JPH088541A - 多層プリント配線板およびその製造方法 - Google Patents
多層プリント配線板およびその製造方法Info
- Publication number
- JPH088541A JPH088541A JP16064194A JP16064194A JPH088541A JP H088541 A JPH088541 A JP H088541A JP 16064194 A JP16064194 A JP 16064194A JP 16064194 A JP16064194 A JP 16064194A JP H088541 A JPH088541 A JP H088541A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating layer
- insulating
- conductor circuit
- printed wiring
- wiring board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 76
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 57
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 57
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 51
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 38
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 34
- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract description 34
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 20
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 abstract description 5
- 230000005012 migration Effects 0.000 abstract description 4
- 238000013508 migration Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005336 cracking Methods 0.000 abstract description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 115
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 14
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 8
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 5
- 239000002585 base Substances 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 4
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 4
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 2
- 238000007766 curtain coating Methods 0.000 description 2
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoyloxy prop-2-eneperoxoate Chemical compound C=CC(=O)OOOC(=O)C=C KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N Cu2+ Chemical compound [Cu+2] JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005062 Polybutadiene Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006231 aramid fiber Polymers 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000013043 chemical agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 150000001879 copper Chemical class 0.000 description 1
- 229910001431 copper ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004643 cyanate ester Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002655 kraft paper Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- -1 methacryloyl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】信頼性の高いビルドアップ法によるSLC多層
プリント配線板を得る。 【構成】ビルドアップ法によるSLC多層プリント配線
板における導電体層間に存在する絶縁層を、アルカリ溶
解性である異なった絶縁性樹脂にて2層以上形成すると
ともに、1層は感光性の絶縁性樹脂にて形成する。
プリント配線板を得る。 【構成】ビルドアップ法によるSLC多層プリント配線
板における導電体層間に存在する絶縁層を、アルカリ溶
解性である異なった絶縁性樹脂にて2層以上形成すると
