JPH088327A - ステージ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明はステージ装置において、従来に比して
粘着シートからチツプ部品を剥がれ易くする。 【構成】矩形形状でなるチツプ部品が粘着面上にマトリ
クス状に配列されてなる粘着シートを、チツプ部品の並
び間隔とほぼ同じ間隔で凹部と凸部とが平面上の２方向
についてそれぞれ周期的に繰り返されるように形成され
たステージ面上に載置する。続いてステージ面上に載置
されている粘着シートをステージ面に真空吸着する。こ
れにより粘着シートはステージ面の凹凸に沿つて変形
し、変形しないチツプ部品の一部分に隙間を発生させ
る。これにより粘着力を弱め、剥がれ易くすることがで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はステージ装置に関し、例
えばダイボンダに適用し得るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のダイボンダでは図４に示
す一連の手順によつてダイをリードフレーム上に装着す
るようになされている。まず図４（Ａ）に示すように粘
着性樹脂テープでなるウエハシート１に粘着固定されて
いるダイシング済みのウエハ２からダイ３を１枚づつ剥
し取る。次にこれらを図４（Ｂ）に示すようにトレー４
の小部屋に１枚づつ移し換えて再配列する。このトレー
４がダイボンダの所定位置に備え付けられると、ダイボ
ンダはトレー４から順にダイ３を取り出して図５（Ｃ）
に示すようにリードフレーム５上の所定位置に位置決め
する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところがこの手法では
多量のダイ３をトレー４に一旦移し換える作業（工数）
が必要であるため時間がかかる。またトレー４としては
ダイのサイズに適合したものを用意する必要があり、小
量生産の場合には作成経費や維持費がかさむといつた問
題もあつた。さらにウエハシート１からダイ３を剥して
トレー４に移し換える搬送機構とトレー４からダイ３を
リードフレーム５に移し換える搬送機構とは従来別機構
となつていたためダイボンダ全体が大型になる問題があ
つた。

【０００４】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、従来に比して簡単に粘着シートからチツプ部品を剥
離することができるステージ装置を提案しようとするも
のである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、矩形形状でなるチツプ部品（３）
が粘着面上にマトリクス状に配列されてなる粘着シート
（２）からチツプ部品（３）を剥離する際に用いられる
ステージ装置において、チツプ部品（３）の並び間隔と
ほぼ同じ間隔で凹部と凸部とが平面上の２方向について
それぞれ周期的に繰り返されるステージ面を有する載置
台（１２Ａ）と、粘着シート（２）をステージ面に真空
吸着させ、粘着シート（２）を凹部及び凸部に沿うよう
に変形させることによりチツプ部品（３）を剥がれ易く
させる真空吸着手段（１２Ｂ）とを設けるようにする。

【０００６】

【作用】チツプ部品（３）の並び間隔とほぼ同じ間隔で
凹部と凸部とが平面上の２方向についてそれぞれ周期的
に繰り返されるように形成されたステージ面に粘着シー
ト（２）を載置し、この粘着シート（２）をステージ面
に真空吸着させるようにしたことにより、粘着シート
（２）がステージ面の凹凸に沿つて変形する。これに対
してチツプ部品（３）は粘着シート（２）のようにステ
ージ面に沿つて変形しないためチツプ部品（３）の裏面
の一部が粘着シート（２）から自然に剥がれる。これに
より粘着力を弱めることができ、チツプ部品（３）を剥
がれ易くすることができる。

【０００７】

【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。

【０００８】図１において１０は全体としてセミオート
ダイボンダを示し、ウエハシート１に粘着されているダ
イシング済みのウエハ２からダイ３を１枚づつ剥し取
り、これらを順にリードフレーム５上に移し換える工程
を簡易化したものでトレー４への移し換え工程をなくし
たことを特徴としている。このためセミオートダイボン
ダ１０は本体１１の作業台１１Ａ上に中間ステージ１３
を設けると共にウエハステージ１２を用意する。

【０００９】ウエハステージ１２は互いに直交する２方
向に伸びる線材の位置関係が互い違いに上下するように
編み込んだ網１２Ａを台座１２Ｂ上に固定した構成でな
る。この網１２Ａの網目の大きさはダイ３の大きさとほ
ぼ同じでものを用いる。このようにウエハシート１の載
置場所である網１２Ａは平ではなく凸凹に畝つている。
従つて柔軟性に富むシート部材でなるウエハシート１は
網１２Ａの表面形状に沿つて変形する。

