JPH09105717A - 分光分析装置 - Google Patents
分光分析装置Info
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- JPH09105717A JPH09105717A JP26291795A JP26291795A JPH09105717A JP H09105717 A JPH09105717 A JP H09105717A JP 26291795 A JP26291795 A JP 26291795A JP 26291795 A JP26291795 A JP 26291795A JP H09105717 A JPH09105717 A JP H09105717A
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- light
- analysis target
- semiconductor lasers
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Abstract
(57)【要約】
【課題】分光分析装置の光源に発振波長の異なる複数の
半導体レーザを用いることにより、分光器を不要とする
小型で軽量な分光分析装置を実現する。 【解決手段】発振波長の異なる複数の半導体レーザから
成り分析対象にレーザ光を照射する光源と、前記複数の
半導体レーザを駆動する駆動手段と、前記分析対象の透
過光または反射光を検出する受光手段と、この受光手段
の出力から分析対象の光学特性の波長依存性を求め、分
析対象に関する情報を得るデータ処理手段を備える。
半導体レーザを用いることにより、分光器を不要とする
小型で軽量な分光分析装置を実現する。 【解決手段】発振波長の異なる複数の半導体レーザから
成り分析対象にレーザ光を照射する光源と、前記複数の
半導体レーザを駆動する駆動手段と、前記分析対象の透
過光または反射光を検出する受光手段と、この受光手段
の出力から分析対象の光学特性の波長依存性を求め、分
析対象に関する情報を得るデータ処理手段を備える。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、分光分析装置に関し、
特に分析対象の吸収率や反射率の波長依存性から必要な
情報を測定するように構成した分光分析装置に関するも
のである。
特に分析対象の吸収率や反射率の波長依存性から必要な
情報を測定するように構成した分光分析装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】従来よりハロゲンランプなどを用いた光
源からの出力光を分析対象に照射し、その透過光または
反射光のスペクトルを回折格子などを用いた分光器で測
定し、得られた分析対象の光吸収率や反射率の波長依存
性から、分析対象に関する情報を得る分光分析装置があ
る。
源からの出力光を分析対象に照射し、その透過光または
反射光のスペクトルを回折格子などを用いた分光器で測
定し、得られた分析対象の光吸収率や反射率の波長依存
性から、分析対象に関する情報を得る分光分析装置があ
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このような分光分析装
置は主に研究室で使われる据置型の装置であるが、これ
を小型軽量化し可搬型の装置とすれば、応用分野を大き
く広げることができる。しかしながら、従来の装置で
は、分光器の存在が小型軽量化の大きな阻害要因となっ
ていた。
置は主に研究室で使われる据置型の装置であるが、これ
を小型軽量化し可搬型の装置とすれば、応用分野を大き
く広げることができる。しかしながら、従来の装置で
は、分光器の存在が小型軽量化の大きな阻害要因となっ
ていた。
【0004】本発明の目的は、このような点に鑑み、分
光分析装置の光源に発振波長の異なる複数の半導体レー
ザを用いることにより、測定系から分光器を不要とし、
小型で軽量な分光分析装置を実現しようとするものであ
る。
光分析装置の光源に発振波長の異なる複数の半導体レー
ザを用いることにより、測定系から分光器を不要とし、
小型で軽量な分光分析装置を実現しようとするものであ
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明では、発振波長の異なる複数の半導体レ
