JPH0911212A - Ceramic slurry, its manufacturing method and use - Google Patents

Ceramic slurry, its manufacturing method and use

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JPH0911212A
JPH0911212A JP7165104A JP16510495A JPH0911212A JP H0911212 A JPH0911212 A JP H0911212A JP 7165104 A JP7165104 A JP 7165104A JP 16510495 A JP16510495 A JP 16510495A JP H0911212 A JPH0911212 A JP H0911212A
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JP
Japan
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ceramic
water
slurry
green sheet
weight
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JP7165104A
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Japanese (ja)
Inventor
Nobuhito Katsumura
宣仁 勝村
Fusaji Shoji
房次 庄子
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】セラミックスラリとして、グリーンシートの柔
軟性、成形性、分散性、機械的強度等の諸特性で優れた
ものが得られるセラミックスラリーその製法及びこれを
用いた用途を提供する。 【構成】水又は水と水溶性有機溶剤の混合液中に、セラ
ミック粉末を分散した液に、ビニル単量体を重合開始剤
存在下、加熱等により共重合し、有機バインダとしてセ
ラミック粉末を被覆し、セラミック粉末を芯物質とする
マイクロカプセルとする。
(57) [Abstract] [Purpose] A ceramic slurry that can be obtained as a ceramic slurry with excellent properties such as flexibility, moldability, dispersibility, and mechanical strength of a green sheet. provide. [Constitution] Water or a mixed solution of water and a water-soluble organic solvent is used to copolymerize a vinyl monomer with a liquid in which a vinyl monomer is heated in the presence of a polymerization initiator to coat the ceramic powder as an organic binder. Then, microcapsules containing ceramic powder as a core substance are prepared.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、低公害、省資源及び安
全性の観点からアルミナ等のいわゆるセラミックスを成
形する際に、即ちセラミック前駆体からなる成形体、グ
リーンシートを製造するために用いられるスラリ及びそ
の製法に関するものであり、特に水系で使用されるセラ
ミックスラリに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is used for forming so-called ceramics such as alumina from the viewpoints of low pollution, resource saving and safety, that is, for producing a formed body and a green sheet made of a ceramic precursor. The present invention relates to a slurry and a method for producing the same, and particularly to a ceramic slurry used in an aqueous system.

【0002】[0002]

【従来技術】従来、セラミックス成形体は、セラミック
粉末、溶媒及び有機バインダ樹脂(重合体)を混合して
スラリとし、これを成形、乾燥及び焼結させることによ
り製造されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a ceramic molded body is manufactured by mixing ceramic powder, a solvent and an organic binder resin (polymer) into a slurry, which is molded, dried and sintered.

【0003】(a)セラミック用バインダとして、一般
にポリビニルブチラール樹脂、ポリアクリル酸エステル
樹脂等の有機バインダが用いられている。このバインダ
をアルコール、ケトン、塩素系溶剤、芳香族系溶剤等の
有機系溶剤に溶解し、又は分散し、これをセラミック微
粉末と混合し、ボールミル等で長時間混練、分散し、ス
リップ状となす。これを、脱泡後、ドクタブレード法等
で一定の厚みのシートをポリエステルフイルム等の基材
上にキャスティングして、加熱乾燥させてグリーンシー
トを成形する方法等が採用されている。
(A) As a ceramic binder, an organic binder such as polyvinyl butyral resin or polyacrylic ester resin is generally used. This binder is dissolved or dispersed in an organic solvent such as alcohol, ketone, chlorine-based solvent or aromatic solvent, mixed with ceramic fine powder, kneaded and dispersed for a long time in a ball mill or the like to form a slip state. Eggplant After defoaming, a sheet having a certain thickness is cast on a substrate such as a polyester film by a doctor blade method or the like, and dried by heating to form a green sheet.

【0004】(b)セラミック用水溶性バインダとし
て、アセタール化度10モル%以下である水溶性ポリビニ
ルアセタールとして特開昭56−76405号公報、ア
セタール化度10〜30モル%の冷水可溶性ポリビニルア
セタールとして特開昭64−29408号公報、疎水基
或は特定のイオン性親水基を側鎖に有する変性ポリビニ
ルアルコールを水系有機バインダーとして特開昭59−
156959号公報等で知られている。
(B) As a water-soluble binder for ceramics, a water-soluble polyvinyl acetal having an acetalization degree of 10 mol% or less is disclosed in JP-A-56-76405, and a cold water-soluble polyvinyl acetal having an acetalization degree of 10 to 30 mol%. Japanese Unexamined Patent Publication No. 29408 / 1989-29408, and a modified polyvinyl alcohol having a hydrophobic group or a specific ionic hydrophilic group in its side chain is used as an aqueous organic binder.
It is known from Japanese Patent No. 156959.

【0005】(c)水溶性ポリ(メタ)アクリル酸エステ
ル系バインダとして特公平1−53233号公報、特公
平1−44668号公報、特開平1−286955号公
報が知られている。これらは、(メタ)アクリル酸エステ
ルと(メタ)アクリル酸の共重合体をアンモニア、トリ
メチルアミン等のトリアルキルアミン、ジメチルアミノ
アルコール、モノエタノールアミン等のアミン類で中和
(pH調整)している。
As the water-soluble poly (meth) acrylic acid ester-based binder (c), Japanese Patent Publication No. 1-353233, Japanese Patent Publication No. 1-44686, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-286955 are known. In these, the copolymer of (meth) acrylic acid ester and (meth) acrylic acid is neutralized (pH adjusted) with ammonia, trialkylamine such as trimethylamine, dimethylamino alcohol, amines such as monoethanolamine. .

【0006】また、(d)界面活性剤を用いてビニル単
量体を乳化重合して得られたエマルジョン系バインダに
(メタ)アクリル酸を用い、アンモニアで中和(pH調
整)しているものとして特開昭60−180955号公
報、特開昭60−180956号公報、特開昭61−1
51060号公報、特開平1−286955号公報、架
橋構造を有するものとして特開昭63−260855号
公報が知られている。
Further, (d) emulsion binder obtained by emulsion-polymerizing vinyl monomers using a surfactant, using (meth) acrylic acid, which is neutralized (pH adjusted) with ammonia. JP-A-60-180955, JP-A-60-180956, and JP-A-61-1.
JP-A No. 51060, JP-A No. 1-286955, and JP-A No. 63-260855 are known to have a crosslinked structure.

【0007】また、(e)α−オレフィン重合体、(メ
タ)アクリル酸エステル単独又は(メタ)アクリル酸エ
ステル単量体及びスチレン系単量体、重合開始剤からな
る膨潤物を、重合用分散剤(例えば、水溶性高分子ポリ
ビニルアルコール)を含む水系媒体中に分散させて懸濁
重合させる系をバインダとして、特開平3−13160
4号公報が知られている。
Further, (e) an α-olefin polymer, a (meth) acrylic acid ester alone or a swelled product composed of a (meth) acrylic acid ester monomer and a styrene monomer, and a polymerization initiator is dispersed for polymerization. A system in which an agent (for example, water-soluble polymer polyvinyl alcohol) is dispersed in an aqueous medium and suspension polymerization is performed is used as a binder.
No. 4 is known.

【0008】(f)特開昭59−128266号公報に
は、水溶性高分子成分100重量部に対し、疎水性高分
子成分が1から1000重量部を含有するセラミック成
形用複合バインダが知られている。
(F) Japanese Unexamined Patent Publication No. 59-128266 discloses a composite binder for ceramic molding containing 1 to 1000 parts by weight of a hydrophobic polymer component with respect to 100 parts by weight of a water-soluble polymer component. ing.

