JPH0897264A - 試料検査装置における試料搬送方法及び試料搬送装置 - Google Patents

試料検査装置における試料搬送方法及び試料搬送装置

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JPH0897264A
JPH0897264A JP6256032A JP25603294A JPH0897264A JP H0897264 A JPH0897264 A JP H0897264A JP 6256032 A JP6256032 A JP 6256032A JP 25603294 A JP25603294 A JP 25603294A JP H0897264 A JPH0897264 A JP H0897264A
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聡 榎戸
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  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】次工程で良・不良の検出及び選別を行なう必要
がない試料検査装置における試料搬送方法及び試料搬送
装置を提供する。 【構成】ローダ側マガジン２１に収納された試料を検査
位置に送って試料検査装置１０で検査し、良品の試料は
元のローダ側マガジン２１に収納し、不良品の試料はア
ンローダ側マガジン３１に収納するように搬送する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ボンディング後の試料
を検査する試料検査装置における試料搬送方法及び試料
搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ボンディングされたワイヤの検査
装置として、例えば特開平５−１６０２３３号公報があ
げられる。この検査装置の概略を図４に示す。半導体チ
ップ１のパッド２とリードフレーム３のリード４を接続
するようにワイヤ５がボンデイングされた試料６は、検
査台７に載置されている。検査台７に載置された試料６
の上方には照明手段１１が配設され、照明手段１１は光
学系１２の下部に取付けられている。光学系１２の上部
には絞り手段１３を介してＣＣＤ（光電変換素子）カメ
ラ等の撮像装置１４が取付けられている。照明手段１１
及び撮像装置１４が取付けられた光学系１２は、ＸＹテ
ーブル１５上に固定された支持ブロック１６に上下動可
能に取付けられ、Ｚ軸モータ１７で上下駆動されるよう
になっている。
【０００３】このようなワイヤ検査装置１０を用いてワ
イヤボンディング後のワイヤの、例えば第１ボンディン
グ点にボンディングされたボールの位置ずれ、ボール径
等、第２ボンディング点にボンディングされたクレセン
トの位置ずれ、クレセントの幅及び長さ等、またワイヤ
の高さ及び曲がり等が検査される。
【０００４】ところで、従来のワイヤ検査装置１０にお
ける試料搬送装置は、図５に示すようになっている。ワ
イヤ検査装置１０の両側はローダ側２０及びアンローダ
側３０となっており、ローダ側２０には、検査する試料
６を一定ピッチで縦方向に収納したローダ側マガジン２
１が配設され、アンローダ側３０には、検査終了後の試
料６を収納するアンローダ側マガジン３１が配設されて
いる。ローダ側マガジン２１及びアンローダ側マガジン
３１は、それぞれ図示しないエレベータ上に位置決め載
置されており、エレベータはそれぞれローダ側モータ２
２及びアンローダ側モータ３２によって１ピッチづつ上
下動させられる。またローダ側２０には、ローダ側マガ
ジン２１内の試料６を押し出すローダ側プッシャ２３が
設けられている。またローダ側マガジン２１とアンロー
ダ側マガジン３１間には、検査する試料６を前記検査台
７上に搬送及び検査済の試料６を検査台７上より搬出す
る試料フィーダ４０が設けられている。なお、図中、４
１はマーキングユニットを示す。
【０００５】従来、かかるワイヤ検査装置における試料
搬送方法は次のようになっている。ローダ側マガジン２
１より試料６がローダ側プッシャ２３によって試料フィ
ーダ４０上に押し出され、試料フィーダ４０により検査
台７に搬出され位置決めされる。そして、ワイヤ検査装
置１０によって試料６のデバイス部の前記した例えばボ
ンディング点の位置ずれ等が検査される。検査が終了す
ると、該試料６は試料フィーダ４０によって次のデバイ
ス部が検査位置に搬送されて位置決めされる。そして、
