JPH0899408A - インクジェット記録装置 - Google Patents
インクジェット記録装置Info
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- JPH0899408A JPH0899408A JP23810294A JP23810294A JPH0899408A JP H0899408 A JPH0899408 A JP H0899408A JP 23810294 A JP23810294 A JP 23810294A JP 23810294 A JP23810294 A JP 23810294A JP H0899408 A JPH0899408 A JP H0899408A
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- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
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- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14322—Print head without nozzle
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
利用インクジェット記録装置を提供する。 【構成】 超音波ビームの圧力によりインク滴を飛翔さ
せて被記録上に画像を記録するインクジェット記録装置
であって、複数の圧電素子を等間隔で配列して構成され
る圧電素子アレイ10と、圧電素子アレイ10から放射
される超音波を互いに干渉させてインク16内に圧電素
子アレイ10の配列方向に集束させる超音波干渉層11
と、超音波発生素子アレイ10の同時駆動すべき超音波
発生素子群の配列方向中央部に位置する超音波発生素子
を第1のグループとし、この第1のグループの配列方向
両側に位置する超音波発生素子を第2のグループとし
て、第1および第2のグループの超音波発生素子に互い
に逆相の2相駆動信号を与える動作を超音波発生素子群
の位置を順次ずらせて繰り返す駆動回路を有する。
Description
て記録媒体上に飛翔させることで画像を記録するインク
ジェット記録装置に係り、特に圧電、電歪あるいは磁歪
振動子などで構成される超音波発生素子アレイにより放
射される超音波ビームの圧力によりインク滴を飛翔させ
るインクジェット記録装置に関する。
にして記録媒体上に飛翔させることにより画点を形成し
て画像を記録する装置は、インクジェットプリンタとし
て実用化されている。このインクジェットプリンタは、
他の記録方法と比べて騒音が少なく、現像や定着などの
処理が不要であるという利点を有し、普通紙記録技術と
して注目されている。インクジェットプリンタの方式は
現在までに数多く考案されているが、特に(a)発熱体
の熱により発生する蒸気の圧力でインク滴を飛翔させる
方式(例えば特公昭56-9429 、特公昭61-59911など)、
(b)圧電素子によって発生される機械的な圧力パルス
によりインク滴を飛翔させる方式(例えば特公昭53-121
38など)が代表的なものである。
ヘッドとしては、キャリッジに搭載されて記録紙の搬送
方向(副走査方向)に対し直交する方向(主走査方向)
に移動しながら記録を行うシリアル走査型ヘッドが実用
されている。このシリアル走査型ヘッドでは、機械的に
移動しながら記録を行うため、記録スピードを早くする
ことが難しい。そこで、記録ヘッドを記録紙の幅と同じ
サイズの長尺ヘッドとして機械的な可動部分を減らし、
記録スピードを上げることができるいわゆるライン走査
型ヘッドも考えられているが、このようなライン走査型
ヘッドを実現することは、次の理由から簡単ではない。
の蒸発や揮発によって局部的なインクの濃縮が生じやす
く、これが解像度に対応した個別の細いノズルでの目詰
まりの原因となる。このため、インクジェットの形成に
蒸気の圧力を使う方式では、インクとの熱的あるいは化
学的な反応などによる不溶物の付着が、また圧電素子に
よる圧力を使う方式では、インク流路などでの複雑な構
造がさらに目詰まりを誘起し易くする。数十〜百数十程
度のノズルを使用するシリアル走査型ヘッドでは、目詰
まりの頻度を低く抑えることができるようになっている
が、数千もの多数のノズルを必要とするライン走査型ヘ
ッドでは、確率的にかなり高い頻度で目詰まりが発生
し、信頼性の点で大きな問題となる。
は、解像度の向上には適していないという問題点もあ
る。つまり蒸気の圧力を使う方法では、直径20μm
(これは記録紙上に直径50数μmくらいの記録ドット
に相当する)以下の粒径のインク滴を生成するのが難し
く、また圧電素子が発生する圧力を使う方式では、記録
ヘッドが複雑な構造となるために加工技術上の問題で解
像度の高いヘッドが作りにくいからである。
により構成された圧電素子アレイによって発生する超音
波ビームの圧力を用いてインク液面からインクを飛翔さ
せる方式がIBM TDB,vol.16,No.4,pp.1168(1973-10),US
P-4308547(1981) ,USP-4697195(1987) ,USP-4751529
(1988) ,USP-4751530(1988) ,USP-5041849(1991) ,
特開昭62-66943,特開昭63-162253 ,特開昭63-166545
,特開昭63-166546 ,特開昭63-166548 ,特開昭63-31
2157 ,特開平3-200199,特開平4-296562,特開平4-296
563,特開平4-356328,特開平5-278218などにより提案
されている。この方式は個別のドット毎のノズルやイン
ク流路の隔壁を必要としない、いわゆるノズルレスの方
式であるため、ラインヘッド化する上での大きな障害で
あった目詰まりの防止と復旧に対して有効である。ま
た、非常に小さい径のインク滴を安定に生成し飛翔させ
ることができるため、高解像度化にも適している。
は解像度よりも大きな、例えば記録画点の30倍にもな
る直径の音響レンズを用いて超音波ビームをインク内に
集束させるため、記録ヘッドとしては1本の圧電素子ア
レイだけで必要な解像度を得ることができず、複数本の
圧電素子アレイを千鳥状に配列して構成される記録ヘッ
ドを使って合間を埋める必要があることである。このよ
うな千鳥配列の構造をとる記録ヘッドは、周期的な濃度
むらや隣接ドットとのわずかな位置ずれなど、画質の面
から見て問題が多い。
音波ビームを集束させるために、複数の圧電素子を一列
に配列した一次元の圧電素子アレイを用い、隣接する複
数の圧電素子からの超音波を互いにインク室内で干渉さ
せて集束させる、いわゆるフェーズドアレイ走査を行う
方法(特開平2-184443)も提案されている。このような
方法を用いたインクジェット記録装置では、各々の圧電
素子はバースト的に印加される一定周波数の交流電圧あ
るいはパルス電圧によってその周波数に同期した周波数
の超音波を発生するが、フェーズドアレイ走査を行うに
は、圧電素子アレイから放射される超音波ビームが所定
の位置に集束するように、隣接する圧電素子から発生さ
れる超音波の位相を厳密に設定しなければならない。
ムを所定の深さの位置に集束させてリニア走査を行う技
術は、医用機器の分野で超音波診断装置として既に実用
化されており、例えば特公昭62-15215などが提案されて
いる。この場合、圧電素子を駆動するために精密に制御
された多数の位相値を持つ駆動信号源が必要となる。こ
のようなフェーズドアレイ走査技術を超音波ビームの圧
力によりインクを飛翔させるインクジェット記録装置に
適用する場合、次の点が問題となる。
ムによる圧力でインクを飛翔させる場合、飛翔するイン
ク滴の大きさは超音波の周波数に強く依存することが分
かっている。プリンタとして必要な解像度を得ようとす
ると、圧電素子を駆動する駆動信号の周波数は、医用機
器の場合と異なり、数十MHz〜数百MHzといった範
囲の高い周波数が必要となる。このような高い周波数の
駆動信号をフェーズドアレイ走査を行うのに必要な高い
精度で位相を制御して各圧電素子アレイの圧電素子に印
加するためには、駆動回路から圧電素子アレイまでの長
い配線距離による駆動信号の遅延や、駆動回路内での遅
延時間のばらつきについて、ナノセコンド(10-9秒)
オーダという極めて高い精度が要求され、駆動回路に過
大な負担が強いられる。
波ビームの圧力でインク液面からインク滴を飛翔させて
記録を行う超音波モード利用のインクジェット記録方式
のうち、圧電素子アレイを千鳥配列したヘッドを用いる
方式は、周期的な濃度むらや隣接ドット間の僅かなずれ
などによる画質劣化の問題があり、また従来のフェーズ
ドアレイ走査を用いた方式は、高い周波数の駆動信号を
高精度に位相制御して圧電素子アレイに与えるために駆
動回路に過大な負担が強いられるという問題があった。
音波発生素子アレイの配列方向に均一な間隔でインク滴
を飛翔させることができ、しかも超音波発生素子アレイ
を駆動する駆動回路の負担を軽減できるインクジェット
記録装置を提供することを目的とする。
め、本発明は液体インクをインク滴として飛翔させるた
めの超音波ビームを放射する超音波発生素子アレイを等
間隔配列で構成し、この超音波発生素子アレイをフレネ
ル回折帯板の原理に基づく幅とピッチを丸めてグルーピ
ングして2相駆動信号で駆動することにより、フェーズ
ドアレイ走査を実現するようにしたことを骨子とする。