ーザから成り分析対象にレーザ光を照射する光源と、前
記複数の半導体レーザを駆動する駆動手段と、前記分析
対象の透過光または反射光を検出する受光手段と、この
受光手段の出力から分析対象の光学特性の波長依存性を
求め、分析対象に関する情報を得るデータ処理手段を具
備したことを特徴とする。
るために本発明では、発振波長の異なる複数の半導体レ
ーザから成り分析対象にレーザ光を照射する光源と、前
記複数の半導体レーザを駆動する駆動手段と、前記分析
対象の透過光または反射光を検出する受光手段と、この
受光手段の出力から分析対象の光学特性の波長依存性を
求め、分析対象に関する情報を得るデータ処理手段を具
備したことを特徴とする。
【0006】
【作用】発振波長の異なる複数の半導体レーザを光源と
して用い、この光源からの出力光を分析対象に照射し透
過光または反射光を受光素子で検出する。データ処理部
では、受光素子の出力から分析対象の吸収率または反射
率等の光学特性の波長依存性を求める。分析対象に他の
物質が混在する場合でも目的の物質の情報(例えば水溶
液中のグルコース濃度)を測定できる。
して用い、この光源からの出力光を分析対象に照射し透
過光または反射光を受光素子で検出する。データ処理部
では、受光素子の出力から分析対象の吸収率または反射
率等の光学特性の波長依存性を求める。分析対象に他の
物質が混在する場合でも目的の物質の情報(例えば水溶
液中のグルコース濃度)を測定できる。
【0007】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図1は本発明に係る分光分析装置の一実施例
を示す構成図である。ただし、実施例では、発振波長が
920nm、950nm、970nmの3個の半導体レ
ーザ(以下LDと略すこともある)を光源として用い、
水溶液中のグルコース濃度を測定する場合の構成を例に
とって示してある。
説明する。図1は本発明に係る分光分析装置の一実施例
を示す構成図である。ただし、実施例では、発振波長が
920nm、950nm、970nmの3個の半導体レ
ーザ(以下LDと略すこともある)を光源として用い、
水溶液中のグルコース濃度を測定する場合の構成を例に
とって示してある。
【0008】図において、1,2,3はそれぞれ光源
で、ここでは半導体レーザが用いられる。4は被測定水
溶液、5,6はそれぞれ受光素子である。受光素子とし
ては通常フォトダイオード(PDと略す)が用いられ
る。7は駆動回路、8はデータ処理部、9は制御部、1
0は表示部である。なお、ここでは、受光素子をまとめ
て受光手段、駆動回路7を含む半導体レーザ駆動にかか
わる部分を駆動手段、データ処理部8を含むデータ処理
にかかわる部分をデータ処理手段と呼ぶ。
で、ここでは半導体レーザが用いられる。4は被測定水
溶液、5,6はそれぞれ受光素子である。受光素子とし
ては通常フォトダイオード(PDと略す)が用いられ
る。7は駆動回路、8はデータ処理部、9は制御部、1
0は表示部である。なお、ここでは、受光素子をまとめ
て受光手段、駆動回路7を含む半導体レーザ駆動にかか
わる部分を駆動手段、データ処理部8を含むデータ処理
にかかわる部分をデータ処理手段と呼ぶ。
【0009】半導体レーザ1,2,3は、活性層にIn
GaAs歪量子井戸構造を用いたGaAs系半導体レー
ザであり、InGaAsの組成や量子井戸幅を変えるこ
とによりそれぞれ920nm,950nm,970nm
の波長で発振するように設計されている。各半導体レー
ザ1,2,3の出力光は、被測定水溶液4中を透過して
受光素子5で受光されると同時に、参照用の受光素子6
でも直接受光される。駆動回路7は各半導体レーザ1,
2,3が個別に発光するようそれぞれを駆動する。
GaAs歪量子井戸構造を用いたGaAs系半導体レー
ザであり、InGaAsの組成や量子井戸幅を変えるこ
とによりそれぞれ920nm,950nm,970nm
の波長で発振するように設計されている。各半導体レー
ザ1,2,3の出力光は、被測定水溶液4中を透過して
受光素子5で受光されると同時に、参照用の受光素子6
でも直接受光される。駆動回路7は各半導体レーザ1,
2,3が個別に発光するようそれぞれを駆動する。
【0010】データ処理部8は受光素子5と6の出力よ
り水溶液中のグルコース濃度を計算する。制御部9は全
体の測定シーケンスを制御すると共にデータ処理部8で
得られた結果(グルコース濃度)を表示部10に表示す
