JPH09101217A - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 可変抵抗手段における接触圧を小さくしても
確実に圧力変化を捕らえることができる圧力センサを提
供する。 【構成】 一端部が開口した筐体１と、この筐体１の凹
部１１を覆う蓋体２と、筐体１内を負圧室６５と大気圧
室６６との２つの部屋に分割するように位置するダイヤ
フラム３と、このダイヤフラム３を蓋体３方向に弾性的
に押圧するため負圧室６５側に設けられたコイルバネ４
と、その一部に摺動子５８を備えたダイヤフラム３の変
位により移動する摺動子受け部材５１及びこの摺動子５
８が接触する１本の抵抗材６２とを備えた可変抵抗手段
５と、摺動子受け部材５１を常時ダイヤフラム３側に押
圧する戻しバネ５２とを有し、抵抗材６２の両端の端子
６３，６４のいずれか一方の端子と戻しバネ５２の他端
から取り出された摺動子５８の端子６７との間の電圧を
取り出す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、被測定部の圧力変化を
電気的に取出して出力する圧力センサに関し、特に、圧
力の変化を抵抗値の変化で捕らえ、これを電気的に変換
して出力する圧力センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】被測定部の圧力変化をダイヤフラムの変
位で捕らえ、この変位によって可変抵抗器の抵抗値を変
え、この抵抗値の変化をランプ表示やブザー警告で表わ
すようにした圧力センサは従来より種々提供されてい
る。例えば負圧力により塵芥を吸引する電気掃除機にお
いて、ごみ袋内のごみが一杯になったり、フィルタの目
詰まり等により負圧力が低下すると、吸引力の低下とい
う形で現れる。そこで負圧力の低下をランプの輝度変化
等で表示して使用者に注意を促すことが行われている。
すなわち掃除機の吸引経路内に負圧力をチェックする圧
力センサを設け、このセンサが所定の負圧力より低くな
ったことを検知した時には、警告用のランプを点灯させ
る。

【０００３】このような圧力センサの一例を図９及び図
１０により説明する。図９は従来の圧力センサの一例を
示す縦断面図、図１０はその摺動子と抵抗材の構成を概
略的に示す斜視図である。

【０００４】圧力センサは、一端部が開口した筐体８１
と、この筐体８１の開口部を塞ぐ蓋体８２と、筐体８１
内を負圧室８３と大気圧室８４の２つ部屋に仕切るよう
に取付けられたダイヤフラム８５と、筐体８１とダイヤ
フラム８５との間に介在され、ダイヤフラム８５を蓋体
８２側に弾性的に押圧するコイルバネ８６と、一面でコ
イルバネ８６の一端を受け、他面がダイヤフラム８５に
接触するディスク８７と、このディスク８７に一端が固
定され、他端は蓋体８２の挿通孔８８から外部に延在す
る摺動子受け部材８９とを有している。蓋体８２の外面
には摺動子受け部材８９をその内部に挿入するように中
空の柱状体９０の一端が取付けられている。筐体８１に
は負圧室８３に通じる通気孔９１が、蓋体８２には大気
圧室８４に通じる通気孔９２がそれぞれ穿孔されてい
る。柱状体９０の内面には導電路等が印刷された基板９
３が取付けられている。

【０００５】図１０に示すように、摺動子受け部材８９
には導電性金属で作られた摺動子９４が取付けられ、基
板９３には略Ｕ字状の第１導電路９５とこの第１導電路
９５内に位置する第２導電路９６が印刷され、第１導電
路９５の一部と第２導電路９６上には抵抗材９７が固着
されている。摺動子９４は第１導電路９５と第２導電路
９６の各抵抗材９７に跨がって接触するように摺動子受
け部材８９（図９）に固定されている。第１導電路９５
の両端には１Ｔ端子９８と３Ｔ端子９９を介して所定の
電源電圧が加えられている。そして第２導電路９６の２
Ｔ端子１００と１Ｔ端子９８あるいは３Ｔ端子９９間の
電圧を監視することにより摺動子９４の上下動、すなわ
ちダイヤフラム８５の上下動を検知することができる。

