JPH088530A - Semiconductor chip mounting device - Google Patents

Semiconductor chip mounting device

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Publication number
JPH088530A
JPH088530A JP13861594A JP13861594A JPH088530A JP H088530 A JPH088530 A JP H088530A JP 13861594 A JP13861594 A JP 13861594A JP 13861594 A JP13861594 A JP 13861594A JP H088530 A JPH088530 A JP H088530A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor chip
heater
chip
wiring board
mounting
Prior art date
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Pending
Application number
JP13861594A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Keitaro Kikuchi
敬太郎 菊地
Masaki Senda
正樹 千田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Alps Alpine Co Ltd
Original Assignee
Alps Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Alps Electric Co Ltd filed Critical Alps Electric Co Ltd
Priority to JP13861594A priority Critical patent/JPH088530A/en
Publication of JPH088530A publication Critical patent/JPH088530A/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/34Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistors electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
    • H05K3/341Surface mounted components
    • H05K3/3421Leaded components

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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To provide a semiconductor chip mounting device which is capable of automatically mounting even a semiconductor chip such as a CCD device or the like susceptible to heat on a wiring board by quickly and.surely soldering it to the wiring board. CONSTITUTION:A pad 4 on which a semiconductor chip 1 and a wiring board 3 are placed is provided, and a heater chip 5 fitted with a fusing pressing section 6 which presses down the terminals 2 of the semiconductor chip 1 is provided movable in a vertical direction over the pad 4, wherein a heater is buried in the heater chip 5, and an electric power is supplied to the heater from a pulse- heat type power supply.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は半導体チップの装着装置
に係り、特にCCD、ICやLSI等の所望の半導体チ
ップを所定の配線基板に対して接続するための半導体チ
ップの装着装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor chip mounting apparatus, and more particularly to a semiconductor chip mounting apparatus for connecting a desired semiconductor chip such as CCD, IC or LSI to a predetermined wiring board.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、CCD、ICやLSI等の半導体
チップをFPC(フレキシブルプリント配線基板)等の
所定の配線基板に対して効率よく接続する技術が不可欠
となっている。
2. Description of the Related Art In recent years, a technique for efficiently connecting a semiconductor chip such as a CCD, an IC or an LSI to a predetermined wiring board such as an FPC (flexible printed wiring board) is indispensable.

【0003】このような半導体チップと配線基板とを接
続する手段として、従来から、所定の配線基板の所定の
端子接続位置に半導体チップを載置して、前記半導体チ
ップの端子部分にリフローあるいはホットエア等の手段
により半田付けを行なうことにより、前記半導体チップ
と配線基板とを電気的に接続することが行なわれてい
る。
As a means for connecting such a semiconductor chip to a wiring board, conventionally, a semiconductor chip is placed at a predetermined terminal connection position on a predetermined wiring board, and reflow or hot air is applied to the terminal portion of the semiconductor chip. The semiconductor chip and the wiring board are electrically connected to each other by soldering by such means.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来の半
導体チップの装着手段においては、例えば、CCDチッ
プのように比較的に熱に弱い半導体チップを配線基板に
接続する場合には、従来のような、リフローやホットエ
ア等の常時加熱による半田付けを行なうと、前記半導体
チップが熱により損傷してしまい、半導体チップが適正
に動作しなくなってしまうという問題があり、前記リフ
ロー等の手段による半田付けを行なうことができないと
いう問題を有している。
However, in the above-mentioned conventional semiconductor chip mounting means, for example, when a semiconductor chip relatively vulnerable to heat, such as a CCD chip, is connected to the wiring board, the conventional method is used. However, if soldering is performed by constant heating such as reflow or hot air, there is a problem that the semiconductor chip will be damaged by heat and the semiconductor chip will not operate properly. Have the problem of not being able to do.