るための制御を行う。
り水溶液中のグルコース濃度を計算する。制御部9は全
体の測定シーケンスを制御すると共にデータ処理部8で
得られた結果(グルコース濃度)を表示部10に表示す
るための制御を行う。
【0011】このような構成における動作を次に説明す
る。グルコースは900nm〜1000nmの波長の光
を吸収することが知られている。もし他の物質の吸収が
なければ、この吸収スペクトル中の一点の波長での吸収
量から直接グルコースの濃度を求めることができる。し
かし実際には水の吸収をはじめ、光路中に存在するさま
ざまな物質の吸収の影響を受け、一点の波長の吸収量か
らではグルコースの濃度を計算することはできない。
る。グルコースは900nm〜1000nmの波長の光
を吸収することが知られている。もし他の物質の吸収が
なければ、この吸収スペクトル中の一点の波長での吸収
量から直接グルコースの濃度を求めることができる。し
かし実際には水の吸収をはじめ、光路中に存在するさま
ざまな物質の吸収の影響を受け、一点の波長の吸収量か
らではグルコースの濃度を計算することはできない。
【0012】このため多数の波長で吸収量を測定しデー
タ間の演算を行うことにより、他の物質の影響を除去し
グルコースの濃度を求める。以下説明を簡潔にするた
め、グルコース以外に水と他の1つの物質(以下物質X
とする)の吸収が900nm〜1000nmの波長帯に
存在する場合を例に説明する。
タ間の演算を行うことにより、他の物質の影響を除去し
グルコースの濃度を求める。以下説明を簡潔にするた
め、グルコース以外に水と他の1つの物質(以下物質X
とする)の吸収が900nm〜1000nmの波長帯に
存在する場合を例に説明する。
【0013】グルコースと水およびここで存在を仮定し
た物質Xの吸収スペクトルを模式的に図2に示す。3種
類の物質の吸収が重なっているため、最低限3つの波長
での吸収量からグルコースの濃度を求めることができ
る。ここでは測定する3波長を920nm,950n
m,970nmとする。制御部9の制御により、駆動回
路7は半導体レーザ1を駆動してレーザ光を発光させ、
データ処理部8で受光素子5と6のデータから被測定水
溶液4の波長920nmの吸収量α920 を測定する。
た物質Xの吸収スペクトルを模式的に図2に示す。3種
類の物質の吸収が重なっているため、最低限3つの波長
での吸収量からグルコースの濃度を求めることができ
る。ここでは測定する3波長を920nm,950n
m,970nmとする。制御部9の制御により、駆動回
路7は半導体レーザ1を駆動してレーザ光を発光させ、
データ処理部8で受光素子5と6のデータから被測定水
溶液4の波長920nmの吸収量α920 を測定する。
【0014】続いて、同様に制御部9の制御により半導
体レーザ2と3が順次発光し、データ処理部8で波長9
50nmと970nmでの吸収量α950 とα970 をそれ
ぞれ測定する。ここでグルコース、水、物質Xの各波長
での単位量当たりの吸収量をそれぞれαG920 ,
αG950,αG970,αW920,αW950,αW970,αX920,α
X950,αX970とし、またグルコース、水、物質Xの存在
量をnG ,nW ,nX とすると、α920,α950 ,α
970 はそれぞれ次式のように表せる。
体レーザ2と3が順次発光し、データ処理部8で波長9
50nmと970nmでの吸収量α950 とα970 をそれ
ぞれ測定する。ここでグルコース、水、物質Xの各波長
での単位量当たりの吸収量をそれぞれαG920 ,
αG950,αG970,αW920,αW950,αW970,αX920,α
X950,αX970とし、またグルコース、水、物質Xの存在
量をnG ,nW ,nX とすると、α920,α950 ,α
970 はそれぞれ次式のように表せる。
【0015】 α920 =A・(nG・αG920+nW・αW920+nX・αX920 ) ……(1) α950 =A・(nG・αG950+nW・αW950+nX・αX950 ) ……(2) α970 =A・(nG・αG970+nW・αW970+nX・αX970 ) ……(3) ここで、Aは装置全体の感度を表す係数で、被測定対象
の形状や、受光素子の特性などの様々な要因に依存する
量である。
の形状や、受光素子の特性などの様々な要因に依存する
量である。
【0016】上記(1) 〜(3) 式をA・nG とA・nW に
