JPH09100104A - オゾン発生用放電体 - Google Patents
オゾン発生用放電体Info
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- JPH09100104A JPH09100104A JP8180899A JP18089996A JPH09100104A JP H09100104 A JPH09100104 A JP H09100104A JP 8180899 A JP8180899 A JP 8180899A JP 18089996 A JP18089996 A JP 18089996A JP H09100104 A JPH09100104 A JP H09100104A
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- JP
- Japan
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- ozone
- dielectric layer
- discharge
- layer
- electrode
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】オゾン発生量を低下させることなく長期間使用
できるオゾン発生用放電体を得る。 【解決手段】誘電体層２をはさむように誘導電極３と放
電電極４を備えてなるオゾン発生用放電体において、前
記放電電極４を覆うように保護層５を形成するととも
に、前記誘電体層２及び／又は保護層５をムライト質セ
ラミックスで形成する。
できるオゾン発生用放電体を得る。 【解決手段】誘電体層２をはさむように誘導電極３と放
電電極４を備えてなるオゾン発生用放電体において、前
記放電電極４を覆うように保護層５を形成するととも
に、前記誘電体層２及び／又は保護層５をムライト質セ
ラミックスで形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、オゾンを発生させ
るための放電体に関するものである。
るための放電体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】オゾンは乾燥空気中で放電を行うことに
より得られるもので、強い酸化力を持ち、脱臭、殺菌、
漂白等に使用されている。
より得られるもので、強い酸化力を持ち、脱臭、殺菌、
漂白等に使用されている。
【０００３】このようなオゾンの発生装置としては、例
えば特公昭５５−３７４８３号公報に示されるようにア
ルミナセラミックスからなる誘電体をはさんで放電を行
うようにしたものが用いられていた。また、特開昭５９
−４４７９７号公報等に示されているように、セラミッ
クスからなる誘電体の内部に面状の誘導電極を、表面に
線状の放電電極をそれぞれ形成し、これらの電極間に高
周波電圧を印加して沿面放電を発生させるようにしたも
のも用いられていた。
えば特公昭５５−３７４８３号公報に示されるようにア
ルミナセラミックスからなる誘電体をはさんで放電を行
うようにしたものが用いられていた。また、特開昭５９
−４４７９７号公報等に示されているように、セラミッ
クスからなる誘電体の内部に面状の誘導電極を、表面に
線状の放電電極をそれぞれ形成し、これらの電極間に高
周波電圧を印加して沿面放電を発生させるようにしたも
のも用いられていた。
【０００４】さらに、上記誘導電極と放電電極を形成し
てなるオゾン発生用放電体において、放電電極は放電中
に摩耗しやすいため、これを覆うようにガラスからなる
保護層を形成することも行われていた（特開昭６３−６
６８８０号公報参照）。
てなるオゾン発生用放電体において、放電電極は放電中
に摩耗しやすいため、これを覆うようにガラスからなる
保護層を形成することも行われていた（特開昭６３−６
６８８０号公報参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
オゾン発生用放電体は使用時に発熱し、長期使用時には
発熱と冷却を繰り返すことになる。そのため、誘電体や
保護層をアルミナセラミックスまたはガラスで形成した
ものでは、長期使用中に特性が劣化し、オゾン発生量が
低下してしまうという問題があった。
オゾン発生用放電体は使用時に発熱し、長期使用時には
発熱と冷却を繰り返すことになる。そのため、誘電体や
保護層をアルミナセラミックスまたはガラスで形成した
