JPH09280987A - 静電容量型圧力センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】少ない部品点数，組立工数で低コスト，かつ精
度よく製品を組立てることができ、しかも取付時に加わ
る機械的な応力，および温度サイクルなどの周囲条件に
よる特性変化の影響が小さい静電容量型圧力センサを提
供する。 【解決手段】導圧孔１ｂを開口した下部ケース１，キャ
ップ２とからなる外ケースと、下部ケースの底壁に支持
脚５ａを介して固定した樹脂成形品の電極ホルダ５と、
電極ホルダの底壁周縁部と下部ケースの底壁との間にＯ
リング４を介して挟持固定した断面波形状のダイヤフラ
ム３と、ダイヤフラムに連係して電極ホルダ内の底部側
に配した可動電極６と、可動電極と組合せて可変容量部
を構成する固定電極７ａ，および固定容量部を構成する
一対の固定電極７ｂ，７ｃを一体にインサート成形した
固定電極ユニット７と、電極ホルダの頂部に装着したプ
リント板８とを組み合わせて圧力センサを組立て構成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばＬＰガス用
のガスメータに搭載してガス漏れを監視する微圧領域の
圧力検出用として好適な静電容量型圧力センサ、特にそ
の組立構造に関する。

【従来の技術】頭記した静電容量型圧力センサとして従
来より各種方式のものが数多く提案，製品化されてお
り、その一つに特開平７−２８６９２５号公報に開示さ
れた構成のものがある。上記開示技術でのセンサ組立構
造では、ケース内に、金属薄板で作られた断面波形状の
ダイヤフラムを含む受圧ユニット，二枚の固定電極間に
可動電極を介挿した差動型のセンサユニット，信号処理
ユニットなど組み込んで組立てた構成であり、特にダイ
ヤフラムは、その周縁に深絞り加工を施して形成したフ
ランジ部をケース底壁とダイヤフラム押さえ部材との間
に挟持固定している。また、センサユニットは、独立部
品としてなる筒形電極ホルダの内方に、固定電極，可動
電極をその上下に配したシールド板ととにも各部品の相
互間にスペーサを挟んで積み上げ収容し、上方より押さ
えばねを介して電極押さえ部材により各電極を定位置に
保持するようにしている。一方、静電容量型圧力センサ
について、周囲温度などの変動に伴うセンサ出力の変化
を補償する方式として、ダイヤフラムの変位に従動する
可動電極と固定電極とで構成した可変容量部の他に、一
対の固定電極で構成した固定容量部を併設し、前記の可
変容量を検出する発振回路と固定容量を検出する発振回
路の発振周波数の比を演算することによりオフセットを
補償するようにした方式ものが、例えば特開昭５５−１
５９１１０号公報で公知である。

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記方式
（特開昭５５−１５９１１０号公報の開示技術）の圧力
センサを製品化する場合に、先記した特開平７−２８６
９２５号公報に開示されているものと同様な組立構造を
採用すると、組立性，特性面で次記のような問題点が残
る。すなわち、 １）可変容量部と固定容量部を併設したものでは、先記
した差動型方式に比べてセンサユニットの電極ホルダ内
に組み込む電極枚数が多くなるため、電極板の間に介挿
するスペーサ，押さえばね等を含めた部品点数，組立工
数が増加してコスト高となるほか、組立精度の面でも電
極の固定位置にばらつきが生じ易く、製品の歩留りが低
下する。 ２）また、前記のセンサユニットとは別に、ダイヤフラ
ムを専用の押さえ部材で固定するようにした組立構造で
は、製品の部品点数，組立工数が増えてコストを高める
要因となる。 ３）また、ダイヤフラムに関して、その周縁にフランジ
部を深絞り形成したものでは、フランジ部の絞り加工に
伴う歪みの影響でダイヤフラム自身の平坦度が低下して
歩留りが低下するほか、ケース内に組み込んで固定した
際にフランジ部に加わる張力でダイヤフラムの中心高さ
の初期位置がばらつき、このために可動容量部の可動電
極と固定電極との間の距離が一定しないといった問題が
ある。 ４）一方、電極を組み込んだセンサユニットに対して、
外部からの電界変化の影響を抑えるためにシールド板を
付設するようにしているが、このシールド板が電極板に
近づき過ぎると寄生容量が増大してセンサ出力特性の線
形性が悪化するほか、寄生容量の周囲温度による変化が
センサ出力を変動させる原因となる。 ５）さらに、ケースのキャップ上面には信号処理ユニッ
ト（プリント板）に対向する箇所にドライバ，テスト用
プローブなどを挿入する小穴を開けておき、該小穴を通
じて製品組立後にセンサ感度，オフセット調整などの調
整作業を行うようにしているが、塵埃などの侵入を防ぐ
ためにテスト，調整後にこの小穴を別部品で閉塞する
と、その材質によっては寄生容量が増加してセンサ特性
を変化させるおそれがある。また、樹脂成形品として作
られたキャップの上面にはモールド金型のゲート跡が残
っており、このゲート跡をそのまま露呈させたままでは
外観上で見栄えが悪い。本発明は上記の点にかんがみな
されたものであり、その目的は前記課題を解決し、部品
点数の削減，組立性の改善と併せて、使用機器に取付け
た際の機械的な応力，温度サイクルなどの周囲条件の影
響を受けずに安定した出力が得られるようにした低コス
トで高信頼性の静電容量型圧力センサを提供することに
ある。