ともに、1層は感光性の絶縁性樹脂にて形成する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はビルドアップ法による多
層プリント配線板およびその製造方法に関するものであ
り、さらに詳しくはビルドアップ法によるSLC(Su
rfaceLaminer Circuit;表層プリ
ント配線板)多層プリント配線板およびその製造方法に
関するものである。
層プリント配線板およびその製造方法に関するものであ
り、さらに詳しくはビルドアップ法によるSLC(Su
rfaceLaminer Circuit;表層プリ
ント配線板)多層プリント配線板およびその製造方法に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、電子機器の小形化および薄型化に
ともない多層プリント配線板も薄型化および小型化を図
るために、各導電体回路の層を電気的に接続するための
スルーホールの穴径の小径化が顕著である。この各導電
体回路の層間を電気的に接続するスルーホールは、大別
して貫通スルーホールと呼ばれている透孔(TVH;T
hough Via Hole)と、非貫通スルーホー
ルと呼ばれている穿孔(IVH;Interstiti
al Via Hole)の2種類がある。現在の多層
プリント配線板の製造方法の主流であるピンラミネーシ
ョン法またはマスラミネーション法によって作製する多
層プリント配線板は、スルーホールに透孔を多く用いて
いる。
ともない多層プリント配線板も薄型化および小型化を図
るために、各導電体回路の層を電気的に接続するための
スルーホールの穴径の小径化が顕著である。この各導電
体回路の層間を電気的に接続するスルーホールは、大別
して貫通スルーホールと呼ばれている透孔(TVH;T
hough Via Hole)と、非貫通スルーホー
ルと呼ばれている穿孔(IVH;Interstiti
al Via Hole)の2種類がある。現在の多層
プリント配線板の製造方法の主流であるピンラミネーシ
ョン法またはマスラミネーション法によって作製する多
層プリント配線板は、スルーホールに透孔を多く用いて
いる。
【0003】ピンラミネーション法またはマスラミネー
ション法による多層プリント配線板は、スルーホールを
小径化して配線密度を向上させると多層プリント配線板
の面積当たりの透孔数が増加し、多層プリント配線板の
製品価格を高騰させていた。その理由は、透孔はドリル
加工などの機械的手段によって順次形成しなければなら
ないために、多数の透孔を形成するには非常に多くの時
間を要するためである。よって、最近は多数のスルーホ
ールを化学的手段によって一括して形成することのでき
る穿孔を多く用いた、一般的にビルドアップ法によるS
LC多層プリント配線板と呼ばれている多層プリント配
線板が注目されている。
ション法による多層プリント配線板は、スルーホールを
小径化して配線密度を向上させると多層プリント配線板
の面積当たりの透孔数が増加し、多層プリント配線板の
製品価格を高騰させていた。その理由は、透孔はドリル
加工などの機械的手段によって順次形成しなければなら
ないために、多数の透孔を形成するには非常に多くの時
間を要するためである。よって、最近は多数のスルーホ
ールを化学的手段によって一括して形成することのでき
る穿孔を多く用いた、一般的にビルドアップ法によるS
LC多層プリント配線板と呼ばれている多層プリント配
線板が注目されている。
【0004】ビルドアップ法によるSLC多層プリント
配線板というのは、日本アイビーエム株式会社から実用
化が発表された製造方法を用いて作成した多層プリント
配線板のことである。このビルドアップ法によるSLC
多層プリント配線板の構造を、図4を用いて説明する。
配線板というのは、日本アイビーエム株式会社から実用
化が発表された製造方法を用いて作成した多層プリント
配線板のことである。このビルドアップ法によるSLC
多層プリント配線板の構造を、図4を用いて説明する。
【0005】ビルドアップ法によるSLC多層プリント
配線板1は、絶縁基板2として銅張積層板を用いるとと
もに、この銅張積層板の銅箔に回路を形成して第1の導
電体回路31とする。この銅張積層板の表面上に、通常
は所定の厚さを有する感光性のエポキシ絶縁性樹脂から
なる絶縁層4を形成する。次に、形成した絶縁層4をフ
ォトレジスト法、すなわち紫外線露光、現像処理などの
化学的手段を用いて多数の穿孔5を一括して形成すると
ともに、ドリル加工などの機械的手段にて透孔6を順次
形成する。次に、絶縁層4の表面7を銅めっきしやすい
ように薬剤などにて粗面化する。
配線板1は、絶縁基板2として銅張積層板を用いるとと
もに、この銅張積層板の銅箔に回路を形成して第1の導
電体回路31とする。この銅張積層板の表面上に、通常
は所定の厚さを有する感光性のエポキシ絶縁性樹脂から
なる絶縁層4を形成する。次に、形成した絶縁層4をフ
ォトレジスト法、すなわち紫外線露光、現像処理などの
化学的手段を用いて多数の穿孔5を一括して形成すると
ともに、ドリル加工などの機械的手段にて透孔6を順次
形成する。次に、絶縁層4の表面7を銅めっきしやすい
ように薬剤などにて粗面化する。
【0006】次に、絶縁層4の表面7、穿孔5内および
透孔6内に銅めっきによる導電体層を形成する。なお、
銅めっきよる導電体層は、フォトレジスト法などにてエ
ッチングし、第2の導電体回路81を形成する。形成し
た第2の導電体回路81は、穿孔5内では第1の導電体
回路31と電気的に接続している。また、透孔6内では
銅張積層板の同一面に形成した第1の導電体回路31、
銅張積層板の他の面に形成した第1の導電体回路31お
よび銅張積層板の他の面に形成した第2の導電体回路8
1と電気的な接続を行なっている。第2の導電体回路8
1の表面には、必要であれば図4に図示しない半田保護
膜を形成してもよい。このような構造を有するビルドア
ップ法によるSLC多層プリント配線板1は、形成した
絶縁層4および第2の導電体回路81の厚さが薄いため
に、多層プリント配線板の薄型化と第2の導電体回路8
1の細線化に有利である。
透孔6内に銅めっきによる導電体層を形成する。なお、
銅めっきよる導電体層は、フォトレジスト法などにてエ
ッチングし、第2の導電体回路81を形成する。形成し