ものでは、長期使用中に特性が劣化し、オゾン発生量が
低下してしまうという問題があった。
【０００６】また、オゾン発生効率を高くするために
は、誘導電極と放電電極との距離を短くする必要がある
が、従来のオゾン発生用放電体では、セラミックス等の
基板をはさんで誘導電極と放電電極を形成するため、基
板を薄くして両電極間の距離を短くすることが困難であ
った。
は、誘導電極と放電電極との距離を短くする必要がある
が、従来のオゾン発生用放電体では、セラミックス等の
基板をはさんで誘導電極と放電電極を形成するため、基
板を薄くして両電極間の距離を短くすることが困難であ
った。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そこで本発明は、誘電体
層をはさむように誘導電極と放電電極を備えてなるオゾ
ン発生用放電体において、前記放電電極を覆うように保
護層を形成するとともに、前記誘電体層及び／又は保護
層をムライト質セラミックスで形成したことを特徴とす
る。
層をはさむように誘導電極と放電電極を備えてなるオゾ
ン発生用放電体において、前記放電電極を覆うように保
護層を形成するとともに、前記誘電体層及び／又は保護
層をムライト質セラミックスで形成したことを特徴とす
る。
【０００８】また本発明は、セラミック板上に誘導電極
を形成し、該誘導電極をセラミックコーティング層で覆
って誘電体層とするとともに、この誘電体層上に放電電
極とこれを覆うセラミックスの保護層を備えてオゾン発
生用放電体を構成した。
を形成し、該誘導電極をセラミックコーティング層で覆
って誘電体層とするとともに、この誘電体層上に放電電
極とこれを覆うセラミックスの保護層を備えてオゾン発
生用放電体を構成した。
【０００９】
【作用】本発明によれば、オゾン発生用放電体を構成す
る誘電体層及び／又は保護層が耐熱性の高いムライト質
セラミックスからなるため、使用時に発熱しても長期に
わたってオゾン発生量の変化を小さくし、長寿命とする
ことができる。
る誘電体層及び／又は保護層が耐熱性の高いムライト質
セラミックスからなるため、使用時に発熱しても長期に
わたってオゾン発生量の変化を小さくし、長寿命とする
ことができる。
【００１０】また、本発明によれば、誘導電極と放電電
極の間の誘電体層をセラミックコーティング層で構成す
るため、容易に薄く形成することができ、両電極間の距
離を短くしてオゾン発生効率を向上させることができ
る。
極の間の誘電体層をセラミックコーティング層で構成す
るため、容易に薄く形成することができ、両電極間の距
離を短くしてオゾン発生効率を向上させることができ
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施形態を図によっ
て説明する。
て説明する。
【００１２】図１（ａ）（ｂ）に示すオゾン発生用放電
体は、未焼成のセラミック板１に面状の誘導電極３を、
もう一枚の未焼成のセラミック板２に線状の放電電極４
を、それぞれタングステン、モリブデンなどのペースト
を塗布して形成し、これらのセラミック板１、２を積層
した後、上記放電電極４を覆うようにセラミックスから
なる保護層５を印刷、吹き付け、ＣＶＤ法、ＰＶＤ法等
により形成して全体を焼成一体化したものである。
体は、未焼成のセラミック板１に面状の誘導電極３を、
もう一枚の未焼成のセラミック板２に線状の放電電極４
を、それぞれタングステン、モリブデンなどのペースト
を塗布して形成し、これらのセラミック板１、２を積層
した後、上記放電電極４を覆うようにセラミックスから
なる保護層５を印刷、吹き付け、ＣＶＤ法、ＰＶＤ法等
により形成して全体を焼成一体化したものである。
【００１３】このオゾン発生用放電体は、上記セラミッ
ク板２が誘電体層となり、誘導電極３と放電電極４間に
電圧を印加すると沿面放電が生じ、オゾンを発生させる
ことができる。
ク板２が誘電体層となり、誘導電極３と放電電極４間に
電圧を印加すると沿面放電が生じ、オゾンを発生させる
ことができる。
【００１４】また、他の実施形態として、図２（ａ）
（ｂ）（ｃ）に示すオゾン発生用放電体は、まず図２
（ａ）に示すように未焼成のセラミック板１１の表面に
タングステン、モリブデン等からなる面状の誘導電極１
３を形成し、これを覆うように誘電体層としてのセラミ
ック層１２を印刷、吹き付け、ＣＶＤ法、ＰＶＤ法など
により形成した後、このセラミック層１２の上にタング
