JPH0888953A - アクチュエータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 「ぶれ」の発生、それに起因した各種問題点
を解消することが可能なアクチュエータを提供するこ
と。 【構成】 ステータ及びロータよりなるＡＣサーボモー
タによりＡＣサーボモータの出力軸と予め一体物として
延長されたボールネジを回転させ、該ボールネジにその
回転を規制された状態で螺合されたボールナットを介し
てスライダを移動させるようにしたアクチュエータにお
いて、ＡＣサーボモータの両側において出力軸を軸受手
段によって軸支するようにし、夫々の軸受手段を介して
荷重がＡＣサーボモータのステータに作用することなく
配置されたハウジングに伝達されるように構成し、何れ
か一方の軸受手段を軸方向に固定とし他方を軸方向に自
由としたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、アクチュエータに係
り、特に、ボールネジとＡＣサーボモータの出力軸を一
体物としたボールネジ一体型ＡＣサーボモータを使用し
たものにおいて、ＡＣサーボモータの構成部品であるス
テータ（固定子）に過負荷が作用しないように工夫した
ものに関する。

【０００２】

【従来の技術】アクチュエータ、例えば、一軸アクチュ
エータは、図６に示すような構成になっている。まず、
ＡＣサーボモータ１０１があり、このＡＣサーボモータ
１０１の出力軸１０３には、カップリング１０５を介し
てボールネジ１０７が連結されている。このボールネジ
１０７にはボールナット１０９が螺合していて、このボ
ールナット１０９にスライダ１１１が取付けられてい
る。そして、ＡＣサーボモータ１０１を適宜の方向に回
転させることにより、出力軸１０３、カップリング１０
５、ボールネジ１０７が同方向に回転する。そして、回
転を規制されているボールナット１０９が適宜の方向に
移動していき、それによって、スライダ１１１が同方向
に移動していく。又、ＡＣサーボモータ１０１は、ステ
ータ（固定子）１０１ａと、出力軸１０３に固着された
ロータ（回転子）１０１ｂとから構成されている。又、
出力軸１０３は、ＡＣサーボモータ１０１の両側におい
て、軸受１１３、１１５、１１７によって軸支されてい
る。又、ボールネジ１０７は、ボールナット１０９の両
側において、軸受１１９、１２１、１２３によって軸支
されている。又、軸受１１７の反ＡＣサーボモータ１０
１側には、ＡＣサーボモータ１０１の回転量を検出する
検出手段（例えば、光学式検出手段、磁気式検出手段
等）１２５が取付けられている。尚、スライダ１１１に
は任意の装置、例えば、把持装置、溶接ロボット、等が
搭載されることになる。

【０００３】上記のような構成のアクチュエータにおい
ては、ＡＣサーボモータ１０１の出力軸１０３とボール
ネジ１０７とをカップリング１０５を介して連結する構
成であるので、まず、部品点数が多くて組立作業が困難
であるとともに、装置が大型化してしまうという問題が
あった。又、カップリング１０５による連結であるため
に、一体化した状態で剛性が低下してしまうという問題
もあり、さらに、ＡＣサーボモータ１０１の出力軸１０
３とボールネジ１０７との軸芯がずれることも予想さ
れ、それによって、精度の高い制御が損なわれるおそれ
があった。

【０００４】このような問題点に鑑みて、ＡＣサーボモ
ータの出力軸とボールネジとを予め一体化させて、ボー
ルネジ一体型ＡＣサーボモータとすることが考えられて
いる。そのようなものとして、例えば、実開平１−８６
４５７号公報、特開平１−２５２３３９号公報、特開平
６−８６５０１号公報に示すようなものがある。これら
は、何れも、ＡＣサーボモータの出力軸とボールネジと
を予め一体化させたものであり、それによって、既に説
明したようなカップリングを介しての連結構造を採用し
た場合の不具合を解消して、部品点数を減少させて組立
作業を容易にし、且つ、装置の小形化を図るとともに、
制御精度の向上を図らんとするものである。

