JPH0889921A - 長尺素材乾燥装置 - Google Patents
長尺素材乾燥装置Info
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- JPH0889921A JPH0889921A JP6228426A JP22842694A JPH0889921A JP H0889921 A JPH0889921 A JP H0889921A JP 6228426 A JP6228426 A JP 6228426A JP 22842694 A JP22842694 A JP 22842694A JP H0889921 A JPH0889921 A JP H0889921A
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- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/20—Cleaning of moving articles, e.g. of moving webs or of objects on a conveyor
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- B08B11/00—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto
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- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
- H01J9/14—Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
- H05K3/06—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
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- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 長尺素材乾燥時に、長尺素材の主面での金属
塩の結晶の発生を抑え得るようにする。 【構成】 乾燥装置３０は、長手方向に搬送される、面
出し液が付着している長尺素材１０の両主面を乾燥させ
る装置であって、希釈装置３１と除去装置３２とを備え
ている。希釈装置３１は、長尺素材１０に接触して対向
配置された１対のスポンジローラ３３を有し、長尺素材
１０の両主面に向けて幅方向にわたり水を供給して面出
し液を希釈する。除去装置３２は、希釈装置３１より搬
送方向下流側に配置された上下１対のエアーナイフ５０
を有し、長尺素材１０の両主面の残留液を吹き飛ばして
除去することで長尺素材１０を乾燥させる。
塩の結晶の発生を抑え得るようにする。 【構成】 乾燥装置３０は、長手方向に搬送される、面
出し液が付着している長尺素材１０の両主面を乾燥させ
る装置であって、希釈装置３１と除去装置３２とを備え
ている。希釈装置３１は、長尺素材１０に接触して対向
配置された１対のスポンジローラ３３を有し、長尺素材
１０の両主面に向けて幅方向にわたり水を供給して面出
し液を希釈する。除去装置３２は、希釈装置３１より搬
送方向下流側に配置された上下１対のエアーナイフ５０
を有し、長尺素材１０の両主面の残留液を吹き飛ばして
除去することで長尺素材１０を乾燥させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、乾燥装置、特に長尺素
材をその長手方向に搬送させつつ長尺素材の主面に付着
した液体を除去して、長尺素材を乾燥させる長尺素材乾
燥装置に関する。
材をその長手方向に搬送させつつ長尺素材の主面に付着
した液体を除去して、長尺素材を乾燥させる長尺素材乾
燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】カラーＣＲＴ用のアパーチャグリルまた
はシャドウマスクに形成される多数の電子ビーム透過用
の透孔は、長尺帯状の素材（以下長尺素材という）をそ
の長手方向に搬送しつつ、以下の工程を経ることによっ
て形成される。ニッケルを３６％含有するインバー材や
低炭素アルミキルド鋼等の金属薄板の長尺素材を、まず
脱脂し、水洗して整面する。次に長尺素材の両主面に水
溶性のレジストを塗布し、厚みが数μｍレジスト膜を形
成する。次に、長尺素材の両主面に形成されたレジスト
膜の表面に、形成しようとする電子ビーム通過用の透孔
に対応した所定の画像を有するマスク材を、長尺素材の
両主面で画像位置に一致させてそれぞれ密着させ露光を
行う。続いて、露光後のレジスト膜に温水等を供給する
ことにより現像を行う。その後、長尺素材を無水クロム
酸の溶液中に浸漬させ、さらに加熱処理によりレジスト
膜を乾燥させて強化させるバーニング処理を行う。バー
ニング処理された長尺素材は、いったん、ロール状に巻
き取られ、エッチングラインに搬送される。エッチング
ラインでは、エッチング液である塩化第２鉄水溶液を吹
き付けるエッチング工程を行って多数の透孔を形成す
る。エッチング工程を終了すると、長尺素材の両主面か
らレジスト膜等を剥離する剥膜工程を行う。
はシャドウマスクに形成される多数の電子ビーム透過用
の透孔は、長尺帯状の素材（以下長尺素材という）をそ
の長手方向に搬送しつつ、以下の工程を経ることによっ
て形成される。ニッケルを３６％含有するインバー材や
低炭素アルミキルド鋼等の金属薄板の長尺素材を、まず
脱脂し、水洗して整面する。次に長尺素材の両主面に水
溶性のレジストを塗布し、厚みが数μｍレジスト膜を形
成する。次に、長尺素材の両主面に形成されたレジスト