録装置は、液体インクを所定の液面を有するように保持
するインク保持手段と、複数の超音波発生素子を等間隔
で配列して構成され、所定の駆動信号が与えられること
によって前記液体インクの液面上に集束つかつ該液面に
沿ってライン状に移動する超音波ビームを放射する超音
波発生素子アレイと、この超音波発生素子アレイから同
時駆動すべき連続した所定数の超音波発生素子群を選択
し、該超音波発生素子群の配列方向中央部に位置する一
部の超音波発生素子を第1のグループとし、この第1の
グループの前記配列方向両側に位置する少なくとも一部
の超音波発生素子を第2のグループとして、これら第1
および第2のグループの超音波発生素子に互いに逆相の
2相駆動信号を与える動作を同時駆動すべき超音波発生
素子群の位置を順次ずらせて繰り返し行う駆動手段とを
備えたことを基本的な特徴とする。
動すべき超音波発生素子群の各超音波発生素子をフレネ
ル回折帯板の式から求められる、超音波を通過すべき第
1の領域および超音波の位相を半波長シフトすべき第2
の領域のいずれに割り当てるかを決定し、第1の領域に
割り当てられた超音波発生素子を第1のグループとし、
第2の領域に割り当てられた超音波発生素子を第2のグ
ループとして、これら第1および第2のグループの超音
波発生素子に互いに逆相の2相駆動信号を与える動作を
同時駆動すべき超音波発生素子群の位置を順次ずらせて
繰り返し行う。
否かを記録すべき画像信号に基づいて制御する制御手段
をさらに備えることを特徴とする。
対応する画素の画像信号に基づいて、駆動手段が前記2
相駆動信号を与える時間を制御する制御手段をさらに備
えたことを特徴とする。
各超音波発生素子に対応して設けられ、2相駆動信号お
よび無駆動信号を入力とし、記録すべき画像信号に基づ
く超音波発生素子群の選択情報と2相駆動信号の選択情
報に基づいて該2相駆動信号のいずれかの位相の駆動信
号または無駆動信号を選択して対応する超音波発生素子
に供給する制御を駆動手段に対して行うことを特徴とす
る。
生素子群における超音波発生素子数を超音波発生素子ア
レイの超音波発生素子配列方向で交互に奇数および偶数
にすることを特徴とする。
総数は、少なくとも記録すべき一列の画素数に同時駆動
すべき超音波発生素子群における超音波発生素子数を加
えた数とすることが望ましい。
は、液体インクを所定の液面を有するように保持するイ
ンク保持手段と、複数の超音波発生素子を等間隔で配列
して構成されると共に複数のグループに分割され、所定
の駆動信号が与えられることによって液体インクの液面
上に集束しかつ該液面に沿ってライン状に移動する超音
波ビームを放射する超音波発生素子アレイと、この超音
波発生素子アレイの各グループから同時駆動すべき連続
した所定数の超音波発生素子群を選択し、各グループ毎
に該超音波発生素子群に駆動信号を与える動作を該超音
波発生素子群の位置を順次ずらせて繰り返し行う駆動手
段と、これらの各グループに対応してそれぞれ設けら
れ、駆動手段が同時駆動すべき超音波発生素子群に駆動
信号を与えるか否かを該超音波発生素子群に対応する画
素の画像信号に基づいて制御する複数の制御手段とを備
え、同時駆動すべき超音波発生素子群が超音波発生素子
アレイの2つのグループにまたがる場合に、該2つのグ
ループにまたがる複数の超音波発生素子に対応する画素
の画像信号を該2つのグループに対応した制御手段の双
方に入力することを特徴とする。
波発生素子アレイを有する記録ヘッド部により被記録体
上に1ラインの画点を記録しつつ該記録ヘッド部に対し
て該被記録体を該超音波発生素子アレイの配列方向と直
交する方向に相対的に連続的に移動させつつ該被記録体
上に画像を記録するインクジェット記録装置において、
少なくとも超音波発生素子アレイのグループの数と同数
のライン分の記録すべき画像信号を記憶可能な記憶手段
と、この記憶手段に記憶された同一ラインの各グループ
に対応する画像信号を1ライン分ずつ順次ずらせて該各
グループに対応する制御手段に転送する転送手段とを備
えたことを特徴とする。
の同時駆動すべく超音波発生素子群をフレネル回折帯板
の考えに基づく幅とピッチを丸めた形でグルーピングし
た上で、各グループに2相駆動信号のいずれかの位相の
駆動信号を与えることにより、フェーズドアレイ走査が
実現される。これにより、インク液面に対して超音波ビ
ームが集束される方向および位置が定形化され、インク
滴の大きさおよび飛翔方向が均一になるため、インク滴
を超音波発生素子アレイの配列方向に均一な間隔で飛翔
させることができ、画素ピッチの均一化を達成できる。
超音波発生素子アレイを駆動することでフェーズドアレ
イ走査が可能となるため、駆動信号として正確に位相制
御された位相差を持つ多位相の信号を必要とする従来の
フェーズドアレイ走査に比較して駆動回路を極めて簡単
に構成することができる。
記録すべき画像信号に基づいて制御することにより、画
像信号に応じてインク滴を飛翔させて画像記録を行うこ
とができる。
音波発生素子数を交互に奇数と偶数にすると、飛翔する
インク滴のピッチ、すなわち画素ピッチを同時駆動され
る超音波発生素子数を奇数または偶数のいずれかに固定
した場合に比較して2倍にすることができる。
べき一列の画素数に同時駆動すべき超音波発生素子群に
おける超音波発生素子数を加えた数とすれば、必要とす
る記録幅全域にわたって問題なく記録ができる。
分割して各グループを同時に駆動することで記録速度を
向上させる際、同時駆動すべき超音波発生素子群が超音
波発生素子アレイの2つのグループにまたがる場合、そ
の2つのグループにまたがる複数の超音波発生素子に対
応する画素の画像信号を該2つのグループに対応した制
御手段の双方に入力して、グループ間の境界でのつなぎ
処理を行うことにより、グループ間の境界部分で連続性
を保って走査記録を行うことが可能となる。
走査を主走査とし、これと被記録体を主走査方向と直角
方向に相対的に移動させる副走査を組み合わせて2次元
の画像記録を行うに際して、特に超音波発生素子アレイ
を複数のグループに分割して駆動する分割駆動を用い、
かつ副走査が連続移動の場合には、記録すべき画像信号
を少なくとも該グループの数と同数の複数ライン分一旦
記憶保持した後、同一ラインの各グループに対応する画
像信号を1ライン分ずつ順次ずらせて各グループに対応
する制御手段に転送することにより、主走査のラインを
1本の連続した直線にすることができる。
インクジェット記録装置における記録ヘッド部の一部を
模式的に示した図である。なお、本実施例では超音波発
生素子として圧電素子を用い、これを一次元のアレイ状
に配列している。
ッドの支持体と圧電素子アレイ10とインク16間の音
響的整合層を兼ねる層であり、例えばガラスにより作ら
れている。この超音波干渉層11の裏面側に、金属薄膜
からなる共通電極12を介して圧電体層13が形成され
ている。圧電体層13は、ZnOあるいはPZTなどの
材料をスパッタリングのような膜の厚みを任意にコント
ロールできる成膜方法により、超音波干渉層11の裏面
全面にあるいは帯状に形成したものである。超音波干渉
層11の表面には、複数の個別電極14が記録ドットに
相当するピッチで形成されている。圧電体層13の厚み
は、使用する超音波の波長によって決まり、圧電体層1
3を挟む金属の共通電極12および個別電極14の等価
的厚みとの合計が超音波波長の半分となるように設計さ
れている。
極14により、超音波発生素子アレイである圧電素子ア
レイ10が構成されている。図1では、圧電素子アレイ
10は圧電素子が8素子分しか示されていないが、実際
のインクジェットヘッド、例えば解像度600dpiで
A4サイズの長手方向の寸法に相当する長さを持つライ
ン型ヘッドの場合には、約5000素子の圧電素子を一
列に配列する。この場合、圧電素子アレイ10の各圧電
素子は要求される記録密度で定まる等間隔で一列に配列
される。
のスリット状のノズル孔兼インク室を形成したノズル基
板15が、圧電素子アレイ10の真上にノズル孔兼イン
ク室が位置するように張り合わされている。ノズル孔兼
インク室には、液状のインク16が満たされている。
6との境界には、1次元のフレネル回折帯板17が形成
されている。このフレネル回折帯板17は、回折中心か
らの距離をxとすると、x=0〜11/2 K,31/2 K〜
51/2 K,71/2 K〜91/2K,111/2 K〜131/2
K,…の位置に超音波を位相シフトを伴わずに通過させ
る第1の領域、x=11/2 K〜31/2 K,51/2 K〜7
1/2 K,91/2 K〜111/2 K,131/2 K〜…の位置
に超音波の位相を半波長シフトさせる第2の領域を交互
に並べて構成される。但し、Pは焦点距離つまりノズル
基板15の厚み、λは使用する超音波の波長、そしてK
=(λP/2)1/2 である。第1および第2の領域は、
相対的に半波長の位相差を持てば良いので、いずれか一
方の領域だけを金属蒸着膜の光リソグラフィで形成すれ
ば良く、その厚みはインク内の遅い音速との差により半
波長の位相シフトが生じる約数μm〜十数μm程度に選
ばれる。
する。
方向である主走査方向にフェーズドアレイ走査によりリ
ニア走査を行う動作について述べる。ここでは、簡単の
ための4つの圧電素子を一つの群(圧電素子群)として
これらを同時駆動し、かつこの圧電素子群の位置を順次
ずらせてリニア走査を行う場合について説明する。これ
ら4つの圧電素子の個別電極14a,14b,14c,
14dには、駆動信号として所定周波数の交流あるいは