【0005】そのため、このような熱に弱い半導体チッ
プを配線基板に接続する場合には、作業者が半田こてを
使用して半田付けを行ない前記半導体チップの各端子と
配線基板とをそれぞれ接続することが行なわれている
が、この場合でも、半田付けの作業時間が長くかかる
と、半導体チップが熱により損傷してしまうことから、
半導体チップの接続の不良率が20〜30%程度発生し
てしまい、しかも、作業者が半田こてにより半田付け作
業を行なうものであるため、接続作業時間が極めて多く
かかってしまうという問題を有しており、このように熱
に弱い半導体チップであっても、自動的に半田付け作業
を行ない半導体チップを装着することのできる装置が要
望されていた。
Therefore, when connecting such a semiconductor chip, which is susceptible to heat, to a wiring board, an operator performs soldering using a soldering iron to connect each terminal of the semiconductor chip to the wiring board. However, even in this case, if the soldering work takes a long time, the semiconductor chip will be damaged by heat,
There is a problem in that the defective rate of connection of semiconductor chips is about 20 to 30%, and moreover, since the worker performs soldering work with a soldering iron, the connection work time is extremely long. Therefore, there has been a demand for an apparatus capable of automatically performing a soldering operation and mounting a semiconductor chip even if the semiconductor chip is weak against heat.

【0006】本発明は前記した点に鑑みてなされたもの
で、熱に弱い半導体チップであっても、迅速に、かつ、
確実に配線基板に半田付けを行ない、自動的に半導体チ
ップを装着することのできる半導体チップの装着装置を
提供することを目的とするものである。
The present invention has been made in view of the above-mentioned points, and it is quick and quick even for a semiconductor chip which is weak against heat.
An object of the present invention is to provide a semiconductor chip mounting apparatus capable of reliably soldering a wiring board and automatically mounting a semiconductor chip.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明に係る半導体チップの装着装置は、所定の半導体
チップを所定の配線パターンが形成された配線基板に接
続して前記半導体チップを前記配線基板に装着するため
の半導体チップの装着装置において、前記半導体チップ
および前記配線基板を載置する載置台を配設するととも
に、この載置台の上方に前記半導体チップの端子部分を
押圧する溶融押圧部が形成されたヒータチップを昇降自
在に配設し、このヒータチップの内部にヒータを埋設し
たことを特徴とするものである。
In order to achieve the above object, a semiconductor chip mounting apparatus according to the present invention connects a predetermined semiconductor chip to a wiring board on which a predetermined wiring pattern is formed and connects the semiconductor chip to the semiconductor chip. In a semiconductor chip mounting apparatus for mounting on a wiring board, a mounting table on which the semiconductor chip and the wiring board are mounted is arranged, and a melting press for pressing a terminal portion of the semiconductor chip above the mounting table. It is characterized in that a heater chip having a section is arranged so as to be able to move up and down, and a heater is embedded inside the heater chip.

【0008】また、好ましくは、前記ヒータにパルスヒ
ート方式の電源を用いて通電することにより、前記ヒー
タチップを所定温度に加熱させるようにしたことを特徴
とするものであり、さらに、前記ヒータをセラミックヒ
ータにより形成するとともに、前記ヒータチップをチタ
ンにより形成したことを特徴とするものである。
Preferably, the heater chip is heated to a predetermined temperature by energizing the heater using a pulse heating type power source. It is characterized in that it is formed of a ceramic heater and the heater chip is formed of titanium.

【0009】[0009]

【作用】本発明に係る半導体チップの装着装置によれ
ば、載置台の上面に、所定の配線基板を載置するととも
に、この配線基板の上面の所定の装着位置に半導体チッ
プを配置した後、前記半導体チップの各端子部分に半田
を盛り、この状態で、前記ヒータチップにパルス電源を
通電することにより、このヒータチップを所定温度に昇
温させ、前記ヒータチップを下降させてこの溶融押圧部
の下面を前記半導体チップの端子部分に押圧させること
により、前記半田を溶融して各端子を配線基板に接続す
るものであり、その後、前記半導体チップを急速に冷却
することにより、前記半導体チップの温度を高めること
なく、配線基板に半導体チップを自動的に装着すること
ができるものである。
According to the semiconductor chip mounting apparatus of the present invention, after mounting a predetermined wiring board on the upper surface of the mounting table and arranging the semiconductor chip at a predetermined mounting position on the upper surface of the wiring board, Solder is put on each terminal portion of the semiconductor chip, and in this state, the heater chip is heated to a predetermined temperature by energizing the heater chip with a pulse power supply, and the heater chip is lowered to melt and press the melt. By pressing the lower surface of the semiconductor chip to the terminal portion of the semiconductor chip, the solder is melted and each terminal is connected to the wiring board, and then the semiconductor chip is rapidly cooled, thereby The semiconductor chip can be automatically mounted on the wiring board without raising the temperature.