膜の表面に、形成しようとする電子ビーム通過用の透孔
に対応した所定の画像を有するマスク材を、長尺素材の
両主面で画像位置に一致させてそれぞれ密着させ露光を
行う。続いて、露光後のレジスト膜に温水等を供給する
ことにより現像を行う。その後、長尺素材を無水クロム
酸の溶液中に浸漬させ、さらに加熱処理によりレジスト
膜を乾燥させて強化させるバーニング処理を行う。バー
ニング処理された長尺素材は、いったん、ロール状に巻
き取られ、エッチングラインに搬送される。エッチング
ラインでは、エッチング液である塩化第２鉄水溶液を吹
き付けるエッチング工程を行って多数の透孔を形成す
る。エッチング工程を終了すると、長尺素材の両主面か
らレジスト膜等を剥離する剥膜工程を行う。
【０００３】本来ならレジスト膜が現像により除去され
長尺素材の主面が露出しているべき面である、現像後の
長尺素材のエッチングされるべき被エッチング面には、
ごく薄いレジスト膜や長尺素材金属の酸化膜が被着して
いる。この酸化膜は、バーニング処理における加熱処理
の際に、長尺素材金属の組成分と空気中の酸素とが結び
つくことにより生じる。このような薄い膜が残ったまま
エッチングを行うと、エッチング処理が不均一になる。
長尺素材の主面が露出しているべき面である、現像後の
長尺素材のエッチングされるべき被エッチング面には、
ごく薄いレジスト膜や長尺素材金属の酸化膜が被着して
いる。この酸化膜は、バーニング処理における加熱処理
の際に、長尺素材金属の組成分と空気中の酸素とが結び
つくことにより生じる。このような薄い膜が残ったまま
エッチングを行うと、エッチング処理が不均一になる。
【０００４】そこで、長尺素材を均一にエッチングする
ために、エッチングに先立ち、エッチングされるべき長
尺素材の被エッチング面に被着したレジスト膜または酸
化膜を除去する面出し処理が行われる。この面出し処理
は、エッチング装置の直前に配置された面出し装置で行
われる。面出し装置は、面出し液（蓚酸、過酸化水素水
及び硫酸を含む水溶液）を貯留する面出し槽と、面出し
槽に長尺素材を浸漬させる搬送ローラとから構成され
る。この面出し装置には、面出し液をエッチング工程に
持ち込まないために、面出し液が付着した長尺素材の両
主面を乾燥させる乾燥装置が設けられている。この種の
乾燥装置として、吸水性を有するスポンジローラの円周
面を長尺素材の両主面に接触させて面出し液を吸収する
ものや、長尺素材の両主面にエアーナイフによってエア
ーを吹きつけて乾燥させるものが知られている。
ために、エッチングに先立ち、エッチングされるべき長
尺素材の被エッチング面に被着したレジスト膜または酸
化膜を除去する面出し処理が行われる。この面出し処理
は、エッチング装置の直前に配置された面出し装置で行
われる。面出し装置は、面出し液（蓚酸、過酸化水素水
及び硫酸を含む水溶液）を貯留する面出し槽と、面出し
槽に長尺素材を浸漬させる搬送ローラとから構成され
る。この面出し装置には、面出し液をエッチング工程に
持ち込まないために、面出し液が付着した長尺素材の両
主面を乾燥させる乾燥装置が設けられている。この種の
乾燥装置として、吸水性を有するスポンジローラの円周
面を長尺素材の両主面に接触させて面出し液を吸収する
ものや、長尺素材の両主面にエアーナイフによってエア
ーを吹きつけて乾燥させるものが知られている。
【０００５】一方、エッチング装置の後には、エッチン
グされた長尺素材に付着したエッチング液を除去するた
めの洗浄装置が設けられている。この洗浄装置は、水を
長尺素材の両主面に吹きつける複数のノズルにより構成
されている。この洗浄装置にも、洗浄後の水とエッチン
グ液とが付着した長尺素材を乾燥させる、上述と同様の
乾燥装置が設けられている。
グされた長尺素材に付着したエッチング液を除去するた
めの洗浄装置が設けられている。この洗浄装置は、水を
長尺素材の両主面に吹きつける複数のノズルにより構成
されている。この洗浄装置にも、洗浄後の水とエッチン
グ液とが付着した長尺素材を乾燥させる、上述と同様の
乾燥装置が設けられている。
【０００６】また、特開平５−９７５５号公報には、コ
ンピューター用のディスプレイ等の高解像度ＣＲＴに用
いられるシャドウマスクを製造する際のエッチング工程
を２回に分けて行うエッチング方法が開示されている。
このエッチング方法は、まず、長尺素材の一方または両
方の主面にエッチング液を吹き付けて長尺素材を貫通し
ない程度の電子ビーム通過孔に対応する凹部を多数形成
する第１のエッチング工程と、その後、長尺素材の一方
の主面に高圧で水を吹き付けて凹部の周縁より中心方向
に張り出したレジスト膜の疵を除去する疵除去工程とを
有する。この疵除去工程において、長尺素材の他方の主
面には、主面に付着したエッチング液を除去するために
低圧で水が吹き付けられる。次に上述と同様の乾燥装置
により素材の両主面を乾燥させた後、疵が除去された長
尺素材の主面に紫外線硬化樹脂等の耐エッチング性被膜
を塗布する裏止め剤塗布工程が行われる。そして、耐エ
ッチング性被膜が形成されていない主面にエッチング液
を吹き付ける第２のエッチング工程を行って、両主面の
凹部を貫通させて透孔を形成するという方法である。
ンピューター用のディスプレイ等の高解像度ＣＲＴに用
いられるシャドウマスクを製造する際のエッチング工程
を２回に分けて行うエッチング方法が開示されている。
このエッチング方法は、まず、長尺素材の一方または両
方の主面にエッチング液を吹き付けて長尺素材を貫通し
ない程度の電子ビーム通過孔に対応する凹部を多数形成
する第１のエッチング工程と、その後、長尺素材の一方
の主面に高圧で水を吹き付けて凹部の周縁より中心方向
に張り出したレジスト膜の疵を除去する疵除去工程とを
有する。この疵除去工程において、長尺素材の他方の主
