JPH09113459A - 異物検査装置及び異物検査結果表示方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は異物検査装置に関し、複数の検査結果
を容易に閲覧し得る使い勝手の向上した異物検査装置を
実現する。 【解決手段】単位区画を少なくとも２つ以上に分割し、
被検査物の複数の検査面から得た異物の分布状況又は被
検査物の同一検査面から得た検査時点の異なる異物の分
布状況を同時表示させる表示制御手段（１１）を設ける
ようにしたことにより、複数の検査面から得た異物の分
布状況又は同一検査面から得た検査時点の異なる異物の
分布状況を見比べる場合、頻繁に画面を切り換える必要
がなくなり、複数の検査結果を容易に閲覧し得る。かく
するにつき複数の検査結果を容易に閲覧し得る使い勝手
の向上した異物検査装置を実現し得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は異物検査装置及び異
物検査結果表示方法に関し、例えばＬＳＩ（Large Scal
e Integrated circuit）回路用フオトマスク、レチクル
又はウエハ等の回路パターン上に付着した異物を検出す
る際に適用して好適なものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、ＬＳＩ回路を製造する過程におい
ては、異物検査装置を用いてフオトマスクやレチクル、
或いはウエハ等に付着した異物を検査するようになされ
ている。これは、異物が付着した状態でＬＳＩ回路を製
造すると、異物によつて回路パターンがシヨートする
等、種々の不具合が生じるからである。このため、ＬＳ
Ｉ回路の製造過程においては、上述のようにして異物検
査装置を用いて異物検査することにより、このような不
具合が発生することを未然に回避するようになされてい
る。

【０００３】このような異物検査装置として、従来、例
えばレーザー光を被検査物の検査面上に照射することに
よつて当該検査面上に付着した異物を検出する装置があ
る。この異物検査装置では、検査面上をレーザー光によ
つて走査し、検査面上に存在する異物によつて反射され
た散乱光を受光することにより、異物の位置及び大きさ
を検出する。またこの異物検査装置では、その検査結果
に基づいて異物の分布状況をデイスプレイ上に表示する
（以下、この異物の分布状況をマツプと呼ぶ）。例えば
図７に示すように、検査面を表す表示画面を複数の表示
区画に分割し、異物があればその表示区画毎にその大き
さを表示する。なお、図７においては斜線部分に異物が
存在することを示している。このようにして異物の検査
結果をマツプ表示することにより、ユーザは検査面上の
どの辺にどの位の大きさの異物が存在するかということ
を理解することができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところでこのような異
物検査装置においては、複数の検査結果を閲覧する場
合、頻繁にマツプの切り換えを行わなければならず、操
作が繁雑になる問題がある。例えば被検査物の表面と裏
面の検査結果を見比べる場合、図７及び図８に示すよう
なマツプを交互にデイスプレイに表示させるか、もしく
は両方のマツプをそれぞれプリントアウトする等して見
比べなければならない。

【０００５】また従来の異物検査装置では、１つのマツ
プであつても、それぞれの表示区画が同じ方法で表示さ
れているため、異物として検出されたものと、異物らし
く検出されたが実際は異物ではないもの（いわゆるパタ
ーンのエツジ等によつて起きる疑似欠陥等）とを区別し
て表示することができない問題があつた。

【０００６】本発明は以上の点を考慮してなされたもの
で、複数の検査結果を容易に閲覧し得る使い勝手の向上
した異物検査装置及び異物検査結果表示方法を提案しよ
うとするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、被検査物（２）の検査面上に光束
を走査し、該検査面上に存在する異物によつて反射され
た光束の散乱光を光電変換素子（１０Ａ〜１０Ｅ）によ
つて受光することにより検査面上に存在する異物の位置
及び大きさを検出する異物検査手段（３、４Ａ〜４Ｃ、
５〜９、１０Ａ〜１０Ｅ及び１５）と、検査面を表す表
示画面（２１）を複数の単位区画（２１Ａ）に分けて該
単位区画毎に異物の大きさを表すことによつて異物の分
布状況を表示する表示手段（１４）とを有する異物検査
装置において、単位区画（２１Ａ）を少なくとも２つ以
上に分割し、被検査物（２）の複数の検査面から得た異
物の分布状況又は被検査物（２）の同一検査面から得た
検査時点の異なる異物の分布状況を同時に表示させる表
示制御手段（１１）を設けるようにした。

【０００８】また本発明においては、異物検査装置にお
いて、単位区画内で大きさの異なる複数の異物が検出さ
れた場合には、単位区画（２１Ａ）を異物の大きさの分
類数に応じて分割し、該単位区画内で検出され大きさの
異なる異物を全て同時に表示させる表示制御手段（１
１）を設けるようにした。

【０００９】表示制御手段（１１）を設け、単位区画
（２１Ａ）を少なくとも２つ以上に分割し、被検査物
（２）の複数の検査面から得た異物の分布状況又は被検
査物（２）の同一検査面から得た検査時点の異なる異物
の分布状況を同時表示するようにしたことにより、複数
の検査面から得た異物の分布状況又は同一検査面から得
た検査時点の異なる異物の分布状況を見比べる場合、頻
繁に画面を切り換える必要がなくなり、複数の検査結果
を容易に閲覧し得る。

【００１０】また単位区画内で大きさの異なる複数の異
物が検出された場合には、単位区画（２１Ａ）を異物の
大きさの分類数に応じて分割し、該単位区画内で検出さ
れ大きさの異なる異物を全て同時に表示するようにした
ことにより、単位区画内での異物の混在状況を把握し
得、使い勝手を向上し得る。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下図面について、本発明の一実
施例を詳述する。

【００１２】（１）第１実施例 まず図１において、本発明を適用した異物検査装置の全
体構成を示す。この異物検査装置１では、被検査物であ
る例えばレチクル２は、Ｙ軸方向に移動可能なＹステー
ジ３上に載置される。この状態においてレチクル２の表
面を異物検査する場合、まず駆動部４Ａを動作させるこ
とによりスイツチングミラー５を図中破線で示すように
レーザー光が通過する位置に配置する。

【００１３】このようにセツテイングした後、光源６か
らレーザー光を出力すると、そのレーザー光はスキヤナ
ーミラー７、集光レンズ８、スイツチングミラー５及び
ミラー９を順に介してレチクル２の表面に照射される。
このとき駆動部４Ｂを動作させてスキヤナーミラー７の
角度を変えると、レーザースポツトはレチクル２の表面
上をＸ軸方向に沿つて移動する。また駆動部４Ｃを動作
させてＹステージ３をＹ軸方向に沿つて移動させると、
レーザースポツトはレチクル２の表面上をＹ軸方向に沿
つて移動する。異物検査装置１では、このようにスキヤ
ナーミラー７及びＹステージ３を動作させることにより
レーザースポツトをＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させ、
レーザー光によつてレチクル２の表面全体を走査する。

【００１４】このようにしてレーザー光によつてレチク
ル２の表面を走査したとき、レチクル２の表面に異物が
存在すると、異物によつてレーザー光が乱反射する。従
つてその散乱光を検出すれば異物の存在を検出すること
ができる。このため異物検査装置１には複数の光電変換
素子１０Ａ〜１０Ｅが散乱光を検出し得るような位置に
配設されている。

【００１５】この光電変換素子１０Ａ〜１０Ｅは光を受
光すると、光の強さに応じた電気信号Ｓ_A 〜Ｓ_E をそれ
ぞれ出力する。この電気信号Ｓ_A 〜Ｓ_E はそれぞれ制御
部１１に入力される。制御部１１は電気信号Ｓ_A 〜Ｓ_E
を解析することにより、異物が存在するか否かを判断す
る。例えば異物によつて散乱光が発生した場合には、無
指向性の散乱光が発生するため、全ての光電変換素子１
０Ａ〜１０Ｅが散乱光を受光して電気信号Ｓ_A 〜Ｓ_E を
出力する。このため制御部１１は全ての電気信号Ｓ_A 〜
Ｓ_E を受けたことにより、異物が存在することを検出す
る。またこのとき異物の大きさによつて電気信号Ｓ_A 〜
Ｓ_E の値が異なるため、その値を解析することにより異
物の大きさ自体も検出する。また制御部１１は制御信号
Ｃ_A 〜Ｃ_C を出力してそれぞれ駆動部４Ａ〜４Ｃを制御
しているため、現状、レーザー光がレチクル２のどこに
照射されているかを認識している。このため制御部１１
は、散乱光によつて異物を検出したとき、レーザ光の照
射位置を基にその異物の位置自体も検出する。このよう
にして制御部１１は散乱光の受光結果により異物の位置
及び大きさを検出する。

【００１６】因みに、回路パターンのエツジによつても
散乱光が発生するが、その場合には指向性の散乱光が発
生するため、光電変換素子１０Ａ〜１０Ｅのうち一部が
散乱光を受光する。このためその場合には、全ての電気
信号Ｓ_A 〜Ｓ_E が発生せず、制御部１１は散乱光を検出
したものの、異物ではなく疑似欠陥であると判断する。

【００１７】このようにして異物検査装置１では、レチ
クル２の表面について異物検査を行い、その検査結果を
メモリ１２に記憶すると共に、ユーザによる情報入力部
１３の操作に応じてメモリ１２から検査結果を読み出し
てデイスプレイ１４にマツプ表示する。

【００１８】これに対してレチクル２の裏面を異物検査
する場合には、駆動部４Ａを動作させることによりレー
ザー光が通過しない位置にスイツチングミラー５を移動
させる。これにより光源６から出力されたレーザー光は
スキヤナーミラー７、集光レンズ８、ミラー１５を順に
介してレチクル２の裏面に照射される。このとき同様に
してスキヤナーミラー７の角度を変えると共に、レチク
ル２をＹ軸方向に沿つて移動させることにより、レーザ
ースポツトでレチクル２の裏面全体を走査する。これに
より異物によつて発生した散乱光を裏面側用の光電変換
素子（図示せず）によつて検出し、その結果得た電気信
号を制御部１１によつて解析する。このようにして異物
検査装置１では、レチクル２の裏面についても同様に異
物検査を行い、その検査結果をメモリ１２に記憶すると
共に、ユーザによる情報入力部１３の操作に応じてメモ
リ１２から検査結果を読み出してデイスプレイ１４にマ
ツプ表示する。

【００１９】ここでデイスプレイ１４に表示されるマツ
プについて説明する。この実施例の場合も、通常表示に
おいては、図２に示すようなマツプ２０を表示する。す
なわち被検査面を表す表示画面２１を複数の表示区画２
１Ａに分け、異物があればその表示区画毎に異物の大き
さを表示する。

【００２０】このとき表示区画２１Ａは被検査面上の所
定の大きさの領域を示している。この表示区画２１Ａが
表す領域の大きさは、設定によつて例えば５〔mm〕角四
方、１〔mm〕角四方、0.1 〔mm〕角四方等に切り換え得
るようになされている。但し、これは検査の分解能自体
を切り換えるということではなく、表示の最小単位を切
り換えるということである。実際上、異物検査装置１で
は、検査時のＸＹ座標値の分解能は 0.1〔mm〕に設定さ
れており、0.1 〔mm〕角四方を単位として異物検査を行
つている。従つて表示区画２１Ａを例えば５〔mm〕角四
方に設定した場合には、１つの表示区画内に2500個分の
検査データが含まれることになる。

【００２１】このため異物検査装置１では、１つの表示
区画内で大きさの異なる複数の異物が検出された場合に
は、検出された異物のうち最も大きい異物を表示するよ
うになされている。その際、異物検査装置１は、異物の
大きさによつて表示色を分けることにより異物の大きさ
を識別し得るようにしている。例えば異物の大きさを３
つのレベルに分け、一番小さいランクの異物の場合には
例えば「青色」で表示し、中間ランクの異物の場合には
例えば「黄色」で表示し、一番大きいランクの異物の場
合には例えば「赤色」で表示する。これによりユーザは
表示色を見て異物の大きさを認識することができる。

【００２２】ところでこの実施例の異物検査装置１で
は、情報入力部１３を用いてユーザが所定の操作を行う
と、レチクル２の表面の検査結果と裏面の検査結果とを
同時にデイスプレイ１４上に表示し得るようになされて
いる。この場合、まず制御部１１はメモリ１２からレチ
クル表面の検査結果とレチクル裏面の検査結果とを両方
読み出し、所定の処理によつてそれぞれのマツプを生成
する。そして制御部１１はそれらのマツプを表示する
際、図３に示すように、１つの表示区画２１Ａを横に２
分割し、上側の表示区画２１ＡＡにレチクル表面の検査
結果を、下側の表示区画２１ＡＢにレチクル裏面の検査
結果を表示することにより、１つの画面上で表面と裏面
の２つのマツプを同時に表示する。これによりユーザは
１つの画面上でレチクル表面のマツプとレチクル裏面の
マツプとを同時に見ることができ、容易に見比べること
ができる。

【００２３】またこの実施例の異物検査装置１では、情
報入力部１３を用いてユーザが所定の操作を行うと、マ
ツプの所定部分を他の部分と区別して表示し得るように
なされている。例えば異物として検出されたものと、異
物らしく検出されたが異物ではない疑似欠陥とを区別し
て表示する。この場合、制御部１１はマツプを表示する
際、異物の場合には１つの表示区画２１Ａを全部使つて
表示を行い、疑似欠陥の場合には１つの表示区画２１Ａ
を同様に横に２分割し（図３参照）、下側の表示区画２
１ＡＢだけを使つて表示を行う。これによりユーザはこ
の表示を見て異物と疑似欠陥とを識別することができ
る。

【００２４】さらにこの実施例の異物検査装置１では、
情報入力部１３を用いてユーザが所定の操作を行うと、
過去の検査結果と最新の検査結果とを同時にデイスプレ
イ１４上に表示し得るようになされている。例えば一週
間前に検査したときのレチクル表面の検査結果と先程検
査したときのレチクル表面の検査結果とを同時に表示す
る。

【００２５】この場合、制御部１１はまずメモリ１２か
ら一週間前のレチクル表面の検査結果と先程検査したレ
チクル表面の検査結果とを両方読み出し、所定の処理に
よつてそれぞれのマツプを生成する。そして制御部１１
はそれらのマツプを表示する際、図４に示すように、１
つの表示区画２１Ａを縦に２分割し、左側の表示区画２
１ＡＣに一週間前の検査結果を、右側の表示区画２１Ａ
Ｄに先程の検査結果を表示することにより、１つの画面
上で過去の検査結果によるマツプと最新の検査結果によ
るマツプとを同時に表示する。このようにして１つの表
示区画２１Ａを縦に２分割して左側の表示区画２１ＡＣ
に過去の検査結果を表示し、右側の表示区画２１ＡＤに
最新の検査結果を表示することにより、ユーザは１つの
画面上で過去と最新の２つのマツプを容易に見比べるこ
とができる。

【００２６】以上の構成において、レチクル表面の検査
結果とレチクル裏面の検査結果とを同時表示するような
操作がなされると、異物検査装置１は、１つの表示区画
２１Ａを横に２分割して表面の検査結果と裏面の検査結
果とを同時に表示する。これによりユーザは１つの画面
上で表面と裏面のマツプを同時に見ることができ、従来
のようにマツプを頻繁に切り換える必要がなくなる。