【０００５】そのようなものの一例を図７に示す。尚、
図６に示したものと同一部分には同一符号を付して示し
その説明は省略する。この場合には、ＡＣサーボモータ
１０１の出力軸１０３と、ボールネジ１０７とが予め一
体に構成されているので、図６に示した構成のもののよ
うに、カップリング１０５を必要とせず、よって、カッ
プリング１０５を使用した場合の不具合を解消すること
ができるものである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の構成による
と次のような問題があった。すなわち、ボールネジ一体
型ＡＣサーボモータの場合には、ＡＣサーボモータ１０
１より出力軸１０３及びボールネジ１０７が比較的長い
スパンで延長されている。この様な構成においては、軸
に種々の変形が生じている。例えば、ネジ軸自身の製造
上或いは組立上の誤差による変形、自重による垂れ下が
り変形等である。この種の変形は、高速回転を行う軸で
は遠心力のため大きな「ぶれ」をもたらす。特に、軸の
回転数が軸の共振周波数に近い領域では、「ぶれ」は極
めて大きくなる。この様な荷重、誤差、共振による変位
はステータ１０１ａとロータ１０１ｂとの間隔を変化さ
せ、ＡＣサーボモータ１０１のトルク発生に対する健全
性を損なう。又、ＡＣサーボモータ１０１にはその回転
量を検出するための検出手段１２５が取付けられてお
り、これは、例えば、スリットを有する円板が回転し
て、上記スリットを光学式検出手段等により検出するこ
とにより、ＡＣサーボモータ１０１の回転量を検出する
ものである。ところが、上記したような「ぶれ」が発生
すると、上記スリットと光学式検出手段等との位置関係
が損なわれてしまい、正常な検知ができなくなってしま
うという問題があった。検出部近傍に別の軸支を付加し
て「ぶれ」を抑えることは可能であるが、この場合、モ
ータの発生トルクを均一化するためにロータ１０１ｂと
ステータ１０１ａとの同軸度を整合させるよう構造的な
配慮が必要となる。又、この付加した軸支には、「ぶ
れ」を抑えるために反力が生ずるが、この反力がステー
タ１０１ａの積層鋼板に剪断力として作用することを防
ぐ必要がある。又、ボールネジ１０７とＡＣサーボモー
タ１０１の出力軸１０３とを一体化した機構では作動に
よる発熱によって機構が膨張する。この膨張による変位
が検出手段１２５の位置関係を損ない、正常な検知がで
きなくならぬよう考慮が必要である。既に述べた実開平
１−８６４５７号公報、特開平１−２５２３３９号公
報、特開平６−８６５０１号公報においては、図７に示
した構成のようなボールネジ一体型ＡＣサーボモータに
関する記載はあるものの、上記したような問題点に関す
る言及はなく、つまり、上記したような問題点の解決に
は至っておらず、そのため、ボールネジ一体型ＡＣサー
ボモータの実施に至っていないのが現状である。

