JPH0883974A - パッケージ実装方法及びそのボンディングツール - Google Patents
パッケージ実装方法及びそのボンディングツールInfo
- Publication number
- JPH0883974A JPH0883974A JP24224294A JP24224294A JPH0883974A JP H0883974 A JPH0883974 A JP H0883974A JP 24224294 A JP24224294 A JP 24224294A JP 24224294 A JP24224294 A JP 24224294A JP H0883974 A JPH0883974 A JP H0883974A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- connecting portion
- bonding tool
- mounting
- wiring board
- printed wiring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 TCPの実装において、1つのボンディング
ツールによって熱圧着が可能となるようにし、プリント
配線板への実装時間の短縮、及びLSIチップ、TCP
リードへの加熱による悪影響の除去を図る。 【構成】 バンプ付ベアーチップをプリント配線板の所
定実装位置へ予め固着し、TCPテープ上に貼り付けら
れた導体を所定形態にフォーミングし、アウター接続部
27とインナー接続部29を共に有するボンディングツ
ール21によって導体のアウターリード端及びインナー
リード端を、プリント配線板のフットプリントとベアー
チップのバンプとに同時に熱圧着する。また、ボンディ
ングツール21は、アウターリード端を熱圧着するアウ
ター接続部27と、インナーリード端を熱圧着するイン
ナー接続部29とを一つの基台部25に共に設ける。
ツールによって熱圧着が可能となるようにし、プリント
配線板への実装時間の短縮、及びLSIチップ、TCP
リードへの加熱による悪影響の除去を図る。 【構成】 バンプ付ベアーチップをプリント配線板の所
定実装位置へ予め固着し、TCPテープ上に貼り付けら
れた導体を所定形態にフォーミングし、アウター接続部
27とインナー接続部29を共に有するボンディングツ
ール21によって導体のアウターリード端及びインナー
リード端を、プリント配線板のフットプリントとベアー
チップのバンプとに同時に熱圧着する。また、ボンディ
ングツール21は、アウターリード端を熱圧着するアウ
ター接続部27と、インナーリード端を熱圧着するイン
ナー接続部29とを一つの基台部25に共に設ける。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、テープキャリアパッケ
ージ(以下、「TCP」という)の実装方法及びその実
装に用いるボンディングツールに関する。
ージ(以下、「TCP」という)の実装方法及びその実
装に用いるボンディングツールに関する。
【0002】
【従来の技術】TCPによる実装では、LSIチップ
が、一旦、実装形態でTCPテープ上に搭載された後、
通常のプリント配線板へ実装される。図7は搭載前のL
SIチップ前処理工程の説明図、図8はTCPテープの
平面図、図9はインナーリードボンディングツールの斜
視図である。TCPの実装では、先ず、図7(a)に示
すLSIチップ1の外縁部に設けられた電極1aに、図
7(b)に示すバンプと称する金、半田、又はその他の
金属からなる微小の金属球3を、メッキ法、転写法、ス
タッド法等により形成し、図8に示すTCP用の導体
(リード)5を付設したテープ7に、インナーリードボ
ンダーと称する実装機の図9に示すインナーリードボン
ディングツール9にて熱圧着し、TCPテープ7上にL
SIチップ1の搭載を行う。
が、一旦、実装形態でTCPテープ上に搭載された後、
通常のプリント配線板へ実装される。図7は搭載前のL
SIチップ前処理工程の説明図、図8はTCPテープの
平面図、図9はインナーリードボンディングツールの斜
視図である。TCPの実装では、先ず、図7(a)に示
すLSIチップ1の外縁部に設けられた電極1aに、図
7(b)に示すバンプと称する金、半田、又はその他の
金属からなる微小の金属球3を、メッキ法、転写法、ス
タッド法等により形成し、図8に示すTCP用の導体
(リード)5を付設したテープ7に、インナーリードボ
ンダーと称する実装機の図9に示すインナーリードボン