【0009】一方、(g)特開昭59−995号公報、
特開昭60−254697号公報では、セラミック多層
配線基板の製造方法が知られ、その中に熱解重合型樹脂
を含むバインダとしてポリメタクリル酸エステル系樹脂
が開示されている。
On the other hand, (g) JP-A-59-995,
Japanese Patent Laid-Open No. 60-254697 discloses a method for manufacturing a ceramic multilayer wiring board, and discloses a polymethacrylic acid ester resin as a binder containing a thermal depolymerization type resin therein.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】(a)のバインダーで
は有機溶剤としてブチルアルコール、イソプロピルアル
コール、トリクロロエチレン、トルエン等が用いられて
いる。しかし、これら有機溶剤は、引火による爆発性、
火災の危険性、成形時、乾燥時の臭気、特にハロゲン系
溶剤は、蒸発ガスによる環境汚染、人体への有害性の公
害問題等があり、これらを防ぐために防爆設備、廃ガス
処理設備、溶剤回収設備等の設置が必要である等の、多
くの問題がある。(b)、(c)の場合は水溶性である
ために吸湿性が大きく、セラミックグリーンシートの特
性のバラツキが生じる等の欠点がある。(d)の場合、
カルボキシル基を有するエマルジョンを用いたセラミッ
クグリーンシートは引張り強さが弱く、光沢性、平滑性
に劣る等の欠点がある。また、いずれのバインダーも脱
バインダ性に劣るため、焼成後のセラミックシート及び
セラミック基板の強度が劣る等の問題がある。また、
(e)の場合、α−オレフィン重合体と(メタ)アクリ
ル酸エステル単独又は(メタ)アクリル酸エステル単量
体及びスチレン系単量体との相溶性が悪く、セラミック
前駆体組成物の機械的特性がよくない。またα−オレフ
ィン重合体やポリビニルアルコール等の熱分解性が悪い
ポリマを使用しているため、脱バインダ性に劣り、焼成
後のセラミック、セラミックシート及びセラミック基板
の強度が劣る等の問題がある。(f)の場合、水系分散
体として乳化重合で得られた疎水性高分子ラテックスを
水に溶かした水溶性高分子溶液に添加する方法である
が、水溶性高分子は熱分解性の悪い高分子が多いため、
水溶性高分子をバインダとして用いるには、添加量はで
きるだけ少ないことが重要である。又水溶性高分子が多
く存在すると、グリーンシートが吸湿しやすいので機械
的特性等のバラツキが大きい。又乳化重合で得られた疎
水性高分子ラテックスには界面活性剤が含まれているた
め、セラミック粉末の種類によって凝集したり、脱泡時
に泡が多く発生する等、作業性が良くない。
In the binder (a), butyl alcohol, isopropyl alcohol, trichloroethylene, toluene, etc. are used as the organic solvent. However, these organic solvents are explosive due to ignition,
There is a risk of fire, odors during molding and drying, especially halogen-based solvents have environmental pollution due to evaporative gas and pollution problems such as harmful to humans.To prevent these, explosion-proof equipment, waste gas treatment equipment, solvent There are many problems such as the need to install recovery equipment. In the cases of (b) and (c), since they are water-soluble, they have high hygroscopicity, and there are drawbacks such as variations in the characteristics of the ceramic green sheets. In the case of (d),
Ceramic green sheets using an emulsion having a carboxyl group have weaknesses such as low tensile strength, poor gloss and smoothness. Further, since all binders have poor binder removal properties, there is a problem that the strength of the ceramic sheet and the ceramic substrate after firing is poor. Also,
In the case of (e), the compatibility of the α-olefin polymer with the (meth) acrylic acid ester alone or the (meth) acrylic acid ester monomer and the styrenic monomer is poor, and the mechanical properties of the ceramic precursor composition are high. The characteristics are not good. Further, since a polymer having a poor thermal decomposability such as an α-olefin polymer or polyvinyl alcohol is used, there is a problem that the binder removal property is poor and the strength of the fired ceramic, ceramic sheet and ceramic substrate is poor. In the case of (f), it is a method of adding a hydrophobic polymer latex obtained by emulsion polymerization as an aqueous dispersion to a water-soluble polymer solution dissolved in water. Because there are many molecules,
In order to use the water-soluble polymer as a binder, it is important that the added amount is as small as possible. Further, when a large amount of water-soluble polymer is present, the green sheet is likely to absorb moisture, so that the mechanical properties and the like greatly vary. Further, since the hydrophobic polymer latex obtained by emulsion polymerization contains a surfactant, the workability is not good, such as agglomeration depending on the type of ceramic powder and a large amount of bubbles generated during defoaming.

【0011】一方、(g)に用いられているポリメタク
リル酸エステルをセラミック成形用有機バインダとして
使用するには、例えば、メチルエチルケトンなどのケト
ン系溶剤、ブチルアルコールなどのアルコール系溶剤等
の蒸気圧が高い有機溶剤を使用するため、火災に対する
安全性に欠ける。
On the other hand, in order to use the polymethacrylic acid ester used in (g) as an organic binder for ceramic molding, for example, the vapor pressure of a ketone-based solvent such as methyl ethyl ketone or an alcohol-based solvent such as butyl alcohol, etc. Since it uses a high organic solvent, it lacks fire safety.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】そこで、本発明者らは鋭
意検討した結果、セラミック粉末を水系に分散させ、そ
こへビニル単量体及び重合開始剤を添加し、加熱等によ
り単量体が重合即ち有機バインダ成分となりながら芯物
質であるセラミック粉末を被覆し、マイクロカプセルと
なるセラミックスラリから成形されたセラミック前駆体
組成物は、有機バインダ成分を少量しか必要とせず、セ
ラミック粉末の脱落が無く、機械的特性に優れ、水系セ
ラミックスラリとして有用であることを見出し、本発明
を完成した。すなわち、本発明は、セラミック粉末10
0重量部を分散させた水又は水と水溶性有機溶剤の混合
液中に、少なくとも一種類以上の親水基;アニオン性の
親水基(カルボキシル基、スルホン酸基、硫酸基等)又
はその金属、アンモニウム、アミン等の塩と、炭素数が
1〜18個のアルキル基又は/及び炭素数が3〜12個
の環状アルキル基及び/又はアリール基を持つ一種類以
上の単量体を、重合開始剤存在下にて共重合させ、セラ
ミック粉末を被覆したマイクロカプセルとすることを特
徴とするセラミックスラリとして上記の目的が達成され
る。
Therefore, as a result of intensive investigations by the present inventors, the ceramic powder was dispersed in an aqueous system, a vinyl monomer and a polymerization initiator were added thereto, and the monomer was heated by heating or the like. A ceramic precursor composition which is formed by a ceramic slurry which is a microcapsule and which is coated with ceramic powder as a core substance while becoming a polymerization or organic binder component, requires only a small amount of an organic binder component and does not drop out of the ceramic powder. The present invention has been completed by finding out that it is excellent in mechanical properties and useful as a water-based ceramic slurry. That is, the present invention relates to the ceramic powder 10
At least one kind of hydrophilic group in water or a mixed solution of water and a water-soluble organic solvent in which 0 part by weight is dispersed; anionic hydrophilic group (carboxyl group, sulfonic acid group, sulfuric acid group, etc.) or a metal thereof, Polymerization of salts of ammonium, amine, etc. and one or more kinds of monomers having an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms and / or a cyclic alkyl group and / or aryl group having 3 to 12 carbon atoms The above object is achieved as a ceramic slurry which is characterized in that it is copolymerized in the presence of an agent to form microcapsules coated with ceramic powder.

【0013】セラミック粉末は、特に限定されるもので
はないが、グリーンシート化する際のセラミック粉末の
平均粒径は50.0μm以下であるあることが望まし
い。セラミック前駆体組成物は、セラミック粉末100
重量部と、有機バインダ2から30重量部と、必要に応
じて分散剤、可塑剤とからなるセラミックスラリから所
定の成形体が得られ、上記の目的が達成される。
The ceramic powder is not particularly limited, but it is desirable that the average particle size of the ceramic powder in forming a green sheet is 50.0 μm or less. The ceramic precursor composition comprises 100 ceramic powders.
A predetermined molded body is obtained from a ceramic slurry composed of 1 part by weight, 30 parts by weight of the organic binder 2 and, if necessary, a dispersant and a plasticizer, and the above object is achieved.

【0014】グリーンシートは、平均粒径は50.0μ
m以下のセラミック粉末100重量部と、上記用有機バ
インダ2から30重量部と、必要に応じて分散剤、可塑
剤とからなるセラミック組成物スラリを基材の表面に薄
膜状にコーティングすることにより得られ、上記の目的
が達成される。
The average particle size of the green sheet is 50.0 μm.
By coating the surface of the base material with a ceramic composition slurry comprising 100 parts by weight of ceramic powder of m or less, 30 parts by weight of the above organic binder 2 and, if necessary, a dispersant and a plasticizer in a thin film form. As a result, the above object is achieved.

【0015】又、平均粒径が50.0μm以下であるセ
ラミック粉末100重量部と、有機バインダ2から30
重量部と、必要に応じて分散剤、可塑剤とからなるセラ
ミック前駆体組成物で構成され、この上にパターン状に
導電体層を形成し、数層から数十層になるように積層接
着させ、焼結することによって多層セラミック基板が得
られる。又はグリーンシート層が、平均粒径が50.0
μm以下であるセラミック粉末100重量部と、セラミ
ック有機バインダ2から30重量部と、必要に応じて分
散剤、可塑剤とからなるセラミック前駆体組成物で構成
され、複数の導体層を上記グリーンシート層を介した積
層体を焼結してなる多層配線セラミック基板の製造法に
よって上記の目的が達成される。
Further, 100 parts by weight of a ceramic powder having an average particle size of 50.0 μm or less and the organic binder 2 to 30 are used.
It is composed of a ceramic precursor composition consisting of parts by weight and, if necessary, a dispersant and a plasticizer, on which a conductor layer is formed in a pattern, and laminated and adhered to form several layers to several tens of layers. Then, a multilayer ceramic substrate is obtained by sintering. Or, the green sheet layer has an average particle size of 50.0
a ceramic precursor composition comprising 100 parts by weight of ceramic powder having a size of less than or equal to μm, 2 to 30 parts by weight of a ceramic organic binder, and optionally a dispersant and a plasticizer. The above object is achieved by a method of manufacturing a multilayer wiring ceramic substrate which is obtained by sintering a laminated body having layers interposed therebetween.

