JPH0886314A - Magnetic bearing device - Google Patents
Magnetic bearing deviceInfo
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- JPH0886314A JPH0886314A JP22141494A JP22141494A JPH0886314A JP H0886314 A JPH0886314 A JP H0886314A JP 22141494 A JP22141494 A JP 22141494A JP 22141494 A JP22141494 A JP 22141494A JP H0886314 A JPH0886314 A JP H0886314A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 従来に比べて直流バイアス電流の値の設定の
自由度を向上させることができ、また、電流増幅回路の
容量の低減化を図ることのできる磁気軸受装置を提供す
る。
【構成】 制御回路14から出力された信号は判別回路
17で信号の符号を判別され、正ならば信号反転回路1
5側(反基準方向側)へ出力され、負ならば電流増幅回
路16−1側(基準方向側回路側)へ出力される。基準
方向側回路側では、判別回路17の出力信号にそのまま
バイアス信号が加算され、電流増幅回路16−1により
電力増幅され電流信号として電磁石3−1に供給され
る。反基準方向側では、判別回路17の出力信号が、信
号反転回路5で正負反転された後、バイアス信号が加算
され、電流増幅回路16−2により電力増幅され、電流
信号として電磁石3−2に供給される。
(57) [Abstract] [Purpose] To provide a magnetic bearing device capable of improving the degree of freedom in setting the value of a DC bias current and reducing the capacity of a current amplifier circuit as compared with a conventional one. To do. [Structure] The signal output from the control circuit 14 is discriminated by the discrimination circuit 17 in the sign of the signal.
5 is output (on the side opposite to the reference direction), and if negative, it is output on the side of the current amplification circuit 16-1 (circuit side on the reference direction side). On the side of the reference side circuit, the bias signal is directly added to the output signal of the determination circuit 17, the power is amplified by the current amplification circuit 16-1, and the current signal is supplied to the electromagnet 3-1. On the side opposite to the reference direction, the output signal of the determination circuit 17 is inverted by the signal inversion circuit 5 and then the bias signal is added, and the power is amplified by the current amplification circuit 16-2, and the current signal is supplied to the electromagnet 3-2. Supplied.
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、回転軸を1自由度また
は多自由度に非接触で安定支持する能動型の磁気軸受装
置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an active magnetic bearing device for stably supporting a rotary shaft in one or multiple degrees of freedom in a non-contact manner.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来技術を図5乃至図9を参照して説明
する。図5は電磁石と回転軸の関係を説明する概略図
で、図6は従来の磁気軸受装置の一方向分のブロック
図、図7は電磁石に流れる電流の概念図、図8と図9は
回転軸の変位量と回転軸に作用する力の関係を説明する
図である。2. Description of the Related Art A conventional technique will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a schematic diagram for explaining the relationship between the electromagnet and the rotating shaft, FIG. 6 is a block diagram of a conventional magnetic bearing device in one direction, FIG. 7 is a conceptual diagram of current flowing through the electromagnet, and FIGS. It is a figure explaining the relationship of the amount of displacement of a shaft, and the force which acts on a rotating shaft.
【0003】図5において、1は回転軸であり、2は回
転軸1の基準位置からの変位を検出する変位センサで、
回転軸1が変位センサ2から離れる方向に変位した場合
正の信号を発生し、逆の方向に変位した場合負の信号を
発生する。3は電磁石で、コイルに流れる電流の大きさ
によって回転軸1に対して磁気吸引力を発生し、電磁石
3−1は変位センサ2の側(基準方向側)に取り付けら
れ、電磁石3−2は軸を挟んで変位センサ2と反対側
(反基準方向側)に取り付けられている。また、電磁石
3−1と回転軸1、電磁石3−2と回転軸1とのそれぞ
れのエアギャップX1、X2は等しくX0である。電磁
石3−1が発生する磁気吸引力F1、電磁石3−2が発
生する磁気吸引力はF2となっている。In FIG. 5, reference numeral 1 is a rotary shaft, and 2 is a displacement sensor for detecting the displacement of the rotary shaft 1 from a reference position.
A positive signal is generated when the rotating shaft 1 is displaced in the direction away from the displacement sensor 2, and a negative signal is generated when the rotating shaft 1 is displaced in the opposite direction. 3 is an electromagnet, which generates a magnetic attraction force to the rotating shaft 1 depending on the magnitude of the current flowing through the coil, the electromagnet 3-1 is attached to the displacement sensor 2 side (reference direction side), and the electromagnet 3-2 is It is attached to the opposite side (opposite reference direction side) of the displacement sensor 2 with the shaft interposed therebetween. Further, the air gaps X1 and X2 of the electromagnet 3-1 and the rotating shaft 1 and the electromagnet 3-2 and the rotating shaft 1 are equal to X0. The magnetic attraction force F1 generated by the electromagnet 3-1 and the magnetic attraction force F2 generated by the electromagnet 3-2 are F2.
【0004】また、図6において、4は制御回路、5は
信号反転回路、6は電流増幅回路である。制御回路4
は、図5に示した変位センサ2からの出力信号(軸変位
フィードバック信号)と目標値との偏差より回転軸1を
安定に支持する為の信号ΔVを生成するもので、ディジ
タルまたはアナログ回路から構成されている。また、信
号反転回路5は、制御回路4の出力信号ΔVの符号を反
転する。電流増幅回路6は、入力信号を電流信号に変換
するものであり、電流増幅回路6−1は制御回路4の出
力信号ΔVに直流バイアス信号を加算した信号ΔVi1
を入力して電磁石3−1のコイルに電流I1を供給し、
電流増幅回路6−2は信号反転回路5の出力信号に直流
バイアス信号を加算した信号ΔVi2を入力し電磁石3
−2のコイルに電流I2を供給する。Further, in FIG. 6, 4 is a control circuit, 5 is a signal inverting circuit, and 6 is a current amplification circuit. Control circuit 4
Is for generating a signal ΔV for stably supporting the rotary shaft 1 from the deviation between the output signal (axis displacement feedback signal) from the displacement sensor 2 shown in FIG. 5 and the target value. It is configured. The signal inverting circuit 5 also inverts the sign of the output signal ΔV of the control circuit 4. The current amplifier circuit 6 converts an input signal into a current signal, and the current amplifier circuit 6-1 adds a DC bias signal to the output signal ΔV of the control circuit 4 to obtain a signal ΔVi1.
To supply a current I1 to the coil of the electromagnet 3-1.
The current amplification circuit 6-2 inputs the signal ΔVi2 obtained by adding the DC bias signal to the output signal of the signal inverting circuit 5 and inputs the electromagnet 3
The current I2 is supplied to the -2 coil.
【0005】次に、上記構成の磁気軸受装置の動作につ
いて説明する。Next, the operation of the magnetic bearing device having the above structure will be described.
【0006】回転軸1の軸変位は、変位センサ2によっ
て検出され、電気信号に変換される。変換された電気信
号は、目標値と比較され制御装置4によって回転軸1を
安定に支持する電気信号に変換され、一方はそのままバ
イアス信号を加算され、他方は信号反転回路5で正負反
転しバイアス信号を加算され、各電流増幅回路3−1お
よび3−2により電力増幅されて、電流信号として電磁
石3−1および3−2のコイルに供給される。そして、
電磁石3−1および3−2は、それぞれコイルに流れる
電流に相当する磁気吸引力で回転軸1を吸引する。The axial displacement of the rotary shaft 1 is detected by the displacement sensor 2 and converted into an electric signal. The converted electric signal is compared with a target value and converted into an electric signal that stably supports the rotary shaft 1 by the control device 4. One of them is added with the bias signal as it is, and the other is inverted by the signal inversion circuit 5 to be biased. The signals are added, power is amplified by the current amplification circuits 3-1 and 3-2, and the current signals are supplied to the coils of the electromagnets 3-1 and 3-2. And
The electromagnets 3-1 and 3-2 each attract the rotating shaft 1 with a magnetic attraction force corresponding to the current flowing in the coil.
【0007】この時、電磁石3−1および3−2に流れ
る直流バイアス電流は、予め設定された静的磁気吸引力
に相当する成分で、それぞれの静的磁気吸引力は等しく
(F1=F2)バランスしている。電磁石3−1および
3−2に流れる電流の変動成分は、図7に示すように互
いに位相が180 °異なり、電磁石3−1に流れる電流の
変化分は変位センサ2と回転軸1のギャップが増加した
場合に増加するように、電磁石3−2に流れる電流の変
化分は変位センサ2と回転軸1のギャップが減少した場
合に増加するようになっているので、回転軸1が変位し
た場合にはF1−F2の力が回転軸1に作用し、回転軸
1の位置は固定され非接触に安定支持される。At this time, the DC bias current flowing through the electromagnets 3-1 and 3-2 is a component corresponding to a preset static magnetic attraction force, and the static magnetic attraction forces are equal (F1 = F2). I'm in balance. As shown in FIG. 7, the fluctuation components of the currents flowing through the electromagnets 3-1 and 3-2 are 180 ° out of phase with each other, and the change in the current flowing through the electromagnet 3-1 is due to the gap between the displacement sensor 2 and the rotary shaft 1. When the rotating shaft 1 is displaced, the amount of change in the current flowing through the electromagnet 3-2 is increased when the gap between the displacement sensor 2 and the rotating shaft 1 is reduced, so that it increases when the rotating shaft 1 is displaced. The forces F1-F2 act on the rotary shaft 1, and the position of the rotary shaft 1 is fixed and stably supported in a non-contact manner.