た第2の導電体回路81は、穿孔5内では第1の導電体
回路31と電気的に接続している。また、透孔6内では
銅張積層板の同一面に形成した第1の導電体回路31、
銅張積層板の他の面に形成した第1の導電体回路31お
よび銅張積層板の他の面に形成した第2の導電体回路8
1と電気的な接続を行なっている。第2の導電体回路8
1の表面には、必要であれば図4に図示しない半田保護
膜を形成してもよい。このような構造を有するビルドア
ップ法によるSLC多層プリント配線板1は、形成した
絶縁層4および第2の導電体回路81の厚さが薄いため
に、多層プリント配線板の薄型化と第2の導電体回路8
1の細線化に有利である。
【0007】上述したビルドアップ法によるSLC多層
プリント配線板1は、絶縁層4を介して積層した第1の
導電体回路31と、第2の導電体回路81の層間の電気
的接続を行なうためのスルーホールに穿孔5を用いてい
るために、透孔6の数を少なくすることができ、製造に
かかる時間が短い。以上のことからビルドアップ法を用
いると、多層プリント配線板が安価に製造できることが
分かる。
プリント配線板1は、絶縁層4を介して積層した第1の
導電体回路31と、第2の導電体回路81の層間の電気
的接続を行なうためのスルーホールに穿孔5を用いてい
るために、透孔6の数を少なくすることができ、製造に
かかる時間が短い。以上のことからビルドアップ法を用
いると、多層プリント配線板が安価に製造できることが
分かる。
【0008】しかも、このような構造を有するビルドア
ップ法によるSLC多層プリント配線板1は、ピンラミ
ネーション法またはマスラミネーション法などによって
作製する多層プリント配線板よりも透孔6の数が少ない
ために、導電体回路の配線の自由度が向上して導電体回
路の配線の長さを短縮することができるという利点も有
する。さらには、このビルドアップ法によるSLC多層
プリント配線板1は、各導電体回路の層間の電気的な接
続を図るための穿孔5上に電子部品を実装することがで
き、さらなる導電体回路の配線密度の向上を図ることも
できる。
ップ法によるSLC多層プリント配線板1は、ピンラミ
ネーション法またはマスラミネーション法などによって
作製する多層プリント配線板よりも透孔6の数が少ない
ために、導電体回路の配線の自由度が向上して導電体回
路の配線の長さを短縮することができるという利点も有
する。さらには、このビルドアップ法によるSLC多層
プリント配線板1は、各導電体回路の層間の電気的な接
続を図るための穿孔5上に電子部品を実装することがで
き、さらなる導電体回路の配線密度の向上を図ることも
できる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のビルド
アップ法によるSLC多層プリント配線板1は、感光性
のエポキシ絶縁性樹脂による絶縁層4にクラックが発生
しやすいという問題があり、電気的信頼性に乏しいもの
であった。さらには、感光性のエポキシ絶縁性樹脂によ
る絶縁層4は、銅めっきによる導電体層との接着力が弱
く、銅めっきによる導電体層が剥離しやすいという問題
があった。このために、耐クラック性に優れるとともに
表面に銅めっきによる導電体層が強固に形成できるよう
に、絶縁層4に用いる感光性のエポキシ絶縁性樹脂につ
いて種々の検討がなされてきた。
アップ法によるSLC多層プリント配線板1は、感光性
のエポキシ絶縁性樹脂による絶縁層4にクラックが発生
しやすいという問題があり、電気的信頼性に乏しいもの
であった。さらには、感光性のエポキシ絶縁性樹脂によ
る絶縁層4は、銅めっきによる導電体層との接着力が弱
く、銅めっきによる導電体層が剥離しやすいという問題
があった。このために、耐クラック性に優れるとともに
表面に銅めっきによる導電体層が強固に形成できるよう
に、絶縁層4に用いる感光性のエポキシ絶縁性樹脂につ
いて種々の検討がなされてきた。
【0010】しかし、例えば絶縁層4の粗化面への接着
力を強化するために、硬化させた時に硬度の高い感光性
のエポキシ絶縁性樹脂にて絶縁層4を形成すると、絶縁
層4の可撓性が弱まり絶縁層4にクラックが発生しやす
くなる。逆に、可撓性に優れる感光性のエポキシ絶縁性
樹脂にて絶縁層4を形成すると、絶縁層4の耐クラック
性は向上する。しかし、可撓性に優れる感光性のエポキ
シ絶縁性樹脂は軟らかいために、絶縁層4の第2の導電
体回路81と接着する面の粗化が充分にできない。その
ために、第2の導電体回路81と絶縁層4の接着力が弱
くなってしまう。このように、銅めっきなどによって形
成した導電体層8と絶縁層4の接着性の向上、および絶
縁層4の耐クラック性の向上という2つの課題を同時に
解決するには、解決するための手段が相反するために未
だに解決がなされていない。
力を強化するために、硬化させた時に硬度の高い感光性
のエポキシ絶縁性樹脂にて絶縁層4を形成すると、絶縁
層4の可撓性が弱まり絶縁層4にクラックが発生しやす
くなる。逆に、可撓性に優れる感光性のエポキシ絶縁性
樹脂にて絶縁層4を形成すると、絶縁層4の耐クラック
性は向上する。しかし、可撓性に優れる感光性のエポキ
シ絶縁性樹脂は軟らかいために、絶縁層4の第2の導電
体回路81と接着する面の粗化が充分にできない。その
ために、第2の導電体回路81と絶縁層4の接着力が弱
くなってしまう。このように、銅めっきなどによって形
成した導電体層8と絶縁層4の接着性の向上、および絶
縁層4の耐クラック性の向上という2つの課題を同時に
解決するには、解決するための手段が相反するために未
だに解決がなされていない。
【0011】さらには近年、絶縁層4に使用するエポキ
シ絶縁性樹脂も環境対策として溶剤溶解型からアルカリ
溶解型に転換してきている。しかし、アルカリ溶解性の
感光性エポキシ絶縁性樹脂は溶剤溶解型の感光性のエポ
キシ絶縁性樹脂よりも可撓性および絶縁層4の表面を粗
面化するのに適さず、銅めっきなどによって形成する第
2の導電体回路81との接着力が弱くなってしまうもの
であった。
シ絶縁性樹脂も環境対策として溶剤溶解型からアルカリ
溶解型に転換してきている。しかし、アルカリ溶解性の
感光性エポキシ絶縁性樹脂は溶剤溶解型の感光性のエポ
キシ絶縁性樹脂よりも可撓性および絶縁層4の表面を粗