パルス列からなるバースト電圧が印加される。この駆動
信号の周波数は、少なくとも音響的整合層でもある超音
波干渉層11内での超音波波長が圧電体アレイのピッチ
よりも長くなるように設定する必要がある。さらに、超
音波干渉層11の厚みもある値以上であることが要請さ
れる。プリンタとして必要な解像度を得ようとすると、
駆動信号の周波数は数十MHz〜数百MHz程度の範囲
のものが必要となる。このような条件の下で、4つの圧
電素子を内側の2つを第1のグループとし、外側の2つ
を第2グループとして、2グループに分ける。そして、
第1グループの圧電素子と第2グループの圧電素子に互
いに逆相、つまり0相とπ相の2相駆動信号(所定の周
波数の交流あるいはパルス列からなるバースト電圧)を
印加する。
時駆動する圧電素子群の数(同時駆動素子数という)
は、実用的には10〜100素子程度である。この圧電
素子群を0相とπ相の2相駆動信号にそれぞれ対応させ
てグルーピングする。このグルーピングは、フレネル回
折帯板の考え方をベースに焦点距離と波長から決まる幅
およびピッチから決める。そして、等間隔で配列された
圧電素子を求められた幅とピッチに丸めてグルーピング
する。例えば圧電素子アレイ10を50μmのピッチで
配列した場合、最大25μmの誤差でグルーピングを行
う。このグルーピングの詳細については、後述する。
子を構成する方法と、圧電素子アレイが等間隔で配列さ
れている場合は、超音波診断装置でのフェーズドアレイ
走査と同様に、同時駆動する圧電素子群に与える駆動遅
延時間差を細かく設定する方法が知られている。これに
対し、本発明ではインク滴を飛翔するかしないかの2値
的な状態を制御するだけで良いので、等間隔で配列され
た圧電素子を0相とπ相の2相駆動信号でフレネル回折
帯板の考え方から得られる幅とピッチを丸めて2グルー
プに分けて駆動しても、超音波ビームを一点に集束させ
てインク滴の飛翔を制御することができる。これは発明
者らの実験によっても確認されている。圧電素子の配列
ピッチが小さいほど誤差は少なくなり、集束効率が高い
ことは言うまでもない。これにより、等間隔で並んでい
る圧電素子アレイ10の配列方向(主走査方向)でのレ
ンズ効果を得ることができ、さらに超音波ビームの電子
走査もグルーピングを順次変えることで簡単に実現でき
る。ただし、この超音波干渉層11内ではアレイ方向と
直交する方向つまり副走査方向には集束することは無
い。
ムは、今度はフレネル回折帯板17によってアレイ方向
と直交する方向(副走査方向)へ求心的に集束するよう
なレンズ効果を受けることになる。つまり主走査方向の
集束は音響的整合層でもある超音波干渉層11内から始
まり、副走査方向の集束はノズル基板15のインク16
の中だけで行なわれる。
ズル基板15の上面のスリット状の開口で表面張力によ
り止まっているインクの表面に焦点が合わされている。
この様にして集束した超音波ビームの圧力によって、図
3に示すようにインク16の液面からインク滴19が飛
翔し、記録紙などの記録媒体に画像を記録することがで
きる。
の圧電素子を使って1ドットに集束させる場合には、1
ラインを少なくとも1/4ずつのタイミングあるいはそ
れ以上に分割する分割駆動となる。つまり、4素子分の
リニア走査により主走査方向にシフトすることが必要と
なる。また、ここでは説明の都合上、4素子からなる協
調動作を述べたが、この数を限定する必要は無い。1画
点を記録するのにさらに多くの素子を使用すれば、求心
的に集束する超音波ビームの波面は滑らかになり、イン
ク16の液面上の超音波ビームの集束点でのエネルギー
密度も高くなるので、インク滴のばらつきを小さく、圧
電素子アレイ10に与える駆動電圧も低くすることがで
きる。
駆動することは、フェーズドアレイを形成する方法(特
開平2−184443)に開示されている構造のヘッド
で発生する以下のような不都合を回避することが可能に
なる。すなわち、フェーズドアレイ方式では、複数の超
音波ビームの位相を制御することで液面上の超音波ビー
ムの集束位置を任意にコントロールすることが可能であ
り、超音波ビームの集束位置に対する複数の超音波発生
源は変える必要がないことが特徴であるが、超音波ビー
ムを集束してインク滴を発生させるインク滴発生機構で
は、超音波ビームの集束方向に沿ってインク滴が飛翔す
ることが確認されている。例えば、インク液面の垂直方
向に対して数°の角度を持った超音波ビームがインク液
面に集束されると、インク滴はこの角度の方向に飛翔す
ることが実験により確認されている。すなわち、フェー
ズドアレイ方式を用いた場合には、超音波ビームが集束
される位置によってインク滴の飛翔角度が変わり、液面
から垂直方向にインク滴が飛翔しないことになる。これ
は、記録紙の上では画素ピッチの異なる画点を形成する
ことを意味する。従って、記録紙上の画点のピッチを一
定に保つためには、インク滴が飛翔する角度を予め予測
して超音波発生素子の位相制御を行う必要がある。この
制御は、画点の位置に依ってわずかずつ異なり、精度良
く位相を無段階に制御できることが要求される。このよ
うな回路は極めて複雑な構成となり、補正のためのデー
タを大量に蓄積するため、大きなメモリを必要とするな
どデメリットが大きい。
ク滴の大きさを常に一定に保つと同時に、インク滴の飛
翔方向の制御などの複雑な処理が不要となるため、装置
をより簡単な構成で実現できることになる。
グルーピングについて、さらに詳しく説明する。フレネ
ル回折帯板(フレネルゾーンプレート)は光学の分野で
良く知られているように、二次元の場合を例にとると、
半径Rmが整数mの平方根に比例する同心円によって作
られるリングを一つおきに、光を位相シフトを伴わずに
透過させる第1のリングおよび光の位相を半波長シフト
させる第2のリングとすることにより、各リングからの
光が同相で一点に集束するようにしたものである。この
フレネル回折帯板の原理は、光と同じく波動性を持つ超
音波にも適用することができる。実際、先に述べたフレ
ネル回折帯板17は、この原理を応用して一次元のフレ
ネル回折帯板として構成したものである。この場合、超
音波を位相シフトを伴わずに通過させる第1の領域は第
1のリングに、超音波の位相を半波長シフトさせる第2
の領域は第2のリングに相当する。
一次元に配列された圧電素子アレイ10の駆動方法を定
めることにより、圧電素子アレイ10を等価的に一次元
のフレネル回折帯板として機能させる。図4は、インク
内の音速(水中での音速と同じ)を1500m/s、駆
動信号周波数を100MHz、インク中での超音波波長
を15μm、超音波ビームの焦点距離fを5mm、圧電
素子アレイ10の同時駆動素子数Nを32素子、圧電素
子アレイ10の配列ピッチPを50μmとした場合につ
いて、図4(a)に示すようにフレネル回折帯板の中心
からの距離Rmを圧電素子アレイ10の配列ピッチ(5
0μm)で丸め、この丸めた値Rrに基づいて図4
(b)に示すように圧電素子アレイ10の各素子に与え
る駆動信号の位相を定めた例を示している。
べき連続した32素子の圧電素子群のうち、配列方向中
央部の複数の圧電素子(この例では、素子番号12〜2
1の10素子)を第1のグループとし、第1のグループ
の配列方向両側に位置する複数の圧電素子(この例で
は、素子番号9〜11および22〜24の両側各々3素
子ずつ)を第2のグループとしたとき、第1のグループ
の圧電素子に対しては0相の駆動信号、第2のグループ
に対してはπ相の駆動信号を与えている。
低限このようなグルーピングでよいが、本実施例では第
2のグループのさらに外側に位置する圧電素子のうち、
素子番号8および25の圧電素子を第1のグループ、そ
の外側の素子番号6〜7および26〜27の圧電素子を
第2のグループ、その外側の素子番号5および28の圧
電素子を第1のグループ、その外側の素子番号4および
29の圧電素子を第2のグループ…というようにグルー
ピングを行い、第1のグループの圧電素子に対しては0
相、第2のグループの圧電素子に対してはπ相の駆動信
号をそれぞれ与えている。このようにすることにより、
超音波ビームの集束性を上げることができる。
時駆動する圧電素子群の中でグルーピングを行って、第
1のグループと第2のグループの各々の圧電素子に0
相、2相の駆動信号を与え、さらに同時駆動する圧電素
子群の位置を例えば1素子分ずつ圧電素子アレイ10の
配列方向に移動させて同様の駆動を繰り返し行うことに
より、超音波ビームをインク16の液面上に集束させ、
かつその集束点を圧電素子アレイ10の配列方向(主走
査方向に)リニアに移動させることができる。
イ走査では駆動信号として正確に位相制御された位相差
を持つ駆動信号が必要であったのに対し、本発明では2
相駆動信号でよく、これは反転増幅器などを用いて簡単
に生成することができる。
実施例に係る記録ヘッド部の一部を模式的に示した図で
ある。本実施例では、超音波ビームを主走査方向に集束
する手段については第1の実施例と同じようにフェーズ
ドアレイ走査を用いるが、副走査方向へ集束する手段と
しては、従来と同じ曲面構造のバルクによるシリンドリ
カルレンズ20を用いている。この場合には、図6に示
すようにレンズ20に対して垂直に入射する中心部(A
−A′)のビ−ムの焦点距離(fa)と、レンズ20に
対して斜めの方向から入射する端部(B−B′)のビー
ムの焦点距離(fb)とが異なるため、超音波ビームの
集束特性が悪くなり、さらに両端部からのビームは複雑
な3次元面での屈折となるので収差を発生する。したが
って、この様な構成のヘッドでは飛翔するインク滴を生