【0008】ところで、電流増幅回路6には、通常、供
給できる電流に制限があり、電流増幅回路6に過大な入
力があった場合には、最大供給電流(Imax )で飽和し
てしまうが、直流バイアス電流は、通常、最大供給電流
の1/2に設定されており、電流の変化分は、直流バイ
アス電流値を中心に正負同振幅でそれぞれ最大供給電流
値、ゼロ値となるので、回転軸1の変位量と回転軸1に
作用する力の関係は図8のように線形になる。By the way, the current amplifier circuit 6 is usually limited in the current that can be supplied, and when the current amplifier circuit 6 receives an excessive input, it is saturated at the maximum supply current (Imax). The DC bias current is usually set to 1/2 of the maximum supply current, and the amount of change in the current becomes the maximum supply current value and zero value with positive and negative amplitudes centering on the DC bias current value, respectively. The relationship between the displacement amount of the shaft 1 and the force acting on the rotary shaft 1 is linear as shown in FIG.
【0009】しかしながら、直流バイアス電流の値を最
大供給電流の1/2以外の値に設定した場合には、最大
供給電流の1/2に設定した場合より早く電流が飽和ま
たはゼロとなってしまい回転軸1の変位量と回転軸1に
作用する力の関係は図9のように非線形となり制御に悪
影響を与えるばかりか、電流が飽和またはゼロ到達後は
剛性が低下し、回転軸1を安定支持することはできな
い。However, when the value of the DC bias current is set to a value other than 1/2 of the maximum supply current, the current saturates or becomes zero faster than when it is set to 1/2 of the maximum supply current. The relationship between the displacement of the rotating shaft 1 and the force acting on the rotating shaft 1 becomes non-linear as shown in FIG. 9 and exerts a bad influence on the control, and the rigidity decreases after the current is saturated or reaches zero, and the rotating shaft 1 is stabilized. I can't support it.
【0010】[0010]
【発明が解決しようとする課題】以上説明したように、
従来の磁気軸受装置では、直流バイアス電流の値を最大
供給電流の1/2に設定しており、必要な電力に比べ電
流増幅回路の容量を大きくしなければならなく経済性の
面で不利である。また、直流バイアス電流の値を最大供
給電流の1/2に設定しない場合には、回転軸1の変位
量に対する回転軸1に作用する力の関係が非線形とな
り、制御に悪影響を与えるばかりか、電流が飽和または
ゼロ到達後は剛性が低下し、回転軸1を安定支持するこ
とができなくなるという問題がある。As described above,
In the conventional magnetic bearing device, the value of the DC bias current is set to 1/2 of the maximum supply current, and the capacity of the current amplifier circuit must be made larger than the required power, which is economically disadvantageous. is there. Further, when the value of the DC bias current is not set to 1/2 of the maximum supply current, the relationship between the displacement amount of the rotary shaft 1 and the force acting on the rotary shaft 1 becomes non-linear, which not only adversely affects the control, After the current is saturated or reaches zero, there is a problem that the rigidity decreases and it becomes impossible to stably support the rotating shaft 1.
【0011】本発明は、上記のような問題に鑑みてなさ
れたもので、従来に比べて直流バイアス電流の値の設定
の自由度を向上させることができ、また、電流増幅回路
の容量の低減化を図ることのできる磁気軸受装置を提供
することを目的とする。The present invention has been made in view of the above problems, and it is possible to improve the degree of freedom in setting the value of the DC bias current as compared with the prior art, and to reduce the capacity of the current amplifier circuit. An object of the present invention is to provide a magnetic bearing device that can be realized.
【0012】[0012]
【課題を解決するための手段】請求項1記載の本発明
は、回転軸の位置を検出する変位センサの出力信号によ
って、回転軸を挟んで設置された第1および第2の一対
の電磁石に流れる電流を制御し、前記回転軸を非接触に
安定支持する能動制御型の磁気軸受装置において、前記
変位センサの出力信号から、前記回転軸が所定位置にあ
るときにはゼロ、前記第1の電磁石側にずれた場合はず
れ量に応じた負の値、前記第2の電磁石側にずれた場合
はずれ量に応じた正の値の制御信号(ΔV)を発生する
制御信号発生手段と、前記第1および第2の電磁石に、
それぞれ供給可能な最大許容電流(Imax )に相当する
直流バイアス電流を供給するバイアス電流供給手段と、
前記制御信号発生手段からの前記制御信号(ΔV)の正
負を判別し、負の場合は、前記第1の電磁石への供給電
流を当該制御信号(ΔV)の値に応じて減少させ、正の
場合は、前記第2の電磁石への供給電流を当該制御信号
(ΔV)の値に応じて減少させる手段とを具備したこと
を特徴とする。According to a first aspect of the present invention, there is provided a pair of first and second electromagnets installed with a rotary shaft sandwiched by an output signal of a displacement sensor for detecting the position of the rotary shaft. In an active control type magnetic bearing device which controls a flowing current and stably supports the rotating shaft in a non-contact manner, an output signal of the displacement sensor indicates zero when the rotating shaft is at a predetermined position, and the first electromagnet side. The control signal generating means for generating a control signal (ΔV) having a negative value corresponding to the deviation amount when the deviation is caused to, and a positive value corresponding to the deviation amount when the deviation toward the second electromagnet side, and the first and For the second electromagnet,
Bias current supply means for supplying a DC bias current corresponding to the maximum allowable current (Imax) that can be supplied, respectively,
Whether the control signal (ΔV) from the control signal generating means is positive or negative is determined. When the control signal (ΔV) is negative, the current supplied to the first electromagnet is decreased according to the value of the control signal (ΔV) to obtain a positive value. In this case, a means for decreasing the current supplied to the second electromagnet according to the value of the control signal (ΔV) is provided.
【0013】請求項2記載の本発明は、回転軸の位置を
検出する変位センサの出力信号によって、回転軸を挟ん
で設置された第1および第2の一対の電磁石に流れる電
流を制御し、前記回転軸を非接触に安定支持する能動制
御型の磁気軸受装置において、前記変位センサの出力信
号から、前記回転軸が所定位置にあるときにはゼロ、前
記第1の電磁石側にずれた場合はずれ量に応じた負の
値、前記第2の電磁石側にずれた場合はずれ量に応じた
正の値の制御信号(ΔV)を発生する制御信号発生手段
と、前記第1および第2の電磁石に、それぞれ供給可能
な最大許容電流(Imax )の1/2より大きい任意の値
の直流バイアス電流(I0 )を供給するバイアス電流供
給手段と、入力信号の正負を反転して出力する信号反転
手段と、前記制御信号(ΔV)を入力し、この制御信号
(ΔV)と前記最大許容電流(Imax )に相当する電圧
から前記直流バイアス電流(I0 )に相当する電圧を引
いた値(B)とを比較して、制御信号(ΔV)の方が大
きい場合には、ΔV−Bの値に応じた電流が前記第2の
電磁石に加算されるよう制御し、制御信号(ΔV)の方
が小さい場合には、制御信号(ΔV)の値に応じた電流
が前記第1の電磁石に加算されるよう制御する第1の判
別手段と、前記制御信号(ΔV)を反転した反転信号
(−ΔV)を前記信号反転手段から入力し、この反転信
号(−ΔV)と前記最大許容電流(Imax )に相当する
電圧から前記直流バイアス電流(I0 )に相当する電圧
を引いた値(B)とを比較して、反転信号(−ΔV)の
方が大きい場合には、|ΔV|−Bの値に応じた電流が
前記第1の電磁石に加算されるよう制御し、反転信号
(−ΔV)の方が小さい場合には、反転信号(−ΔV)
の値に応じた電流が前記第2の電磁石に加算されるよう
制御する第2の判別手段とを具備したことを特徴とす
る。According to a second aspect of the present invention, an output signal of a displacement sensor for detecting the position of the rotary shaft controls the current flowing through a pair of first and second electromagnets installed with the rotary shaft interposed therebetween. In an active control type magnetic bearing device that stably supports the rotating shaft in a non-contact manner, the output signal of the displacement sensor is zero when the rotating shaft is at a predetermined position, and the amount of deviation when the rotating shaft is displaced toward the first electromagnet side. And a control signal generating means for generating a control signal (ΔV) having a negative value in accordance with the above, and a positive value in the case of deviation toward the second electromagnet side, and the first and second electromagnets, Bias current supply means for supplying a DC bias current (I0) of an arbitrary value larger than 1/2 of the maximum allowable current (Imax) that can be supplied, and signal inverting means for inverting and outputting the positive and negative of the input signal, The control signal .DELTA.V) is input, and this control signal (.DELTA.V) is compared with a value (B) obtained by subtracting a voltage corresponding to the DC bias current (I0) from a voltage corresponding to the maximum allowable current (Imax) to perform control. When the signal (ΔV) is larger, control is performed so that a current corresponding to the value of ΔV-B is added to the second electromagnet, and when the control signal (ΔV) is smaller, the control signal From the signal inverting means, there is provided first discriminating means for controlling so that a current corresponding to the value of (ΔV) is added to the first electromagnet, and an inversion signal (−ΔV) obtained by inverting the control signal (ΔV). The inverted signal (-ΔV) is input and the value (B) obtained by subtracting the voltage corresponding to the DC bias current (I0) from the voltage corresponding to the maximum allowable current (Imax) is compared, and the inverted signal ( -ΔV) is larger, the current corresponding to the value of | ΔV | -B Serial first controlled to be added to the electromagnet, in the case towards the inverted signal (- [Delta] V) is small, the inversion signal (- [Delta] V)
A second discriminating means for controlling so that a current according to the value of is added to the second electromagnet.
