JPH0256793B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0256793B2 JPH0256793B2 JP62311553A JP31155387A JPH0256793B2 JP H0256793 B2 JPH0256793 B2 JP H0256793B2 JP 62311553 A JP62311553 A JP 62311553A JP 31155387 A JP31155387 A JP 31155387A JP H0256793 B2 JPH0256793 B2 JP H0256793B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge electrode
- alumina
- linear discharge
- dielectric substrate
- electric field
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は酸素ガス等をオゾンガス化するため
のオゾナイザのイオン源、または複写機の帯電及
び除電装置のイオン発生装置として、更に静電的
輸送装置として使用する電界装置に関するもので
ある。
のオゾナイザのイオン源、または複写機の帯電及
び除電装置のイオン発生装置として、更に静電的
輸送装置として使用する電界装置に関するもので
ある。
従来の技術
この種の従来の電界装置は誘電体基板の表面に
線状放電電極を、またその内部に面状誘導電極を
それぞれ設け、該線状放電電極の表面をグレーズ
で覆つていたが、（特開昭59−44782、特開昭59−
44797参照）高湿度雰囲気の下で、これらの両電
極間に高周波高電圧を印加して該誘電体基板の表
面に沿面放電を発生させると、そこにNOxが生
成してこれと大気中の水分が反応して硝酸を生成
し、これが表面のグレーズを解かし、さらにその
内部の線状放電電極を溶解して不規則に変形し、
前記沿面放電に乱れを生じ、イオン源としての能
率を低下すると共にその寿命を著しく短くする。
線状放電電極を、またその内部に面状誘導電極を
それぞれ設け、該線状放電電極の表面をグレーズ
で覆つていたが、（特開昭59−44782、特開昭59−
44797参照）高湿度雰囲気の下で、これらの両電
極間に高周波高電圧を印加して該誘電体基板の表
面に沿面放電を発生させると、そこにNOxが生
成してこれと大気中の水分が反応して硝酸を生成
し、これが表面のグレーズを解かし、さらにその
内部の線状放電電極を溶解して不規則に変形し、
前記沿面放電に乱れを生じ、イオン源としての能
率を低下すると共にその寿命を著しく短くする。
発明が解決しようとする問題点
この発明は上記従来の電界装置の問題点を解決
しようとするものであり、即ち高湿度雰囲気にお
いて、その電界装置の両電極間に高周波高電圧を
印加してそこにNOxの発生に伴つて硝酸が生成
した際、その哨酸で線状放電電極の表面のグレー
ズおよびその内側の線状放電電極を溶解してその
溶解物が飛散して種々の悪影響を与えたり、或は
その線状放電電極を不規則に変形して、その電界
装置としての機能を低下したり、あるいは寿命を
短くすることがない様にすることを目的とするも
のである。
しようとするものであり、即ち高湿度雰囲気にお
いて、その電界装置の両電極間に高周波高電圧を
印加してそこにNOxの発生に伴つて硝酸が生成
した際、その哨酸で線状放電電極の表面のグレー
ズおよびその内側の線状放電電極を溶解してその
溶解物が飛散して種々の悪影響を与えたり、或は
その線状放電電極を不規則に変形して、その電界
装置としての機能を低下したり、あるいは寿命を
短くすることがない様にすることを目的とするも
のである。
問題点を解決するための手段
本発明は、アルミナを主成分とする誘電体基板
の表面に線状放電電極を設け、かつ該線状放電電
極と対向して上記誘電体基板を介して面状誘導電
極を設けた電界装置において、該線状放電電極を
膜厚１〜40μｍのアルミナ被膜で覆うことを特徴
とする電界装置により上記目的を達成しようとす
るものである。
の表面に線状放電電極を設け、かつ該線状放電電
極と対向して上記誘電体基板を介して面状誘導電
極を設けた電界装置において、該線状放電電極を
膜厚１〜40μｍのアルミナ被膜で覆うことを特徴
