JPH0892496A - Color paste - Google Patents
Color pasteInfo
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- JPH0892496A JPH0892496A JP23148694A JP23148694A JPH0892496A JP H0892496 A JPH0892496 A JP H0892496A JP 23148694 A JP23148694 A JP 23148694A JP 23148694 A JP23148694 A JP 23148694A JP H0892496 A JPH0892496 A JP H0892496A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、主として電子工業用に
用いられるカラーぺーストに関する。さらに詳しくは、
液晶表示素子や撮像素子のカラーフィルターの形成に利
用できる、ラクトン類を主溶剤とするカラーぺーストに
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a color paste mainly used in the electronic industry. For more information,
The present invention relates to a color paste containing a lactone as a main solvent, which can be used for forming a color filter of a liquid crystal display device or an image pickup device.
【0002】[0002]
【従来の技術】耐熱性、耐光性に優れたカラーフィルタ
ーを形成することのできるカラーペーストとして、ポリ
アミック酸の有機溶媒溶液に顔料を分散したカラーぺー
ストが知られている(たとえば特開昭60−18420
2号公報、特開昭60−184203号公報、特開昭6
1−180203号公報)。2. Description of the Related Art As a color paste capable of forming a color filter having excellent heat resistance and light resistance, a color paste in which a pigment is dispersed in an organic solvent solution of polyamic acid is known (for example, JP-A-60). -18420
No. 2, JP-A-60-184203, JP-A-6
1-180203).
【0003】従来、ポリアミック酸の溶剤としては、N
−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトア
ミド、N,N−ジメチルホルムアミドなどのアミド系極
性有機溶媒が使用されてきた。しかし、このアミド系極
性有機溶媒は、分散性という観点からは顔料との相性が
悪く、微粉砕した顔料をポリアミック酸溶液に均一に安
定に分散することが困難で、顔料の凝集構造が形成され
る。このため、塗布膜の平坦性が損われる。また、顔料
粒子による光散乱強度が大きくなり、TN型液晶表示素
子では、画素のコントラストが低下する。Conventionally, as a solvent for polyamic acid, N
Amide polar organic solvents such as -methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-dimethylformamide have been used. However, this amide-based polar organic solvent has poor compatibility with the pigment from the viewpoint of dispersibility, and it is difficult to uniformly and stably disperse the finely pulverized pigment in the polyamic acid solution, and an aggregate structure of the pigment is formed. It Therefore, the flatness of the coating film is impaired. Further, the light scattering intensity due to the pigment particles is increased, and the contrast of the pixel is lowered in the TN type liquid crystal display element.
【0004】ポリアミック酸の有機溶媒溶液に顔料を分
散したカラーぺーストを使用したカラーフィルターの製
造は、たとえば特開昭60−247603号公報や特開
昭61−77804号公報に示されているように、次の
ような工程により行なわれる。まず、カラーぺースト
(たとえば緑色)を基板上に塗布した後、乾燥してポリ
イミド前駆体着色被膜を形成する。ポリイミド前駆体着
色被膜上にポジ型フォトレジストを塗布し、フォトレジ
スト被膜を形成する。該フォトレジスト被膜上にマスク
を置き、露光装置を用いて紫外線を照射する。露光後、
ポジ型フォトレジスト用アルカリ現像液により、フォト
レジスト被膜とポリイミド前駆体着色被膜のエッチング
を同時に行う。エッチング後、不要となったフォトレジ
スト被膜を剥離する。その後、加熱処理することによっ
て、ポリイミド前駆体をポリイミドに変換する。このよ
うにして、1色のポリイミド着色被膜のパターンを基板
上に形成した後、その上に別な色(たとえば赤色)のカ
ラーぺーストを塗布し、同様の工程を経て、2色のポリ
イミド着色被膜のパターンを基板上に形成する。これを
もう一度繰り返すと、赤、青、緑の3色のポリイミド着
色被膜のパターンが得られる。The production of a color filter using a color paste in which a pigment is dispersed in an organic solvent solution of polyamic acid is disclosed, for example, in JP-A-60-247603 and JP-A-61-77804. Then, the following steps are performed. First, a color paste (for example, green) is applied on a substrate and then dried to form a polyimide precursor colored film. A positive photoresist is applied on the polyimide precursor colored coating to form a photoresist coating. A mask is placed on the photoresist film, and ultraviolet rays are irradiated using an exposure device. After exposure,
The photoresist coating and the polyimide precursor colored coating are simultaneously etched with a positive photoresist alkaline developer. After etching, the photoresist film that is no longer needed is removed. After that, the polyimide precursor is converted into polyimide by heat treatment. In this way, after forming a pattern of a one-color polyimide coloring film on a substrate, a color paste of another color (for example, red) is applied thereon, and the same steps are followed to obtain two-color polyimide coloring. A pattern of coating is formed on the substrate. When this is repeated once again, a pattern of three colored polyimide coatings of red, blue and green is obtained.
【0005】この工程では、ポリイミド着色被膜上に有
機溶媒を含むカラーぺーストが塗布され、そのため、ポ
リイミドには高度な耐溶剤性が要求される。しかし、短
波長領域での透明性に優れるポリイミドは、一般に耐溶
剤性が不良である。アミド系極性有機溶媒は溶解力が非
常に強く、これらの高透明性ポリイミド膜上にポリアミ
ック酸のアミド系極性有機溶媒溶液に顔料を分散したカ
ラーぺーストを塗布すると、ポリイミド膜の表面が荒れ
たり、クラックが生じるなどの問題が起こり、多色から
なるカラーフィルターの形成は困難である。In this step, a color paste containing an organic solvent is applied onto the polyimide colored coating film, so that the polyimide is required to have a high solvent resistance. However, a polyimide having excellent transparency in a short wavelength region generally has poor solvent resistance. Amide-type polar organic solvent has a very strong dissolving power, and when a color paste in which a pigment is dispersed in an amide-type polar organic solvent solution of polyamic acid is applied onto these highly transparent polyimide films, the surface of the polyimide film becomes rough. However, problems such as cracks occur, and it is difficult to form a multicolor color filter.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
技術の欠点に鑑み創案されたもので、その目的とすると
ころは、塗布膜の平坦性が良好で、顔料粒子による光散
乱強度が小さいカラーフィルターを、クラックが生じに
くい条件で形成することができるカラーぺーストを提供
することにある。The present invention was devised in view of the above-mentioned drawbacks of the prior art. The object of the present invention is that the coating film has good flatness and the light scattering intensity by the pigment particles is small. It is an object of the present invention to provide a color paste which can form a color filter under conditions in which cracks are unlikely to occur.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】かかる本発明の目的は、
顔料およびポリアミック酸エステルを含有し、ラクトン
類を主溶剤とするカラーぺーストによって達成される。The object of the present invention is as follows.
This is achieved by a color paste containing a pigment and a polyamic acid ester and using lactones as a main solvent.
【0008】ラクトン類は、アミド系極性有機溶媒に比
べ、分散性という観点からは顔料との相性が良く、微粉
砕した顔料をポリイミド前駆体溶液に均一に安定に分散
することが可能である。また、ラクトン類はアミド系極
性有機溶媒に比べ溶解力が弱い。このため、ポリイミド
着色被膜上にラクトン類を主溶剤とするカラーペースト
を塗布した場合、ポリイミド着色被膜にクラックが生じ
る可能性はまずない。しかし、溶解力が弱いため、ポリ
イミド前駆体であるポリアミック酸を溶解しにくい。し
たがって、本発明のようにラクトン類への溶解性を高め
るために、ポリイミド前駆体としては、ポリアミック酸
のカルボキシル基の一部または全部がエステル化された
ポリアミック酸エステルを用いることが重要である。The lactone has a better compatibility with the pigment from the viewpoint of dispersibility than the amide polar organic solvent, and the finely pulverized pigment can be uniformly and stably dispersed in the polyimide precursor solution. In addition, lactones have weaker dissolving power than amide-based polar organic solvents. Therefore, when a color paste containing a lactone as a main solvent is applied onto the polyimide colored coating, it is unlikely that cracks will occur in the polyimide colored coating. However, since the dissolving power is weak, it is difficult to dissolve the polyamic acid that is the polyimide precursor. Therefore, in order to increase the solubility in lactones as in the present invention, it is important to use, as the polyimide precursor, a polyamic acid ester in which a part or all of the carboxyl groups of the polyamic acid are esterified.
