JPH088038Y2 - 吸着型テーブル - Google Patents
吸着型テーブルInfo
- Publication number
- JPH088038Y2 JPH088038Y2 JP1992071556U JP7155692U JPH088038Y2 JP H088038 Y2 JPH088038 Y2 JP H088038Y2 JP 1992071556 U JP1992071556 U JP 1992071556U JP 7155692 U JP7155692 U JP 7155692U JP H088038 Y2 JPH088038 Y2 JP H088038Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support cylinder
- screw shaft
- hole
- work
- suction
- Prior art date
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- Machine Tool Units (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、板材等のワークをテー
ブルの上面から上方に浮かして吸着保持する吸着型テー
ブルに関するものである。
ブルの上面から上方に浮かして吸着保持する吸着型テー
ブルに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の技術として、先に本出願人が出願
した実願平2−70937号明細書に記載されたものが
あった。図6および図7において、1は内部に密閉され
た中空室2が形成された扁平な直方体状のテーブルであ
り、その右端部にブロワーの吸引ホース5を接続する。
この吸引ホース5は、開閉弁を介してブロワ(図示省
略)に接続する。上記テーブル1には、その上部全面に
多数のワーク支持具Aおよびワーク離脱具Bを所定のピ
ッチで千鳥状に設ける。ワーク支持具Aは、頂部に吸着
パット6を有する支持筒7をテーブル1の天板3に上下
方向に摺動可能に取付ける。この支持筒7は、下降され
た際にテーブル1の底板4に当接して該テーブル1の中
空室2との連通が遮断され、上昇された際には上記中空
室2と連通して該中空室2の負圧が吸着パット6に及ぶ
ようになっている。
した実願平2−70937号明細書に記載されたものが
あった。図6および図7において、1は内部に密閉され
た中空室2が形成された扁平な直方体状のテーブルであ
り、その右端部にブロワーの吸引ホース5を接続する。
この吸引ホース5は、開閉弁を介してブロワ(図示省
略)に接続する。上記テーブル1には、その上部全面に
多数のワーク支持具Aおよびワーク離脱具Bを所定のピ
ッチで千鳥状に設ける。ワーク支持具Aは、頂部に吸着
パット6を有する支持筒7をテーブル1の天板3に上下
方向に摺動可能に取付ける。この支持筒7は、下降され
た際にテーブル1の底板4に当接して該テーブル1の中
空室2との連通が遮断され、上昇された際には上記中空
室2と連通して該中空室2の負圧が吸着パット6に及ぶ
ようになっている。
【0003】上記支持筒7は該支持筒7内に収容したパ
ットシリンダ8により上下動させる。このパットシリン
ダ8は、ケース9をテーブル1の底板4に固定し、ロッ
ド10の上端を支持筒7の上壁に連結し、リターンスプ
リング11により短縮付勢する。またテーブル1の底部
側から上記パットシリンダ8内に圧縮空気を供給するエ
ア供給管12を設ける。またワーク離脱具Bは、ワーク
Wを上記ワーク支持具Aに供給、あるいは加工後のワー
クWをワーク支持具Aから離脱・排出する際に使用する
ものであり、円筒状のケース13をテーブル1内に起立
固定し、このケース13にロッド14を上方に向けて摺
動可能に嵌合させるとともに、ケース13内に設けたリ
ターンスプリング15により下降付勢する。
ットシリンダ8により上下動させる。このパットシリン
ダ8は、ケース9をテーブル1の底板4に固定し、ロッ
ド10の上端を支持筒7の上壁に連結し、リターンスプ
