JPH0882746A - 対物レンズ系 - Google Patents

対物レンズ系

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JPH0882746A
JPH0882746A JP6244611A JP24461194A JPH0882746A JP H0882746 A JPH0882746 A JP H0882746A JP 6244611 A JP6244611 A JP 6244611A JP 24461194 A JP24461194 A JP 24461194A JP H0882746 A JPH0882746 A JP H0882746A
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JP
Japan
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lens
positive
negative
cemented
object side
Prior art date
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Pending
Application number
JP6244611A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Yamada
浩 山田
Yutaka Suenaga
豊 末永
Itoe Hayashi
糸恵 林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
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Publication of JPH0882746A publication Critical patent/JPH0882746A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 埋め込みレンズを用いることなく従来の加工
技術で十分安価に加工可能で、色収差が良く補正され、
且つ平坦性も良い液浸系アポクロマート級顕微鏡対物レ
ンズ系を提供すること。 【構成】 本発明では、物体側から順に、互いにほぼ平
行な2つの面からなる平行平面板L11と物体側に凹面
を向けたレンズL12と正メニスカスレンズとを有する
第1レンズ群G1と、2つの接合レンズを有し全体とし
て正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負レンズと
正レンズとの接合レンズを有し全体として負の屈折力を
有する第3レンズ群G3と、正レンズと負レンズL42
との接合レンズを有し全体として負の屈折力を有する第
4レンズ群G4とを備え、 |(N1a・F)/r1|≦0.06 |(N1a・F)/r2|≦0.06 0.3<|r3/(N1b・F)|<0.4 6<|f12/F|+|f42/F|<9 の条件を満足する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は対物レンズ系に関し、特
に、液浸系プランアポクロマート級低倍率顕微鏡対物レ
ンズに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の液浸系アポクロマート級対物レン
ズとして、たとえば特開昭59−155822号公報に
開示の対物レンズが知られている。この公報に開示の対
物レンズでは、先玉(最も物体側のレンズ)に埋込みレ
ンズからなる接合レンズを用いている。そして、接合面
の曲率半径および2つのレンズの屈折率差を適宜設定す
ることによって、ペッツバール和を小さくして像面湾曲
を補正している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このように、先玉に埋
込みレンズからなる接合レンズを用いる従来の方法は、
設計上有用であり、最近用いられる例も多い。しかしな
がら、実際には、レンズ加工上難しい点がある。まず、
埋め込まれる側の凹面はかなり曲率の強い曲面となり、
埋込まれる側のレンズには屈折率が1.8程度の硝子が
選択される。しかしながら、屈折率が1.8程度の硝子
種では硬いものが多い。その結果、凹面加工が非常に難
しく、時間もかかりコストが高くなりがちであるという
不都合があった。
【0004】また、埋込みレンズの像側の凸面に関して
も曲率が強くほぼ半球状まで使うことが多い。このた
め、有効範囲まで精度良く研磨することが難しいという
不都合があった。本発明は、前述の課題に鑑みてなされ
たものであり、埋め込みレンズを用いることなく従来の
加工技術で十分安価に加工可能で、色収差が良く補正さ
れ、且つ平坦性も良い液浸系アポクロマート級顕微鏡対
物レンズ系を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明において、物体側から順に、互いにほぼ平行
な2つの面からなる平行平面板L11と物体側に凹面を