面化するのに適さず、銅めっきなどによって形成する第
2の導電体回路81との接着力が弱くなってしまうもの
であった。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明者は種々の実験と
検討を重ねた結果、絶縁層のクラックの発生を防止する
とともに、絶縁層と導電体層の接着力に優れた電気的信
頼性の高いビルドアップ法によるSLC多層プリント配
線板の作製に成功した。
検討を重ねた結果、絶縁層のクラックの発生を防止する
とともに、絶縁層と導電体層の接着力に優れた電気的信
頼性の高いビルドアップ法によるSLC多層プリント配
線板の作製に成功した。
【0013】本発明に係るビルドアップ法によるSLC
多層プリント配線板の特徴は、好ましくは銅張積層板の
表面と、銅めっきなどによって形成した導電体層の間に
存在する絶縁層を性質の異なった2種類以上の絶縁性樹
脂にて絶縁層を順次形成し、絶縁層を2層以上の構造と
したことにある。
多層プリント配線板の特徴は、好ましくは銅張積層板の
表面と、銅めっきなどによって形成した導電体層の間に
存在する絶縁層を性質の異なった2種類以上の絶縁性樹
脂にて絶縁層を順次形成し、絶縁層を2層以上の構造と
したことにある。
【0014】
【実施例】以下に、図1を用いて本発明に係るビルドア
ップ法によるSLC多層プリント配線板の一実施例の構
造を示して説明する。
ップ法によるSLC多層プリント配線板の一実施例の構
造を示して説明する。
【0015】本発明に係るビルドアップ法によるSLC
多層プリント配線板1Aの絶縁基板2として、好ましく
は銅張積層板を用いる。本発明に係る銅張積層板の絶縁
基板2にはガラス基材を補強基材とし、絶縁性樹脂にエ
ポキシ樹脂を用いたものが好ましいが、プリント配線板
用基板であればすべて用いることは可能である。絶縁性
樹脂の具体的な例としてはBT(ビスマレイド・トリア
ジン)樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、シアネ
ートエステル樹脂、シリコン樹脂、ポリエステル樹脂、
弗素樹脂、ポリブタジェン樹脂、ポリエーテルイミド樹
脂またはポリエーテルイミド樹脂などが挙げられる。本
発明に係る銅張積層板の補強基材としては、ガラスクロ
ス、ガラスマット、ガラスペーパーまたはクォーツファ
イバーなどのガラス基材、ポリエステル繊維またはアラ
ミド繊維などの合成樹脂繊維基材もしくはリンター紙ま
たはクラフト紙などの紙基材が挙げられる。また、本発
明に係る絶縁基板2としては、アルミニウムまたは鉄な
どの金属を基礎または芯とした金属芯積層板もしくはセ
ラミック基板を用いてもよい。
多層プリント配線板1Aの絶縁基板2として、好ましく
は銅張積層板を用いる。本発明に係る銅張積層板の絶縁
基板2にはガラス基材を補強基材とし、絶縁性樹脂にエ
ポキシ樹脂を用いたものが好ましいが、プリント配線板
用基板であればすべて用いることは可能である。絶縁性
樹脂の具体的な例としてはBT(ビスマレイド・トリア
ジン)樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、シアネ
ートエステル樹脂、シリコン樹脂、ポリエステル樹脂、
弗素樹脂、ポリブタジェン樹脂、ポリエーテルイミド樹
脂またはポリエーテルイミド樹脂などが挙げられる。本
発明に係る銅張積層板の補強基材としては、ガラスクロ
ス、ガラスマット、ガラスペーパーまたはクォーツファ
イバーなどのガラス基材、ポリエステル繊維またはアラ
ミド繊維などの合成樹脂繊維基材もしくはリンター紙ま
たはクラフト紙などの紙基材が挙げられる。また、本発
明に係る絶縁基板2としては、アルミニウムまたは鉄な
どの金属を基礎または芯とした金属芯積層板もしくはセ
ラミック基板を用いてもよい。
【0016】本発明に係るビルドアップ法によるSLC
多層プリント配線板1Aは、上述した銅張積層板の銅箔
に、回路の形成を行なって第1の導電体回路31とす
る。第1の導電体回路31を形成した銅張積層板の表面
に、耐クラック性および耐マイグレーション性に優れる
絶縁性樹脂によって絶縁層4aを形成する。本発明に係
る絶縁層4aを形成する絶縁性樹脂は、銅イオンの移動
による銅マイグレーションを防止するために架橋密度が
比較的高いものが好ましいとともに、同時にクラックの
発生防止のために可撓性にも優れた絶縁性樹脂を選択し
て用いるのが好ましい。
多層プリント配線板1Aは、上述した銅張積層板の銅箔
に、回路の形成を行なって第1の導電体回路31とす
る。第1の導電体回路31を形成した銅張積層板の表面
に、耐クラック性および耐マイグレーション性に優れる
絶縁性樹脂によって絶縁層4aを形成する。本発明に係
る絶縁層4aを形成する絶縁性樹脂は、銅イオンの移動
による銅マイグレーションを防止するために架橋密度が
比較的高いものが好ましいとともに、同時にクラックの
発生防止のために可撓性にも優れた絶縁性樹脂を選択し
て用いるのが好ましい。
【0017】環境問題への対策としてさらに好ましく
は、アルカリ溶解性の非感光性絶縁性樹脂にて非感光性
の絶縁層4aを形成するのが好ましい。アルカリ溶解性
の非感光性絶縁性樹脂としては、アルカリ水溶液に溶解
する親水基を含有したエポキシ樹脂またはエポキシ変性
樹脂が好ましく、これらのアルカリ溶解性の非感光性絶
縁性樹脂を単独または混合して用いるのが好ましい。本
発明に係るエポキシ樹脂およびエポキシ変性樹脂などに
は架橋剤、硬化剤、可撓性付与剤または難然剤などを単
独もしくは混合して適宜添加してもよい。
は、アルカリ溶解性の非感光性絶縁性樹脂にて非感光性
の絶縁層4aを形成するのが好ましい。アルカリ溶解性
の非感光性絶縁性樹脂としては、アルカリ水溶液に溶解
する親水基を含有したエポキシ樹脂またはエポキシ変性
樹脂が好ましく、これらのアルカリ溶解性の非感光性絶
縁性樹脂を単独または混合して用いるのが好ましい。本
発明に係るエポキシ樹脂およびエポキシ変性樹脂などに
は架橋剤、硬化剤、可撓性付与剤または難然剤などを単
独もしくは混合して適宜添加してもよい。
【0018】本発明に係る絶縁層4aは、希釈剤などに
て適度な粘度に調整したアルカリ溶解性の非感光性絶縁
性樹脂にて形成するのが好ましい。本発明に係る絶縁層