そのデバイス部が検査される。このようにして検査が行
なわれ、検査されたデバイス部が不良であると、該デバ
イス部がマーキングユニット４１の下方に位置した時
に、該マーキングユニット４１によって不良マークが付
される。そして、その試料６の全てのデバイス部の検査
が終了した場合、この試料６を収納するための検査位置
からの搬出には、次の２通りの方法が行なわれている。
【０００６】第１の搬出方法は標準タイプで、検査済の
試料６を試料フィーダ４０によってアンローダ側３０に
搬送し、アンローダ側マガジン３１に収納する。この方
法においては、前記のようにローダ側マガジン２１より
試料６が搬出される毎に、該ローダ側マガジン２１はロ
ーダ側モータ２２によって１ピッチ下降させられ、ロー
ダ側マガジン２１内の次の試料６が搬送レベルに位置す
る。またアンローダ側マガジン３１においては、試料６
が収納される毎に、該アンローダ側マガジン３１はアン
ローダ側モータ３２によって１ピッチ下降させられ、次
の収納部が搬送レベルに位置する。
【０００７】第２の搬出方法は戻しタイプで、アンロー
ダ側マガジン３１は使用しなく、元のローダ側マガジン
２１に収納する方法である。即ち、検査済の試料６は、
試料フィーダ４０によってローダ側２０に搬送され、ロ
ーダ側マガジン２１に収納される。この方法において
は、ローダ側マガジン２１は、該ローダ側マガジン２１
より試料６が搬出され、その後に検査済の試料６がロー
ダ側マガジン２１に収納されるまでは上下動しなく、収
納後にローダ側モータ２２によって１ピッチ下降させら
れる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、試料６はロ
ット管理されるので、個々のマガジン２１、３１にそれ
ぞれＩＤ番号等を付け、そのＩＤ番号により生産管理を
行なっている。このため、前記した第１の搬出方法のよ
うに検査済の試料６をアンローダ側マガジン３１へ収納
する方法では、処理前後で別のマガジン２１、３１に収
納されるので、試料６のマガジン登録の変更を行なう必
要がある。この点、前記したように検査済の試料６を元
のローダ側マガジン２１に収納する方法では、マガジン
の変更がないのでマガジン登録の変更を行なう必要がな
い。
【０００９】しかし、上記いずれの方法も、不良マーク
が付された試料６が次工程に送られた場合、次工程にお
いては不良マークを検出し、良・不良選別を行なう必要
がある。しかるに最近、検査終了後の試料６を再び良・
不良検出及び選別をしないで次工程を処理する要望が高
くなり、次工程での良・不良の検出及び選別を無くする
ことが課題となっていた。一方、ユーザの生産ラインに
は、種々の形態があって多様化しており、かかる多様化
した生産ラインに対応した柔軟性も要求されている。
【００１０】本発明の第１の目的は、次工程で良・不良
の検出及び選別を行なう必要がない試料検査装置におけ
る試料搬送方法及び試料搬送装置を提供することにあ
る。
【００１１】本発明の第２の目的は、多様化した生産ラ
インに対応した柔軟性を有する試料検査装置における試
料搬送方法及び試料搬送装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記第１の目的を達成す
るための本発明の第１の方法は、ボンディングされた試
料を検査する試料検査装置と、この試料検査装置の両側
に配設され、上下動するエレベータに保持されたローダ
側マガジン及びアンローダ側マガジンと、ローダ側マガ
ジンとアンローダ側マガジンとの間に配設され、試料を
前記試料検査装置の検査位置に搬送及び検査位置より搬
出する試料フィーダとを備えた試料搬送装置において、
前記ローダ側マガジンに収納された試料を前記検査位置
に送って試料検査装置で検査し、良品の試料は元の前記
ローダ側マガジンに収納し、不良品の試料は前記アンロ
ーダ側マガジンに収納するように搬送することを特徴と
する。
【００１３】上記第１及び第２の目的を達成するための
本発明の第２の方法は、ボンディングされた試料を検査
する試料検査装置と、この試料検査装置の両側に配設さ
れ、上下動するエレベータに保持されたローダ側マガジ
ン及びアンローダ側マガジンと、ローダ側マガジンとア
ンローダ側マガジンとの間に配設され、試料を前記試料
検査装置の検査位置に搬送及び検査位置より搬出する試
料フィーダとを備えた試料搬送装置において、前記ロー
ダ側マガジンに収納された試料を前記検査位置に送って
試料検査装置で検査し、不良品は不良マークを付し、検