ステン、モリブデン等からなる線状の放電電極１４を形
成し、これを覆うようにセラミックスの保護層１５を前
記と同様の手段で形成したものである。
（ｂ）（ｃ）に示すオゾン発生用放電体は、まず図２
（ａ）に示すように未焼成のセラミック板１１の表面に
タングステン、モリブデン等からなる面状の誘導電極１
３を形成し、これを覆うように誘電体層としてのセラミ
ック層１２を印刷、吹き付け、ＣＶＤ法、ＰＶＤ法など
により形成した後、このセラミック層１２の上にタング
ステン、モリブデン等からなる線状の放電電極１４を形
成し、これを覆うようにセラミックスの保護層１５を前
記と同様の手段で形成したものである。
【００１５】このオゾン発生用放電体は、コーティング
により形成したセラミック層１２を誘電体層としている
ことから、誘電体層を薄くして放電特性を向上させ、オ
ゾン発生効率を高くすることができる。
により形成したセラミック層１２を誘電体層としている
ことから、誘電体層を薄くして放電特性を向上させ、オ
ゾン発生効率を高くすることができる。
【００１６】また、上記誘電体層、保護層を成すセラミ
ックスとしては、アルミナ、ムライト、フォルステライ
ト、ステアタイト、ジルコン、チタニア等さまざまなも
のを用いることができるが、これらの中でも特にムライ
ト質セラミックスが好ましい。即ち、誘電体層を成すセ
ラミック基板２、セラミック層１２や、保護層５、１５
をムライト質セラミックスで形成することが好ましく、
この場合、焼成温度や熱膨張係数を合わせるために、基
体を成すセラミック板１、１１も同じムライト質セラミ
ックスで形成すれば好適である。
ックスとしては、アルミナ、ムライト、フォルステライ
ト、ステアタイト、ジルコン、チタニア等さまざまなも
のを用いることができるが、これらの中でも特にムライ
ト質セラミックスが好ましい。即ち、誘電体層を成すセ
ラミック基板２、セラミック層１２や、保護層５、１５
をムライト質セラミックスで形成することが好ましく、
この場合、焼成温度や熱膨張係数を合わせるために、基
体を成すセラミック板１、１１も同じムライト質セラミ
ックスで形成すれば好適である。
【００１７】ここで、ムライトは３Ａｌ2 Ｏ3 ・２Ｓｉ
Ｏ2 の分子式で表され、モル比３：２のＡｌ2 Ｏ3 とＳ
ｉＯ2 を反応させて得られる化合物である。そして、ム
ライト質セラミックスとは上記ムライトを主成分とする
セラミックスのことである。
Ｏ2 の分子式で表され、モル比３：２のＡｌ2 Ｏ3 とＳ
ｉＯ2 を反応させて得られる化合物である。そして、ム
ライト質セラミックスとは上記ムライトを主成分とする
セラミックスのことである。
【００１８】また、このムライト質セラミックスを用い
て、公知の製造方法により上記誘電体層や保護層を形成
することができる。例えばＡｌ2 Ｏ3 とＳｉＯ2 粉末を
混合して仮焼等の手段で反応させてムライト化し、これ
を粉砕して得たムライト粉末を成形、焼成したり、ある
いは上記ムライト粉末をペースト状にして塗布すること
等により、上記誘電体層や保護層を形成することができ
る。
て、公知の製造方法により上記誘電体層や保護層を形成
することができる。例えばＡｌ2 Ｏ3 とＳｉＯ2 粉末を
混合して仮焼等の手段で反応させてムライト化し、これ
を粉砕して得たムライト粉末を成形、焼成したり、ある
いは上記ムライト粉末をペースト状にして塗布すること
等により、上記誘電体層や保護層を形成することができ
る。
【００１９】このムライト質セラミックスは各種セラミ
ックスの中でも特に耐熱性に優れることから、オゾン発
生用放電体として使用する際に発熱しても特性が劣化す
ることがなく、長期にわたってオゾン発生効率を低下さ
せることを防止できる。
ックスの中でも特に耐熱性に優れることから、オゾン発
生用放電体として使用する際に発熱しても特性が劣化す
ることがなく、長期にわたってオゾン発生効率を低下さ
せることを防止できる。
【００２０】
【実施例】図２に示すオゾン発生用放電体において、誘
電体層としてのセラミック層１２の材質、厚みＴ1 、及
び保護層１５の材質、厚みＴ2 を種々に変化させたもの
を試作し、それぞれ誘電体層、保護層の静電容量Ｃ1 、
Ｃ2 を測定した後、実際のオゾン発生量を調べた。
電体層としてのセラミック層１２の材質、厚みＴ1 、及
び保護層１５の材質、厚みＴ2 を種々に変化させたもの
を試作し、それぞれ誘電体層、保護層の静電容量Ｃ1 、