【０００７】本発明はこのような点に基づいてなされた
ものでその目的とするところは、ボールネジ一体型サー
ボモータを前提として、上記したような「ぶれ」の発
生、それに起因した各種問題点を解消することが可能な
アクチュエータを提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するべく
本願発明によるアクチュエータは、ステータ及びロータ
よりなるＡＣサーボモータによりＡＣサーボモータの出
力軸と予め一体物として延長されたボールネジを回転さ
せ、該ボールネジにその回転を規制された状態で螺合さ
れたボールナットを介してスライダを移動させるように
したアクチュエータにおいて、上記ＡＣサーボモータの
両側において出力軸を軸受手段によって夫々軸支するよ
うにし、上記夫々の軸受手段に加わる荷重がＡＣサーボ
モータの固定子を介することなく外周に配置されたハウ
ジングに直接伝達されるように構成し、何れか一方の軸
受手段を軸方向に固定とし他方を軸方向に自由としたこ
とを特徴とするものである。その際、出力軸はＡＣサー
ボモータを貫通してボールネジの反対側に所定量だけ突
出・配置されていて、そこにはＡＣサーボモータの回転
量を検出する検出手段が設けられており、この検出手段
とＡＣサーボモータの間に一方の軸受手段が設けられて
いるようにすることが考えられる。又、出力軸はＡＣサ
ーボモータを貫通してボールネジの反対側に所定量だけ
突出・配置されていて、そこにはＡＣサーボモータの回
転量を検出する検出手段が設けられており、この検出手
段の反ＡＣサーボモータ側に一方の軸受手段が設けられ
ているようにすることが考えられる。又、ＡＣサーボモ
ータのボールネジ側に配置された軸受手段を軸方向に固
定とし、検出手段側に配置された軸受手段を軸方向に自
由とすることが考えられる。又、ＡＣサーボモータの検
出手段側に配置された軸受手段を軸方向に固定とし、ボ
ールネジ側に配置された軸受手段を軸方向に自由とする
ことが考えられる。又、軸方向に自由とされた軸受手段
は圧接・配置された弾性部材の弾性変形の範囲内で軸方
向に移動可能になっているようにすることが考えられ
る。又、ＡＣサーボモータのステータをハウジングに対
してネジにより取付・固定することが考えられる。又、
ステータをハウジングに設けられた取付座にネジにより
取付・固定して、ステータの外周とハウジングとの間に
隙間を設けることが考えられる。

【０００９】

【作用】すなわち、ボールネジ一体型ＡＣサーボモータ
を使用するアクチュエータにおいて、ＡＣサーボモータ
を挟んで両側で軸受手段により軸支するようにし、同時
に、荷重がＡＣサーボモータのステータに直接作用しな
いように、ＡＣサーボモータの外周に配置されたハウジ
ングに伝達されるように取付けるものである。それによ
って、ＡＣサーボモータの固定子と回転子、及び検出部
の「ぶれ」を防ぎ、ＡＣサーボモータの健全性と検出機
構の健全性を確保できる。又、この構成は、ＡＣサーボ
モータの両側の軸支がステータと独立しており、ステー
タとの嵌合による累積誤差発生による同軸度の劣化がな
い。又、この構造によりステータへの剪断力の作用を防
止して、その健全性の維持を図るものである。又、一方
の軸受手段を軸方向に固定し、長いために熱膨張し易い
ボールネジの変位が検出側に波及せぬよう配慮するとと
もに、他方を自由とすることにより、各種変位の吸収、
組立誤差の吸収ができるようにしたものである。又、出
力軸はＡＣサーボモータを貫通してボールネジの反対側
に所定量だけ突出・配置されていて、そこにはＡＣサー
ボモータの回転量を検出する検出手段が設けられてお
り、この検出手段とＡＣサーボモータの間に一方の軸受
手段が設けられているようにすることが考えられ、この
場合には、検出手段の直ぐ手前で支持することになるの
で、検出手段に対するぶれの影響を大幅に軽減させるこ
とができる。又、出力軸はＡＣサーボモータを貫通して
ボールネジの反対側に所定量だけ突出・配置されてい
て、そこにはＡＣサーボモータの回転量を検出する検出
手段が設けられており、この検出手段の反ＡＣサーボモ
ータ側に一方の軸受手段が設けられているようにするこ
とが考えられ、この場合には、さらに、支持が強固なも
のとなり、検出手段に対するぶれの影響をさらに軽減さ
せることができる。又、ＡＣサーボモータのステータを
ハウジングに対してネジにより取付・固定することが考
えられ、それによって、ステータの取付構造をより強固
なものとして、荷重による影響を大幅に軽減させること
ができる。又、ステータをハウジングに設けられた取付
座にネジにより取付・固定して、ステータの外周とハウ
ジングとの間に隙間を設けることが考えられ、この場合
には、仮に、ハウジングに荷重が伝達されるようなこと
があっても、隙間の存在により、ステータへの影響が大
幅に軽減されることになる。