査済の試料を全て前記アンローダ側マガジンに収納する
標準タイプと、検査済の試料を全て元の前記ローダ側マ
ガジンに収納する戻しタイプと、良品の試料は元の前記
ローダ側マガジンに収納し、不良品の試料は前記アンロ
ーダ側マガジンに収納する選別タイプとの３種類の搬送
タイプを有し、前記３種類の搬送タイプのいずれかを選
択できることを特徴とする。
【００１４】上記第１の目的を達成するための本発明の
第１の装置は、ボンディングされた試料を検査する試料
検査装置と、この試料検査装置の両側に配設され、上下
動するエレベータに保持されたローダ側マガジン及びア
ンローダ側マガジンと、ローダ側マガジンとアンローダ
側マガジンとの間に配設され、試料を前記試料検査装置
の検査位置に搬送及び検査位置より搬出する試料フィー
ダとを備えた試料搬送装置において、検査済の試料の
内、良品のみローダ側マガジンへ戻して収納し、不良品
はアンローダ側マガジンに収納する選別タイプの制御手
順を記憶した搬送制御メモリと、この搬送制御メモリの
制御手順に従い、ローダ側、アンローダ側、試料フィー
ダを制御する演算装置とを有することを特徴とする。
【００１５】上記第１及び第２の目的を達成するための
本発明の第２の装置は、ボンディングされた試料を検査
する試料検査装置と、この試料検査装置の両側に配設さ
れ、上下動するエレベータに保持されたローダ側マガジ
ン及びアンローダ側マガジンと、ローダ側マガジンとア
ンローダ側マガジンとの間に配設され、試料を前記試料
検査装置の検査位置に搬送及び検査位置より搬出する試
料フィーダとを備えた試料搬送装置において、検査済の
試料をアンローダ側マガジンに収納する標準タイプ、検
査済の試料を元のローダ側マガジンに戻して収納する戻
しタイプ、検査済の試料の内、良品のみローダ側マガジ
ンへ戻して収納し、不良品はアンローダ側マガジンに収
納する選別タイプの３種類の制御手順を記憶した搬送制
御メモリと、この搬送制御メモリの３種類の搬送タイプ
の内の選択されたタイプの制御手順に従い、ローダ側、
アンローダ側、試料フィーダを制御する演算装置とを有
することを特徴とする。
【００１６】
【作用】第１の方法及び装置は、検査済の試料の内、良
品は元のローダ側マガジンに収納し、不良品はアンロー
ダ側マガジンに収納する。従って、マガジン登録変更の
必要がなく、また次工程で不良品を選別する作業も必要
ない。
【００１７】第２の方法及び装置は、検査済の試料を、
アンローダ側マガジンに収納する標準タイプと、元のロ
ーダ側マガジンに戻す戻しタイプと、良品は元のローダ
側マガジンに戻し、不良品はアンローダ側マガジンに収
納する選別タイプとの３種類の搬送タイプが任意に選択
できる。従って、生産ラインに対応した必要なタイプが
選択でき、多様化した生産ラインに対応した柔軟性を有
する。
【００１８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１乃至図４によ
り説明する。図１に示すように、ワイヤ検査装置１０の
両側には、第１及び第２のマーキングユニット４２、４
３が配設されている。その他は図５と同じ構成よりなる
ので、同一符号を付しその説明は省略する。
【００１９】図２は図１の試料搬送装置の制御回路を示
す。図２に示すように、図４の撮像装置１４で撮像した
映像は、画像入力手段５０によってデジタル信号に変換
されて画像記憶メモリ５１に記憶され、この画像記憶メ
モリ５１に記憶された画像形状は、画像処理部５２によ
って画像処理されると共に、画像はモニター５３に表示
される。またＸＹテーブル１５を駆動するＸ軸モータ及
びＹ軸モータ並びにＺ軸モータ１７は、ＸＹＺ駆動部５
４によって制御され、ＸＹＺ駆動部５４は、手動入力手
段５５によって直接制御又は演算制御部７０によって制
御される。また照明手段１１、絞り手段１３等の光学系
駆動部５６の設定も演算制御部７０によって制御され
る。
【００２０】更にローダ側２０の駆動部６０（ローダ側
モータ２２及びローダ側プッシャ２３の駆動部）、アン
ローダ側３０の駆動部６１（アンローダ側モータ３２の
駆動部）、試料フィーダ４０の駆動部６２、第１及び第
２のマーキングユニット４２、４３の駆動部６３、６４
も演算制御部７０によって制御される。演算制御部７０
は、メイン制御部７１に記憶された手順によって前記Ｘ
ＹＺ駆動部５４、光学系駆動部５６を制御する他に、前
記画像処理部５２で処理された画像の検査値を算出し、
検査データ記憶メモリ７２に記憶された検査データと比
較して良否判定を行う。