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明によれば、底部中央に導圧孔が開口した下部
ケースとキャップとの組合せからなる外ケースと、前記
下部ケース内に収容し、かつ該ケースの周壁と接触しな
いように遊嵌してケースの底壁に固定した樹脂成形品と
してなる箱形の電極ホルダと、該電極ホルダの底壁周縁
部と下部ケースの底壁との間にＯリングを介して挟持固
定した断面波形状のダイヤフラムと、該ダイヤフラムに
連係して電極ホルダ内の底部側に配した板状の可動電極
と、該可動電極と組合せて可変容量部を構成する固定電
極，および固定容量部を構成する一対の固定電極を一体
にインサート成形して前記電極ホルダ内に収容した固定
電極ユニットと、電極ホルダの頂部に装着した信号処理
用のプリント板とで圧力センサを組立て構成するものと
する。また、本発明によれば、前記構成を基本として、
各部を次記のような形態で構成することができる。 １）ダイヤフラムの周縁部に波形の山，もしくは谷の高
さにレベルを合わせて側方に延在する平坦なフランジ部
を形成し、該フランジ部をＯリングを介して下部ケース
と電極ホルダとの間に挟持する。 ２）電極ホルダは、ダイヤフラム保持部材を兼ねた固定
脚付きの底壁部と、該底壁部上に連なる電極収容部とか
らなり、かつダイヤフラム支持点近傍より外周側の領域
で底壁部と電極収容部との間が上下に分離した構造とす
る。そして、電極ホルダの底面域を覆って、その底壁部
と電極収容部との分離境界面に金属製のシールド板をイ
ンサート成形する。 ３）キャップの上面にプリント板に設けたボリュウムの
調整用穴を開口するとともに、調整後に前記穴，および
モールド成形時に生じたゲート跡を覆ってキャップ上面
に誘電率の低い絶縁材料で作られた銘板を貼着する。 ４）ダイヤフラム自身を接地するか，もしくは回路側か
ら特定電位を与えて電極に対するシールド板の機能を持
たせる。 ５）ダイヤフラムの変位を可動電極に伝えるプランジャ
を、周囲温度の変化によるオフセット変動を補正するよ
うな線膨張率の材質に選定する。 ６）可変容量部，および固定容量部の各固定電極板を電
極ユニットと一体にインサート成形する代わりに、電極
ホルダの内周面に形成した電極板取付段部に固定電極板
を直接係止して所定位置に固定する。 上記の構成によれば、可動容量部，固定容量部の各電極
を組み込んだ電極ホルダを用いてダイヤフラムを下部ケ
ースとの間に挟持するようにしたので、ダイヤフラム専
用の押さえ部材が不要となり、その分だけ部品点数，組
立工数が少なくて済む。また、複数枚の電極板は、電極
ユニットと一体にインサート成形するか、あるいは電極
ホルダに直接固定するようにしたので、電極間にスペー
サを介挿する必要がなく、これにより部品点数，組立工
数も少なくて済み、かつ組立精度が向上する。しかも、
前記２）項のように電極ホルダを下部ケースに固定する
底壁部と電極収容部との間を外周域で分離してここにシ
ールド板をインサート成形し、かつ電極収容部を下部ケ
ース内に遊嵌させたことにより、圧力センサを機器に取
付けた際に加わる機械的な応力でケース自身に歪み，変
形が生じても、その影響が電極ホルダの電極収納部に及
んで電極間の相対的な距離を変化させることがなく、こ
れによりセンサの出力誤差を防止できる。また、シール
ド板があらかじめ電極ホルダに一体化されているので組
立てが容易である。また、前記１）項のようにダイヤフ
ラムのフランジ部を形成することにより、フランジ部の
平坦度が高まって歩留りが向上する。さらに、ダイヤフ
ラムをケース内に組み込んだ状態でダイヤフラムの外周
部に張力を加えた場合におけるダイヤフラム中心部の初
期位置変化が、周縁フランジ部を深絞りした従来構成の
ものと比べて小さくなることが、発明者等が行ったコン
ピュータによる構造解析の結果からも確認されている。
また、３）項のようにキャップに開口した穴を誘電率の
低い材料の銘板で閉塞すれば、銘板を貼着する前後での
寄生容量の変化が殆どなく、これによりオフセット調整
が精度よく行える。また、この銘板でキャップのモール
ド成形時に生じた金型のゲート跡（ゲート跡がそのまま
露呈していると外観上での体裁を損なう）を隠すことが
できる。また、４）項のようにダイヤフラム自身を接地
するか，もしくは回路側から特定電位を与えて電極に対
するシールドの機能を持たせることで、専用のシールド
板を省略して部品点数が削減でき、かつ寄生容量も小さ
くなってセンサ特性の直線性が向上する。また、５）項
のようにダイヤフラムの変位を可動電極に伝えるプラン
ジャの材質を、周囲温度の変化によるオフセット変動を
補正するような線膨張率に選定するすることで、オフセ
ット調整に関する微調整が可能となる。また、６）項の
ように、可変容量部，固定容量部の各固定電極板を電極
ユニットと一体にインサート成形する代わりに、電極ホ
ルダの内周面に形成した取付段部に固定電極板を直接係
止して所定位置に固定した構成を採用することで、高価
なインサート成形設備の導入が不要となり、コスト面で
少数生産の場合に有利である。