【００１０】

【実施例】以下、図１及び図２を参照して本発明の第１
実施例を説明する。図は本実施例によるアクチュエータ
の一部（ＡＣサーボモータ側の構成）を示すものであ
る。まず、ＡＣサーボモータ側のハウジング１があり、
このハウジング１の図中右端にはキャップ３が取付けら
れている。又、上記ハウジング１の図中左側にはアクチ
ュエータの移動機構の部分を収容する別のハウジング５
が取付けられている。上記ハウジング１内には、ＡＣサ
ーボモータ７が収容・配置されている。このＡＣサーボ
モータ７は、ハウジング１側に取付けられたステータ
（固定子）９と、このステータ９の内周側に回転可能に
配置されたロータ（回転子）１１とから構成されてい
る。上記ステータ９は、積層鋼板からなるステータ本体
９ａと、コイル９ｂ等から構成されており、ステータ９
は、ボルト１０によってハウジング１にネジ軸に平行な
方向に固定されている。又、ロータ１１は、ロータ本体
１１ａと、その外周に吸着・固定されたマグネット１１
ｂとから構成されている。

【００１１】上記ロータ１１の内周側にはＡＣサーボモ
ータ７の出力軸１３が配置されていて、この出力軸１３
はキー・キー溝構造によって上記ロータ１１に固定され
ている。上記出力軸１３は、ボールネジ一体型の出力軸
であり、図示するように、図中左側の所定範囲には、ボ
ールネジ１５が設けられている。上記ボールネジ１５に
は、ボールナット１７が螺合していて、このボールナッ
ト１７にはスライダ１９が固定されている。よって、Ａ
Ｃサーボモータ７を適宜の方向に回転駆動することによ
り、上記ボールネジ１５が同方向に回転し、それによっ
て、回転を規制されているボールナット１７及びそこに
固定されているスライダ１９が適宜の方向（図中左右何
れかの方向）に移動することになる。

【００１２】次に、上記ボールネジ一体型の出力軸１３
の支持構造について説明する。まず、ハウジング１の図
中左端にはフランジ部１ａが設けられていて、このフラ
ンジ部１ａの内周側にはベアリング保持部材２１が配置
されている。このベアリング保持部材２１は、フランジ
部２１ａと、円筒部２１ｂとからなり、円筒部２１ｂの
内周面であって図中右端には、係止部２１ｃが突設され
ている。又、ベアリング保持部材２１は、上記フランジ
部２１ａを介して、複数個（この実施例では４個）の固
定ボルト２３によって、ハウジング１のフランジ部１ａ
に固定されるようになっている。

【００１３】上記ベアリング保持部材２１の円筒部２１
ｂの内周側には、一方の軸受手段を構成するベアリング
２５、２７が配置されていて、出力軸１３を軸支するよ
うになっている。又、ベアリング押さえ部材２９が設け
られていて、このベアリング押さえ部材２９を、上記ベ
アリング保持部材２１の図中左側に複数個（この実施例
では４個）の固定ボルト３１によって固定することによ
り、上記ベアリング２５、２７を、係止部２１ｃとの間
で固定するようになっている。つまり、上記２個のベア
リング２５、２７の外輪は、軸方向にその移動を規制さ
れた状態で取付けることになる。又、ベアリング２５、
２７の内輪は、出力軸１３に設けられたボールネジ１５
の肩部にスリーブ２４、ロータ１１、座金５３を介して
出力軸１３に螺合させたナット５１により固定され、出
力軸１３は軸方向にその移動を規制された状態となる。