【0009】本発明において好ましく用いられるラクト
ン類は、脂肪族環状エステルで炭素数3〜12の化合物
である。具体的な例として、β−プロピオラクトン、γ
−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、δ−バレロラ
クトン、γ−カプロラクトン、ε−カプロラクトンなど
が挙げられるがこれらに限定されない。特に、ポリアミ
ック酸エステルの溶解性の点からγ−ブチロラクトンが
好ましい。本発明においては、ラクトン類が主溶剤とし
て用いられるが、他の有機溶媒を副溶剤として用いるこ
とができる。副溶剤としては、前記のアミド系極性有機
溶媒のほか、エタノール、ブタノール、エチレングリコ
ールなどのアルコール類、メチルセロソルブ、エチルセ
ロソルブなどのセロソルブ類、メチルカルビトール、エ
チルカルビトールなどのカルビトール類、メチル−3−
メトキシプロピオネート、3−メチル−3−メトキシブ
チルアセテートなどの脂肪族エステル類、トルエン、キ
シレンなどの芳香族炭化水素類などが挙げられる。本発
明では、これらに限定されずに、ラクトン類以外の有機
溶媒が1種または2種以上用いることができる。なお、
副溶剤は、全溶剤の50重量%以下、好ましくは40重
量%以下、さらに好ましくは30重量%以下であること
が望ましい。副溶剤の量が大きすぎると、顔料の分散状
態が不良となったり、ポリアミック酸エステルが溶解し
ないという問題が生じる。The lactones preferably used in the present invention are aliphatic cyclic esters having 3 to 12 carbon atoms. Specific examples include β-propiolactone, γ
-Butyrolactone, γ-valerolactone, δ-valerolactone, γ-caprolactone, ε-caprolactone, and the like, but are not limited thereto. In particular, γ-butyrolactone is preferable from the viewpoint of solubility of polyamic acid ester. In the present invention, lactones are used as the main solvent, but other organic solvents can be used as the auxiliary solvent. As the auxiliary solvent, in addition to the amide-based polar organic solvent, alcohols such as ethanol, butanol, and ethylene glycol, cellosolves such as methyl cellosolve and ethyl cellosolve, carbitols such as methyl carbitol, and ethyl carbitol, methyl. -3-
Examples thereof include aliphatic esters such as methoxypropionate and 3-methyl-3-methoxybutylacetate, and aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene. In the present invention, the organic solvent other than the lactones may be used alone or in combination of two or more, without being limited thereto. In addition,
It is desirable that the amount of the sub-solvent is 50% by weight or less, preferably 40% by weight or less, and more preferably 30% by weight or less based on the total amount of the solvent. If the amount of the sub-solvent is too large, there arise problems that the dispersed state of the pigment becomes poor and the polyamic acid ester does not dissolve.
【0010】本発明で使用されるポリアミック酸エステ
ルとしては、次の一般式(1)で表されるものがあげら
れる。Examples of the polyamic acid ester used in the present invention include those represented by the following general formula (1).
【0011】[0011]
【化1】 ここでR1 は炭素数2〜22の4価の有機基、R2 は炭
素数1〜22の2価の有機基、R3 は水素または炭素数
1〜10の1価の有機基、nは1以上の整数を意味す
る。ポリイミド膜の力学的特性は、分子量が大きいほど
良好である。このため、ポリイミド前駆体であるポリア
ミック酸エステルの分子量も大きいことが望まれる。一
方、ポリイミド前駆体膜を湿式エッチングによりパター
ン加工を行う場合、ポリアミック酸エステルの分子量が
大きすぎると、現像に要する時間が長くなりすぎるとい
う問題がある。したがって、nの好ましい範囲は2〜1
000、より好ましくは4〜400、さらに好ましくは
6〜100である。なお、ポリアミック酸エステルの分
子量には一般にばらつきがあるため、ここでいうnの好
ましい範囲とは、この範囲の中に全ポリアミック酸エス
テルの50モル%以上、好ましくは70モル%以上、さ
らに好ましくは90モル%以上が入っていることを意味
する。[Chemical 1] Here, R 1 is a tetravalent organic group having 2 to 22 carbon atoms, R 2 is a divalent organic group having 1 to 22 carbon atoms, R 3 is hydrogen or a monovalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, n Means an integer of 1 or more. The higher the molecular weight, the better the mechanical properties of the polyimide film. Therefore, it is desired that the polyamic acid ester, which is the polyimide precursor, also has a large molecular weight. On the other hand, when the polyimide precursor film is subjected to pattern processing by wet etching, if the molecular weight of the polyamic acid ester is too large, there is a problem that the time required for development becomes too long. Therefore, the preferable range of n is 2-1.
000, more preferably 4 to 400, still more preferably 6 to 100. In addition, since the molecular weight of polyamic acid ester generally varies, the preferable range of n here is 50 mol% or more, preferably 70 mol% or more, and more preferably of all polyamic acid ester within this range. It means that 90 mol% or more is contained.
【0012】本発明において、R3 が全て水素であるこ
とはない。R3 が有機基である比率(エステル化率)
は、5〜100%が好ましく、より好ましくは10〜9
0%、さらに好ましくは20〜80%である。エステル
化率が小さすぎると、ラクトン類への溶解性が低下す
る。一方、エステル化率が大きい場合、ポリイミド前駆
体膜を湿式エッチングによりパターン加工を行う場合
に、現像液として有機溶媒を使用する必要がある。エス
テル化率がある程度低ければ、アルカリ水溶液により湿
式エッチングを行うことが可能となる。In the present invention, R 3 is not all hydrogen. Ratio in which R 3 is an organic group (esterification ratio)
Is preferably 5 to 100%, more preferably 10 to 9
It is 0%, more preferably 20 to 80%. If the esterification rate is too low, the solubility in lactones decreases. On the other hand, when the esterification rate is high, it is necessary to use an organic solvent as a developing solution when patterning the polyimide precursor film by wet etching. If the esterification rate is low to some extent, wet etching can be performed with an alkaline aqueous solution.
【0013】また、R3 が光反応性の炭素−炭素不飽和
結合を含んでいると、フォトレジストを用いることな
く、ポリイミド前駆体膜を直接フォトリソグラフィによ
りパターン加工を行うことが可能となる。When R 3 contains a photoreactive carbon-carbon unsaturated bond, the polyimide precursor film can be directly patterned by photolithography without using a photoresist.
【0014】ポリアミック酸エステルの製造法の一つと
して次のようなものがある。テトラカルボン酸二無水物
をアルコール性水酸基をもつ有機物でエステル化してテ
トラカルボン酸ジエステルとした後、酸クロライド化
し、その後ジアミンと反応させることにより、ポリアミ
ック酸エステルを得る方法である。この場合、ポリアミ
ック酸エステル分子の末端をアミンにしておけば、それ
にテトラカルボン酸二無水物およびジアミンを反応させ
ることにより、ポリアミック酸エステルのエステル化率
を調節することができる。One of the methods for producing a polyamic acid ester is as follows. This is a method of obtaining a polyamic acid ester by esterifying tetracarboxylic dianhydride with an organic substance having an alcoholic hydroxyl group to form a tetracarboxylic acid diester, which is then converted to an acid chloride and then reacted with a diamine. In this case, if the end of the polyamic acid ester molecule is amine, the esterification rate of the polyamic acid ester can be adjusted by reacting it with tetracarboxylic dianhydride and diamine.
【0015】また、テトラカルボン酸二無水物をアルコ
ール性水酸基をもつ有機物でエステル化してテトラカル
ボン酸ジエステルとし、カルボジイミド類と反応させた
後に、ジアミンと反応させることによりポリアミック酸
エステルを得る方法もある。There is also a method of obtaining a polyamic acid ester by esterifying a tetracarboxylic dianhydride with an organic substance having an alcoholic hydroxyl group to form a tetracarboxylic acid diester, which is reacted with a carbodiimide and then reacted with a diamine. .
【0016】さらに、テトラカルボン酸二無水物とジア
ミンを反応させることにより得られたポリアミック酸の
カルボキシル基に、グリシジル基、またはイソシアナー
ト基をもつ有機物を付加反応させることによってもポリ
アミック酸エステルを得ることができる。Furthermore, a polyamic acid ester can also be obtained by subjecting a carboxyl group of a polyamic acid obtained by reacting a tetracarboxylic dianhydride and a diamine to an organic substance having a glycidyl group or an isocyanate group. be able to.
【0017】本発明は、上記の方法にとどまらず、どの
ような製造方法によって得られたポリアミック酸エステ
ルに対しても適用が可能である。The present invention is applicable not only to the above-mentioned method but also to polyamic acid ester obtained by any manufacturing method.