【0016】以下に、本発明を詳細に説明する。Hereinafter, the present invention will be described in detail.

【0017】即ち、本発明は、セラミック粉末を水又は
水と水溶性有機溶剤の混合液中に分散させ、そこへ、有
機バインダ前駆体成分として、少なくとも一種類以上の
親水基;アニオン性の親水基(カルボキシル基、スルホ
ン酸基、硫酸基等)又はその金属、アンモニウム、アミ
ン等の塩と、炭素数が1〜18個のアルキル基及び/又
は炭素数が3〜12個の環状アルキル基及び/又はアリ
ール基を持つ一種類以上の単量体を少なくとも一種類以
上のビニル系単量体を添加して、重合開始剤存在下共重
合させ、有機バインダとし、被覆したマイクロカプセル
とすることを特徴とするセラミックスラリ及びその製法
に関するものである。
That is, according to the present invention, the ceramic powder is dispersed in water or a mixed liquid of water and a water-soluble organic solvent, and at least one or more kinds of hydrophilic groups as an organic binder precursor component; anionic hydrophilic A group (carboxyl group, sulfonic acid group, sulfuric acid group, etc.) or a salt thereof such as a metal, ammonium or amine, an alkyl group having 1 to 18 carbon atoms and / or a cyclic alkyl group having 3 to 12 carbon atoms, and And / or at least one vinyl-based monomer having an aryl group is added, and copolymerized in the presence of a polymerization initiator to form an organic binder to form coated microcapsules. The present invention relates to a characteristic ceramic slurry and its manufacturing method.

【0018】本発明に用いられる有機バインダ前駆体は
ビニル系単量体であり、その重合体である有機バインダ
は、重合時にセラミック粉末表面において形成され、セ
ラミック粉末を被覆している。即ち、これらは、スラリ
中においてセラミック粉末を芯物質とするマイクロカプ
セルとしてなるものである。更に、セラミック前駆体で
は、セラミック粉末とセラミック粉末同士を接着し、そ
の形を保持するものである。有機バインダ前駆体である
成分として、例えば、アニオン性の親水基を持つ単量
体;(メタ)アクリル酸、コハク酸モノヒドロキシエチ
ル(メタ)アクリレート、フタル酸モノヒドロキシエチ
ル(メタ)アクリレート、ω−カルボキシ−ポリカプロ
ラクトンモノ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル
酸ダイマ、マレイン酸(モノエステル)、フマル酸(モ
ノエステル)、イタコン酸(モノエステル)、シトラコ
ン酸(モノエステル)、2−アクリルアミド−2−メチ
ルプロパンスルホン酸、また、例えば、メチル(メタ)
アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロ
ピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アク
リレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、イソブチ
ル(メタ)アクリレート、n−アミル(メタ)アクリレ
ート、イソアミル(メタ)アクリレート、n−ヘキシル
(メタ)アクリレート、n−オクチル(メタ)アクリレ
ート、イソオクチル(メタ)アクリレート、デシル(メ
タ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、ラ
ウリル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アク
リレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、イソ
ボルニル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アク
リレート、ベンジル(メタ)アクリレート等の(メタ)
アクリレート系単量体、エチレン、イソブチレン等のエ
チレン系単量体、スチレン、α−メチルスチレン等のス
チレン系単量体、マレイン酸ジエステル、フマル酸ジエ
ステル、イタコン酸ジエステル、シトラコン酸ジエステ
ル等の不飽和ジエステル系単量体が挙げられる。
The organic binder precursor used in the present invention is a vinyl-based monomer, and the organic binder that is a polymer thereof is formed on the surface of the ceramic powder during the polymerization and covers the ceramic powder. That is, these are microcapsules containing ceramic powder as a core substance in the slurry. Further, in the ceramic precursor, the ceramic powder and the ceramic powder are adhered to each other to maintain their shape. As a component which is an organic binder precursor, for example, a monomer having an anionic hydrophilic group; (meth) acrylic acid, monohydroxyethyl (meth) acrylate succinate, monohydroxyethyl (meth) acrylate phthalate, ω- Carboxy-polycaprolactone mono (meth) acrylate, (meth) acrylic acid dimer, maleic acid (monoester), fumaric acid (monoester), itaconic acid (monoester), citraconic acid (monoester), 2-acrylamido-2 -Methyl propane sulfonic acid, also eg methyl (meth)
Acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, n-amyl (meth) acrylate, isoamyl (meth) acrylate, n-hexyl (meth) acrylate, n-octyl (meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, decyl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) (Meth) such as acrylate, isobornyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate
Unsaturation of acrylate monomers, ethylene monomers such as ethylene and isobutylene, styrene monomers such as styrene and α-methylstyrene, maleic acid diesters, fumaric acid diesters, itaconic acid diesters, citraconic acid diesters, etc. Examples thereof include diester monomers.

【0019】又、本スラリに使用される可塑剤は、基本
的には水又は水系溶剤と共沸しにくいもので、且つビニ
ル単量体から得られた重合体である有機バインダーと相
溶性が良いものである。例えば、ジブチルフタレート
(DBPと略す)、ジ−2−エチルヘキシルフタレート
(DOP)、ジイソノニルフタレート(DINP),ジ
イソデシルフタレート(DIDP)、ジヘプチルフタレ
ート(DHP)、ジ−n−オクチルフタレート(N−D
OP)ブチルベンジルフタレート(BBP)、エチルフ
タリルエチルグリコレート等のフタル酸エステル系、ジ
−2−エチルヘキシルアジペート(DOA)、ジブチル
ジグリコールアジペート(BXA)等の脂肪族エステル
系、トリプロピレングリコールメチルエーテル(TP
M)、ジプロピレングリコール−n−ブチルエーテル
(DPnB)、トリプロピレングリコールーnーブチル
エーテル(TPnB)、プロピレングリコールフェニル
エーテル(PPh)等のプロピレン系グリコールエーテ
ルが挙げられる。好ましくは、DOP、DINP、DI
DP、DHP、N−DOPが良い。可塑剤はそれぞれの
形態に応じて添加すれば良く、特に制限されるものでな
い。即ち、セラミック用有機バインダを使用して成形さ
れたセラミック前駆体組成物の機械的特性が保持され、
ハンドリング性が優れていれば良い。言い替えれば、可
塑剤の添加量を調整することによって、得られるグリー
ンシートの機械的特性を制御できる。一つの目安とし
て、グリーンシートのハンドリング性と穴開け加工精度
を得るためには、伸びが5から25%程度を必要とす
る。可塑剤の添加方法はビニル単量体の重合時、又は重
合後でもよい。好ましくはマイクロカプセル同士の癒着
を防止するためにも重合時に添加するのが良い。
The plasticizer used in this slurry is basically difficult to azeotrope with water or an aqueous solvent, and has compatibility with an organic binder which is a polymer obtained from vinyl monomers. It is a good one. For example, dibutyl phthalate (abbreviated as DBP), di-2-ethylhexyl phthalate (DOP), diisononyl phthalate (DINP), diisodecyl phthalate (DIDP), diheptyl phthalate (DHP), di-n-octyl phthalate (ND)
OP) butyl benzyl phthalate (BBP), phthalate ester such as ethyl phthalyl ethyl glycolate, di-2-ethylhexyl adipate (DOA), aliphatic ester such as dibutyl diglycol adipate (BXA), tripropylene glycol methyl Ether (TP
M), propylene glycol ethers such as dipropylene glycol-n-butyl ether (DPnB), tripropylene glycol-n-butyl ether (TPnB) and propylene glycol phenyl ether (PPh). Preferably, DOP, DINP, DI
DP, DHP and N-DOP are good. The plasticizer may be added according to each form and is not particularly limited. That is, the mechanical properties of the ceramic precursor composition molded using the organic binder for ceramics are retained,
It should be good if it is easy to handle. In other words, the mechanical properties of the obtained green sheet can be controlled by adjusting the addition amount of the plasticizer. As one guideline, the elongation is required to be about 5 to 25% in order to obtain the handling property of the green sheet and the drilling accuracy. The plasticizer may be added during or after the polymerization of the vinyl monomer. It is preferable to add it at the time of polymerization in order to prevent adhesion between microcapsules.

【0020】本発明に用いられるセラミックスラリの固
形分濃度は80重量%以下、10重量%以上とする。8
0重量%を超えるとスラリの流動性が悪くなり、シート
化できない。また、10重量%未満では作業性が低下す
る。
The solid content concentration of the ceramic slurry used in the present invention is 80% by weight or less and 10% by weight or more. 8
If it exceeds 0% by weight, the fluidity of the slurry deteriorates and the sheet cannot be formed. Further, if it is less than 10% by weight, workability is deteriorated.