向けたレンズL12と正メニスカスレンズとを有する第
1レンズ群G1と、2つの接合レンズを有し全体として
正の屈折力を有する第2レンズ群G2と、負レンズと正
レンズとの接合レンズを有し全体として負の屈折力を有
する第3レンズ群G3と、正レンズと負レンズL42と
の接合レンズを有し全体として負の屈折力を有する第4
レンズ群G4とを備え、レンズ全系の合成焦点距離をF
とし、前記平行平面板L11の物体側の面の曲率半径を
r1とし、前記平行平面板L11の像側の面の曲率半径
をr2とし、前記レンズL12の物体側の凹面の曲率半
径をr3とし、前記平行平面板L11の屈折率をN1a
とし、前記レンズL12の屈折率をN1bとし、前記レ
ンズL12の焦点距離をf12とし、前記レンズL42
の焦点距離をf42としたとき、 |(N1a・F)/r1|≦0.06 |(N1a・F)/r2|≦0.06 0.3<|r3/(N1b・F)|<0.4 6<|f12/F|+|f42/F|<9 の条件を満足することを特徴とする対物レンズ系を提供
する。
【0006】
【作用】上述のように、本発明の対物レンズ系は、物体
側から順に、互いにほぼ平行な2つの面からなる平行平
面板L11と物体側に凹面を向けたレンズL12と正の
メニスカスレンズとを有する第1レンズ群G1と、2つ
の接合レンズを有し全体として正の屈折力を有する第2
レンズ群G2と、負レンズと正レンズとの接合レンズを
有し全体として負の屈折力を有する第3レンズ群G3
と、正レンズと負レンズL42との接合レンズを有し全
体として負の屈折力を有する第4レンズ群G4とを備え
ている。
【0007】液浸系の顕微鏡用対物レンズでは、最も物
体側のレンズ面は、該レンズ面と液体との間に気泡が入
り難いように平面または物体側に僅かに凸でなければな
らない。そこで、本発明の対物レンズ系においては、上
述のように、最も物体側に、互いにほぼ平行な2つの面
からなる平行平面板を配置している。なお、本明細書に
おいて、平行平面板とは極めて緩やかな曲率を有するレ
ンズをも含む概念である。
【0008】以下、本発明の各条件式について説明す
る。本発明の対物レンズ系は、以下の条件式(1)乃至
(4)を満足する。 |(N1a・F)/r1|≦0.06 (1) |(N1a・F)/r2|≦0.06 (2) 0.3<|r3/(N1b・F)|<0.4 (3) 6<|f12/F|+|f42/F|<9 (4)
【0009】ここで、 F :レンズ全系の合成焦点距離 r1 :平行平面板L11の物体側の面の曲率半径 r2 :平行平面板L11の像側の面の曲率半径 r3 :レンズL12の物体側の凹面の曲率半径 N1a:平行平面板L11のd線(λ=587.6n
m)に対する屈折率 N1b:レンズL12のd線(λ=587.6nm)に
対する屈折率 f12:レンズL12の焦点距離 f42:負レンズL42の焦点距離
【0010】条件式(1)および(2)は、第1レンズ
群G1の平行平面板L11を極めて緩やかな曲率を有す
るレンズとしてみた場合、そのレンズ形状の適切な範囲
を規定するものである。条件式(1)および(2)にお
いて、その上限値を上回ると、ペッツバール和が大きく
なり、平坦性が悪くなるので不都合である。
【0011】条件式(3)は、第1レンズ群G1の物体
側に凹面を向けたレンズL12の凹面形状について適切
な範囲を規定するものである。条件式(3)の上限値を
上回ると、ペッツバール和が大きくなり過ぎて、像面湾
曲が悪くなる。また、レンズ全長(最も物体側の面から
像面までの光軸に沿った距離)も長くなる。逆に、条件
式(3)の下限値を下回ると、光束が拡がり過ぎてしま
い、球面収差が悪化し、軸上色収差が補正過剰になる。
【0012】条件式(4)は、第1レンズ群G1の物体
側に凹面を向けたレンズL12の屈折力および第4レン
ズ群G4の負レンズL42の屈折力について適切な範囲
を規定しており、平坦性に関する条件を定めている。条
件式(4)の上限値を上回ると、像面湾曲の補正過剰に
なるので好ましくない。逆に、条件式(4)の下限値を
下回ると、倍率が大きくなり、その結果レンズ全長も大
きくなるので不都合である。
【0013】
【実施例】本発明の対物レンズ系は、各実施例におい
て、互いにほぼ平行な2つの面からなる平行平面板L1
1と物体側に凹面を向けたレンズL12と正のメニスカ
スレンズとを有する第1レンズ群G1と、2つの接合レ
ンズを有し全体として正の屈折力を有する第2レンズ群
G2と、負レンズと正レンズとの接合レンズを有し全体
として負の屈折力を有する第3レンズ群G3と、正レン
ズと負レンズL42との接合レンズを有し全体として負
の屈折力を有する第4レンズ群G4とを備えている。
【0014】以下、本発明の各実施例を、添付図面に基
づいて説明する。 〔実施例1〕図1は、本発明の第1実施例にかかる対物
レンズ系のレンズ構成を示す図である。図示の対物レン
ズ系は、物体側より順に、平行平面板L11、物体側に
凹面を向けた正メニスカスレンズL12、および物体側
に凹面を向けた正メニスカスレンズL13からなる第1
レンズ群G1と、物体側に凸面を向けた負メニスカスレ