ついて解くと次式となる。 A・nG ={(αX950・αW970−αW950・αX970)α920 +(αW920・αX970−αX920・αW970)α950 +(αX920・αW950−αW920・αX950)α970 } /{(αX950・αW970−αW950・αX970)αG920 +(αW920・αX970−αX920・αW970)αG950 +(αX920・αW950−αW920・αX950)αG970 } ……(4)
ついて解くと次式となる。 A・nG ={(αX950・αW970−αW950・αX970)α920 +(αW920・αX970−αX920・αW970)α950 +(αX920・αW950−αW920・αX950)α970 } /{(αX950・αW970−αW950・αX970)αG920 +(αW920・αX970−αX920・αW970)αG950 +(αX920・αW950−αW920・αX950)αG970 } ……(4)
【0017】 A・nW ={(αX950・αG970−αG950・αX970)α920 +(αG920・αX970−αX920・αG970)α950 +(αX920・αG950−αG920・αX950)α970 } /{αX950・αG970−αG950・αX970)αW920 +(αG920・αX970−αX920・αG970)αW950 +(αX920・αG950−αG920・αX950)αW970 } ……(5)
【0018】データ処理部8は既知の量αG920,
αG950,αG970,αW920,αW950,αW970,αX920,α
X950,αX970と、測定値α920 ,α950 ,α970 から式
(4) と式(5) を用い、A・nG とA・nW を計算する。
更にデータ処理部8は水溶液中のグルコース濃度である
nG/nWを、A・nG をA・nW で割ることにより求め
る。制御部9は得られた結果(nG/nW)を表示部10
に表示する。
αG950,αG970,αW920,αW950,αW970,αX920,α
X950,αX970と、測定値α920 ,α950 ,α970 から式
(4) と式(5) を用い、A・nG とA・nW を計算する。
更にデータ処理部8は水溶液中のグルコース濃度である
nG/nWを、A・nG をA・nW で割ることにより求め
る。制御部9は得られた結果(nG/nW)を表示部10
に表示する。
【0019】以上のように光源に発振波長の異なる複数
の半導体レーザを用い、各半導体レーザの出力光ごとに
その透過光を測定し、水溶液の吸収量の波長依存性を得
るようにすることにより、他の物質が存在する場合でも
水溶液中のグルコース濃度を測定でき、回折格子を用い
ない分光分析装置が実現できる。
の半導体レーザを用い、各半導体レーザの出力光ごとに
その透過光を測定し、水溶液の吸収量の波長依存性を得
るようにすることにより、他の物質が存在する場合でも
水溶液中のグルコース濃度を測定でき、回折格子を用い
ない分光分析装置が実現できる。
【0020】次に、分析対象に周期的な変動がある場合
の実施例として、分析対象として手の指を用い、血液中
のグルコース濃度(血糖値)を測定する分光分析装置を
例に説明する。この場合の構成を図3に示す。基本的構
成は図1と同等である。図1と異なる点は、グルコース
以外に多数の物質の吸収が900nm〜1000nmの
波長帯に存在するため、光源として使用する半導体レー
ザの数が多くなっていることである。
の実施例として、分析対象として手の指を用い、血液中
のグルコース濃度(血糖値)を測定する分光分析装置を
例に説明する。この場合の構成を図3に示す。基本的構
成は図1と同等である。図1と異なる点は、グルコース
以外に多数の物質の吸収が900nm〜1000nmの
波長帯に存在するため、光源として使用する半導体レー
ザの数が多くなっていることである。
【0021】光源11は、発振波長が900nmから9
95nmまでの波長帯において5nmおきの波長で発振
する20個の半導体レーザで構成されている。各半導体
レーザの出力光は手の指14を透過して受光素子15で
受光されると共に各半導体レーザの出力光の一部は参照
用の受光素子16で直接受光される。なお、各半導体レ
ーザは駆動回路17で個別に駆動され発光できるように
接続されている。受光素子15と16の出力はデータ処
