JPH09109021A - 薄板材の研磨方法 - Google Patents
薄板材の研磨方法Info
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- JPH09109021A JPH09109021A JP27547095A JP27547095A JPH09109021A JP H09109021 A JPH09109021 A JP H09109021A JP 27547095 A JP27547095 A JP 27547095A JP 27547095 A JP27547095 A JP 27547095A JP H09109021 A JPH09109021 A JP H09109021A
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- Japan
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- polished
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】薄板材の被研磨面に生じたマイクロコルゲーシ
ョンを短時間で研磨除去する。 【解決手段】吸着盤１８でガラス素板１０の被研磨面１
６を吸引して、被研磨面１６の反り部分１２を略平坦に
矯正する。ガラス素板１０の裏面２４に硬化樹脂２６を
注入してベースプレート２８を接着する。ガラス素板１
０を吸着盤１８から取り外し、被研磨面１６を研磨布３
０に押し付けて被研磨面１６のマイクロコルゲーション
１４を研磨除去する。
ョンを短時間で研磨除去する。 【解決手段】吸着盤１８でガラス素板１０の被研磨面１
６を吸引して、被研磨面１６の反り部分１２を略平坦に
矯正する。ガラス素板１０の裏面２４に硬化樹脂２６を
注入してベースプレート２８を接着する。ガラス素板１
０を吸着盤１８から取り外し、被研磨面１６を研磨布３
０に押し付けて被研磨面１６のマイクロコルゲーション
１４を研磨除去する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はガラス板、アルミニ
ウムディスク等の薄板材の表面に生じているうねり部分
を研磨除去する薄板材の研磨方法に関する。
ウムディスク等の薄板材の表面に生じているうねり部分
を研磨除去する薄板材の研磨方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示器等に使用されるガラス板製品
は、１ｍｍ程度の厚さのガラス素板を研磨加工して生成
される。生成前の前記ガラス素板は、ガラス素板の表面
が若干反っている場合があり、また、この反り部分に小
さなうねり部分（以下、「マイクロコルゲーション」と
称する）が生じている場合がある。前記マイクロコルゲ
ーションの研磨方法は、被研磨面の反り部分を研磨材に
押し付けることにより行われている。
は、１ｍｍ程度の厚さのガラス素板を研磨加工して生成
される。生成前の前記ガラス素板は、ガラス素板の表面
が若干反っている場合があり、また、この反り部分に小
さなうねり部分（以下、「マイクロコルゲーション」と
称する）が生じている場合がある。前記マイクロコルゲ
ーションの研磨方法は、被研磨面の反り部分を研磨材に
押し付けることにより行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
薄板材の研磨方法では、反り部分を研磨材に直接押し付
けているので、マイクロコルゲーションの研磨代が例え
ば０．５μｍ程度であるにもかかわらず実際の研磨代が
５．０μｍ程度必要になり、これによって、研磨時間が
長くなるという欠点がある。
薄板材の研磨方法では、反り部分を研磨材に直接押し付
けているので、マイクロコルゲーションの研磨代が例え
ば０．５μｍ程度であるにもかかわらず実際の研磨代が
５．０μｍ程度必要になり、これによって、研磨時間が
長くなるという欠点がある。
【０００４】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、研磨時間を短縮することができる薄板材の研磨
方法を提供することを目的とする。
もので、研磨時間を短縮することができる薄板材の研磨