【0021】本発明に用いられるセラミックスラリの製
造方法は、セラミック粉末を水又は水と水溶性有機溶剤
の混合液中に分散させ、そこへ、有機バインダ前駆体と
して、少なくとも一種類のビニル系単量体を添加して、
成分である重合開始剤存在下成分を共重合させ、有機バ
インダとする。この時、被覆されたマイクロカプセルと
なる。
In the method for producing a ceramic slurry used in the present invention, the ceramic powder is dispersed in water or a mixed liquid of water and a water-soluble organic solvent, and at least one vinyl-based monodisperse is used as the organic binder precursor. Add the quantity,
The component is copolymerized in the presence of a polymerization initiator to form an organic binder. At this time, the coated microcapsules are formed.

【0022】本発明に用いられる溶剤としては、水又は
水と例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、
イソプロパノール等のアルコール類、エチレングリコー
ルメチルエーテル、エチレングリコールエチルエーテ
ル、エチレングリコールブチルエーテル等のエチレング
リコール誘導体、ジエチレングリコールメチルエーテ
ル、ジエチレングリコールエチルエーテル、ジエチレン
グリコールブチルエーテル等のジエチレングリコール誘
導体、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレ
ングリコールエチルエーテル、プロピレングリコールブ
チルエーテル等のプロピレングリコール誘導体、酢酸メ
チル、酢酸エチル等の酢酸エステル誘導体、乳酸メチ
ル、乳酸エチル等の乳酸エステル誘導体等から少なくと
も一種以上選ばれた水溶性有機溶剤との混合溶媒が挙げ
られる。又、難水溶性アルコール系溶剤を一部添加して
も良い。水及び水溶性溶剤を使用する場合の混合割合
は、水100〜50重量%、水溶性溶剤0〜50であ
る。
As the solvent used in the present invention, water or water and, for example, methanol, ethanol, propanol,
Alcohols such as isopropanol, ethylene glycol methyl ether, ethylene glycol ethyl ether, ethylene glycol derivatives such as ethylene glycol butyl ether, diethylene glycol methyl ether, diethylene glycol ethyl ether, diethylene glycol derivatives such as diethylene glycol butyl ether, propylene glycol methyl ether, propylene glycol ethyl ether, Examples thereof include a mixed solvent with a water-soluble organic solvent selected from at least one selected from propylene glycol derivatives such as propylene glycol butyl ether, acetic acid ester derivatives such as methyl acetate and ethyl acetate, and lactate ester derivatives such as methyl lactate and ethyl lactate. Further, a poorly water-soluble alcohol solvent may be partially added. When water and a water-soluble solvent are used, the mixing ratio is 100 to 50% by weight of water and 0 to 50 of the water-soluble solvent.

【0023】重合開始剤は、例えば、2,2’−アゾビ
ス(イソブチロニトリル)、2,2’−アゾビス(2,
4−ジメチルバレロニトリル)、2,2’−アゾビス
(イソブチルバレロニトリル)等のアゾ化合物、タシャ
リーブチルハイドロパーオキサイド、ベンゾイルパーオ
キサイド、t−ブチルパーオキサイド等の過酸化物、過
硫酸アンモニウム、過硫酸カリウムの様な過硫酸塩等の
重合開始剤が特に制限なく使用できる。特には水溶性重
合開始剤が好ましい。使用量は、単量体の総量100重
量部に対して0.01〜5重量部を使用することが望ま
しい。また、必要に応じてタシャリードデシルメルカプ
タン、チオグリコール酸等の連鎖移動剤を用いることに
よって重合体の分子量が制御できる。
Examples of the polymerization initiator include 2,2'-azobis (isobutyronitrile) and 2,2'-azobis (2,2'-azobis (isobutyronitrile).
Azo compounds such as 4-dimethylvaleronitrile) and 2,2′-azobis (isobutylvaleronitrile), peroxides such as tert-butyl hydroperoxide, benzoyl peroxide, t-butyl peroxide, ammonium persulfate and persulfate. A polymerization initiator such as persulfate such as potassium can be used without particular limitation. A water-soluble polymerization initiator is particularly preferable. It is desirable to use 0.01 to 5 parts by weight based on 100 parts by weight of the total amount of the monomers. If necessary, a molecular weight of the polymer can be controlled by using a chain transfer agent such as tashyadedecyl mercaptan or thioglycolic acid.

【0024】この反応は、重合開始剤の種類にもよる
が、通常40〜90℃で行うことができる。
This reaction can be carried out usually at 40 to 90 ° C., though it depends on the kind of the polymerization initiator.

【0025】本発明に用いられる有機バインダであるビ
ニル単量体の重合体の重量平均分子量は十万以上であ
る。十万未満ではグリーンシートの機械的特性が十分に
得られ難い。
The weight average molecular weight of the vinyl monomer polymer as the organic binder used in the present invention is 100,000 or more. If it is less than 100,000, it is difficult to obtain sufficient mechanical properties of the green sheet.

【0026】本発明に用いられる平均粒径が50.0μ
m以下であるセラミック粉末としては、例えば、Al2
3、SiO2、3Al23・SiO2、PbO、Al23
・MgO、B23、CaO、BaO、ZrO2、Zn
O、Na2O、P25、K2O、Li2O等から少なくと
も1種以上より選ばれたものである。更に詳しく言え
ば、アルミナ(Al23)、ムライト(Mullit
e,3Al23・2SiO2)、コージェライト(Co
rdierite,2MgO・2Al23・5Si
)のうち少なくとも一種のセラミック粉末、SiO
−B23−Na2O系、SiO2−B23−K2O系、
SiO2−B23−Li2O系、SiO2−B23−Zn
O系等のホウ珪酸ガラスのうち、少なくとも1種以上の
セラミック粉末とガラス粉末より選ばれる。又、ガラス
セラミック基板を作製する際には、銅の融点より低温で
焼成可能な非結晶性又は結晶性ガラス成分であることが
好ましく、又焼結後にクリストバライトが生成しにくい
セラミック粉末とガラス粉末の組成が好ましい。このセ
ラミック粉末は球状、粉砕状のもの等が使用される。微
細なスルーホール加工を必要とする場合には、グリーン
シート用セラミック粉末の平均粒径は、一般的に10μ
m以下、更に好ましくは5μm以下が望ましい。
The average particle size used in the present invention is 50.0 μ.
Examples of the ceramic powder having m or less include Al 2 O
3 , SiO 2 , 3Al 2 O 3 · SiO 2 , PbO, Al 2 O 3
· MgO, B 2 O 3, CaO, BaO, ZrO 2, Zn
At least one selected from O, Na 2 O, P 2 O 5 , K 2 O, Li 2 O and the like. More specifically, alumina (Al 2 O 3 ), mullite (Mullit)
e, 3Al 2 O 3 .2SiO 2 ), cordierite (Co
rdierite, 2MgO.2Al 2 O 3 .5Si
O 2 ) at least one ceramic powder, SiO
2 -B 2 O 3 -Na 2 O-based, SiO 2 -B 2 O 3 -K 2 O system,
SiO 2 -B 2 O 3 -Li 2 O system, SiO 2 -B 2 O 3 -Zn
Among borosilicate glass such as O-based glass, it is selected from at least one or more kinds of ceramic powder and glass powder. Further, when producing a glass-ceramic substrate, it is preferable to use an amorphous or crystalline glass component that can be fired at a temperature lower than the melting point of copper, and a ceramic powder and a glass powder that are less likely to produce cristobalite after sintering. The composition is preferred. The ceramic powder may be spherical or pulverized. When fine through-hole processing is required, the average particle size of the ceramic powder for green sheets is generally 10μ.
m or less, more preferably 5 μm or less is desirable.

【0027】又本発明に用いられるセラミックスは、B
aTiO3等の高誘電体材料、抵抗体材料等も挙げら
れ、特に制限されるものではない。
The ceramics used in the present invention are B
Examples thereof include high dielectric materials such as aTiO 3 and resistor materials, and are not particularly limited.

【0028】本発明に用いられるセラミック用分散助剤
としては、ポリアクリル酸のアンモニウム等のポリアク
リル酸の塩、ホスフェートエステル、ポリエチレングリ
コ−ル、ポリビニル−2−ピロリドン及び共重合体、グ
リセロールトリオレート等があげられる。
Examples of the dispersion aid for ceramics used in the present invention include salts of polyacrylic acid such as ammonium polyacrylic acid, phosphate esters, polyethylene glycol, polyvinyl-2-pyrrolidone and copolymers, and glycerol trioleate. Etc.