面には、主面に付着したエッチング液を除去するために
低圧で水が吹き付けられる。次に上述と同様の乾燥装置
により素材の両主面を乾燥させた後、疵が除去された長
尺素材の主面に紫外線硬化樹脂等の耐エッチング性被膜
を塗布する裏止め剤塗布工程が行われる。そして、耐エ
ッチング性被膜が形成されていない主面にエッチング液
を吹き付ける第２のエッチング工程を行って、両主面の
凹部を貫通させて透孔を形成するという方法である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の乾燥装置で
は、長尺素材の金属イオンと面出し液やエッチング液の
陰イオンとが結合して、金属塩が生成される。例えば、
面出し液から引き出された長尺素材の主面では、長尺素
材がインバー材のような鉄−ニッケル合金の場合、長尺
素材中のニッケル（Ｎｉ）や鉄（Ｆｅ）が面出し液によ
りそれぞれイオン化したＮｉ2+やＦｅ2+と、長尺素材に
付着した面出し液中の陰イオン（例えば蓚酸イオン（Ｃ
2 Ｏ4 2-）、硫酸イオン（ＳＯ4 2-））とが結合して金
属塩が生成される。この金属塩を上述の乾燥装置により
急激に乾燥すると金属塩の結晶（例えば蓚酸ニッケル、
蓚酸鉄、硫酸第１鉄）が析出する。この金属塩の結晶が
付着した長尺素材にエッチング液を吹きつけて被エッチ
ング面をエッチングすると、被エッチング面上でエッチ
ング液が直接接触する部分とエッチング液が結晶に遮ら
れ直接接触しない部分とが生じるので、被エッチング面
を均一にエッチングできない。
は、長尺素材の金属イオンと面出し液やエッチング液の
陰イオンとが結合して、金属塩が生成される。例えば、
面出し液から引き出された長尺素材の主面では、長尺素
材がインバー材のような鉄−ニッケル合金の場合、長尺
素材中のニッケル（Ｎｉ）や鉄（Ｆｅ）が面出し液によ
りそれぞれイオン化したＮｉ2+やＦｅ2+と、長尺素材に
付着した面出し液中の陰イオン（例えば蓚酸イオン（Ｃ
2 Ｏ4 2-）、硫酸イオン（ＳＯ4 2-））とが結合して金
属塩が生成される。この金属塩を上述の乾燥装置により
急激に乾燥すると金属塩の結晶（例えば蓚酸ニッケル、
蓚酸鉄、硫酸第１鉄）が析出する。この金属塩の結晶が
付着した長尺素材にエッチング液を吹きつけて被エッチ
ング面をエッチングすると、被エッチング面上でエッチ
ング液が直接接触する部分とエッチング液が結晶に遮ら
れ直接接触しない部分とが生じるので、被エッチング面
を均一にエッチングできない。
【０００８】また、上述のエッチング装置の後に設けら
れた洗浄装置により洗浄を終えた長尺素材の主面を、あ
るいは、エッチング工程を２つに分けて行う上述のエッ
チング方法における疵除去工程後の長尺素材の主面を上
述の乾燥装置により急激に乾燥させると、例えば長尺素
材の主組成分が鉄の場合、長尺素材中の鉄と主面に付着
したエッチング液（例えば塩化第２鉄水溶液）とにより
結晶（例えば水酸化鉄）が主面に生じる。生じた結晶が
レジスト膜の表面に付着していると、剥膜工程において
長尺素材をアルカリ溶液に浸漬して主面に被着したレジ
スト膜を剥離する際に、結晶が付着しているレジスト膜
の表面がアルカリ溶液に侵されないので、この部分のレ
ジスト膜を十分に剥離することができない。
れた洗浄装置により洗浄を終えた長尺素材の主面を、あ
るいは、エッチング工程を２つに分けて行う上述のエッ
チング方法における疵除去工程後の長尺素材の主面を上
述の乾燥装置により急激に乾燥させると、例えば長尺素
材の主組成分が鉄の場合、長尺素材中の鉄と主面に付着
したエッチング液（例えば塩化第２鉄水溶液）とにより
結晶（例えば水酸化鉄）が主面に生じる。生じた結晶が
レジスト膜の表面に付着していると、剥膜工程において
長尺素材をアルカリ溶液に浸漬して主面に被着したレジ
スト膜を剥離する際に、結晶が付着しているレジスト膜
の表面がアルカリ溶液に侵されないので、この部分のレ
ジスト膜を十分に剥離することができない。
【０００９】さらに、長尺素材をその長手方向に搬送す
る際に、長尺素材を搬送するために設けられた円筒状の
搬送ローラの円周表面へ上述の金属塩の結晶が付着す
る。その結晶が長尺素材と搬送ローラとの間に挟まる
と、長尺素材はその搬送方向に一定の張力が加えられて
搬送されているので、長尺素材に局部的なへこみが生
じ、製品不良となってしまうという問題が発生する。
る際に、長尺素材を搬送するために設けられた円筒状の
搬送ローラの円周表面へ上述の金属塩の結晶が付着す
る。その結晶が長尺素材と搬送ローラとの間に挟まる
と、長尺素材はその搬送方向に一定の張力が加えられて
搬送されているので、長尺素材に局部的なへこみが生
じ、製品不良となってしまうという問題が発生する。
【００１０】本発明の目的は、長尺素材乾燥時に、長尺
素材の主面での金属塩の結晶の発生を抑え得る長尺素材
乾燥装置を提供することにある。
素材の主面での金属塩の結晶の発生を抑え得る長尺素材
乾燥装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の長尺素
材乾燥装置は、長尺素材をその長手方向に搬送させつ
つ、液体が付着している長尺素材の主面を乾燥させる長
尺素材乾燥装置において、長尺素材の主面に向けて長尺
素材の幅方向にわたり水を供給して前記液体を希釈する
希釈手段と、希釈手段より長尺素材の搬送方向の下流側
に配置され、希釈手段により希釈された液体を長尺素材
の主面から除去する除去手段とを備えることを特徴とす
る。
材乾燥装置は、長尺素材をその長手方向に搬送させつ
つ、液体が付着している長尺素材の主面を乾燥させる長
尺素材乾燥装置において、長尺素材の主面に向けて長尺
素材の幅方向にわたり水を供給して前記液体を希釈する
希釈手段と、希釈手段より長尺素材の搬送方向の下流側