【００２１】また本実施例は、前記ローダ側２０の駆動
部６０、アンローダ側３０の駆動部６１、試料フィーダ
４０の駆動部６２、第１及び第２のマーキングユニット
４２、４３の駆動部６３、６４の制御手順を記憶した搬
送制御メモリ７３を有する。搬送制御メモリ７３には、
３種類の搬送タイプ７４、、７５、７６が記憶されてい
る。第１の搬送タイプは従来の技術の項で説明した標準
タイプ７４である。即ち、ローダ側マガジン２１より搬
出され、ワイヤ検査装置１０で検査された検査済の試料
６をアンローダ側マガジン３１に収納する。第２の搬送
タイプは従来の技術の項で説明した戻しタイプ７５であ
る。即ち、ローダ側マガジン２１より搬出され、ワイヤ
検査装置１０で検査された検査済の試料６を元のローダ
側マガジン２１に戻して収納する。第３の搬送タイプは
選別タイプ７６であり、ローダ側マガジン２１より搬出
され、ワイヤ検査装置１０で検査された検査済の試料６
の内、良品のみローダ側マガジン２１へ戻して収納し、
不良品はアンローダ側マガジン３１に収納する。
【００２２】そこで、前記した３つの搬送タイプに従っ
てローダ側２０、アンローダ側３０及び試料フィーダ４
０の制御が異なるので、搬送制御メモリ７３には、前記
３種類に応じた制御手順が記憶されている。この搬送制
御メモリ７３への制御手順の入力及び記憶された３種類
のタイプの選択は、手動入力手段５５より演算制御部７
０を通して行われる。即ち、搬送制御メモリ７３に記憶
された３種類の搬送タイプの内の選択されたタイプの手
順に従い、演算制御部７０はローダ側２０、アンローダ
側３０、試料フィーダ４０、第１及び第２のマーキング
ユニット４２、４３を制御する。
【００２３】次に作用を図３を参照しながら図１、図２
及び図４により説明する。ワイヤ検査、例えば第１ボン
ディング点のボールの位置ずれ等の検査は周知であり、
また本発明の要旨と直接関係しないので、ワイヤ検査自
体の説明は省略する。予め搬送制御メモリ７３に記憶さ
れた３種類の搬送タイプ７４、、７５、７６の内のいず
れかを手動入力手段５５により選択すると、その選択さ
れたタイプの制御手順に従ってローダ側マガジン２１、
アンローダ側マガジン３１及び試料フィーダ４０は制御
される。ローダ側マガジン２１に収納された試料６の試
料フィーダ４０への搬出は、３種類の内のどれが選択さ
れても同じである。即ち、ローダ側プッシャ２３が作動
し、ローダ側マガジン２１より試料６の搬出８０が行わ
れる。それ以降は、選択されたタイプによって試料６の
送り、ローダ側マガジン２１及びアンローダ側マガジン
３１の作動が異なる。
【００２４】標準タイプ７４又は選別タイプ７６が選択
されている場合は、試料６の最先端部側のデバイス部が
検査台７の検査位置に位置決めされて検査され、検査が
終了すると次のデバイス部が検査位置に位置決めされて
検査される。即ち、最初の方から順次検査されるように
試料６はアンローダ側３０の方に送られる。戻しタイプ
７５が選択された場合は、試料６の最後端部側のデバイ
ス部が検査位置に位置決めされて検査され、検査が終了
すると最後端部側から２番目のデバイス部が検査位置に
位置決めされて検査される。即ち、最後の方から順次検
査されるように試料６はローダ側２０の方に送られる。
そこで、以後、検査する順番に従って１番目のデバイス
部、２番目のデバイス部・・・として説明する。
【００２５】ローダ側マガジン２１より試料６が搬出８
０され、該試料６の１番目のデバイス部が検査位置へ搬
送８１されて位置決めされると、ワイヤ検査装置１０に
よってワイヤ検査８２が行われ、演算制御部７０によっ
て良否判定８３が行われる。本実施例においては、第１
及び第２のマーキングユニット４２、４３は、ワイヤ検
査装置１０による検査位置より試料６のデバイス部の一
定ピッチ分だけ離れて配置されている。そこで、試料６
が試料フィーダ４０によって１ピッチ送られる（次のデ
バイス部が検査位置に搬送８４される）と、１番目のデ
バイス部は、標準タイプ７４又は選別タイプ７６の場合
は第１のマーキングユニット４２の下方に位置し、戻し
タイプ７５の場合は第１のマーキングユニット４２の下
方に位置する。そして、前記良否判定８３によって不良
と判定された場合は、第１のマーキングユニット４２又
は第２のマーキングユニット４３が作動して不良マーク
捺印８５する。
【００２６】このようにして各デバイス部の検査が順次
行われ、最終デバイス部の検査が終了すると、試料フィ
ーダ４０によって検査済の試料６の収納動作が行われ