【0029】セラミック用分散助剤は、セラミック粉末
分散液を調製する際、セラミック粉末同士が凝集しにく
くし、スラリーの流動を容易にするものである。セラミ
ック用分散助剤は溶剤(水、水及び水溶性溶剤)に溶解
又は分散した溶液に、セラミック粉末を添加して使用す
る。使用する場合、ボールミルを用いて湿式混合を1か
ら5時間行なう。
The dispersion aid for ceramics makes it difficult for the ceramic powders to agglomerate during the preparation of the ceramic powder dispersion and facilitates the flow of the slurry. The dispersion aid for ceramics is used by adding ceramic powder to a solution obtained by dissolving or dispersing in a solvent (water, water and a water-soluble solvent). If used, wet mixing is performed for 1 to 5 hours using a ball mill.

【0030】本発明に用いられるセラミック前駆体組成
物の製造法は、セラミック粉末100重量部と、必要に
応じて、各種セラミック用分散助剤のうちから選ばれた
分散剤とからなるセラミック分散液を少なくとも5時間
以上湿式混合し、有機バインダ前駆体(ビニル単量体)
2から30重量部と重合開始剤と、必要に応じて可塑剤
を加え、加熱して重合を行うことによりセラミックスラ
リとし、脱泡工程を経たのち、押出成形法、射出成形
法、ドクタブレード法、カレンダロール法等によって成
形される。製法は特に制限されるものではない。
The method for producing the ceramic precursor composition used in the present invention is a ceramic dispersion comprising 100 parts by weight of ceramic powder and, if necessary, a dispersant selected from among various ceramic dispersion aids. Wet mix for at least 5 hours or more to obtain organic binder precursor (vinyl monomer)
2 to 30 parts by weight, a polymerization initiator, and, if necessary, a plasticizer are added, and heated to perform polymerization to obtain a ceramic slurry, which is subjected to a defoaming step, and then an extrusion molding method, an injection molding method, a doctor blade method. , A calendar roll method or the like. The production method is not particularly limited.

【0031】本発明に用いられるセラミック成形体の製
造法は、上記の製法で得られたセラミック前駆体組成物
を350〜1800℃の温度で少なくとも5時間空気中
或いは非還元性雰囲気中で焼成することによって得るこ
とができる。
In the method for producing the ceramic molded body used in the present invention, the ceramic precursor composition obtained by the above-mentioned production method is fired at a temperature of 350 to 1800 ° C. for at least 5 hours in air or in a non-reducing atmosphere. Can be obtained by

【0032】本発明に用いられる多層セラミック基板は
つぎの製造法によって得られる。セラミック粉末100
重量部と、必要に応じて、各種セラミック用分散助剤の
うちから選ばれた分散剤とからなるセラミック分散液を
少なくとも1時間以上湿式混合し、有機バインダ前駆体
2から30重量部と重合開始剤と、必要に応じて可塑剤
を加え、加熱して重合を行うことによりセラミックスラ
リとし、脱泡工程を経たのち、室温から120℃のキャ
スト温度でドクタブレード法等によつてグリーンシート
が成形される。必要に応じて得られたグリーンシートの
機械的特性を向上させるために、更に100〜180℃
で30分から90分程乾燥しても良い。得られた厚さ
0.05〜2mmのグリーンシートを所定の大きさ(例
えば、10〜200mm×10〜200mm角)に切断
し、必要な層、所定の位置にスルーホールを打ち抜く。
スルーホールの直径は制限されるものではないが、最小
40ミクロンまで可能である。この打ち抜かれたグリ−
ンシ−ト上に、例えば、W(融点3410℃)、Mo
(融点2620℃)、Ag(融点961.9)、Au
(融点1064℃)、Pt(融点1769℃)、Pd
(融点1554℃)、Cu(融点1083.4℃)、N
i(融点1453℃)等の一種類以上の導体を主成分と
した導体ペーストをスクリーン印刷法によって所定の位
置に印刷する。こうして導体をスクリーンマスクを介し
て印刷したグリーンシートに所定の回路を形成し、この
回路形成されたグリーンシート数層から数十層を積層
し、温度80〜150℃、圧力0.98MPa〜29.4
MPa(10〜300kgf/cm2)で熱プレス圧着す
る。得られた積層体を所定の形状、大きさになるように
切断する。これを導体の種類によって焼成温度が異なる
(一般には導体の融点以下で焼成)が、約350〜18
00℃の温度で少なくとも5時間空気中或いは非還元性
雰囲気中で焼成することによってセラミック基板が得ら
れる。
The multilayer ceramic substrate used in the present invention is obtained by the following manufacturing method. Ceramic powder 100
Wet-mix a ceramic dispersion liquid containing at least 1 part by weight and, if necessary, a dispersant selected from among various dispersion aids for ceramics, for at least 1 hour to initiate polymerization with 2 to 30 parts by weight of the organic binder precursor. Agent and plasticizer if necessary, and heating to polymerize to make ceramic slurry, and after defoaming step, green sheet is formed at room temperature to 120 ° C at cast temperature by doctor blade method etc. To be done. In order to improve the mechanical properties of the obtained green sheet, if necessary, further 100 to 180 ° C
It may be dried for 30 to 90 minutes. The obtained green sheet having a thickness of 0.05 to 2 mm is cut into a predetermined size (for example, 10 to 200 mm × 10 to 200 mm square), and a necessary layer and a through hole are punched at predetermined positions.
The diameter of the through hole is not limited, but can be up to 40 microns. This punched green
On the sheet, for example, W (melting point 3410 ° C), Mo
(Melting point 2620 ° C.), Ag (melting point 961.9), Au
(Melting point 1064 ° C.), Pt (melting point 1769 ° C.), Pd
(Melting point 1554 ° C.), Cu (melting point 1083.4 ° C.), N
A conductor paste mainly composed of one or more conductors such as i (melting point 1453 ° C.) is printed at a predetermined position by a screen printing method. In this way, a predetermined circuit is formed on the green sheet on which the conductor is printed through the screen mask, and several to several tens of layers of the green sheet on which the circuit is formed are laminated, and the temperature is 80 to 150 ° C. and the pressure is 0.98 MPa to 29. Four
Hot press bonding is performed at MPa (10 to 300 kgf / cm 2 ). The obtained laminated body is cut into a predetermined shape and size. The firing temperature varies depending on the type of conductor (generally, the firing temperature is below the melting point of the conductor).
A ceramic substrate is obtained by firing at a temperature of 00 ° C. for at least 5 hours in air or in a non-reducing atmosphere.

【0033】本発明により得られるセラミックスラリ
は、水単独又は水及び水溶性有機溶剤とからなるもの
で、非水溶性有機溶剤を全く又はほとんど使用すること
なく必要性がない。又、セラミック前駆体組成物におい
てセラミック粉末の脱落が無く、セラミックの分散性、
表面の平滑性、密度、伸び、及び強度において優れたセ
ラミックグリーンシートを作製することができ、低公
害、省資源の観点から有利である。また、グリーンシー
トを積層、焼成することにより緻密で、表面平滑性及び
強度おいてに優れた多層セラミック基板が得られる。
The ceramic slurry obtained according to the present invention is composed of water alone or water and a water-soluble organic solvent, and is unnecessary without using a water-insoluble organic solvent or hardly. Further, in the ceramic precursor composition, the ceramic powder does not fall off, the dispersibility of the ceramic,
A ceramic green sheet excellent in surface smoothness, density, elongation, and strength can be produced, which is advantageous from the viewpoint of low pollution and resource saving. Further, by stacking and firing the green sheets, it is possible to obtain a dense multilayer ceramic substrate having excellent surface smoothness and strength.

【0034】[0034]

【作用】本発明の特徴は、セラミックスラリが水系セラ
ミックスラリとして有用であり、且つセラミック粉末間
の結合には有機バインダ成分がその機能を発揮し、グリ
ーンシートの諸特性、即ち、柔軟性、成形性、分散性、
表面状態を満たすものである。更に回路パターン付グリ
ーンシートの積層体の諸特性、即ち、積層圧着性、機械
的強度等を満たすものである。
The features of the present invention are that the ceramic slurry is useful as an aqueous ceramic slurry, and the organic binder component exerts its function for binding between the ceramic powders, and various characteristics of the green sheet, that is, flexibility and molding. Sex, dispersibility,
It satisfies the surface condition. Further, it satisfies various characteristics of the laminated body of the green sheet with a circuit pattern, that is, laminating pressure-bonding property, mechanical strength and the like.

【0035】[0035]

【実施例】以下に本発明の実施例を示すが、本発明はこ
れに限定されるものではない。
EXAMPLES Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these examples.

【0036】単に%とある場合は重量%を意味する。The term "%" means "% by weight".

