、疎水性有機高分子材料の有機珪素化合物で被
覆し、コーティング３１を形成している。このコーティ
ング３１は音響媒体と超音波探触子本体１８とを遮断す
る。

【００１９】つぎに、超音波探触子１８Ａの製造方法に
ついて説明する。図２において、圧電素子５は、予め板
状圧電セラミックス（ＰＺＴ、ＰＬＺＴ、チタン酸鉛、
メタニオブ酸鉛など）の表裏に表面電極たるＧＮＤ電極
７とプラス電極８を付設し、厚み方向に分極してある。
この場合、圧電素子５は電気的導通を確実にするため、
圧電セラミックスの側面の半ばまで、表面電極を延設し
ている。この圧電素子５のＧＮＤ電極７の側には、エポ
キシ樹脂からなる音響整合層４を重合し、プラス電極８
の側には、タングステンフィラー入りのエポキシ樹脂か
らなる背面負荷材１を接合し、積層体を形成する。つい
で、図３に示すように、矢印４０の位置にて、精密裁断
機で裁断し、図４に示す振動子部３を得る。

【００２０】図５に示す３Ａは、振動子部の他の例で、
高周波化のため圧電セラミックスの厚さを非常に薄くせ
ざるをえない場合に、圧電素子５は入出力電極との接続
を容易にするため、側面の厚さいっぱいにまで表面電極
を延設する。この構造により、導電性の背面負荷材１を
連接すると、表面電極どうしが短絡するので、ＧＮＤ電
極７の端部に接して絶縁性の背面負荷材２を導電性の背
面負荷材１と併設して短絡を避けている。なお、絶縁性
の背面負荷材２はタングステンフィラーを含まないエポ
キシ樹脂で形成する。振動子部５と振動子部５Ａとは、
超音波探触子の設計仕様により選択する。

【００２１】つぎに、図６に示すように、金属パイプを
加工したハウジング６に、予め接着剤にて絶縁板１９を
固着し、振動子部３はその上に接着・固定する。一方、
ハウジング６はフレキシブルシャフト２４と銀ロウ１４
によりロウ付けする。なお、ハウジング６は耐蝕性のあ
るステンレス鋼に無電解ニッケルメッキを施してある。
同軸ケーブル１３はフレキシブルシャフト２４の中を挿
通し、その周線１１をハウジング６に疎水性の導電性接
着剤９にて接続・固着する。ハウジング６は、振動子部
３のＧＮＤ電極７と先端側にて、疎水性の導電性接着剤
９を介して接続する。この際、疎水性の導電性接着剤９
は導電性の背面負荷材１と短絡しないように注意する。
このため予め背面負荷材１の表面にエポキシ樹脂などの
皮膜を付設しておいてもよい。また同軸ケーブル１３の
芯線１０は、導電性の背面負荷材１上にて振動子部３の
プラス電極８と後端側にて、疎水性の導電性接着剤９を
介して接続する。さらに、空隙部には、エポキシ樹脂に
よる封止樹脂１２を充填し、超音波探触子本体１８を得
る。ここで、疎水性の導電性接着剤としては、有機珪素
化合物たるシランカップリング剤ＫＢＭ−５０３（信越
化学工業（株）製）の３％エタノール希釈溶液に、粒径
１〜６μｍの銀を２０ｗｔ％混合したものを用いた。こ
の混合液をディスペンサーで各電極の接続部に塗布し、
１００℃にて１時間乾燥させた。

【００２２】この超音波探触子本体１８の先端部を、図
１に示すように、疎水性有機高分子材料である有機珪素
化合物、ここでは疎水性の導電性接着剤の母材と同一の
シランカップリング剤ＫＢＭ−５０３（信越化学工業
（株）製）の３％エタノール希釈液に浸漬（ディッピン
グ）し、引き上げた後、１００℃にて、１時間乾燥させ
ることにより、コ−ティング３１を形成し、超音波探触
子１８Ａを完成させる。

【００２３】本実施例の作用について説明する。超音波
探触子１８Ａの先端部の全面に、有機珪素化合物のコー
ティング３１を設けたので、音響媒体が超音波探触子の
内部に侵入することを防止する。それ故、音響媒体の内
の、アルカリイオンを含む生理食塩水や超音波ゲルなど
が、エポキシ樹脂の封止層１２を透過して、圧電素子の
母体のＰＺＴ、ＰＬＺＴ、チタン酸鉛、メタニオブ酸鉛
などのセラミックスや電極を侵食することはない。さら
に、電極間の接続に疎水性の導電性接着剤９を用いてい
るので、コーティング３１および封止樹脂１２を透過し
た音響媒体があっても疎水性の導電性接着剤による接続
部がその表面で阻止し特性劣化を二重に防護している。