に配置され、希釈手段により希釈された液体を長尺素材
の主面から除去する除去手段とを備えることを特徴とす
る。
【００１２】請求項２に記載の長尺素材乾燥装置は、請
求項１に記載の長尺素材乾燥装置において、希釈手段
が、その軸方向が前記幅方向に沿うように長尺素材の主
面に接触して配置された吸液性を有する円筒状の第１吸
液ローラと、第１吸液ローラに水を供給する水供給手段
とを備えることを特徴とする。請求項３に記載の長尺素
材乾燥装置は、請求項１又は請求項２に記載の長尺素材
乾燥装置において、除去手段が、その軸方向が前記幅方
向に沿うように長尺の素材の主面に接触して配置された
吸液性を有する円筒状の第２吸液ローラを備えているこ
とを特徴とする。
求項１に記載の長尺素材乾燥装置において、希釈手段
が、その軸方向が前記幅方向に沿うように長尺素材の主
面に接触して配置された吸液性を有する円筒状の第１吸
液ローラと、第１吸液ローラに水を供給する水供給手段
とを備えることを特徴とする。請求項３に記載の長尺素
材乾燥装置は、請求項１又は請求項２に記載の長尺素材
乾燥装置において、除去手段が、その軸方向が前記幅方
向に沿うように長尺の素材の主面に接触して配置された
吸液性を有する円筒状の第２吸液ローラを備えているこ
とを特徴とする。
【００１３】請求項４に記載の長尺素材乾燥装置は、請
求項３に記載の長尺素材乾燥装置において、除去手段
が、第２吸液ローラに吸い取られた液体を吸引する吸引
手段をさらに備えることを特徴とする。請求項５に記載
の長尺素材乾燥装置は、請求項１又は請求項２に記載の
長尺素材乾燥装置において、除去手段が、長尺素材の主
面に向けて長尺素材の幅方向にわたり気体を吹き付ける
エアーナイフを備えることを特徴とする。
求項３に記載の長尺素材乾燥装置において、除去手段
が、第２吸液ローラに吸い取られた液体を吸引する吸引
手段をさらに備えることを特徴とする。請求項５に記載
の長尺素材乾燥装置は、請求項１又は請求項２に記載の
長尺素材乾燥装置において、除去手段が、長尺素材の主
面に向けて長尺素材の幅方向にわたり気体を吹き付ける
エアーナイフを備えることを特徴とする。
【００１４】請求項６に記載の長尺素材乾燥装置は、請
求項１から請求項５のいずれかに記載の長尺素材乾燥装
置において、希釈手段及び除去手段が長尺素材の両主面
に向けてそれぞれ配置されていることを特徴とする。請
求項７に記載の長尺素材乾燥装置は、請求項１から請求
項６のいずれかに記載の長尺素材乾燥装置において、希
釈手段より下方に垂れ落ちる液体を受ける液体受け手段
をさらに備えることを特徴とする。
求項１から請求項５のいずれかに記載の長尺素材乾燥装
置において、希釈手段及び除去手段が長尺素材の両主面
に向けてそれぞれ配置されていることを特徴とする。請
求項７に記載の長尺素材乾燥装置は、請求項１から請求
項６のいずれかに記載の長尺素材乾燥装置において、希
釈手段より下方に垂れ落ちる液体を受ける液体受け手段
をさらに備えることを特徴とする。
【００１５】
【作用】請求項１に記載の長尺素材乾燥装置では、長手
方向に搬送された長尺素材の主面に、希釈手段によって
幅方向にわたり水が供給され、主面に付着した液体が希
釈される。この希釈された液体は、除去手段により長尺
素材の主面から除去され、長尺素材が乾燥させられる。
方向に搬送された長尺素材の主面に、希釈手段によって
幅方向にわたり水が供給され、主面に付着した液体が希
釈される。この希釈された液体は、除去手段により長尺
素材の主面から除去され、長尺素材が乾燥させられる。
【００１６】請求項２に記載の長尺素材乾燥装置では、
第１吸液ローラによって、長尺素材の主面に付着した液
体が吸収されるとともに、水供給手段から供給された水
が第１吸液ローラを介して長尺素材に供給され、液体が
希釈される。請求項３に記載の長尺素材乾燥装置では、
第２吸液ローラにより長尺素材の主面から希釈手段によ
り希釈された液体が吸い取られて除去される。
第１吸液ローラによって、長尺素材の主面に付着した液
体が吸収されるとともに、水供給手段から供給された水
が第１吸液ローラを介して長尺素材に供給され、液体が
希釈される。請求項３に記載の長尺素材乾燥装置では、
第２吸液ローラにより長尺素材の主面から希釈手段によ
り希釈された液体が吸い取られて除去される。
【００１７】請求項４に記載の長尺素材乾燥装置では、
第２吸液ローラに吸い取られた液体が吸引手段により吸
引される。請求項５に記載の長尺素材乾燥装置では、エ
アーナイフから吹き付けられた気体により希釈された液
体が長尺素材の主面から吹き飛ばされ除去される。請求
項６に記載の長尺素材乾燥装置では、長尺素材の両主面
において希釈手段及び除去手段により長尺素材の主面に
付着した液体が希釈された後、除去される。
第２吸液ローラに吸い取られた液体が吸引手段により吸
引される。請求項５に記載の長尺素材乾燥装置では、エ
アーナイフから吹き付けられた気体により希釈された液
体が長尺素材の主面から吹き飛ばされ除去される。請求
項６に記載の長尺素材乾燥装置では、長尺素材の両主面
において希釈手段及び除去手段により長尺素材の主面に
付着した液体が希釈された後、除去される。
【００１８】請求項７に記載の長尺素材乾燥装置では、
希釈手段より下方に垂れ落ちた液体が液体受け手段によ
り受けられる。
希釈手段より下方に垂れ落ちた液体が液体受け手段によ
り受けられる。
【００１９】
【実施例】図１は、本発明の一実施例による長尺素材乾
燥装置が採用されたシャドウマスクやアパーチャーグリ
ルを製造する際に用いられるエッチングラインを示す模
式図である。図１において、エッチングラインは、現像
が終了した、例えばインバー材よりなる板厚０．１〜
０．３ｍｍの長尺素材１０に付与する張力を調整して、