成するためのエネルギー効率やインク滴の均一性などで
劣化する影響が認められる。前述した第1の実施例はこ
の部分の特性も改善したところに特徴があった。
のレンズ面がそのままインク室となる構造のため断面の
大きなインク流路を形成できるというメリットがある。
したがって、高速記録の動作をさせたいという場合に限
れば、そのスピードを賄うのに充分の量のインクを供給
できノズルからのインク溶媒の蒸発によるインク濃度の
変化も遅く目詰まりを起こしにくいという効果が得られ
る。
実施例に係る記録ヘッド部の一部を模式的に示した図で
ある。本実施例では、超音波発生素子として電極で分離
された磁歪振動子を用い、これを一次元のアレイ状に配
列している。
のプリンティングヘッド、例えば、解像度600dpi
でA4サイズのライン型ヘッドの場合には約5000素
子が1列に並ぶ構造となる。
と磁歪振動子およびインクとの間の音響的整合層をも兼
ねる物質層であり、例えばガラスにより作られている。
この超音波干渉層31の裏面側に、金属薄膜からなる共
通電極32を介して磁歪振動子33が形成されている。
2 あるいはTe0.3 Dy0.7 (Fe0.9 Mn0.1 )2 な
どの材料をスパッタリングのような膜の厚みを任意にコ
ントロールできる成膜方法により、超音波干渉層31の
裏面全面にあるいは帯状に形成したものであり、その両
端にはバイアス磁界を与える磁界印加素子33a,33
bが設けられている。磁界印加素子33a,33bとし
は、消費電力、発熱などの問題がない永久磁石が好適に
用いられる。磁歪振動子33の表面には、共通電極32
と対をなす個別励磁コイル34が記録ドットに相当する
ピッチで形成されている。磁歪振動子33の厚みは使用
する超音波の波長に合わせて整合出来るように設計され
ている。
素子33a,33bおよび励磁コイル34により、超音
波発生素子アレイである磁歪振動子アレイ30が構成さ
れている。図7では、磁歪振動子アレイ30は磁歪振動
子が8素子分しか示されていないが、実際のインクジェ
ットヘッド、例えば解像度600dpiでA4サイズの
長手方向の寸法に相当する長さを持つライン型ヘッドの
場合には、約5000素子の磁歪振動子を一列に配列す
る。この場合、磁歪振動子アレイ30は要求される記録
密度で定まる等間隔で一列に配列される。
のスリット状のノズル孔兼インク室を形成したノズル基
板35が、磁歪振動子アレイ30の真上にノズル孔兼イ
ンク室が位置するように張り合わされている。ノズル孔
兼インク室には、液状のインク36が満たされている。
6との境界には、1次元のフレネル回折帯板37が形成
されている。このフレネル回折帯板37は、回折中心か
らの距離をxとすると、x=0〜11/2 K,31/2 K〜
51/2 K,71/2 K〜91/2K,111/2 K〜131/2
K,…の位置に超音波を位相シフトを伴わずに通過させ
る第1の領域、x=11/2 K〜31/2 K,51/2 K〜7
1/2 K,91/2 K〜111/2 K,131/2 K〜…の位置
に超音波の位相を半波長シフトさせる第2の領域を交互
に並べて構成される。但し、Pは焦点距離つまりノズル
基板35の厚み、λは使用する超音波の波長、そしてK
=(λP/2)1/2 である。第1および第2の領域は、
相対的に半波長の位相差を持てば良いので、いずれか一
方の領域だけを金属蒸着膜の光リソグラフィで形成すれ
ば良く、その厚みはインク内の遅い音速との差により半
波長の位相シフトが生じる約数μm〜十数μm程度に選
ばれる。
する。
配列方向である主走査方向にフェーズドアレイ走査によ
りリニア走査を行う動作について述べる。ここでは、簡
単のための4つの磁歪振動子を一つの群(磁歪振動子
群)としてこれらを同時駆動し、かつこの磁歪振動子群
の位置を順次ずらせてリニア走査を行う場合について説
明する。これら4つの磁歪振動子34に接続された個別
励磁コイル34a,34b,34c,34dには、駆動
信号として所定周波数の交流あるいはパルス列からなる
バースト電流が供給される。この駆動信号の周波数は、
少なくとも音響的整合層でもある超音波干渉層31内で
の超音波波長が圧電体アレイのピッチよりも長くなるよ
うに設定する必要がある。さらに、超音波干渉層31の
厚みもある値以上であることが要請される。プリンタと
して必要な解像度を得ようとすると、駆動信号の周波数
は数十MHz〜数百MHz程度の範囲のものが必要とな
る。このような条件の下で、4つの磁歪振動子を内側の
2つを第1のグループとし、外側の2つを第2グループ
として、2グループに分ける。そして、第1グループの
磁歪振動子と第2グループの磁歪振動子に互いに逆相、
つまり0相とπ相の2相駆動信号(所定の周波数の交流
あるいはパルス列からなるバースト電流)を供給する。
時駆動する磁歪振動子群の数(同時駆動数という)は、
実用的には10〜100素子程度になる。この磁歪振動
子群を0相とπ相の2相駆動信号にそれぞれ対応させて
グルーピングする。このグルーピングは、フレネル回折
帯板の考え方をベースに焦点距離と波長から決まる幅お
よびピッチから決める。そして、等間隔で配列された磁
歪振動子を求められた幅とピッチに丸めてグルーピング
する。例えば磁歪振動子アレイ30を50μmのピッチ
で配列した場合、最大25μmの誤差でグルーピングを
行う。このグルーピングf、第1の実施例における圧電
素子アレイ10のそれと同様であるため説明を省略す
る。
ピングして2相駆動信号で駆動することにより、第1の
実施例と同様に等間隔で並んでいる磁歪振動子アレイ3
0の配列方向(主走査方向)でのレンズ効果を得ること
ができ、さらに超音波ビームの電子走査もグルーピング
を順次変えることで簡単に実現できる。ただし、この超
音波干渉層11内ではアレイ方向と直交する方向つまり
副走査方向には集束することは無い。
ムは、今度はフレネル回折帯板37によってアレイ方向
と直交する方向(副走査方向)へ求心的に集束するよう
なレンズ効果を受けることになる。つまり主走査方向の
集束は音響的整合層でもある超音波干渉層31内から始
まり、副走査方向の集束はノズル基板35のインク36
の中だけで行なわれる。
ズル基板35の上面のスリット状の開口で表面張力によ
り止まっているインクの表面に焦点が合わされている。
この様にして集束した超音波ビームの圧力によって、図
9に示すようにインク36の液面からインク滴39が飛
翔し、記録紙などの記録媒体に画像を記録することがで
きる。
の磁歪振動子を使って1ドットに集束させる場合には、
1ラインを少なくとも1/4ずつのタイミングあるいは
それ以上に分割する分割駆動となる。つまり、4素子分
のリニア走査により主走査方向にシフトすることが必要
となる。また、ここでは説明の都合上、4素子からなる
協調動作を述べたが、この数を限定する必要は無い。1
画点を記録するのにさらに多くの素子を使用すれば、求
心的に集束する超音波ビームの波面は滑らかになり、イ
ンク36の液面での超音波ビームのエネルギー密度も高
くなるので、インク滴のばらつきを小さく、磁歪振動子
アレイ30に供給する駆動電流も小さくすることができ
る。
ヘッド部を、1ライン分を記録するライン走査型記録ヘ
ッドとして構成し、これを先に説明したようにリニア走
査すべく制御して画像を記録するための走査制御部の構
成を図10を用いて説明する。本実施例ではより高速な
記録速度を実現するために、主走査1ラインを複数のグ
ループに分割して走査記録する分割駆動方式を採用し
た。この分割駆動方式は、超音波発生素子アレイを複数
(N)のグループに分割し、それらの各グループを同時
に駆動してN個の画点を同時に記録する方式であり、分
割駆動をしない場合に比較して記録速度はN倍となる。
図10は、分割数Nが4の例である。
説明した圧電素子アレイ10、あるいは第3の実施例で
説明した磁歪振動子アレイ30である超音波発生素子ア
レイ40と、バッファ・ドライバ群41、駆動信号セレ
クタ群42、データセレクタ43−1〜43−4、ポイ
ンタ走査レジスタ44−1〜44−4、駆動パターン走
査レジスタ45−1〜45−4、ポインタレジスタ4
6、パターンレジスタ47、クロック制御部48および
初期設定部49からなる。
について説明する。ライン走査型記録ヘッドとして一般
的な熱記録方式で使用されるサーマルヘッドを例にとる
と、1ラインで得られる画素数とヘッドの発熱素子数は
同じである。これに対し、本発明ではライン状に配列さ
れた音波発生素子アレイ40のうち所定数の超音波発生
素子群を選択してこれらを同時駆動する動作を、その超
音波発生素子群を順次配列方向にずらせて繰り返し行う
フェーズドアレイ走査によるリニア走査を行う。このた
め、超音波発生素子の総数は記録幅分の素子数にフェー
ズドアレイ走査に必要な同時駆動素子数(一つの超音波
発生素子群の中の超音波発生素子数)を加えた素子数が
最低限必要になる。フェーズドアレイ走査では、同時駆
動される超音波発生素子群の配列方向中心の素子に直角
な線上に超音波ビームの集束点が位置するため、記録紙
上の記録幅方向の左右両端に相当する位置までインク滴
を飛翔させるには、その左右両端の外側にそれぞれ同時
駆動される超音波発生素子群の半数分の超音波発生素子
が配列されている必要があるからである。もちろん、超
音波発生素子の数はこれ以上多い分には問題ない。具体
的には、超音波発生素子群40の素子数として600d
piでA4サイズの1ラインの記録画素数=4960に
同時駆動素子数=32を加えた4992素子とした。
合計4992素子の超音波発生素子に対応した個別電極