方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、薄板材の被研磨面を多孔質体の吸着盤で吸引
して該被研磨面の反り部分を略平坦に矯正し、矯正した
状態の前記薄板材の被研磨面の反対面に支持板を接着し
た後、該薄板材を前記吸着盤から取り外し、前記支持板
が接着された状態の薄板材の被研磨面を研磨盤に押し付
けると共に、支持板と研磨盤とを相対的に回転させて被
研磨面を研磨した後、薄板材から支持板を取り外すこと
を特徴とする。
する為に、薄板材の被研磨面を多孔質体の吸着盤で吸引
して該被研磨面の反り部分を略平坦に矯正し、矯正した
状態の前記薄板材の被研磨面の反対面に支持板を接着し
た後、該薄板材を前記吸着盤から取り外し、前記支持板
が接着された状態の薄板材の被研磨面を研磨盤に押し付
けると共に、支持板と研磨盤とを相対的に回転させて被
研磨面を研磨した後、薄板材から支持板を取り外すこと
を特徴とする。
【０００６】また、本発明は、前記目的を達成する為
に、薄板材の裏面を軟質シートに押し付けて張り付ける
ことにより該軟質シートと薄板材とを変形させて薄板材
の被研磨面である表面の反り部分を略平坦に矯正し、矯
正した状態の前記薄板材の被研磨面に高分子シートから
成る研磨盤を押し付けると共に、前記軟質シートと前記
研磨盤とを相対的に回転させて被研磨面を研磨すること
を特徴とする。
に、薄板材の裏面を軟質シートに押し付けて張り付ける
ことにより該軟質シートと薄板材とを変形させて薄板材
の被研磨面である表面の反り部分を略平坦に矯正し、矯
正した状態の前記薄板材の被研磨面に高分子シートから
成る研磨盤を押し付けると共に、前記軟質シートと前記
研磨盤とを相対的に回転させて被研磨面を研磨すること
を特徴とする。
【０００７】請求項１記載の発明によれば、先ず、薄板
材の被研磨面を多孔質体の吸着盤上に載置した後、被研
磨面を吸着盤によって吸引して被研磨面の反り部分を略
平坦に矯正する。次に、薄板材の被研磨面の反対面に支
持板を接着した後、薄板材を吸着盤から取り外す。次い
で、支持板が接着された状態の薄板材の被研磨面を研磨
盤に押し付けると共に、支持板と研磨盤とを相対的に回
転させて被研磨面を研磨する。そして、薄板材から支持
板を取り外す。このように、本発明では、薄板材の被研
磨面に生じている反り部分を略平坦に矯正して被研磨面
のうねり部分を研磨除去するようにしたので、研磨時間
を短縮することができる。
材の被研磨面を多孔質体の吸着盤上に載置した後、被研
磨面を吸着盤によって吸引して被研磨面の反り部分を略
平坦に矯正する。次に、薄板材の被研磨面の反対面に支
持板を接着した後、薄板材を吸着盤から取り外す。次い
で、支持板が接着された状態の薄板材の被研磨面を研磨
盤に押し付けると共に、支持板と研磨盤とを相対的に回
転させて被研磨面を研磨する。そして、薄板材から支持
板を取り外す。このように、本発明では、薄板材の被研
磨面に生じている反り部分を略平坦に矯正して被研磨面
のうねり部分を研磨除去するようにしたので、研磨時間
を短縮することができる。
【０００８】請求項２記載の発明によれば、先ず、薄板
材の裏面を軟質シートに押し付けて張り付けることによ
り、軟質シートと薄板材とを変形させて薄板材の被研磨
面である表面の反り部分を略平坦に矯正する。次に、矯
正した状態の薄板材の被研磨面に、高分子シートから成
る研磨盤を押し付け、そして、軟質シートと研磨盤とを
相対的に回転させて被研磨面を研磨する。従って、本発
明でも請求項１記載の発明と同様に、薄板材の被研磨面
に生じている反り部分を略平坦に矯正して被研磨面のう
ねり部分を研磨除去するようにしたので、研磨時間を短
縮することができる。
材の裏面を軟質シートに押し付けて張り付けることによ
り、軟質シートと薄板材とを変形させて薄板材の被研磨
面である表面の反り部分を略平坦に矯正する。次に、矯
正した状態の薄板材の被研磨面に、高分子シートから成
る研磨盤を押し付け、そして、軟質シートと研磨盤とを
相対的に回転させて被研磨面を研磨する。従って、本発
明でも請求項１記載の発明と同様に、薄板材の被研磨面
に生じている反り部分を略平坦に矯正して被研磨面のう
ねり部分を研磨除去するようにしたので、研磨時間を短
縮することができる。
【０００９】請求項３記載の発明は、前記高分子シート
のヤング率を、前記軟質シートのヤング率に対して１０
０倍以上にしたものである。例えば、薄板材がガラス素
板である場合には、軟質シートを発泡ポリウレタン（ヤ
ング率：0.5kg/mm2 ）で形成すると、ガラス素板の被研
磨面の反りが良好に矯正され、高分子シートをポリアセ
タール（ヤング率：50kg/mm2）で形成すると、被研磨面
のうねり部分を良好に研磨除去することができる。
のヤング率を、前記軟質シートのヤング率に対して１０
０倍以上にしたものである。例えば、薄板材がガラス素
板である場合には、軟質シートを発泡ポリウレタン（ヤ
ング率：0.5kg/mm2 ）で形成すると、ガラス素板の被研
磨面の反りが良好に矯正され、高分子シートをポリアセ
タール（ヤング率：50kg/mm2）で形成すると、被研磨面
のうねり部分を良好に研磨除去することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る薄板材の研磨方法の好ましい実施の形態について詳説
する。図１は、本発明の第１の実施の形態に係る薄板材
の研磨方法で研磨されるガラス素板の側面図である。同
図に示すガラス素板１０は、１ｍｍ程度の厚さで、若干
その表面が反っており、この反り部分１２にマイクロコ
ルゲーション１４、１４…が生じている。前記ガラス素
板１０は、マイクロコルゲーション１４、１４…を研磨
除去して液晶表示器用のガラス板製品に生成される。
る薄板材の研磨方法の好ましい実施の形態について詳説
する。図１は、本発明の第１の実施の形態に係る薄板材
の研磨方法で研磨されるガラス素板の側面図である。同
図に示すガラス素板１０は、１ｍｍ程度の厚さで、若干
その表面が反っており、この反り部分１２にマイクロコ
ルゲーション１４、１４…が生じている。前記ガラス素
板１０は、マイクロコルゲーション１４、１４…を研磨
除去して液晶表示器用のガラス板製品に生成される。
【００１１】次に、前記マイクロコルゲーション１４の
研磨方法について説明する。先ず、ガラス素板１０の被
研磨面である下面１６を図２に示す吸着盤１８上に載置
する。この吸着盤１８は多孔質体であり、例えばポリテ
トラフルオロエチレンを焼結して生成される。また、吸
着盤１８の載置面２０は平坦加工されている。前記吸着
盤１８にはパイプ２２を介して図示しないバキューム装
置が接続されており、このバキューム装置を駆動する
と、前記ガラス素板１０の下面１６が吸着盤１８に吸引
される。これにより、下面１６の反り部分１２は図２に
示すように、略平坦に矯正されて吸着盤１８の載置面２
０に真空吸着される。
研磨方法について説明する。先ず、ガラス素板１０の被
研磨面である下面１６を図２に示す吸着盤１８上に載置
する。この吸着盤１８は多孔質体であり、例えばポリテ
トラフルオロエチレンを焼結して生成される。また、吸
着盤１８の載置面２０は平坦加工されている。前記吸着
盤１８にはパイプ２２を介して図示しないバキューム装
置が接続されており、このバキューム装置を駆動する
と、前記ガラス素板１０の下面１６が吸着盤１８に吸引
される。これにより、下面１６の反り部分１２は図２に
示すように、略平坦に矯正されて吸着盤１８の載置面２
０に真空吸着される。
【００１２】次に、ガラス素板１０を吸着盤１８で吸着
した状態で、図３に示すようにガラス素板１０の上面２
４に紫外線硬化樹脂２６を注入し、この紫外線硬化樹脂
２６で上面２４にベースプレート２８を接着する。そし
て、紫外線硬化樹脂２６が固化するまで、ガラス素板１
０を吸着盤１８で吸着した状態で保持する。次いで、前
記バキューム装置を停止してガラス素板１０を吸着盤１
８から取り外す。そして、ベースプレート２８が接着さ
れた状態のガラス素板１０を図４に示すように、その下
面１６を研磨液が塗布された研磨布３０に所定の押圧力
で押し付ける。そして、研磨布３０が貼着された研磨プ
レート３２を軸Ｐ１を中心に回転させると共に、前記ガ
ラス素板１０をベースプレート２８を介して軸Ｐ２を中
心に揺動させて、下面１６のマイクロコルゲーション１
４、１４…を研磨除去する。
した状態で、図３に示すようにガラス素板１０の上面２
４に紫外線硬化樹脂２６を注入し、この紫外線硬化樹脂
２６で上面２４にベースプレート２８を接着する。そし
て、紫外線硬化樹脂２６が固化するまで、ガラス素板１
０を吸着盤１８で吸着した状態で保持する。次いで、前
記バキューム装置を停止してガラス素板１０を吸着盤１
８から取り外す。そして、ベースプレート２８が接着さ