【0018】本発明で使用することのできるテトラカル
ボン酸二無水物としては、一般式(2)The tetracarboxylic dianhydride that can be used in the present invention is represented by the general formula (2)
【化2】 (式中のR1 は、前記の炭素数2〜22の4価の有機基
を表す。)で示される物があげられる。本発明では、テ
トラカルボン酸二無水物として、たとえば、脂肪族系ま
たは脂環式系のものを用いることができ、その具体的な
例として、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボ
ン酸二無水物、1,2,3,4−シクロペンタンテトラ
カルボン酸二無水物、1,2,3,5−シクロペンタン
テトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−ビシクロ
ヘキセンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−
シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、1,3,3
a,4,5,9b−ヘキサヒドロ−5−(テトラヒドロ
−2,5−ジオキソ−3−フラニル)−ナフト[1,2
−C]フラン−1,3−ジオンなどが挙げられる。ま
た、芳香族系のものを用いると、耐熱性の良好なポリイ
ミドに変換しうるポリイミド前駆体組成物を得ることが
でき、その具体的な例として、3,3´,4,4´−ベ
ンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット
酸二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボ
ン酸二無水物、3,3´,4,4´−ジフェニルスルホ
ンテトラカルボン酸二無水物、4,4´−オキシジフタ
ル酸無水物、3,3´,4,4´−ビフェニルテトラカ
ルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラ
カルボン酸二無水物、3,3”,4,4”−パラターフ
ェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3”,4,4”
−メタターフェニルテトラカルボン酸二無水物が挙げら
れる。また、フッ素系のものを用いると、短波長領域で
の透明性が良好なポリイミドに変換しうるポリイミド前
駆体組成物を得ることができ、その具体的な例として、
4,4´−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタ
ル酸無水物などが挙げられる。なお、本発明は、これら
に限定されずにテトラカルボン酸二無水物が1種または
2種以上用いられる。[Chemical 2] (R 1 in the formula represents the tetravalent organic group having 2 to 22 carbon atoms). In the present invention, as the tetracarboxylic acid dianhydride, for example, an aliphatic type or an alicyclic type can be used, and specific examples thereof include 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic acid dianhydride. Anhydride, 1,2,3,4-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,5-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,4,5-bicyclohexenetetracarboxylic acid Dianhydride, 1,2,4,5-
Cyclohexane tetracarboxylic dianhydride, 1,3,3
a, 4,5,9b-Hexahydro-5- (tetrahydro-2,5-dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2
-C] Furan-1,3-dione and the like. Further, when an aromatic type is used, a polyimide precursor composition that can be converted into a polyimide having good heat resistance can be obtained, and specific examples thereof include 3,3 ′, 4,4′-benzophenone. Tetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride, 4 , 4'-oxydiphthalic anhydride, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ", 4 4 "-paraterphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3", 4,4 "
-Metaterphenyl tetracarboxylic acid dianhydride. Further, by using a fluorine-based one, it is possible to obtain a polyimide precursor composition which can be converted into a polyimide having good transparency in a short wavelength region, and as a specific example thereof,
4,4 '-(hexafluoroisopropylidene) diphthalic anhydride and the like can be mentioned. The present invention is not limited to these, and one or more tetracarboxylic dianhydrides may be used.
【0019】ジアミンとしては、一般式(3) H2 N−R2 −NH2 (3) (式中のR2 は、前記の炭素数1〜22の2価の有機基
を表す。)で示されるものがあげられる。本発明ではジ
アミンとして、たとえば、脂肪族系または脂環式系のも
のを用いることができ、その具体的な例として、エチレ
ンジアミン、1,3−ジアミノシクロヘキサン、1,4
−ジアミノシクロヘキサン、4,4´−ジアミノ−3,
3´−ジメチルジシクロヘキシルメタン、4,4´−ジ
アミノ−3,3´−ジメチルジシクロヘキシルなどが挙
げられる。また、芳香族系のものを用いると、耐熱性の
良好なポリイミドに変換しうるポリイミド前駆体組成物
を得ることができ、その具体的な例として、4,4´−
ジアミノジフェニルエーテル、3,4´−ジアミノジフ
ェニルエーテル、4,4´−ジアミノジフェニルメタ
ン、3,3´−ジアミノジフェニルメタン、4,4´−
ジアミノジフェニルスルホン、3,3´−ジアミノジフ
ェニルスルホン、4,4´−ジアミノジフェニルサルフ
ァイド、m−フェニレンジアミン、p−フェニレンジア
ミン、2,4−ジアミノトルエン、2,5−ジアミノト
ルエン、2,6−ジアミノトルエン、ベンジジン、3,
3´−ジメチルベンジジン、3,3´−ジメトキシベン
ジジン、o−トリジン、4,4”−ジアミノターフェニ
ル、1,5−ジアミノナフタレン、3,3´−ジメチル
−4,4´−ジアミノジフェニルメタン、4,4´−ビ
ス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、2,2−ビス
[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、
ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エ−テ
ル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ス
ルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニ
ル]スルホンなどが挙げられる。また、フッ素系のもの
を用いると、短波長領域での透明性が良好なポリイミド
に変換しうるポリイミド前駆体組成物を得ることがで
き、その具体的な例として、2,2−ビス[4−(4−
アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン
などが挙げられる。The diamine is represented by the general formula (3) H 2 N—R 2 —NH 2 (3) (wherein R 2 represents the divalent organic group having 1 to 22 carbon atoms). The ones shown are: In the present invention, for example, an aliphatic or alicyclic diamine can be used as the diamine, and specific examples thereof include ethylenediamine, 1,3-diaminocyclohexane, and 1,4.
-Diaminocyclohexane, 4,4'-diamino-3,
3'-Dimethyldicyclohexylmethane, 4,4'-diamino-3,3'-dimethyldicyclohexyl and the like can be mentioned. Further, when an aromatic type is used, a polyimide precursor composition which can be converted into a polyimide having good heat resistance can be obtained, and as a specific example thereof, 4,4′-
Diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-
Diaminodiphenyl sulfone, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, 2,4-diaminotoluene, 2,5-diaminotoluene, 2,6- Diaminotoluene, benzidine, 3,
3'-dimethylbenzidine, 3,3'-dimethoxybenzidine, o-tolidine, 4,4 "-diaminoterphenyl, 1,5-diaminonaphthalene, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminodiphenylmethane, 4 , 4'-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane,
Examples thereof include bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, and bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone. Further, when a fluorine-based one is used, a polyimide precursor composition which can be converted into a polyimide having excellent transparency in a short wavelength region can be obtained. As a specific example thereof, 2,2-bis [4 -(4-
Aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane and the like.
【0020】また、一般式(4)Further, the general formula (4)
【化3】 (式中のR4 は炭素数1〜10の2価の有機基、R5 、
R6 、R7 およびR8 は炭素数1〜10の1価の有機基
でこれらは同一であっても異なっていてもよく、mは1
〜10の整数を意味する。)で示されるシロキサンジア
ミンを用いると、無機基板との接着性を良好にすること
ができる。シロキサンジアミンは、通常、全ジアミン中
の1〜20モル%量用いる。シロキサンジアミンの量が
少なすぎれば接着性向上効果が発揮されず、多すぎれば
耐熱性が低下する。シロキサンジアミンの具体例として
は、ビス−3−(アミノプロピル)テトラメチルシロキ
サンなどが挙げられる。本発明は、これらに限定されず
にジアミンが1種または2種以上用いられる。[Chemical 3] (R 4 in the formula is a divalent organic group having 1 to 10 carbon atoms, R 5 ,
R 6 , R 7 and R 8 are monovalent organic groups having 1 to 10 carbon atoms and may be the same or different, and m is 1
It means an integer of -10. By using the siloxane diamine represented by the formula (4), the adhesiveness with the inorganic substrate can be improved. The siloxane diamine is usually used in an amount of 1 to 20 mol% based on all diamines. If the amount of siloxane diamine is too small, the effect of improving the adhesiveness will not be exhibited, and if it is too large, the heat resistance will decrease. Specific examples of the siloxane diamine include bis-3- (aminopropyl) tetramethylsiloxane. The present invention is not limited to these, and one or more diamines may be used.
【0021】本発明でエステル化に用いられるアルコー
ル性水酸基をもつ有機物の例としては、メタノール、エ
タノール、光反応性の炭素−炭素不飽和結合を含んでい
るものの例としてヒドロキシエチルアクリラート、ヒド
ロキシエチルメタクリラート、グリシジル基をもつ有機
物の例としては、グリシジルメチルエーテル、グリシジ
ルエチルエーテル、光反応性の炭素−炭素不飽和結合を
含んでいるものの例として、グリシジルアクリラート、
グリシジルメタクリラート、イソシアナート基をもつ有
機物の例としては、メチルイソシアナート、エチルイソ
シアナート、光反応性の炭素−炭素不飽和結合を含んで
いるものの例として、イソシアナートエチルアクリラー
ト、イソシアナートエチルメタクリラートなどが挙げら
れるが、これらに限定されない。Examples of the organic substance having an alcoholic hydroxyl group used for esterification in the present invention include methanol, ethanol, and those containing a photoreactive carbon-carbon unsaturated bond, such as hydroxyethyl acrylate and hydroxyethyl. Methacrylate, as an example of an organic substance having a glycidyl group, glycidyl methyl ether, glycidyl ethyl ether, as an example of those containing a photoreactive carbon-carbon unsaturated bond, glycidyl acrylate,
Glycidyl methacrylate, as an example of an organic substance having an isocyanate group, methyl isocyanate, ethyl isocyanate, as an example of those containing a photoreactive carbon-carbon unsaturated bond, is an isocyanate ethyl acrylate, isocyanate ethyl Examples include, but are not limited to, methacrylate.