(または個別励磁コイル)と対向する共通電極間に、バ
ッファ・ドライバ群41から2相駆動信号が印加され
る。バッファ・ドライバ群41は、超音波発生素子アレ
イ40の個々の素子に1対1に対応した4992個のバ
ッファ・ドライバから構成され、超音波発生素子が圧電
素子の場合を例にとると、〜数十Vの電圧、数100M
Hzの周波数で超音波発生素子を駆動するのに十分な駆
動能力を持っている。バッファ・ドライバ群41には、
駆動信号セレクタ群42において3種類の信号から選択
された駆動信号が供給される。
を示したもので、n個(超音波発生素子アレイ40の超
音波発生素子数)の単位セレクタ42−1〜42−nに
より構成され、これらの単位セレクタはバッファ・ドラ
イバ群41の各バッファ・ドライバに1対1で接続され
る。各々の単位セレクタ42−1〜42−nは、0相駆
動信号とπ相駆動信号および無駆動信号(図の例では基
準電位)の3種類の入力信号を入力A,B,Cとし、こ
れら3つの入力信号のうちの1つの信号を0相/π相セ
レクト信号と駆動オン/オフセレクト信号の2種類のセ
レクト信号に従って駆動信号として選択する。駆動オン
/オフセレクト信号は、図10のデータセレクタ43−
1〜43−4において記録信号とフェーズドアレイの対
象であることを表すポインタ信号から生成される。
ファ・ドライバ群41および駆動信号セレクタ群42の
構成には、デバイスや実装上の制限は別として、超音波
発生素子アレイ40の分割駆動制御のための構成は基本
的に含まれていない。あくまでもフェーズドアレイ走査
による電子リニア走査を行うための構成である。分割駆
動は、走査制御上で行われる。
0の分割法を説明する。図12に示すように、超音波発
生素子アレイ40を記録幅に対応した4960素子分の
他、この記録幅の左右両端の各々16画素、つまり1画
素目〜16画素目と4944画素目〜4960画素目を
カバーするために、フェーズドアレイ走査における同時
駆動素子数=32素子分を両側に分けて各々16素子分
をカバーブロックとして配置する。
第1〜第4の4グループに分割するが、その分割に際し
ては記録幅対応分の4960素子分を4等分した124
0素子を1グループの基本素子数として、両側の第1グ
ループと第4グループはこれに各々カバーブロックL,
Rの16素子を加えた素子数1256とする。このよう
にすることにより、各グループ間のつなぎ処理を確実に
行うことができる。このつなぎ処理の基本動作を図12
に示す分割構成で説明する。
プ右端の「つなぎ1」、第2グループ両端の「つなぎ
2」と「つなぎ3」、第3グループ両端の「つなぎ4」
と「つなぎ5」、第4グループ左端の「つなぎ6」に示
される各つなぎブロックの部分で行われる。これらの各
つなぎブロックの素子数は、カバーブロックL,Rの素
子数と同じ16素子である。フェーズドアレイ走査によ
る記録動作は、1ラインの記録画素=4960画素を4
分割した各グループの最初の画素、すなわち1画素目、
1241画素目、2481画素目、3721画素目から
同時にスタートする。これに対応して、超音波発生素子
群40の4分割した各グループにおける最初に駆動され
る超音波発生素子群が決まる。
素目は第1グループのカバーブロックLの16素子とこ
れに隣接する16素子の計32素子、1241画素目は
第1グループの「つなぎ1」の16素子とこれに隣接す
る第2グループの「つなぎ2」の16素子の計32素
子、2481画素目は第2グループの「つなぎ3」の1
6素子とこれに隣接する第3グループの「つなぎ4」の
16素子の計32素子、3721画素目は第3グループ
の「つなぎ5」の16素子と第4グループの「つなぎ
6」の16素子の計32素子によってそれぞれ記録が行
われる。そして、超音波発生素子アレイ30の同時駆動
される32素子が順次1素子分ずつずれて駆動されるこ
とにより、記録すべき画素が1画素分ずつ順次シフトさ
れてフェーズドアレイ走査による記録が行われ、最終的
に1ラインの記録画素の4分割された各グループが12
40画素分シフトされて1ラインの記録が終了する。
の記録画素を4分割した各グループの最終画素である1
240画素目、2480画素目、3720画素目、49
60画素目は、それぞれ第1グループの「つなぎ1」の
16素子と第2グループの「つなぎ2」の16素子の計
32素子、第2グループの「つなぎ3」の16素子と第
3グループの「つなぎ4」の16素子の計32素子、第
3グループの「つなぎ5」の16素子と第4グループの
「つなぎ6」の16素子の計32素子、第4グループの
カバーブロックRの16素子とこれに隣接する16素子
の計32素子によってそれぞれ記録が行われる。
グループに設定されたつなぎブロックの超音波発生素子
は、各々隣接するグループに設定されたつなぎブロック
の超音波発生素子と組んで、自グループが担当する画素
の記録を行う。従って、つなぎブロックは1ラインの記
録走査の間に2つのグループに対応する制御ブロックか
らの制御を受けることになる。これがつなぎ処理の基本
動作である。このつなぎ処理は、図10中に示すデータ
セレクタ43、ポインタ走査レジスタ44および駆動パ
ターン走査レジスタ45による制御によって遂行され
る。
−4の一つの構成を示す。データセレクタ43−1〜4
3−4では、記録データ(記録すべき画像信号)のつな
ぎ処理を含むデータ制御が行われる。入力としては超音
波発生素子アレイ40の同時駆動すべき超音波発生素子
群を指示するポインタ信号と、自グループて記録すべき
画像信号である記録データCと、両側のグループで記録
すべき画像信号である記録データL,R、両側のグルー
プの記録データをアクティブにするためのプレビット入
力およびポストビット入力の6種類の信号があり、出力
は駆動信号セレクタ群42への駆動オン/オフセレクト
信号になる。データセレクタ43−1〜43−4の各々
の出力部は、扱う記録データにより3つのセレクタ回路
53a,53b,53cに分割される。
ち、セレクタ回路53bは、自グループの超音波発生素
子のうちのつなぎブロック以外の超音波発生素子に対応
しており、自グループの超音波発生素子に対応する記録
データCのみを扱う。セレクタ回路53aは、1ライン
の画素列のうち入力セレクタ回路51からの自グループ
が担当する画素領域の前の画素領域を走査するグループ
の超音波発生素子に対応する記録データLと、自グルー
プの超音波発生素子に対応する記録データCのいずれか
を扱う。記録データLが選択されるのは、前の画素領域
を走査するグループの最後端の超音波発生素子を指示す
るポインタ信号がアクティブになっているときである。
セレクタ回路53cは、1ラインの画素列のうち入力セ
レクタ回路52からの自グループが担当する画素領域の
後の画素領域を走査するグループに対応する記録データ
Rと、自グループの超音波発生素子に対応する記録デー
タCのいずれかを扱う。記録データRが選択されるの
は、後の画素領域を走査するグループの最先端の超音波
発生素子を指示するポインタ信号がアクティブになって
いるときである。前の画素領域を走査するグループの最
後端の超音波発生素子を指示するポインタ信号は、プレ
ビット出力信号として出力され、後の画素領域を走査す
るグループの最先端の超音波発生素子を指示するポイン
タ信号は、ポストビット出力信号として出力される。
−4の相互の接続関係を示した図である。各データセレ
クタ43−1〜43−4はプレビット出力とプレビット
入力が接続され、さらにポストビット出力とポストビッ
ト入力が接続される。また、データセレクタ43−1〜
43−4の記録データL,C,Rの入力としては、各グ
ループ毎にパラレルに転送されてくる4つの記録データ
1〜4のうちの対応する3つまたは2つのデータが入力
される。図14から分かるように、データセレクタ43
−1〜43−4は超音波発生素子アレイ40の第2グル
ープおよび第3のグループに対するデータセレクタ43
−2,43−3の動作を基本とした構成になっている
が、超音波発生素子アレイ40のうち両側のカバーブロ
ックL,Rを持つ第1グループおよび第4グループに対
するデータセレクタ43−1,43−4においても、ポ
ストビット入力およびプレビット入力をノンアクティブ
(例えば基準電位)にすることで、データセレクタ43
−2,43−3と共通のものを用いることができる。
1−1〜44−4について説明する。ポインタ走査レジ
スタ41−1〜44−4は、シリアルイン・パラレルア
ウトのシフトレジスタ、パラレルイン・パラレルアウト
のシフトレジスタ、あるいはパラレル−シリアルイン・
パラレルアウトのシフトレジスタを用いる。シフトレジ
スタの段数は、超音波発生素子アレイ40の各グループ
の素子数に合わせる。ポインタ走査レジスタ41−1〜
44−4のパラレル出力がデータセレクタ43−1〜4
3−4をそれぞれ介して、駆動信号セレクタ群42に対
するセレクト信号となる。
ジスタを用いた動作を説明する。ポインタ走査レジスタ
44−1〜44−4は、フェーズドアレイ走査でアクテ
ィブになる超音波発生素子を指定するポインタを走査す
るレジスタである。走査パターンとしては、図10中の
ポインタレジスタ46に格納された超音波発生素子アレ
イ40の各グループの駆動開始時のパターンが1ライン
の記録動作の最初のタイミングで初期設定部49により
初期設定され、その後はクロック制御部48を介して与
えられる走査クロックによりシフト走査される。初期設
定されるポインタレジスタ46のパターンは、最初の記
録画素である1画素目、1241画素目、2481画素