れた状態のガラス素板１０を図４に示すように、その下
面１６を研磨液が塗布された研磨布３０に所定の押圧力
で押し付ける。そして、研磨布３０が貼着された研磨プ
レート３２を軸Ｐ１を中心に回転させると共に、前記ガ
ラス素板１０をベースプレート２８を介して軸Ｐ２を中
心に揺動させて、下面１６のマイクロコルゲーション１
４、１４…を研磨除去する。
【００１３】そして、マイクロコルゲーション１４の研
磨除去後、ガラス素板１０からベースプレート２８と固
化した紫外線硬化樹脂２６とを温水の中に浸漬するなど
して取り外す。これにより図１に示したガラス素板１０
が図５に示すように、下面１６が研磨加工された液晶表
示器用のガラス板製品１１に生成される。このように本
実施例の薄板材の研磨方法では、ガラス素板１０の下面
１６に生じている反り部分１２を図２に示したように略
平坦に矯正した後、マイクロコルゲーション１４、１４
…を研磨除去するようにした。これにより、従来では、
例えばマイクロコルゲーション１４の研磨代ａ（図１参
照）が０．５μｍであるところを実際の研磨代Ａ（図１
参照）が５μｍ程度必要であったが、本実施例では１．
５μｍ程度に抑えることができる。従って、本実施の形
態では、従来の研磨方法と比較して研磨時間を大幅に短
縮することができる。
磨除去後、ガラス素板１０からベースプレート２８と固
化した紫外線硬化樹脂２６とを温水の中に浸漬するなど
して取り外す。これにより図１に示したガラス素板１０
が図５に示すように、下面１６が研磨加工された液晶表
示器用のガラス板製品１１に生成される。このように本
実施例の薄板材の研磨方法では、ガラス素板１０の下面
１６に生じている反り部分１２を図２に示したように略
平坦に矯正した後、マイクロコルゲーション１４、１４
…を研磨除去するようにした。これにより、従来では、
例えばマイクロコルゲーション１４の研磨代ａ（図１参
照）が０．５μｍであるところを実際の研磨代Ａ（図１
参照）が５μｍ程度必要であったが、本実施例では１．
５μｍ程度に抑えることができる。従って、本実施の形
態では、従来の研磨方法と比較して研磨時間を大幅に短
縮することができる。
【００１４】なお、液晶表示器用のガラス板製品のよう
に、基板の液晶層に接する側のみに高度の平坦性が要求
される場合には、ガラス板の片面のみ研磨しても良い。
一方の面を研磨したあと、反転して同様に研磨し、ガラ
ス板の両面を研磨して良いのはもちろんである。本実施
の形態では、吸着盤１８によって反り部分１２を平坦に
矯正するようにしたが、反り部分１２を剛性の高い平面
で加圧して矯正しても良い。
に、基板の液晶層に接する側のみに高度の平坦性が要求
される場合には、ガラス板の片面のみ研磨しても良い。
一方の面を研磨したあと、反転して同様に研磨し、ガラ
ス板の両面を研磨して良いのはもちろんである。本実施
の形態では、吸着盤１８によって反り部分１２を平坦に
矯正するようにしたが、反り部分１２を剛性の高い平面
で加圧して矯正しても良い。
【００１５】次に、図６〜図８を用いて本発明の第２の
実施の形態に係る薄板材の研磨方法について説明する。
尚、図１〜図５に示した第１の実施の形態と同一若しく
は類似の部材については同一の符号を付して説明する。
先ず、図６に示すガラス素板１０の裏面２４を図７に示
すテーブルパッド４０の表面に所定の押圧力で押し付け
て張り付ける。前記テーブルパッド４０は軟質シートで
あり、この軟質シートは発泡ポリウレタン（ヤング率：
0.5kg/mm2 ）で形成されている。これにより、前記ガラ
ス素板１０は、テーブルパッド４０とガラス素板１０自
身が変形して、ガラス素板１０の肉厚偏差が吸収される
と共に、ガラス素板１０の被研磨面１６の反りが吸収さ
れて略平坦に矯正される。
実施の形態に係る薄板材の研磨方法について説明する。
尚、図１〜図５に示した第１の実施の形態と同一若しく
は類似の部材については同一の符号を付して説明する。
先ず、図６に示すガラス素板１０の裏面２４を図７に示
すテーブルパッド４０の表面に所定の押圧力で押し付け
て張り付ける。前記テーブルパッド４０は軟質シートで
あり、この軟質シートは発泡ポリウレタン（ヤング率：
0.5kg/mm2 ）で形成されている。これにより、前記ガラ
ス素板１０は、テーブルパッド４０とガラス素板１０自
身が変形して、ガラス素板１０の肉厚偏差が吸収される