【0022】ポリアミック酸エステルは、前記の重合反
応を溶液中で行い、その後溶液中からポリアミック酸エ
ステルを単離し、ラクトン類に溶解してもよいし、ラク
トン類中で重合反応を行い、ポリアミック酸エステルの
ラクトン類溶液を直接得ることもできる。また、ラクト
ン類以外の有機溶媒中で重合反応を行い、その後ラクト
ン類を添加して、全溶剤の50重量%以上を占めるよう
にしてもよい。For the polyamic acid ester, the above-mentioned polymerization reaction may be carried out in a solution, and then the polyamic acid ester may be isolated from the solution and dissolved in a lactone, or the polymerization reaction may be carried out in a lactone. It is also possible to directly obtain a lactone solution of the ester. Alternatively, the polymerization reaction may be carried out in an organic solvent other than the lactone, and then the lactone may be added to make up 50% by weight or more of the total solvent.
【0023】本発明のカラーぺーストは、上述のポリア
ミック酸エステル溶液に顔料が分散されているものであ
る。本発明で用いられる顔料に特に制限はないが、耐光
性、耐熱性、耐薬品性に優れたものが好ましい。代表的
な顔料の具体的な例をカラーインデックス(CI)ナン
バーで示す。黄色顔料の例としてはピグメントイエロー
20、24、83、86、93、94、109、11
0、117、125、137、138、139、14
7、148、153、154、166、173などが挙
げられる。橙色顔料の例としてはピグメントオレンジ1
3、31、36、38、40、42、43、51、5
5、59、61、64、65などが挙げられる。赤色顔
料の例としてはピグメントレッド9、97、122、1
23、144、149、166、168、177、18
0、192、215、216、224などが挙げられ
る。紫色顔料の例としてはピグメントバイオレット1
9、23、29、32、33、36、37、38などが
挙げられる。青色顔料の例としてはピグメントブルー1
5(15:3、15:4、15:6など)、21、2
2、60、64などが挙げられる。緑色顔料の例として
はピグメントグリーン7、10、36、47などが挙げ
られる。黒色顔料の例としてはピグメントブラック7な
どが挙げられる。本発明ではこれらに限定されずに種々
の顔料を使用することができる。なお、顔料は必要に応
じて、ロジン処理、酸性基処理、塩基性処理などの表面
処理が施されているものを使用してもよい。The color paste of the present invention comprises a pigment dispersed in the above polyamic acid ester solution. The pigment used in the present invention is not particularly limited, but those having excellent light resistance, heat resistance and chemical resistance are preferable. Specific examples of typical pigments are shown by color index (CI) numbers. Examples of yellow pigments include Pigment Yellow 20, 24, 83, 86, 93, 94, 109, 11
0, 117, 125, 137, 138, 139, 14
7, 148, 153, 154, 166, 173 and the like. Pigment Orange 1 is an example of an orange pigment.
3, 31, 36, 38, 40, 42, 43, 51, 5
5, 59, 61, 64, 65 and the like. Examples of red pigments are Pigment Red 9, 97, 122, 1
23, 144, 149, 166, 168, 177, 18
0, 192, 215, 216, 224 and the like. An example of a purple pigment is Pigment Violet 1.
9, 23, 29, 32, 33, 36, 37, 38 and the like. Pigment Blue 1 as an example of a blue pigment
5 (15: 3, 15: 4, 15: 6, etc.), 21, 2
2, 60, 64 and the like. Pigment green 7, 10, 36, 47 etc. are mentioned as an example of a green pigment. Examples of black pigments include Pigment Black 7. In the present invention, various pigments can be used without being limited thereto. The pigment may be subjected to surface treatment such as rosin treatment, acidic group treatment, and basic treatment, if necessary.
【0024】液晶表示素子に用いられるカラーフィルタ
ーのR(レッド)、G(グリーン)、B(ブルー)の3
色の画素は、CRT蛍光体の色度特性に類似させる必要
があるため、上記の顔料はバックライトと液晶表示素子
の光線透過特性に合うよう、数色組み合わせて調色され
て用いられることが好ましい。たとえば、R(レッド)
は赤色顔料と黄色顔料または橙色顔料、G(グリーン)
は緑色顔料と黄色顔料または橙色顔料、B(ブルー)は
青色顔料と紫色顔料の組み合わせなどにより調色され
る。また、カラーフィルターのブラックマトリクスとし
て、黒色顔料、または、場合によりこれに他色の顔料を
混合したものを用いることもできる。Three of R (red), G (green) and B (blue) of color filters used for liquid crystal display elements
Since the color pixels need to be similar to the chromaticity characteristics of the CRT phosphor, the above pigments may be used in a combination of several colors so as to match the light transmission characteristics of the backlight and the liquid crystal display element. preferable. For example, R (red)
Is red pigment and yellow pigment or orange pigment, G (green)
Is a green pigment and a yellow pigment or an orange pigment, and B (blue) is toned by a combination of a blue pigment and a purple pigment. Further, as the black matrix of the color filter, a black pigment or, if necessary, a mixture of pigments of other colors can be used.
【0025】本発明のカラーぺーストにおいて、ポリア
ミック酸エステルと顔料は、通常、重量比で2:8〜
9:1、好ましくは3:7〜8:2、より好ましくは
4:6〜7:3の範囲で混合して用いられる。ポリアミ
ック酸エステルの量が少なすぎると、着色被膜の基板と
の接着性が不良となり、逆に顔料の量が少なすぎると着
色度が問題となる。In the color paste of the present invention, the polyamic acid ester and the pigment are usually in a weight ratio of 2: 8 to.
It is used in a mixture of 9: 1, preferably 3: 7 to 8: 2, and more preferably 4: 6 to 7: 3. If the amount of the polyamic acid ester is too small, the adhesion of the colored coating to the substrate becomes poor, and if the amount of the pigment is too small, the degree of coloring becomes a problem.
【0026】本発明のカラーぺーストの製造には、あら
かじめラクトン類中に顔料を分散した分散液とポリアミ
ック酸エステル溶液とを混合する方法と、ポリアミック
酸エステル溶液中で顔料を分散する方法がある。どちら
の方法でも、顔料を液体に分散させるが、分散方法には
特に限定はなく、ボールミル、サンドグラインダー、3
本ロールミル、高速度衝撃ミルなど、種々の方法がとり
うる。In the production of the color paste of the present invention, there are a method of mixing a dispersion liquid in which a pigment is previously dispersed in a lactone and a polyamic acid ester solution, and a method of dispersing a pigment in the polyamic acid ester solution. . In either method, the pigment is dispersed in the liquid, but the dispersing method is not particularly limited, and may be a ball mill, sand grinder, or 3
Various methods such as the present roll mill and high-speed impact mill can be used.
【0027】本発明において、カラーペースト中のポリ
アミック酸エステルの濃度は、通常0.5〜25重量
%、好ましくは1〜15重量%である。ポリアミック酸
エステルの濃度が低すぎても高すぎても、後述の方法で
基板に塗布し、良好な着色被膜を得ることが困難にな
る。In the present invention, the concentration of the polyamic acid ester in the color paste is usually 0.5 to 25% by weight, preferably 1 to 15% by weight. If the polyamic acid ester concentration is too low or too high, it will be difficult to apply it to the substrate by the method described below to obtain a good colored coating.
【0028】本発明のカラーペーストでは、ポリアミッ
ク酸エステルのエステル部分に光反応性の炭素−炭素不
飽和結合が含まれている場合、光重合開始剤や増感剤を
添加することによって、好ましい露光量によって、着色
被膜中に光架橋反応を引き起こし、未露光部を有機溶媒
またはアルカリ水溶液からなる現像液に溶解させること
により、パターン化された着色被膜を形成することがで
きる。光重合開始剤、増感剤の添加量は、通常ポリアミ
ック酸エステルの0.5〜25重量%、好ましくは1〜
15重量%である。量が少なすぎればその効果が発揮さ
れず、量が多すぎれば着色被膜の強度や接着力が低下す
る。光重合開始剤、増感剤の具体例としては、ミヒラー
ケトン、ベンゾインエーテル、1,2−ベンジル−9,
10−アントラキノン、N−フェニルグリシンなどが挙
げられるが、特にこれらに限定されず、種々の光重合開
始剤、増感剤を用いることができる。In the color paste of the present invention, when the ester portion of the polyamic acid ester contains a photoreactive carbon-carbon unsaturated bond, a photopolymerization initiator or a sensitizer is added to obtain a preferable exposure. Depending on the amount, a photocrosslinking reaction is caused in the colored coating film, and the unexposed portion is dissolved in a developing solution containing an organic solvent or an alkaline aqueous solution, whereby a patterned colored coating film can be formed. The addition amount of the photopolymerization initiator and the sensitizer is usually 0.5 to 25% by weight of the polyamic acid ester, preferably 1 to
15% by weight. If the amount is too small, the effect will not be exhibited, and if the amount is too large, the strength and adhesive strength of the colored coating will be reduced. Specific examples of the photopolymerization initiator and the sensitizer include Michler's ketone, benzoin ether, 1,2-benzyl-9,
Examples thereof include 10-anthraquinone and N-phenylglycine, but not limited to these, various photopolymerization initiators and sensitizers can be used.