リング11により短縮付勢する。またテーブル1の底部
側から上記パットシリンダ8内に圧縮空気を供給するエ
ア供給管12を設ける。またワーク離脱具Bは、ワーク
Wを上記ワーク支持具Aに供給、あるいは加工後のワー
クWをワーク支持具Aから離脱・排出する際に使用する
ものであり、円筒状のケース13をテーブル1内に起立
固定し、このケース13にロッド14を上方に向けて摺
動可能に嵌合させるとともに、ケース13内に設けたリ
ターンスプリング15により下降付勢する。
【0004】上記ロッド14の頂部に受け座16を取付
け、該受け座16にボール17を上方に突出させて回転
自在に嵌合支持する。上記ロッド14の長さは、これが
上昇した際にボール17が上昇した吸着パット6よりも
高くなる如く設定する。また、テーブル1の底部側から
上記ケース13内に圧縮空気を供給するエア供給管18
を設ける。前述したエア供給管12、18はテーブル1
の一側に集中配置した電磁弁(図示省略)により開閉
し、該各電磁弁は制御盤(図示省略)からの指令により
ワークWの大きさに対応させて適宜作動させる。なお、
図中、19はテーブル1の側部に設けたワークWの位置
決め装置、20はワークWの端面を面取り加工するヘッ
ド、21はカッタである。
け、該受け座16にボール17を上方に突出させて回転
自在に嵌合支持する。上記ロッド14の長さは、これが
上昇した際にボール17が上昇した吸着パット6よりも
高くなる如く設定する。また、テーブル1の底部側から
上記ケース13内に圧縮空気を供給するエア供給管18
を設ける。前述したエア供給管12、18はテーブル1
の一側に集中配置した電磁弁(図示省略)により開閉
し、該各電磁弁は制御盤(図示省略)からの指令により
ワークWの大きさに対応させて適宜作動させる。なお、
図中、19はテーブル1の側部に設けたワークWの位置
決め装置、20はワークWの端面を面取り加工するヘッ
ド、21はカッタである。
【0005】また、従来の他の技術として、図8および
図9に示すものがあった。図8において、22は内部が
中空に形成されたテーブルであり、その天板23に上面
が開口した多数の凹部24を所定のピッチで形成する。
この凹部24は上端部に大径の段部24aを有し、下面
にテーブル22の中空部に連通する連通孔25を形成す
る。上記凹部24にワーク支持具Cを上下反転可能に嵌
合させる。このワーク支持具Cは、中空の容器状に形成
したケース26の上部壁26aおよび下部壁26bに連
通孔27,28を形成し、内部に上部壁26aの連通孔
27を開閉するボール29を収容する。連通孔27は上
部壁26aの中心部にかつ上部が小径となるテーパ孔に
形成する。上部壁26aにはその上面外周部にリング状
の吸着パット30を取付け、下部壁26bはその外周に
凹部24の段部24aに嵌合する大径のフランジ部26
cを一体に有し、該下部壁26bの下面にフィルター3
1を取り付ける。
図9に示すものがあった。図8において、22は内部が
中空に形成されたテーブルであり、その天板23に上面
が開口した多数の凹部24を所定のピッチで形成する。
この凹部24は上端部に大径の段部24aを有し、下面
にテーブル22の中空部に連通する連通孔25を形成す
る。上記凹部24にワーク支持具Cを上下反転可能に嵌
合させる。このワーク支持具Cは、中空の容器状に形成
したケース26の上部壁26aおよび下部壁26bに連
通孔27,28を形成し、内部に上部壁26aの連通孔
27を開閉するボール29を収容する。連通孔27は上
部壁26aの中心部にかつ上部が小径となるテーパ孔に
形成する。上部壁26aにはその上面外周部にリング状
の吸着パット30を取付け、下部壁26bはその外周に
凹部24の段部24aに嵌合する大径のフランジ部26
cを一体に有し、該下部壁26bの下面にフィルター3
1を取り付ける。
【0006】そして、ワーク支持具Cによりワークを支
持する際には、図8に示すように、ケース26を正立さ
せるとともに、フランジ部26cを凹部24の段部24
aに嵌合係止して該ケース26を天板23から上方に突
出させ、上記ワークを上部壁26aに載置して吸着パッ