ンズと両凸レンズとの接合レンズ、および両凸レンズと
両凹レンズと両凸レンズとの接合レンズからなる第2レ
ンズ群G2と、両凹レンズと両凸レンズとの接合レンズ
からなる第3レンズ群G3と、両凸レンズと両凹レンズ
L42との接合レンズからなる第4レンズ群G4とから
構成されている。
【0015】次の表(1)に、本発明の実施例1の諸元
の値を掲げる。表(1)において、fは焦点距離を、
N.A.は開口数を、Bは倍率を、W.D.は作動距離
をそれぞれ表す。さらに、左端の数字は物体側からの各
レンズ面の順序を、rは各レンズ面の曲率半径を、dは
各レンズ面間隔を、nおよびνはそれぞれd線(λ=5
87.6nm)に対する屈折率およびアッベ数を示して
いる。
【0016】
【表1】 f = 1.0mm, N.A.= 0.75, B = -20.0, W.D.= 0.03 (条件対応値) (1)|(N1a・F)/r1| =0 (2)|(N1a・F)/r2| =0 (3)|r3/(N1b・F)| =0.323 (4)|f12/F|+|f42/F|=8.5
【0017】図2は、実施例1のオイル使用(屈折率n
=1.51536)における諸収差図である。各収差図
において、FNはFナンバーを、Yは像高を、Hは入射
高の高さを、Dはd線(λ=587.6nm)を、Gは
g線(λ=435.8nm)を、CはC線(λ=65
6.3nm)を、FはF線(λ=486.1nm)をそ
れぞれ示している。
【0018】非点収差を示す収差図において実線はサジ
タル像面を示し、破線はメリディオナル像面を示してい
る。また、倍率色収差を示す収差図では、d線(λ=5
87.6nm)を基準としている。各収差図から明らか
なように、本実施例では、諸収差が良好に補正されてい
ることがわかる。
【0019】〔実施例2〕図3は、本発明の第2実施例
にかかる対物レンズ系のレンズ構成を示す図である。図
示の対物レンズ系は、物体側より順に、平行平面板L1
1、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL12、
および物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズL13
からなる第1レンズ群G1と、物体側に凸面を向けた負
メニスカスレンズと両凸レンズとの接合レンズ、および
両凸レンズと両凹レンズと両凸レンズとの接合レンズか
らなる第2レンズ群G2と、両凹レンズと両凸レンズと
の接合レンズからなる第3レンズ群G3と、両凸レンズ
と両凹レンズL42との接合レンズからなる第4レンズ
群G4とから構成されている。
【0020】次の表(2)に、本発明の実施例2の諸元
の値を掲げる。表(2)において、fは焦点距離を、
N.A.は開口数を、Bは倍率を、W.D.は作動距離
をそれぞれ表す。さらに、左端の数字は物体側からの各
レンズ面の順序を、rは各レンズ面の曲率半径を、dは
各レンズ面間隔を、nおよびνはそれぞれd線(λ=5
87.6nm)に対する屈折率およびアッベ数を示して
いる。
【0021】
【表2】 f = 1.0mm, N.A.= 0.75, B = -20.0, W.D = 0.03 (条件対応値) (1)|(N1a・F)/r1| =0 (2)|(N1a・F)/r2| =0 (3)|r3/(N1b・F)| =0.340 (4)|f12/F|+|f42/F|=7.1
【0022】図4は、実施例2のオイル使用(屈折率n
=1.51536)における諸収差図である。各収差図
において、FNはFナンバーを、Yは像高を、Hは入射
高の高さを、Dはd線(λ=587.6nm)を、Gは
g線(λ=435.8nm)を、CはC線(λ=65
6.3nm)を、FはF線(λ=486.1nm)をそ
れぞれ示している。
【0023】非点収差を示す収差図において実線はサジ
タル像面を示し、破線はメリディオナル像面を示してい
る。また、倍率色収差を示す収差図では、d線(λ=5
87.6nm)を基準としている。各収差図から明らか
なように、本実施例では、諸収差が良好に補正されてい
ることがわかる。
【0024】
【効果】以上説明したように、本発明によれば、埋込み
レンズを使用することなく、液浸系顕微鏡対物レンズの
平坦性を良くすることができるとともに、従来の加工技
術で安価に製造することが可能であり、大幅なコストダ
ウンと品質の安定性を期待することができる。こうし
て、本発明により、倍率が20倍程度で、開口数(N
A)が0. 75程度で、色収差が良く補正された、平坦
性も良い、優れた結像性能を維持する液浸系プランアポ
クロマート級顕微鏡対物レンズを実現することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例にかかる対物レンズ系のレ
ンズ構成を示す図である。
【図2】実施例1のオイル使用における諸収差図であ
る。
【図3】本発明の第2実施例にかかる対物レンズ系のレ
ンズ構成を示す図である。
【図4】実施例2のオイル使用における諸収差図であ
る。
【符号の説明】
G1 第1レンズ群 G2 第2レンズ群 G3 第3レンズ群 G4 第4レンズ群