【0029】塗布性、着色被膜の乾燥性を改良する目的
で、あるいは、顔料の分散性を良好にする目的で、本発
明のカラーぺーストに界面活性剤を添加することができ
る。界面活性剤の添加量は通常、顔料の0.001〜1
0重量%、好ましくは0.01〜1重量%である。添加
量が少なすぎると塗布性、着色被膜の乾燥性の改良、あ
るいは顔料の分散性の改良の効果がなく、多すぎると逆
に塗布性が不良となったり、顔料の凝集が起こる。界面
活性剤の具体例としては、ラウリル硫酸アンモニウム、
ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸トリエタノー
ルアミンなどの陰イオン界面活性剤、ステアリルアミン
アセテート、ラウリルトリメチルアンモニウムクロライ
ドなどの陽イオン界面活性剤、ラウリルジメチルアミン
オキサイド、ラウリルカルボキシメチルヒドロキシエチ
ルイミダゾリウムベタインなどの両性界面活性剤、ポリ
オキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレン
ステアリルエーテル、ソルビタンモノステアレートなど
の非イオン界面活性剤などが挙げられる。本発明では、
これらに限定されずに、界面活性剤が1種または2種以
上用いることができる。界面活性剤の添加は、顔料の分
散工程中またはその工程の前後のどの時点でも行うこと
ができる。しかし、添加の時点により顔料の分散性が変
わる場合があるので、注意を要する。A surfactant may be added to the color paste of the present invention for the purpose of improving the coating property and the drying property of the colored coating film, or for improving the dispersibility of the pigment. The amount of the surfactant added is usually 0.001-1 of the pigment.
It is 0% by weight, preferably 0.01 to 1% by weight. If the amount added is too small, there is no effect of improving the coatability, the drying property of the colored coating, or the dispersibility of the pigment, and if the amount is too large, the coatability is adversely affected or the pigment aggregates. Specific examples of the surfactant include ammonium lauryl sulfate,
Anion surfactants such as polyoxyethylene alkyl ether triethanolamine sulfate, cationic surfactants such as stearylamine acetate, lauryl trimethyl ammonium chloride, amphoteric interfaces such as lauryl dimethyl amine oxide, lauryl carboxymethyl hydroxyethyl imidazolium betaine Examples thereof include nonionic surfactants such as activators, polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene stearyl ether, and sorbitan monostearate. In the present invention,
The surfactant is not limited to these, and one or more surfactants can be used. The addition of the surfactant can be carried out during the pigment dispersion process or at any time before or after the process. However, care must be taken because the dispersibility of the pigment may change depending on the time of addition.
【0030】また、本発明のカラーぺーストに、着色被
膜の硬度を向上させるために、無機微粒子のコロイド状
物を添加してもよい。無機微粒子のコロイド状物の具体
的な例としては、シリカゾル、チタニアゾル、ジルコニ
アゾルなどが挙げられるが、特にこれらに限定されな
い。無機微粒子のコロイド状物を添加する場合その添加
量は、ポリアミック酸の1〜50重量%が好ましく、2
〜30重量%がさらに好ましい。添加量が大きすぎれ
ば、着色被膜が脆くなり、添加量が小さすぎれば、着色
被膜の硬度を向上させる効果が発揮されない。Further, a colloidal substance of inorganic fine particles may be added to the color paste of the present invention in order to improve the hardness of the colored film. Specific examples of the colloidal substance of inorganic fine particles include silica sol, titania sol, zirconia sol, etc., but are not particularly limited thereto. When the colloidal inorganic fine particles are added, the addition amount is preferably 1 to 50% by weight of the polyamic acid.
-30% by weight is more preferred. If the added amount is too large, the colored coating becomes brittle, and if the added amount is too small, the effect of improving the hardness of the colored coating is not exhibited.
【0031】本発明のカラーぺーストを基板上に塗布す
る方法としては、スピンコーター、バーコーター、ブレ
ードコーター、ロールコーター、ダイコーター、スクリ
ーン印刷法などで基板に塗布する方法、基板をペースト
中に浸漬する方法、ペーストを基板に噴霧するなどの種
々の方法を用いることができる。基板としては通常、ソ
ーダガラス、無アルカリガラス、ホウケイ酸ガラス、石
英ガラスなどの透明基板や、シリコン、ガリウム−ひ素
などの半導体基板などが用いられるが、特にこれらに限
定されない。なお、基板上にカラーペーストを塗布する
場合、シランカップリング剤、アルミニウムキレート
剤、チタニウムキレート剤などの接着助剤で基板表面を
処理しておくと、着色被膜と基板の接着力を向上させる
ことができる。The method for applying the color paste of the present invention onto a substrate includes a spin coater, a bar coater, a blade coater, a roll coater, a die coater, a screen printing method, and the like. Various methods such as a dipping method and a method of spraying a paste on the substrate can be used. As the substrate, a transparent substrate such as soda glass, non-alkali glass, borosilicate glass, or quartz glass, or a semiconductor substrate such as silicon or gallium-arsenide is usually used, but is not particularly limited thereto. When applying the color paste on the substrate, treating the substrate surface with an adhesion aid such as a silane coupling agent, an aluminum chelating agent, or a titanium chelating agent may improve the adhesive force between the colored film and the substrate. You can
【0032】本発明のカラーぺーストは、液晶ディスプ
レイや撮像素子のカラーフィルターのほか、光学素子の
遮光膜、光ファイバーの被覆膜などに用いられる。たと
えば、光ファイバーをカラーぺーストを用いて着色被膜
で被覆したものは、高温下での光学センサーとして利用
することができる。The color paste of the present invention is used for a color filter of a liquid crystal display or an image pickup device, a light-shielding film of an optical element, a coating film of an optical fiber, and the like. For example, an optical fiber coated with a colored coating using a color paste can be used as an optical sensor under high temperature.
【0033】次に本発明のカラーぺーストの代表的な用
途である液晶ディスプレイ用カラーフィルターを例に使
用方法の一例を説明する。Next, an example of the method of using the color filter for liquid crystal display, which is a typical application of the color paste of the present invention, will be described.
【0034】カラーぺーストを、前記のような方法で透
明基板上に塗布した後、風乾、加熱乾燥、真空乾燥など
により、ポリイミド前駆体着色被膜を形成する。加熱乾
燥の場合、オーブン、ホットプレートなどを使用し、5
0〜180℃の範囲で1分〜3時間行うのが好ましい。
その後、加熱処理することによって、ポリイミド着色被
膜に変換される。加熱処理は通常、空気中、窒素雰囲気
中、あるいは、真空中などで、200〜450℃、好ま
しくは250〜350℃の温度のもとで、0.1〜5時
間、連続的または段階的に行われる。次に、このように
して得られたポリイミド着色被膜に、通常の湿式エッチ
ングによりパターンを形成する。まず、ポリイミド着色
被膜上にネガ型フォトレジストを塗布し、フォトレジス
ト被膜を形成する。続いて該フォトレジスト被膜上にマ
スクを置き、露光装置を用いて紫外線を照射する。露光
後、ネガ型フォトレジスト用現像液により、フォトレジ
スト被膜のエッチングを行う。その後、ヒドラジンを用
いてポリイミド着色被膜をエッチングする。エッチング
後、不要となったフォトレジスト被膜を剥離する。ま
た、カラーペースト中のポリアミック酸エステルのエス
テル化率が10〜90%である場合、次のような工程を
採りうる。カラーぺーストを透明基板上に塗布した後、
風乾、加熱乾燥、真空乾燥などにより、ポリイミド前駆
体着色被膜を形成する。ポリイミド前駆体着色被膜上に
ポジ型フォトレジストを塗布し、フォトレジスト被膜を
形成する。続いて該フォトレジスト被膜上にマスクを置
き、露光装置を用いて紫外線を照射する。露光後、ポジ
型フォトレジスト用アルカリ現像液により、フォトレジ
スト被膜とポリイミド前駆体着色被膜のエッチングを同
時に行う。エッチング後、不要となったフォトレジスト
被膜を剥離する。ポリイミド前駆体着色被膜は、その
後、加熱処理することによって、ポリイミド着色被膜に
変換される。After the color paste is applied on the transparent substrate by the method as described above, the polyimide precursor colored film is formed by air drying, heat drying, vacuum drying or the like. For heat drying, use an oven, hot plate, etc.