【0037】セラミック粉末100重量部と水又は水と
有機溶剤を加えあわせ、これをボールミルで混練し、セ
ラミック分散液を得た。これを、フラスコに移し変え
た。これに、ビニル単量体2〜30重量部、重合開始
剤、必要に応じて可塑剤を加え合わせ、加熱、撹拌する
ことによりセラミックスラリを得た。更にこのスラリか
ら減圧で空気を脱泡した。このように調製したスラリの
粘度を濃縮により調整して、ドクタブレード型キャスト
装置を用い、ポリエステルフィルム上に塗布して乾燥し
てグリーンシートを作製した。シートの諸物性は、成形
性、柔軟性、分散性について評価した。
100 parts by weight of ceramic powder and water or water and an organic solvent were added and kneaded with a ball mill to obtain a ceramic dispersion liquid. This was transferred to a flask. A ceramics slurry was obtained by adding 2 to 30 parts by weight of a vinyl monomer, a polymerization initiator, and a plasticizer if necessary, and heating and stirring the mixture. Further, air was degassed from this slurry under reduced pressure. The viscosity of the slurry thus prepared was adjusted by concentration, and the slurry was applied onto a polyester film using a doctor blade type casting device and dried to prepare a green sheet. Various physical properties of the sheet were evaluated with respect to moldability, flexibility and dispersibility.

【0038】(成形性)ポリエステルフィルム上に塗布
して乾燥後、目視により評価した。
(Moldability) After coating on a polyester film, drying, and visual evaluation.

【0039】〇:ポリエステルシートでのグリーンシー
トの剥離がよく、割れが無いこと。
◯: Good peeling of the green sheet from the polyester sheet and no cracking.

【0040】△:若干割れのあるグリーンシートである
こと。
Δ: A green sheet with some cracks.

【0041】×:ひび割れてグリーンシートにならない
こと。
X: Do not crack to form a green sheet.

【0042】(柔軟性)グリーンシートの中央部を直径
のことなる5種のガラス芯棒のそれぞれで抑え、 これ
を中心とする180°の折り曲げ試験を行った。シート
に割れが入る直前 の芯棒の直径(mmφ)で、柔軟性を示
した。芯棒の直径は2,3,4,6,8mm である。
(Flexibility) A central portion of the green sheet was restrained by each of five kinds of glass core rods having different diameters, and a bending test of 180 ° centered on the core rod was conducted. Flexibility was indicated by the diameter (mmφ) of the core rod immediately before the sheet cracked. The diameter of the core rod is 2, 3, 4, 6, 8 mm.

【0043】(分散性) 〇:グリーンシート中セラミック微粒子の分散状態で凝
集が少ないこと。
(Dispersibility) ◯: There is little aggregation in the dispersed state of the ceramic fine particles in the green sheet.

【0044】△:グリーンシート中セラミック微粒子の
分散状態で凝集が若干多いこと。
Δ: There is a little agglomeration in the dispersed state of the ceramic fine particles in the green sheet.

【0045】×:グリーンシート中セラミック微粒子の
分散状態で凝集が多いこと。
X: A large amount of agglomeration occurs in the dispersed state of the ceramic fine particles in the green sheet.

【0046】(実施例1)アルミナ粉末を主成分とし
て、全体の組成としてはAl23 91%、SiO2
%、MgO 3%の成分を有する粒径5μm以下のセラミ
ック粉末5kg、水3.6kgをアルミナ製内張り容器にて
加え合わせ、アルミナ製ボールを用いたボールミルで2
時間混練しセラミック分散液を得た。このセラミック分
散液を、撹拌機、温度計、還流コンデンサ、滴下ロート
及びガス導入管を備えた10リットルのフラスコに移し
変えた。窒素ガス気流下にて、有機バインダ前駆体であ
るメタクリル酸100g、メタクリル酸n−ブチル40
0gに加え、可塑剤であるジオクチルフタレート75gの
混合溶液を1時間で均一に滴下し、過硫酸アンモニウム
5gを加え、さらに60℃で4時間加熱、撹拌した。こ
れを室温まで冷却し、セラミックス粉末が有機バインダ
で被覆された、固形分濃度60%のセラミックスラリを
得た。
Example 1 Alumina powder as a main component, Al 2 O 3 91% in total composition, SiO 2 6
%, MgO 3%, 5 kg of a ceramic powder having a particle size of 5 μm or less, and 3.6 kg of water are added together in an alumina lining container, and then mixed with a ball mill using alumina balls.
Kneading for a period of time gave a ceramic dispersion. This ceramic dispersion was transferred to a 10 liter flask equipped with a stirrer, thermometer, reflux condenser, dropping funnel and gas inlet tube. Under a nitrogen gas stream, 100 g of methacrylic acid, which is an organic binder precursor, and 40 n-butyl methacrylate.
In addition to 0 g, a mixed solution of 75 g of a plasticizer, dioctyl phthalate, was uniformly added dropwise over 1 hour, 5 g of ammonium persulfate was added, and the mixture was further heated and stirred at 60 ° C. for 4 hours. This was cooled to room temperature to obtain a ceramic slurry in which the ceramic powder was coated with an organic binder and the solid content concentration was 60%.

【0047】このようにしてセラミック前駆体組成物ス
ラリを作製した後、更にこのスラリを減圧で脱泡した。
このように調製した均一なスラリ混合液を、シートの諸
物性は表1に示すように、成形性、柔軟性、分散性とも
に良好であった。
After the ceramic precursor composition slurry was prepared in this manner, the slurry was further degassed under reduced pressure.
With respect to the physical properties of the thus prepared uniform slurry mixed liquid, as shown in Table 1, the moldability, flexibility and dispersibility were good.

【0048】[0048]

【表1】 [Table 1]

【0049】セラミックスラリを作製した後、更にこの
スラリから減圧133.3Pa〜6665Pa(1mm
Hg〜50mmHg)下で脱泡した。更に減圧下で水を
飛散させながら粘度を調整して3Pa・s〜10Pa・
sとし、ドクタブレード型キャスト装置を用い、ポリエ
ステルフィルム上にキャスティングして120℃で乾燥
して厚さ0.2mmのグリーンシートを作製した。シー
トの諸物性は表1に示すように、成形性、柔軟性、分散
性ともに良好であった。
After the ceramic slurry was prepared, the pressure was reduced from this slurry to 133.3 Pa to 6665 Pa (1 mm).
It was degassed under Hg-50 mmHg). Furthermore, the viscosity is adjusted while scattering water under reduced pressure to 3 Pa · s to 10 Pa ·
s, a doctor blade type casting device was used to cast on a polyester film and dried at 120 ° C. to produce a green sheet having a thickness of 0.2 mm. As shown in Table 1, the physical properties of the sheet were good in moldability, flexibility and dispersibility.

【0050】グリーンシートをパンチ金型を用いて、2
00mm×200mm角に切断し、ガイド用の穴を施した。
その後、このガイド用の穴を利用してグリーンシートを
固定し、パンチ法により所定位置に径0.1mmのスルー
ホールを打ち抜いた。粒径5μm以下のタングステン粉
末:ニトロセルロース:エチルセルロース:α−テレピ
ネオール=100:4:2:23(重量比)の導体ペー
ストを、グリーンシートにあけたスルーホールに充填
し、次にスクリーン印刷法により所定回路パターンをグ
リーンシート表面に印刷した。このように導体を印刷
し、回路形成されたグリーンシートをガイド用の穴の位
置を合わせて40枚を積層し、120℃、100kgf/
cm2の圧力にて熱プレス圧着を行なった。得られた積層
体を必要な形状に切断し、150mm×150mm角のグリ
ーンシート積層板とし、窒素−水素−水蒸気の混合雰囲
気(圧力比;0.6気圧:0.2気圧:0.2気圧)の
焼成炉内で1600℃で2時間焼成した。焼成の際には
昇温過程で脱バインダを充分に行なった。このグリーン
シート積層法によって120mm×120mm角、厚さ7mm
の多層配線セラミック基板を作製した。
The green sheet is punched with a die 2
It was cut into a piece of 00 mm × 200 mm square and a hole for guide was formed.
Then, the green sheet was fixed using the holes for the guide, and a through hole having a diameter of 0.1 mm was punched out at a predetermined position by a punching method. A tungsten powder having a particle diameter of 5 μm or less: nitrocellulose: ethylcellulose: α-terpineol = 100: 4: 2: 23 (weight ratio) was filled in the through holes formed in the green sheet, and then the screen printing method was used. A predetermined circuit pattern was printed on the surface of the green sheet. The conductor is printed in this way, and 40 sheets of green sheets with a circuit formed are stacked with the positions of the guide holes aligned, and at 120 ° C, 100 kgf /
Hot press bonding was performed at a pressure of cm 2 . The obtained laminated body is cut into a required shape to form a 150 mm × 150 mm square green sheet laminated plate, and a mixed atmosphere of nitrogen / hydrogen / steam (pressure ratio; 0.6 atm: 0.2 atm: 0.2 atm) ) Was fired at 1600 ° C. for 2 hours in the firing furnace. During firing, the binder was sufficiently removed during the temperature rising process. 120mm x 120mm square, thickness 7mm by this green sheet lamination method
A multilayer wiring ceramic substrate was manufactured.