長尺素材１０を蓄積するダンサーローラ装置１１と、面
出し装置１２と、エッチング装置１３と、洗浄装置１４
と、剥膜装置１５と、純水洗浄装置１６と、加熱乾燥装
置１７と、切断装置１８とを主に有している。
燥装置が採用されたシャドウマスクやアパーチャーグリ
ルを製造する際に用いられるエッチングラインを示す模
式図である。図１において、エッチングラインは、現像
が終了した、例えばインバー材よりなる板厚０．１〜
０．３ｍｍの長尺素材１０に付与する張力を調整して、
長尺素材１０を蓄積するダンサーローラ装置１１と、面
出し装置１２と、エッチング装置１３と、洗浄装置１４
と、剥膜装置１５と、純水洗浄装置１６と、加熱乾燥装
置１７と、切断装置１８とを主に有している。
【００２０】面出し装置１２は、残留したごく薄いレジ
スト膜やバーニング処理により発生したごく薄い酸化膜
をエッチング前に除去するものである。エッチング装置
１３は、長尺素材１０の被エッチング面にエッチング液
である塩化第２鉄水溶液を供給して電子ビーム通過用の
透孔を開けるものである。洗浄装置１４は、エッチング
された長尺素材１０からエッチング液を除去するもので
ある。剥膜装置１５は、洗浄された長尺素材からレジス
ト膜や耐エッチング性被膜等の被膜を剥離するものであ
る。純水洗浄装置１６は、剥離後に長尺素材１０を純水
洗浄するものである。加熱乾燥装置１７は、純水洗浄さ
れた長尺素材１０を加熱して乾燥させるものである。切
断装置１８は、乾燥された長尺素材１０を１枚ずつのシ
ャドウマスクやアパーチャーグリルに切断するものであ
る。
スト膜やバーニング処理により発生したごく薄い酸化膜
をエッチング前に除去するものである。エッチング装置
１３は、長尺素材１０の被エッチング面にエッチング液
である塩化第２鉄水溶液を供給して電子ビーム通過用の
透孔を開けるものである。洗浄装置１４は、エッチング
された長尺素材１０からエッチング液を除去するもので
ある。剥膜装置１５は、洗浄された長尺素材からレジス
ト膜や耐エッチング性被膜等の被膜を剥離するものであ
る。純水洗浄装置１６は、剥離後に長尺素材１０を純水
洗浄するものである。加熱乾燥装置１７は、純水洗浄さ
れた長尺素材１０を加熱して乾燥させるものである。切
断装置１８は、乾燥された長尺素材１０を１枚ずつのシ
ャドウマスクやアパーチャーグリルに切断するものであ
る。
【００２１】図２は、本発明の一実施例が採用された面
出し装置１２の斜視図である。図２において、面出し装
置１２は、例えば蓚酸、過酸化水素水及び硫酸を含む酸
の希薄溶液からなる面出し液２４が貯溜された面出し槽
２０と、面出し槽２０内及び面出し槽２０の上方に側面
視Ｖ字状に配置され、面出し槽２０内の面出し液２４に
長尺素材１０を浸漬させるための３つのステンレスロー
ラ２１，２２，２３を有している。また面出し装置１２
には、面出し槽２０から持ち出され、長尺素材１０に付
着した面出し液を除去して乾燥させるための乾燥装置３
０が設けられている。
出し装置１２の斜視図である。図２において、面出し装
置１２は、例えば蓚酸、過酸化水素水及び硫酸を含む酸
の希薄溶液からなる面出し液２４が貯溜された面出し槽
２０と、面出し槽２０内及び面出し槽２０の上方に側面
視Ｖ字状に配置され、面出し槽２０内の面出し液２４に
長尺素材１０を浸漬させるための３つのステンレスロー
ラ２１，２２，２３を有している。また面出し装置１２
には、面出し槽２０から持ち出され、長尺素材１０に付
着した面出し液を除去して乾燥させるための乾燥装置３
０が設けられている。
【００２２】図３は、本発明の一実施例の構成を示す断
面模式図である。図３において、乾燥装置３０は、ステ
ンレスローラ２１とステンレスローラ２３との間におい
て面出し液２４の液面の上方に配置された希釈装置３１
と、ステンレスローラ２３の搬送方向下流側に配置され
た除去装置３２とを有している。希釈装置３１は、長尺
装置１０の表裏面に圧接配置された、吸液性を有する１
対のスポンジローラ３３，３３と、スポンジローラ３
３，３３の上方からスポンジローラ３３，３３に向けて
水を滴下する水供給部３５と、スポンジローラ３３，３
３より垂れ落ちる液体を受ける水受け３６とを有してい
る。スポンジローラ３３，３３は、回転軸３４の周囲に
円筒状のスポンジを固着した構造であり、回転軸３４が
長尺素材１０の幅方向に沿って配置されている。また、
スポンジローラ３３，３３は、長尺素材１０の搬送に従
動してそれぞれの回転軸３４，３４を中心に回転する。
水受け３６は、両スポンジローラ３３，３３の下方及び
側方を囲むように配置されており、底部に長尺素材１０
を通過させるための開口３７と、排水口３８とが形成さ
れている。水供給部３５は、スポンジローラ３３，３３
の図２手前側の上面に配置された吐出部３９，４０を有
している。吐出部３９，４０は一括接続されており、工
業用水の供給源にストップバルブ４１を介して接続され
ている。
面模式図である。図３において、乾燥装置３０は、ステ
ンレスローラ２１とステンレスローラ２３との間におい
て面出し液２４の液面の上方に配置された希釈装置３１
と、ステンレスローラ２３の搬送方向下流側に配置され
た除去装置３２とを有している。希釈装置３１は、長尺
装置１０の表裏面に圧接配置された、吸液性を有する１
対のスポンジローラ３３，３３と、スポンジローラ３
３，３３の上方からスポンジローラ３３，３３に向けて
水を滴下する水供給部３５と、スポンジローラ３３，３
３より垂れ落ちる液体を受ける水受け３６とを有してい
る。スポンジローラ３３，３３は、回転軸３４の周囲に
円筒状のスポンジを固着した構造であり、回転軸３４が
長尺素材１０の幅方向に沿って配置されている。また、
スポンジローラ３３，３３は、長尺素材１０の搬送に従
動してそれぞれの回転軸３４，３４を中心に回転する。