と共に、ガラス素板１０の被研磨面１６の反りが吸収さ
れて略平坦に矯正される。
【００１６】次に、反りが矯正された状態の被研磨面１
６に、定盤４４に固着された研磨パッド４６を押し付
け、そして、この定盤４４をジョイント４８を介して回
転軸５０で回転させることにより、被研磨面１６のマイ
クロコルゲーション１４を研磨する。前記研磨パッド４
６は合成樹脂製のシートであり、このシートはポリアセ
タール樹脂（ヤング率：50kg/mm2）で形成されている。
このような方法により、ガラス素板１０の被研磨面１６
のマイクロコルゲーション１４を研磨除去することがで
きる。
６に、定盤４４に固着された研磨パッド４６を押し付
け、そして、この定盤４４をジョイント４８を介して回
転軸５０で回転させることにより、被研磨面１６のマイ
クロコルゲーション１４を研磨する。前記研磨パッド４
６は合成樹脂製のシートであり、このシートはポリアセ
タール樹脂（ヤング率：50kg/mm2）で形成されている。
このような方法により、ガラス素板１０の被研磨面１６
のマイクロコルゲーション１４を研磨除去することがで
きる。
【００１７】従って、第２の実施の形態でも第１の実施
の形態と同様に、ガラス素板１０の被研磨面１６に生じ
ている反り部分を略平坦に矯正した後、被研磨面１６の
マイクロコルゲーション１４を研磨除去するようにした
ので、研磨時間を短縮することができる。そして、第２
の実施の形態では、研磨パッド４６（合成樹脂製シー
ト）のヤング率を、前記テーブルパッド４０（軟質シー
ト）のヤング率に対して１００倍以上にし設定してい
る。これによって、第２の実施の形態では、ガラス素板
１０の被研磨面１６の反りを良好に矯正することができ
ると共に、被研磨面１６のマイクロコルゲーション１４
を良好に研磨除去することができる。
の形態と同様に、ガラス素板１０の被研磨面１６に生じ
ている反り部分を略平坦に矯正した後、被研磨面１６の
マイクロコルゲーション１４を研磨除去するようにした
ので、研磨時間を短縮することができる。そして、第２
の実施の形態では、研磨パッド４６（合成樹脂製シー
ト）のヤング率を、前記テーブルパッド４０（軟質シー
ト）のヤング率に対して１００倍以上にし設定してい
る。これによって、第２の実施の形態では、ガラス素板
１０の被研磨面１６の反りを良好に矯正することができ
ると共に、被研磨面１６のマイクロコルゲーション１４
を良好に研磨除去することができる。
【００１８】この際の研磨の定盤の剛性は定盤のたわみ
によって生じる研磨面圧面内の不均一が１０％以内にな
る程度に高いことが望ましい。また、定盤のジョイント
についは、定盤の振動中心が研磨面近傍となるようにさ
れることが研磨面圧の分布を均等にする観点で望まし
い。さらに研磨パッド面の平坦性は２０μｍ以下とする
ことが平坦性確保のために好ましい。
によって生じる研磨面圧面内の不均一が１０％以内にな
る程度に高いことが望ましい。また、定盤のジョイント
についは、定盤の振動中心が研磨面近傍となるようにさ
れることが研磨面圧の分布を均等にする観点で望まし
い。さらに研磨パッド面の平坦性は２０μｍ以下とする
ことが平坦性確保のために好ましい。
【００１９】第１、第２の実施の形態では、研磨対象の
薄板材をガラス素板１０としたが、これに限られるもの
ではなく、アルミニウムディスク等の薄板材でも同様な
研磨を行うことができる。
薄板材をガラス素板１０としたが、これに限られるもの
ではなく、アルミニウムディスク等の薄板材でも同様な
研磨を行うことができる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る薄板材
の研磨方法によれば、薄板材の被研磨面に生じている反
り部分を吸着盤や軟質シートで略平坦に矯正した後、被
研磨面のうねり部分を高分子シート等の研磨盤で研磨除
去するようにしたので、研磨時間を短縮することができ
る。
の研磨方法によれば、薄板材の被研磨面に生じている反
り部分を吸着盤や軟質シートで略平坦に矯正した後、被
研磨面のうねり部分を高分子シート等の研磨盤で研磨除
去するようにしたので、研磨時間を短縮することができ
る。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る薄板材の研磨
方法で研磨されるガラス素板の側面図
方法で研磨されるガラス素板の側面図