Ｃ2 を測定した後、実際のオゾン発生量を調べた。
【００２１】なお、誘電体層の静電容量Ｃ1 とは誘導電
極１３と放電電極１４の間の静電容量であり、保護層の
静電容量Ｃ2 とは保護層１５の上面に誘導電極１３と同
じ大きさの電極を置いたときの、この電極と放電電極１
４間の静電容量のことである。
極１３と放電電極１４の間の静電容量であり、保護層の
静電容量Ｃ2 とは保護層１５の上面に誘導電極１３と同
じ大きさの電極を置いたときの、この電極と放電電極１
４間の静電容量のことである。
【００２２】また、上記誘導電極１３は５ｍｍ×２０ｍ
ｍ、放電電極１４は１ｍｍ×１７．５ｍｍの大きさでタ
ングステンにより形成し、オゾン発生時の条件は、５
℃、湿度３０％で一次側電圧３．５Ｖを６０秒間印加さ
せたときのオゾン発生量を調べた。
ｍ、放電電極１４は１ｍｍ×１７．５ｍｍの大きさでタ
ングステンにより形成し、オゾン発生時の条件は、５
℃、湿度３０％で一次側電圧３．５Ｖを６０秒間印加さ
せたときのオゾン発生量を調べた。
【００２３】誘電体層１２、保護層１５の材質として、
ムライト質セラミックスとアルミナセラミックスを用い
た。ムライト質セラミックスは誘電率６．８であり、ア
ルミナセラミックスは、９２％のＡｌ2 Ｏ3 と残部がＳ
ｉＯ2 ，ＭｇＯ，ＣａＯ等からなり誘電率９．５のもの
を用いた。
ムライト質セラミックスとアルミナセラミックスを用い
た。ムライト質セラミックスは誘電率６．８であり、ア
ルミナセラミックスは、９２％のＡｌ2 Ｏ3 と残部がＳ
ｉＯ2 ，ＭｇＯ，ＣａＯ等からなり誘電率９．５のもの
を用いた。
【００２４】結果は表１〜表３に示す通りである。ま
た、表３における静電容量の比Ｃ1 ／Ｃ2 とオゾン発生
量の関係を図３に示す。
た、表３における静電容量の比Ｃ1 ／Ｃ2 とオゾン発生
量の関係を図３に示す。
【００２５】
【表１】
【００２６】
【表２】
【００２７】
【表３】
【００２８】これらの結果より、表１、２に示すように
保護層としてムライト質セラミックスを用いれば、耐熱
性に優れるため、Ｎｏ．１のように厚みＴ2 を１１．４
μｍと薄くしても好適に使用することができる。
保護層としてムライト質セラミックスを用いれば、耐熱
性に優れるため、Ｎｏ．１のように厚みＴ2 を１１．４
μｍと薄くしても好適に使用することができる。
【００２９】また、これらの例では図２に示すように誘
電体層をセラミックコーティングで形成してあるため、
薄く形成することができ、オゾン発生効率を高くするこ
とができる。
電体層をセラミックコーティングで形成してあるため、
薄く形成することができ、オゾン発生効率を高くするこ
とができる。
【００３０】さらに、これらの結果より明らかに、静電
容量の比Ｃ1 ／Ｃ2 が０．４より大きくなると極端にオ
ゾン発生量が低下し、特にＣ1 ／Ｃ2 が０．５より大き
いとオゾン発生量がほとんど０になることがわかる。
容量の比Ｃ1 ／Ｃ2 が０．４より大きくなると極端にオ
ゾン発生量が低下し、特にＣ1 ／Ｃ2 が０．５より大き
いとオゾン発生量がほとんど０になることがわかる。
【００３１】また、例えば表３のＮｏ．３と表２のＮ
ｏ．２を比較すると、両者は誘電体層、保護層の厚みは
ほぼ同じであるが、保護層の材質が異なるため、静電容
量の比Ｃ1 ／Ｃ2 も異なり、オゾン発生量も異なってい
る。即ち、オゾン発生量は誘電体層と保護層の厚みの比
ではなく、静電容量の比で決定されることが確認され
た。
ｏ．２を比較すると、両者は誘電体層、保護層の厚みは
ほぼ同じであるが、保護層の材質が異なるため、静電容
量の比Ｃ1 ／Ｃ2 も異なり、オゾン発生量も異なってい
る。即ち、オゾン発生量は誘電体層と保護層の厚みの比
ではなく、静電容量の比で決定されることが確認され
た。
【００３２】したがって、放電電極上にセラミックスの
保護層を形成したオゾン発生用放電体において、オゾン
発生量を多くするためには、セラミックスの種類にかか
わらず、誘電体層の静電容量Ｃ1 と保護層の静電容量Ｃ
2 の比Ｃ1 ／Ｃ2 を０．５以下とすれば良く、特にＣ1
／Ｃ2 を０．４以下とすれば最も優れていることがわか
った。
保護層を形成したオゾン発生用放電体において、オゾン
発生量を多くするためには、セラミックスの種類にかか
わらず、誘電体層の静電容量Ｃ1 と保護層の静電容量Ｃ
2 の比Ｃ1 ／Ｃ2 を０．５以下とすれば良く、特にＣ1
／Ｃ2 を０．４以下とすれば最も優れていることがわか