【0014】請求項3記載の本発明は、回転軸の位置を
検出する変位センサの出力信号によって、回転軸を挟ん
で設置された第1および第2の一対の電磁石に流れる電
流を制御し、前記回転軸を非接触に安定支持する能動制
御型の磁気軸受装置において、前記変位センサの出力信
号から、前記回転軸が所定位置にあるときにはゼロ、前
記第1の電磁石側にずれた場合はずれ量に応じた負の
値、前記第2の電磁石側にずれた場合はずれ量に応じた
正の値の制御信号(ΔV)を発生する制御信号発生手段
と、前記第1および第2の電磁石に、それぞれ供給可能
な最大許容電流(Imax )の1/2より小さい任意の値
の直流バイアス電流(I0 )を供給するバイアス電流供
給手段と、入力信号の正負を反転して出力する信号反転
手段と、前記制御信号(ΔV)を入力し、この制御信号
(ΔV)と前記直流バイアス電流(I0 )に相当する電
圧値(C)とを比較して、制御信号(ΔV)の方が大き
い場合には、ΔV−Cの値に応じた電流が前記第2の電
磁石に加算されるよう制御し、制御信号(ΔV)の方が
小さい場合には、制御信号(ΔV)の値に応じた電流が
前記第1の電磁石に加算されるよう制御する第1の判別
手段と、前記制御信号(ΔV)を反転した反転信号(−
ΔV)を前記信号反転手段から入力し、この反転信号
(−ΔV)と前記直流バイアス電流(I0 )に相当する
電圧値(C)とを比較して、反転信号(−ΔV)の方が
大きい場合には、|ΔV|−Cの値に応じた電流が前記
第1の電磁石に加算されるよう制御し、反転信号(−Δ
V)の方が小さい場合には、反転信号(−ΔV)の値に
応じた電流が前記第2の電磁石に加算されるよう制御す
る第2の判別手段とを具備したことを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, an output signal of a displacement sensor for detecting the position of the rotating shaft is used to control the current flowing through the pair of first and second electromagnets installed with the rotating shaft interposed therebetween. In an active control type magnetic bearing device that stably supports the rotating shaft in a non-contact manner, the output signal of the displacement sensor is zero when the rotating shaft is at a predetermined position, and the amount of deviation when the rotating shaft is displaced toward the first electromagnet side. And a control signal generating means for generating a control signal (ΔV) having a negative value in accordance with the above, and a positive value in the case of deviation toward the second electromagnet side, and the first and second electromagnets, Bias current supply means for supplying a DC bias current (I0) of an arbitrary value smaller than 1/2 of the maximum allowable current (Imax) that can be supplied, and signal inverting means for inverting the positive / negative of the input signal and outputting the result. The control signal .DELTA.V) is input, this control signal (.DELTA.V) is compared with the voltage value (C) corresponding to the DC bias current (I0), and if the control signal (.DELTA.V) is larger, .DELTA.V-C Is controlled to be added to the second electromagnet, and when the control signal (ΔV) is smaller, the current corresponding to the value of the control signal (ΔV) is changed to the first electromagnet. And a reverse signal (−) that is the reverse of the control signal (ΔV).
.DELTA.V) is input from the signal inverting means, the inverted signal (-.DELTA.V) is compared with the voltage value (C) corresponding to the DC bias current (I0), and the inverted signal (-.DELTA.V) is larger. In this case, the current corresponding to the value of | ΔV | -C is controlled to be added to the first electromagnet, and the inverted signal (-Δ
When V) is smaller, a second determining means is provided for controlling so that a current corresponding to the value of the inversion signal (−ΔV) is added to the second electromagnet.
【0015】請求項4記載の本発明は、回転軸の位置を
検出する変位センサの出力信号によって、回転軸を挟ん
で設置された第1および第2の一対の電磁石に流れる電
流を制御し、前記回転軸を非接触に安定支持する能動制
御型の磁気軸受装置において、前記変位センサの出力信
号から、前記回転軸が所定位置にあるときにはゼロ、前
記第1の電磁石側にずれた場合はずれ量に応じた負の
値、前記第2の電磁石側にずれた場合はずれ量に応じた
正の値の制御信号(ΔV)を発生する制御信号発生手段
と、前記制御信号(ΔV)に、直流バイアス電流に相当
する電圧を加算した第1の加算信号(ΔVi1)を生成
し、前記第1の電磁石に、供給可能な最大許容電流(I
max )の1/2より大きい任意の値の直流バイアス電流
を供給する第1のバイアス電流供給手段と、前記制御信
号(ΔV)を入力し、正負を反転して反転信号(−Δ
V)を出力する信号反転手段と、前記反転信号(−Δ
V)に、直流バイアス電流に相当する電圧を加算した第
2の加算信号(ΔVi2)を生成し、前記第2の電磁石
に、供給可能な最大許容電流(Imax )の1/2より大
きい任意の値の直流バイアス電流を供給する第2のバイ
アス電流供給手段と、前記第1の加算信号(ΔVi1)
と、前記最大許容電流(Imax )に相当する最大電圧
(Vimax )とを比較し、第1の加算信号(ΔVi1)
の方が大きい場合は、ΔVi1−Vimax の値に応じた
電流が前記第2の電磁石に加算されるよう制御し、第1
の加算信号(ΔVi1)の方が小さい場合には、第1の
加算信号(ΔVi1)の値に応じた電流が前記第1の電
磁石に供給されるよう制御する第1の判別手段と、前記
第2の加算信号(ΔVi2)と、前記最大許容電流(I
max )に相当する最大電圧(Vimax )とを比較し、第
2の加算信号(ΔVi2)の方が大きい場合は、ΔVi
2−Vimax の値に応じた電流が前記第1の電磁石に加
算されるよう制御し、第2の加算信号(ΔVi2)の方
が小さい場合には、第2の加算信号(ΔVi2)の値に
応じた電流が前記第2の電磁石に供給されるよう制御す
る第2の判別手段とを具備したことを特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, an output signal of a displacement sensor for detecting the position of the rotary shaft controls the current flowing through a pair of first and second electromagnets installed with the rotary shaft interposed therebetween. In an active control type magnetic bearing device that stably supports the rotating shaft in a non-contact manner, the output signal of the displacement sensor is zero when the rotating shaft is at a predetermined position, and the amount of deviation when the rotating shaft is displaced toward the first electromagnet side. And a control signal generating means for generating a control signal (ΔV) having a negative value corresponding to the second electromagnet and a positive value corresponding to the amount of deviation when deviated to the second electromagnet side, and a DC bias to the control signal (ΔV). A first addition signal (ΔVi1) is generated by adding a voltage corresponding to the current, and the maximum allowable current (I) that can be supplied to the first electromagnet is generated.
A first bias current supply means for supplying a DC bias current having an arbitrary value larger than ½ of (max) and the control signal (ΔV) are input, the positive and negative are inverted, and the inverted signal (−Δ) is obtained.
V) and a signal inversion means for outputting the inversion signal (-Δ
V) is added with a voltage corresponding to the DC bias current to generate a second addition signal (ΔVi2), which is larger than 1/2 of the maximum allowable current (Imax) that can be supplied to the second electromagnet. Second bias current supply means for supplying a DC bias current having a value, and the first addition signal (ΔVi1)
And a maximum voltage (Vimax) corresponding to the maximum allowable current (Imax) are compared, and a first addition signal (ΔVi1)
Is larger, the control is performed so that a current according to the value of ΔVi1-Vimax is added to the second electromagnet,
When the addition signal (ΔVi1) is smaller than the first addition signal (ΔVi1), the first determination means for controlling so that the current according to the value of the first addition signal (ΔVi1) is supplied to the first electromagnet; 2 addition signal (ΔVi2) and the maximum allowable current (I
The maximum voltage (Vimax) corresponding to (max) is compared, and if the second addition signal (ΔVi2) is larger, ΔVi
The current according to the value of 2-Vimax is controlled to be added to the first electromagnet, and when the second addition signal (ΔVi2) is smaller, the value of the second addition signal (ΔVi2) is changed to the value of the second addition signal (ΔVi2). And a second discriminating means for controlling so that the corresponding electric current is supplied to the second electromagnet.
【0016】請求項5記載の本発明は、回転軸の位置を
検出する変位センサの出力信号によって、回転軸を挟ん
で設置された第1および第2の一対の電磁石に流れる電
流を制御し、前記回転軸を非接触に安定支持する能動制
御型の磁気軸受装置において、前記変位センサの出力信
号から、前記回転軸が所定位置にあるときにはゼロ、前
記第1の電磁石側にずれた場合はずれ量に応じた負の
値、前記第2の電磁石側にずれた場合はずれ量に応じた
正の値の制御信号(ΔV)を発生する制御信号発生手段
と、前記制御信号(ΔV)に、直流バイアス電流に相当
する電圧を加算した第1の加算信号(ΔVi1)を生成
し、前記第1の電磁石に、供給可能な最大許容電流の1
/2より小さい任意の値の直流バイアス電流を供給する
第1のバイアス電流供給手段と、前記制御信号(ΔV)
を入力し、正負を反転して反転信号(−ΔV)を出力す
る信号反転手段と、前記反転信号(−ΔV)に、直流バ
イアス電流に相当する電圧を加算した第2の加算信号
(ΔVi2)を生成し、前記第2の電磁石に、供給可能
な最大許容電流の1/2より小さい任意の値の直流バイ
アス電流を供給する第2のバイアス電流供給手段と、前
記第1の加算信号(ΔVi1)が負極性の場合には、第
1の加算信号(ΔVi1)の絶対値に応じた電流が前記
第2の電磁石に加算されるよう制御し、第1の加算信号
(ΔVi1)が正極性の場合には、第1の加算信号(Δ
Vi1)の値に応じた電流が前記第1の電磁石に供給さ
れるよう制御する第1の判別手段と、前記第2の加算信
号(ΔVi2)が負極性の場合には、第2の加算信号
(ΔVi2)の絶対値に応じた電流が前記第1の電磁石
に加算されるよう制御し、第2の加算信号(ΔVi2)
が正極性の場合には、第2の加算信号(ΔVi2)の値
に応じた電流が前記第2の電磁石に供給されるよう制御
する第2の判別手段と、を具備したことを特徴とする。According to a fifth aspect of the present invention, the current flowing through the pair of first and second electromagnets installed with the rotary shaft interposed therebetween is controlled by the output signal of the displacement sensor that detects the position of the rotary shaft. In an active control type magnetic bearing device that stably supports the rotating shaft in a non-contact manner, the output signal of the displacement sensor is zero when the rotating shaft is at a predetermined position, and the amount of deviation when the rotating shaft is displaced toward the first electromagnet side. And a control signal generating means for generating a control signal (ΔV) having a negative value corresponding to the second electromagnet and a positive value corresponding to the amount of deviation when deviated to the second electromagnet side, and a DC bias to the control signal (ΔV). A first addition signal (ΔVi1) is generated by adding the voltage corresponding to the current, and the maximum allowable current of 1 that can be supplied to the first electromagnet is 1
First bias current supply means for supplying a DC bias current of an arbitrary value smaller than / 2, and the control signal (ΔV)
And a signal inverting means for inverting the positive and negative and outputting an inversion signal (-ΔV), and a second addition signal (ΔVi2) obtained by adding a voltage corresponding to a DC bias current to the inversion signal (-ΔV). For generating a DC bias current of any value smaller than 1/2 of the maximum allowable current that can be supplied to the second electromagnet, and the first addition signal (ΔVi1). ) Has a negative polarity, control is performed so that a current corresponding to the absolute value of the first addition signal (ΔVi1) is added to the second electromagnet, and the first addition signal (ΔVi1) has a positive polarity. In this case, the first addition signal (Δ
Vi1) a first discriminating means for controlling a current to be supplied to the first electromagnet, and a second addition signal when the second addition signal (ΔVi2) has a negative polarity. A current corresponding to the absolute value of (ΔVi2) is controlled to be added to the first electromagnet, and a second addition signal (ΔVi2) is obtained.
Is positive, a second determination means is provided for controlling so that a current corresponding to the value of the second addition signal (ΔVi2) is supplied to the second electromagnet. .
【0017】[0017]
【作用】上述した構成の本発明の磁気軸受装置では、従
来に比べて直流バイアス電流の値の設定の自由度を向上
させることができ、また、電流増幅回路の容量の低減化
を図ることができる。In the magnetic bearing device of the present invention having the above-described structure, the degree of freedom in setting the value of the DC bias current can be improved and the capacity of the current amplifier circuit can be reduced as compared with the conventional one. it can.
【0018】[0018]
【実施例】以下、本発明の詳細を、実施例について図面
を参照して説明する。The details of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
【0019】図1は、本発明の一実施例の磁気軸受装置
の一方向分のブロック構成を示すものであり、図2は本
実施例における作用を説明するための図である。なお、
電磁石3および回転軸1等の構成は、図5に示した磁気
軸受装置と同様であるので、重複した説明は省略する。FIG. 1 shows a block structure for one direction of a magnetic bearing device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view for explaining the operation in this embodiment. In addition,
The configurations of the electromagnet 3, the rotary shaft 1 and the like are the same as those of the magnetic bearing device shown in FIG.
【0020】図1において、14は制御回路、15は信
号反転回路、16は電流増幅回路、17は判別回路、3
は電磁石である。In FIG. 1, 14 is a control circuit, 15 is a signal inversion circuit, 16 is a current amplification circuit, 17 is a discrimination circuit, 3
Is an electromagnet.
【0021】制御回路14は、図5に示した変位センサ
2からの出力信号(軸変位フィードバック信号)と目標
値との偏差より回転軸1を安定に支持する為の信号ΔV
を生成するもので、ディジタルまたはアナログ回路から
構成されている。すなわち、回転軸1が所定位置にあっ
て、変位センサ2からの出力信号と目標値との偏差がゼ
ロの場合はゼロ、回転軸1が変位センサ2(基準方向側
電磁石3−1)から離れる方向に変位した場合変位量に
応じた正の信号を発生し、逆の方向に変位した場合変位
量に応じた負の信号を発生する。The control circuit 14 uses the deviation ΔV between the output signal (axis displacement feedback signal) from the displacement sensor 2 and the target value shown in FIG.
And is composed of digital or analog circuits. That is, when the rotating shaft 1 is at a predetermined position and the deviation between the output signal from the displacement sensor 2 and the target value is zero, the rotating shaft 1 is separated from the displacement sensor 2 (reference direction side electromagnet 3-1). When displaced in the direction, a positive signal corresponding to the displacement amount is generated, and when displaced in the opposite direction, a negative signal corresponding to the displacement amount is generated.
【0022】また、信号反転回路15は、制御回路14
の出力信号ΔVの符号を反転するものであり、判別回路
17は、制御回路14の出力信号ΔVの符号によって出
力方向を切り替えるものである。Further, the signal inverting circuit 15 includes a control circuit 14
Of the output signal ΔV is inverted, and the discrimination circuit 17 switches the output direction according to the sign of the output signal ΔV of the control circuit 14.
【0023】さらに、電流増幅回路16は、入力信号を
電流信号に変換するものであって、電流増幅回路16−
1は判別回路17の出力信号ΔV1に直流バイアス信号
を加算した信号ΔVi1を入力とし電磁石3−1のコイ
ルに電流I1を供給し、電流増幅回路16−2は信号反
転回路15の出力信号ΔV2に直流バイアス信号を加算
した信号ΔVi2を入力とし電磁石3−2のコイルに電
流I2を供給する。Further, the current amplification circuit 16 converts an input signal into a current signal, and the current amplification circuit 16-
1 receives the signal ΔVi1 obtained by adding the DC bias signal to the output signal ΔV1 of the determination circuit 17 and supplies the current I1 to the coil of the electromagnet 3-1. The current amplification circuit 16-2 outputs the output signal ΔV2 of the signal inverting circuit 15 The signal ΔVi2 obtained by adding the DC bias signal is input, and the current I2 is supplied to the coil of the electromagnet 3-2.
【0024】次に、上記構成の本実施例の磁気軸受装置
の動作について説明する。Next, the operation of the magnetic bearing device of this embodiment having the above structure will be described.
【0025】図5に示したように、回転軸1の軸変位は
変位センサ2によって検出され、電気信号に変換され
る。As shown in FIG. 5, the axial displacement of the rotary shaft 1 is detected by the displacement sensor 2 and converted into an electric signal.
【0026】変換された電気信号は、目標値と比較さ
れ、制御回路14によって回転軸1を安定に支持する電
気信号に変換され出力される。制御回路14から出力さ
れた信号は判別回路17で信号の符号を判別され、正な
らば信号反転回路15側(反基準方向側)へ出力され、
負ならば電流増幅回路16−1側(基準方向側回路側)
へ出力される。The converted electric signal is compared with a target value and converted by the control circuit 14 into an electric signal for stably supporting the rotary shaft 1 and output. The sign of the signal output from the control circuit 14 is determined by the determination circuit 17, and if the signal is positive, the signal is output to the signal inverting circuit 15 side (counter reference direction side),
If negative, the current amplification circuit 16-1 side (reference direction side circuit side)
Is output to.