It is preferably carried out in the range of 0 to 180 ° C. for 1 minute to 3 hours.
Then, it is converted into a polyimide colored film by heat treatment. The heat treatment is usually performed in air, in a nitrogen atmosphere, or in vacuum at a temperature of 200 to 450 ° C., preferably 250 to 350 ° C., for 0.1 to 5 hours, continuously or stepwise. Done. Next, a pattern is formed on the thus-obtained polyimide colored film by ordinary wet etching. First, a negative photoresist is applied on the polyimide colored coating to form a photoresist coating. Subsequently, a mask is placed on the photoresist film, and ultraviolet rays are irradiated using an exposure device. After the exposure, the photoresist film is etched with a negative photoresist developing solution. Then, the polyimide colored film is etched using hydrazine. After etching, the photoresist film that is no longer needed is removed. When the esterification rate of the polyamic acid ester in the color paste is 10 to 90%, the following steps can be taken. After applying the color paste on the transparent substrate,
A polyimide precursor colored film is formed by air drying, heat drying, vacuum drying, or the like. A positive photoresist is applied on the polyimide precursor colored coating to form a photoresist coating. Subsequently, a mask is placed on the photoresist film, and ultraviolet rays are irradiated using an exposure device. After the exposure, the photoresist coating and the polyimide precursor colored coating are simultaneously etched with a positive photoresist alkaline developer. After etching, the photoresist film that is no longer needed is removed. The polyimide precursor colored film is then converted into a polyimide colored film by heat treatment.
【0035】さらに,カラーペースト中のポリアミック
酸エステルのエステル部分に光反応性の炭素−炭素不飽
和結合が含まれている場合には、次のような工程を採
る。カラーぺーストを透明基板上に塗布した後、風乾、
加熱乾燥、真空乾燥などにより、感光性ポリイミド前駆
体着色被膜を形成する。続いて該感光性ポリイミド前駆
体着色被膜上にマスクを置き、露光装置を用いて紫外線
を照射する。露光後、感光性ポリイミド前駆体用現像液
により、感光性ポリイミド前駆体着色被膜のエッチング
を行う。感光性ポリイミド前駆体着色被膜は、その後、
加熱処理することによって、ポリイミド着色被膜に変換
される。When the ester portion of the polyamic acid ester in the color paste contains a photoreactive carbon-carbon unsaturated bond, the following steps are taken. After applying the color paste on the transparent substrate, air dry,
The photosensitive polyimide precursor colored film is formed by heat drying, vacuum drying, or the like. Subsequently, a mask is placed on the photosensitive polyimide precursor colored film, and ultraviolet rays are irradiated using an exposure device. After the exposure, the photosensitive polyimide precursor colored film is etched with a photosensitive polyimide precursor developing solution. The photosensitive polyimide precursor colored coating is then
By heat treatment, it is converted into a polyimide colored film.
【0036】なお、感光性ポリイミド前駆体用現像液と
しては、感光性ポリイミド前駆体のエステル化率が高い
場合には、ラクトン類やアミド系極性有機溶媒を主成分
とし、場合により水を少量添加した有機溶媒系現像液
を、エステル化率が低い場合には、アルカリ水溶液を用
いることができる。As the developing solution for the photosensitive polyimide precursor, when the esterification rate of the photosensitive polyimide precursor is high, a lactone or an amide-based polar organic solvent is the main component, and in some cases, a small amount of water is added. When the esterification rate is low, an alkaline aqueous solution can be used as the organic solvent-based developer.
【0037】以上の工程をR(レッド)、G(グリー
ン)、B(ブルー)の3色のカラーぺーストおよび必要
に応じてブラックのカラーぺーストについて行うと、液
晶ディスプレイ用カラーフィルターが作製できる。A color filter for a liquid crystal display can be manufactured by carrying out the above steps for three color pastes of R (red), G (green) and B (blue) and, if necessary, black color paste. .
【0038】[0038]
【実施例】以下、実施例によって本発明を具体的に説明
するが、本発明はこれらに限定されるものではない。EXAMPLES The present invention will now be described in detail with reference to Examples, but the present invention is not limited thereto.
【0039】実施例1 温度計および乾燥窒素導入口と攪拌装置を付した300
0mlの4つ口フラスコに、3,3´,4,4´−ビフ
ェニルテトラカルボン酸二無水物147.1g(0.5
モル当量)、エタノール46.1g(1モル当量)、N
−メチル−2−ピロリドン1000gを投入し、乾燥窒
素流入下、60℃で6時間攪拌し、均質な溶液を得た。
この溶液を冷却し、−5℃で塩化チオニル119.0g
(1モル当量)を滴下し、1時間攪拌した後、4,4´
−ジアミノジフェニルエ−テル140.2g(0.7モ
ル当量)、ビス−3−(アミノプロピル)テトラメチル
シロキサン12.4g(0.05モル当量)、およびN
−メチル−2−ピロリドン500gを投入し、乾燥窒素
流入下、40℃で4時間攪拌した。この溶液を2000
0mlの水に滴下し、ポリアミック酸エステルを沈殿さ
せた。沈殿物を水、次にメタノールで洗浄後、真空乾燥
してポリアミック酸エステルの粉末を得た。温度計およ
び乾燥窒素導入口と攪拌装置を付した3000mlの4
つ口フラスコに、粉末172.9gとγ−ブチロラクト
ン500gを投入して、乾燥窒素流入下、50℃で3時
間攪拌し、均質な溶液を得た。これに3,3´,4,4
´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物73.6g
(0.25モル当量)、γ−ブチロラクトン200gを
投入して1時間攪拌した後、4,4´−ジアミノジフェ
ニルエ−テル25.0g(0.125モル当量)および
γ−ブチロラクトン114.5gを添加し2時間攪拌し
てポリアミック酸のγ−ブチロラクトン溶液(ポリマー
濃度25重量%)を得た。この溶液を10g取り出し、
それにγ−ブチロラクトン18g、ブチルセロソルブ
3.3gを添加して、ポリマー濃度8重量%の溶液を得
た。Example 1 300 equipped with a thermometer and a dry nitrogen inlet and a stirrer
In a 0 ml four-necked flask, 147.1 g of 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (0.5
Molar equivalent), ethanol 46.1 g (1 molar equivalent), N
-Methyl-2-pyrrolidone (1000 g) was added, and the mixture was stirred at 60 ° C for 6 hours under a dry nitrogen flow to obtain a homogeneous solution.
The solution is cooled and thionyl chloride 119.0 g at -5 ° C.
(1 molar equivalent) was added dropwise, and after stirring for 1 hour, 4,4 '
-Diaminodiphenyl ether 140.2 g (0.7 molar equivalent), bis-3- (aminopropyl) tetramethylsiloxane 12.4 g (0.05 molar equivalent), and N
-Methyl-2-pyrrolidone (500 g) was added, and the mixture was stirred at 40 ° C for 4 hours while flowing dry nitrogen. 2000 this solution
The mixture was added dropwise to 0 ml of water to precipitate the polyamic acid ester. The precipitate was washed with water and then with methanol, and dried in vacuum to obtain a polyamic acid ester powder. 3000 ml of 4 equipped with thermometer and dry nitrogen inlet and stirrer
To a two-necked flask, 172.9 g of powder and 500 g of γ-butyrolactone were charged, and the mixture was stirred at 50 ° C. for 3 hours under a flow of dry nitrogen to obtain a homogeneous solution. 3,3 ', 4,4
73.6 g of ′ -biphenyltetracarboxylic dianhydride
(0.25 molar equivalent), 200 g of γ-butyrolactone was added and stirred for 1 hour, and then 25.0 g of 4,4′-diaminodiphenyl ether (0.125 molar equivalent) and 114.5 g of γ-butyrolactone were added. The mixture was added and stirred for 2 hours to obtain a γ-butyrolactone solution of polyamic acid (polymer concentration 25% by weight). Take 10 g of this solution,
18 g of γ-butyrolactone and 3.3 g of butyl cellosolve were added thereto to obtain a solution having a polymer concentration of 8% by weight.
【0040】ピグメントレッド177(クロモフタール
レッド)4g、γ−ブチロラクトン40g、ブチルセロ
ソルブ6gをガラスビーズ100gとともにホモジナイ
ザーを用い、7000rpmで30分間分散処理後、ガ
ラスビーズを濾過により除去した。Pigment Red 177 (Chromophtal red) 4 g, γ-butyrolactone 40 g and butyl cellosolve 6 g were dispersed together with 100 g of glass beads using a homogenizer at 7,000 rpm for 30 minutes, and the glass beads were removed by filtration.