る。標準タイプ７４の場合は、試料６をアンローダ側３
０に送ってアンローダ側マガジン３１に収納する。戻し
タイプ７５の場合は、試料６をローダ側２０に送ってロ
ーダ側マガジン２１に収納する。選別タイプ７６の場合
は、良品の試料６はローダ側２０に送ってローダ側マガ
ジン２１に収納し、不良品の試料６はアンローダ側３０
に送ってアンローダ側マガジン３１に収納する。
【００２７】また標準タイプ７４の場合は、前記のよう
にローダ側マガジン２１より試料６が搬出される毎に、
該ローダ側マガジン２１はローダ側モータ２２によって
１ピッチ下降させられ、ローダ側マガジン２１内の次の
試料６が搬送レベルに位置する。またアンローダ側マガ
ジン３１においては、試料６が収納される毎に、該アン
ローダ側マガジン３１はアンローダ側モータ３２によっ
て１ピッチ下降させられ、次の収納部が搬送レベルに位
置する。
【００２８】戻しタイプ７５の場合は、ローダ側マガジ
ン２１は、該ローダ側マガジン２１より試料６が搬出さ
れ、その後に検査済の試料６がローダ側マガジン２１に
収納されるまでは上下動しなく、収納後にローダ側モー
タ２２によって１ピッチ下降させられる。
【００２９】選別タイプ７６の場合は、ローダ側マガジ
ン２１は前記戻しタイプ７５とほぼ同じ動作をする。即
ち、良品の試料６がローダ側マガジン２１に収納又は不
良品の試料６がアンローダ側マガジン３１に収納された
後にローダ側マガジン２１は１ピッチ下降させられ、次
の試料６が搬送レベルに位置する。アンローダ側マガジ
ン３１は、不良品の試料６が収納される毎に１ピッチ下
降し、次の試料６の受け入れ状態になる。
【００３０】このように、選別タイプ７６を選択した場
合は、良品の試料６は元のローダ側マガジン２１に収納
され、不良品はアンローダ側マガジン３１に収納され
る。即ち、ローダ側マガジン２１には良品の試料６のみ
収納されるので、次工程で不良選別を行う必要がない。
また良品の試料６は元のローダ側マガジン２１に収納さ
れるので、マガジン登録変更を行う必要もない。
【００３１】また本実施例は、搬送制御メモリ７３に標
準タイプ７４、戻しタイプ７５、選別タイプ７６の３種
類の搬送タイプを記憶させ、生産ラインに対応して必要
なタイプを選択できるので、生産ラインに対応した柔軟
性を有する。
【００３２】なお、上記実施例においては、戻しタイプ
７５の場合には、試料６の最後の方から順次検査するよ
うにしたが、標準タイプ７４及び選別タイプ７６と同様
に、試料の最初の方から順次検査するようにしてもよ
い。この場合には、標準タイプ７４及び選別タイプ７６
と同様に、不良と判定した場合は、第１のマーキングユ
ニット４２によって不良マークを捺印する。
【００３３】また上記実施例は、ワイヤボンデイングさ
れたワイヤの検査の場合について説明したが、これに限
定されるものではない。例えば、ダイボンデイングされ
たチップのボンデイング位置の検査、チップマウントさ
れたチップのリードのボンデイング位置の検査等にも広
く適用できる。この場合には、当然にワイヤ検査装置１
０に代え、検査する対象に適した試料検査装置を用いる
ことは言うまでもない。
【００３４】
【発明の効果】本発明によれば、ローダ側マガジンに収
納された試料を検査位置に送って試料検査装置で検査
し、良品の試料は元の前記ローダ側マガジンに収納し、
不良品の試料はアンローダ側マガジンに収納するように
搬送するので、次工程で良・不良の検出及び選別を行な
う必要がない。
【００３５】また本発明は、ローダ側マガジンに収納さ
れた試料を検査位置に送って試料検査装置で検査し、不
良品は不良マークを付し、検査済の試料を全てアンロー
ダ側マガジンに収納する標準タイプと、検査済の試料を
全て元の前記ローダ側マガジンに収納する戻しタイプ
と、良品の試料は元の前記ローダ側マガジンに収納し、
不良品の試料は前記アンローダ側マガジンに収納する選
別タイプとの３種類の搬送タイプを有し、前記３種類の
搬送タイプのいずれかを選択できるので、多様化した生
産ラインに対応した柔軟性を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の試料検査装置における試料搬送方法に
用いる試料搬送装置の一実施例を示す正面図である。
【図２】本発明の試料検査装置における試料搬送方法の
制御回路部の一実施例を示すブロック図である。
【図３】動作のフローチャート図である。
【図４】ワイヤ検査装置の概略構成側面図である。
【図５】従来のワイヤ検査装置における試料搬送装置の
正面図である。