【図２】ガラス素板の被研磨面を略平坦に矯正した状態
を示す側面図
を示す側面図
【図３】ガラス素板の他方面にベースプレートを接着し
た状態を示す側面図
た状態を示す側面図
【図４】ガラス板の被研磨面を研磨加工している状態を
示す側面図
示す側面図
【図５】研磨終了後のガラス板製品の実施例を示す側面
図
図
【図６】本発明の第２の実施の形態に係る薄板材の研磨
方法で研磨されるガラス素板の側面図
方法で研磨されるガラス素板の側面図
【図７】ガラス素板を軟質シートに押し付けて被研磨面
を略平坦に矯正した状態を示す側面図
を略平坦に矯正した状態を示す側面図
【図８】ガラス板の被研磨面を研磨加工している状態を
示す側面図
示す側面図
１０…ガラス素板 １２…反り部分 １４…マイクロコルゲーション １８…吸着盤 ２６…紫外線硬化樹脂 ２８…ベースプレート ３０…研磨布 ４０…テーブルパッド（軟質シート） ４６…研磨パッド（高分子シート）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小沢 洋一 神奈川県横浜市鶴見区末広町１丁目１番地 旭硝子株式会社京浜工場内
Claims (3)
- 【請求項１】薄板材の被研磨面を多孔質体の吸着盤で吸
引して該被研磨面の反り部分を略平坦に矯正し、 矯正した状態の前記薄板材の被研磨面の反対面に支持板
を接着した後、該薄板材を前記吸着盤から取り外し、 前記支持板が接着された状態の薄板材の被研磨面を研磨
盤に押し付けると共に、支持板と研磨盤とを相対的に回
転させて被研磨面を研磨した後、薄板材から支持板を取
り外すことを特徴とする薄板材の研磨方法。 - 【請求項２】薄板材の裏面を軟質シートに押し付けて張
り付けることにより該軟質シートと薄板材とを変形させ
て薄板材の被研磨面である表面の反り部分を略平坦に矯
正し、 矯正した状態の前記薄板材の被研磨面に合成樹脂シート
から成る研磨盤を押し付けると共に、前記軟質シートと
前記研磨盤とを相対的に回転させて被研磨面を研磨する
ことを特徴とする薄板材の研磨方法。 - 【請求項３】前記合成樹脂シートのヤング率は、前記軟
質シートのヤング率に対して１００倍以上であることを
特徴とする請求項２記載の薄板材の研磨方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27547095A JPH09109021A (ja) | 1995-10-24 | 1995-10-24 | 薄板材の研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27547095A JPH09109021A (ja) | 1995-10-24 | 1995-10-24 | 薄板材の研磨方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09109021A true JPH09109021A (ja) | 1997-04-28 |
Family
ID=17555993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27547095A Pending JPH09109021A (ja) | 1995-10-24 | 1995-10-24 | 薄板材の研磨方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09109021A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015199153A (ja) * | 2014-04-07 | 2015-11-12 | 株式会社ディスコ | 保持テーブル、該保持テーブルを用いた研削方法及び切削方法 |
| EP3093105A1 (en) | 2015-05-13 | 2016-11-16 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Method for producing substrates |
-
1995
- 1995-10-24 JP JP27547095A patent/JPH09109021A/ja active Pending
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