ト30により吸着保持する。また、ワークに対応しない
(ワークを支持しない)ワーク支持具Cは、図9に示す
ように、ケース26を倒立させて凹部24内に収容する
とともに、フランジ部26cを凹部24の段部24aに
嵌合係止する。
持する際には、図8に示すように、ケース26を正立さ
せるとともに、フランジ部26cを凹部24の段部24
aに嵌合係止して該ケース26を天板23から上方に突
出させ、上記ワークを上部壁26aに載置して吸着パッ
ト30により吸着保持する。また、ワークに対応しない
(ワークを支持しない)ワーク支持具Cは、図9に示す
ように、ケース26を倒立させて凹部24内に収容する
とともに、フランジ部26cを凹部24の段部24aに
嵌合係止する。
【0007】
【考案が解決しようとする課題】上記したようにテーブ
ルに多数の支持具を設けるものが知られているが、ワー
クの大きさや形状が一定でない汎用の工作機において
は、前記支持具を負圧吸引式とすると、支持具に当接す
るものはその負圧を有効にワークに作用させることがで
きるが、支持具に当接しない位置にあるものは、いたず
らに空気を吸うことになるので、当接しない位置にある
支持具を負圧源と遮断できるように構成する必要があっ
た。 このように支持具を負圧源と遮断できるように構成
した例として、前記図6、図7の例によれば、ワーク支
持具Aは多数の部品を要し、大型かつ高価になるととも
に、エアの圧力(正・負圧)により伸縮作動させるた
め、ワークを支持するための作動力が弱く、支持筒7の
摺動部に塵埃が噛み込むと作動が不円滑になった。ま
た、図8、図9の例によれば、 ケース26を上下に反
転させて凹部24に嵌合させることにより、ブロワーテ
ーブル22に対して出没させるため、凹部24(段部2
4a)に塵埃が侵入してワーク支持具Cの高さが狂うと
ともに、前記反転動作を自動化に行わせようとすると、
その構成が極めて複雑となる不具合があった。すなわ
ち、本考案はテーブルに多数の支持具を設け、その一部
を空気圧によって出没させるものにおいて、その支持具
がテーブルから突出した状態のとき、重いワークを支持
する十分な剛性を有するとともに、テーブル内に没した
状態において無用に圧気を漏らすことがなく、且つ、構
造が簡単な支持具を得ることを目的とするものである。
ルに多数の支持具を設けるものが知られているが、ワー
クの大きさや形状が一定でない汎用の工作機において
は、前記支持具を負圧吸引式とすると、支持具に当接す
るものはその負圧を有効にワークに作用させることがで
きるが、支持具に当接しない位置にあるものは、いたず
らに空気を吸うことになるので、当接しない位置にある
支持具を負圧源と遮断できるように構成する必要があっ
た。 このように支持具を負圧源と遮断できるように構成
した例として、前記図6、図7の例によれば、ワーク支
持具Aは多数の部品を要し、大型かつ高価になるととも
に、エアの圧力(正・負圧)により伸縮作動させるた
め、ワークを支持するための作動力が弱く、支持筒7の
摺動部に塵埃が噛み込むと作動が不円滑になった。ま
た、図8、図9の例によれば、 ケース26を上下に反
転させて凹部24に嵌合させることにより、ブロワーテ
ーブル22に対して出没させるため、凹部24(段部2
4a)に塵埃が侵入してワーク支持具Cの高さが狂うと
ともに、前記反転動作を自動化に行わせようとすると、
その構成が極めて複雑となる不具合があった。すなわ
ち、本考案はテーブルに多数の支持具を設け、その一部
を空気圧によって出没させるものにおいて、その支持具
がテーブルから突出した状態のとき、重いワークを支持
する十分な剛性を有するとともに、テーブル内に没した
状態において無用に圧気を漏らすことがなく、且つ、構
造が簡単な支持具を得ることを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本考案は上記目的を達成
するために、以下の如く構成したものである。即ち、中
空室がブロワーの吸引側に接続されたテーブルを設け、
前記中空室内の底部壁に多数のねじ軸を回転可能に起立