水受け３６は、両スポンジローラ３３，３３の下方及び
側方を囲むように配置されており、底部に長尺素材１０
を通過させるための開口３７と、排水口３８とが形成さ
れている。水供給部３５は、スポンジローラ３３，３３
の図２手前側の上面に配置された吐出部３９，４０を有
している。吐出部３９，４０は一括接続されており、工
業用水の供給源にストップバルブ４１を介して接続され
ている。
【００２３】除去装置３２は、長尺素材１０を挟んで配
置された上下１対のエアーナイフ５０，５０を有してい
る。各エアーナイフ５０は、それぞれ長尺素材１０の表
裏面に向けて空気を吹きつける。このエアーナイフの風
量は、１〜６ｍ3 ／ｍｉｎである。次に、上述の実施例
の動作について説明する。
置された上下１対のエアーナイフ５０，５０を有してい
る。各エアーナイフ５０は、それぞれ長尺素材１０の表
裏面に向けて空気を吹きつける。このエアーナイフの風
量は、１〜６ｍ3 ／ｍｉｎである。次に、上述の実施例
の動作について説明する。
【００２４】長尺素材１０は、その長手方向に搬送手段
（図示せず）により搬送されつつ、面出し装置１２、エ
ッチング装置１３、洗浄装置１４、剥膜装置１５、純水
洗浄装置１６、加熱乾燥装置１７及び切断装置１８によ
りそれぞれ連続して処理される。面出し装置１２では、
長尺素材１０がステレンスローラ２１〜２３により面出
し槽２０内の面出し液２４に浸漬させられる。この結
果、長尺素材１０の被エッチング面に形成された残留レ
ジスト膜や酸化膜が除去される。面出しされた長尺素材
１０は、希釈装置３１のスポンジローラ３３，３３間を
通過する。このスポンジローラ３３，３３間を通過する
際に、水供給部３５によりスポンジローラ３３，３３に
供給された水により、面出し槽２０から持ち出され長尺
素材１０の両主面に付着した面出し液が希釈される。そ
して、長尺素材１０の両主面に付着した希釈された面出
し液は、除去装置３２のエアーナイフ５０，５０により
吹き飛ばされて除去され、長尺素材１０が乾燥する。ま
た、スポンジローラ３３，３３から垂れ落ちる水や希釈
された面出し液は、水受け３６に回収される。この結
果、長尺素材１０に残留した面出し液の濃度が水により
希釈されて薄くなる。そして、長尺素材１０の主面に残
留した希釈液は、除去装置３２の上下１対のエアーナイ
フ５０により吹き飛ばされて除去され、長尺素材１０が
乾燥される。
（図示せず）により搬送されつつ、面出し装置１２、エ
ッチング装置１３、洗浄装置１４、剥膜装置１５、純水
洗浄装置１６、加熱乾燥装置１７及び切断装置１８によ
りそれぞれ連続して処理される。面出し装置１２では、
長尺素材１０がステレンスローラ２１〜２３により面出
し槽２０内の面出し液２４に浸漬させられる。この結
果、長尺素材１０の被エッチング面に形成された残留レ
ジスト膜や酸化膜が除去される。面出しされた長尺素材
１０は、希釈装置３１のスポンジローラ３３，３３間を
通過する。このスポンジローラ３３，３３間を通過する
際に、水供給部３５によりスポンジローラ３３，３３に
供給された水により、面出し槽２０から持ち出され長尺
素材１０の両主面に付着した面出し液が希釈される。そ
して、長尺素材１０の両主面に付着した希釈された面出
し液は、除去装置３２のエアーナイフ５０，５０により
吹き飛ばされて除去され、長尺素材１０が乾燥する。ま
た、スポンジローラ３３，３３から垂れ落ちる水や希釈
された面出し液は、水受け３６に回収される。この結
果、長尺素材１０に残留した面出し液の濃度が水により
希釈されて薄くなる。そして、長尺素材１０の主面に残
留した希釈液は、除去装置３２の上下１対のエアーナイ
フ５０により吹き飛ばされて除去され、長尺素材１０が
乾燥される。
【００２５】ここでは、長尺素材１０に付着した面出し
液を希釈させた後に除去して乾燥させているので、長尺
素材１０の主面での金属塩の結晶の発生を抑え得る。次
に、図１に示すエッチングラインに採用される本発明の
その他の実施例について説明する。図４は、この実施例
が採用された面出し装置１２の斜視図であり、図５は、
この実施例を示す断面模式図である。図４において、希
釈装置１２までの構成は前述した実施例と同様であるの
で説明を省略する。なお、前述の実施例と同一の符号が
示すものは同一の機能を有するものである。
液を希釈させた後に除去して乾燥させているので、長尺
素材１０の主面での金属塩の結晶の発生を抑え得る。次
に、図１に示すエッチングラインに採用される本発明の
その他の実施例について説明する。図４は、この実施例
が採用された面出し装置１２の斜視図であり、図５は、
この実施例を示す断面模式図である。図４において、希
釈装置１２までの構成は前述した実施例と同様であるの
で説明を省略する。なお、前述の実施例と同一の符号が
示すものは同一の機能を有するものである。
【００２６】図４において除去装置３２は、上下１対の
乾燥ローラ４２，４２を有している。乾燥ローラ４２，
４２は、その軸方向が長尺素材１０の幅方向に沿うよう
に長尺素材１０を挟んで長尺素材１０に接触して配置さ
れている。また、乾燥ローラ４２，４２は、長尺素材１
０の素材の搬送に従動してそれぞれの回転軸４５，４５
を中心に回転する。図５に示すように、各乾燥ローラ４
２の外周面には吸液性を有する鹿革４４が貼り付けられ
ている。各乾燥ローラ４２の内部には、中空の回転軸４
５が配置されている。また、乾燥ローラ４２の胴部に
は、中空の回転軸４５の内部と乾燥ローラ４２の外周面
（鹿革４４の裏面）とを連通する吸引孔４６が形成され
ている。また回転軸４５の一端には真空ポンプ４７が接
続されている。
乾燥ローラ４２，４２を有している。乾燥ローラ４２，
４２は、その軸方向が長尺素材１０の幅方向に沿うよう
に長尺素材１０を挟んで長尺素材１０に接触して配置さ