【0041】顔料分散液20gに、ポリマー濃度8重量
%の溶液20gを添加混合し、本発明のカラーぺースト
を得た。このカラーぺーストを無アルカリガラス基板上
にスピンコートし、90℃で10分間、110℃で20
分間オーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚1.
6μmのポリイミド前駆体膜を得た。この膜上にポジ型
フォトレジスト(東京応化社製OFPR−800)を塗
布し、80℃で20分間加熱乾燥して膜厚1μmのレジ
スト膜を得た。紫外線露光機を用い、クロム製のフォト
マスクを介して紫外線を照射した。露光後、テトラメチ
ルアンモニウムハイドロオキサイドの2.38wt%の
水溶液からなる現像液に浸漬し、フォトレジストおよび
ポリイミド前駆体着色被膜の現像を同時に行った。エッ
チング後、不要となったフォトレジスト層をメチルセロ
ソルブアセテートで剥離した。さらにこのようにして得
られたポリイミド前駆体着色被膜を窒素雰囲気中で30
0℃で30分間熱処理し、膜厚1.2μmのポリイミド
着色被膜を得た。To 20 g of the pigment dispersion, 20 g of a solution having a polymer concentration of 8% by weight was added and mixed to obtain a color paste of the present invention. This color paste was spin-coated on a non-alkali glass substrate, 90 ° C. for 10 minutes, and 110 ° C. for 20 minutes.
Heat dried in air using an oven for 1 minute to obtain a film thickness of 1.
A 6 μm polyimide precursor film was obtained. A positive photoresist (OFPR-800 manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) was applied on this film and dried by heating at 80 ° C. for 20 minutes to obtain a resist film having a film thickness of 1 μm. Ultraviolet rays were irradiated through a chromium photomask using an ultraviolet exposure device. After the exposure, the photoresist and the colored film of the polyimide precursor were developed at the same time by immersing in a developing solution composed of a 2.38 wt% aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide. After etching, the unnecessary photoresist layer was peeled off with methyl cellosolve acetate. Further, the polyimide precursor colored film thus obtained was used in a nitrogen atmosphere for 30 minutes.
It was heat-treated at 0 ° C. for 30 minutes to obtain a 1.2 μm-thick polyimide colored coating film.
【0042】この膜の表面粗さを表面粗さ測定装置で測
定したところ、0.006μmであった。また、顕微分
光光度計で、偏光子と検光子が平行および垂直な場合の
輝度を測定し、その比(コントラスト)を求めたとこ
ろ、コントラストは680であった。The surface roughness of this film was measured by a surface roughness measuring device and found to be 0.006 μm. In addition, the brightness when the polarizer and the analyzer were parallel and vertical was measured with a microspectrophotometer, and the ratio (contrast) was determined. The contrast was 680.
【0043】比較例1 実施例1でγ−ブチロラクトンのかわりにN−メチル−
2−ピロリドンを用いてカラーぺーストを得た。これを
使用し、同様な操作によりパターン化された膜厚1.2
μmのポリイミド着色被膜を得た。Comparative Example 1 Instead of γ-butyrolactone in Example 1, N-methyl-
A color paste was obtained using 2-pyrrolidone. Using this, a patterned film thickness of 1.2
A polyimide colored coating of μm was obtained.
【0044】この膜の表面粗さを測定したところ、0.
074μmであった。また、コントラストは270であ
った。The surface roughness of this film was measured and found to be 0.
It was 074 μm. The contrast was 270.
【0045】実施例2 温度計および乾燥空気導入口と攪拌装置を付した300
0mlの4つ口フラスコに、3,3´,4,4´−ベン
ゾフェノンテトラカルボン酸二無水物193.3g
(0.6モル当量)、ヒドロキシエチルメタクリラート
156.2g(1.2モル当量)、N−メチル−2−ピ
ロリドン1000gを投入し、乾燥空気流入下、室温で
100時間攪拌し、均質な溶液を得た。この溶液を冷却
し、−5℃で塩化チオニル142.8g(1.2モル当
量)を滴下し、1時間攪拌した後、m−フェニレンジア
ミン54.1g(0.5モル当量)、4,4´−ジアミ
ノジフェニルエ−テル140.2g(0.25モル当
量)、ビス−3−(アミノプロピル)テトラメチルシロ
キサン12.4g(0.05モル当量)、およびN−メ
チル−2−ピロリドン500gを投入し、乾燥空気流入
下、40℃で4時間攪拌した。この溶液を20000m
lの水に滴下し、ポリアミック酸エステルを沈殿させ
た。沈殿物を水、次にメタノールで洗浄後、真空乾燥し
てポリアミック酸エステルの粉末を得た。温度計および
乾燥空気導入口と攪拌装置を付した3000mlの4つ
口フラスコに、粉末278.1gとγ−ブチロラクトン
500gを投入して、乾燥空気流入下、40℃で3時間
攪拌し、均質な溶液を得た。これにピロメリット酸無水
物43.6g(0.2モル当量)、γ−ブチロラクトン
200gを投入して1時間攪拌した後、4,4´−ジア
ミノジフェニルエ−テル20.0g(0.1モル当量)
およびγ−ブチロラクトン97.3gを添加し2時間攪
拌してポリアミック酸のγ−ブチロラクトン溶液(ポリ
マー濃度30重量%)を得た。この溶液を15g取り出
し、それにγ−ブチロラクトン25g、ブチルセロソル
ブ5gを添加して、ポリマー濃度10重量%の溶液を得
た。Example 2 300 equipped with a thermometer and a dry air inlet and a stirrer
In a 0 ml four-necked flask, 193.3 g of 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride
(0.6 molar equivalent), 156.2 g of hydroxyethyl methacrylate (1.2 molar equivalent), and 1000 g of N-methyl-2-pyrrolidone were added, and the mixture was stirred at room temperature for 100 hours under a flow of dry air to give a homogeneous solution. Got The solution was cooled, thionyl chloride (142.8 g, 1.2 molar equivalents) was added dropwise at -5 ° C, and the mixture was stirred for 1 hour. Then, m-phenylenediamine (54.1 g, 0.5 molar equivalent), 4,4. ′ -Diaminodiphenyl ether 140.2 g (0.25 molar equivalent), bis-3- (aminopropyl) tetramethylsiloxane 12.4 g (0.05 molar equivalent), and N-methyl-2-pyrrolidone 500 g It was charged and stirred at 40 ° C. for 4 hours while flowing in dry air. This solution is 20,000m
It was dripped at 1 l of water to precipitate the polyamic acid ester. The precipitate was washed with water and then with methanol, and dried in vacuum to obtain a polyamic acid ester powder. Into a 3000 ml four-necked flask equipped with a thermometer, a dry air inlet and a stirrer, 278.1 g of powder and 500 g of γ-butyrolactone were charged, and the mixture was stirred at 40 ° C. for 3 hours under a flow of dry air to obtain a homogeneous mixture. A solution was obtained. 43.6 g (0.2 mol equivalent) of pyromellitic anhydride and 200 g of γ-butyrolactone were added to this and stirred for 1 hour, and then 20.0 g (0.1 mol of 4,4′-diaminodiphenyl ether) was added. Equivalent)
And 97.3 g of γ-butyrolactone were added and stirred for 2 hours to obtain a γ-butyrolactone solution of a polyamic acid (polymer concentration 30% by weight). 15 g of this solution was taken out, and 25 g of γ-butyrolactone and 5 g of butyl cellosolve were added thereto to obtain a solution having a polymer concentration of 10% by weight.
【0046】ピグメントグリーン7(フタロシアニング
リーン)3.6g、ピグメントイエロー83(ベンジジ
ンイエロー)0.4g、γ−ブチロラクトン32g、ブ
チルセロソルブ4gをガラスビーズ120gとともにホ
モジナイザーを用い、7000rpmで30分間分散処
理後、ガラスビーズを濾過により除去した。Pigment Green 7 (Phthalocyanine Green) 3.6 g, Pigment Yellow 83 (Benzidine Yellow) 0.4 g, γ-butyrolactone 32 g, and butyl cellosolve 4 g together with 120 g of glass beads were dispersed with glass homogenizer at 7,000 rpm for 30 minutes. The beads were removed by filtration.
【0047】ポリマー濃度10重量%の溶液24gにミ
ヒラーケトン0.2g、N−フェニルグリシン0.1g
を溶解し、それに顔料分散液16gを添加混合し、本発
明のカラーぺーストを得た。このカラーぺーストを無ア
ルカリガラス基板上にスピンコートし、100℃で10
分間オーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚1.
6μmの感光性ポリイミド前駆体着色被膜を得た。。紫
外線露光機を用い、クロム製のフォトマスクを介して紫
外線を照射した。露光後、テトラメチルアンモニウムハ
イドロオキサイドの2.38wt%の水溶液からなる現
像液に浸漬し、感光性ポリイミド前駆体着色被膜の現像
を行った。さらにこのようにして得られた感光性ポリイ
ミド前駆体着色被膜を窒素雰囲気中で290℃で40分
間熱処理し、膜厚1.1μmのポリイミド着色被膜を得
た。0.2 g of Michler's ketone and 0.1 g of N-phenylglycine were added to 24 g of a solution having a polymer concentration of 10% by weight.