とする電界装置により上記目的を達成しようとす
るものである。
作 用
誘電体基板を介して設けた線状放電電極と面状
誘導電極の間に高周波高圧電源を接続して高周波
高電圧を印加し、その誘電体基板の表面において
沿面放電を発生し、その際に発生するイオンによ
つてそこに存在する酸素ガスをオゾンガス化した
り、或は各種の粒子を荷電または除電するもので
ある。
誘導電極の間に高周波高圧電源を接続して高周波
高電圧を印加し、その誘電体基板の表面において
沿面放電を発生し、その際に発生するイオンによ
つてそこに存在する酸素ガスをオゾンガス化した
り、或は各種の粒子を荷電または除電するもので
ある。
この沿面放電の際線状放電電極の表面に形成さ
れている被膜は膜厚が１〜40μｍのアルミナ被膜
であるので、その性質上硝酸に対して安定でお
り、その被膜は常に内部の線状放電電極を覆つて
いる。
れている被膜は膜厚が１〜40μｍのアルミナ被膜
であるので、その性質上硝酸に対して安定でお
り、その被膜は常に内部の線状放電電極を覆つて
いる。
実施例
この発明の実施例を添付図面によつて示すと、
平板状の誘電体基板１の表面に複数の線状放電電
極２を設け、かつ該線状放電電極２に対して上記
誘電体基板１を介して、平板状の面状誘導電極３
を設けた電界装置において、該線状放電電極２を
膜厚が１〜40μｍのアルミナ被膜４で覆つた電界
装置である。これを更に詳細に述べると、アルミ
ナ粉末にマグネシア２％（重量比、以下同じ）、
カルシア２％、シリカ４％を配合し、これらを50
〜80時間湿式粉砕した後、脱水乾燥して粉末に
し、この粉末にメタクリル酸イソチブルエステル
３％、ニトロセルローズ１％、ジオクチルフタレ
ート0.5％を加え、更に溶剤としてトリクロール
エチレン、ｎ−ブタノールを加えて、ボールミル
で混合し、流動性のあるスラリーとする。
平板状の誘電体基板１の表面に複数の線状放電電
極２を設け、かつ該線状放電電極２に対して上記
誘電体基板１を介して、平板状の面状誘導電極３
を設けた電界装置において、該線状放電電極２を
膜厚が１〜40μｍのアルミナ被膜４で覆つた電界
装置である。これを更に詳細に述べると、アルミ
ナ粉末にマグネシア２％（重量比、以下同じ）、
カルシア２％、シリカ４％を配合し、これらを50
〜80時間湿式粉砕した後、脱水乾燥して粉末に
し、この粉末にメタクリル酸イソチブルエステル
３％、ニトロセルローズ１％、ジオクチルフタレ
ート0.5％を加え、更に溶剤としてトリクロール
エチレン、ｎ−ブタノールを加えて、ボールミル
で混合し、流動性のあるスラリーとする。
これを減圧脱泡後平板状に流し出して徐熱し、
溶剤を発散させて厚さ0.5mmのアルミナグリーン
シートにする。
溶剤を発散させて厚さ0.5mmのアルミナグリーン
シートにする。
次にその厚さ0.5mmのアルミナグリーンシート
の表面上にその周囲を残して、上記と同様の方法
によりスラリー状としたタングステンペーストを
通常のスクリーン印刷法により、板状の面状誘導
電極３を印刷してその上に厚さ0.5mmの別のアル
ミナグリーンシートを載置して圧着し、更にその
アルミナグリーンシートの上に、上述と同様のタ
ングステンペーストを印刷して線状の放電電極を
構成する。
の表面上にその周囲を残して、上記と同様の方法
によりスラリー状としたタングステンペーストを
通常のスクリーン印刷法により、板状の面状誘導
電極３を印刷してその上に厚さ0.5mmの別のアル
ミナグリーンシートを載置して圧着し、更にその
アルミナグリーンシートの上に、上述と同様のタ
ングステンペーストを印刷して線状の放電電極を
構成する。
この上から更にスラリー状にしたアルミナペー
ストを放電々極２全体を覆うように印刷して、こ
れを1400〜1600℃の非酸化雰囲気で焼成して前述
の電界装置を構成するものである。
ストを放電々極２全体を覆うように印刷して、こ
れを1400〜1600℃の非酸化雰囲気で焼成して前述
の電界装置を構成するものである。
この電界装置を使用する際はその線状放電電極
２と面状の誘導電極３との間に、高周波高圧電源
５を電線６，７で接続し、両電極３，４間に高周
波高電圧を印加し、該誘電体基板１の表面におけ
る線状放電電極２側に沿面放電８をその全面にわ
たつて形成する。
２と面状の誘導電極３との間に、高周波高圧電源
５を電線６，７で接続し、両電極３，４間に高周