支持し、テーブルの天板に下面が開口するキャップ形の
支持筒を前記ねじ軸に対応させて上下方向に摺動可能に
設け、該支持筒の上壁の軸心部に下方に延びるボス部を
形成するとともに、該ボス部に上下方向に貫通する貫通
孔を形成し、該貫通孔を前記ねじ軸に螺合させ、ボス部
の上下方向中間部に支持筒の空室と貫通孔とを連通させ
る側路を形成し、支持筒の上面にリング状の吸着パット
を設ける構成にしたものである。前記ねじ軸の下部に支
持筒の外周面に接触するブラシを設けるとよい。また前
記ねじ軸を単独に正逆回転させる駆動装置を設けること
が好ましい。
するために、以下の如く構成したものである。即ち、中
空室がブロワーの吸引側に接続されたテーブルを設け、
前記中空室内の底部壁に多数のねじ軸を回転可能に起立
支持し、テーブルの天板に下面が開口するキャップ形の
支持筒を前記ねじ軸に対応させて上下方向に摺動可能に
設け、該支持筒の上壁の軸心部に下方に延びるボス部を
形成するとともに、該ボス部に上下方向に貫通する貫通
孔を形成し、該貫通孔を前記ねじ軸に螺合させ、ボス部
の上下方向中間部に支持筒の空室と貫通孔とを連通させ
る側路を形成し、支持筒の上面にリング状の吸着パット
を設ける構成にしたものである。前記ねじ軸の下部に支
持筒の外周面に接触するブラシを設けるとよい。また前
記ねじ軸を単独に正逆回転させる駆動装置を設けること
が好ましい。
【0009】
【実施例】以下本考案の実施例を図面に基いて説明す
る。図において、図1は本考案の第1実施例を示す要部
断面側面図、図2はその平面図である。図1〜図2にお
いて、35は内部に密閉された中空室36が形成された
扁平かつ直方体状のテーブルであり、中空室36はブロ
ワー(図示省略)の吸引側に接続されている。上記テー
ブル35の中空室36内の底部壁35aに多数のねじ軸
37を回転可能に起立支持する。即ち、ねじ軸37の下
端部に大径のフランジ37aを形成し、このフランジ3
7aを底部壁35aに取り付けたスラスト形の軸受38
により回転可能にかつ上下動不能に支持する。
る。図において、図1は本考案の第1実施例を示す要部
断面側面図、図2はその平面図である。図1〜図2にお
いて、35は内部に密閉された中空室36が形成された
扁平かつ直方体状のテーブルであり、中空室36はブロ
ワー(図示省略)の吸引側に接続されている。上記テー
ブル35の中空室36内の底部壁35aに多数のねじ軸
37を回転可能に起立支持する。即ち、ねじ軸37の下
端部に大径のフランジ37aを形成し、このフランジ3
7aを底部壁35aに取り付けたスラスト形の軸受38
により回転可能にかつ上下動不能に支持する。
【0010】また、テーブル35の天板35bに下面が
開口するキャップ形の支持筒(パットホルダー)39を
上記ねじ軸37に対応させて上下方向に摺動可能に嵌合
させる。この支持筒39は下端に大径のフランジ39c
を、また上壁39aの軸心部に下方に延びるボス部39
bを一体に有し、ボス部39bの軸心部に貫通孔40を
上下方向に貫通形成する。貫通孔40は上半部を断面円
形の通気孔40aに、下半部をねじ孔40bに形成し、
このねじ孔40bを上記ねじ軸37に螺合させる。ま
た、ボス部39bの上下方向中間部に支持筒39の空室
(ア)とねじ孔40bの上部とを連通させる側路41を
形成する。
開口するキャップ形の支持筒(パットホルダー)39を
上記ねじ軸37に対応させて上下方向に摺動可能に嵌合
させる。この支持筒39は下端に大径のフランジ39c
を、また上壁39aの軸心部に下方に延びるボス部39
bを一体に有し、ボス部39bの軸心部に貫通孔40を
上下方向に貫通形成する。貫通孔40は上半部を断面円
形の通気孔40aに、下半部をねじ孔40bに形成し、
このねじ孔40bを上記ねじ軸37に螺合させる。ま
た、ボス部39bの上下方向中間部に支持筒39の空室
(ア)とねじ孔40bの上部とを連通させる側路41を
形成する。
【0011】上記支持筒39の上面にゴム材により形成
されたリング状の吸着パット42を載置し、パット押さ
え43およびビス44により支持筒39の上面に固着す