理部18に送られ、ここで得られたデータから必要な水
溶液中のグルコース濃度を計算する。制御部19は全体
の測定シーケンスを制御すると共に結果を表示部20に
表示する。
95nmまでの波長帯において5nmおきの波長で発振
する20個の半導体レーザで構成されている。各半導体
レーザの出力光は手の指14を透過して受光素子15で
受光されると共に各半導体レーザの出力光の一部は参照
用の受光素子16で直接受光される。なお、各半導体レ
ーザは駆動回路17で個別に駆動され発光できるように
接続されている。受光素子15と16の出力はデータ処
理部18に送られ、ここで得られたデータから必要な水
溶液中のグルコース濃度を計算する。制御部19は全体
の測定シーケンスを制御すると共に結果を表示部20に
表示する。
【0022】次に動作を説明する。ただし、多数の波長
で吸収量を測定しデータ間の演算を行うことにより他の
物質の影響を除去しグルコースの濃度を求める点につい
ては図1の実施例と同じであるので説明を省略し、分析
対象の光学特性の周期的変動の波長依存性を測定する場
合の動作についてのみ説明する。なお、分析対象の光学
特性の周期的変動とは、心臓の鼓動に伴う血圧変動によ
り血管が伸縮し、手の指の血液の量が変化することによ
り吸収量が周期的に変動することである。
で吸収量を測定しデータ間の演算を行うことにより他の
物質の影響を除去しグルコースの濃度を求める点につい
ては図1の実施例と同じであるので説明を省略し、分析
対象の光学特性の周期的変動の波長依存性を測定する場
合の動作についてのみ説明する。なお、分析対象の光学
特性の周期的変動とは、心臓の鼓動に伴う血圧変動によ
り血管が伸縮し、手の指の血液の量が変化することによ
り吸収量が周期的に変動することである。
【0023】図4および図5に測定手順を示す。制御部
19は図4に示すように光源11内の20個の半導体レ
ーザを順次パルス幅50μsで発光させ、データ処理部
18に受光素子15と16からの出力データを入れ、手
の指14の、波長900nmから995nmまで5nm
間隔での吸収量をそれぞれ測定させる。この測定に必要
な時間は半導体レーザが20個在るから1msとなる。
この測定を測定手順1とする。
19は図4に示すように光源11内の20個の半導体レ
ーザを順次パルス幅50μsで発光させ、データ処理部
18に受光素子15と16からの出力データを入れ、手
の指14の、波長900nmから995nmまで5nm
間隔での吸収量をそれぞれ測定させる。この測定に必要
な時間は半導体レーザが20個在るから1msとなる。
この測定を測定手順1とする。
【0024】制御部19は図5に示すように測定手順1
の終了後9msの間隔をあけ測定手順1と全く同様に光
源11内の半導体レーザを順次発光させ、データ処理部
18に吸収量を測定させる。これを測定手順2とする。
制御部19は図5に示すように更に同様の測定手順を1
0ms周期で繰り返す。心臓の鼓動は約1s周期である
から、1周期で約100組のデータが得られる。得られ
た各波長でのデータを血液量の変動と共に模式的に図6
に示す。
の終了後9msの間隔をあけ測定手順1と全く同様に光
源11内の半導体レーザを順次発光させ、データ処理部
18に吸収量を測定させる。これを測定手順2とする。
制御部19は図5に示すように更に同様の測定手順を1
0ms周期で繰り返す。心臓の鼓動は約1s周期である
から、1周期で約100組のデータが得られる。得られ
た各波長でのデータを血液量の変動と共に模式的に図6
に示す。
【0025】データ処理部18は得られたデータから各
波長での吸収量の周期的変動幅を計算する。この吸収量
の周期的変動幅は血液の吸収量(血液中のグルコースの
吸収も含む)に比例するため、データ処理部18は前記
実施例と同様に多数の波長でのデータ間の演算を行うこ
とにより他の物質の影響を除去し、血液中のグルコース
濃度を求めることができる。制御部19は得られた結果
を表示部20に表示する。
波長での吸収量の周期的変動幅を計算する。この吸収量
の周期的変動幅は血液の吸収量(血液中のグルコースの
吸収も含む)に比例するため、データ処理部18は前記
実施例と同様に多数の波長でのデータ間の演算を行うこ
とにより他の物質の影響を除去し、血液中のグルコース
濃度を求めることができる。制御部19は得られた結果
を表示部20に表示する。
【0026】以上のように分析対象の周期的変動を測定