波高電圧を印加し、該誘電体基板１の表面におけ
る線状放電電極２側に沿面放電８をその全面にわ
たつて形成する。
この際その沿面放電８によつてそこに供給され
た酸素をオゾンガス化したり、あるいは粒子を帯
電または除電するものである。
た酸素をオゾンガス化したり、あるいは粒子を帯
電または除電するものである。
発明の効果
この発明は上述の通りであり、線状放電電極の
表面に膜厚が１〜40μｍのアルミナ被膜を形成し
たので、高湿度雰囲気で線状放電電極と面状誘導
電界の間で放電を行い、そこにNOxが発生して、
それが硝酸を生成してもアルミナは硝酸に対して
安定しているので、それによつて侵されることが
無く、前記従来のものと比較してその耐久性が著
しく向する。
表面に膜厚が１〜40μｍのアルミナ被膜を形成し
たので、高湿度雰囲気で線状放電電極と面状誘導
電界の間で放電を行い、そこにNOxが発生して、
それが硝酸を生成してもアルミナは硝酸に対して
安定しているので、それによつて侵されることが
無く、前記従来のものと比較してその耐久性が著
しく向する。
またその結果、線状放電電極が局部的に溶けて
セラミツク絶縁体の表面に飛散することもないの
で、オゾナイザとして使用した場合でもそれがオ
ゾンガス中に混入して害を及ぼす虞がない。
セラミツク絶縁体の表面に飛散することもないの
で、オゾナイザとして使用した場合でもそれがオ
ゾンガス中に混入して害を及ぼす虞がない。
これに対し前記従来のものは誘電体基板の表面
に金属性の線状放電電極を設け、その表面にグレ
ーズの被膜を設け、該基板の内部に面状誘導電極
を埋設していたので、両電極間に放電を発生させ
た際、前記線状放電電極が放電で消耗してその熔
融物であるアルカリ金属、硼素、鉛等の物質が誘
電体基板の表面に飛散して付着物となり、その付
着物が本発明の電界装置をオゾナイザとして使用
した場合に於ける有害物となる。またアルミナを
主成分とする誘電体基板とアルミナ被膜とは熱膨
張率が同じなので放電により電界装置の温度が上
昇してもアルミナ被膜は剥離することなく固着状
態が維持される。
に金属性の線状放電電極を設け、その表面にグレ
ーズの被膜を設け、該基板の内部に面状誘導電極
を埋設していたので、両電極間に放電を発生させ
た際、前記線状放電電極が放電で消耗してその熔
融物であるアルカリ金属、硼素、鉛等の物質が誘
電体基板の表面に飛散して付着物となり、その付
着物が本発明の電界装置をオゾナイザとして使用
した場合に於ける有害物となる。またアルミナを
主成分とする誘電体基板とアルミナ被膜とは熱膨
張率が同じなので放電により電界装置の温度が上
昇してもアルミナ被膜は剥離することなく固着状
態が維持される。
実験によると、アルミナ被膜の膜厚が1μｍ未
満であると、薄すぎて放電によるイオン射突でダ
メージを受け易く、実験化は不可能であり、又、
その膜厚が40μｍを越えると、厚すぎて被膜上に
充分に強力な沿面放電が発生せず、オゾンの発生
が低下するので、実用化は不可能であつた。
満であると、薄すぎて放電によるイオン射突でダ
メージを受け易く、実験化は不可能であり、又、
その膜厚が40μｍを越えると、厚すぎて被膜上に
充分に強力な沿面放電が発生せず、オゾンの発生
が低下するので、実用化は不可能であつた。
即ち、膜厚は１〜40μｍ以内で選択されなけれ
ば実用化できない。ちなみに99％純度のアルミナ
被膜10μｍで湿度80％の生空気を供給して実験し
たところ、前記の問題は全く発生せず、しかもア
ルミナ被膜のない電界装置に比べ1000時間も耐用
時間が長くなつた。
ば実用化できない。ちなみに99％純度のアルミナ
被膜10μｍで湿度80％の生空気を供給して実験し
たところ、前記の問題は全く発生せず、しかもア
ルミナ被膜のない電界装置に比べ1000時間も耐用
時間が長くなつた。
第１図はこの発明の実施例の一部を除去した平
面図、第２図は第１図の−線部の断面図、第
３図は第２図の−線部の断面図である。 １……誘電体基板、２……線状放電電極、３…
…面状誘導電極、４……アルミナ被膜、５……高
周波高圧電源。
面図、第２図は第１図の−線部の断面図、第
３図は第２図の−線部の断面図である。 １……誘電体基板、２……線状放電電極、３…
…面状誘導電極、４……アルミナ被膜、５……高
周波高圧電源。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ アルミナを主成分とする誘電体基板の表面に