Was dissolved and 16 g of the pigment dispersion was added and mixed to obtain a color paste of the present invention. This color paste is spin-coated on a non-alkali glass substrate, and the temperature is 100 ° C.
Heat dried in air using an oven for 1 minute to obtain a film thickness of 1.
A 6 μm photosensitive polyimide precursor colored coating was obtained. . Ultraviolet rays were irradiated through a chromium photomask using an ultraviolet exposure device. After the exposure, the photosensitive polyimide precursor colored film was developed by immersing it in a developing solution composed of a 2.38 wt% aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide. Further, the photosensitive polyimide precursor colored film thus obtained was heat-treated at 290 ° C. for 40 minutes in a nitrogen atmosphere to obtain a polyimide colored film having a thickness of 1.1 μm.
【0048】この膜の表面粗さは0.008μmであっ
た。また、コントラストは540であった。The surface roughness of this film was 0.008 μm. The contrast was 540.
【0049】実施例3 温度計および乾燥窒素導入口と攪拌装置を付した200
0mlの4つ口フラスコに、ピロメリット酸無水物8
7.2g(0.4モル当量)、メタノール25.6g
(0.8モル当量)、N−メチル−2−ピロリドン50
0gを投入し、乾燥窒素流入下、50℃で6時間攪拌
し、均質な溶液を得た。この溶液を冷却し、−5℃で塩
化チオニル95.2g(0.8モル当量)を滴下し、1
時間攪拌した後、3,3´−ジアミノジフェニルスルホ
ン161.3g(0.65モル当量)、ビス−3−(ア
ミノプロピル)テトラメチルシロキサン12.4g
(0.05モル当量)、およびN−メチル−2−ピロリ
ドン500gを投入し、乾燥窒素流入下、40℃で4時
間攪拌した。この溶液を20000mlの水に滴下し、
ポリアミック酸エステルを沈殿させた。沈殿物を水、次
にメタノールで洗浄後、真空乾燥してポリアミック酸エ
ステルの粉末を得た。温度計および乾燥窒素導入口と攪
拌装置を付した2000mlの4つ口フラスコに、粉末
143.3gとγ−ブチロラクトン400gを投入し
て、乾燥窒素流入下、50℃で3時間攪拌し、均質な溶
液を得た。これに3,3´,4,4´−ビフェニルテト
ラカルボン酸二無水物88.3g(0.3モル当量)、
γ−ブチロラクトン200gを投入して1時間攪拌した
後、4,4´−ジアミノジフェニルエ−テル30.0g
(0.15モル当量)、およびγ−ブチロラクトン18
4.8gを添加し2時間攪拌してポリアミック酸のγ−
ブチロラクトン溶液(ポリマー濃度25重量%)を得
た。この溶液を120g取り出し、それにγ−ブチロラ
クトン50g、N−メチル−2−ピロリドン50g、ブ
チルセロソルブ30gを添加して、ポリマー濃度12重
量%の溶液を得た。Example 3 200 equipped with a thermometer and dry nitrogen inlet and a stirrer
In a 0 ml 4-necked flask, pyromellitic dianhydride 8
7.2 g (0.4 molar equivalent), methanol 25.6 g
(0.8 molar equivalent), N-methyl-2-pyrrolidone 50
0 g was added, and the mixture was stirred at 50 ° C. for 6 hours under a flow of dry nitrogen to obtain a homogeneous solution. This solution was cooled, and 95.2 g (0.8 molar equivalent) of thionyl chloride was added dropwise at -5 ° C, and 1
After stirring for 3 hours, 161.3 g (0.65 molar equivalent) of 3,3′-diaminodiphenyl sulfone and 12.4 g of bis-3- (aminopropyl) tetramethylsiloxane
(0.05 molar equivalent) and N-methyl-2-pyrrolidone (500 g) were added, and the mixture was stirred at 40 ° C. for 4 hours while flowing dry nitrogen. This solution was added dropwise to 20000 ml of water,
The polyamic acid ester was precipitated. The precipitate was washed with water and then with methanol, and dried in vacuum to obtain a polyamic acid ester powder. To a 2000 ml four-necked flask equipped with a thermometer, a dry nitrogen inlet, and a stirrer, 143.3 g of the powder and 400 g of γ-butyrolactone were charged, and the mixture was stirred at 50 ° C. for 3 hours under an inflow of dry nitrogen to obtain a homogeneous mixture. A solution was obtained. Then, 88.3 g (0.3 molar equivalent) of 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride,
After adding 200 g of γ-butyrolactone and stirring for 1 hour, 3,4 g of 4,4′-diaminodiphenyl ether was added.
(0.15 molar equivalent), and γ-butyrolactone 18
4.8 g was added, and the mixture was stirred for 2 hours, then the polyamic acid γ-
A butyrolactone solution (polymer concentration 25% by weight) was obtained. 120 g of this solution was taken out, and 50 g of γ-butyrolactone, 50 g of N-methyl-2-pyrrolidone and 30 g of butyl cellosolve were added thereto to obtain a solution having a polymer concentration of 12% by weight.
【0050】この溶液62.5gとピグメントブルー1
5(フタロシアニンブルー)2.5gをガラスビーズ1
50gとともにホモジナイザーを用い、7000rpm
で30分間分散処理後、ガラスビーズを濾過により除去
し、本発明のカラーペーストを得た。このカラーぺース
トを用い、実施例1と同様の操作を行い、膜厚1.2μ
mのパターン化されたポリイミド着色被膜を得た。62.5 g of this solution and Pigment Blue 1
Glass beads 1 with 2.5 g of 5 (phthalocyanine blue)
Using a homogenizer with 50g, 7,000 rpm
After 30 minutes of dispersion treatment, the glass beads were removed by filtration to obtain the color paste of the present invention. Using this color paste, the same operation as in Example 1 was performed to obtain a film thickness of 1.2 μm.
A patterned polyimide colored coating of m was obtained.
【0051】この膜の表面粗さは、0.004μmであ
った。また、コントラストは920であった。The surface roughness of this film was 0.004 μm. The contrast was 920.
【0052】この膜上に実施例1で作製した赤色カラー
ペーストを塗布し、その後、パターン加工を行ったが、
この青色着色被膜に異常は認められなかった。On this film, the red color paste prepared in Example 1 was applied, and then pattern processing was performed.
No abnormality was observed in this blue colored coating.
【0053】比較例2 実施例3で得られたパターン化された青色着色被膜上
に、比較例1で作製した赤色カラーペーストを塗布し、
その後、パターン加工を行ったところ、青色着色被膜に
クラックが生じた。Comparative Example 2 On the patterned blue colored coating film obtained in Example 3, the red color paste prepared in Comparative Example 1 was applied,
After that, when pattern processing was performed, cracks occurred in the blue colored film.
【0054】[0054]
【発明の効果】本発明は上述のごとく構成したので、平
坦でコントラストの大きいカラーフィルターを形成する
ことができる利点がある。また、この発明によれば、耐
溶剤性の不良なポリイミドを用いても、多色のパターン
化されたカラーフィルターを形成できるという顕著な効
果を奏するものである。Since the present invention is constructed as described above, there is an advantage that a flat color filter having a large contrast can be formed. Further, according to the present invention, a remarkable effect that a multicolor patterned color filter can be formed even if a polyimide having poor solvent resistance is used.
Claims (4)
し、ラクトン類を主溶剤とするカラーぺースト。1. A color paste containing a pigment and a polyamic acid ester and containing a lactone as a main solvent.
10〜90%であることを特徴とする請求項1記載のカ
ラーペースト。2. The color paste according to claim 1, wherein the esterification rate of the polyamic acid ester is 10 to 90%.
光反応性の炭素−炭素不飽和結合が含まれていることを
特徴とする請求項1または2記載のカラーペースト。3. The color paste according to claim 1, wherein the ester portion of the polyamic acid ester contains a photoreactive carbon-carbon unsaturated bond.
してなる請求項1〜3のいずれかに記載のカラーペース
ト。4. The color paste according to claim 1, which contains a photopolymerization initiator and / or a sensitizer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23148694A JPH0892496A (en) | 1994-09-27 | 1994-09-27 | Color paste |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23148694A JPH0892496A (en) | 1994-09-27 | 1994-09-27 | Color paste |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0892496A true JPH0892496A (en) | 1996-04-09 |
Family
ID=16924251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23148694A Pending JPH0892496A (en) | 1994-09-27 | 1994-09-27 | Color paste |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0892496A (en) |
-
1994
- 1994-09-27 JP JP23148694A patent/JPH0892496A/en active Pending
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