【符号の説明】
６ 試料 １０ ワイヤ検査装置 ２１ ローダ側マガジン ３１ アンローダ側マガジン ４０ 試料フィーダ ４２ 第１のマーキングユニット ４３ 第２のマーキングユニット ７４ 標準タイプ ７５ 戻しタイプ ７６ 選別タイプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中川 毅之 東京都武蔵村山市伊奈平２丁目51番地の１ 株式会社新川内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ボンディングされた試料を検査する試料
    検査装置と、この試料検査装置の両側に配設され、上下
    動するエレベータに保持されたローダ側マガジン及びア
    ンローダ側マガジンと、ローダ側マガジンとアンローダ
    側マガジンとの間に配設され、試料を前記試料検査装置
    の検査位置に搬送及び検査位置より搬出する試料フィー
    ダとを備えた試料搬送装置において、前記ローダ側マガ
    ジンに収納された試料を前記検査位置に送って試料検査
    装置で検査し、良品の試料は元の前記ローダ側マガジン
    に収納し、不良品の試料は前記アンローダ側マガジンに
    収納するように搬送することを特徴とする試料検査装置
    における試料搬送方法。
  2. 【請求項２】 ボンディングされた試料を検査する試料
    検査装置と、この試料検査装置の両側に配設され、上下
    動するエレベータに保持されたローダ側マガジン及びア
    ンローダ側マガジンと、ローダ側マガジンとアンローダ
    側マガジンとの間に配設され、試料を前記試料検査装置
    の検査位置に搬送及び検査位置より搬出する試料フィー
    ダとを備えた試料搬送装置において、前記ローダ側マガ
    ジンに収納された試料を前記検査位置に送って試料検査
    装置で検査し、不良品は不良マークを付し、検査済の試
    料を全て前記アンローダ側マガジンに収納する標準タイ
    プと、検査済の試料を全て元の前記ローダ側マガジンに
    収納する戻しタイプと、良品の試料は元の前記ローダ側
    マガジンに収納し、不良品の試料は前記アンローダ側マ
    ガジンに収納する選別タイプとの３種類の搬送タイプを
    有し、前記３種類の搬送タイプのいずれかを選択できる
    ことを特徴とする試料検査装置における試料搬送方法。
  3. 【請求項３】 ボンディングされた試料を検査する試料
    検査装置と、この試料検査装置の両側に配設され、上下
    動するエレベータに保持されたローダ側マガジン及びア
    ンローダ側マガジンと、ローダ側マガジンとアンローダ
    側マガジンとの間に配設され、試料を前記試料検査装置
    の検査位置に搬送及び検査位置より搬出する試料フィー
    ダとを備えた試料搬送装置において、検査済の試料の
    内、良品のみローダ側マガジンへ戻して収納し、不良品
    はアンローダ側マガジンに収納する選別タイプの制御手
    順を記憶した搬送制御メモリと、この搬送制御メモリの
    制御手順に従い、ローダ側、アンローダ側、試料フィー
    ダを制御する演算装置とを有することを特徴とする試料
    検査装置における試料搬送装置。
  4. 【請求項４】 ボンディングされた試料を検査する試料
    検査装置と、この試料検査装置の両側に配設され、上下
    動するエレベータに保持されたローダ側マガジン及びア
    ンローダ側マガジンと、ローダ側マガジンとアンローダ
    側マガジンとの間に配設され、試料を前記試料検査装置
    の検査位置に搬送及び検査位置より搬出する試料フィー
    ダとを備えた試料搬送装置において、検査済の試料をア
    ンローダ側マガジンに収納する標準タイプ、検査済の試
    料を元のローダ側マガジンに戻して収納する戻しタイ
    プ、検査済の試料の内、良品のみローダ側マガジンへ戻
    して収納し、不良品はアンローダ側マガジンに収納する
    選別タイプの３種類の制御手順を記憶した搬送制御メモ
    リと、この搬送制御メモリの３種類の搬送タイプの内の
    選択されたタイプの制御手順に従い、ローダ側、アンロ
    ーダ側、試料フィーダを制御する演算装置とを有するこ
    とを特徴とする試料検査装置における試料搬送装置。
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