る。またフランジ39cの上面にシール用のOリング4
5を取り付ける。前述したねじ軸37の上端部に断面六
角径、または四角径の工具係止孔46を形成し、該工具
係止孔46に工具(レンチ)を係合させてねじ軸37を
正逆回転させ、支持筒39をテーブル35に対して出没
つまり上下動させる。
されたリング状の吸着パット42を載置し、パット押さ
え43およびビス44により支持筒39の上面に固着す
る。またフランジ39cの上面にシール用のOリング4
5を取り付ける。前述したねじ軸37の上端部に断面六
角径、または四角径の工具係止孔46を形成し、該工具
係止孔46に工具(レンチ)を係合させてねじ軸37を
正逆回転させ、支持筒39をテーブル35に対して出没
つまり上下動させる。
【0012】図3は第2の実施例を示す。このものは、
上記ねじ軸37の下端部にブラシホルダー50を半径方
向外方に突出させて嵌合させ、その基部を止めねじ51
により固定し、ブラシホルダー50の突出端(図3にお
いて左端)にブラケット52を上方に向けて突出固定
し、該ブラケット52に支持筒39のフランジ39cに
接触するブラシ53を固着したものであり、その他は前
述した第1実施例と略同構造となっている。
上記ねじ軸37の下端部にブラシホルダー50を半径方
向外方に突出させて嵌合させ、その基部を止めねじ51
により固定し、ブラシホルダー50の突出端(図3にお
いて左端)にブラケット52を上方に向けて突出固定
し、該ブラケット52に支持筒39のフランジ39cに
接触するブラシ53を固着したものであり、その他は前
述した第1実施例と略同構造となっている。
【0013】図4は第3の実施例を示す。このものは、
各ねじ軸37をモータ55に直結し、ブラケット56を
介してテーブル35の底部壁35aに起立支持し、上記
モータ55により各ねじ軸37を単独に正逆回転させる
ようにしたものである。上記モータ55は制御装置(図
示省略)により適宜選択されて正逆回転される。その他
は前述した第1、第2実施例と略同構造となっている。
各ねじ軸37をモータ55に直結し、ブラケット56を
介してテーブル35の底部壁35aに起立支持し、上記
モータ55により各ねじ軸37を単独に正逆回転させる
ようにしたものである。上記モータ55は制御装置(図
示省略)により適宜選択されて正逆回転される。その他
は前述した第1、第2実施例と略同構造となっている。
【0014】図5は第4実施例を示す。このものは、各
ねじ軸37の下部に大径の被動ギヤを57を固定し、こ
の被動ギヤ57をテーブル35の天板35bの下面に垂
下支持したモータ55に駆動ギヤ59を介して連結し、
該モータ58により各ねじ軸37を単独に正逆回転させ
る。上記モータ58は制御装置(図示省略)により適宜
選択されて正逆回転される。また、上記被動ギヤ57の
外周部にブラケット52を上方に向けて突出固定し、該
ブラケット52に支持筒39のフランジ39に接触する
ブラシ53を固着したものであり、その他は前述した第
1実施例と略同構造となっている。
ねじ軸37の下部に大径の被動ギヤを57を固定し、こ
の被動ギヤ57をテーブル35の天板35bの下面に垂
下支持したモータ55に駆動ギヤ59を介して連結し、
該モータ58により各ねじ軸37を単独に正逆回転させ
る。上記モータ58は制御装置(図示省略)により適宜
選択されて正逆回転される。また、上記被動ギヤ57の
外周部にブラケット52を上方に向けて突出固定し、該
ブラケット52に支持筒39のフランジ39に接触する
ブラシ53を固着したものであり、その他は前述した第
1実施例と略同構造となっている。
【0015】上記実施例によれば、ワークWと対応する
所定のねじ軸37が例えば右回転されると、支持筒39
がテーブル35に対して上方に移動され、支持筒39の
ボス部39bに形成した側路41が貫通孔40(ねじ孔
40b)の上部に連通し、テーブル35の中空室36が
支持筒39の空室(ア)が側路41を介して貫通孔40
の上部に連通する。この場合、上記ねじ軸37の回転に
伴ってブラシ53が回転され、該ブラシ53が支持筒3
9のフランジ39cの周面に摺接してOリング45の上