【0010】[0010]

【実施例】以下、本発明の実施例を図1を参照して説明
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.

【0011】図1は本発明に係る半導体チップの装着装
置の一実施例を示したもので、CCD、ICやLSI等
の所定の半導体チップ1およびこの半導体チップ1の端
子2が接続されるFPC等の配線基板3を載置するため
の平板状の載置台4が配設されており、この載置台4
は、互いに直交する図中のX軸およびY軸を中心として
揺動自在に形成されている。
FIG. 1 shows an embodiment of a semiconductor chip mounting apparatus according to the present invention. A predetermined semiconductor chip 1 such as a CCD, IC or LSI and an FPC to which terminals 2 of this semiconductor chip 1 are connected. A flat plate-shaped mounting table 4 for mounting the wiring board 3 such as
Are formed so as to be swingable about an X axis and a Y axis in the drawing which are orthogonal to each other.

【0012】また、前記載置台4の上方には、例えば、
チタンやタングステン等の半田に対する濡れ性が良好
で、かつ、耐摩耗性に優れた材料からなり前記半導体チ
ップ1の端子2を含む外形とほぼ同様の平面形状を有す
るヒータチップ5が図示しない昇降装置により昇降自在
に配設されており、このヒータチップ5の内部には、例
えば、セラミックヒータ等の図示しないヒータが埋設さ
れている。そして、このヒータに図示しないパルスヒー
ト方式の電源を用いてパルス信号を付与することによ
り、前記ヒータチップ5を所定の半田の溶融温度に昇温
させることができるようになされている。また、前記ヒ
ータチップ5の下面両側辺部分であって前記半導体チッ
プ1の端子2部分に対応する位置には、下方に突出する
溶融押圧部6が形成されており、この溶融押圧部6の両
側面および前記ヒータチップ5の上面には、スリット7
が形成されている。なお、本実施例においては、前記ヒ
ータチップ5の溶融押圧部6の下面は、平面状に形成さ
れているが、この溶融押圧部6の下面に、前記半導体チ
ップ1の端子2の間隔と同様の間隔を有する凹凸を形成
するようにしてもよい。さらに、前記ヒータチップ5に
は、このヒータチップ5の温度を測定するための熱電対
8が接続されている。
Above the mounting table 4, for example,
An elevating device (not shown) having a heater chip 5 made of a material having good wettability with respect to solder such as titanium or tungsten and having excellent wear resistance and having a planar shape substantially similar to the outer shape including the terminals 2 of the semiconductor chip The heater chip 5 has a heater (not shown) such as a ceramic heater embedded therein. By applying a pulse signal to this heater using a pulse heating type power source (not shown), the heater chip 5 can be heated to a predetermined melting temperature of the solder. Further, melt pressing portions 6 projecting downward are formed at both sides of the lower surface of the heater chip 5 and at positions corresponding to the terminals 2 of the semiconductor chip 1. Both sides of the melting pressing portion 6 are formed. The slit 7 on the surface and on the upper surface of the heater chip 5.
Are formed. In this embodiment, the lower surface of the melting and pressing portion 6 of the heater chip 5 is formed in a flat shape, but the lower surface of the melting and pressing portion 6 has the same shape as the space between the terminals 2 of the semiconductor chip 1. You may make it form the unevenness | corrugation which has the space | interval. Further, a thermocouple 8 for measuring the temperature of the heater chip 5 is connected to the heater chip 5.

【0013】次に、本実施例の作用について説明する。Next, the operation of this embodiment will be described.

【0014】まず、前記載置台4の上面に、所望のパタ
ーンに応じてマスクを形成したフィルム基板に銅箔をエ
ッチングする等の手段により所定の配線パターンが形成
された配線基板3を載置し、この配線基板3の上面の所
定の装着位置に半導体チップ1を配置する。
First, the wiring board 3 having a predetermined wiring pattern formed thereon is placed on the upper surface of the mounting table 4 by means such as etching a copper foil on a film substrate having a mask formed according to a desired pattern. The semiconductor chip 1 is arranged at a predetermined mounting position on the upper surface of the wiring board 3.

【0015】そして、前記半導体チップ1の各端子2部
分に半田を盛り、この状態で、前記ヒータチップ5にパ
ルス電源を通電することにより、このヒータチップ5
を、例えば、400℃程度の半田が溶融する所定温度に
昇温させ、前記ヒータチップ5を下降させてこの溶融押
圧部6の下面を前記半導体チップ1の端子2部分に押圧
させることにより、前記半田を溶融して各端子2を配線
基板3に接続するようになっている。この場合に、本実
施例においては、パルスヒート方式によりヒータチップ
5を加熱するようにしているので、ヒータチップ5を瞬
間的に昇温させることができ、しかも、温度制御を容易
に行なうことができるものである。また、前記載置台4
をX軸およびY軸を中心として揺動自在に形成している
ので、前記ヒータチップ5を下降させてこの溶融押圧部
6により半導体チップ1の端子2部分を押圧した場合
に、ヒータチップ5の溶融押圧部6と半導体チップ1の
端子2との密着性を著しく高めることができるものであ
る。
Then, solder is put on each terminal 2 portion of the semiconductor chip 1, and in this state, the heater chip 5 is energized with a pulse power source, so that the heater chip 5
Is raised to a predetermined temperature at which the solder melts at about 400 ° C., the heater chip 5 is lowered, and the lower surface of the melt pressing portion 6 is pressed against the terminal 2 portion of the semiconductor chip 1. Each terminal 2 is connected to the wiring board 3 by melting the solder. In this case, in the present embodiment, since the heater chip 5 is heated by the pulse heating method, the heater chip 5 can be instantaneously heated and the temperature control can be easily performed. It is possible. In addition, the above-mentioned table 4
Is formed so as to be swingable about the X axis and the Y axis. Therefore, when the heater chip 5 is lowered and the terminal 2 portion of the semiconductor chip 1 is pressed by the melt pressing portion 6, the heater chip 5 The adhesion between the melt pressing portion 6 and the terminal 2 of the semiconductor chip 1 can be remarkably enhanced.

【0016】その後、前記ヒータチップ5を上昇させる
とともに、図示しない冷却風装置により半導体チップ1
部分に冷却風を吹き付けることにより、前記半導体チッ
プ1を急速に冷却するようになっている。これにより、
前記半導体チップ1の温度を高めることなく、配線基板
3に半導体チップ1を装着することができるものであ
る。
Thereafter, the heater chip 5 is raised and the semiconductor chip 1 is moved by a cooling air device (not shown).
The semiconductor chip 1 is rapidly cooled by blowing a cooling air to the portion. This allows
The semiconductor chip 1 can be mounted on the wiring board 3 without increasing the temperature of the semiconductor chip 1.

【0017】したがって、本実施例においては、急速に
加熱されるヒータチップ5を用いて載置台4の上面に載
置された半導体チップ1の端子2を配線基板3に対して
半田付けするようにしているので、CCD素子等の熱に
弱い半導体チップ1であっても半導体チップ1の温度を
高めることなく、迅速に、かつ、確実に配線基板3に半
導体チップ1を装着することができ、その結果、前記半
導体チップ1の熱による損傷を確実に防止することがで
き、半田付けによる半導体チップ1の装着作業を自動的
に行なうことができる。
Therefore, in this embodiment, the terminals 2 of the semiconductor chip 1 mounted on the upper surface of the mounting table 4 are soldered to the wiring board 3 by using the heater chip 5 which is rapidly heated. Therefore, even if the semiconductor chip 1 is weak against heat, such as a CCD element, the semiconductor chip 1 can be mounted on the wiring board 3 quickly and reliably without increasing the temperature of the semiconductor chip 1. As a result, it is possible to reliably prevent the semiconductor chip 1 from being damaged by heat, and the mounting work of the semiconductor chip 1 by soldering can be automatically performed.