れている。また、乾燥ローラ４２，４２は、長尺素材１
０の素材の搬送に従動してそれぞれの回転軸４５，４５
を中心に回転する。図５に示すように、各乾燥ローラ４
２の外周面には吸液性を有する鹿革４４が貼り付けられ
ている。各乾燥ローラ４２の内部には、中空の回転軸４
５が配置されている。また、乾燥ローラ４２の胴部に
は、中空の回転軸４５の内部と乾燥ローラ４２の外周面
（鹿革４４の裏面）とを連通する吸引孔４６が形成され
ている。また回転軸４５の一端には真空ポンプ４７が接
続されている。
【００２７】ここでは、希釈装置３１により希釈され長
尺素材１０の両主面に付着した面出し液が、除去装置３
２の乾燥ローラ４２表面の鹿革４４により吸い取られ、
吸い取られた面出し液が吸引孔４６、回転軸４５内の通
路を経て真空ポンプ４７に吸引される。この結果、長尺
素材１０の両主面が乾燥される。また、長尺素材１０の
主組成分とエッチング液とによる金属塩の結晶の析出を
防止するために、本発明の乾燥装置３０を以下に示す場
合に用いることができる。 （ａ） 図１に示す洗浄装置１４に乾燥装置３０を配置
し、水洗処理後に長尺素材１０の主面に付着したエッチ
ング液を希釈装置３１により希釈して、この希釈したエ
ッチング液を除去装置３２により長尺素材１０の主面か
ら除去する。 （ｂ） エッチング工程を２つに分けて行うエッチング
方法において、疵除去工程と裏止め材塗布工程との間に
乾燥装置３０を配置し、長尺素材１０の主面に付着した
エッチング液を希釈手段３１により希釈して、この希釈
されたエッチング液を除去手段３２により長尺素材１０
の主面から除去する。
尺素材１０の両主面に付着した面出し液が、除去装置３
２の乾燥ローラ４２表面の鹿革４４により吸い取られ、
吸い取られた面出し液が吸引孔４６、回転軸４５内の通
路を経て真空ポンプ４７に吸引される。この結果、長尺
素材１０の両主面が乾燥される。また、長尺素材１０の
主組成分とエッチング液とによる金属塩の結晶の析出を
防止するために、本発明の乾燥装置３０を以下に示す場
合に用いることができる。 （ａ） 図１に示す洗浄装置１４に乾燥装置３０を配置
し、水洗処理後に長尺素材１０の主面に付着したエッチ
ング液を希釈装置３１により希釈して、この希釈したエ
ッチング液を除去装置３２により長尺素材１０の主面か
ら除去する。 （ｂ） エッチング工程を２つに分けて行うエッチング
方法において、疵除去工程と裏止め材塗布工程との間に
乾燥装置３０を配置し、長尺素材１０の主面に付着した
エッチング液を希釈手段３１により希釈して、この希釈
されたエッチング液を除去手段３２により長尺素材１０
の主面から除去する。
【００２８】
【発明の効果】請求項１に係る長尺素材乾燥装置による
と、長尺素材に付着した液体が希釈された後に除去され
て乾燥されるので、長尺素材の乾燥時に長尺素材の主組
成分と液体とによる金属塩の結晶の発生を抑えることが
可能となる。請求項２に係る長尺素材乾燥装置による
と、長尺素材の幅方向にわたり、長尺素材の主面に付着
した液体の吸収と希釈を同時に行っているので、長尺素
材の主面の全面の液体を効率良く希釈することができ
る。
と、長尺素材に付着した液体が希釈された後に除去され
て乾燥されるので、長尺素材の乾燥時に長尺素材の主組
成分と液体とによる金属塩の結晶の発生を抑えることが
可能となる。請求項２に係る長尺素材乾燥装置による
と、長尺素材の幅方向にわたり、長尺素材の主面に付着
した液体の吸収と希釈を同時に行っているので、長尺素
材の主面の全面の液体を効率良く希釈することができ
る。
【００２９】請求項３に係る長尺素材乾燥装置による
と、第２吸液ローラにより長尺素材の主面に付着した希
釈された液体を吸い取り、長尺素材を確実に乾燥させる
ことができる。請求項４に係る長尺素材乾燥装置による
と、吸引手段により第２吸液ローラに吸い取られた液体
を吸引して、第２吸液ローラを常に吸液性の良い状態に
保つことが可能となる。
と、第２吸液ローラにより長尺素材の主面に付着した希
釈された液体を吸い取り、長尺素材を確実に乾燥させる
ことができる。請求項４に係る長尺素材乾燥装置による
と、吸引手段により第２吸液ローラに吸い取られた液体
を吸引して、第２吸液ローラを常に吸液性の良い状態に
保つことが可能となる。
【００３０】請求項５に係る長尺素材乾燥装置による
と、エアーナイフにより長尺素材の主面に付着した希釈
された液体を吹き飛ばし、長尺素材を確実に乾燥させる
ことができる。請求項６に係る長尺素材乾燥装置による
と、金属塩の結晶を析出させることなく、長尺素材の両
主面を乾燥させることができる。
と、エアーナイフにより長尺素材の主面に付着した希釈
された液体を吹き飛ばし、長尺素材を確実に乾燥させる
ことができる。請求項６に係る長尺素材乾燥装置による
と、金属塩の結晶を析出させることなく、長尺素材の両
主面を乾燥させることができる。
【００３１】請求項７に係る長尺素材乾燥装置による
と、液体受け手段により希釈手段から垂れ落ちる液体を
受けて回収することにより、液体による装置周囲の汚染
を防止することができる。
と、液体受け手段により希釈手段から垂れ落ちる液体を
受けて回収することにより、液体による装置周囲の汚染
を防止することができる。
【図１】本発明の一実施例及び他の実施例が採用された
エッチングラインの斜視模式図。
エッチングラインの斜視模式図。
【図２】本発明の一実施例が採用された面出し装置の斜
視図。
視図。
【図３】本発明の一実施例の側面模式図。
【図４】本発明の他の実施例が採用された面出し装置の
斜視図。
斜視図。
【図５】本発明の他の実施例の側面模式図。