ディングツール9にて熱圧着し、TCPテープ7上にL
SIチップ1の搭載を行う。
【0003】図10はLSIチップ搭載後のテープの平
面図、図11は実装形態となったLSIチップの斜視
図、図12はアウターリードボンディングツールの斜視
図である。LSIチップ1の搭載を行ったTCP11
(図10参照)は、アウターリードのカット及びフォー
ミングを専用の金型により行い、通常のプリント配線板
へ実装可能な図11に示す実装形態への加工を終了す
る。そして、実装形態への加工が終了したTCP11
は、アウターリードボンダーと称する実装機の図12に
示すアウターリードボンディングツール13にてプリン
ト配線板(図示せず)上へアウターリードの熱圧着を行
う。このように、従来のTCPの実装では、インナーリ
ードボンディングツール9、アウターリードボンディン
グツール13の2種類のボンディングツールで合計2回
の加熱が行われていた。
面図、図11は実装形態となったLSIチップの斜視
図、図12はアウターリードボンディングツールの斜視
図である。LSIチップ1の搭載を行ったTCP11
(図10参照)は、アウターリードのカット及びフォー
ミングを専用の金型により行い、通常のプリント配線板
へ実装可能な図11に示す実装形態への加工を終了す
る。そして、実装形態への加工が終了したTCP11
は、アウターリードボンダーと称する実装機の図12に
示すアウターリードボンディングツール13にてプリン
ト配線板(図示せず)上へアウターリードの熱圧着を行
う。このように、従来のTCPの実装では、インナーリ
ードボンディングツール9、アウターリードボンディン
グツール13の2種類のボンディングツールで合計2回
の加熱が行われていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来技術では、TCP11をプリント配線板に実装す
るまでに、最低2つのボンディングツールが必要となる
ため、工具管理が煩雑になるとともに、これら2つのボ
ンディングツールを用いて順次熱圧着を行うため、圧着
時間が長くなる問題があった。また、合計2回の加熱が
行われるため、LSIチップ1及びTCPリードに、熱
による悪影響や酸化による歩留りの低下が発生する問題
があった。本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、
TCPの実装において、1つのボンディングツールによ
って熱圧着ができるパッケージ実装方法及びそのボンデ
ィングツールを提供し、プリント配線板への実装時間の
短縮、及びLSIチップ、TCPリードへの加熱による
悪影響の除去を図ることを目的とする。
た従来技術では、TCP11をプリント配線板に実装す
るまでに、最低2つのボンディングツールが必要となる
ため、工具管理が煩雑になるとともに、これら2つのボ
ンディングツールを用いて順次熱圧着を行うため、圧着
時間が長くなる問題があった。また、合計2回の加熱が
行われるため、LSIチップ1及びTCPリードに、熱
による悪影響や酸化による歩留りの低下が発生する問題
があった。本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、
TCPの実装において、1つのボンディングツールによ
って熱圧着ができるパッケージ実装方法及びそのボンデ
ィングツールを提供し、プリント配線板への実装時間の
短縮、及びLSIチップ、TCPリードへの加熱による
悪影響の除去を図ることを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係るパッケージ実装方法は、プリント配線板
へのパッケージ実装方法において、バンプ付ベアーチッ
プをプリント配線板の所定実装位置へ予め固着し、TC
Pテープ上に貼り付けられた導体を所定形態にフォーミ
ングし、アウター接続部とインナー接続部を共に有する
ボンディングツールによって、導体のアウターリード端
及びインナーリード端をプリント配線板のフットプリン
トとベアーチップのバンプとに同時に熱圧着することを
特徴とするものである。また、本発明に係るボンディン
グツールの構成は、テープキャリアパッケージをプリン
ト配線板へ実装するボンディングツールであって、アウ
ターリード端を熱圧着するアウター接続部とインナーリ
ード端を熱圧着するインナー接続部とが一つの基台部に
設けられたことを特徴とするものである。
の本発明に係るパッケージ実装方法は、プリント配線板
へのパッケージ実装方法において、バンプ付ベアーチッ
プをプリント配線板の所定実装位置へ予め固着し、TC
