JPH0880412A - エレクトレットフィルタ - Google Patents
エレクトレットフィルタInfo
- Publication number
- JPH0880412A JPH0880412A JP21855794A JP21855794A JPH0880412A JP H0880412 A JPH0880412 A JP H0880412A JP 21855794 A JP21855794 A JP 21855794A JP 21855794 A JP21855794 A JP 21855794A JP H0880412 A JPH0880412 A JP H0880412A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- porous film
- woven fabric
- electretized
- electret filter
- filter
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体、電子機器、薬品、生化学的物質等の
製造雰囲気や、電子機器の内部雰囲気を清浄化するため
等に用いるエレクトレットフィルタであって、圧力損失
が小さく、しかも、粒子捕集率の優れたものを提供す
る。 【構成】 エレクトレット化されたポリテトラフルオロ
エチレン多孔質フィルムと、不織布が積層されて成るも
のであり、該不織布もエレクトレット化されていてもよ
い。
製造雰囲気や、電子機器の内部雰囲気を清浄化するため
等に用いるエレクトレットフィルタであって、圧力損失
が小さく、しかも、粒子捕集率の優れたものを提供す
る。 【構成】 エレクトレット化されたポリテトラフルオロ
エチレン多孔質フィルムと、不織布が積層されて成るも
のであり、該不織布もエレクトレット化されていてもよ
い。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体、電子機器、薬
品、生化学的物質等の製造雰囲気や、電子機器の内部雰
囲気を清浄化するため等に用いるエレクトレットフィル
タの改良に関するものである。
品、生化学的物質等の製造雰囲気や、電子機器の内部雰
囲気を清浄化するため等に用いるエレクトレットフィル
タの改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】かようなエレクトレットフィルタとして
は、例えば、エレクトレット化された不織布に、ポリテ
トラフルオロエチレン（以下、「ＰＴＦＥ」という）製
の多孔質フィルムを貼り合わせたものが知られている
（特開平２−２８４６１４号公報）。
は、例えば、エレクトレット化された不織布に、ポリテ
トラフルオロエチレン（以下、「ＰＴＦＥ」という）製
の多孔質フィルムを貼り合わせたものが知られている
（特開平２−２８４６１４号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一般に不織布の繊維径
は数μｍ以上、繊維間距離も１０μｍ以上であるので、
上記従来のエレクトレットフィルタは圧力損失が小さく
て好ましい。しかし、微細粉塵の捕集効率が比較的低く
この点の改善が望まれていた。
は数μｍ以上、繊維間距離も１０μｍ以上であるので、
上記従来のエレクトレットフィルタは圧力損失が小さく
て好ましい。しかし、微細粉塵の捕集効率が比較的低く
この点の改善が望まれていた。
【０００４】従って本発明は圧力損失を維持したまま、
微細粉塵の捕集効率を向上させたエレクトレットフィル
タを提供することを目的とするものである。
微細粉塵の捕集効率を向上させたエレクトレットフィル
タを提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係るエレクトレ
ットフィルタはエレクトレット化されたＰＴＦＥ多孔質
フィルムと、不織布が積層されて成ることを特徴とする
ものである。
ットフィルタはエレクトレット化されたＰＴＦＥ多孔質
フィルムと、不織布が積層されて成ることを特徴とする
ものである。
【０００６】このフィルタの構成材料の一つであるＰＴ
ＦＥ多孔質フィルムとしては、通常、厚さ約５〜１００
μｍ、孔径約０．１〜５μｍ、気孔率約６０〜９５％程
度のものを用いることができる。
ＦＥ多孔質フィルムとしては、通常、厚さ約５〜１００
μｍ、孔径約０．１〜５μｍ、気孔率約６０〜９５％程
度のものを用いることができる。
【０００７】また、このＰＴＦＥ多孔質フィルムと積層
する不織布としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、
ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレ
ート、ポリアミド、エチレン−酢酸ビニル共重合体等の
熱可塑性樹脂繊維から成るものが用いられる。そして、
不織布としてはＰＴＦＥ多孔質フィルムとの積層のし易
さ等の点から、通常、厚さ約５０〜５００μｍ、目付約
１０〜１００ｇ／ｍ2、繊維径約０．５〜１００μｍの
ものが使用される。
する不織布としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、
ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレ
ート、ポリアミド、エチレン−酢酸ビニル共重合体等の
熱可塑性樹脂繊維から成るものが用いられる。そして、
不織布としてはＰＴＦＥ多孔質フィルムとの積層のし易
さ等の点から、通常、厚さ約５０〜５００μｍ、目付約
１０〜１００ｇ／ｍ2、繊維径約０．５〜１００μｍの
ものが使用される。
【０００８】本発明に係るエレクトレットフィルタは、
例えば、ＰＴＦＥ多孔質フィルムをエレクトレット化
し、次いで、その片面に不織布を重ね合わせ、両者を点
状、筋状、網目状等に部分的に融着または接着させて得
ることができる。なお、エレクトレット化の方法は格別
である必要はなく、コロナ放電法、ＰＴＦＥ多孔質フィ
ルムを加熱し、その両面間に高電圧を印加する方法、あ
るいは電子ビーム法等の従来から知られている方法を採
用できる。
例えば、ＰＴＦＥ多孔質フィルムをエレクトレット化
し、次いで、その片面に不織布を重ね合わせ、両者を点
状、筋状、網目状等に部分的に融着または接着させて得
ることができる。なお、エレクトレット化の方法は格別
である必要はなく、コロナ放電法、ＰＴＦＥ多孔質フィ
ルムを加熱し、その両面間に高電圧を印加する方法、あ
るいは電子ビーム法等の従来から知られている方法を採
用できる。
【０００９】また、本発明のエレクトレットフィルタは
ＰＴＦＥ多孔質フィルムおよび不織布の双方がエレクト
レット化されていてもよく、かようなフィルタはＰＴＦ
Ｅ多孔質フィルムの片面に不織布を重ね合わせ、これら
を部分的に融着あるいは接着させた後、両者をエレクト
レット化する方法により得ることができる。
ＰＴＦＥ多孔質フィルムおよび不織布の双方がエレクト
レット化されていてもよく、かようなフィルタはＰＴＦ
Ｅ多孔質フィルムの片面に不織布を重ね合わせ、これら
を部分的に融着あるいは接着させた後、両者をエレクト
レット化する方法により得ることができる。
【００１０】上記実例においては、ＰＴＦＥ多孔質フィ
ルムあるいは不織布を各々１枚ずつ用いたが、本発明に
おいてはこれに限定されず、（ａ）ＰＴＦＥ多孔質フィ
ルムの両面に不織布を積層する態様、（ｂ）不織布の両
面にＰＴＦＥ多孔質フィルムを積層する態様、（ｃ）Ｐ
ＴＦＥ多孔質フィルムと不織布を各々２枚以上用意し、
多孔質フィルムと不織布を順次積層する態様、等種々の
態様を採用することもできる。
ルムあるいは不織布を各々１枚ずつ用いたが、本発明に
おいてはこれに限定されず、（ａ）ＰＴＦＥ多孔質フィ
ルムの両面に不織布を積層する態様、（ｂ）不織布の両
面にＰＴＦＥ多孔質フィルムを積層する態様、（ｃ）Ｐ
ＴＦＥ多孔質フィルムと不織布を各々２枚以上用意し、
多孔質フィルムと不織布を順次積層する態様、等種々の
態様を採用することもできる。
【００１１】
【実施例】以下、実施例により本発明を更に詳細に説明
する。
する。
【００１２】実施例１ 厚さ１２μｍ、孔径３μｍ、気孔率９０％のＰＴＦＥ多
孔質フィルムに対し、１４ｋＶの電源を用い、電極間距
離２ｃｍで３秒間コロナ放電処理してエレクトレット化
する。
孔質フィルムに対し、１４ｋＶの電源を用い、電極間距
離２ｃｍで３秒間コロナ放電処理してエレクトレット化
する。
【００１３】エレクトレット化ＰＴＦＥ多孔質フィルム
の片面に、厚さ８０μｍ、目付２０ｇ／ｃｍ2 の不織布
（日本フェルト工業株式会社製、商品名ヒメロン）を重
ね合わせ、不織布側を温度１６０℃に加熱されたエンボ
スロールに接触させることにより、ＰＴＦＥ多孔質フィ
ルムと不織布を点状に融着させることによりエレクトレ
ットフィルタを得た。
の片面に、厚さ８０μｍ、目付２０ｇ／ｃｍ2 の不織布
（日本フェルト工業株式会社製、商品名ヒメロン）を重
ね合わせ、不織布側を温度１６０℃に加熱されたエンボ
スロールに接触させることにより、ＰＴＦＥ多孔質フィ
ルムと不織布を点状に融着させることによりエレクトレ
ットフィルタを得た。
【００１４】このフィルタのエレクトレット化ＰＴＦＥ
多孔質フィルムが風上側になるようにして、風速５．３