【０００６】したがって、この圧力センサを通気孔９１
を監視すべき負圧通路内に位置させ、通気孔９２を大気
中に位置させれば、負圧通路内の負圧が高くなると、ダ
イヤフラム８５はディスク８７によりコイルバネ８６を
押し上げるようにして上昇する。ダイヤフラム８５とデ
ィスク８７の上昇は、摺動子受け部材８９を上昇させる
ことになる。摺動子受け部材８９の上昇は、摺動子９４
の上昇となり接触している各抵抗材９７の位置が変化
し、抵抗値が変わることになる。この抵抗値の変化は２
Ｔ端子１００と１Ｔ端子９８あるいは３Ｔ端子９９間の
端子間電圧の変化として現れるので、この電圧変化を監
視することで負圧通路の圧力変化を知ることができる。
したがってこの電圧変化を利用してランプの輝度を変化
させて負圧の変動を表示したり、電圧が設定値に達した
時にブザーを鳴らして負圧が高くなったことを警告する
ようにすればよい。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】このように、２Ｔ端子
１００と１Ｔ端子９８あるいは３Ｔ端子９９間の端子間
電圧の変化を監視することで簡単に負圧の変動を検知す
ることができるが、摺動子９４は第１導電路９５と第２
導電路９６の各抵抗材９７に跨がって接触しており、基
板９３との接触圧が大きく、ダイヤフラム８５の上下動
をスムーズに行うのを妨げている。すなわち、圧力変動
を的確に捕らえるためにはダイヤフラム８５の上下動を
妨げるような負荷をなるべく少なくする必要があるが、
そのためにはダイヤフラム８５の上下動に連動する摺動
子９４の抵抗材９７との接触圧をなるべく小さくする
か、ダイヤフラム８５の直径を大きくして大きな力を得
るかであるが、前者の方法は単にその接触圧を小さくし
ただけでは摺動子９４と抵抗材９７の接触が不安定にな
り、正確に圧力変化が捕らえられないことがある。ま
た、後者の方法はそれだけセンサ全体が大型化してしま
い上述したような電気掃除機のような小型の機器にとり
つけるには不適当である。

【０００８】本発明の第１の目的は、接触圧を低く抑え
てヒステリシスを小さくでき、圧力変動に対する応答性
を高くすることができる圧力センサを提供するにある。

【０００９】本発明の第２の目的は、摺動子部材が移動
しても筐体からガイド軸がないのでガイド軸が突出する
ことがなく、小型化を図れ、特に摺動子部材の移動方向
の小型化を図れる圧力センサを提供するにある。

【００１０】本発明の第３の目的は、摺動子部材の横方
向へのずれを防止することができ、摺動子受け部を精度
良くガイドでき、また、極めてスムーズに移動させるこ
とができる圧力センサを提供するにある。

【００１１】本発明の第４の目的は、気密な可変抵抗器
を簡単に組立られ、また、摺動子を１トラック分で可変
抵抗器が構成できて、作動力の主要因である摺動圧を半
分にでき、ヒステリシスを軽減できて小型化を図れる圧
力センサを提供するにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記第１の目的は、一端
部が開口した筐体と、この筐体の前記開口を覆って前記
筐体を密閉したダイヤフラムと、このダイヤフラムを外
方側に押圧するように設けられたコイルバネと、前記筐
体内に配設され、前記前記ダイヤフラムの変位に伴って
移動する１つの摺動子部材及びこの摺動子部材が接触す
る１つの抵抗体を有し、前記ダイヤフラムの変位量を電
気的に取り出すための可変抵抗手段と、前記筐体の内底
面と前記摺動子部材との間に弾接されて、前記摺動子部
材を前記ダイヤフラム側に常時押圧する導電性の戻しバ
ネとを備え、前記摺動子部材と前記戻しバネの一端を電
気的に接続すると共に、前記戻しバネの他端を外部取り
出し端子に接続させた第１の手段により達成される。

【００１３】上記第２の目的は、上記第１の手段におい
て、前記摺動子部材は、金属製の摺動子受け部に１つの
摺動子を取付けて構成されると共に、この摺動子受け部
及び前記筐体には、該摺動子部材の移動をガイドするガ
イド部をそれぞれ設けた第２の手段により達成される。

【００１４】上記第３の目的は、上記第２の手段におい
て、前記摺動子受け部は板材からなり、そのガイド部に
は、その移動方向に平行な両端部を折り曲げて曲げ片部
を形成してあり、前記筐体のガイド部は、前記摺動子受
け部の板厚方向を規制する第１のガイド部を設け、かつ
前記曲げ片部の内面側に当接して板厚方向と直交する方
向を規制する第２のガイド部を設けて構成されている第
３の手段によっても達成される。

【００１５】上記第４の目的は、上記第１の手段におい
て、前記戻しバネの一端を、前記筐体から露出している
外部取り出し端子の内側に弾接させると共に、この外部
取り出し端子には開口部を設けて前記戻しバネの一端を
外部に露出させ、前記開口部を塞ぐように半田を施して
前記戻しバネの一端を前記外部取り出し端子に固定した
第４の手段によっても達成される。

【００１６】

【作用】前記第１の手段にあっては、摺動子部材は１本
の抵抗体のみに接触しており、摺動に伴う摩擦抵抗を削
減することができるので、接触圧を低く抑えてヒステリ
シスを小さくでき、圧力変動に対する応答性を高くする
ことができる。

【００１７】前記第２の手段にあっては、摺動子部材自
体にガイド部を設けたことで、摺動子部材が移動しても
筐体からガイド軸がないのでガイド軸が突出することが
なく、小型化を図れ、特に摺動子部材の移動方向の小型
化を図れる。

【００１８】前記第３の手段にあっては、摺動子部材の
横方向へのずれを防止することができ、摺動子受け部を
精度良くガイドできる。また、摺動子受け部の破断面を
筐体と接触しなくできるので、摺動子受け部を極めてス
ムーズに移動させることができる。

【００１９】前記第４の手段にあっては、摺動子受け部
から摺動子を介さないで直接、外部への取り出しが行え
ると同時に、筐体外側から戻しバネと外部取り出し端子
の半田付けを行えば、気密な可変抵抗器を簡単に組立ら
れる。また、摺動子を１トラック分で可変抵抗器が構成
できるので、作動力の主要因である摺動圧を半分にでき
る。すなわち、ヒステリシスを軽減できて小型化を図れ
る。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の一実施例について説明する。
図１は一実施例の外観を示す側面図、図２はその平面
図、図３は図２のＡ−Ａ線に沿って切断して示す縦断面
図、図４は図２のＢ−Ｂ線に沿って切断して示す縦断面
図、図５は図３のＣ−Ｃ線に沿って切断して示す横断面
図、図６はその摺動子の取付け部分のみを示す縦断面
図、図７はその摺動子と抵抗材の構成を概略的に示す斜
視図、図８（ａ），（ｂ）は戻しバネと外部取り出し端
子の接続部分を示す要部平面図及び縦断面図である。な
お、図３及び図４においてはダイヤフラムを多少浮かせ
た状態で示されている。

【００２１】本発明の一実施例における圧力センサは、
円筒状の筐体１と、この筐体１の下端部に嵌合される蓋
体２と、筐体１の下端部と蓋体２間に位置するダイヤフ
ラム３と、このダイヤフラム３を図面において下方に弾
性的に押圧するコイルバネ４と、ダイヤフラム３の変位
を電気的に検出する検出手段である可変抵抗手段５とか
ら主に構成されている。

【００２２】筐体１は合成樹脂で作られており、その下
部にはこの筐体１と同軸上にその中心部が位置し、下方
が開放した円筒状の凹部１１と、この凹部１１の外周部
に同軸上にかつ環状に形成されたコイルバネ４受け用の
環状溝１２と、一端がこの環状溝１２内に連通し、他端
は直径方向に外周部から突出する通気管部１３と、凹部
１１の中心部に設けられた可変抵抗手段５の収納開口部
１４とが形成されている。筐体１の凹部１１を囲む外周
縁部１５には環状の突起１６が形成されている。

【００２３】筐体１の凹部１１を覆うように取付けられ
る蓋体２は金属板あるいは合成樹脂で作られ、ダイヤフ
ラム３の面と相対する底部２１と、筐体１の凹部１１外
周に嵌合される側部２２とが一体的に形成されている。
底部２１の中心部には通気孔２３が穿孔されており、こ
の通気孔２３を取り囲むようにかつ筐体１側に突出する
ように複数の凸部２４が形成されている。これら凸部２
４は、ダイヤフラム３の面が底部２１に面接触してその
変位動作が妨げられるのを防止するためのものである。

【００２４】ダイヤフラム３は、ゴムあるいは弾性合成
樹脂で作られ、円板状の平坦面部３１と、この平坦面部
３１の外周部に形成された周壁部３２と、この周壁部３
２の外周部に形成された縁部３３とによりほぼ皿状に形
成されている。ダイヤフラム３はその開口部が筐体１側
に向くようにして筐体１に取付けられる。取付け時に筐
体１の環状の突起１６に嵌合されるように、縁部３３に
は環状凹部３４が形成されている。この縁部３３の下面
は、蓋体２の底部２１と側部２２の境界部である段部２
５により筐体１の外周縁部１５に圧着される。ダイヤフ
ラム３の平坦面部３１の凹部１１側の面には、金属製の
ディスク３５が取付けられている。このディスク３５は
中心部に形成された２つの貫通孔３６にダイヤフラム３
の平坦面部３１の上面に形成された２つの係止突起３７
をそれぞれ嵌合することにより固定される。

【００２５】可変抵抗手段５は、黄銅鋼のような導電性
金属板で作られた摺動子受け部材５１と、この摺動子受
け部材５１をダイヤフラム３方向に弾性的に押圧する導
電性金属のコイルバネで構成された戻しバネ５２と、１
本のほぼＵ字状をした導電路５３が印刷された基板５４
とを有している。摺動子受け部材５１は、両端部が同一
方向に折り曲げられて形成された曲げ片部５５と、これ
ら曲げ片部５５間の摺動子受け部材５１を下部を除いて
切り欠き、この切欠き部をほぼ水平に曲げることにより
戻しバネ５２の下端を支持するスプリング押え部５６
と、スプリング押え部５６により形成された切欠き開口
５７に一端部が位置するように摺動子受け部材５１に取
付けられた導電性金属板製の摺動子５８とを有してい
る。なお、摺動子受け部材５１を黄銅鋼で作成した場
合、曲げ片部５５の角度は鈍角とすると、角部で破断す
ることもなく、また折り曲げ加工も一工程で行える。

【００２６】摺動子受け部材５１の曲げ片部５５は、凹
部１１内に突出するように形成された２組の突条１７，
１７，１８により形成された溝１９に遊嵌支持されてい
る。摺動子受け部材５１の曲げ片部５５の両側に位置す
る突条１７，１７は、摺動子受け部材５１の板厚方向を
規制してガイドするように摺動子受け部材５１の面にそ
れぞれ接触している。突条１８は曲げ片部５５の内面に
接触して摺動子受け部材５１の板厚方向と直交する方向
を規制してガイドする。曲げ片部５５を折り曲げて形成
しているので、この突条１８は曲げ片部５５の折れ部分
に近づけた方が寸法精度は良くなる。このように突条１
７，１８とともに摺動子受け部材５１の曲げ片部５５間
の面の一部と接触させることにより、摺動子受け部材５
１が歪んだり、傾いたすることなくスムーズに上下動で
きるように支持されている。

【００２７】摺動子５８の他端部すなわち下端部は、摺
動子受け部材５１の下端中央に形成された突起部５９に
固定されている。摺動子５８は摺動子受け部材５１にそ
して摺動子受け部材５１は戻しバネ５２にそれぞれ電気
的に接続されている。突起部５９の下端はディスク３５
の上面のほぼ中央部に当接している。

【００２８】基板５４はその導電路５３側が摺動子受け
部材５１に相対するように取付けられる。すなわち、基
板５４の厚さにほぼ等しい距離をおいて設けられた一対
の凹段部２０ａと突条２０ｂとより形成された溝６０に
基板５４の両端部が嵌合支持されている。基板５４の反
対側の面のほぼ中央には凹部１１から一体的に設けられ
た保持突起６１が当接し、基板５４の導電路５３側は内
側に湾曲して、導電路５３に摺動子５８が接触しないよ
うな事態が発生しないようになっている。導電路５３の
一部には抵抗材６２が固着されており、導電路５３の一
端部には１Ｔ端子６３が、他端部には３Ｔ端子６４がそ
れぞれ接続されている。戻しバネ５２の上端は、図６及
び図８（ａ），（ｂ）に示すように、２Ｔ端子（外部取
り出し端子）６７に圧接されており、この２Ｔ端子６７
の当接部分には凹段部７０が形成されて戻しバネ５２の
上端が嵌入保持されている。また、この２Ｔ端子６７
（１Ｔ端子６３，３Ｔ端子６４）はその一部分埋め込む
ようにして筐体１がモールド成形されているが、前記当
接部分に対応する筐体１の外面には、図８（ａ），
（ｂ）に示すように切欠き部６９が形成されて２Ｔ端子
６７が外部に露出されている。さらに、切欠き部６９内
の２Ｔ端子６７の凹段部７０に開口部７１が形成されて
戻しバネ５２の上端の一部が露出されている。切欠き部
６９内の２Ｔ端子６７の開口部７１を塞ぐように半田７
２を施すことによって、戻しバネ５２の上端と２Ｔ端子
６７とを半田付けするとともに、その半田により２Ｔ端
子６７の開口部７１も塞いで筐体１の気密状態を維持で
きる。

【００２９】次に、前記実施例の動作について説明す
る。圧力センサは、通気管部１３の外部開口を負圧通路
（図示しない）内に位置させ、蓋体２の通気孔２３を大
気圧中に位置させる。これにより筐体１の凹部１１内は
ダイヤフラム３を境に上部が負圧室６５となり、下部が
大気圧室６６となる。負圧が所定の値までは、図示する
ように、コイルバネ４により蓋体２の底部２１に押圧さ
れている。この時、蓋体２の底部２１には複数の凸部２
４が形成されているので、これら凸部２４によりダイヤ
フラム３の面が底部２１に面接触して負圧の変動に伴う
変位動作が妨げられることはない。負圧通路内の負圧が
上昇すると、負圧室６５内の負気圧も高くなり、これに
よりコイルバネ４の弾性力に抗してダイヤフラム３は上
昇する。ダイヤフラム３の上昇は、ディスク３５を上昇
させるので、突起部５９が接触している摺動子受け部材
５１も戻しバネ５２の押圧力に抗して上昇する。摺動子
受け部材５１の上下動方向に平行な曲げ片部５５は、そ
れぞれ溝１９に遊嵌支持されているので、摺動子受け部
材５１も抵抗なく上下動できる。しかも、各曲げ片部５
５の内側に位置する突条１７は曲げ片部５５間の摺動子
受け部材５１の面にそれぞれ接触しているので、摺動子
受け部材５１が歪んだり、傾いたりすることなく極めて
スムーズに上下動させることができる。