することにより、変動のない物質の影響(本実施例では
手の指に含まれる血液以外の水分や脂肪による吸収等)
を直接除くことができ、測定精度を上げることができ
る。
することにより、変動のない物質の影響(本実施例では
手の指に含まれる血液以外の水分や脂肪による吸収等)
を直接除くことができ、測定精度を上げることができ
る。
【0027】なお、本発明は上記実施例の構成に限定さ
れるものではない。本発明の本質から逸脱せずに多くの
変更や変形をなし得ることは当業者に明らかである。例
えば、実施例では3つまたは20の波長での測定からグ
ルコース濃度を測定しているが、用いる波長の数(つま
り半導体レーザの個数)に制限はない。波長数を多くす
ることにより影響を除去できる物質数を増加でき、更に
最小自乗法を用いれば測定精度を向上させることができ
る。また測定波長についてもグルコースの吸収がある波
長であれば特に制限はない。
れるものではない。本発明の本質から逸脱せずに多くの
変更や変形をなし得ることは当業者に明らかである。例
えば、実施例では3つまたは20の波長での測定からグ
ルコース濃度を測定しているが、用いる波長の数(つま
り半導体レーザの個数)に制限はない。波長数を多くす
ることにより影響を除去できる物質数を増加でき、更に
最小自乗法を用いれば測定精度を向上させることができ
る。また測定波長についてもグルコースの吸収がある波
長であれば特に制限はない。
【0028】また、実施例では分析対象の透過光を測定
する場合を示したが、分析対象の反射光を測定する場合
にも本発明は適用できる。また、データ処理部8,18
は吸収率の波長依存性ばかりでなく、反射率や、偏光状
態の変化、位相遅れ等の光学特性の波長依存性も求める
ことができる。また、半導体レーザをパルス幅50μs
で発光させているがパルス幅に制限はない。更に測定手
順を10ms周期で繰り返しているが、この周期にも制
限はなく、また等間隔で測定を繰り返す必要もない。
する場合を示したが、分析対象の反射光を測定する場合
にも本発明は適用できる。また、データ処理部8,18
は吸収率の波長依存性ばかりでなく、反射率や、偏光状
態の変化、位相遅れ等の光学特性の波長依存性も求める
ことができる。また、半導体レーザをパルス幅50μs
で発光させているがパルス幅に制限はない。更に測定手
順を10ms周期で繰り返しているが、この周期にも制
限はなく、また等間隔で測定を繰り返す必要もない。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、光
源に発振波長の異なる複数の半導体レーザを用い、各半
導体レーザの出力光を分析対象に照射し、各出力光ごと
にその透過光または反射光を測定することにより、分光
器を用いずに分析対象の吸収率や反射率の波長依存性を
測定することが可能となる。これにより、分光器のない
分光分析装置ができるという効果がある。また、本発明
によりこれまで分光器の存在により大きく制限されてい
た分光分析装置の小型軽量化が可能となり、可搬型分光
分析装置を実現することにより応用分野を大きく広げる
ことができる。また分析対象に周期的な変動がある場
合、分析対象の光学特性の周期的変動から分析対象に関
する情報が得られるようにすることにより、変動のない
物質の影響を直接除くことができ、容易に測定精度の向
上を図ることができる。
源に発振波長の異なる複数の半導体レーザを用い、各半
導体レーザの出力光を分析対象に照射し、各出力光ごと
にその透過光または反射光を測定することにより、分光
器を用いずに分析対象の吸収率や反射率の波長依存性を
測定することが可能となる。これにより、分光器のない
分光分析装置ができるという効果がある。また、本発明
によりこれまで分光器の存在により大きく制限されてい
た分光分析装置の小型軽量化が可能となり、可搬型分光
分析装置を実現することにより応用分野を大きく広げる
ことができる。また分析対象に周期的な変動がある場
合、分析対象の光学特性の周期的変動から分析対象に関
する情報が得られるようにすることにより、変動のない
物質の影響を直接除くことができ、容易に測定精度の向
上を図ることができる。
【図1】本発明に係る分光分析装置の一実施例を示す構
成図
成図
【図2】グルコース、水、物質Xの吸収スペクトルの模
式図
式図
【図3】本発明に係る分光分析装置の他の実施例を示す
構成図
構成図