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に基
づいて説明する。まず、図１，図２において、１は樹脂
成形品としてなる下部ケース、２は下部ケース１に被せ
たキャップ、３はダイヤフラム、４はＯリング、５は電
極ホルダ、６は可動電極、７は固定電極ユニット、８は
信号処理用のプリント板、９はキャップ２に上面に貼着
した銘板であり、これら部品で図２に示す圧力センサを
組立て構成している。ここで、下部ケース１は底壁部の
中央より下方に膨出した取付部１ａに導圧孔１ｂが開口
しており、さらに底壁の上面周域に円形状の凹溝を形成
してここにＯリング４が嵌合されている。またダイヤフ
ラム３は薄金属板で作られた断面波形状のダイヤフラム
であり、図３（ａ),（ｂ）で示すようにダイヤフラム３
の周縁部には波形の山３ａ，もしくは谷３ｂの高さにレ
ベルを合わせて側方に延在するフランジ部３ｃが形成さ
れており、このフランジ部３ｃを前記Ｏリング４を介し
て下部ケース１と後記する電極ホルダ５の底壁周縁部と
の間に挟み込んで定位置に固定保持している。次に電極
ホルダ５の詳細な構造を図４に示す。この電極ホルダ５
は可動，固定電極を収容するとともに、ダイヤフラム３
の押さえ部材も兼ねたものであり、図示のように下面側
の周縁複数箇所に支持脚５ａを備えた底壁部５ｂと、該
底壁部５ｂと局部的に連なる上部側の電極収容部５ｃ
と、底壁部５ｂと電極収容部５ｃとの間の境界面に金属
製のシールド板５ｄをインサート成形してなる樹脂成形
品で、底壁部５ｂの下面側にはダイヤフラム３を収容す
る凹所５ｅ，および中心穴５ｆが形成されている。そし
て、組立時には前記支持脚５ａを下部ケース１の底壁に
穿孔した穴へ挿入した上で熱かしめして固定し、ダイヤ
フラム３を下部ケース１との間に挟持する。ここで、底
壁部５ｂと電極収容部５ｃはシールド板５ｄの板面上に
分散して穿孔した穴５ｄ-1を通して樹脂が上下に連なっ
ている。そして、このシールド板５ｄを境にして、少な
くともダイヤフラム３の支持点近傍より外周側の領域が
上下に分離しており、かつ電極収容部５ｃは下部ケース
１の周壁と接触し合わないように遊び間隙を残して遊嵌
されている。次に、前記の電極ホルダ５に収容保持した
固定電極ユニット７の構成、並びにその製作方法を図５
（ａ）〜（ｄ）で説明する。この固定電極ユニット７
は、先記した可動電極６（図１参照）と組合せて可変容
量部を構成する固定電極７ａと、固定容量部を構成する
二枚の固定電極７ｂ，７ｃを上下に所定間隔に保って樹
脂製の円筒形のユニット基体７ｄと一体にインサート成
形したものである。なお、ユニット基体７ｄの周面には
電極ホルダ５に固定するための係止爪部７ｅが形成され
ている。そして、製品組立時には、電極ホルダ５の底部
側に可動電極６を装着した上で、電極ホルダ５の中に固
定電極ユニット７を挿入し、その係止爪部７ｅと電極ホ
ルダ５の四隅に形成した爪嵌合部とに熱を加えて両者を
一体に溶着させるなどして一体に結合させる。なお、可
動電極６は円板状の周縁部分に切込みを入れて外周支持
部に中央の電極部を上下に変位可能に支持されており、
図２で示すようにその中心部にプランジャ６ａを結合
し、該プランジャ６ａの先端をダイヤフラム３の上面中
心部に当接させて、ダイヤフラム３の変位に可動電極６
が従動して固定電極７ａの間の間隙を変化させるように
している。ここで、固定電極７ａ〜７ｃをユニット基体
７ｄにインサート成形する方法を図５（ｄ）で説明す
る。まず、１０ａ，１０ｂは固定電極の組立用治具であ
る上型，下型であって、その周縁四箇所には階段状の段
部１０ｃが形成されており、ここへ固定電極７ａ〜７ｃ
（電極板の周縁数箇所には耳状突起７ｇが形成されてい
る）を一枚ずつ挟み込んで保持する。この状態で、次に
治具とともに各固定電極を樹脂成形金型にインサート
し、前記上型１０ａ，下型１０ｂの外周側に注型樹脂を
注入して固定電極７ａ〜７ｃとユニット基体７ｄとを一
体成形する。なお、図中で７ｆは固定電極のリード端子
である。また、可動容量部と固定容量部との間の静電的
な干渉を避けるためには固定電極７ａと７ｂとの間にシ
ールド板を介挿するのがよい。また、図１に戻って、プ
リント板８には、信号処理回路とともに、オフセット調
整用のボリウム８ａを搭載しており、さらに信号を外部
に取り出す配線８ｂが接続されている。このプリント板
８は電極ホルダ５の頂面へ嵌め込み装着し、前記した固
定電極のリード端子７ｆとの間をはんだ付けする。さら
に、プリント板８の上方を覆うキャップ２には、前記ボ