部を清掃し、支持筒39の上昇時におけるOリング45
のシール機能を高くして中空室36の負圧のリークを防
止するとともに、支持筒39の上昇位置を正確に保持す
る。これにより、支持筒39の上面中心部に負圧が発生
し、ワークWは上昇した支持筒39に吸着パット42を
介して吸着され、該ワークWはテーブル35から浮いた
状態で支持され、図1に示すように、加工ヘッド60の
刃物61により上記ワークWの端面あるいは上面の加工
が可能となる。また、上記所定のねじ軸37が前述と逆
方向(左回転)されると、支持筒39がテーブル35に
対して下方に移動されて中空室36内に収納され、ねじ
軸37が貫通孔(ねじ孔40b)の上部を閉塞し、側路
41と貫通孔40との連通を遮断する。これにより中空
室36の負圧のリークを防止するとともに、支持筒39
の上面、つまり吸着パット42によるワークWの吸着が
解除される。
所定のねじ軸37が例えば右回転されると、支持筒39
がテーブル35に対して上方に移動され、支持筒39の
ボス部39bに形成した側路41が貫通孔40(ねじ孔
40b)の上部に連通し、テーブル35の中空室36が
支持筒39の空室(ア)が側路41を介して貫通孔40
の上部に連通する。この場合、上記ねじ軸37の回転に
伴ってブラシ53が回転され、該ブラシ53が支持筒3
9のフランジ39cの周面に摺接してOリング45の上
部を清掃し、支持筒39の上昇時におけるOリング45
のシール機能を高くして中空室36の負圧のリークを防
止するとともに、支持筒39の上昇位置を正確に保持す
る。これにより、支持筒39の上面中心部に負圧が発生
し、ワークWは上昇した支持筒39に吸着パット42を
介して吸着され、該ワークWはテーブル35から浮いた
状態で支持され、図1に示すように、加工ヘッド60の
刃物61により上記ワークWの端面あるいは上面の加工
が可能となる。また、上記所定のねじ軸37が前述と逆
方向(左回転)されると、支持筒39がテーブル35に
対して下方に移動されて中空室36内に収納され、ねじ
軸37が貫通孔(ねじ孔40b)の上部を閉塞し、側路
41と貫通孔40との連通を遮断する。これにより中空
室36の負圧のリークを防止するとともに、支持筒39
の上面、つまり吸着パット42によるワークWの吸着が
解除される。
【0016】
【考案の効果】本考案によれば、ワークを支持する支持
筒は吸引型でありながら、テーブルの中空室内に設けた
ねじ軸に螺合し、それによって支持されているから、そ
のテーブルの上に重量の大きいワークを支持できる。ま
た、支持筒とねじ軸との螺合部でテーブルの中空室と吸
着パットとの吸引通路(側路)を開閉するようにしたの
で、テーブルの中に引っ込んだ状態にある支持筒には負
圧が作用せず、圧力の損失がなくなる。さらに、ワーク
を支持する支持筒に吸着パットが設けられているので、
支持筒はワークの支持と吸着との2種の機能を与えるこ
とができ、その構造を簡単にし、かつ、小型に構成する
ことができる効果がある。
筒は吸引型でありながら、テーブルの中空室内に設けた
ねじ軸に螺合し、それによって支持されているから、そ
のテーブルの上に重量の大きいワークを支持できる。ま
た、支持筒とねじ軸との螺合部でテーブルの中空室と吸
着パットとの吸引通路(側路)を開閉するようにしたの
で、テーブルの中に引っ込んだ状態にある支持筒には負
圧が作用せず、圧力の損失がなくなる。さらに、ワーク
を支持する支持筒に吸着パットが設けられているので、
支持筒はワークの支持と吸着との2種の機能を与えるこ
とができ、その構造を簡単にし、かつ、小型に構成する
ことができる効果がある。
【図1】本考案の第1実施例を示す要部断面側面図であ
る。
る。
【図2】図2の要部平面図である。
【図3】本考案の第2実施例を示す要部断面側面図であ
る。
る。
【図4】本考案の第3実施例を示す要部断面側面図であ
る。
る。
【図5】本考案の第4実施例を示す要部断面側面図であ
る。
る。
【図6】従来例を示す側面図である。
【図7】図6の要部断面図である。
【図8】他の従来例を示す突出時の要部断面側面図であ
る。
る。