目、3721画素目に対応した超音波発生素子アレイ4
0の各グループの駆動開始素子群から決まる。
バーブロック16素子と隣り合う16素子の計32素子
が、1241画素目には第1グループの「つなぎ1」の
16素子と第2グループの「つなぎ2」の16素子の計
32素子が、2481画素目には第2グループの「つな
ぎ3」の16素子と第3グループの「つなぎ4」の16
素子の計32素子が、3721画素目には第3グループ
の「つなぎ5」の16素子と第4グループの「つなぎ
6」の16素子の計32素子がそれぞれアクティブとな
ったパターンになる。
−4は、アクティブになっている超音波発生素子を0相
とπ相の駆動信号で駆動するための0相とπ相の駆動パ
ターンを指定するレジスタであり、ポインタ走査レジス
タ44−1〜44−4と同様にシリアルイン・パラレル
アウトのシフトレジスタ、パラレルイン・パラレルアウ
トのシフトレジスタ、あるいはパラレル−シリアルイン
・パラレルアウトのシフトレジスタにより構成される。
格納された超音波発生素子アレイ40の各グループの駆
動開始時の0/π相選択パターンが1ラインの記録の最
初のタイミングで初期設定部49により初期設定され、
その後はクロック制御部48を介して与えられる走査ク
ロックにより順次シフト走査される。初期設定されるパ
ターンレジスタ47のパターンは、1ラインの記録画素
の最初の記録画素である1画素目、1241画素目、2
481画素目、3721画素目に対応した超音波発生素
子アレイ40の各グループの駆動開始素子群から決ま
る。
バーブロックLの16素子とそれに隣接する16素子の
計32素子、1241画素目には第1グループの「つな
ぎ1」の16素子と第2グループの「つなぎ2」の16
素子の計32素子、2481画素目には第2グループの
「つなぎ3」の16素子と第3グループの「つなぎ4」
の16素子の計32素子、3721画素目には第3グル
ープの「つなぎ5」の16素子と第4グループの「つな
ぎ6」の16素子の計32素子が、それぞれ前述したフ
レネル回折帯板の考え方から得られる幅とピッチを丸め
てグルーピングしたパターンになる。ここでは常に32
素子の単位で4グループに与える記録データが確定して
いれば良く、後はポインタレジスタ46からのポインタ
信号でマスクされる。1ライン全部のパターンデータは
入らない。
および初期設定部49によって制御され、1ラインの記
録動作が行われる。なお、ポインタレジスタ46とパタ
ーンレジスタ47は固定されたデータが書き込まれたR
OMでも、外部からデータを書き込めるRAMやシフト
レジスタの構成でも良い。
アレイ40を複数のグループ(図の例では4グループ)
に分割し、駆動信号セレクタ群42がバッファ・ドライ
バ群41を介して対応する超音波発生素子群に駆動信号
を与えるか否かを記録データに基づいて制御するため
に、超音波発生素子アレイ40の各グループに対応して
データセレクタ43−1〜43−4、ポインタ走査レジ
スタ44−1〜44−4および駆動パターン走査レジス
タ45−1〜45−4からなる4個の制御手段を有す
る。そして、超音波発生素子アレイ40の中の同時駆動
されるべき32素子の超音波発生素子群が2つのグルー
プにまたがる場合に、その2つのグループにまたがる
「つなぎ1」〜「つなぎ4」の位置の複数の超音波発生
素子に対応する画素の画像信号を2つのグループに対応
した制御手段の双方に入力することによって、つなぎ処
理を行う、このようなつなぎ処理を行うことにより、超
音波発生素子アレイ40を複数のグループに分割して分
割駆動方式をとった場合でも、グループ間の境界部分で
連続性を保って走査記録を行うことが可能となる。
法に関する他の実施例を説明する。
レイ40の同時駆動素子数、つまり同時駆動される超音
波発生素子群の数を一定(32素子)としたが、これを
配列方向において交互に奇数と偶数にしてもよく、この
ようにすることで、同じ超音波発生素子アレイを用いて
2倍の記録密度を得ることができる。すなわち、同時駆
動素子数が偶数の場合は、中央の超音波発生素子の素子
間に画点が記録されるが、同時駆動素子数が奇数の場合
は、中央の超音波発生素子の上に画点が記録できる。従
って、同時駆動素子数として奇数と偶数を交互に繰り返
すと、偶数または奇数の固定された数で走査するときの
2倍の記録密度が得られる。
走査レジスタ44−1〜44−4、駆動パターン走査レ
ジスタ45−1〜45−4、ポイントレジスタ46およ
びパターンレジスタ47を2層構造とし、同時駆動素子
数を奇数と偶数とに交互に切り換えてデータセレクタ4
3−1〜43−4へのセレクト信号にすればよい。この
場合、図10中に示すようにクロック制御部48に外部
から通常モードと高精細モードの切り替えを行うための
モード切り替え信号を与え、通常モードではポインタ走
査レジスタ44−1〜44−4、駆動パターン走査レジ
スタ45−1〜45−4、ポイントレジスタ46および
パターンレジスタ47の第1層のみに走査クロックを与
えて同時駆動素子数を奇数のみ、または偶数のみとし、
高精細モードでは第1層と第2層の両方に走査クロック
を与え、同時駆動素子数を奇数と偶数とに交互に切り換
えるようにする。
補正して、記録速度を向上させる制御法を説明する。本
発明によるインクジェット記録装置では、インク液が満
たされた自由平面からインク滴が飛翔する。このため、
インク滴が飛翔するとインク面上で波紋が生じ、インク
滴が1回飛翔する毎にその波紋が収まるまでにある程度
の時間が必要である。この波紋が収まる前に、インク滴
の飛翔により画点が記録された画素の直ぐ隣の画素に対
応した位置でインク滴を飛翔させると、すなわち隣接す
る画素の画点を時間的に連続して記録しようとすると、
インク滴の焦点が定まらず不安定な飛翔になってしま
う。
波紋がある程度収まってから直ぐ隣の画点を続けて記録
する走査制御を説明したが、より高速の記録を実現する
ためには、直前に記録された画点の直ぐ隣の画素に画点
を記録せず、距離的に十分離れた画素にインク滴を飛翔
させて画点を記録する、いわゆる飛び越し走査で記録を
行うことにより、記録速度を向上させることができる。
基本動作の一例を説明する。超音波発生素子アレイ40
の4分割されたグループを奇数グループと偶数グループ
に分けて、奇数グループと偶数グループで交互に記録を
行う。この場合、まず奇数グループ(第1グループと第
3グループ)である画点、例えば1画素目と2481画
素目の画点を記録し、次に距離的に離れた偶数グループ
(第2グループと第4グループ)である画点、例えば1
241画素目と3721画素目の画点を記録し、その
後、再び奇数グループに戻って隣の画点、つまり2画素
目と2482画素目の画点を記録し、次いで偶数グルー
プで1242画素目と3722画素目の画点を記録する
というように記録を行う。これにより隣接する2画素の
画点を記録する際のインターバル時間を2倍にとれるよ
うになるため、波紋の収まる時間を有効に使うことがで
きる。
波発生素子アレイ40の4グループで同時に4画素の画
点を記録したのに対して、2グループで2画素の画点を
同時に記録することになるので、記録速度が1/2にな
る。記録速度を犠牲にせずに同様の効果を得るには、超
音波発生素子アレイを8グループ以上に分割し、4グル
ープ以上で同時に4画素以上の画点を記録する分割駆動
方式をとればよい。
2次元の画像を記録するには、従来の他の画像記録装置
と同様に、ライン走査型記録ヘッドの主走査方向と直角
方向に記録紙を送る副走査機構と組み合わせればよい。
一般的に、副走査の紙送り機構は記録紙をライン走査型
記録ヘッドの1ラインの記録速度に同期させて間欠的に
送る方式と、連続的に送る方式の2方式がある。今まで
の実施例で説明した分割駆動方式、すなわち超音波発生
素子アレイ40を例えば4グループに分割して駆動する
方式をとった場合、ライン走査型記録ヘッドの制御回路
に送り込む記録データの転送に工夫が必要となる。
副走査が間欠送りの場合の記録データバッファの構成を
図15に示す。この記録データバッファは、図10およ
び図14に示すデータセレクタ43−1〜43−4に供
給する記録データをバッファリングするためのものであ
り、リードライト制御部61、ライトカウンタ62、リ
ードカウンタ63、アドレスセレクタ64、バッファメ
モリ65およびデータセレクタ66からなる。
ヘッドが1ラインの記録を終えるまで記録紙は静止して
いるので、バッファメモリ65は1ライン分のメモリ容
量を持ち、外部からデータセレクタ66を介して順次端
からシリアルに入力される1ライン分のプリントデータ
を蓄積する。これがライトモードであり、リードライト
制御部61の制御下でデータセレクタ66は入力される
プリントデータをバッファメモリ65に送り込み、アド
レスセレクタ64はライトカウンタ62からの出力によ
り制御されてライトアドレスをバッファメモリ65に送
る。
ドの有効記録画素数(先の例では、4960素子)を4
等分した画素数(1240画素)に対応して分割したグ
ループ単位でアドレスを制御して、バッファメモリ65
に記憶されているプリントデータを記録データ1〜4と
して読み出す。これがリードモードであり、リードライ
ト制御部61の制御下でデータセレクタ66はバッファ
メモリ65から読み出されたデータを図10のデータレ
ジスタ43−1〜43−4へ送出し、アドレスセレクタ
64はリードカウンタ623からの出力により制御され
てリードアドレスをバッファメモリ65に送る。なお、
記録データ1〜4は分割された各グループの先頭に想到
するものから順次読み出される。