Pテープ上に貼り付けられた導体を所定形態にフォーミ
ングし、アウター接続部とインナー接続部を共に有する
ボンディングツールによって、導体のアウターリード端
及びインナーリード端をプリント配線板のフットプリン
トとベアーチップのバンプとに同時に熱圧着することを
特徴とするものである。また、本発明に係るボンディン
グツールの構成は、テープキャリアパッケージをプリン
ト配線板へ実装するボンディングツールであって、アウ
ターリード端を熱圧着するアウター接続部とインナーリ
ード端を熱圧着するインナー接続部とが一つの基台部に
設けられたことを特徴とするものである。
【0006】
【作用】パッケージ実装方法では、ベアーチップが予め
プリント配線板に固着される一方、TCPテープ上の導
体が所定形態にフォーミングされ、この導体のアウター
リード端とインナーリード端とが同時に一つのボンディ
ングツールで熱圧着されることで、ベアーチップの実装
が一回の加熱工程で完了する。ボンディングツールで
は、アウター接続部とインナー接続部とが一つのボンデ
ィングツールに設けられ、それぞれが最適な温度で加熱
されることで、インナーリードとアウターリードが一括
して熱圧着可能となる。
プリント配線板に固着される一方、TCPテープ上の導
体が所定形態にフォーミングされ、この導体のアウター
リード端とインナーリード端とが同時に一つのボンディ
ングツールで熱圧着されることで、ベアーチップの実装
が一回の加熱工程で完了する。ボンディングツールで
は、アウター接続部とインナー接続部とが一つのボンデ
ィングツールに設けられ、それぞれが最適な温度で加熱
されることで、インナーリードとアウターリードが一括
して熱圧着可能となる。
【0007】
【実施例】以下、本発明に係るパッケージ実装方法及び
そのボンディングツールの好適な実施例を図面を参照し
て詳細に説明する。図1は本発明ボンディングツールの
斜視図、図2はアウターリード熱圧着部の説明図、図3
はインナーリード熱圧着部の説明図である。本実施例の
ボンディングツール21は、大別して装着部23、基台
部25、アウター接続部27、インナー接続部29から
構成されている。図示しないボンダー(装置側)に組み
込まれる方体形の装着部23は、電気抵抗値の低い銅、
黄銅等の金属よりなる。装着部23の下面にはこれより
大きい方体形の基台部25が連設され、基台部25も装
着部23と同様の素材からなる。基台部25の下面には
下面が方形枠状に形成されたアウター接続部27が保持
され、アウター接続部27の下面はアウターリード部の
熱圧着面となる。つまり、アウター接続部27は、内側
にベアーチップ(LSIチップ)を挿入した状態で、ア
ウターリード部のみを圧接できるようになっている。ア
ウター接続部27は、熱膨張を抑えるため、熱膨張係数
の小さい例えばモリブデン、Ni合金等の素材からな
る。
そのボンディングツールの好適な実施例を図面を参照し
て詳細に説明する。図1は本発明ボンディングツールの
斜視図、図2はアウターリード熱圧着部の説明図、図3
はインナーリード熱圧着部の説明図である。本実施例の
ボンディングツール21は、大別して装着部23、基台
部25、アウター接続部27、インナー接続部29から
構成されている。図示しないボンダー(装置側)に組み
込まれる方体形の装着部23は、電気抵抗値の低い銅、
黄銅等の金属よりなる。装着部23の下面にはこれより
大きい方体形の基台部25が連設され、基台部25も装
着部23と同様の素材からなる。基台部25の下面には
下面が方形枠状に形成されたアウター接続部27が保持
され、アウター接続部27の下面はアウターリード部の
熱圧着面となる。つまり、アウター接続部27は、内側
にベアーチップ(LSIチップ)を挿入した状態で、ア
ウターリード部のみを圧接できるようになっている。ア
ウター接続部27は、熱膨張を抑えるため、熱膨張係数
の小さい例えばモリブデン、Ni合金等の素材からな
る。
【0008】図2に示すように、装着部23及び基台部
25は絶縁材31により+側と−側とに隔絶されてお
り、基台部25の+側にはアウター接続部27の+極側
が接続される一方、基台部25の−側にはアウター接続
部27の−極側が接続されている。つまり、装着部23
の+側と−側に電流が印加されることにより、アウター
接続部27の下面は発熱するのである。この部分の温度
制御は、例えば、パルスヒート方式により行われる。通
常の状態では、装着部23、基台部25、アウター接続
部27は、室温まで温度が降下しており、熱圧着を行う
時のみボンダーより電流を流し、アウター接続部27の