【0027】基準方向側回路側では、判別回路17の出
力信号にそのままバイアス信号が加算され、電流増幅回
路16−1により電力増幅され電流信号として電磁石3
−1のコイルに供給され、電磁石3−1はコイルに流れ
る電流に相当する磁気吸引力で回転軸1を吸引する。On the reference direction side circuit side, the bias signal is directly added to the output signal of the discriminating circuit 17, the power is amplified by the current amplifying circuit 16-1, and the electromagnet 3 is used as the current signal.
The electromagnet 3-1 is supplied to the -1 coil, and the electromagnet 3-1 attracts the rotating shaft 1 by a magnetic attraction force corresponding to the current flowing in the coil.
【0028】一方、反基準方向側では、判別回路17の
出力信号が、信号反転回路5で正負反転された後、バイ
アス信号が加算され、電流増幅回路16−2により電力
増幅され、電流信号として電磁石3−2のコイルに供給
され、電磁石はコイルに流れる電流に相当する磁気吸引
力で回転軸1を吸引する。On the other hand, on the side opposite to the reference direction, the output signal of the discriminating circuit 17 is positively / negatively inverted by the signal inverting circuit 5, the bias signal is added, the power is amplified by the current amplifying circuit 16-2, and it is converted into a current signal. The electromagnet 3-2 is supplied to the coil of the electromagnet 3-2, and the electromagnet attracts the rotating shaft 1 with a magnetic attraction force corresponding to the current flowing through the coil.
【0029】上記バイアス信号は、電流増幅回路16か
ら電磁石3に供給することのできる最大許容電流(Ima
x )に相当するよう設定されている。すなわち、電磁石
3−1および3−2に流れる電流の直流成分は、静的磁
気吸引力に相当する成分で電流増幅回路16の飽和電流
に設定されており、各電磁石3−1および3−2に流れ
る直流バイアス電流は等しいので、それぞれの静的磁気
吸引力は等しく(F1=F2)バランスしている。The bias signal is the maximum allowable current (Ima) that can be supplied from the current amplification circuit 16 to the electromagnet 3.
x) is set. That is, the DC component of the current flowing through the electromagnets 3-1 and 3-2 is set to the saturation current of the current amplification circuit 16 with a component corresponding to the static magnetic attraction force, and each of the electromagnets 3-1 and 3-2. Since the DC bias currents flowing in the two are equal, the respective static magnetic attraction forces are equal (F1 = F2) and balanced.
【0030】電磁石3−1および3−2に流れる電流の
変動成分は図2に示すように互いに位相が180 °異な
り、電磁石3−1に流れる電流の変化分は変位センサ2
と回転軸1のギャップが減少したときのみ減少するよう
に、電磁石3−2に流れる電流の変化分は変位センサ2
と回転軸1のギャップが増加したときのみ減少するよう
になっている。したがって、常に変位した方向とは逆方
向に力が作用するので、回転軸1の位置は固定され非接
触に安定支持される。The fluctuation components of the currents flowing through the electromagnets 3-1 and 3-2 are 180 ° out of phase with each other as shown in FIG.
And the change amount of the current flowing through the electromagnet 3-2 is reduced only when the gap between the rotary shaft 1 and the rotary shaft 1 decreases.
And it is designed to decrease only when the gap of the rotary shaft 1 increases. Therefore, since the force always acts in the direction opposite to the displaced direction, the position of the rotary shaft 1 is fixed and stably supported without contact.
【0031】一方、それぞれの電磁石3−1および3−
2に流れる電流は、いかなる場合でも片方が固定でもう
一方がImax からゼロまで変化が可能であるから、回転
軸1の変位量と回転軸1に作用する力の関係は図8のよ
うに線形になり、各電磁石3−1および3−2はImax
以上の電流を必要としないので電流増幅回路16の容量
を最小化できる。On the other hand, the respective electromagnets 3-1 and 3-
The current flowing in 2 can be changed from Imax to zero in one case while the other is fixed in any case. Therefore, the relationship between the displacement of rotary shaft 1 and the force acting on rotary shaft 1 is linear as shown in FIG. And the electromagnets 3-1 and 3-2 have Imax
Since the above current is not required, the capacity of the current amplification circuit 16 can be minimized.
【0032】次に、他の実施例について説明する。Next, another embodiment will be described.
【0033】図3は、他の実施例の磁気軸受装置の構成
を示すもので、図3において、18は判別回路であり、
基準方向側の判別回路18−1は制御回路14に直接接
続されており、反基準方向側の判別回路18−2は、信
号反転回路15に接続されている。また、本実施例で
は、直流バイアス電流(I0 )が、最大許容電流(Ima
x )の1/2より大きい任意の値に設定されており、こ
の設定値に応じた電圧が判別回路18の出力側に加算さ
れる。FIG. 3 shows the structure of a magnetic bearing device of another embodiment. In FIG. 3, reference numeral 18 is a discriminating circuit,
The reference direction side determination circuit 18-1 is directly connected to the control circuit 14, and the counter reference direction side determination circuit 18-2 is connected to the signal inverting circuit 15. In this embodiment, the DC bias current (I0) is the maximum allowable current (Ima).
It is set to an arbitrary value larger than 1/2 of x), and a voltage according to this set value is added to the output side of the discrimination circuit 18.
【0034】上記基準方向側の判別回路18−1は、制
御回路14の出力信号ΔVを入力とし、その大きさが最
大許容電流(Imax )から直流バイアス電流(I0 )を
引いた値に相当する電圧値(B)より大きい場合には、
ΔV−Bの値を反基準方向側回路に加算し、小さいとき
はそのまま基準方向側回路に出力する。The discriminating circuit 18-1 on the reference direction side receives the output signal ΔV of the control circuit 14, and its magnitude corresponds to a value obtained by subtracting the DC bias current (I0) from the maximum allowable current (Imax). If it is larger than the voltage value (B),
The value of ΔV-B is added to the anti-reference direction side circuit, and when it is smaller, it is output as it is to the reference direction side circuit.
【0035】一方、反基準方向側の判別回路18−2
は、信号反転回路5からの入力信号(−ΔV)がBより
大きい場合には、|−ΔV|−Bの値を基準方向側回路
に加算し、小さい場合にはそのまま反基準方向側回路へ
出力する。On the other hand, the discrimination circuit 18-2 on the side opposite to the reference direction
When the input signal (−ΔV) from the signal inverting circuit 5 is larger than B, the value of | −ΔV | −B is added to the reference direction side circuit, and when it is smaller, it is directly to the anti-reference direction side circuit. Output.
【0036】以上のように構成された本実施例では、電
磁石3に流す直流バイアス電流の値を任意に設定するこ
とが可能で、且つ、回転軸1の変位量と回転軸1に作用
する力の関係を線形とすることができ、回転軸1を安定
に制御することができる。In the present embodiment configured as described above, the value of the DC bias current flowing through the electromagnet 3 can be arbitrarily set, and the amount of displacement of the rotary shaft 1 and the force acting on the rotary shaft 1 can be set. Can be linear, and the rotating shaft 1 can be stably controlled.
【0037】なお、上記実施例では、直流バイアス電流
(I0 )を、最大許容電流(Imax)の1/2より大き
い任意の値に設定したが、直流バイアス電流(I0 )
を、最大許容電流(Imax )の1/2より小さな任意の
値に設定することも可能である。この場合、基準方向側
の判別回路18−1は、制御回路14の出力信号ΔVを
直流バイアス電流(I0 )に相当する電圧値(C)と比
較し、出力信号ΔVの方が大きい場合には、ΔV−Cの
値を反基準方向側回路に加算し、小さいときはそのまま
基準方向側回路に出力するよう構成する。これととも
に、反基準方向側の判別回路18−2は、信号反転回路
5からの入力信号(−ΔV)がCより大きい場合には、
|−ΔV|−Cの値を基準方向側回路に加算し、小さい
場合にはそのまま反基準方向側回路へ出力するよう構成
する。In the above embodiment, the DC bias current (I0) is set to any value larger than 1/2 of the maximum allowable current (Imax), but the DC bias current (I0) is set.
Can be set to any value smaller than 1/2 of the maximum allowable current (Imax). In this case, the determination circuit 18-1 on the reference direction side compares the output signal ΔV of the control circuit 14 with the voltage value (C) corresponding to the DC bias current (I 0), and when the output signal ΔV is larger, , ΔV-C is added to the circuit on the side opposite the reference direction, and when it is smaller, it is output to the circuit on the reference direction side as it is. At the same time, when the input signal (−ΔV) from the signal inverting circuit 5 is larger than C, the discrimination circuit 18-2 on the side opposite to the reference direction,
The value of |-[Delta] V | -C is added to the reference direction side circuit, and when it is smaller, it is output to the anti-reference direction side circuit as it is.