【００１０】一方、ダイ３は変形しない。この結果、ダ
イ３の裏面の一部がウエハシート１から自然に剥がれ、
隙間が生じるようになされている。さらにこの実施例の
場合には、網１２Ａの裏面を減圧することによりこの効
果を高めるよう工夫されている。ウエハシート１は網１
２Ａに真空吸着されることによりますます変形し、単に
載置する場合よりも大きなたわみが得られる。このため
ダイ３とウエハシート１との間の粘着力は一層低下し、
真空ピンセツト１２Ｃによつてダイ３を真空吸着すれば
ウエハシート１から簡単に剥がすことができる。

【００１１】次に真空ピンセツト１２Ｃによつて剥がさ
れたダイ３を載置する中間ステージ１３について説明す
る。この中間ステージ１３は図３（Ａ）に示すように円
板形状の台座の表面に高低差を有する２つの面１３Ａ及
び１３Ｂを設けた構成でなる。このうちダイ３が位置決
めされる下面１３Ｂの形状は９０°の角度で広がる扇型
でなる。これにより真空ピンセツト１２Ｃで真空吸着さ
れたダイ３を下面１３Ｂ上に搬送したとき、ダイ３の２
辺がそれぞれ２つの側壁１３Ｃに当接されて一意に位置
決めできるようになされている。

【００１２】また下段面１３Ｂのうち扇頂部にはチツプ
吸着穴１３Ｄが形成されており、位置決めされたダイ３
を裏面より真空吸着して位置を固定できるようになされ
ている。また下面１３Ｂの面積はダイ３の面積に対して
十分広く、図３（Ｂ）や図３（Ｃ）に示すようにチツプ
面積の異なるダイ３についても設計変更なく中間ステー
ジ１３を共用できるようになされている。

【００１３】因に本体１１にはこれらに加えて、ロボツ
トアーム１４とペースト塗布ノズル１５とが設けられて
いる。このうちロボツトアーム１４は中間ステージ１３
に位置決めされたダイ３をリードフレーム５へ搬送する
ための機構である。またペースト塗布ノズル１５はリー
ドフレーム５上のダイパツドに銀ペーストを塗布するた
めの機構である。

【００１４】以上の構成において、ダイボンダ１０によ
るボンデイング動作を説明する。まずダイシング済みの
ウエハ２を保持するウエハシート１をウエハステージ１
２の網１２Ａ上に載置する。そして網１２Ａの表面にウ
エハシート１を真空吸着させ、ウエハシート１上に粘着
固定されているダイ３をシート面から剥がし易い状態に
制御する。

【００１５】次に真空ピンセツト１２Ｃによつてダイ３
を１枚づつウエハシート１から剥がし、これを人手によ
つて中間ステージ１３へ移し換える。このとき作業者は
側壁１３Ｃにダイ３の２つの側面が当接するように位置
決めして下面１３Ｂの扇頂である原点にダイ３を位置決
めする。この位置決め作業が終了すると、チツプ吸着穴
１３Ｄを介してダイ３を真空吸着して下面１３Ｂに吸い
付け、位置決めされた位置からダイ３が動かないように
する。そして真空ピンセツト１２Ｃによる真空吸着を停
止させる。

【００１６】この後は本体１１に設けられているロボツ
トアーム１４を駆動し、中間ステージ１３の上方に移動
させる。この段階でチツプ吸着穴１３Ｄによる真空吸着
が切れ、ダイ３はロボツトアーム１４に移し換えられ
る。このときペースト塗布ノズル１５は目的とするダイ
パツド上に銀ペーストを塗布する。この後、ロボツトア
ーム１４がダイ３をダイパツド上に載せる。このように
ダイパツド上へのダイ３の搬送が終了すると、ロボツト
アーム１４は中間ステージ１３の原点上方に戻り、次の
搬送動作に移る。

【００１７】以上の構成によれば、トレーに移し換える
作業とほぼ同じ作業時間の間にダイボンド作業を終了す
ることができ、作業効率を高めることができる。特に小
量のダイ３をボンデイングすることを目的とするダイボ
ンダの場合には特に有効である。

【００１８】またこのように従来必要であつたトレーの
ような治具が必要なくなるためトレーを作成したり購入
するための費用を削減することができる。またトレーが
必要でない分、ダイボンダ１０内にトレーを設置するた
めの空間やトレーからリードフレーム上に搬送するため
の機構を設けなくて良く、その分、ダイボンダ１０を小
型化することができる。