高い抵抗値により発熱するようになっている。昇温は、
500°c程度までを可能とする。
25は絶縁材31により+側と−側とに隔絶されてお
り、基台部25の+側にはアウター接続部27の+極側
が接続される一方、基台部25の−側にはアウター接続
部27の−極側が接続されている。つまり、装着部23
の+側と−側に電流が印加されることにより、アウター
接続部27の下面は発熱するのである。この部分の温度
制御は、例えば、パルスヒート方式により行われる。通
常の状態では、装着部23、基台部25、アウター接続
部27は、室温まで温度が降下しており、熱圧着を行う
時のみボンダーより電流を流し、アウター接続部27の
高い抵抗値により発熱するようになっている。昇温は、
500°c程度までを可能とする。
【0009】一方、図3に示すように、基台部25下面
のアウター接続部27の枠内には方体形のインナー接続
部29が付設され、インナー接続部29はインナーリー
ドとLSIチップの外縁部に設けられたバンプとを熱圧
着する。従って、インナー接続部29の下面は、アウタ
ー接続部27の下面からLSIチップとバンプの厚みd
分引っ込んだ位置に凹設され、所謂オフセット状態とな
っている。インナー接続部29の加熱方式は、内部に設
けられた発熱体に電流を印加して発熱させるコンスタン
ト方式となっている。また、インナー接続部29は、非
常に高い平面度が要求されるため、ダイヤモンド等高温
においても高い平面度が維持できる素材より形成され
る。
のアウター接続部27の枠内には方体形のインナー接続
部29が付設され、インナー接続部29はインナーリー
ドとLSIチップの外縁部に設けられたバンプとを熱圧
着する。従って、インナー接続部29の下面は、アウタ
ー接続部27の下面からLSIチップとバンプの厚みd
分引っ込んだ位置に凹設され、所謂オフセット状態とな
っている。インナー接続部29の加熱方式は、内部に設
けられた発熱体に電流を印加して発熱させるコンスタン
ト方式となっている。また、インナー接続部29は、非
常に高い平面度が要求されるため、ダイヤモンド等高温
においても高い平面度が維持できる素材より形成され
る。
【0010】上述のボンディングツール21によれば、
アウター接続部27とインナー接続部29とを一つのボ
ンディングツールに設け、アウター接続部27とインナ
ー接続部29との加熱方式を独立にし、それぞれ異なる
最適な温度での設定を可能としたので、TCPの実装に
おいて、インナーリードとアウターリードの熱圧着を一
括して行うことができるようになる。なお、本実施例で
は、温度の異なるボンディングツールが近接して設けら
れることになるが、それぞれのボンディングツール発熱
時の基台部25における温度上昇は小さいため、熱の干
渉による悪影響が熱圧着時に生じることはない。
アウター接続部27とインナー接続部29とを一つのボ
ンディングツールに設け、アウター接続部27とインナ
ー接続部29との加熱方式を独立にし、それぞれ異なる
最適な温度での設定を可能としたので、TCPの実装に
おいて、インナーリードとアウターリードの熱圧着を一
括して行うことができるようになる。なお、本実施例で
は、温度の異なるボンディングツールが近接して設けら
れることになるが、それぞれのボンディングツール発熱
時の基台部25における温度上昇は小さいため、熱の干
渉による悪影響が熱圧着時に生じることはない。
【0011】このように構成されるボンディングツール
21を用いたTCPの実装方法を説明する。図4はプリ
ント配線板へのLSIチップの取付け工程を表す説明
図、図5はテープ上に貼り付けられた導体のフォーミン
グ工程を表す説明図、図6はプリント配線板への実装が
完了したLSIチップの斜視図である。本実装工程で
は、図4(a)に示すように、先ず、バンプ31付のベ
アーチップ(LSIチップ)33をプリント配線板35
の実装位置37へ、接着剤を用いて固着する。この際、
LSIチップ33は、(b)に示すように、電極(バン
プ31)側の面を上にして配置する(フェースアップ実
装)。
21を用いたTCPの実装方法を説明する。図4はプリ
ント配線板へのLSIチップの取付け工程を表す説明
図、図5はテープ上に貼り付けられた導体のフォーミン
グ工程を表す説明図、図6はプリント配線板への実装が
完了したLSIチップの斜視図である。本実装工程で
は、図4(a)に示すように、先ず、バンプ31付のベ
アーチップ(LSIチップ)33をプリント配線板35
の実装位置37へ、接着剤を用いて固着する。この際、