１０ 長尺素材 ３０ 乾燥装置 ３１ 希釈装置 ３２ 除去装置 ３３ スポンジローラ ３５ 水供給部 ３６ 水受け部 ４２ 乾燥ローラ ４７ 真空ポンプ ５０ エアーナイフ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮路 恭祥 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内
Claims (7)
- 【請求項１】長尺素材をその長手方向に搬送させつつ、
液体が付着している長尺素材の主面を乾燥させる長尺素
材乾燥装置において、 前記長尺素材の主面に向けて長尺素材の幅方向にわたり
水を供給して前記液体を希釈する希釈手段と、 前記希釈手段より長尺素材の搬送方向の下流側に配置さ
れ、希釈手段により希釈された液体を前記長尺素材の主
面から除去する除去手段と、を備えたことを特徴とする
長尺素材乾燥装置。 - 【請求項２】前記希釈手段が、その軸方向が前記幅方向
に沿うように前記長尺素材の主面に接触して配置された
吸液性を有する円筒状の第１吸液ローラと、前記第１吸
液ローラに水を供給する水供給手段とを備えることを特
徴とする請求項１に記載の長尺素材乾燥装置。 - 【請求項３】前記除去手段が、その軸方向が前記幅方向
に沿うように前記長尺素材の主面に接触して配置された
吸液性を有する円筒状の第２吸液ローラを備えることを
特徴とする請求項１又は請求項２に記載の長尺素材乾燥
装置。 - 【請求項４】前記除去手段が、前記第２吸液ローラに吸
い取られた液体を吸引する吸引手段をさらに備えること
を特徴とする請求項３に記載の長尺素材乾燥装置。 - 【請求項５】前記除去手段が、前記長尺素材の主面に向
けて長尺素材の幅方向にわたり気体を吹き付けるエアー
ナイフを備えることを特徴とする請求項１又は請求項２
に記載の長尺素材乾燥装置。 - 【請求項６】前記希釈手段及び前記除去手段が長尺素材
の両主面に向けてそれぞれ配置されていることを特徴と
する請求項１から請求項５のいずれかに記載の長尺素材
乾燥装置。 - 【請求項７】前記希釈手段より下方に垂れ落ちる液体を
受ける液体受け手段をさらに備えることを特徴とする請
求項１から請求項６のいずれかに記載の長尺素材乾燥装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6228426A JPH0889921A (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | 長尺素材乾燥装置 |
| KR1019950021602A KR100222330B1 (ko) | 1994-09-22 | 1995-07-21 | 금속박판의 건조장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6228426A JPH0889921A (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | 長尺素材乾燥装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0889921A true JPH0889921A (ja) | 1996-04-09 |
Family
ID=16876302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6228426A Pending JPH0889921A (ja) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | 長尺素材乾燥装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0889921A (ja) |
| KR (1) | KR100222330B1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012121188A1 (ja) * | 2011-03-10 | 2012-09-13 | 出光ユニテック株式会社 | シートの製造方法、シート、包装体およびシートの製造装置 |
| CN109382369A (zh) * | 2017-08-08 | 2019-02-26 | 苏州泰拓精密清洗设备有限公司 | 一种自动吹屑设备 |
| CN112371590A (zh) * | 2020-10-23 | 2021-02-19 | 吴甲平 | 一种能够适应不用厚度铝卷的杂质清除装置 |
-
1994
- 1994-09-22 JP JP6228426A patent/JPH0889921A/ja active Pending
-
1995
- 1995-07-21 KR KR1019950021602A patent/KR100222330B1/ko not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012121188A1 (ja) * | 2011-03-10 | 2012-09-13 | 出光ユニテック株式会社 | シートの製造方法、シート、包装体およびシートの製造装置 |
| CN109382369A (zh) * | 2017-08-08 | 2019-02-26 | 苏州泰拓精密清洗设备有限公司 | 一种自动吹屑设备 |
| CN112371590A (zh) * | 2020-10-23 | 2021-02-19 | 吴甲平 | 一种能够适应不用厚度铝卷的杂质清除装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960012086A (ko) | 1996-04-20 |
| KR100222330B1 (ko) | 1999-10-01 |
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