【0051】(実施例2〜20)有機バインダ前駆体の
種類及び量、配合比、重合開始剤の種類及び量、分散媒
の種類及び量を表1,2に示すように替えた他は実施例
1と同様に実験を行ない、セラミックスラリを得た。
(Examples 2 to 20) Except that the types and amounts of organic binder precursors, the compounding ratios, the types and amounts of polymerization initiators, and the types and amounts of dispersion media were changed as shown in Tables 1 and 2. The same experiment as in Example 1 was performed to obtain a ceramic slurry.

【0052】[0052]

【表2】 [Table 2]

【0053】実施例1と同様にして実験を行ない、グリ
ーンシートを作製し、その諸特性を表1に示した。
An experiment was conducted in the same manner as in Example 1 to produce a green sheet, and its various properties are shown in Table 1.

【0054】実施例1と同様にして実験を行ない、グリ
ーンシートより多層配線セラミック基板を作製した。
An experiment was conducted in the same manner as in Example 1 to prepare a multilayer wiring ceramic substrate from a green sheet.

【0055】(比較例1)オクチルアクリルアミドを
4.0モル%,トリメチル−3−(1−メタクリルアミ
ド−プロピル)アンモニウムクロリド2.0モル%を含
有するポリ酢酸ビニル系共重合体で、その酢酸ビニル成
分の88.7モル%がケン化され、かつ20℃における
4%水溶液粘度が34センチポアズである変性PVAを
バインダとした。
Comparative Example 1 A polyvinyl acetate copolymer containing 4.0 mol% of octyl acrylamide and 2.0 mol% of trimethyl-3- (1-methacrylamido-propyl) ammonium chloride. A modified PVA in which 88.7 mol% of the vinyl component was saponified and the viscosity of a 4% aqueous solution at 20 ° C. was 34 centipoise was used as the binder.

【0056】アルミナ粉末を主成分として全体の組成と
してはAl23 33%、SiO233%、ほうけい酸ガ
ラス 34%の成分を有する粒径5μm以下のセラミック
粉末100重量部、バインダ樹脂を6部、分散剤として
ポリオキシエチレンノニルフェノールエーテルを1部、
イオン交換水50部を加え合わせセラミック前駆体組成
物をえた。これをアルミナ製内張り容器、アルミナ製ボ
ールを用いたボールミルで24時間混練した。以下実施
例1と同様にして実験を行ない、グリーンシートを作製
し、その諸特性を表3に示した。
100 parts by weight of a ceramic powder having a particle size of 5 μm or less, containing alumina powder as a main component, and having a composition of Al 2 O 3 33%, SiO 2 33%, and borosilicate glass 34%, and a binder resin. 6 parts, 1 part of polyoxyethylene nonylphenol ether as a dispersant,
50 parts of ion-exchanged water was added to obtain a ceramic precursor composition. This was kneaded for 24 hours in a ball mill using an alumina lining container and alumina balls. An experiment was conducted in the same manner as in Example 1 to produce a green sheet, and its various properties are shown in Table 3.

【0057】[0057]

【表3】 [Table 3]

【0058】(比較例2)アクリル酸、アクリル酸ブチ
ル、アクリル酸エチル重合比(50/25/25)重量
平均分子量約10万の共重合体のモノエタノールアミン
塩20gを分散剤として水/メタノール重合比(5/
5)80gの混合溶媒中でアクリル酸エチルを過硫酸ア
ンモニウム0.4gを重合開始剤として乳化重合し、固
形分50%のラテックスを得た。
Comparative Example 2 Acrylic acid, butyl acrylate, ethyl acrylate Polymerization ratio (50/25/25) 20 g of a monoethanolamine salt of a copolymer having a weight average molecular weight of about 100,000 was used as a dispersant in water / methanol. Polymerization ratio (5 /
5) Emulsion polymerization of ethyl acrylate in a mixed solvent of 80 g using 0.4 g of ammonium persulfate as a polymerization initiator to obtain a latex having a solid content of 50%.

【0059】ラテックスを24部、イオン交換水18部
を用いた他は、比較例1と同様にして実験を行ない、グ
リーンシートを作製し、その諸特性を表3に示した。
An experiment was conducted in the same manner as in Comparative Example 1 except that 24 parts of latex and 18 parts of ion-exchanged water were used to prepare a green sheet, and its various properties are shown in Table 3.

【0060】(比較例3)分散剤として非イオン系界面
活性剤を乳化剤としてアクリル酸ブチル、アクリル酸、
メタアクリル酸重合比(70/15/15)の組成を有
するラテックスを得た。
Comparative Example 3 Nonionic surfactant as a dispersant, butyl acrylate, acrylic acid as an emulsifier,
A latex having a composition of methacrylic acid polymerization ratio (70/15/15) was obtained.

【0061】ラテックス10部(固形分)、中和剤とし
てモノエタノールアミン及びイオン交換水25部を用い
た他は、比較例1と同様にして実験を行ない、グリーン
シートを作製し、その諸特性を表3に示した。
An experiment was conducted in the same manner as in Comparative Example 1 except that 10 parts of latex (solid content), 25 parts of monoethanolamine as a neutralizing agent and ion-exchanged water were used to prepare a green sheet, and its various characteristics. Is shown in Table 3.

【0062】(比較例4)ポリオキシエチレンオクチル
フェニルエーテルの塩化グリシンベタインエステル4重
量部、ポリオキシプロピレンポリオキシエチレングリコ
ールのジメタクリル酸エステル4重量部を乳化剤とし
て、重合開始剤として2,2′ーアゾビス(N,N′ー
ジメチレンイソブチルアミジン)塩酸塩を用い、アクリ
ル酸エチル75重量部、メタクリル酸メチル75重量
部、Nーメチロールアクリル酸アミド4.5重量部の組
成を有するラテックスを得た。
Comparative Example 4 4 parts by weight of glycine betaine chloride of polyoxyethylene octyl phenyl ether and 4 parts by weight of dimethacrylic acid ester of polyoxypropylene polyoxyethylene glycol were used as emulsifiers and 2,2 'as a polymerization initiator. -Azobis (N, N'-dimethyleneisobutylamidine) hydrochloride was used to obtain a latex having a composition of 75 parts by weight of ethyl acrylate, 75 parts by weight of methyl methacrylate, and 4.5 parts by weight of N-methylol acrylate. .

【0063】ラテックス10部(固形分)、可塑剤とし
てポリエチレングリコール(分子量200)3部および
エチルカルビトール2部、イオン交換水25部を用いた
他は、比較例1と同様にして実験を行ない、グリーンシ
ートを作製し、その諸特性を表3に示した。
An experiment was conducted in the same manner as in Comparative Example 1 except that 10 parts of latex (solid content), 3 parts of polyethylene glycol (molecular weight 200) and 2 parts of ethyl carbitol as the plasticizer, and 25 parts of ion-exchanged water were used. , A green sheet was prepared, and its various properties are shown in Table 3.

【0064】(比較例5)疎水性高分子の水系分散体:
メタクリル酸エステル(MMA/nーBMA/LMA/
CHMA=10/60/10/20、固形分48%)の
エマルジョンと10%水溶性高分子PVA(重合500、ケ
ン化度88.5モル%、)を1/1重量比で混合し、グリーン
シート用有機バインダ(複合バインダ)を得た。(グリ
ーンシートの作製) アルミナ粉末を主成分として全体の組成としてはAl2
3 33%、SiO233%、ほうけい酸ガラス 34%
の成分を有する粒径5μm以下のセラミック粉末100
重量部、ラテックス16部(固形分)水50重量部、ポ
リアクリル酸アンモニウム塩の分散助剤0.3部を、ボ
ールミルで2時間混合したのち、複合バインダを固形分
で10部添加し粉体と均一に混合した以外は比較例1と
同様にして実験を行ない、グリーンシートを作製し、そ
の諸特性を表3に示した。
(Comparative Example 5) Aqueous dispersion of hydrophobic polymer:
Methacrylic acid ester (MMA / n-BMA / LMA /
CHMA = 10/60/10/20, solid content 48%) and 10% water-soluble polymer PVA (polymerization 500, saponification degree 88.5 mol%) were mixed in a 1/1 weight ratio, for green sheet An organic binder (composite binder) was obtained. (Production of green sheet) Alumina powder as a main component and Al 2 as a whole composition
O 3 33%, SiO 2 33%, borosilicate glass 34%
Ceramic powder 100 having a particle size of 5 μm or less
Parts by weight, latex 16 parts (solid content) 50 parts by weight of water, 0.3 parts of polyacrylic acid ammonium salt dispersion aid are mixed in a ball mill for 2 hours, and then 10 parts by weight of a composite binder is added to obtain a powder. An experiment was conducted in the same manner as in Comparative Example 1 except that the mixture was uniformly mixed, and a green sheet was prepared, and its various properties are shown in Table 3.

【0065】但し、表中の略称は以下の通りとする。However, the abbreviations in the table are as follows.

【0066】MA:メタクリル酸,n−BMA:n−ブ
チルメタクリレート,MMA:メチルメタクリレート,
EtMA:エチルメタクリレート,BAA:n−ブチル
アクリレート,St:スチレン,MalADM:マレイ
ン酸ジメチル,i−BMA:イソブチルメタクリレー
ト,MAA:メチルアクリレート,IADM:イタコン
酸ジメチル,MA-EA:メタクリル酸のモノエタノール
アミン塩,HOMS:2-メタクロイルオキシエチルコ
ハク酸,HOMP-NH3:2-メタクロイルオキシエチル
フタル酸のアンモニウム塩,MalA:マレイン酸,E
tAA:エチルアクリレート,IA-DEA:イタコン酸の
ジエタノールアミン塩,AA-DMEA:アクリル酸のジメ
チルアミノエタノール塩,TBAS:2−アクリルアミ
ド−2−メチルプロパンスルホン酸,TBAS:2−ア
クリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸のアンモ
ニウム塩,MA-TEA:メタクリル酸のトリエタノールア
ミン塩,DOP:ジオクチルフタレート,DBP:ジブ
チルフタレート,DIDP:ジイソデシルフタレート,
DINP:ジイソノニルフタレート,DOA:ジオクチ
ルアジペート,DIDA:ジイソデシルアジペート,A
PS:過硫酸アンモニウム,KPS:過硫酸カリウム,
ABAH:2,2’−アゾビス(2−アミジノプロパン)
ジヒドロクロリド,BHPO:ターシャリーブチルハイ
ドロパーオキシド,AIBN:2,2’−アゾビス(イ
ソブチロニトリル),ACVA:4,4’−アゾビス−
4−シアノヴバレリック酸,IPA:イソプロピルアル
コール,PGM:プロピレングリコールモノメチルエー
テル
MA: methacrylic acid, n-BMA: n-butyl methacrylate, MMA: methyl methacrylate,
EtMA: ethyl methacrylate, BAA: n-butyl acrylate, St: styrene, MalADM: dimethyl maleate, i-BMA: isobutyl methacrylate, MAA: methyl acrylate, IADM: dimethyl itaconic acid, MA-EA: monoethanolamine of methacrylic acid. Salt, HOMS: 2-methacryloyloxyethyl succinic acid, HOMP-NH 3 : ammonium salt of 2-methacryloyloxyethyl phthalic acid, MalA: maleic acid, E
tAA: ethyl acrylate, IA-DEA: diethanolamine salt of itaconic acid, AA-DMEA: dimethylaminoethanol salt of acrylic acid, TBAS: 2-acrylamido-2-methylpropanesulfonic acid, TBAS: 2-acrylamido-2-methylpropane Ammonium salt of sulfonic acid, MA-TEA: Triethanolamine salt of methacrylic acid, DOP: Dioctyl phthalate, DBP: Dibutyl phthalate, DIDP: Diisodecyl phthalate,
DINP: diisononyl phthalate, DOA: dioctyl adipate, DIDA: diisodecyl adipate, A
PS: ammonium persulfate, KPS: potassium persulfate,
ABAH: 2,2'-azobis (2-amidinopropane)
Dihydrochloride, BHPO: tertiary butyl hydroperoxide, AIBN: 2,2'-azobis (isobutyronitrile), ACVA: 4,4'-azobis-
4-Cyanovvaleric acid, IPA: Isopropyl alcohol, PGM: Propylene glycol monomethyl ether

【0067】[0067]

【発明の効果】本発明により得られるセラミックスラリ
は、非水溶性有機溶剤を全く又はほとんど使用すること
なく、セラミックの分散性、表面の平滑性、密度、機械
的強度において優れたセラミックグリーンシートを生成
することができ、低公害、省資源の観点から、有利であ
る。特にドクタブレード法において、有機溶媒系から安
全で衛生的な水系への移行が可能であり、又、機械的強
度の改良等優れた特性を可ね備えたものであって、セラ
ミックスラリとして有用である。
The ceramic slurry obtained according to the present invention is a ceramic green sheet excellent in dispersibility of ceramics, surface smoothness, density and mechanical strength, without using a water-insoluble organic solvent or hardly. It can be generated, and is advantageous from the viewpoint of low pollution and resource saving. Especially in the doctor blade method, it is possible to transfer from an organic solvent system to a safe and hygienic water system, and also having excellent properties such as improvement of mechanical strength, which is useful as a ceramic slurry. is there.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 C08F 12/08 MJU C08F 22/10 MMG 20/26 MML C08J 5/18 CER 22/10 MMG C04B 35/00 E // C08J 5/18 CER 108 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Office reference number FI Technical display location C08F 12/08 MJU C08F 22/10 MMG 20/26 MML C08J 5/18 CER 22/10 MMG C04B 35 / 00 E // C08J 5/18 CER 108

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】平均粒径が50.0μm以下であるセラミ
ック粉末100重量部と、有機バインダ前駆体として、
少なくとも一種類以上のビニル系単量体2〜30重量部
と、重合開始剤と、水又は水及び水溶性有機溶剤とから
なることを特徴とするセラミックスラリ。
1. A ceramic powder having an average particle size of 50.0 μm or less, and 100 parts by weight of an organic binder precursor,
A ceramic slurry comprising 2 to 30 parts by weight of at least one kind of vinyl-based monomer, a polymerization initiator, and water or water and a water-soluble organic solvent.
【請求項2】請求項1に記載の前記有機バインダ前駆体
を重合させて有機バインダとするセラミックスラリ。
2. A ceramic slurry for polymerizing the organic binder precursor according to claim 1 to obtain an organic binder.
【請求項3】請求項2に記載のセラミックスラリの製
法。
3. The method for producing a ceramic slurry according to claim 2.
【請求項4】請求項1に記載の前記ビニル系単量体が、
少なくとも一種類以上の親水基を持ち、炭素数が1〜1
8個のアルキル基及び/又は炭素数が3〜12個の環状
アルキル基及び/又はアリール基を持つ一種類以上の
(メタ)アクリル酸エステル単量体、及び/又はスチレ
ン系単量体、及び/又は不飽和ジエステル系単量体であ
るセラミックスラリ。
4. The vinyl-based monomer according to claim 1,
Have at least one kind of hydrophilic group and have 1 to 1 carbon atoms
One or more kinds of (meth) acrylic acid ester monomers having 8 alkyl groups and / or cyclic alkyl groups and / or aryl groups having 3 to 12 carbon atoms, and / or styrene-based monomers, and Ceramic slurry which is an unsaturated diester monomer.
【請求項5】請求項4に記載の少なくとも一種類以上の
親水基を持つ前記ビニル系単量体の成分が親水基とし
て、アニオン性の親水基又は、その金属、アンモニウム、
アミンの塩を持つ単量体であるセラミックスラリ。
5. The component of the vinyl-based monomer having at least one kind of hydrophilic group according to claim 4, wherein the hydrophilic group is an anionic hydrophilic group or a metal or ammonium thereof,
Ceramic slurries, which are monomers with amine salts.
【請求項6】請求項2に記載のスラリを成形し、乾燥し
てなるセラミック前駆体組成物。
6. A ceramic precursor composition obtained by molding and drying the slurry according to claim 2.
【請求項7】請求項2に記載のスラリを薄膜状に成形し
てなるセラミックグリーンシート。
7. A ceramic green sheet formed by molding the slurry according to claim 2 into a thin film.
【請求項8】請求項6に記載のセラミック前駆体組成物
を焼結してなるセラミック。
8. A ceramic obtained by sintering the ceramic precursor composition according to claim 6.
【請求項9】請求項6に記載のセラミックグリーンシー
トを焼結してなるセラミックシート。
9. A ceramic sheet obtained by sintering the ceramic green sheet according to claim 6.
【請求項10】複数の導体層を、請求項6に記載のセラ
ミックグリーンシート層を介して積層体とし、これを焼
結してなるセラミック多層配線基板。
10. A ceramic multilayer wiring board obtained by forming a laminate of a plurality of conductor layers with the ceramic green sheet layer according to claim 6 interposed therebetween and sintering the laminate.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002274954A (en) * 2001-03-21 2002-09-25 Tdk Corp Granule for forming ceramic, formed body, sintered compact and electronic part using the same
CN114502644A (en) * 2019-12-17 2022-05-13 积水化学工业株式会社 Resin composition for sintering, inorganic fine particle-dispersed slurry composition, and inorganic fine particle-dispersed sheet
CN118620425A (en) * 2024-06-17 2024-09-10 广东绿色大地化工有限公司 A kind of flexible ceramic coating and preparation method thereof

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