LSIチップ33は、(b)に示すように、電極(バン
プ31)側の面を上にして配置する(フェースアップ実
装)。
【0012】次に、図5(a)に示すTCPテープ39
上の導体41に、図示しない金型を用いて、(b)に示
す形態にカット及びフォーミングを施す。なお、通常の
TCPにおける実装では、LSIチップがTCPテープ
39の導体中央部に搭載されているが、本実施例の実装
工程では、TCPテープ(サポートリング)39に導体
41が貼り付けられているだけのものとなっている。
上の導体41に、図示しない金型を用いて、(b)に示
す形態にカット及びフォーミングを施す。なお、通常の
TCPにおける実装では、LSIチップがTCPテープ
39の導体中央部に搭載されているが、本実施例の実装
工程では、TCPテープ(サポートリング)39に導体
41が貼り付けられているだけのものとなっている。
【0013】次に、導体41のカット及びフォーミング
が施されたTCPテープ39を、上述のボンディングツ
ール21で吸着し、導体41をプリント配線板35及び
LSIチップ33の所定位置に位置決めする。位置決め
は、プリント配線板35のフットプリント43とアウタ
ーリード端41a、及びLSIチップ33のバンプ31
とインナーリード端41bを、CCDカメラにて認識し
ながらXYステージ等で位置合わせを行う。位置決め完
了後、ボンディングツール21のアウター接続部27及
びインナー接続部29を同時に発熱させ、アウターリー
ド端41a及びインナーリード端41bを一括して熱圧
着し、図6に示す状態にLSIチップ33のプリント配
線板35への実装を終了するのである。
が施されたTCPテープ39を、上述のボンディングツ
ール21で吸着し、導体41をプリント配線板35及び
LSIチップ33の所定位置に位置決めする。位置決め
は、プリント配線板35のフットプリント43とアウタ
ーリード端41a、及びLSIチップ33のバンプ31
とインナーリード端41bを、CCDカメラにて認識し
ながらXYステージ等で位置合わせを行う。位置決め完
了後、ボンディングツール21のアウター接続部27及
びインナー接続部29を同時に発熱させ、アウターリー
ド端41a及びインナーリード端41bを一括して熱圧
着し、図6に示す状態にLSIチップ33のプリント配
線板35への実装を終了するのである。
【0014】上述のボンディングツール21を用いたT
CPの実装方法によれば、LSIチップ33をTCPテ
ープ39に搭載するのではなく、プリント配線板35に
先にダイボンディングし、アウターリード端41aとイ
ンナーリード端41bとを同時に一つのボンディングツ
ール21で熱圧着するので、一回の加熱工程で実装を行
うことが可能となる。
CPの実装方法によれば、LSIチップ33をTCPテ
ープ39に搭載するのではなく、プリント配線板35に
先にダイボンディングし、アウターリード端41aとイ
ンナーリード端41bとを同時に一つのボンディングツ
ール21で熱圧着するので、一回の加熱工程で実装を行
うことが可能となる。
【0015】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
るパッケージ実装方法によれば、アウターリード端とイ
ンナーリード端を同時に一つのボンディングツールで熱
圧着するので、一回の加熱工程で実装を行うことが可能
となり、プリント配線板への実装時間の短縮、及びLS
Iチップ、TCPリードへの加熱による悪影響を除去す
ることができ、信頼性及び歩留りを向上させることがで
きる。また、本発明に係るボンディングツールによれ
ば、アウター接続部とインナー接続部とを一つのボンデ
ィングツールに設けたので、インナーリードとアウター
リードの熱圧着が一括して行えるようになるとともに、
ボンディングツールが半減するので、工具管理も容易に
することができる。
るパッケージ実装方法によれば、アウターリード端とイ
ンナーリード端を同時に一つのボンディングツールで熱
圧着するので、一回の加熱工程で実装を行うことが可能
となり、プリント配線板への実装時間の短縮、及びLS
Iチップ、TCPリードへの加熱による悪影響を除去す
ることができ、信頼性及び歩留りを向上させることがで
きる。また、本発明に係るボンディングツールによれ
ば、アウター接続部とインナー接続部とを一つのボンデ
ィングツールに設けたので、インナーリードとアウター
リードの熱圧着が一括して行えるようになるとともに、
ボンディングツールが半減するので、工具管理も容易に
することができる。
【図1】本発明ボンディングツールの斜視図である。