ｃｍ／秒、粒径０．３〜０．５μｍの粒子を約１００億
個／ｍ3 の割合で含む風（温度２５℃）を５．３ｍ／秒
で送風したときの粒子捕集率は９９．９５０％であっ
た。また、このフィルタの圧力損失は３２ｍｍＡｑ（３
１４Ｐａ）であった。
多孔質フィルムが風上側になるようにして、風速５．３
ｃｍ／秒、粒径０．３〜０．５μｍの粒子を約１００億
個／ｍ3 の割合で含む風（温度２５℃）を５．３ｍ／秒
で送風したときの粒子捕集率は９９．９５０％であっ
た。また、このフィルタの圧力損失は３２ｍｍＡｑ（３
１４Ｐａ）であった。
【００１５】実施例２ 上記実施例１で用いたのと同じＰＴＦＥ多孔質フィルム
と不織布を１枚ずつ用意して重ね合わせる。そして、不
織布側を温度１６０℃に加熱されたエンボスロールに接
触させることにより、多孔質フィルムと不織布を点状に
融着させる。
と不織布を１枚ずつ用意して重ね合わせる。そして、不
織布側を温度１６０℃に加熱されたエンボスロールに接
触させることにより、多孔質フィルムと不織布を点状に
融着させる。
【００１６】次に、実施例１と同条件で作業してＰＴＦ
Ｅ多孔質フィルムおよび不織布の両者がエレクトレット
化されたフィルタを得た。このエレクトレット化フィル
タの性能を実施例１と同様に試験したところ、粒子捕集
率９９．９８０％、圧力損失３２ｍｍ（３１４Ｐａ）で
あった。
Ｅ多孔質フィルムおよび不織布の両者がエレクトレット
化されたフィルタを得た。このエレクトレット化フィル
タの性能を実施例１と同様に試験したところ、粒子捕集
率９９．９８０％、圧力損失３２ｍｍ（３１４Ｐａ）で
あった。
【００１７】比較例 上記状例１で用いたのと同じ不織布に対し、１４ｋＶの
電源を用い、電極間距離２ｃｍで３秒間コロナ放電処理
してエレクトレット化する。
電源を用い、電極間距離２ｃｍで３秒間コロナ放電処理
してエレクトレット化する。
【００１８】このエレクトレット化不織布の片面にＰＴ
ＦＥ多孔質フィルム（実施例１で用いたのと同じもの）
を重ね合わせ、不織布側を温度１６０℃に加熱されたエ
ンボスロールに接触させることによりエレクトレッフィ
ルタを得た。このフィルタの性能を実施例と同様に試験
したところ、粒子捕集率９８．８７５％、圧力損失３２
ｍｍ（３１４Ａｑ）であった。
ＦＥ多孔質フィルム（実施例１で用いたのと同じもの）
を重ね合わせ、不織布側を温度１６０℃に加熱されたエ
ンボスロールに接触させることによりエレクトレッフィ
ルタを得た。このフィルタの性能を実施例と同様に試験
したところ、粒子捕集率９８．８７５％、圧力損失３２
ｍｍ（３１４Ａｑ）であった。
【００１９】
【発明の効果】本発明は上記のように構成されているの
で、圧力損失が低く、しかも、粉塵に対する捕集率が優
れている。
で、圧力損失が低く、しかも、粉塵に対する捕集率が優
れている。
Claims (2)
- 【請求項１】 エレクトレット化されたポリテトラフル
オロエチレン多孔質フィルムと、不織布が積層されて成
るエレクトレットフィルタ。 - 【請求項２】 不織布がエレクトレット化されている請
求項１記載のエレクトレットフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21855794A JPH0880412A (ja) | 1994-09-13 | 1994-09-13 | エレクトレットフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21855794A JPH0880412A (ja) | 1994-09-13 | 1994-09-13 | エレクトレットフィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0880412A true JPH0880412A (ja) | 1996-03-26 |
Family
ID=16721815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21855794A Pending JPH0880412A (ja) | 1994-09-13 | 1994-09-13 | エレクトレットフィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0880412A (ja) |
-
1994
- 1994-09-13 JP JP21855794A patent/JPH0880412A/ja active Pending
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