【図4】LDのパルス発生のタイミングを示す図
【図5】繰り返し測定のタイミングを示す図
【図6】測定された各波長での吸収量の変動を示す図で
ある。
ある。
1,2,3,11 光源 4 被測定水溶液 5,6,15,16 受光素子 7,17 駆動回路 8,18 データ処理部 9,19 制御部 10,20 表示部 14 指
Claims (4)
- 【請求項1】発振波長の異なる複数の半導体レーザから
成り分析対象にレーザ光を照射する光源と、 前記複数の半導体レーザを駆動する駆動手段と、 前記分析対象の透過光または反射光を検出する受光手段
と、 この受光手段の出力から分析対象の光学特性の波長依存
性を求め、分析対象に関する情報を得るデータ処理手段
を具備したことを特徴とする分光分析装置。 - 【請求項2】前記駆動手段は前記複数の半導体レーザを
順次時分割で駆動して発光させ、前記受光手段は前記各
半導体レーザの出力光に対する分析対象の透過光または
反射光を1つの受光素子で測定するように構成したこと
を特徴とする請求項1記載の分光分析装置。 - 【請求項3】前記駆動手段は分析対象の周期的な変動の
少なくとも1周期の間前記半導体レーザの出力光を分析
対象に照射し、前記データ処理手段は前記各出力光ごと
に分析対象の透過光または反射光の周期的変動を測定
し、分析対象の光学特性の周期的変動の波長依存性を測
定することにより、分析対象に関する情報を得るように
構成したことを特徴とする請求項1記載の分光分析装
置。 - 【請求項4】前記駆動手段は分析対象の周期的な変動の
少なくとも1周期の間前記複数の半導体レーザを順次時
分割で繰り返し発光させ、前記受光手段は前記各半導体
レーザの出力光に対する分析対象の透過光または反射光
を1つの受光素子で測定するように構成したことを特徴
とする請求項3記載の分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26291795A JPH09105717A (ja) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26291795A JPH09105717A (ja) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 分光分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09105717A true JPH09105717A (ja) | 1997-04-22 |
Family
ID=17382404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26291795A Pending JPH09105717A (ja) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09105717A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005331422A (ja) * | 2004-05-21 | 2005-12-02 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料分析装置 |
| JP2010048834A (ja) * | 2009-12-04 | 2010-03-04 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料分析装置 |
-
1995
- 1995-10-11 JP JP26291795A patent/JPH09105717A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005331422A (ja) * | 2004-05-21 | 2005-12-02 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料分析装置 |
| JP2010048834A (ja) * | 2009-12-04 | 2010-03-04 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料分析装置 |
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