【0038】次に、さらに他の実施例について説明す
る。Next, still another embodiment will be described.
【0039】図4は、さらに他の実施例の磁気軸受装置
の要部構成を示すもので、図4において、19は判別回
路であり、基準方向側の判別回路19−1は、制御回路
14の出力信号ΔVに直流バイアス信号に相当する電圧
を加算して加算信号ΔVi1を生成する加算器の後段で
あって、電流増幅回路16−1の前段に設けられてお
り、反基準方向側回路側の判別回路19−2は、信号反
転回路15によって反転した信号に直流バイアス信号に
相当する電圧を加算して加算信号ΔVi2を生成する加
算器の後段であって、電流増幅回路16−2の前段に設
けられている。また、本実施例においては、最大許容電
流(Imax )の1/2より大きい任意の値に直流バイア
ス電流が設定されている。FIG. 4 shows a main structure of a magnetic bearing device according to still another embodiment. In FIG. 4, reference numeral 19 is a discriminating circuit, and the discriminating circuit 19-1 on the reference direction side is a control circuit 14. Is provided after the adder that adds the voltage corresponding to the DC bias signal to the output signal ΔV of 1 to generate the addition signal ΔVi1, and before the current amplification circuit 16-1. The discriminating circuit 19-2 is a post-stage of the adder that adds a voltage corresponding to the DC bias signal to the signal inverted by the signal inverting circuit 15 to generate the addition signal ΔVi2, and is a pre-stage of the current amplifying circuit 16-2. It is provided in. Further, in this embodiment, the DC bias current is set to an arbitrary value larger than 1/2 of the maximum allowable current (Imax).
【0040】上記基準方向側の判別回路19−1は、加
算信号ΔVi1と、最大許容電流(Imax )に相当する
電圧(Vimax )とを比較し、加算信号ΔVi1の方が
大きい場合にはΔVi1−Vimax の値を反基準方向側
回路に加算し、加算信号ΔVi1の方が小さい場合に
は、そのまま基準方向側回路に出力するよう構成されて
いる。The discrimination circuit 19-1 on the reference direction side compares the addition signal ΔVi1 with the voltage (Vimax) corresponding to the maximum allowable current (Imax), and when the addition signal ΔVi1 is larger, ΔVi1-. The value of Vimax is added to the anti-reference direction side circuit, and when the addition signal ΔVi1 is smaller, it is output to the reference direction side circuit as it is.
【0041】一方、反基準方向側の判別回路19−2
は、加算信号ΔVi2と、最大許容電流(Imax )に相
当する電圧(Vimax )とを比較し、加算信号ΔVi2
の方が大きい場合にはΔVi2−Vimax の値を基準方
向側回路に加算し、加算信号ΔVi2の方が小さい場合
には、そのまま反基準方向側回路に出力するよう構成さ
れている。On the other hand, the discrimination circuit 19-2 on the side opposite to the reference direction
Compares the addition signal ΔVi2 with a voltage (Vimax) corresponding to the maximum allowable current (Imax), and adds the addition signal ΔVi2.
Is larger, the value of .DELTA.Vi2-Vimax is added to the reference direction side circuit, and when the added signal .DELTA.Vi2 is smaller, it is output to the anti-reference direction side circuit as it is.
【0042】以上のように構成された本実施例では、電
磁石3に流す直流バイアス電流の値を任意に設定するこ
とが可能で、且つ、回転軸1の変位量と回転軸1に作用
する力の関係を線形とすることができ、回転軸1を安定
に制御することができる。In the present embodiment configured as described above, the value of the DC bias current flowing through the electromagnet 3 can be set arbitrarily, and the displacement amount of the rotary shaft 1 and the force acting on the rotary shaft 1 can be set. Can be linear, and the rotating shaft 1 can be stably controlled.
【0043】なお、上記実施例では、直流バイアス電流
を、最大許容電流(Imax )の1/2より大きい任意の
値に設定したが、直流バイアス電流を、最大許容電流
(Imax )の1/2より小さな任意の値に設定すること
も可能である。Although the DC bias current is set to an arbitrary value larger than 1/2 of the maximum allowable current (Imax) in the above embodiment, the DC bias current is set to 1/2 of the maximum allowable current (Imax). It can be set to any smaller value.
【0044】この場合、基準方向側の判別回路19−1
は、加算信号ΔVi1が負極性の場合には、加算信号Δ
Vi1の絶対値を反基準方向側回路に加算し、加算信号
ΔVi1が正極性の場合には、そのまま基準方向側回路
に出力するよう構成する。これとともに、反基準方向側
の判別回路19−2は、加算信号ΔVi2が負極性の場
合には、加算信号ΔVi2の絶対値を反基準方向側回路
に加算し、加算信号ΔVi2が正極性の場合には、その
まま基準方向側回路に出力するよう構成する。In this case, the reference direction side discrimination circuit 19-1
Is the addition signal ΔVi1 when the addition signal ΔVi1 has a negative polarity.
The absolute value of Vi1 is added to the anti-reference direction side circuit, and when the addition signal ΔVi1 has a positive polarity, it is directly output to the reference direction side circuit. At the same time, the determination circuit 19-2 on the anti-reference direction side adds the absolute value of the addition signal ΔVi2 to the anti-reference direction side circuit when the addition signal ΔVi2 has a negative polarity, and when the addition signal ΔVi2 has a positive polarity. Is configured to output to the reference direction side circuit as it is.
【0045】[0045]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
従来に比べて直流バイアス電流の値の設定の自由度を向
上させることができ、また、電流増幅回路の容量の低減
化を図ることができる。As described above, according to the present invention,
The degree of freedom in setting the value of the DC bias current can be improved as compared with the related art, and the capacity of the current amplifier circuit can be reduced.
【図1】本発明の一実施例の磁気軸受装置の一方向分の
ブロック構成を示す図。FIG. 1 is a diagram showing a block configuration for one direction of a magnetic bearing device according to an embodiment of the present invention.
【図2】図1の磁気軸受装置の作用を説明するための
図。FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of the magnetic bearing device of FIG.
【図3】他の実施例の磁気軸受装置の一方向分のブロッ
ク構成を示す図。FIG. 3 is a diagram showing a block configuration for one direction of a magnetic bearing device according to another embodiment.
【図4】さらに、他の実施例の磁気軸受装置の一方向分
のブロック構成を示す図。FIG. 4 is a diagram showing a block configuration for one direction of a magnetic bearing device according to another embodiment.
【図5】磁気軸受装置の電磁石と回転軸および変位セン
サの関係を示す図。FIG. 5 is a diagram showing a relationship between an electromagnet of a magnetic bearing device, a rotary shaft, and a displacement sensor.
【図6】従来の磁気軸受装置の一方向分のブロック構成
を示す図。FIG. 6 is a diagram showing a block configuration of a conventional magnetic bearing device for one direction.
【図7】図6の磁気軸受装置の作用を説明するための
図。FIG. 7 is a view for explaining the operation of the magnetic bearing device of FIG.
【図8】回転軸の変位量と回転軸に作用する力の関係を
説明するため図。FIG. 8 is a diagram for explaining a relationship between a displacement amount of a rotating shaft and a force acting on the rotating shaft.
【図9】回転軸の変位量と回転軸に作用する力の関係を
説明するため図。FIG. 9 is a diagram for explaining a relationship between a displacement amount of a rotating shaft and a force acting on the rotating shaft.
3−1…基準方向側電磁石 3−2…反基準方向側電磁石 14 制御回路 15 信号反転回路 16−1 基準方向側電流増幅回路 16−2 反基準方向側電流増幅回路 17 判別回路 3-1 ... Reference direction side electromagnet 3-2 ... Anti-reference direction side electromagnet 14 Control circuit 15 Signal inversion circuit 16-1 Reference direction side current amplification circuit 16-2 Anti-reference direction side current amplification circuit 17 Discrimination circuit
フロントページの続き (72)発明者 松尾 賢一 神奈川県横浜市鶴見区末広町2の4 株式 会社東芝京浜事業所内Front Page Continuation (72) Kenichi Matsuo Inventor Kenichi Matsuo 2-4 Suehiro-cho, Tsurumi-ku, Yokohama-shi Kanagawa Stock company Toshiba Keihin office
Claims (5)
力信号によって、回転軸を挟んで設置された第1および
第2の一対の電磁石に流れる電流を制御し、前記回転軸
を非接触に安定支持する能動制御型の磁気軸受装置にお
いて、 前記変位センサの出力信号から、前記回転軸が所定位置
にあるときにはゼロ、前記第1の電磁石側にずれた場合
はずれ量に応じた負の値、前記第2の電磁石側にずれた
場合はずれ量に応じた正の値の制御信号(ΔV)を発生
する制御信号発生手段と、 前記第1および第2の電磁石に、それぞれ供給可能な最
大許容電流(Imax )に相当する直流バイアス電流を供
給するバイアス電流供給手段と、 前記制御信号発生手段からの前記制御信号(ΔV)の正
負を判別し、負の場合は、前記第1の電磁石への供給電
流を当該制御信号(ΔV)の値に応じて減少させ、正の
場合は、前記第2の電磁石への供給電流を当該制御信号
(ΔV)の値に応じて減少させる手段とを具備したこと
を特徴とする磁気軸受装置。1. An output signal of a displacement sensor for detecting the position of a rotary shaft controls currents flowing through a pair of first and second electromagnets installed with the rotary shaft sandwiched therebetween, so that the rotary shaft does not contact. In an active control type magnetic bearing device that stably supports, from the output signal of the displacement sensor, zero when the rotation shaft is at a predetermined position, a negative value according to the amount of deviation when the rotation shaft is displaced to the first electromagnet side, Control signal generating means for generating a positive control signal (ΔV) according to the amount of deviation when the second electromagnet is deviated, and the maximum allowable current that can be supplied to each of the first and second electromagnets. Bias current supplying means for supplying a DC bias current corresponding to (Imax) and positive or negative of the control signal (ΔV) from the control signal generating means are discriminated. If negative, supply to the first electromagnet. The current concerned The control signal (ΔV) is decreased according to the value of the control signal (ΔV), and in the case of a positive value, the current supplied to the second electromagnet is decreased according to the value of the control signal (ΔV). Magnetic bearing device.