【００１４】一方、ＡＣサーボモータ１１の図中右側に
おいては、ハウジング１とは別部材のフランジ部材３３
が配置されている。このハウジング３３には円筒部３３
ａがあり、この円筒部３３ａの図中右端には係止部３３
ｂが突設されている。上記円筒部３３ａには他方の軸受
手段としてのベアリング３５が配置されていて、出力軸
１３を軸支するようになっている。上記ベアリング３５
と係止部３３ｂの間には弾性部材としての板ばね３７が
介挿されていて、上記ベアリング３５を図中左側に常時
付勢するようになっている。つまり、ベアリング３５
は、出力軸１３の段付部１３ａと上記板ばね３７とによ
って、板ばね３７の弾性変形の範囲内で軸方向に移動可
能な状態で挟持されているものである。

【００１５】出力軸１３の先端は上記ベアリング３５の
図中右側に延長されていて、そこには検出手段３９が設
けられている。すなわち、出力軸１３の先端には円板取
付ハブ４１が螺合されており、この円板取付ハブ４１に
はスリットを備えた円板４３が取付けられている。又、
上記円板４３の外周位置には、センサ４５、４７が夫々
配置されている。これらセンサ４５、４７によって上記
円板４３のスリットを、光学的に検知することにより、
出力軸１３、すなわち、ＡＣサーボモータ７の回転量を
検出するものである。

【００１６】又、出力軸１３のボールネジ１５側の端部
は図示しないベアリングによって軸支されている。つま
り、本実施例において、ボールネジ一体型の出力軸１３
が３箇所で軸支されていることになる。

【００１７】以上の構成を基にその作用及び効果を説明
する。尚、アクチュエータとしての基本的な動作は既に
説明した通りであるので、ここでは、ボールネジ一体型
の出力軸１３の支持構造からくる作用について説明す
る。まず、出力軸１３は、その長手方向において、３箇
所で軸支されている。すなわち図中左端に配置されてい
る図示しないベアリングによる支持、ハウジング１内の
図中左端におけるベアリング２５、２７による支持、Ａ
Ｃサーボモータ７の図中右側におけるベアリング３５に
よる支持である。これら３箇所による支持によって、出
力軸１３の支持剛性を高め軸心の「ぶれ」を抑制するこ
とができる。特に、ＡＣサーボモータ７の図中右側にお
いて、ベアリング３５により支持するようにしているの
で、検出手段３９側における出力軸１３の軸心の「ぶ
れ」を効果的に抑制することができる。それによって、
検出手段３９の円板４３とセンサ４５、４７の相対的位
置関係もずれるようなことはなく、常に、精度の高い検
出を行うことができる。

【００１８】次に、ＡＣサーボモータ７、特に、その構
成部品であるステータ９に作用する負荷について説明す
る。例えば、ＡＣサーボモータ７のステータ９を介し同
じように軸支する構造では、出力軸１３の支持により、
出力軸１３に剪断力が作用することになる。そして、該
剪断力がＡＣサーボモータ７のステータ９に直接作用し
てしまう。この点、本実施例においては、仮に、出力軸
１３に何らかの負荷が作用した場合には、その荷重は、
ベアリング２５、２７を介してハウジング１に伝達され
るとともに、ベアリング３５を介してフランジ部材３
３、ハウジング１に伝達される。これをさらに詳細に説
明する。まず、ベアリング２５、２７の位置におてい
は、荷重はそこから、ベアリング保持部材２１を介して
ハウジング１に伝達され、直接ステータ９に作用するよ
うなことはない。又、ベアリング３５の位置において
は、フランジ部材３３を介して、ハウジング１に伝達さ
れ、ここにおいても、荷重が直接ステータ９に作用する
ようなことはない。つまり、出力軸１３に何らかの荷重
が作用しても、それが直接ステータ９に作用することは
なく、よって、ステータ９の位置がずれてロータ１１と
の相対的位置が変化し、ＡＣサーボモータ７としての健
全な動作が損なわれるようなことはない。特に、ベアリ
ング３５、フランジ部材３３を介しての伝達経路におい
ては、図１に示すように、ステータ９とハウジング１と
の間に隙間が設けられている構成であり、よって、仮
に、荷重が作用しても、上記したように、それがステー
タ９に直接作用しないことはもとより、ハウジング１に
荷重が伝達されても、それがステータ９に作用する確率
は極めて低い構成になっている。