4aにおいて、後工程で行なう化学的手段による穿孔5
の形成時に絶縁層4aのアンダーカット現象を防止する
ために、アルカリ溶解性の絶縁性樹脂に若干の感光性、
すなわち感光部分の非アルカリ溶解性を付与しても良
い。ただし、絶縁層4aの可撓性を妨げない範囲とす
る。
て適度な粘度に調整したアルカリ溶解性の非感光性絶縁
性樹脂にて形成するのが好ましい。本発明に係る絶縁層
4aにおいて、後工程で行なう化学的手段による穿孔5
の形成時に絶縁層4aのアンダーカット現象を防止する
ために、アルカリ溶解性の絶縁性樹脂に若干の感光性、
すなわち感光部分の非アルカリ溶解性を付与しても良
い。ただし、絶縁層4aの可撓性を妨げない範囲とす
る。
【0019】次に、絶縁層4aの表面に、感光性の絶縁
層4bを形成する。本発明に係る感光性の絶縁層4bを
形成する感光性の絶縁性樹脂は、好ましくは後工程で形
成する第2の導電体回路81との接着性に優れる感光性
の絶縁性樹脂を用いる。絶縁層4aと感光性の絶縁層4
bとの接着性は、感光性の絶縁層4bと銅めっきなどに
よる第2の導電体回路81との接着性よりも強固であ
る。さらには、絶縁層4aと感光性の絶縁層4bは熱硬
化の際に完全に接着するために剥離などの問題は何ら発
生することはない。
層4bを形成する。本発明に係る感光性の絶縁層4bを
形成する感光性の絶縁性樹脂は、好ましくは後工程で形
成する第2の導電体回路81との接着性に優れる感光性
の絶縁性樹脂を用いる。絶縁層4aと感光性の絶縁層4
bとの接着性は、感光性の絶縁層4bと銅めっきなどに
よる第2の導電体回路81との接着性よりも強固であ
る。さらには、絶縁層4aと感光性の絶縁層4bは熱硬
化の際に完全に接着するために剥離などの問題は何ら発
生することはない。
【0020】本発明に係る感光性の絶縁層4bにおい
て、環境対策としてさらに好ましくは、銅めっきなどに
よって形成した第2の導電体回路81との接着性に優れ
るアルカリ溶解性の感光性絶縁性樹脂を用いて形成す
る。
て、環境対策としてさらに好ましくは、銅めっきなどに
よって形成した第2の導電体回路81との接着性に優れ
るアルカリ溶解性の感光性絶縁性樹脂を用いて形成す
る。
【0021】本発明に係る感光性の絶縁層4bの絶縁性
樹脂は、未感光部がアルカリ可溶性でありプリント配線
板構成材として適正な電気的特性、機械的特性、難燃
性、絶縁層4aおよび第2の導電体回路81との接着性
を有している絶縁性樹脂ならば、すべての絶縁性樹脂を
用いることができる。例えば、光架橋基としてアクリロ
イル基またはメタクリロイル基を有するエポキシアクリ
レート、エポキシの部分アクリレートまたはエポキシア
クリレートの変成物などが挙げられる。さらには、絶縁
層とした場合の特性面から、上述した絶縁性樹脂に加熱
硬化型のエポキシ絶縁性樹脂を組み合わせたものも使用
できる。これら本発明に係る感光性の絶縁層4bに用い
る絶縁性樹脂の原料としてのオリゴマーおよびモノマー
は、光重合開始剤、架橋剤、硬化剤、難燃剤およびフィ
ラーなどを適宜選択して混合し、必要であれば希釈剤で
粘度を調整して用いる。
樹脂は、未感光部がアルカリ可溶性でありプリント配線
板構成材として適正な電気的特性、機械的特性、難燃
性、絶縁層4aおよび第2の導電体回路81との接着性
を有している絶縁性樹脂ならば、すべての絶縁性樹脂を
用いることができる。例えば、光架橋基としてアクリロ
イル基またはメタクリロイル基を有するエポキシアクリ
レート、エポキシの部分アクリレートまたはエポキシア
クリレートの変成物などが挙げられる。さらには、絶縁
層とした場合の特性面から、上述した絶縁性樹脂に加熱
硬化型のエポキシ絶縁性樹脂を組み合わせたものも使用
できる。これら本発明に係る感光性の絶縁層4bに用い
る絶縁性樹脂の原料としてのオリゴマーおよびモノマー
は、光重合開始剤、架橋剤、硬化剤、難燃剤およびフィ
ラーなどを適宜選択して混合し、必要であれば希釈剤で
粘度を調整して用いる。
【0022】本発明においては、絶縁層4aおよび感光
性の絶縁層4bとの間に両絶縁層間の接着性の向上、接
着作業性の向上および電気的信頼性の向上を目的として
接着剤など他の絶縁性樹脂などにて絶縁層を形成しても
良い。また、銅張積層板2と絶縁層4の間にも同様に接
着剤などの他の絶縁性樹脂、好ましくはアルカリ溶解性
の絶縁性樹脂などにて絶縁層を形成してもよい。
性の絶縁層4bとの間に両絶縁層間の接着性の向上、接
着作業性の向上および電気的信頼性の向上を目的として
接着剤など他の絶縁性樹脂などにて絶縁層を形成しても
良い。また、銅張積層板2と絶縁層4の間にも同様に接
着剤などの他の絶縁性樹脂、好ましくはアルカリ溶解性
の絶縁性樹脂などにて絶縁層を形成してもよい。
【0023】本発明に係る第1の導電体回路31および
第2の導電体回路81の層間に存在する絶縁層の合計し
た厚さは、すべての絶縁層を形成し、硬化した後に30
μm〜100μmの範囲の厚みを有しているのが好まし
い。本発明に係る絶縁層4aの厚みは、感光性の絶縁層
4bの厚みと比較して同等以上の厚みを有していること
が絶縁層のクラック、ピンホールおよびマイグレーショ
ンなどを防止するために好ましい。さらには、感光性の
絶縁層4bの厚みは銅めっきなどによって形成した導電
体層への接着性に関係ないために、絶縁層のクラック発
生を防ぐことから極力薄くするのが良い。したがって、
絶縁層4aの厚さは20μm〜80μmの範囲が好まし
く、また、感光性の絶縁層4bの厚さは10μm〜40
μmの範囲であることが好ましい。
第2の導電体回路81の層間に存在する絶縁層の合計し
た厚さは、すべての絶縁層を形成し、硬化した後に30
μm〜100μmの範囲の厚みを有しているのが好まし
い。本発明に係る絶縁層4aの厚みは、感光性の絶縁層
4bの厚みと比較して同等以上の厚みを有していること
が絶縁層のクラック、ピンホールおよびマイグレーショ
ンなどを防止するために好ましい。さらには、感光性の
絶縁層4bの厚みは銅めっきなどによって形成した導電
体層への接着性に関係ないために、絶縁層のクラック発
生を防ぐことから極力薄くするのが良い。したがって、
絶縁層4aの厚さは20μm〜80μmの範囲が好まし
く、また、感光性の絶縁層4bの厚さは10μm〜40