リウム８ａ，配線８ｂの接続部に対向して外部からドラ
イバ，テスト用プローブなどを差し込むボリウム調整
用，テスト用の小穴２ａ，２ｂが開口しており、下部ケ
ース１内に各種部品を組み込んだ後に、下部ケース１に
キャップ２を被せ、両者の間をスナップフィットにより
結合した組立て状態で、オフセット調整，動作特性確認
の製品テストなどが行えるようにしている。なお、プリ
ント板８と固定電極ユニット７に組み込まれた電極との
間の電界干渉を避けるためには、両者間にもシールド板
を介挿するのが効果的である。そして、製品テストが終
了した後に、前記の小穴２ａ，２ｂ，およびキャップ２
をモールド成形する際に生じた成形金型のゲート跡２ｃ
を覆ってキャップ２の上面に銘板９を貼着する。ここ
で、銘板９はできるだけ誘電率の低い材質で作ってお
き、オフセット調整済の製品に対する浮遊容量変化の影
響を最小限に抑えて特性変化が生じないようにしてい
る。次に、先記した構造の電極ホルダ５を採用したこと
による作用効果を図６にて説明する。図６は図２に示し
た圧力センサの製品を例えばガスメータなどの機器に取
付けた使用状態を表しており、下部ケース１の取付部１
ａを相手側機器１１にねじ込み，圧入するなどして固定
すると、その際に加わる応力で樹脂製の下部ケース自身
に歪み，変形が生じ、これに伴ってダイヤフラム３の拘
束点高さが変位する。同様な下部ケース１の歪み，変
形、ダイヤフラム３の不要な変位は実使用時のヒートサ
イクルによっても生じる。しかして、先記のように可
動，固定電極を収容した電極ホルダ５の電極収容部５ｃ
と底壁部５ｂとはその外周領域で上下に分離しており、
かつ下部ケース１に対して底壁部５ｂが支持脚５ａを介
して固定されているのみで、電極収容部５ｃは下部ケー
ス１の周壁との機械的干渉を避けるように遊び間隙を隔
てて遊嵌されている。したがって、底壁部５ｂと電極収
容部５ｃとの分離領域を適正に設定しておけば、図示の
ように応力で下部ケース１が反るなどして変形（図示に
は変形が誇張して描かれている）した場合でも、その変
形は電極ホルダ５の底壁部５ｂに及ぶだけで、電極収容
部５ｃには何らの影響もない。また、下部ケース１の底
壁部が変形し、これに伴ってダイヤフラム３の拘束点高
さが図示のように上方へ変位しても、この変位に追随す
る形で電極ホルダ５の電極収容部５ｃが固定電極ユニッ
ト７ととにも上方へ持ち上げられるので、ダイヤフラム
３と可動電極６との相対的な変位はなく、かつ可動容量
部，固定容量部の電極相互間の距離も不変である。これ
により、圧力センサでは安定した出力が得られる。ま
た、僅かに残るオフセット変動が問題になる場合には、
可動電極６に取付けたプランジャ６ａを線膨張率の異な
る材質のものに変更することでオフセットを補償する微
調整が可能となる。なお、この場合にプランジャ６ａの
線膨張係数が変わっても可動電極６の機能には影響しな
い。次に、本発明の応用実施例について述べる。まず、
図７は金属製のダイヤフラムにシールド板としての機能
を持たせるようにしたものであり、ダイヤフラム３の外
周フランジ部３ｃからリード端子３ｄを引出しておき、
この端子３ｄをプリント板８（図１参照）のＧＮＤに接
続して接地するか、あるいは特定電位を与えてダイヤフ
ラム自身をシールド板兼用とする。これにより、図４の
電極ホルダ５に備えた専用のシールド板５ｄが省略可能
となるほか、該シールド板５ｄと比べて可動電極６との
間の距離が遠くなるので、その分だけ可動電極６とＧＮ
Ｄとの間の寄生容量が減少する。図８は、図１の構成で
独立部品としてなる固定電極ユニット７を用いる代わり
に、３枚の固定電極７ａ〜７ｃを電極ホルダ５へ直接取
付けるようにした応用実施例を示すものである。この実
施例では、電極ホルダ５の内周壁面に階段状に並ぶ係止
突起付きの電極取付部５ｇを形成し、一方、固定電極７
ａ〜７ｃの周縁から突出する耳状突起７ｇには係止溝を
形成しておく。そして、電極ホルダ５の底部側に可動電
極６を組み込んだ後、固定電極７ａ〜７ｃを一枚ずつ階
段状に段差を付した電極取付部５ｇに載せ、図８（ｂ）
で示すように電極取付部５ｇの係止突起に耳状突起７ｇ
の係止溝を係止した上で、係止突起の先端を熱で溶かし
てかしめ、固定電極を所定位置に固定する。この固定方
法を採用することにより、製品の製造ラインに固定電極
ユニットを製作する高価なインサート成形設備を初期投
資する必要がなく、したがって月産数百〜数千個程度の
少数生産規模で圧力センサを生産する場合にはコスト低
減化に有利である。