と、記録紙が1走査線分、副走査方向に送られ、その間
に次の1ライン分のプリントデータがバッファメモリ6
5に転送されて、次のラインの記録に入る。なお、バッ
ファメモリ65をいわゆるダブルバッファ構成として、
各々のバッファメモリを交互にリードモードとライトモ
ードに切り換えることにより、プリントデータ転送の待
ち時間を短くするような構成にすることもできる。
続送りの場合の記録データ転送について説明する。単純
に分割駆動と連続送りの副走査を組み合わせた場合に問
題となるのは、主走査ラインが直線にならないことにあ
る。すなわち、図16に示すように主走査幅Wを4グル
ープに分割して各グループ同時に左側から順次記録走査
を行うと、主走査ラインの各グループに対応した走査線
1〜4がそれぞれ傾斜を持つことになり、主走査ライン
全体として1本の直線にならない。連続送りの副走査で
は、主走査の期間中にも記録紙が送られるためである。
イの分割グループ数と同じライン数のバッファメモリ、
つまり超音波発生素子アレイを4グループに分割した場
合は4ライン分のバッファメモリを用意し、これを制御
することで主走査ラインを直線化する。図17にその考
え方を示す。
記録データの元となるプリントデータを蓄えた様子を模
式的に示す。図17(a)においてA1,A2,A3,
A4はそれぞれ1ライン目、2ライン目、3ライン目、
4ライン目のプリントデータであり、各々主走査方向に
4つのエレメントに分割され、A1−1〜A1−4,A
2−1〜A2〜4,A3−1〜A3−4,A4−1〜A
4−4のように管理されている。
録信号の様子を模式的に示したもので、B1,B2,B
3,B4,B5,B6がライン走査型記録ヘッドによる
主走査ライン数である。図16にも示したように、各主
走査ラインは直線になっていない。そこで、4本の主走
査ラインを1つのまとまりとして扱い、このまとまりに
対応するプリントデータを組み合わせて1本の直線の主
走査ラインを得るようにする。具体的には、図17
(a)の1ライン目プリントデータA1の4分割された
エレメントA1−1,A1−2,A1−3,A1−4を
図17(b)の1ライン目〜4ライン目の主走査ライン
の中の主走査方向に順次ずれたエレメントB1−1,B
2−2,B3−3,B4−4にそれぞれ割り当てる。
向と直角な方向に対して少し斜めに傾くが、直線の主走
査ラインが実現できる。この主走査ラインの傾きは、主
走査幅Wが210mmの場合、副走査方向における主走
査幅Wの一方の端部と他方の端部との間隔に換算して約
170μmであり、実用上無視できる程度である。
るためには、プリントデータの転送制御を以下のように
すればよい。すなわち、超音波発生素子アレイ40の分
割グループ数と同数の4ライン分の画像信号(プリンタ
データ)を記憶可能な4ラインバッファメモリ70を用
意し、これに図17(a)のように画像信号であるプリ
ントデータを蓄積する。そして、この4ラインバッファ
メモリ70から同一ラインの各グループに対応するプリ
ントデータを1ライン分ずつ順次ずらせて、各グループ
に対応する制御手段、つまり図10のデータセレクタ4
3−1〜43−4に記録データ1〜4として転送する。
ループB1−1にA1−1のデータだけを転送する。B
2の記録ラインでは、第1グループB2−1にはA2−
1のデータ、第2グループB2−2にはA1−2のデー
タをそれぞれ転送する。B3の記録ラインでは、第1グ
ループB3−1にはA3−1のデータ、第2のグループ
B3−2にはA2−2のデータ、第3グループB3−3
にはA1−3のデータをそれぞれ転送する。B4の記録
ラインでは、第1グループB4−1にはA4−1のデー
タ、第2グループB4−2にはA3−2のデータ、第3
グループB4−3にはA2−3のデータ、第4グループ
B4−4にはA1−4のデータをそれぞれ転送する。B
5の記録ラインでは、第1グループB5−1にはA5−
1のデータ、第2グループB5−2にはA4−2のデー
タ、第3グループB5−3にはA3−3のデータ、第4
グループB5−4にはA2−4のデータをそれぞれ転送
する。
ら、同一ラインの4グループの各々に対応するプリント
データを順次1ライン分ずつ時間をずらせて、図10の
データセレクタ43−1〜43−4に記録データ1〜4
として繰り返し転送していくことで、連続送りの副走査
でも直線の主走査ラインが得られる。なお、連続送りの
副走査をスムーズに行うためには、4分割駆動の場合、
1ライン分のラインバッファメモリを追加して5ライン
バッファメモリにした方が良い。これは次の1ラインを
準備しておくためである。
発明によるインクジェット記録装置での階調記録は、超
音波発生素子の駆動時間を階調画像信号に応じて変える
ことで実現できる。具体的には、図10中の駆動信号セ
レクタ群42に与える駆動オン/オフセレクト信号のオ
ン時間幅を変えることで実現できる。この駆動オン/オ
フセレクト信号は、データセレクタ43−1〜43−4
からの記録データ信号がそのまま使われるので、記録デ
ータの各画素のパルス幅を階調画像信号である多値記録
データに対応して変調すればよい。
あり、クロック制御部71で転送クロックに同期して作
成された画素クロックおよびマスタークロックにより動
作するパラレル−シリアル変換回路72を用いて、多値
記録データをパルス幅変調信号に変換する構成となって
いる。
ジェット記録装置では0相とπ相の2相駆動信号を用い
て超音波ビームの電子的なフォーカシングを行ってフェ
ーズドアレイ走査を実現することができ、それによりイ
ンク面をライン状に走査してインク滴を飛翔させること
が可能となる。この結果、高記録密度化の際にも複数の
アレイを並べる千鳥配列の必要がなく、千鳥配列のヘッ
ド構造に起因する画像ノイズがなどの問題を回避でき、
同時に目詰まりなどの故障が起こりにくい記録ヘッドを
実現できる。また、フェーズドアレイ走査の場合に発生
するインク滴の飛翔方向のずれに伴う画素ピッチの不均
一化がなく、これを補正するための制御が要らないとい
う利点がある。さらに、本発明によるインクジェット記
録装置は曲面レンズを一切使わない構成にすることがで
きるので、平面内での光リソグラフィなど、精度や信頼
性の良い製造プロセスの使用が可能になり、曲面構造を
有するバルクの音響レンズでフェーズドアレイあるいは
リニアアレイ走査を行う際に生じていた特有の収差など
を回避することができる。
超音波発生素子アレイを駆動することでフェーズドアレ
イ走査を行うことが可能となるため、従来のフェーズド
アレイ走査では正確に位相制御された位相差を持つ多位
相の駆動信号を生成する駆動回路を必要としたのに対し
て、超音波発生素子アレイの駆動回路を極めて簡単に構
成でき、また駆動回路から圧電素子アレイまでの配線に
よる駆動信号の遅延や駆動回路内での遅延時間のばらつ
きなどが問題となることもなく、駆動回路やその配線に
対する負担が著しく軽減されるという利点がある。
低価格のライン走査型のインクジェット記録装置を提供
することが可能となる。
録装置における記録ヘッド部の構成図
図
ーピングおよび各グループに与える2相駆動信号につい
て説明するための図
録装置における記録ヘッド部の構成図
録装置における記録ヘッド部の構成図
図
る走査制御部の構成を示すブロック図
ブロック図
ック図
ブロック図
バッファの構成を示すブロック図
ための主走査ラインの状態を示す図
線化する方法を説明するための図
ブロック図
板 18…駆動回路 19…飛翔インク滴 20…シリンドリカルレンズ 30…磁歪振動子アレイ 31…超音波干渉層 32…共通電極 33…圧電体層 34…励磁コイル 35…ノズル基板 36…インク 37…フレネル回折帯
板 38…駆動回路 39…飛翔インク滴 40…超音波発生素子アレイ 41…バッファ・ドラ
イバ群 42…駆動信号セレクタ群 43…データセレクタ 44…ポインタ走査レジスタ 45…駆動パターン走
査レジスタ 70…4ラインバッファメモリ
Claims (9)
- 【請求項1】液体インクを所定の液面を有するように保
持するインク保持手段と、 複数の超音波発生素子を等間隔で配列して構成され、所
定の駆動信号が与えられることによって前記液体インク
の液面上に集束しかつ該液面に沿ってライン状に移動す
る超音波ビームを放射する超音波発生素子アレイと、 この超音波発生素子アレイから同時駆動すべき連続した
所定数の超音波発生素子群を選択し、該超音波発生素子
群の配列方向中央部に位置する一部の超音波発生素子を
第1のグループとし、この第1のグループの前記配列方
向両側に位置する少なくとも一部の超音波発生素子を第
2のグループとして、これら第1および第2のグループ
の超音波発生素子に互いに逆相の2相駆動信号を与える
動作を前記超音波発生素子群の位置を順次ずらせて繰り
返し行う駆動手段とを備えたことを特徴とするインクジ
ェット記録装置。 - 【請求項2】液体インクを所定の液面を有するように保
持するインク保持手段と、 複数の超音波発生素子を等間隔で配列して構成され、所
定の駆動信号が与えられることによって前記液体インク
の液面上に集束しかつ該液面に沿ってライン状に移動す
る超音波ビームを放射する超音波発生素子アレイと、 この超音波発生素子アレイから同時駆動すべき連続した
所定数の超音波発生素子群を選択し、該超音波発生素子
群の各超音波発生素子をフレネル回折帯板の式から求め
られる、超音波を通過すべき第1の領域および超音波の
位相を半波長シフトすべき第2の領域のいずれに割り当
てるかを決定し、第1の領域に割り当てられた超音波発