μmの範囲であることが好ましい。
【0024】次に、フォトレジスト法、すなわち紫外線
露光、現像処理などの化学的手段を利用して絶縁層4a
および感光性の絶縁層4bに多数の穿孔5を形成する。
さらには、必要に応じてドリル加工またはプレス加工な
どの機械的手段にて透孔6を形成している。次に、感光
性の絶縁層4bの表面7を銅めっきが接着しやすいよう
に薬剤などにて粗面化している。アルカリ溶解性の感光
性の絶縁層4bの表面7に、好ましくは銅めっきによる
第2の導電体回路81を形成している。形成した第2の
導電体回路81は、穿孔5内では第1の導電体回路31
と電気的に接続している。また、透孔6内では銅張積層
板の同一面に形成した第1の導電体回路31、銅張積層
板の他の面に形成した第1の導電体回路31および銅張
積層板の他の面に形成した第2の導電体回路81と電気
的な接続を行なっている。本発明に係る第2の導電体回
路81は銅めっきにて導電体層を形成した後に、この導
電体層をエッチングして回路形成するのが好ましい。ま
た、銅ペースト、金ペースト、カーボンペーストおよび
銀ペーストなどの公知の導電性ペーストまたは金めっき
などにて形成してもよい。
露光、現像処理などの化学的手段を利用して絶縁層4a
および感光性の絶縁層4bに多数の穿孔5を形成する。
さらには、必要に応じてドリル加工またはプレス加工な
どの機械的手段にて透孔6を形成している。次に、感光
性の絶縁層4bの表面7を銅めっきが接着しやすいよう
に薬剤などにて粗面化している。アルカリ溶解性の感光
性の絶縁層4bの表面7に、好ましくは銅めっきによる
第2の導電体回路81を形成している。形成した第2の
導電体回路81は、穿孔5内では第1の導電体回路31
と電気的に接続している。また、透孔6内では銅張積層
板の同一面に形成した第1の導電体回路31、銅張積層
板の他の面に形成した第1の導電体回路31および銅張
積層板の他の面に形成した第2の導電体回路81と電気
的な接続を行なっている。本発明に係る第2の導電体回
路81は銅めっきにて導電体層を形成した後に、この導
電体層をエッチングして回路形成するのが好ましい。ま
た、銅ペースト、金ペースト、カーボンペーストおよび
銀ペーストなどの公知の導電性ペーストまたは金めっき
などにて形成してもよい。
【0025】上述の本発明に係るビルドアップ法による
SLC多層プリント配線板1Aは、さらなる多層化を行
なってもよい。なお、片面銅張積層板を用いて本発明に
係るビルドアップ法によるSLC多層プリント配線板を
作製する場合には、透孔を用いない場合もある。さらに
は、図示しないが必要であれば半田保護膜およびシンボ
ルマークなどを表面に形成してもよい。
SLC多層プリント配線板1Aは、さらなる多層化を行
なってもよい。なお、片面銅張積層板を用いて本発明に
係るビルドアップ法によるSLC多層プリント配線板を
作製する場合には、透孔を用いない場合もある。さらに
は、図示しないが必要であれば半田保護膜およびシンボ
ルマークなどを表面に形成してもよい。
【0026】次に、図2(a)〜(d)および図3
(a)〜(c)に本発明に係るビルドアップ法によるS
LC多層プリント配線板の製造工程の一実施例を示して
説明する。本発明に係るビルドアップ法によるSLC多
層プリント配線板1Aの絶縁基板2は、好ましくは図2
(a)に示す銅張積層板を用いる。この銅張積層板の銅
箔32を図2(b)に示すように、エッチングなどによ
って第1の導電体回路31とする。この銅張積層板の表
面上に、好ましくはアルカリ溶解性のエポキシ絶縁性樹
脂をスクリーン印刷などにて所定の厚みに均一に塗布
し、その後塗布した絶縁性樹脂を乾燥硬化させて図2
(c)に示す絶縁層4aを形成する。
(a)〜(c)に本発明に係るビルドアップ法によるS
LC多層プリント配線板の製造工程の一実施例を示して
説明する。本発明に係るビルドアップ法によるSLC多
層プリント配線板1Aの絶縁基板2は、好ましくは図2
(a)に示す銅張積層板を用いる。この銅張積層板の銅
箔32を図2(b)に示すように、エッチングなどによ
って第1の導電体回路31とする。この銅張積層板の表
面上に、好ましくはアルカリ溶解性のエポキシ絶縁性樹
脂をスクリーン印刷などにて所定の厚みに均一に塗布
し、その後塗布した絶縁性樹脂を乾燥硬化させて図2
(c)に示す絶縁層4aを形成する。
【0027】次に、乾燥硬化させた絶縁層4aの表面に
好ましくはアルカリ溶解性である感光性のエポキシ絶縁
性樹脂をスクリーン印刷などにて均一に塗布し、乾燥硬
化させて図2(d)に示す感光性の絶縁層4bを形成す
る。
好ましくはアルカリ溶解性である感光性のエポキシ絶縁
性樹脂をスクリーン印刷などにて均一に塗布し、乾燥硬
化させて図2(d)に示す感光性の絶縁層4bを形成す
る。
【0028】絶縁層4aおよび感光性の絶縁層4bを含
む本発明に係る絶縁層の形成方法は、現在のプリント配
線板の絶縁層の形成に用いられている液状の絶縁性樹脂
による絶縁層形成方法のほとんどが採用できる。すなわ
ち本発明に係る絶縁層4aおよび絶縁層4bはカーテン
コート法、噴霧塗布法、スクリーン印刷法およびロール
コート法などによって形成することが可能である。さら
には、カーテンコート法および噴霧塗布法が上述した絶
縁層形成方法のなかでも均一に絶縁層を形成するのに有
利であり、スクリーン印刷法は工業的に容易に絶縁層を
形成できる。
む本発明に係る絶縁層の形成方法は、現在のプリント配
線板の絶縁層の形成に用いられている液状の絶縁性樹脂
による絶縁層形成方法のほとんどが採用できる。すなわ
ち本発明に係る絶縁層4aおよび絶縁層4bはカーテン
コート法、噴霧塗布法、スクリーン印刷法およびロール
コート法などによって形成することが可能である。さら
には、カーテンコート法および噴霧塗布法が上述した絶
縁層形成方法のなかでも均一に絶縁層を形成するのに有
利であり、スクリーン印刷法は工業的に容易に絶縁層を
形成できる。
【0029】次に、図3(a)に示す穿孔5を形成す
る。穿孔5は、化学的手段を用いて形成するのが好まし
い。さらに詳しくは、感光性の絶縁層4bをフォトレジ
スト法、すなわち紫外線露光およびアルカリ性水溶液に
よる現像処理を行なう際に、絶縁層4aも同時に、アル