力信号によって、回転軸を挟んで設置された第1および
第2の一対の電磁石に流れる電流を制御し、前記回転軸
を非接触に安定支持する能動制御型の磁気軸受装置にお
いて、 前記変位センサの出力信号から、前記回転軸が所定位置
にあるときにはゼロ、前記第1の電磁石側にずれた場合
はずれ量に応じた負の値、前記第2の電磁石側にずれた
場合はずれ量に応じた正の値の制御信号(ΔV)を発生
する制御信号発生手段と、 前記第1および第2の電磁石に、それぞれ供給可能な最
大許容電流(Imax )の1/2より大きい任意の値の直
流バイアス電流(I0 )を供給するバイアス電流供給手
段と、 入力信号の正負を反転して出力する信号反転手段と、 前記制御信号(ΔV)を入力し、この制御信号(ΔV)
と前記最大許容電流(Imax )に相当する電圧から前記
直流バイアス電流(I0 )に相当する電圧を引いた値
(B)とを比較して、制御信号(ΔV)の方が大きい場
合には、ΔV−Bの値に応じた電流が前記第2の電磁石
に加算されるよう制御し、制御信号(ΔV)の方が小さ
い場合には、制御信号(ΔV)の値に応じた電流が前記
第1の電磁石に加算されるよう制御する第1の判別手段
と、 前記制御信号(ΔV)を反転した反転信号(−ΔV)を
前記信号反転手段から入力し、この反転信号(−ΔV)
と前記最大許容電流(Imax )に相当する電圧から前記
直流バイアス電流(I0 )に相当する電圧を引いた値
(B)とを比較して、反転信号(−ΔV)の方が大きい
場合には、|ΔV|−Bの値に応じた電流が前記第1の
電磁石に加算されるよう制御し、反転信号(−ΔV)の
方が小さい場合には、反転信号(−ΔV)の値に応じた
電流が前記第2の電磁石に加算されるよう制御する第2
の判別手段とを具備したことを特徴とする磁気軸受装
置。2. The output signal of a displacement sensor for detecting the position of the rotary shaft controls the current flowing through a pair of first and second electromagnets installed with the rotary shaft sandwiched between them so that the rotary shaft does not contact. In an active control type magnetic bearing device that stably supports, from the output signal of the displacement sensor, zero when the rotation shaft is at a predetermined position, a negative value according to the amount of deviation when the rotation shaft is displaced to the first electromagnet side, Control signal generating means for generating a positive control signal (ΔV) according to the amount of deviation when the second electromagnet is deviated, and the maximum allowable current that can be supplied to each of the first and second electromagnets. Bias current supply means for supplying a DC bias current (I0) of any value larger than 1/2 of (Imax), signal inverting means for inverting the positive / negative of an input signal and outputting the same, and the control signal (ΔV) Enter this Control signal (ΔV)
And the value (B) obtained by subtracting the voltage corresponding to the DC bias current (I0) from the voltage corresponding to the maximum allowable current (Imax) are compared, and when the control signal (ΔV) is larger, The current corresponding to the value of ΔV-B is controlled to be added to the second electromagnet, and when the control signal (ΔV) is smaller, the current corresponding to the value of the control signal (ΔV) is set to the second value. The first discriminating means for controlling the addition to the electromagnet of No. 1 and the inverted signal (-ΔV) obtained by inverting the control signal (ΔV) are inputted from the signal inverting means, and the inverted signal (-ΔV) is inputted.
And the value (B) obtained by subtracting the voltage corresponding to the DC bias current (I0) from the voltage corresponding to the maximum allowable current (Imax) are compared, and when the inverted signal (-ΔV) is larger, , | ΔV | -B is controlled so that a current corresponding to the value of the inverted signal (-ΔV) is added to the first electromagnet. A second electric current which controls so that the electric current is added to the second electromagnet.
And a magnetic bearing device.
力信号によって、回転軸を挟んで設置された第1および
第2の一対の電磁石に流れる電流を制御し、前記回転軸
を非接触に安定支持する能動制御型の磁気軸受装置にお
いて、 前記変位センサの出力信号から、前記回転軸が所定位置
にあるときにはゼロ、前記第1の電磁石側にずれた場合
はずれ量に応じた負の値、前記第2の電磁石側にずれた
場合はずれ量に応じた正の値の制御信号(ΔV)を発生
する制御信号発生手段と、 前記第1および第2の電磁石に、それぞれ供給可能な最
大許容電流(Imax )の1/2より小さい任意の値の直
流バイアス電流(I0 )を供給するバイアス電流供給手
段と、 入力信号の正負を反転して出力する信号反転手段と、 前記制御信号(ΔV)を入力し、この制御信号(ΔV)
と前記直流バイアス電流(I0 )に相当する電圧値
(C)とを比較して、制御信号(ΔV)の方が大きい場
合には、ΔV−Cの値に応じた電流が前記第2の電磁石
に加算されるよう制御し、制御信号(ΔV)の方が小さ
い場合には、制御信号(ΔV)の値に応じた電流が前記
第1の電磁石に加算されるよう制御する第1の判別手段
と、 前記制御信号(ΔV)を反転した反転信号(−ΔV)を
前記信号反転手段から入力し、この反転信号(−ΔV)
と前記直流バイアス電流(I0 )に相当する電圧値
(C)とを比較して、反転信号(−ΔV)の方が大きい
場合には、|ΔV|−Cの値に応じた電流が前記第1の
電磁石に加算されるよう制御し、反転信号(−ΔV)の
方が小さい場合には、反転信号(−ΔV)の値に応じた
電流が前記第2の電磁石に加算されるよう制御する第2
の判別手段とを具備したことを特徴とする磁気軸受装
置。3. An output signal of a displacement sensor for detecting the position of the rotary shaft controls currents flowing through a pair of first and second electromagnets installed with the rotary shaft sandwiched therebetween to bring the rotary shaft into non-contact. In an active control type magnetic bearing device that stably supports, from the output signal of the displacement sensor, zero when the rotation shaft is at a predetermined position, a negative value according to the amount of deviation when the rotation shaft is displaced to the first electromagnet side, Control signal generating means for generating a positive control signal (ΔV) according to the amount of deviation when the second electromagnet is deviated, and the maximum allowable current that can be supplied to each of the first and second electromagnets. Bias current supply means for supplying a DC bias current (I0) of an arbitrary value smaller than 1/2 of (Imax), signal inverting means for inverting the positive / negative of an input signal and outputting the same, and the control signal (ΔV) Enter this Control signal (ΔV)
And the voltage value (C) corresponding to the DC bias current (I0) are compared, and when the control signal (ΔV) is larger, a current corresponding to the value of ΔV-C is applied to the second electromagnet. And a control signal (ΔV) that is smaller than the control signal (ΔV), a current corresponding to the value of the control signal (ΔV) is controlled to be added to the first electromagnet. And an inverted signal (-ΔV) obtained by inverting the control signal (ΔV) from the signal inverting means, and the inverted signal (-ΔV).
And the voltage value (C) corresponding to the DC bias current (I0) are compared, and when the inverted signal (-ΔV) is larger, the current corresponding to the value of | ΔV | -C is When the inverted signal (−ΔV) is smaller, the current corresponding to the value of the inverted signal (−ΔV) is controlled to be added to the second electromagnet. Second
And a magnetic bearing device.