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 物体側から順に、互いにほぼ平行な2つ
    の面からなる平行平面板L11と物体側に凹面を向けた
    レンズL12と正メニスカスレンズとを有する第1レン
    ズ群G1と、2つの接合レンズを有し全体として正の屈
    折力を有する第2レンズ群G2と、負レンズと正レンズ
    との接合レンズを有し全体として負の屈折力を有する第
    3レンズ群G3と、正レンズと負レンズL42との接合
    レンズを有し全体として負の屈折力を有する第4レンズ
    群G4とを備え、 レンズ全系の合成焦点距離をFとし、前記平行平面板L
    11の物体側の面の曲率半径をr1とし、前記平行平面
    板L11の像側の面の曲率半径をr2とし、前記レンズ
    L12の物体側の凹面の曲率半径をr3とし、前記平行
    平面板L11の屈折率をN1aとし、前記レンズL12
    の屈折率をN1bとし、前記レンズL12の焦点距離を
    f12とし、前記レンズL42の焦点距離をf42とし
    たとき、 |(N1a・F)/r1|≦0.06 |(N1a・F)/r2|≦0.06 0.3<|r3/(N1b・F)|<0.4 6<|f12/F|+|f42/F|<9 の条件を満足することを特徴とする対物レンズ系。
JP6244611A 1994-09-13 1994-09-13 対物レンズ系 Pending JPH0882746A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6244611A JPH0882746A (ja) 1994-09-13 1994-09-13 対物レンズ系
US08/712,985 US5708531A (en) 1994-09-13 1996-09-10 Objective lens system
US08/935,446 US5889617A (en) 1994-09-13 1997-09-23 Objective lens systems

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6244611A JPH0882746A (ja) 1994-09-13 1994-09-13 対物レンズ系

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0882746A true JPH0882746A (ja) 1996-03-26

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ID=17121315

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6244611A Pending JPH0882746A (ja) 1994-09-13 1994-09-13 対物レンズ系

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JP (1) JPH0882746A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5886827A (en) * 1997-11-14 1999-03-23 Nikon Corporation Microscope objective lens with separated lens groups
KR20200033684A (ko) * 2018-09-20 2020-03-30 에이티아이 주식회사 대물 렌즈

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5886827A (en) * 1997-11-14 1999-03-23 Nikon Corporation Microscope objective lens with separated lens groups
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