【００１９】次に、ベアリング３５の軸芯方向への自由
度に伴う作用を説明する。前述したように、ベアリング
３５は、板ばね３７の弾性変形の範囲内において軸芯方
向に移動可能に取付けられている。よって、何らかの理
由により出力軸１３が軸芯方向に移動するようなことが
あっても、これを効果的に吸収することができる。又、
各構成部品の寸法誤差等があっても、それに起因して各
構成部品の軸芯方向への取付位置がずれた場合にも、そ
れを吸収することができる。又、出力軸１３を上記した
ような構成の三点支持としたことにより、出力軸１３の
支持がより強固なものとなり、それによって、回転数を
高くすることが可能になる。これは、アクチュェータと
しての高速化を意味するものであ。

【００２０】次に、図３を参照して本発明の第２実施例
を説明する。この実施例の場合には、前記第１実施例と
基本的に同じ構成であるが、一部構成が異なるので、そ
の部分だけ説明する。まず、ベアリング２５、２７を保
持するベアリング保持部材がハウジング１と一体になっ
ている。又、板ばねの代わりに、シムリング６１とウェ
ーブワッシャ６３を使用している。又、ベアリング２
５、２７は、ロータを介さずに出力軸１３に螺合された
ナット５１により、又、ロータと出力軸１３とは、キー
によらず、接着或いは、ナールド加工等の手段により、
スリーブと共に固定されている。その他の構成は前記第
１実施例と略同じであり、よって、前記第１実施例と同
様の作用・効果を奏することができる。

【００２１】次に、図４を参照して本発明の第３実施例
を説明する。この実施例の場合には、ベアリング３５を
検出手段３９の図中右側に配置したものであり、それに
よって、出力軸１３の「ぶれ」が検出手段３９に与える
影響をさらに低減したものである。したがって、前記第
１実施例及び第２実施例と同様の効果を奏することは勿
論のこと、上記したように、出力軸１３の「ぶれ」が検
出手段３９に与える影響をさらに低減させることができ
る。尚、図４においては、出力軸１３のボールネジ１５
側の端部を軸支するベアリング６５が示されている。

【００２２】次に、図５を参照して本発明の第４実施例
を説明する。この実施例の場合には、まず、ＡＣサーボ
モータ７の図中左側のベアリングを１個（ベアリング２
５）とし、ＡＣサーボモータ７の図中右側のベアリング
を２個（ベアリング２７、ベアリング３５）としたもの
である。その他の構成は前記第１及び第２実施例の場合
と同じである。したがって、前記第１実施例及び第２実
施例の場合と同様の効果を奏することができる。

【００２３】尚、本発明は前記第１乃至第４実施例に限
定されるものではない。まず、アクチュェータの基本的
構成については、図示したものに限定されることはな
い。又、各軸受手段において、何個のベアリングを使用
するか等については任意に設定すればよい。

【００２４】

【発明の効果】以上詳述したように本発明によるアクチ
ュエータによると、ボールネジ一体型のＡＣサーボモー
タを使用したアクチュェータにおいて、ボールネジを一
体に備える出力軸の「ぶれ」を効果的に低減させること
ができ、又、仮に「ぶれ」が発生しても、それによっ
て、検出手段の検出性能が損なわれるようなことを防止
することができる。又、荷重は全てハウジングに作用す
るように構成しているので、ＡＣサーボモータのステー
タに荷重が直接作用するようなことはなく、ＡＣサーボ
モータの健全性の維持を図ることができる、等、アクチ
ュエータとしての信頼性を大幅に向上させることができ
るとともに、装置の小形化に対して容易に対応すること
ができるようになった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例を示す図でアクチュエータ
の一部の構成を示す断面図である。