線状放電電極を設け、かつ該線状放電電極と対向
して上記誘電体基板を介して面状誘導電極を設け
た電界装置において、該線状放電電極を膜厚１〜
40μｍのアルミナ被膜で覆うことを特徴とする電
界装置。 ２ 該線状放電電極を覆つているアルミナ被膜が
誘電体基板の表面も連続的に覆つていることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の放電素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31155387A JPH01154482A (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | 電界装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31155387A JPH01154482A (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | 電界装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01154482A JPH01154482A (ja) | 1989-06-16 |
| JPH0256793B2 true JPH0256793B2 (ja) | 1990-12-03 |
Family
ID=18018621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31155387A Granted JPH01154482A (ja) | 1987-12-09 | 1987-12-09 | 電界装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01154482A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2608477B2 (ja) * | 1989-08-29 | 1997-05-07 | 京セラ株式会社 | オゾン発生用放電体 |
| JPH03236900A (ja) * | 1990-02-14 | 1991-10-22 | Sharp Corp | 衣類乾燥機 |
| JPH0810935Y2 (ja) * | 1990-03-30 | 1996-03-29 | 日本特殊陶業株式会社 | 電界装置 |
| JP4994171B2 (ja) * | 2006-09-27 | 2012-08-08 | 京セラ株式会社 | 放電素子、この放電素子を用いた放電モジュール、並びに、この放電モジュールを用いたオゾン発生装置及びイオン発生装置 |
| JP5460092B2 (ja) * | 2009-03-25 | 2014-04-02 | 京セラ株式会社 | プラズマ発生体およびプラズマ発生装置 |
| JP2013103857A (ja) * | 2011-11-14 | 2013-05-30 | Shunsuke Hosokawa | オゾン生成方法ならびにオゾン供給装置 |
| CN115364634A (zh) * | 2021-05-18 | 2022-11-22 | 美的集团(上海)有限公司 | 等离子体发生模块、净化部件、设备及空调系统 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS576385A (en) * | 1980-06-12 | 1982-01-13 | Citizen Watch Co Ltd | Movement structure of digital watch |
| JPS5934738Y2 (ja) * | 1980-09-09 | 1984-09-26 | 株式会社ニフコ | ウイングナツト |
-
1987
- 1987-12-09 JP JP31155387A patent/JPH01154482A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01154482A (ja) | 1989-06-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |