JPH09113234A - ２次元形状計測センサー - Google Patents
２次元形状計測センサーInfo
- Publication number
- JPH09113234A JPH09113234A JP7270859A JP27085995A JPH09113234A JP H09113234 A JPH09113234 A JP H09113234A JP 7270859 A JP7270859 A JP 7270859A JP 27085995 A JP27085995 A JP 27085995A JP H09113234 A JPH09113234 A JP H09113234A
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- JP
- Japan
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- light
- dimensional
- dimensional shape
- scanning mirror
- light receiving
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 大きな計測幅と計測深度、及び高い分解能を
有する２次元形状計測センサーを提供する。 【解決手段】 対象物５に投光手段１にてライン状に光
を投光し、その散乱光を三角測量の原理を用いて計測し
て対象物５の光ライン方向と深さ方向の位置を計測する
２次元形状計測センサーであって、受光側に、回転走査
ミラー８と、１次元ＣＣＤＤ９を備え、対象物５の光ラ
イン方向の位置は回転走査ミラー８の回転角度で求め、
対象物５の深さ方向の位置は１次元ＣＤＤ９における受
光位置によって求める。
有する２次元形状計測センサーを提供する。 【解決手段】 対象物５に投光手段１にてライン状に光
を投光し、その散乱光を三角測量の原理を用いて計測し
て対象物５の光ライン方向と深さ方向の位置を計測する
２次元形状計測センサーであって、受光側に、回転走査
ミラー８と、１次元ＣＣＤＤ９を備え、対象物５の光ラ
イン方向の位置は回転走査ミラー８の回転角度で求め、
対象物５の深さ方向の位置は１次元ＣＤＤ９における受
光位置によって求める。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、対象物の幅方向に
ライン状に光を照射し、その散乱光を受光素子にて受光
し、三角測量の原理を用いて対象物の幅方向と深さ方向
の形状を計測する２次元形状計測センサーに関し、この
２次元形状計測センサーを長さ方向に走査することによ
って３次元形状を計測する３次元形状計測装置に好適に
利用できる２次元形状計測センサーに関するものであ
る。
ライン状に光を照射し、その散乱光を受光素子にて受光
し、三角測量の原理を用いて対象物の幅方向と深さ方向
の形状を計測する２次元形状計測センサーに関し、この
２次元形状計測センサーを長さ方向に走査することによ
って３次元形状を計測する３次元形状計測装置に好適に
利用できる２次元形状計測センサーに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の３次元形状計測装置の一構成例を
図７を参照して説明する。光源２１からの光をガルバノ
ミラー２２で反射させ、固定鏡２３を介して対象物２４
に照射し、その散乱光を固定鏡２５を介してガルバノミ
ラー２２の裏面で反射させて受光素子２６にて受光する
ように構成されている。この場合、光源２１からの光は
ガルバノミラー２２の回転によってｘ方向に走査され、
対象物２４に対してｘ方向のライン状に光が照射され、
ｘ方向の各照射位置に対するｚ方向の位置が受光素子２
６における受光位置で測定される。そして、これをｙ方
向に走査することによって対象物の三次元形状が測定さ
れる。
図７を参照して説明する。光源２１からの光をガルバノ
ミラー２２で反射させ、固定鏡２３を介して対象物２４
に照射し、その散乱光を固定鏡２５を介してガルバノミ
ラー２２の裏面で反射させて受光素子２６にて受光する
ように構成されている。この場合、光源２１からの光は
ガルバノミラー２２の回転によってｘ方向に走査され、
対象物２４に対してｘ方向のライン状に光が照射され、
ｘ方向の各照射位置に対するｚ方向の位置が受光素子２
６における受光位置で測定される。そして、これをｙ方
向に走査することによって対象物の三次元形状が測定さ
れる。
【０００３】次に、他の構成例を図８を参照して説明す
る。光源３１からの光が集光レンズ３２を通ってガルバ
ノミラー３３で反射し、ハーフミラー３４で一部の光を
反射させてｘ方向検知素子３５に入射させてｘ方向の照
射位置を検知し、ハーフミラー３４を透過した光を対象
物３６に照射し、その散乱光を受光レンズ３７を介して
ｚ方向検知素子３８で受光し、その受光位置でｘ方向の
各照射位置に対するｚ方向の位置を測定するように構成
されている。
る。光源３１からの光が集光レンズ３２を通ってガルバ
ノミラー３３で反射し、ハーフミラー３４で一部の光を
反射させてｘ方向検知素子３５に入射させてｘ方向の照
射位置を検知し、ハーフミラー３４を透過した光を対象
物３６に照射し、その散乱光を受光レンズ３７を介して
ｚ方向検知素子３８で受光し、その受光位置でｘ方向の
各照射位置に対するｚ方向の位置を測定するように構成
されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図７の
３次元形状計測装置の構成においては、受光素子２６で
同一ｚ方向位置と検出される位置は、図９（ａ）、
（ｂ）に示すように、円弧Ｐを描くことになり、２等辺
三角形となる図９（ａ）から外れた図９（ｂ）の状態で
はｚ方向の誤差が出てｚ方向に高い精度が得られ難く、
精度を高くするためには補正が必要となって構成が複雑
になるとともに計測に時間がかかり、高速化するにはコ
スト高になるという問題がある。
３次元形状計測装置の構成においては、受光素子２６で
同一ｚ方向位置と検出される位置は、図９（ａ）、
（ｂ）に示すように、円弧Ｐを描くことになり、２等辺
三角形となる図９（ａ）から外れた図９（ｂ）の状態で
はｚ方向の誤差が出てｚ方向に高い精度が得られ難く、
精度を高くするためには補正が必要となって構成が複雑
になるとともに計測に時間がかかり、高速化するにはコ
スト高になるという問題がある。
【０００５】また、図８の３次元形状計測装置の構成に
おいては、ｚ方向検知素子３８が２次元ＣＣＤの場合、
１００万画素（１０００×１０００画素）程度が汎用的
であるが、Ｚ方向のみ見ると１０００画素であり、深い
計測範囲、例えば１００ｍｍ程度の場合では０．１ｍｍ
／画素となり、大きな分解能は得られないという問題が
ある。そこで、ｚ方向のみの分解能を上げるために、３
０００〜５０００画素の１次元ＣＣＤを適用することが
考えられるが、その場合ｘ方向の計測幅が極めて狭くな
ってしまい、実用的でないという問題がある。
おいては、ｚ方向検知素子３８が２次元ＣＣＤの場合、
１００万画素（１０００×１０００画素）程度が汎用的
であるが、Ｚ方向のみ見ると１０００画素であり、深い
計測範囲、例えば１００ｍｍ程度の場合では０．１ｍｍ
／画素となり、大きな分解能は得られないという問題が
ある。そこで、ｚ方向のみの分解能を上げるために、３
０００〜５０００画素の１次元ＣＣＤを適用することが
考えられるが、その場合ｘ方向の計測幅が極めて狭くな
ってしまい、実用的でないという問題がある。
【０００６】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、大き
な計測幅と計測深度、及び高い分解能を有する２次元形
状計測センサーを提供することを目的としている。
な計測幅と計測深度、及び高い分解能を有する２次元形
状計測センサーを提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の２次元形状計測
センサーは、対象物に光を投光し、その散乱光を三角測
量の原理を用いて計測して対象物における投光位置の２
次元方向の位置を計測する２次元形状計測センサーにお
いて、投光側に、対象物にライン状に光を投光する投光
手段を設け、受光側に、回転走査ミラーと、１次元の受
光素子と、結像手段とを設けたものである。
センサーは、対象物に光を投光し、その散乱光を三角測
量の原理を用いて計測して対象物における投光位置の２
次元方向の位置を計測する２次元形状計測センサーにお
いて、投光側に、対象物にライン状に光を投光する投光
手段を設け、受光側に、回転走査ミラーと、１次元の受
光素子と、結像手段とを設けたものである。
【０００８】これによれば、対象物の光ライン方向（ｘ
方向）の位置は、対象物からの散乱光を受ける回転走査
ミラーの回転角度で求められ、対象物の深さ方向（ｚ方
向）の位置は受光素子の受光位置によって求められ、し
たがって回転走査ミラーの回転により大きな計測幅が得
られるとともに、１次元受光素子にて計測深度及び高い
分解能を共に得ることができる。
方向）の位置は、対象物からの散乱光を受ける回転走査
ミラーの回転角度で求められ、対象物の深さ方向（ｚ方
向）の位置は受光素子の受光位置によって求められ、し
たがって回転走査ミラーの回転により大きな計測幅が得
られるとともに、１次元受光素子にて計測深度及び高い
分解能を共に得ることができる。
【０００９】また、結像手段に２方向の散乱光を集める
２つのシリンドリカルレンズを備えることにより、大き
な計測幅と計測深度を確保しながら軽量化を図り、コン
パクトな構成とすることができ、また受光側に光路長を
同じにする手段を設けることにより精度の良い計測がで
き、かつ回転走査ミラーを非球面の曲面ミラーにて構成
することにより簡単・安価に光路長を同じにでき、また
受光側の回転走査ミラーと同期をとって受光素子の結像
位置演算を行なう計測制御手段を設けることにより、自
動計測することができる。
２つのシリンドリカルレンズを備えることにより、大き
な計測幅と計測深度を確保しながら軽量化を図り、コン
パクトな構成とすることができ、また受光側に光路長を
同じにする手段を設けることにより精度の良い計測がで
き、かつ回転走査ミラーを非球面の曲面ミラーにて構成
することにより簡単・安価に光路長を同じにでき、また
受光側の回転走査ミラーと同期をとって受光素子の結像
位置演算を行なう計測制御手段を設けることにより、自
動計測することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態の２次
元形状計測センサーについて、図１〜図６を参照して説
明する。
元形状計測センサーについて、図１〜図６を参照して説
明する。
【００１１】図１、図２において、１は、対象物５にラ
イン状に光を投光する投光手段で、楕円錐状のレーザー
光を発する半導体レーザー２と、レーザー光を円柱状の
光に変形させるコリメートレンズ３と、円柱状の光を扇
状に広げるシリンドリカルレンズ４にて構成されてい
る。５は形状を計測すべき対象物である。対象物５から
の反射光は、シリンドリカルレンズ６、７を通り、非球
面の曲面にて光路長を同じにする回転走査ミラー８で反
射されて１次元受光素子としての１次元ＣＣＤ９に結像
されるように構成されている。回転走査ミラー８はパル
スモータ１０にて駆動される。
イン状に光を投光する投光手段で、楕円錐状のレーザー
光を発する半導体レーザー２と、レーザー光を円柱状の
光に変形させるコリメートレンズ３と、円柱状の光を扇
状に広げるシリンドリカルレンズ４にて構成されてい
る。５は形状を計測すべき対象物である。対象物５から
の反射光は、シリンドリカルレンズ６、７を通り、非球
面の曲面にて光路長を同じにする回転走査ミラー８で反
射されて１次元受光素子としての１次元ＣＣＤ９に結像
されるように構成されている。回転走査ミラー８はパル
スモータ１０にて駆動される。
【００１２】次に、図４に示す計測制御手段１１につい
て説明すると、１８は全体制御部で、半導体レーザ２
と、パルスモータ１０を駆動するモータ駆動部１２と、
１次元ＣＣＤ９を駆動する受光素子駆動部１３を制御
し、ｘ，ｚ演算部１４に演算指令を出力する。受光素子
駆動部１３からは１次元ＣＣＤ９による検出データが位
置演算部１５に出力され、その演算結果がｘ，ｚ演算部
１４に出力される。また、モータ駆動部１２から回転走
査ミラー８の回転角度を演算する角度演算部１６に駆動
信号が出力され、演算結果がｘ，ｚ演算部１４に出力さ
れる。ｘ，ｚ演算部１４の演算結果は出力部１７に出力
され、この出力部１７から計測結果が適当な形態で出力
される。
て説明すると、１８は全体制御部で、半導体レーザ２
と、パルスモータ１０を駆動するモータ駆動部１２と、
１次元ＣＣＤ９を駆動する受光素子駆動部１３を制御
し、ｘ，ｚ演算部１４に演算指令を出力する。受光素子
駆動部１３からは１次元ＣＣＤ９による検出データが位
置演算部１５に出力され、その演算結果がｘ，ｚ演算部
１４に出力される。また、モータ駆動部１２から回転走
査ミラー８の回転角度を演算する角度演算部１６に駆動
信号が出力され、演算結果がｘ，ｚ演算部１４に出力さ
れる。ｘ，ｚ演算部１４の演算結果は出力部１７に出力
され、この出力部１７から計測結果が適当な形態で出力
される。
【００１３】次に、以上の構成の２次元形状計測センサ
ーによる計測動作について、図１〜図３を参照して説明
する。半導体レーザー２から発した光は、コリメートレ
ンズ３を通ることによりコリメート光になり、シリンド
リカルレンズ４を介してｘ方向に沿うライン状の光ａと
なって対象物５に照射される。その光は対象物５で反射
して散乱光ｂとなる。ｘ方向の各位置の散乱光ｂは、シ
リンドリカルレンズ６とシリンドリカルレンズ７を介し
て回転走査ミラー８の回転位置に応じて１次元ＣＣＤ９
に結像される。その際、回転走査ミラー８は光路長を一
定にする非球面の曲面に形成されているため、誤差を生
じることなく精度良く１次元ＣＣＤ９に結像される。ま
た、シリンドリカルレンズ６はｚ方向の計測範囲Ｃz を
１次元ＣＣＤ９による検出範囲に縮小するようにｚ方向
に集光し、シリンドリカルレンズ７はｘ方向の計測範囲
Ｃx の散乱光ｂが小型の回転走査ミラー８の回転走査に
て１次元ＣＣＤ９に結像されるようにｘ方向に集光する
作用を有している。かくして、図３において、斜線で示
す計測範囲のうち、回転走査ミラー８がある回転位置に
位置している状態でｚ方向に沿うラインＣxi上に存在す
る対象物５の反射散乱光が１次元ＣＣＤ９に当たり、そ
のｚ方向の位置Ｃziがこの１次元ＣＣＤ９にて計測され
る。
ーによる計測動作について、図１〜図３を参照して説明
する。半導体レーザー２から発した光は、コリメートレ
ンズ３を通ることによりコリメート光になり、シリンド
リカルレンズ４を介してｘ方向に沿うライン状の光ａと
なって対象物５に照射される。その光は対象物５で反射
して散乱光ｂとなる。ｘ方向の各位置の散乱光ｂは、シ
リンドリカルレンズ６とシリンドリカルレンズ７を介し
て回転走査ミラー８の回転位置に応じて１次元ＣＣＤ９
に結像される。その際、回転走査ミラー８は光路長を一
定にする非球面の曲面に形成されているため、誤差を生
じることなく精度良く１次元ＣＣＤ９に結像される。ま
た、シリンドリカルレンズ６はｚ方向の計測範囲Ｃz を
１次元ＣＣＤ９による検出範囲に縮小するようにｚ方向
に集光し、シリンドリカルレンズ７はｘ方向の計測範囲
Ｃx の散乱光ｂが小型の回転走査ミラー８の回転走査に
て１次元ＣＣＤ９に結像されるようにｘ方向に集光する
作用を有している。かくして、図３において、斜線で示
す計測範囲のうち、回転走査ミラー８がある回転位置に
位置している状態でｚ方向に沿うラインＣxi上に存在す
る対象物５の反射散乱光が１次元ＣＣＤ９に当たり、そ
のｚ方向の位置Ｃziがこの１次元ＣＣＤ９にて計測され
る。
【００１４】次に、回転走査ミラー８を微小角度振る
と、計測範囲のラインＣxiのｘ方向の位置が変わり、そ
の振れ角度によりｘ方向の位置が決まり、このｘ方向の
位置におけるｚ方向の位置が上記と同様に１次元ＣＣＤ
９にて計測される。以上の動作の繰り返しにより対象物
５におけるライン状の光ａが照射された位置における
ｘ、ｚ方向の２次元位置が計測される。
と、計測範囲のラインＣxiのｘ方向の位置が変わり、そ
の振れ角度によりｘ方向の位置が決まり、このｘ方向の
位置におけるｚ方向の位置が上記と同様に１次元ＣＣＤ
９にて計測される。以上の動作の繰り返しにより対象物
５におけるライン状の光ａが照射された位置における
ｘ、ｚ方向の２次元位置が計測される。
【００１５】上記計測過程における図４の計測制御手段
による制御について、図４、図５を参照して説明する
と、図５（ａ）に示すように、ある時刻ｔ0 において全
体制御部１８からモーター駆動部１２にパルスｕが出力
され、そのパルスによりパルスモータ１０がある微小角
度θαだけ回転し、次のパルスｖまではその位置を動か
ない。一方、パルスｕが終わる時刻ｔ1 になると、図５
（ｂ）に示すように、位置演算を開始するパルスｗが受
光素子駆動部１３に出力されて位置演算が行なわれ、モ
ータ駆動部１２に対して次のパルスｖが出力されるｔ2
時刻までに位置演算部１５での演算が終了する。このよ
うにして回転走査ミラー８の振り角度からｘ方向の位置
が、１次元ＣＣＤ９の受光位置から三角測量によるｚ方
向位置が計測され、以上の動作を繰り返すことにより対
象物５のｘ，ｚ方向の２次元位置が計測される。
による制御について、図４、図５を参照して説明する
と、図５（ａ）に示すように、ある時刻ｔ0 において全
体制御部１８からモーター駆動部１２にパルスｕが出力
され、そのパルスによりパルスモータ１０がある微小角
度θαだけ回転し、次のパルスｖまではその位置を動か
ない。一方、パルスｕが終わる時刻ｔ1 になると、図５
（ｂ）に示すように、位置演算を開始するパルスｗが受
光素子駆動部１３に出力されて位置演算が行なわれ、モ
ータ駆動部１２に対して次のパルスｖが出力されるｔ2
時刻までに位置演算部１５での演算が終了する。このよ
うにして回転走査ミラー８の振り角度からｘ方向の位置
が、１次元ＣＣＤ９の受光位置から三角測量によるｚ方
向位置が計測され、以上の動作を繰り返すことにより対
象物５のｘ，ｚ方向の２次元位置が計測される。
【００１６】なお、投光手段１において、半導体レーザ
ー２に代えて、ＬＥＤやガスレーザー等の他のレーザー
を用いても良く、その場合にはコリメートレンズ３は不
要である。また、シリンドリカルレンズ４にて光を扇状
に広げる代わりに、図６に示すように、半導体レーザー
２とコリメートレンズ３等の点光源からの光をガルバノ
ミラー１９で走査してもよい。
ー２に代えて、ＬＥＤやガスレーザー等の他のレーザー
を用いても良く、その場合にはコリメートレンズ３は不
要である。また、シリンドリカルレンズ４にて光を扇状
に広げる代わりに、図６に示すように、半導体レーザー
２とコリメートレンズ３等の点光源からの光をガルバノ
ミラー１９で走査してもよい。
【００１７】一方、受光側でも、非球面の曲面を有する
回転走査ミラー８にて光路長を同じにした例を示した
が、光路長を同じにする機能をシリンドリカルレンズ７
に分担させ、回転走査ミラー８は平面鏡にすることも可
能である。また、コンパクトに構成するために光路に鏡
を介装することも可能である。また、場合によってはシ
リンドリカルレンズ６、７を省略したり、複合レンズを
採用したりすることもできる。また、１次元の受光素子
として、１次元ＣＣＤ９に代えてＰＳＤ等を用いること
もできる。
回転走査ミラー８にて光路長を同じにした例を示した
が、光路長を同じにする機能をシリンドリカルレンズ７
に分担させ、回転走査ミラー８は平面鏡にすることも可
能である。また、コンパクトに構成するために光路に鏡
を介装することも可能である。また、場合によってはシ
リンドリカルレンズ６、７を省略したり、複合レンズを
採用したりすることもできる。また、１次元の受光素子
として、１次元ＣＣＤ９に代えてＰＳＤ等を用いること
もできる。
【００１８】
【発明の効果】本発明によれば、以上の説明から明らか
なように、対象物にライン状に光を投光し、受光側の回
転走査ミラーと高画素の１次元受光素子により対象物の
光ライン方向と深さ方向の位置を計測するようにしてい
るので、回転走査ミラーの走査にて光ライン方向（ｘ方
向）に大きな計測範囲を確保でき、高画素の１次元受光
素子により深さ方向（ｚ方向）に大きな計測範囲を高分
解能で計測することができ、広い計測範囲を高分解能で
計測することができる。
なように、対象物にライン状に光を投光し、受光側の回
転走査ミラーと高画素の１次元受光素子により対象物の
光ライン方向と深さ方向の位置を計測するようにしてい
るので、回転走査ミラーの走査にて光ライン方向（ｘ方
向）に大きな計測範囲を確保でき、高画素の１次元受光
素子により深さ方向（ｚ方向）に大きな計測範囲を高分
解能で計測することができ、広い計測範囲を高分解能で
計測することができる。
【００１９】また、結像手段に２方向の散乱光を集める
２つのシリンドリカルレンズを備えることにより、大き
な計測幅と計測深度を確保しながら軽量化を図り、コン
パクトな構成とすることができる。
２つのシリンドリカルレンズを備えることにより、大き
な計測幅と計測深度を確保しながら軽量化を図り、コン
パクトな構成とすることができる。
【００２０】また、受光側に光路長を同じにする手段を
設けることにより、補正を必要とせず簡単な構成で精度
の良い計測ができる。
設けることにより、補正を必要とせず簡単な構成で精度
の良い計測ができる。
【００２１】また、回転走査ミラーを、光路長を同じに
する非球面の曲面ミラーにて構成することにより、簡単
・安価に光路長を同じにすることができる。
する非球面の曲面ミラーにて構成することにより、簡単
・安価に光路長を同じにすることができる。
【００２２】また、受光側の回転走査ミラーと同期をと
って受光素子の結像位置演算を行なう計測制御手段を設
けることにより、対象物のライン上の２次元位置が順次
自動計測され、自動的に対象物の２次元形状を計測でき
る。
って受光素子の結像位置演算を行なう計測制御手段を設
けることにより、対象物のライン上の２次元位置が順次
自動計測され、自動的に対象物の２次元形状を計測でき
る。
【図１】本発明の一実施例の２次元形状計測センサーの
全体概略構成を示す斜視図である。
全体概略構成を示す斜視図である。
【図２】同実施例の側面図である。
【図３】同実施例の位置計測範囲の説明図である。
【図４】同実施例の計測制御手段の構成図である。
【図５】同実施例の計測制御手段による動作タイミング
の説明図である。
の説明図である。
【図６】同実施例における投光手段の他の構成例を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図７】従来例の３次元形状計測装置の要部の概略構成
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図８】他の従来例の三次元形状計測装置の要部の概略
構成を示す斜視図である。
構成を示す斜視図である。
【図９】従来例の問題点の説明図である。
１ 投光手段 ５ 対象物 ６ シリンドリカルレンズ ７ シリンドリカルレンズ ８ 回転走査ミラー ９ １次元ＣＣＤ（１次元受光素子） １１ 計測制御手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浜野 誠司 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 対象物に光を投光し、その散乱光を三角
測量の原理を用いて計測して対象物における投光位置の
２次元方向の位置を計測する２次元形状計測センサーで
あって、投光側に、対象物にライン状に光を投光する投
光手段を設け、受光側に、回転走査ミラーと、１次元の
受光素子と、結像手段とを設けたことを特徴とする２次
元形状計測センサー。 - 【請求項２】 結像手段に、２方向の散乱光を集める２
つのシリンドリカルレンズを備えることを特徴とする請
求項１記載の２次元形状計測センサー。 - 【請求項３】 受光側に、光路長を同じにする手段を備
えることを特徴とする請求項１記載の２次元形状計測セ
ンサー。 - 【請求項４】 光路長を同じにする手段として、回転走
査ミラーを非球面の曲面ミラーにて構成したことを特徴
とする請求項１記載の２次元形状計測センサー。 - 【請求項５】 受光側の回転走査ミラーと同期をとって
受光素子の結像位置演算を行なう計測制御手段を有する
ことを特徴とする請求項１、２又は３記載の２次元形状
計測センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7270859A JPH09113234A (ja) | 1995-10-19 | 1995-10-19 | ２次元形状計測センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7270859A JPH09113234A (ja) | 1995-10-19 | 1995-10-19 | ２次元形状計測センサー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09113234A true JPH09113234A (ja) | 1997-05-02 |
Family
ID=17491974
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7270859A Pending JPH09113234A (ja) | 1995-10-19 | 1995-10-19 | ２次元形状計測センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09113234A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016151939A1 (ja) * | 2015-03-23 | 2016-09-29 | 三菱重工業株式会社 | レーザレーダ装置及び走行体 |
| WO2016151938A1 (ja) * | 2015-03-23 | 2016-09-29 | 三菱重工業株式会社 | レーザレーダ装置及び走行体 |
| WO2018135734A1 (ko) * | 2017-01-20 | 2018-07-26 | (주) 인텍플러스 | 3차원 형상 측정 장치 및 측정 방법 |
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1995
- 1995-10-19 JP JP7270859A patent/JPH09113234A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016151939A1 (ja) * | 2015-03-23 | 2016-09-29 | 三菱重工業株式会社 | レーザレーダ装置及び走行体 |
| WO2016151938A1 (ja) * | 2015-03-23 | 2016-09-29 | 三菱重工業株式会社 | レーザレーダ装置及び走行体 |
| JP2016180624A (ja) * | 2015-03-23 | 2016-10-13 | 三菱重工業株式会社 | レーザレーダ装置及び走行体 |
| JP2016180623A (ja) * | 2015-03-23 | 2016-10-13 | 三菱重工業株式会社 | レーザレーダ装置及び走行体 |
| US10534085B2 (en) | 2015-03-23 | 2020-01-14 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Laser radar device and traveling body |
| US11009606B2 (en) | 2015-03-23 | 2021-05-18 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Laser radar device and traveling body |
| WO2018135734A1 (ko) * | 2017-01-20 | 2018-07-26 | (주) 인텍플러스 | 3차원 형상 측정 장치 및 측정 방법 |
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