【図２】本発明の第１実施例を示す図で図１のII-II 断
面図である。

【図３】本発明の第２実施例を示す図でアクチュエータ
の一部の構成を示す断面図である。

【図４】本発明の第３実施例を示す図でアクチュエータ
の一部の構成を示す断面図である。

【図５】本発明の第４実施例を示す図でアクチュエータ
の一部の構成を示す断面図である。

【図６】従来例を示す図でアクチュエータの構成を示す
断面図である。

【図７】従来例を示す図でアクチュエータの構成を示す
断面図である。

【符号の説明】

１ ハウジング ３ キャップ ５ ハウジング ７ ＡＣサーボモータ ９ ステータ（固定子） １１ ロータ（回転子） １３ 出力軸 １５ ボールネジ １７ ボールナット １９ スライダ ２１ ハウジング１のフランジ部 ２３ 固定ボルト ２５ ベアリング ２７ ベアリング ３１ 固定ボルト ３３ フランジ部材 ３５ ベアリング ３９ 検出手段

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ステータ及びロータよりなるＡＣサーボ
   モータによりＡＣサーボモータの出力軸と予め一体物と
   して延長されたボールネジを回転させ、該ボールネジに
   その回転を規制された状態で螺合されたボールナットを
   介してスライダを移動させるようにしたアクチュエータ
   において、上記ＡＣサーボモータの両側において出力軸
   を軸受手段によって夫々軸支するようにし、上記夫々の
   軸受手段に加わる荷重がＡＣサーボモータの固定子を介
   することなくＡＣサーボモータの外周に配置されたハウ
   ジングに伝達されるように構成し、何れか一方の軸受手
   段を軸方向に固定とし他方を軸方向に自由としたことを
   特徴とするアクチュエータ。
2. 【請求項２】 請求項１記載のアクチュエータにおい
   て、出力軸はＡＣサーボモータを貫通してボールネジの
   反対側に所定量だけ突出・配置されていて、そこにはＡ
   Ｃサーボモータの回転量を検出する検出手段が設けられ
   ており、この検出手段とＡＣサーボモータの間に一方の
   軸受手段が設けられていることを特徴とするアクチュエ
   ータ。
3. 【請求項３】 請求項１記載のアクチュエータにおい
   て、出力軸はＡＣサーボモータを貫通してボールネジの
   反対側に所定量だけ突出・配置されていて、そこにはＡ
   Ｃサーボモータの回転量を検出する検出手段が設けられ
   ており、この検出手段の反ＡＣサーボモータ側に一方の
   軸受手段が設けられていることを特徴とするアクチュエ
   ータ。
4. 【請求項４】 請求項２又は請求項３記載のアクチュエ
   ータにおいて、ＡＣサーボモータのボールネジ側に配置
   された軸受手段を軸方向に固定とし、検出手段側に配置
   された軸受手段を軸方向に自由としたことを特徴とする
   アクチュエータ。
5. 【請求項５】 請求項２又は請求項３記載のアクチュエ
   ータにおいて、ＡＣサーボモータの検出手段側に配置さ
   れた軸受手段を軸方向に固定とし、ボールネジ側に配置
   された軸受手段を軸方向に自由としたことを特徴とする
   アクチュエータ。
6. 【請求項６】 請求項１又は請求項２又は請求項３又は
   請求項４又は請求項５記載のアクチュエータにおいて、
   軸方向に自由とされた軸受手段は圧接・配置された弾性
   部材の弾性変形の範囲内で軸方向に移動可能になってい
   ることを特徴とするアクチュエータ。
7. 【請求項７】 請求項１又は請求項２又は請求項３又は
   請求項４又は請求項５又は請求項６記載のアクチュエー
   タにおいて、ＡＣサーボモータのステータはハウジング
   に対してネジにより取付・固定されていることを特徴と
   するアクチュェータ。
8. 【請求項８】 請求項７記載のアクチュエータにおい
   て、ステータはハウジングに設けられた取付座にネジに
   より取付・固定されていて、ステータの外周とハウジン
   グとの間には隙間が形成されていることを特徴とするア
   クチュエータ。