【００２４】本実施例の効果について説明する。上記構
成により電極間の接続部への音響媒体の侵入を二重に防
護しているので、音響媒体による特性劣化がなく、小型
で耐久性の高い、高性能の超音波探触子を得ることがで
きる。また、超音波探触子の先端部の全体を、有機珪素
化合物のコーティング３１で覆うため、圧電素子などの
材料劣化を防止する。さらに、疎水性の導電性接着剤に
よる電極間の接続部の上をエポキシ樹脂で封止している
ので、シース接触による欠落などの機械的強度の不良を
防止する。

【００２５】本実施例の変形例について説明する。本実
施例では、疎水性の導電性接着剤の母材にシランカップ
リング剤を用いたが、これに限らず疎水性材料であれば
よく、有機珪素化合物では、テトライソシアネートシラ
ン（Ｓi(ＮＣＯ)₄）のエタノール希釈液、アルコキシシ
ラン（Ｓi(ＯＲ)₄）、有機金属化合物では、ＮＴ−Ｌ２
００３（日産化学工業（株）製）、アドバンスドハード
コート（東燃（株）製）なども有効である。

【００２６】さらに、疎水性材料として、有機珪素化合
物では、シリルイソシアネート化合物、クロロシラン化
合物、ペルヒドロポリシラザンなどがあり、珪素を除く
有機金属化合物では、アルミニウムアルコレート化合
物、アルミニウムキレート化合物、環状アルミニウムオ
リゴマー、アルミナゾル、チタネート化合物、Ｚｒアル
コレート化合物などを用いることができる。ただし、溶
剤可溶型の疎水性材料においては、希釈用溶媒には可溶
でありながら、液状またはゲル状の音響媒体には不溶で
あることが必要であり、具体的には水、整理食塩水など
の水溶液、およびアルコール系溶液などに不溶であるこ
とが必要である。

【００２７】また、前記希釈用溶媒の沸点はあまり高く
ないものが良く、１５０℃以下、好ましくは１００℃以
下で乾燥できることが望ましい。さらに、前記疎水性材
料は、防湿防水性が高いが、水以外の音響媒体では必ず
しも全ての音響媒体の透過を阻止できないため、水以外
の音響媒体を透過しにくい材料を選択して用いることに
より、所望の音響媒体を使用することができる。なお、
コ−ティング３１に用いられる疎水性材料についても、
上述した疎水性材料および希釈用溶媒がそのまま適用す
ることができる。しかしながら、コーティング３１に用
いる場合、上述した疎水性材料における音響媒体の透過
量は２０℃環境下で０．０５ｇ／cm²・２４時間以下、
好ましくは０．００２ｇ／cm²・２４時間以下が望まし
い。

【００２８】本実施例では、疎水性の導電性接着剤に含
有される導電性材料に銀粉末をもちいたが、これに限ら
ず導電性を有する粉末であればよく、金粉末や、金属ホ
ウ化物粉末では、ホウ化チタン粉ＴｉＢ₂−ＰＯ，Ｔｉ
Ｂ₂−ＰＦ、ホウ化ジルコニウム粉ＺｒＢ₂−Ｏ，Ｚｒ
Ｂ₂−Ｆ（いづれも日本新金属（株）製）、金属炭化物
粉末では、チタンカーバイト粉ＴｉＣ−０１、窒化チタ
ン粉ＴｉＮ−０１（いづれも日本新金属（株）製）など
も有効である。

【００２９】母材の疎水性材料への、導電性材料の含有
量は、５〜３０ｗｔ％が望ましい。５％では導電性が充
分得られず、３０％を越えると成形が困難となる。ま
た、粒径は粒子の表面積を稼いで導電性を向上させ、且
つ疎水性材料中での分散性を高めるため、１〜６μｍが
最適である。

【００３０】本実施例では、疎水性の導電性接着剤をデ
ィスペンサーで塗布したが、刷毛塗りも有効である。ま
た、本実施例では、同軸ケーブル１３の周線１１をハウ
ジング６に疎水性の導電性接着剤にて接続・固着してい
るが、金属どうしの接続であるため、ハンダづけしても
よい。さらに、本実施例では、超音波探触子１８Ａの先
端部の全面に、疎水性有機高分子材料のコーティング３
１を設けているが、振動子部３を構成する部材（圧電素
子の表面電極と入出力電極の接続部を除く）が音響媒体
に侵されない場合には、コーティング３１を省くことが
できる。

【００３１】

【実施例２】図７は第２実施例を示し、超音波探触子の
正面断面図である。図７において、３Ａは振動子部を示
し、第１実施例にて示した振動子部の他の例に相当す
る。ただし、エポキシ樹脂からなる音響整合層４に替え
て、アルミナ平板からなる音響整合層４Ａを圧電素子５
のＧＮＤ電極７上にエポキシ樹脂にて接着している。ま
た、第１実施例では、超音波探触子本体１８を疎水性有
機高分子材料のコーティング３１で被覆したが、本実施
例ではコーティング３１はなく、電極間を疎水性の導電
性接着剤にて接続した部位の周囲の空隙に、封止を兼ね
て疎水性有機高分子材料をディスペンサーで充填・固化
し封止部１５を形成している。以上の外、超音波探触子
１８Ｂの構造、製造方法および使用材料は第１実施例お
よびその変形例と同一のため同一の部材には同一の符号
を付し、説明を省略する。

【００３２】本実施例の作用について説明する。超音波
探触子１８Ｂの疎水性有機高分子材料からなる封止部１
５の部分以外のところは、金属製のハウジング６とアル
ミナ平板の音響整合層４Ａであるが、音響媒体の内、ア
ルカリイオンを含む整理食塩水および超音波ゲル以外の
もの、たとえば、流動パラフィン、水、アルコール溶液
などを使う場合には、それによってこの部分が侵食され
ることはない。また、封止部１５の部分は疎水性有機高
分子材料からなり、音響媒体が超音波探触子１８Ｂの内
部に侵入するのを阻止する。さらに、電極間の接続には
疎水性の導電性接着剤を用いた結果、同一の疎水性材料
が重なるので、結合を強固にし、音響媒体の侵入を二重
に阻止する。

【００３３】本実施例の効果について説明する。音響媒
体の種類を限定する場合において、上記構成により電極
間の接続部への音響媒体の侵入を二重に防護しているの
で、音響媒体による特性劣化がなく、小型で耐久性の高
い、高性能の超音波探触子を得ることができる。さら
に、電極間の接続部には、同一の疎水性材料が重なるの
で、結合を強固にし、応力による剥がれなどを防止でき
る。また、音響放射面には、コーティングを施さないた
め、音響特性を考慮せずに厚く成膜することができる。

【００３４】本実施例の変形例について説明する。本実
施例では、音響整合層にアルミナ平板を用い、音響媒体
にアルカリイオンを含まないものを使用するなどの制限
をしているが、音響整合層にエポキシ樹脂を用いて、そ
の上部も疎水性有機高分子材料にて被覆するようにして
もよい。この場合は音響媒体を特に制限する必要はなく
なる。また、音響整合層はアルミナ平板のまま、上記と
同一構造にしてもよいのは勿論である。

【００３５】

【発明の効果】請求項１〜４に係る発明によれば、シー
ス内に封入された音響媒体が圧電素子の表面電極と入出
力電極との接続部に侵入することを防止して、特性劣化
の生じない超音波探触子を提供することができる。請求
項２に係る発明によれば、上記効果に加え、上記表面電
極と入出力電極との接続部を直接的または間接的に疎水
性有機高分子材料で被覆することにより、シース内に封
入された音響媒体が圧電素子の表面電極と入出力電極と
の接続部に侵入することを二重に防護することができ
る。請求項３〜４に係る発明によれば、上記効果に加
え、超音波探触子の耐熱許容範囲を越える高温硬化によ
る特性劣化を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１の超音波探触子を示す正面断面図であ
る。

【図２】実施例１の振動子部の製造工程を示す斜視図で
ある。

【図３】実施例１の振動子部の製造工程を示す斜視図で
ある。

【図４】実施例１の振動子部を示す正面図である。

【図５】実施例１の振動子部他の例を示す正面図であ
る。

【図６】実施例１の超音波探触子本体を示す正面断面図
である。

【図７】実施例２の超音波探触子を示す正面断面図であ
る。

【図８】従来の超音波探触子を示す正面断面図である。

【図９】従来の超音波探触子をシース中に挿入した状態
を示す正面断面図である。

【符号の説明】

１背面負荷材（導電性）２背面負荷材（絶縁性）３振動子部４音響整合層５圧電素子６ハウジング７ＧＮＤ電極８プラス電極９疎水性の導電性接着剤１０芯線１１周線１２封止樹脂１３同軸ケーブル１４銀ロウ１８超音波探触子本体１９絶縁板２４フレキシブルシャフト３１コーティング

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ▲ひじ▼野雅道東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号オリンパス光学工業株式会社内 (72)発明者志賀直仁東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号オリンパス光学工業株式会社内 (72)発明者沢田之彦東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号オリンパス光学工業株式会社内 (72)発明者若林勝裕東京都渋谷区幡ヶ谷２丁目43番２号オリンパス光学工業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】音響媒体を封入したシース内に、先端部
を挿入してなる超音波探触子において、少なくとも先端部を構成する圧電素子の表面電極と入出
力電極とを疎水性の導電性接着剤で接続してなることを
特徴とする超音波探触子。
【請求項２】前記表面電極と入出力電極とを疎水性の
導電性接着剤にて接続した部位が、直接的または間接的
に疎水性有機高分子材料で被覆してなることを特徴とす
る請求項１記載の超音波探触子。
【請求項３】前記疎水性の導電性接着剤は、金粉末、
銀粉末、金属ホウ化物粉末または金属炭化物粉末と、有
機系の酸化珪素化合物または有機系の金属化合物とを含
み、１５０℃以下の温度で硬化してなることを特徴とす
る請求項１または請求項２記載の超音波探触子。
【請求項４】前記疎水性有機高分子材料は、有機系の
酸化珪素化合物または有機系の金属化合物を含み、１５
０℃以下の温度で硬化してなることを特徴とする請求項
２記載の超音波探触子。