【００３０】これにより摺動子５８も上昇し、摺動子５
８が接触する抵抗材６２の位置が変わることになる。こ
こで、図７において１Ｔ端子６３から３Ｔ端子６４間に
所定の電圧を加えておき、初期状態においては摺動子５
８が抵抗材６２の下方の部分に接触するように設定して
おく。そして摺動子５８に接続されている２Ｔ端子６７
と１Ｔ端子６３あるいは３Ｔ端子６４間の電圧を常時監
視するようにする。すなわち、摺動子５８の上下動で抵
抗材６２との接触位置が変わりこれが端子間電圧の変化
となって現れるので、設定値より電圧が高くなることで
負圧室６５の負圧の上昇を知ることができる。摺動子５
８は一ヶ所で抵抗材６２に接触しているので、摩擦抵抗
は極めて小さくなり、摺動子５８の上下動は極めて円滑
に行わせることができる。

【００３１】このように構成された前記実施例にあって
は、一端部が開口した筐体１と、この筐体１の開口を覆
う蓋体２と、筐体１内を被測定圧力室６５と大気圧室６
６との２つの部屋に分割するように位置するダイヤフラ
ム３と、このダイヤフラム３を蓋体側に弾性的に押圧す
るように設けられたコイルバネ４と、ダイヤフラム３の
変位により移動する摺動子部材及びこの摺動子部材が接
触する抵抗体を有し、ダイヤフラム３の変位を電気的に
取り出すための可変抵抗手段５と、摺動子部材を常時ダ
イヤフラム３側に押圧するとともに摺動子部材（５８）
とその一端が電気的に接続された導電性の戻しバネ５２
とを備え、抵抗体６２の両端の端子のいずれか一方の端
子と戻しバネ５２の他端から取り出された摺動子部材
（５８）の端子との間の電圧を取り出すようにしたた
め、摺動子部材（５８）は１本の抵抗体のみに接触して
おり、摺動に伴う摩擦抵抗を削減することができるの
で、接触圧を低く抑えることができる。

【００３２】また、前記実施例にあっては、摺動子部材
は抵抗体６２に接触する摺動子５８と、この摺動子５８
の一端を支持するとともにその移動方向に平行な両端部
を折り曲げて曲げ片部５５が形成された摺動子受け部５
１とを有し、筐体１にはこれら曲げ片部５５が遊嵌され
る溝１９を形成する突条１７，１８が形成されているた
め、曲げ片部５５によって摺動子部材自体にガイド部を
設けたことになり、摺動子部材の横方向へのずれを防止
することができ、可動部分をスムーズに移動させること
ができる。

【００３３】また、前記実施例にあっては、一方の突条
１７は曲げ片部５５の高さより僅かに高く突出されると
ともに、突条１７，１７が摺動子受け部５１の両面から
接触されており、また、突条１８は曲げ片部５５の内面
に接触させてあるため、筐体１に２組の突条１７，１
７，１８を設けるという簡単な構造により摺動子部材を
極めてスムーズに移動させることができる。

【００３４】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、摺動子部
材は１本の抵抗体のみに接触しており、摺動に伴う摩擦
抵抗を削減することができるので、接触圧を低く抑えて
ヒステリシスを小さくでき、圧力変動に対する応答性を
高くすることができる。

【００３５】請求項２記載の発明によれば、摺動子部材
自体にガイド部を設けたことで、摺動子部材が移動して
も筐体からガイド軸がないのでガイド軸が突出すること
がなく、小型化を図れ、特に摺動子部材の移動方向の小
型化を図れる。

【００３６】請求項３記載の発明によれば、摺動子部材
の横方向へのずれを防止することができ、摺動子受け部
を精度良くガイドできる。また、摺動子受け部の破断面
を筐体と接触しなくできるので、摺動子受け部を極めて
スムーズに移動させることができる。