力信号によって、回転軸を挟んで設置された第1および
第2の一対の電磁石に流れる電流を制御し、前記回転軸
を非接触に安定支持する能動制御型の磁気軸受装置にお
いて、 前記変位センサの出力信号から、前記回転軸が所定位置
にあるときにはゼロ、前記第1の電磁石側にずれた場合
はずれ量に応じた負の値、前記第2の電磁石側にずれた
場合はずれ量に応じた正の値の制御信号(ΔV)を発生
する制御信号発生手段と、 前記制御信号(ΔV)に、直流バイアス電流に相当する
電圧を加算した第1の加算信号(ΔVi1)を生成し、
前記第1の電磁石に、供給可能な最大許容電流(Imax
)の1/2より大きい任意の値の直流バイアス電流を
供給する第1のバイアス電流供給手段と、 前記制御信号(ΔV)を入力し、正負を反転して反転信
号(−ΔV)を出力する信号反転手段と、 前記反転信号(−ΔV)に、直流バイアス電流に相当す
る電圧を加算した第2の加算信号(ΔVi2)を生成
し、前記第2の電磁石に、供給可能な最大許容電流(I
max )の1/2より大きい任意の値の直流バイアス電流
を供給する第2のバイアス電流供給手段と、 前記第1の加算信号(ΔVi1)と、前記最大許容電流
(Imax )に相当する最大電圧(Vimax )とを比較
し、第1の加算信号(ΔVi1)の方が大きい場合は、
ΔVi1−Vimax の値に応じた電流が前記第2の電磁
石に加算されるよう制御し、第1の加算信号(ΔVi
1)の方が小さい場合には、第1の加算信号(ΔVi
1)の値に応じた電流が前記第1の電磁石に供給される
よう制御する第1の判別手段と、 前記第2の加算信号(ΔVi2)と、前記最大許容電流
(Imax )に相当する最大電圧(Vimax )とを比較
し、第2の加算信号(ΔVi2)の方が大きい場合は、
ΔVi2−Vimax の値に応じた電流が前記第1の電磁
石に加算されるよう制御し、第2の加算信号(ΔVi
2)の方が小さい場合には、第2の加算信号(ΔVi
2)の値に応じた電流が前記第2の電磁石に供給される
よう制御する第2の判別手段とを具備したことを特徴と
する磁気軸受装置。4. The output signal of a displacement sensor for detecting the position of the rotary shaft controls the current flowing through a pair of first and second electromagnets installed with the rotary shaft sandwiched therebetween to bring the rotary shaft into non-contact. In an active control type magnetic bearing device that stably supports, from the output signal of the displacement sensor, zero when the rotation shaft is at a predetermined position, a negative value according to the amount of deviation when the rotation shaft is displaced to the first electromagnet side, Control signal generating means for generating a control signal (ΔV) having a positive value according to the amount of deviation when the second electromagnet is displaced, and a voltage corresponding to a DC bias current is added to the control signal (ΔV). Generate a first addition signal (ΔVi1),
The maximum allowable current (Imax) that can be supplied to the first electromagnet
), A first bias current supply means for supplying a DC bias current having an arbitrary value larger than 1/2, and the control signal (ΔV) are input, the positive and negative are inverted and an inverted signal (−ΔV) is output. A signal inversion means and a second addition signal (ΔVi2) in which a voltage corresponding to a DC bias current is added to the inversion signal (−ΔV) to generate a maximum allowable current () that can be supplied to the second electromagnet. I
second bias current supply means for supplying a DC bias current of an arbitrary value larger than ½ of (max), the first addition signal (ΔVi1), and the maximum voltage corresponding to the maximum allowable current (Imax). (Vimax), and if the first addition signal (ΔVi1) is larger,
The current corresponding to the value of ΔVi1-Vimax is controlled to be added to the second electromagnet, and the first addition signal (ΔVi
If 1) is smaller, the first addition signal (ΔVi
1) determining means for controlling a current according to the value of 1) to be supplied to the first electromagnet, the second addition signal (ΔVi2), and a maximum corresponding to the maximum allowable current (Imax) The voltage (Vimax) is compared, and when the second addition signal (ΔVi2) is larger,
The current corresponding to the value of ΔVi2-Vimax is controlled to be added to the first electromagnet, and the second addition signal (ΔVi
If 2) is smaller, the second addition signal (ΔVi
2. A magnetic bearing device comprising: a second determining unit that controls so that a current according to the value of 2) is supplied to the second electromagnet.
力信号によって、回転軸を挟んで設置された第1および
第2の一対の電磁石に流れる電流を制御し、前記回転軸
を非接触に安定支持する能動制御型の磁気軸受装置にお
いて、 前記変位センサの出力信号から、前記回転軸が所定位置
にあるときにはゼロ、前記第1の電磁石側にずれた場合
はずれ量に応じた負の値、前記第2の電磁石側にずれた
場合はずれ量に応じた正の値の制御信号(ΔV)を発生
する制御信号発生手段と、 前記制御信号(ΔV)に、直流バイアス電流に相当する
電圧を加算した第1の加算信号(ΔVi1)を生成し、
前記第1の電磁石に、供給可能な最大許容電流の1/2
より小さい任意の値の直流バイアス電流を供給する第1
のバイアス電流供給手段と、 前記制御信号(ΔV)を入力し、正負を反転して反転信
号(−ΔV)を出力する信号反転手段と、 前記反転信号(−ΔV)に、直流バイアス電流に相当す
る電圧を加算した第2の加算信号(ΔVi2)を生成
し、前記第2の電磁石に、供給可能な最大許容電流の1
/2より小さい任意の値の直流バイアス電流を供給する
第2のバイアス電流供給手段と、 前記第1の加算信号(ΔVi1)が負極性の場合には、
第1の加算信号(ΔVi1)の絶対値に応じた電流が前
記第2の電磁石に加算されるよう制御し、第1の加算信
号(ΔVi1)が正極性の場合には、第1の加算信号
(ΔVi1)の値に応じた電流が前記第1の電磁石に供
給されるよう制御する第1の判別手段と、 前記第2の加算信号(ΔVi2)が負極性の場合には、
第2の加算信号(ΔVi2)の絶対値に応じた電流が前
記第1の電磁石に加算されるよう制御し、第2の加算信
号(ΔVi2)が正極性の場合には、第2の加算信号
(ΔVi2)の値に応じた電流が前記第2の電磁石に供
給されるよう制御する第2の判別手段と、を具備したこ
とを特徴とする磁気軸受装置。5. The output signal of a displacement sensor that detects the position of the rotating shaft controls the current flowing through a pair of first and second electromagnets that are installed with the rotating shaft interposed therebetween, so that the rotating shaft does not contact. In an active control type magnetic bearing device that stably supports, from the output signal of the displacement sensor, zero when the rotation shaft is at a predetermined position, a negative value according to the amount of deviation when the rotation shaft is displaced to the first electromagnet side, Control signal generating means for generating a control signal (ΔV) having a positive value according to the amount of deviation when the second electromagnet is displaced, and a voltage corresponding to a DC bias current is added to the control signal (ΔV). Generate a first addition signal (ΔVi1),
1/2 of the maximum allowable current that can be supplied to the first electromagnet
First for supplying a DC bias current of any smaller value
Bias current supply means, signal inversion means for inputting the control signal (ΔV), inverting positive and negative and outputting an inversion signal (−ΔV), and the inversion signal (−ΔV) corresponding to a DC bias current. Of the maximum allowable current that can be supplied to the second electromagnet by generating a second added signal (ΔVi2)
Second bias current supply means for supplying a DC bias current of an arbitrary value smaller than / 2; and when the first addition signal (ΔVi1) has a negative polarity,
A current corresponding to the absolute value of the first addition signal (ΔVi1) is controlled to be added to the second electromagnet, and when the first addition signal (ΔVi1) has a positive polarity, the first addition signal When the first determination unit that controls so that a current according to the value of (ΔVi1) is supplied to the first electromagnet, and the second addition signal (ΔVi2) has a negative polarity,
A current corresponding to the absolute value of the second addition signal (ΔVi2) is controlled to be added to the first electromagnet, and when the second addition signal (ΔVi2) has a positive polarity, the second addition signal A magnetic bearing device comprising: a second determination unit that controls a current according to the value of (ΔVi2) to be supplied to the second electromagnet.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22141494A JPH0886314A (en) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | Magnetic bearing device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22141494A JPH0886314A (en) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | Magnetic bearing device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0886314A true JPH0886314A (en) | 1996-04-02 |
Family
ID=16766371
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22141494A Withdrawn JPH0886314A (en) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | Magnetic bearing device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0886314A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11201165A (en) * | 1998-01-09 | 1999-07-27 | Koyo Seiko Co Ltd | Control type magnetic bearing device |
| CN102102704A (en) * | 2011-01-10 | 2011-06-22 | 江苏大学 | Construction method of five-degree-of-freedom alternating-current active magnetic bearing alpha-ordered invertible system decoupling controller |
-
1994
- 1994-09-16 JP JP22141494A patent/JPH0886314A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11201165A (en) * | 1998-01-09 | 1999-07-27 | Koyo Seiko Co Ltd | Control type magnetic bearing device |
| CN102102704A (en) * | 2011-01-10 | 2011-06-22 | 江苏大学 | Construction method of five-degree-of-freedom alternating-current active magnetic bearing alpha-ordered invertible system decoupling controller |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20011120 |