った。
【００３３】ただし、これはオゾン発生量の点から見た
ものであって放電電極の保護という観点からは保護層の
厚みが大きいほど良いため、実際には静電容量の比Ｃ1
／Ｃ2 が０．５以下の範囲内で、保護層の厚みを最大に
すれば良い。
ものであって放電電極の保護という観点からは保護層の
厚みが大きいほど良いため、実際には静電容量の比Ｃ1
／Ｃ2 が０．５以下の範囲内で、保護層の厚みを最大に
すれば良い。
【００３４】また、誘電体層の静電容量Ｃ1 と保護層の
静電容量Ｃ2 は、それぞれ理論的に下記の式によって求
められる。
静電容量Ｃ2 は、それぞれ理論的に下記の式によって求
められる。
【００３５】Ｃ1 ＝ε0 ・ε1 ・Ｓ／Ｔ1 Ｃ2 ＝ε0 ・ε2 ・Ｓ／Ｔ2 ただし、 ε0 ：真空中の誘電率 ε1 ：誘電体層の比誘電率 ε2 ：保護層の比誘電率 Ｓ ：電極（放電電極）の面積 Ｔ1 ：電極間の距離（誘電体層の厚み） Ｔ2 ：電極間の距離（保護層の厚み） これらの２式より、 Ｃ1 ／Ｃ2 ＝ε1 ・Ｔ2 ／ε2 ・Ｔ1 と表すことができる。
【００３６】したがって、Ｃ1 ／Ｃ2 を小さくするため
には、保護層の誘電率ε2 を大きくするか厚みＴ2 を小
さくする、あるいは誘電体層の誘電率ε1 を小さくする
か厚みＴ1 を大きくすれば良いことがわかる。
には、保護層の誘電率ε2 を大きくするか厚みＴ2 を小
さくする、あるいは誘電体層の誘電率ε1 を小さくする
か厚みＴ1 を大きくすれば良いことがわかる。
【００３７】ここで、ムライト質セラミックスは誘電率
が６．８と小さいことから、ムライト質セラミックスで
誘電体層を構成することによって、静電容量の比Ｃ1 ／
Ｃ2を小さくし、オゾン発生効率を向上させることがで
きる。
が６．８と小さいことから、ムライト質セラミックスで
誘電体層を構成することによって、静電容量の比Ｃ1 ／
Ｃ2を小さくし、オゾン発生効率を向上させることがで
きる。
【００３８】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、誘電体層
をはさむように誘導電極と放電電極を備えてなるオゾン
発生用放電体において、前記放電電極を覆うように保護
層を形成するとともに、前記誘電体層及び／又は保護層
をムライト質セラミックスで形成したことによって、ム
ライト質セラミックスは耐熱性に優れることから、オゾ
ン発生量を低下させることなく長期間使用することがで
きる。
をはさむように誘導電極と放電電極を備えてなるオゾン
発生用放電体において、前記放電電極を覆うように保護
層を形成するとともに、前記誘電体層及び／又は保護層
をムライト質セラミックスで形成したことによって、ム
ライト質セラミックスは耐熱性に優れることから、オゾ
ン発生量を低下させることなく長期間使用することがで
きる。
【００３９】また本発明によれば、セラミック板上に誘
導電極を形成し、該誘導電極をセラミックコーティング
層で覆って誘電体層とするとともに、この誘電体層上に
放電電極とこれを覆うセラミックスの保護層を備えてオ
ゾン発生用放電体を構成したことによって、誘電体層を
薄く形成してオゾン発生効率を向上させることができ
る。
導電極を形成し、該誘導電極をセラミックコーティング
層で覆って誘電体層とするとともに、この誘電体層上に
放電電極とこれを覆うセラミックスの保護層を備えてオ
ゾン発生用放電体を構成したことによって、誘電体層を
薄く形成してオゾン発生効率を向上させることができ
る。
【図１】（ａ）は本発明のオゾン発生用放電体を示す分
解斜視図、（ｂ）は（ａ）中のＸ−Ｘ線断面図である。
解斜視図、（ｂ）は（ａ）中のＸ−Ｘ線断面図である。
【図２】（ａ）（ｂ）は本発明の他の実施形態のオゾン
発生用放電体の製造工程を示す斜視図、（ｃ）は（ｂ）
中のＹ−Ｙ線断面図である。
発生用放電体の製造工程を示す斜視図、（ｃ）は（ｂ）
中のＹ−Ｙ線断面図である。
【図３】本発明のオゾン発生用放電体における、誘電体
層と保護層の静電容量の比Ｃ1／Ｃ2 とオゾン発生量の
関係を示すグラフである。
層と保護層の静電容量の比Ｃ1／Ｃ2 とオゾン発生量の
関係を示すグラフである。
１、１１：セラミック板 ２、１２：誘電体層 ３、１３：誘導電極 ４、１４：放電電極 ５、１５：保護層
Claims (2)
- 【請求項１】誘電体層をはさむように誘導電極と放電電
極を備えてなるオゾン発生用放電体において、前記放電
電極を覆うように保護層を形成するとともに、前記誘電
体層及び／又は保護層をムライト質セラミックスで形成
したことを特徴とするオゾン発生用放電体。 - 【請求項２】セラミック板上に誘導電極を形成し、該誘
導電極をセラミックコーティング層で覆って誘電体層と
するとともに、この誘電体層上に放電電極とこれを覆う
セラミックスの保護層を備えてなるオゾン発生用放電
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18089996A JP2873205B2 (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | オゾン発生用放電体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18089996A JP2873205B2 (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | オゾン発生用放電体 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1222348A Division JP2608477B2 (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | オゾン発生用放電体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09100104A true JPH09100104A (ja) | 1997-04-15 |
| JP2873205B2 JP2873205B2 (ja) | 1999-03-24 |
Family
ID=16091266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18089996A Expired - Fee Related JP2873205B2 (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | オゾン発生用放電体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2873205B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008270110A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 高温場用表面プラズマアクチュエータ |
| KR100981399B1 (ko) * | 2004-08-19 | 2010-09-10 | 니혼도꾸슈도교 가부시키가이샤 | 방전 소자, 방전 소자 유닛, 전기 제품, 차량, 및 방전소자의 제조 방법 |
| US9044728B2 (en) | 2012-02-14 | 2015-06-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ozone generating element and method for manufacturing ozone generating element |
-
1996
- 1996-07-10 JP JP18089996A patent/JP2873205B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100981399B1 (ko) * | 2004-08-19 | 2010-09-10 | 니혼도꾸슈도교 가부시키가이샤 | 방전 소자, 방전 소자 유닛, 전기 제품, 차량, 및 방전소자의 제조 방법 |
| JP2008270110A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 高温場用表面プラズマアクチュエータ |
| US9044728B2 (en) | 2012-02-14 | 2015-06-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ozone generating element and method for manufacturing ozone generating element |
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