【図9】他の従来例を示す収容時の要部断面側面図であ
る。
る。
35 テーブル 35a 底部壁 35b 天板 36 中空室 37 ねじ軸 37a フランジ 38 軸受 39 支持筒 39a 上壁 39b ボス部 39c フランジ 40 貫通孔 40a 通気孔 40b ねじ孔 41 側路 42 吸着パット 43 パット押さえ 44 ビス 45 Oリング 46 工具係止孔 50 ブラシホルダー 51 止めねじ 52 ブラケット 53 ブラシ 55 モータ 56 ブラケット 57 被動ギヤ 58 モータ 59 駆動ギヤ W ワーク
Claims (3)
- 【請求項1】 中空室がブロワーの吸引側に接続された
テーブルを設け、前記中空室内の底部壁に多数のねじ軸
を回転可能に起立支持し、テーブルの天板に下面が開口
するキャップ形の支持筒を前記ねじ軸に対応させて上下
方向に摺動可能に設け、該支持筒の上壁の軸心部に下方
に延びるボス部を形成するとともに、該ボス部に上下方
向に貫通する貫通孔を形成し、該貫通孔を前記ねじ軸に
螺合させ、ボス部の上下方向中間部に支持筒の空室と貫
通孔とを連通させる側路を形成し、支持筒の上面にリン
グ状の吸着パットを設けたことを特徴とする吸着型テー
ブル。 - 【請求項2】 前記ねじ軸の下部に支持筒の外周面に接
触するブラシを設けたことを特徴とする請求項1記載の
吸着型テーブル。 - 【請求項3】 前記ねじ軸を単独に正逆回転させる駆動
装置を設けたことを特徴とする請求項1または2記載の
吸着型テーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992071556U JPH088038Y2 (ja) | 1992-09-19 | 1992-09-19 | 吸着型テーブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992071556U JPH088038Y2 (ja) | 1992-09-19 | 1992-09-19 | 吸着型テーブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0631927U JPH0631927U (ja) | 1994-04-26 |
| JPH088038Y2 true JPH088038Y2 (ja) | 1996-03-06 |
Family
ID=13464125
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992071556U Expired - Lifetime JPH088038Y2 (ja) | 1992-09-19 | 1992-09-19 | 吸着型テーブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH088038Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018079545A (ja) * | 2016-11-17 | 2018-05-24 | 株式会社 動研 | 吸着機能を備えた載置テーブル |
| CN115319486A (zh) * | 2022-10-12 | 2022-11-11 | 江苏三米科思半导体设备有限公司 | 一种高精度xy气浮运动系统及其加工方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6436718U (ja) * | 1987-08-28 | 1989-03-06 | ||
| JPH0423217U (ja) * | 1990-06-15 | 1992-02-26 |
-
1992
- 1992-09-19 JP JP1992071556U patent/JPH088038Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0631927U (ja) | 1994-04-26 |
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