【００２７】また疑似欠陥の部分を区別表示するような
操作がなされると、異物検査装置１は、疑似欠陥のある
ところでは、１つの表示区画２１Ａを２分割して下側の
部分だけを用いて表示する。このようにして区別したい
箇所を表示する場合には１つの表示区画２１Ａの下側だ
けを用いて表示するようにしたことにより、ユーザは特
定の部分を容易に判別することができる。

【００２８】またレチクル表面の過去の検査結果と最新
の検査結果とを同時に表示するような操作がなされる
と、異物検査装置１は、１つの表示区画２１Ａを縦に２
分割して過去の検査結果と最新の検査結果とを同時に表
示する。これによりユーザは１つの画面上で過去と最新
の検査結果を同時に見ることができ、従来のようにマツ
プを頻繁に切り換える必要がなくなる。

【００２９】以上の構成によれば、１つの表示区画２１
Ａを横又は縦に２分割して２つの検査結果（すなわち異
物の分布状況）を同時に表示するようにしたことによ
り、同時に２つの検査結果を容易に閲覧し得ると共に、
従来のように頻繁にマツプを切り換える必要がなくなる
ため使い勝手を従来に比して向上し得る。

【００３０】（２）第２実施例 上述の第１実施例においては、レチクル２の表面及び裏
面の検査結果を同時に表示した場合について述べたが、
この第２実施例ではペリクル付きレチクルを異物検査し
たときに得られる４つの検査結果を同時に表示する。

【００３１】レチクルの一種には、ペリクルという保護
材を表面及び裏面の両面に貼る付けたペリクル付きレチ
クルというものがある。このようなペリクル付きレチク
ルでは、異物検査の対象となる検査面は、ガラス側ペリ
クル面、ガラス面、パターン面及びパターン側ペリクル
面の４つになる。このためペリクル付きレチクルを異物
検査する場合には、図１に示した異物検査装置１におい
てＹステージ３を上下（いわゆるＺ軸方向）にも動かす
ようにし、これによつてレーザー光の焦点をそれぞれの
面に合わせて異物検査を行う。これら４つの面について
の検査結果は第１実施例と同様にそれぞれメモリ１２に
記憶され、ユーザの操作に応じて読み出され、デイスプ
レイ１４上にマツプ表示される。

【００３２】ところでこの実施例の場合には、情報入力
部１３を用いてユーザが所定の操作を行うと、ペリクル
付きレチクルの４つの検査面についての検査結果を同時
に表示し得るようになされている。この場合、まず制御
部１１はメモリ１２からそれぞれの検査面についての検
査結果を読み出し、所定の処理によつてそれぞれのマツ
プを生成する。そして制御部１１はそれらのマツプを表
示する際、図５に示すように、１つの表示区画２１Ａを
横に４分割し、一番上側の表示区画２１ＡＥにガラス側
ペリクル面の検査結果を、上から２番目の表示区画２１
ＡＦにガラス面の検査結果を、上から３番目の表示区画
２１ＡＧにパターン面の検査結果を、一番下側の表示区
画２１ＡＨにパターン側ペリクル面の検査結果をそれぞ
れ表示することにより、１つの画面上で４つのマツプを
同時に表示する。

【００３３】これによりユーザは１つの画面上でガラス
側ペリクル面、ガラス面、パターン面及びパターン側ペ
リクル面の４つのマツプを同時に見ることができ、容易
に見比べることができる。従つてこの実施例の異物検査
装置では、従来のようにマツプを見比べる際に頻繁にマ
ツプを切り換える必要がなくなり、使い勝手が向上す
る。

【００３４】以上の構成によれば、１つの表示区画２１
Ａを横に４分割して４つの検査面についての検査結果を
同時に表示するようにしたことにより、同時に４つの検
査結果を容易に閲覧し得ると共に、従来のように頻繁に
マツプを切り換える必要がなくなるため使い勝手を従来
に比して向上し得る。