【００３７】請求項４記載の発明によれば、摺動子受け
部から摺動子を介さないで直接、外部への取り出しが行
えると同時に、筐体外側から戻しバネと外部取り出し端
子の半田付けを行えば、気密な可変抵抗器を簡単に組立
られる。また、摺動子を１トラック分で可変抵抗器が構
成できるので、作動力の主要因である摺動圧を半分にで
きる。すなわち、ヒステリシスを軽減できて小型化を図
れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の圧力センサの一実施例を示す側面図で
ある。

【図２】その平面図である。

【図３】図２のＡ−Ａ線に沿って切断して示す縦断面図
で、ダイヤフラムを多少浮かせた状態で示している。

【図４】図２のＢ−Ｂ線に沿って切断して示す縦断面図
で、図３と同様にダイヤフラムを多少浮かせた状態で示
している。

【図５】図３のＣ−Ｃ線に沿って切断して示す横断面図
である。

【図６】その摺動子の取付け部分のみを示す縦断面図で
ある。

【図７】その摺動子と抵抗材の構成を概略的に示す斜視
図である。

【図８】（ａ），（ｂ）は戻しバネと外部取り出し端子
の接続部分を示す要部平面図及び縦断面図である。であ
る。

【図９】従来の圧力センサの一例を示す縦断面図であ
る。

【図１０】その摺動子と抵抗材の構成を概略的に示す斜
視図である。

【符号の説明】

１ 筐体 ２ 蓋体 ３ ダイヤフラム ４ コイルバネ ５ 可変抵抗手段 １１ 凹部 １３ 通気管部 １７，１８ 突条 １９ 溝 ２１ 底部 ２３ 通気孔 ３１ 平坦面部 ３５ ディスク ３６ 貫通孔 ３７ 係止突起 ５１ 摺動子受け部材 ５２ 戻しバネ ５４ 基板 ５６ スプリング押え部 ５８ 摺動子 ６２ 抵抗体 ６５ 負圧室 ６６ 大気圧室

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一端部が開口した筐体と、 この筐体の前記開口を覆って前記筐体を密閉したダイヤ
   フラムと、 このダイヤフラムを外方側に押圧するように設けられた
   コイルバネと、 前記筐体内に配設され、前記ダイヤフラムの変位に伴っ
   て移動する１つの摺動子部材及びこの摺動子部材が接触
   する１つの抵抗体を有し、前記ダイヤフラムの変位量を
   電気的に取り出すための可変抵抗手段と、 前記筐体の内底面と前記摺動子部材との間に弾接され
   て、前記摺動子部材を前記ダイヤフラム側に常時押圧す
   る導電性の戻しバネとを備え、 前記摺動子部材と前記戻しバネの一端を電気的に接続す
   ると共に、前記戻しバネの他端を外部取り出し端子に接
   続させたことを特徴とする圧力センサ。
2. 【請求項２】 前記摺動子部材は、金属製の摺動子受け
   部に１つの摺動子を取付けて構成されると共に、この摺
   動子受け部及び前記筐体には、該摺動子部材の移動をガ
   イドするガイド部をそれぞれ設けたことを特徴とする請
   求項１記載の圧力センサ。
3. 【請求項３】 前記摺動子受け部は板材からなり、その
   ガイド部には、その移動方向に平行な両端部を折り曲げ
   て曲げ片部を形成してあり、 前記筐体のガイド部は、前記摺動子受け部の板厚方向を
   規制する第１のガイド部を設け、かつ前記曲げ片部の内
   面側に当接して板厚方向と直交する方向を規制する第２
   のガイド部を設けて構成されていることを特徴とする請
   求項２記載の圧力センサ。
4. 【請求項４】 前記戻しバネの一端を、前記筐体から露
   出している外部取り出し端子の内側に弾接させると共
   に、この外部取り出し端子には開口部を設けて前記戻し
   バネの一端を外部に露出させ、前記開口部を塞ぐように
   半田を施して前記戻しバネの一端を前記外部取り出し端
   子に固定したことを特徴とする請求項１記載の圧力セン
   サ。