カリ性水溶液で溶解して形成するのが好ましい。続い
て、絶縁層4aおよび感光性の絶縁層4bの熱硬化性樹
脂成分を加熱硬化させることで耐熱性、耐薬性および電
気的特性などのプリント配線板構成材として必要な特性
を得る。さらには、必要に応じて絶縁層4aおよび感光
性の絶縁層4bの熱硬化性樹脂成分を加熱硬化させる前
または加熱硬化させた後に、透孔6を形成する。透孔6
は、ドリル加工またはプレス加工などの機械的手段にて
形成する。
る。穿孔5は、化学的手段を用いて形成するのが好まし
い。さらに詳しくは、感光性の絶縁層4bをフォトレジ
スト法、すなわち紫外線露光およびアルカリ性水溶液に
よる現像処理を行なう際に、絶縁層4aも同時に、アル
カリ性水溶液で溶解して形成するのが好ましい。続い
て、絶縁層4aおよび感光性の絶縁層4bの熱硬化性樹
脂成分を加熱硬化させることで耐熱性、耐薬性および電
気的特性などのプリント配線板構成材として必要な特性
を得る。さらには、必要に応じて絶縁層4aおよび感光
性の絶縁層4bの熱硬化性樹脂成分を加熱硬化させる前
または加熱硬化させた後に、透孔6を形成する。透孔6
は、ドリル加工またはプレス加工などの機械的手段にて
形成する。
【0030】次に、図3(b)に示すように導電体層8
2を形成する。すなわち、絶縁層4bの表面7を銅めっ
きなどの導電体層82が接着しやすいように薬剤または
機械的手段などにて粗面化し、粗面化した絶縁層4bの
表面7に好ましくは公知の銅めっき法により導電体層を
形成するとともに、穿孔5および透孔6の孔内にも形成
する。次に、図3(c)に示すように導電体層82にフ
ォトレジスト法などの公知の手段にて回路の形成を行な
い、第2の導電体回路81とする。図3(c)の工程
後、必要であれば図示しない半田保護膜およびシンボル
マークなどを形成してもよい。これらの製造工程を行な
うことによって、本発明に係るビルドアップ法によるS
LC多層プリント配線板を作製する。
2を形成する。すなわち、絶縁層4bの表面7を銅めっ
きなどの導電体層82が接着しやすいように薬剤または
機械的手段などにて粗面化し、粗面化した絶縁層4bの
表面7に好ましくは公知の銅めっき法により導電体層を
形成するとともに、穿孔5および透孔6の孔内にも形成
する。次に、図3(c)に示すように導電体層82にフ
ォトレジスト法などの公知の手段にて回路の形成を行な
い、第2の導電体回路81とする。図3(c)の工程
後、必要であれば図示しない半田保護膜およびシンボル
マークなどを形成してもよい。これらの製造工程を行な
うことによって、本発明に係るビルドアップ法によるS
LC多層プリント配線板を作製する。
【0031】
【発明の効果】本発明においては、銅張積層板の表面に
形成する絶縁層4aに用いる絶縁性樹脂は、感光性の絶
縁性樹脂でなくともよいために、絶縁層の可撓性を向上
させることが容易である。
形成する絶縁層4aに用いる絶縁性樹脂は、感光性の絶
縁性樹脂でなくともよいために、絶縁層の可撓性を向上
させることが容易である。
【0032】以上説明したように、本発明では絶縁層を
2層以上としたことにより従来の1層から成る絶縁層と
比較して優れた電気的信頼性と、銅めっきへの接着性を
有していることが分かる。さらには、感光性の絶縁層が
薄くなるために紫外線露光時の適正露光量の範囲が広が
り、ビルドアップ法によるSLC多層プリント配線板を
作製するときの歩留りを向上する効果もある。
2層以上としたことにより従来の1層から成る絶縁層と
比較して優れた電気的信頼性と、銅めっきへの接着性を
有していることが分かる。さらには、感光性の絶縁層が
薄くなるために紫外線露光時の適正露光量の範囲が広が
り、ビルドアップ法によるSLC多層プリント配線板を
作製するときの歩留りを向上する効果もある。
【図1】本発明に係るビルドアップ法によるSLC多層
プリント配線板の主たる構造を示す断面図。
プリント配線板の主たる構造を示す断面図。
【図2】本発明に係るビルドアップ法によるSLC多層
プリント配線板の主たる製造工程を示す断面図。
プリント配線板の主たる製造工程を示す断面図。
【図3】本発明に係るビルドアップ法によるSLC多層
プリント配線板の主たる製造工程を示す断面図。
プリント配線板の主たる製造工程を示す断面図。
【図4】従来のビルドアップ法によるSLC多層プリン
ト配線板の主たる構造を示す断面図。
ト配線板の主たる構造を示す断面図。
1 ビルドアップ法によるSLC多層プリント配線板 1A ビルドアップ法によるSLC多層プリント配線板 2 絶縁基板 31 第1の導電体回路 32 銅箔 4 絶縁層 4a 絶縁層 4b 感光性の絶縁層 5 穿孔 6 透孔 7 絶縁層の表面 81 第2の導電体回路 82 導電体層
Claims (3)
- 【請求項1】第1の導電体回路を表面に形成した絶縁基
板と、絶縁基板の表面に形成した絶縁層と、絶縁層の表
面に形成した第2の導電体回路とからなり、第1の導電
体回路と第2の導電体回路とは絶縁層に形成した穿孔の
孔内にも形成した第2の導電体回路を介して接続したプ
リント配線板において、絶縁層は異なる絶縁性樹脂によ
る2層以上の構造とし、そのうちの少なくとも1層を感
光性の絶縁性樹脂にて形成したことを特徴とする多層プ
リント配線板。 - 【請求項2】第1の導電体回路を表面に形成した絶縁基
板と、絶縁基板の表面に形成した絶縁層と、絶縁層の表
面に形成した第2の導電体回路とからなり、第1の導電
体回路と第2の導電体回路とは絶縁層に形成した穿孔の
孔内にも形成した第2の導電体回路を介して接続したプ
リント配線板において、絶縁層はアルカリ溶解性の感光
性絶縁性樹脂と、アルカリ溶解性の非感光性絶縁性樹脂
の2層構造としたことを特徴とする多層プリント配線
板。 - 【請求項3】少なくとも絶縁基板に第1の導電体回路を
形成する工程と、絶縁基板および第1の導電体回路の表
面に絶縁層を形成する工程と、絶縁層の表面に感光性の
絶縁層を形成する工程と、絶縁層および感光性の絶縁層
に穿孔を形成する工程と、感光性の絶縁層の表面に導電
体層を形成するとともに、穿孔にも導電体層を形成して
第1の導電体回路と感光性の絶縁層の表面に形成した導
電体層とを接続させる工程と、導電体層に回路の形成を
行なって第2の導電体回路を形成する工程とからなる多