【００１９】またウエハステージ１２によつてウエハシ
ート１からダイ３を剥し易くできるようにしたことによ
り、従来のように手でウエハシート１の裏面を支え、指
先でウエハシート１の裏面からダイ３を押し上げてウエ
ハシート１をたわませるような手間をなくすことができ
る。また同様にこの作業を機械式の押し上げ機構を用い
る場合に比べても上下動される機械式ピンの衝撃によつ
てダイ３が破損するおそれをなくすことができる。

【００２０】さらに中間ステージ１３の載置面である下
面１３Ｂは扇型であり、ダイ３の２辺を側壁１３Ｃに押
し当てるだけで簡単に位置決めできるため位置決めに要
する時間も短時間で済む。また中間ステージ１３の面積
はチツプサイズに対して十分大きいためチツプサイズの
小さいダイ３についても大きいチツプサイズのダイ３に
ついても簡単に位置決めでき、汎用性の高いダイボンダ
１０を実現することができる。

【００２１】なお上述の実施例においては、図２に示す
ようにダイ３の２辺がそれぞれ網１２Ａの網目を構成す
る線材の伸びる方向と平行になるようにオリフラを合わ
せる場合について述べたが、本発明はこれに限らず、線
材の伸びる方向とダイ３の２辺が交差するようにオリフ
ラを合わせても良い。このように２辺が線材の伸びる方
向と交差するように載置すれば剥がれる面積が広くなり
一層剥し易くできる。

【００２２】また上述の実施例においては、網１２Ａと
して網目がダイ３とほぼ同じ、すなわち直方形（正方形
を含む）となるように編まれたものを用いる場合につい
て述べたが、本発明はこれに限らず、平行四辺形となる
ように編まれたもの等様々な形状のものを用い得る。ま
た網である場合に限らず、表面にほぼチツプサイズで規
則的な凹凸が形成されているものであつても適用し得
る。この場合にも凹部に吸着用の穴を設け、真空吸着で
きるようにしてあれば剥し易さを高めることができる。

【００２３】さらに上述の実施例においては、中間ステ
ージ１３として図３に示す形状のものを用いる場合につ
いて述べたが、本発明はこれに限らず、下面１３が作業
台１１Ａの面に対して傾斜するように形成されていても
良い。要はダイ３の側面のうち２面を当接した状態で位
置決めできる構成になつていれば良い。

【００２４】さらに上述の実施例においては、ダイボン
ダ１０について述べたが、本発明はこれに限らず、粘着
性のシート材の上面にマトリクス状に配列されているチ
ツプ部品を１枚づつを剥す作業の際に用いるステージ装
置についてであれば広く適用し得る。

【００２５】

【発明の効果】上述のように本発明によれば、チツプ部
品の並び間隔とほぼ同じ間隔で凹部と凸部とが平面上の
２方向についてそれぞれ周期的に繰り返されるステージ
面に粘着シートを真空吸着させ、粘着シートを凹部及び
凸部に沿つて変形させるようにしたことによりステージ
面に沿つて変形しないチツプ部品の裏面の一部を粘着シ
ートから剥がし、チツプ部品を粘着シートから剥がれ易
くすることができるステージ装置を容易に得ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるステージ装置を用いた装置の一実
施例を示す斜視図である。

【図２】吸着時におけるシート材の変形状態の説明に供
する断面図である。

【図３】中間ステージの説明に供する斜視図である。

【図４】従来用いられている作業手順を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１……ウエハシート、２……ウエハ、３……ダイ、４…
…トレー、５……リードフレーム、１０……ダイボン
ダ、１１……本体、１１Ａ……作業台、１２……ウエハ
ステージ、１２Ａ……網、１２Ｂ……台座、１２Ｃ……
真空ピンセツト、１３……中間ステージ、１４……ロボ
ツトアーム、１５……ペースト塗布ノズル。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】矩形形状でなるチツプ部品が粘着面上にマ
   トリクス状に配列されてなる粘着シートから上記チツプ
   部品を剥離する際に用いられるステージ装置において、 上記チツプ部品の並び間隔とほぼ同じ間隔で凹部と凸部
   とが平面上の２方向についてそれぞれ周期的に繰り返さ
   れるステージ面を有する載置台と、 上記粘着シートを上記ステージ面に真空吸着させ、上記
   粘着シートを上記凹部及び上記凸部に沿うように変形さ
   せることにより上記チツプ部品を剥がれ易くさせる真空
   吸着手段とを具えることを特徴とするステージ装置。
2. 【請求項２】上記載置台は網状部材でなることを特徴と
   する請求項１に記載のステージ装置。