生素子を第1のグループとし、第2の領域に割り当てら
れた超音波発生素子を第2のグループとして、これら第
1および第2のグループの超音波発生素子に互いに逆相
の2相駆動信号を与える動作を前記超音波発生素子群の
位置を順次ずらせて繰り返し行う駆動手段とを備えたこ
とを特徴とするインクジェット記録装置。 - 【請求項3】前記駆動手段が前記2相駆動信号を与える
か否かを記録すべき画像信号に基づいて制御する制御手
段をさらに備えたことを特徴とする請求項1または2に
記載のインクジェット記録装置。 - 【請求項4】前記超音波発生素子群に対応する画素の画
像信号に基づいて、前記駆動手段が前記2相駆動信号を
与える時間を制御する手段をさらに備えたことを特徴と
する請求項3に記載のインクジェット記録装置。 - 【請求項5】前記制御手段は、前記超音波発生素子アレ
イの各超音波発生素子に対応して設けられ、前記2相駆
動信号および無駆動信号を入力とし、記録すべき画像信
号に基づく前記超音波発生素子群の選択情報と2相駆動
信号の選択情報に基づいて該2相駆動信号のいずれかの
位相の駆動信号または無駆動信号を選択して対応する超
音波発生素子に供給する制御を前記駆動手段に対して行
うことを特徴とする請求項3または4に記載のインクジ
ェット記録装置。 - 【請求項6】前記駆動手段は、前記超音波発生素子群に
おける超音波発生素子数を前記超音波発生素子アレイの
超音波発生素子配列方向で交互に奇数および偶数にする
ことを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェ
ット記録装置。 - 【請求項7】前記超音波発生素子アレイの超音波発生素
子の総数を、少なくとも記録すべき一ラインの画素数に
前記前記超音波発生素子群における超音波発生素子数を
加えた数とすることを特徴とする請求項1乃至6のいず
れか1項に記載のインクジェット記録装置。 - 【請求項8】液体インクを所定の液面を有するように保
持するインク保持手段と、 複数の超音波発生素子を等間隔で配列して構成されると
共に複数のグループに分割され、所定の駆動信号が与え
られることによって前記液体インクの液面上に集束しか
つ該液面に沿ってライン状に移動する超音波ビームを放
射する超音波発生素子アレイと、 前記複数のグループから同時駆動すべき連続した所定数
の超音波発生素子群を選択し、各グループ毎に該超音波
発生素子群に駆動信号を与える動作を該超音波発生素子
群の位置を順次ずらせて繰り返し行う駆動手段と、 前記各グループに対応してそれぞれ設けられ、前記駆動
手段が前記超音波発生素子群に駆動信号を与えるか否か
を該超音波発生素子群に対応する画素の画像信号に基づ
いて制御する複数の制御手段とを備え、 前記超音波発生素子群が前記超音波発生素子アレイの2
つのグループにまたがる場合に、該2つのグループにま
たがる複数の超音波発生素子に対応する画素の画像信号
を該2つのグループに対応した前記制御手段の双方に入
力することを特徴とするインクジェット記録装置。 - 【請求項9】前記インクジェット記録装置は、少なくと
も前記インク保持手段および超音波発生素子アレイを有
する記録ヘッド部により被記録体上に1ラインの画点を
記録しつつ該記録ヘッド部に対して該被記録体を該超音
波発生素子アレイの配列方向と直交する方向に相対的に
連続的に移動させつつ該被記録体上に画像を記録する装
置であって、 少なくとも該グループの数と同数のライン分の前記画像
信号を記憶可能な記憶手段と、 この記憶手段に記憶された同一ラインの前記各グループ
に対応する画像信号を1ライン分ずつ順次ずらせて前記
各グループに対応する前記制御手段に転送する転送手段
とを備えたことを特徴とする請求項8記載のインクジェ
ット記録装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23810294A JP3432914B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | インクジェット記録装置 |
| EP95304796A EP0692383B1 (en) | 1994-07-11 | 1995-07-10 | Ink jet recording device |
| DE69534271T DE69534271T2 (de) | 1994-07-11 | 1995-07-10 | Tintenstrahlaufzeichnungsgerät |
| US08/501,259 US6045208A (en) | 1994-07-11 | 1995-07-11 | Ink-jet recording device having an ultrasonic generating element array |
| CN95109994A CN1096944C (zh) | 1994-07-11 | 1995-07-11 | 喷墨记录装置 |
| US09/415,072 US20020044171A1 (en) | 1994-07-11 | 1999-10-12 | Ink-jet recording device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23810294A JP3432914B2 (ja) | 1994-09-30 | 1994-09-30 | インクジェット記録装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0899408A true JPH0899408A (ja) | 1996-04-16 |
| JP3432914B2 JP3432914B2 (ja) | 2003-08-04 |
Family
ID=17025211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23810294A Expired - Fee Related JP3432914B2 (ja) | 1994-07-11 | 1994-09-30 | インクジェット記録装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3432914B2 (ja) |
Cited By (6)
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|---|---|---|---|---|
| JPH1110842A (ja) * | 1997-06-19 | 1999-01-19 | Canon Inc | インクジェット記録方法及び装置 |
| JP2005270929A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Hosokawa Funtai Gijutsu Kenkyusho:Kk | 液滴配列方法および液滴配列装置 |
| EP1993151A2 (en) | 2007-05-18 | 2008-11-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Light emitting device and method of manufacturing the same |
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-
1994
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| US7839087B2 (en) | 2007-05-18 | 2010-11-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Light emitting device and method of manufacturing the same |
| US8419497B2 (en) | 2007-05-18 | 2013-04-16 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Light emitting device and method of manufacturing the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3432914B2 (ja) | 2003-08-04 |
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|
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Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090523 |
|
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|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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|
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|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120523 |
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