層プリント配線板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16064194A JPH088541A (ja) | 1994-06-20 | 1994-06-20 | 多層プリント配線板およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16064194A JPH088541A (ja) | 1994-06-20 | 1994-06-20 | 多層プリント配線板およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH088541A true JPH088541A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15719332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16064194A Pending JPH088541A (ja) | 1994-06-20 | 1994-06-20 | 多層プリント配線板およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH088541A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6306481B1 (en) | 1996-07-25 | 2001-10-23 | Hitachi, Ltd. | Multilayer circuit board having insulating layer with via-holes |
| US6388202B1 (en) * | 1997-10-06 | 2002-05-14 | Motorola, Inc. | Multi layer printed circuit board |
| CN118785776A (zh) * | 2024-06-26 | 2024-10-15 | 天马新型显示技术研究院(厦门)有限公司 | 一种基板及其制备方法、显示面板、显示装置 |
-
1994
- 1994-06-20 JP JP16064194A patent/JPH088541A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6306481B1 (en) | 1996-07-25 | 2001-10-23 | Hitachi, Ltd. | Multilayer circuit board having insulating layer with via-holes |
| US6388202B1 (en) * | 1997-10-06 | 2002-05-14 | Motorola, Inc. | Multi layer printed circuit board |
| CN118785776A (zh) * | 2024-06-26 | 2024-10-15 | 天马新型显示技术研究院(厦门)有限公司 | 一种基板及其制备方法、显示面板、显示装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2658661B2 (ja) | 多層印刷配線板の製造方法 | |
| KR100733253B1 (ko) | 고밀도 인쇄회로기판 및 그 제조방법 | |
| US20060121256A1 (en) | Method of fabricating printed circuit board having thin core layer | |
| US20120030938A1 (en) | Method of manufacturing printed circuit board | |
| KR20090063223A (ko) | 리지드 플렉서블 프린트 배선판 및 리지드 플렉서블 프린트배선판의 제조방법 | |
| JP2007110120A (ja) | コア層のない基板及びその製造方法 | |
| JP3229525B2 (ja) | Lsi内蔵型多層回路板およびその製法 | |
| JPH1154934A (ja) | 多層プリント配線板およびその製造方法 | |
| JP2006148038A (ja) | 高密度プリント基板の製造方法 | |
| JPH07106728A (ja) | リジッドフレックスプリント配線板およびその製造方法 | |
| KR20110010427A (ko) | 홀수 층 구조의 인쇄회로기판 및 그 제조방법 | |
| JPH06216537A (ja) | プリント配線板とその製造方法 | |
| JPH1154926A (ja) | 片面回路基板およびその製造方法 | |
| JPH088541A (ja) | 多層プリント配線板およびその製造方法 | |
| KR100716809B1 (ko) | 이방전도성필름을 이용한 인쇄회로기판 및 그 제조방법 | |
| JPH07193370A (ja) | フレックスリジッドプリント基板及びその製造方法 | |
| KR100722599B1 (ko) | 필 도금을 이용한 전층 이너비아홀 인쇄회로기판 및 그제조방법 | |
| JP2011222962A (ja) | プリント基板およびその製造方法 | |
| JP3304061B2 (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
| US6274291B1 (en) | Method of reducing defects in I/C card and resulting card | |
| JP3261314B2 (ja) | 多層プリント配線板の製造方法および多層プリント配線板 | |
| JP3462230B2 (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
| JP3549063B2 (ja) | 印刷配線板の製造方法 | |
| JP2003249761A (ja) | 多層プリント配線基板の製造方法 | |
| JPS5921095A (ja) | 多層印刷配線板の製造方法 |