【0018】なお、前記実施例においては、ヒータチッ
プを半導体チップの端子部分に置ける半田を溶融する場
合にのみ加熱するようにしたが、例えば、ヒータチップ
を連続して加熱しておくようにしてもよい。また、前記
ヒータチップの材料として、セラミック材料を用いるこ
ともでき、この場合には、半田付け時間の短縮、半田材
料のヒータチップへの付着防止あるいはヒータチップの
長寿命化を図ることができる。
In the above embodiment, the heater chip is heated only when the solder placed on the terminal portion of the semiconductor chip is melted. However, for example, the heater chip may be continuously heated. Good. Further, a ceramic material can be used as the material of the heater chip, and in this case, it is possible to shorten the soldering time, prevent the solder material from adhering to the heater chip, and prolong the life of the heater chip.

【0019】さらに、本発明は前記実施例に限定される
ものではなく、必要に応じて種々変更することができる
ものである。
Further, the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, but various modifications can be made if necessary.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上述べたように本発明に係る半導体チ
ップの装着装置は、急速に加熱されるヒータチップを用
いて載置台の上面に載置された半導体チップの端子を配
線基板に対して半田付けするようにしたので、半導体チ
ップの温度を高めることなく、迅速に、かつ、確実に配
線基板に半導体チップを装着することができ、その結
果、前記半導体チップの熱による損傷を確実に防止する
ことができ、半田付けによる半導体チップの装着作業を
自動的に行なうことができる等の効果を奏する。
As described above, in the semiconductor chip mounting apparatus according to the present invention, the terminals of the semiconductor chip mounted on the upper surface of the mounting table are mounted on the wiring board by using the heater chip which is rapidly heated. Since it is soldered, the semiconductor chip can be mounted on the wiring board quickly and reliably without increasing the temperature of the semiconductor chip, and as a result, the semiconductor chip is reliably prevented from being damaged by heat. Therefore, it is possible to automatically perform the mounting work of the semiconductor chip by soldering.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る半導体チップの装着装置の一実施
例を示す概略斜視図
FIG. 1 is a schematic perspective view showing an embodiment of a semiconductor chip mounting apparatus according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 半導体チップ 2 端子 3 配線基板 4 載置台 5 ヒータチップ 6 溶融押圧部 7 スリット 1 Semiconductor Chip 2 Terminal 3 Wiring Board 4 Mounting Table 5 Heater Chip 6 Melt Pressing Section 7 Slit

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 所定の半導体チップを所定の配線パター
ンが形成された配線基板に接続して前記半導体チップを
前記配線基板に装着するための半導体チップの装着装置
において、前記半導体チップおよび前記配線基板を載置
する載置台を配設するとともに、この載置台の上方に前
記半導体チップの端子部分を押圧する溶融押圧部が形成
されたヒータチップを昇降自在に配設し、このヒータチ
ップの内部にヒータを埋設したことを特徴とする半導体
チップの装着装置。
1. A semiconductor chip mounting apparatus for mounting a predetermined semiconductor chip on a wiring board by connecting a predetermined semiconductor chip to a wiring board having a predetermined wiring pattern, the semiconductor chip and the wiring board. A mounting table for mounting is placed, and a heater chip having a melting and pressing portion for pressing the terminal portion of the semiconductor chip is disposed above the mounting table so as to be vertically movable, and inside the heater chip. A semiconductor chip mounting device having a heater embedded therein.
【請求項2】 前記ヒータにパルスヒート方式の電源を
用いて通電することにより、前記ヒータチップを所定温
度に加熱させるようにしたことを特徴とする請求項1に
記載の半導体チップの装着装置。
2. The semiconductor chip mounting apparatus according to claim 1, wherein the heater chip is heated to a predetermined temperature by energizing the heater using a pulse heating type power source.
【請求項3】 前記ヒータをセラミックヒータにより形
成したことを特徴とする請求項1に記載の半導体チップ
の装着装置。
3. The semiconductor chip mounting apparatus according to claim 1, wherein the heater is formed of a ceramic heater.
【請求項4】 前記ヒータチップをチタンにより形成し
たことを特徴とする請求項1に記載の半導体チップの装
着装置。
4. The semiconductor chip mounting apparatus according to claim 1, wherein the heater chip is made of titanium.
JP13861594A 1994-06-21 1994-06-21 Semiconductor chip mounting device Pending JPH088530A (en)

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Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20010710