【図2】アウターリード熱圧着部の説明図である。
【図3】インナーリード熱圧着部の説明図である。
【図4】プリント配線板へのLSIチップの取付け工程
を表す説明図である。
を表す説明図である。
【図5】テープ上に貼り付けられた導体のフォーミング
工程を表す説明図である。
工程を表す説明図である。
【図6】プリント配線板への実装が完了したLSIチッ
プの斜視図である。
プの斜視図である。
【図7】テープ搭載前のLSIチップ前処理工程の説明
図である。
図である。
【図8】TCPテープの平面図である。
【図9】インナーリードボンディングツールの斜視図で
ある。
ある。
【図10】LSIチップ搭載後のテープの平面図であ
る。
る。
【図11】実装形態となったLSIチップの斜視図であ
る。
る。
【図12】アウターリードボンディングツールの斜視図
である。
である。
21 ボンディングツール 25 基台部 27 アウター接続部 29 インナー接続部 31 バンプ 33 LSIチップ(ベアーチップ) 35 プリント配線板 37 プリント配線板の所定実装位置 39 TCPテープ 41 導体 41a アウターリード端 41b インナーリード端 43 フットプリント d バンプ付ベアーチップの厚み
Claims (6)
- 【請求項1】 プリント配線板へのパッケージ実装方法
において、 バンプ付ベアーチップを前記プリント配線板の所定実装
位置へ予め固着し、TCPテープ上に貼り付けられた導
体を所定形態にフォーミングし、アウター接続部とイン
ナー接続部を共に有するボンディングツールによって該
導体のアウターリード端及びインナーリード端をプリン
ト配線板のフットプリントとベアーチップのバンプとに
同時に熱圧着することを特徴とするパッケージ実装方
法。 - 【請求項2】 前記アウター接続部をパルスヒート方式
で発熱させる一方、前記インナー接続部をコンスタント
ヒート方式で発熱させることを特徴とする請求項1記載
のパッケージ実装方法。 - 【請求項3】 テープキャリアパッケージをプリント配
線板へ実装するボンディングツールであって、 アウターリード端を熱圧着するアウター接続部とインナ
ーリード端を熱圧着するインナー接続部とが一つの基台
部に設けられたことを特徴とするボンディングツール。 - 【請求項4】 前記アウター接続部がバンプ付ベアーチ
ップを包囲する枠状に形成されるとともに、前記インナ
ー接続部が該アウター接続部の枠内に配設されているこ
とを特徴とする請求項3記載のボンディングツール。 - 【請求項5】 前記アウター接続部の発熱方式がパルス
ヒート方式である一方、前記インナー接続部の発熱方式
がコンスタントヒート方式であることを特徴とする請求
項3記載のボンディングツール。 - 【請求項6】 前記インナー接続部の圧接面がバンプ付
ベアーチップの厚み分前記アウター接続部の圧着面から
引っ込んだ位置に凹設されていることを特徴とする請求
項3記載のボンディングツール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24224294A JPH0883974A (ja) | 1994-09-09 | 1994-09-09 | パッケージ実装方法及びそのボンディングツール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24224294A JPH0883974A (ja) | 1994-09-09 | 1994-09-09 | パッケージ実装方法及びそのボンディングツール |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0883974A true JPH0883974A (ja) | 1996-03-26 |
Family
ID=17086364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24224294A Pending JPH0883974A (ja) | 1994-09-09 | 1994-09-09 | パッケージ実装方法及びそのボンディングツール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0883974A (ja) |
-
1994
- 1994-09-09 JP JP24224294A patent/JPH0883974A/ja active Pending
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