【発明の効果】以上述べたように、本発明の構成によれ
ば、特にセンサ内部に可動容量部と固定容量部を組み込
み、その発振周波数の比から被測定圧を求めるようして
周囲温度などの変動に伴うセンサ出力の変化を補償し、
出力特性の直線性を改善するようにした方式の圧力セン
サを対象に、少ない部品点数，組立工数で低コスト，か
つ精度よく製品を組立てることができ、しかも圧力セン
サを使用機器へ取付けた際に加わる機械的な応力，およ
び実使用時の温度サイクルなどの周囲条件による特性変
化の影響を受け難い高信頼性の静電容量型圧力センサを
提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例による圧力センサの各構成部品
の分解斜視図

【図２】図１の組立構造を表す断面図

【図３】図１に採用するダイヤフラムの構成図であり、
（ａ),（ｂ）はそれぞれ平坦フランジ部を波形の山，谷
の高さに合わせて形成した実施例の部分断面図

【図４】図１における電極ホルダの詳細構造を表す図で
あり、（ａ）は電極ホルダ本体とシールド板との分解斜
視図、（ｂ）はインサート成形後の縦断面図

【図５】図１における固定電極ユニットの構成，並びに
その組立方法の説明図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）
は側面図、（ｃ）は断面図、（ｄ）は電極組立用治具と
ともに表したユニット組立方法の説明図

【図６】図２に示した圧力センサを機器へ取付けた際の
応力で生じたケースの変形状態を模式的に表した図

【図７】本発明の応用実施例として、シールド板を兼ね
たダイヤフラムの構成斜視図

【図８】本発明の応用実施例として、固定電極を直接組
み込んだ電極ホルダの構成図であり、（ａ）は電極ホル
ダと各電極の分解斜視図、（ｂ）は固定電極の取付部の
拡大平面図

【符号の説明】

１ 下部ケース １ａ 取付部 １ｂ 導圧孔 ２ キャップ ２ａ，２ｂ 小穴 ３ ダイヤフラム ３ａ 波形の山 ３ｂ 波形の谷 ３ｃ 平坦フランジ部 ４ Ｏリング ５ 電極ホルダ ５ａ 支持脚 ５ｂ 底壁部 ５ｃ 電極収容部 ５ｄ シールド板 ６ 可動電極 ７ 固定電極ユニット ７ａ 可動容量部の固定電極 ７ｂ，７ｃ 固定容量部の固定電極 ７ｄ ユニット基体 ８ プリント板 ９ 銘板

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】底部中央に導圧孔が開口した下部ケースと
   キャップとの組合せからなる外ケースと、前記下部ケー
   ス内に収容し、かつ該ケースの周壁と接触しないように
   遊嵌してケースの底壁に固定した樹脂成形品としてなる
   箱形の電極ホルダと、該電極ホルダの底壁周縁部と下部
   ケースの底壁との間にＯリングを介して挟持固定した断
   面波形状のダイヤフラムと、該ダイヤフラムに連係して
   電極ホルダ内の底部側に配した板状の可動電極と、該可
   動電極と組合せて可変容量部を構成する固定電極，およ
   び固定容量部を構成する一対の固定電極を一体にインサ
   ート成形して電極ホルダ内に収設した固定電極ユニット
   と、電極ホルダの頂部に装着した信号処理用のプリント
   板とで構成したことを特徴とする静電容量型圧力セン
   サ。
2. 【請求項２】請求項１記載の圧力センサにおいて、ダイ
   ヤフラムの周縁部に、波形の山，もしくは谷の高さにレ
   ベルを合わせて側方に延在する平坦なフランジ部を形成
   し、該フランジ部をＯリングを介して下部ケースと電極
   ホルダとの間に挟持したことを特徴とする静電容量型圧
   力センサ。
3. 【請求項３】請求項１記載の圧力センサにおいて、電極
   ホルダが、ダイヤフラム保持部材を兼ねた固定脚付きの
   底壁部と、該底壁部上に連なる電極収容部とからなり、
   かつダイヤフラム支持点近傍より外周側の領域で底壁部
   と電極収容部との間が上下に分離していることを特徴と
   する静電容量型圧力センサ。
4. 【請求項４】請求項３記載の圧力センサにおいて、電極
   ホルダの底面域を覆って、その底壁部と電極収容部との
   分離境界面に金属製のシールド板をインサート成形した
   ことを特徴とする静電容量型圧力センサ。
5. 【請求項５】請求項１記載の圧力センサにおいて、キャ
   ップの上面にプリント板に設けたボリュウムの調整用穴
   を開口するとともに、調整後に前記穴，およびモールド
   成形時に生じたゲート跡を覆ってキャップ上面に誘電率
   の低い絶縁材料で作られた銘板を貼着したことを特徴と
   する静電容量型圧力センサ。
6. 【請求項６】請求項１記載の圧力センサにおいて、ダイ
   ヤフラム自身を接地するか，もしくは回路側から特定電
   位を与えて電極に対するシールドの機能を持たせたこと
   を特徴とする静電容量型圧力センサ。
7. 【請求項７】請求項１記載の圧力センサにおいて、ダイ
   ヤフラムの変位を可動電極に伝えるプランジャを、周囲
   温度の変化によりオフセット変動を補正するような線膨
   張率の材質に選定したことを特徴とする静電容量型圧力
   センサ。
8. 【請求項８】請求項１記載の圧力センサにおいて、可変
   容量部，および固定容量部の各固定電極板を電極ユニッ
   トと一体にインサート成形する代わりに、電極ホルダの
   内周面に形成した電極板取付段部に固定電極板を直接係
   止して所定位置に固定したことを特徴とする静電容量型
   圧力センサ。