【００３５】（３）第３実施例 上述の第１実施例においては、１つの表示区画内で大き
さの異なる複数の異物が検出された場合には、検出され
た異物のうち最も大きい異物だけを表示するようにした
場合について述べたが、この第３実施例では、大きさの
異なる複数の異物が検出された場合には、１つの表示区
画を分割してその検出結果を全て表示する。

【００３６】第１実施例でも述べたように、異物検査装
置１では、表示区画２１Ａが表す領域の大きさは、設定
によつて例えば５〔mm〕角四方、１〔mm〕角四方、0.1
〔mm〕角四方等に切り換え得るようになされている。ま
た異物検査の分解能としては、0.1 〔mm〕角四方の分解
能がある。従つて表示区画２１Ａを例えば５〔mm〕角四
方に設定した場合には、１つの表示区画内に2500個分の
検査データが含まれることになる。このため１つの表示
区画内で大きさの異なる複数の異物が検出された場合に
は、検出された異物のうち最も大きい異物を表示するよ
うになされている。

【００３７】ところがこのようにすると、折角検出した
小さい異物がマツプ上に表示されなくなる。このためこ
の実施例の場合には、図６に示すように、１つの表示区
画２１Ａを縦横でそれぞれ２分割ずつして全部で４つに
分割し、検出された大きさの異なる異物を同時に表示す
る。

【００３８】具体的には、一番小さいランクの異物が検
出された場合には右上の表示区画２１ＡＩに例えば「緑
色」を表示し、その上のランクの異物が検出された場合
には左上の表示区画２１ＡＪに例えば「青色」を表示
し、さらにその上のランクの異物が検出された場合には
右下の表示区画２１ＡＫに例えば「黄色」を表示し、一
番大きいランクの異物が検出された場合には左下の表示
区画２１ＡＬに例えば「赤色」を表示する。これにより
今まで大きな異物に隠れていた小さな異物まで１つのマ
ツプ上に表示することができるようになる。またこれに
よりユーザは１つの表示区画２１Ａの中にどのような大
きさの異物が混在しているかを一目で理解することがで
きる。

【００３９】以上の構成によれば、１つの表示区画２１
Ａを縦横で４分割し、表示区画２１Ａ内で検出された大
きさの異なる異物を同時に表示するようにしたことによ
り、表示区画２１Ａの中にどのような大きさの異物が混
在しているかを一目で理解でき、一段と使い勝手を向上
し得る。

【００４０】（４）他の実施例 なお上述の第１及び第２実施例においては、被検査面が
２つ又は４つであつたため１つの表示区画２１Ａを２分
割又は４分割したが、本発明はこれに限らず、例えば被
検査面が６つの場合には１つの表示区画２１Ａを６分割
するようにすれば上述の場合と同様の効果を得ることが
できる。要は、被検査面の数に応じて分割数を決定すれ
ば上述の場合と同様の効果を得ることができる。

【００４１】また上述の第３実施例においては、異物の
大きさを４つのレベルに分け、その４種類の異物を同時
に表示するため１つの表示区画２１Ａを４分割した場合
について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば異物
の大きさを６つのレベルに分けた場合には１つの表示区
画２１Ａを６分割するようにすれば上述の場合と同様の
効果を得ることができる。要は、異物の大きさの分類数
に応じて分割数を決定すれば上述の場合と同様の効果を
得ることができる。

【００４２】因みに、分割数が多くなつた場合には画面
が見難くなるおそれがあるため、その場合には適宜画面
を拡大表示することが望ましい。

【００４３】さらに上述の実施例においては、表示色と
して「緑色」、「青色」、「黄色」、「赤色」等を用い
た場合ついて述べたが、本発明はこれに限らず、表示色
としてはその他の色を用いるようにしても良い。

【００４４】また上述の実施例においては、表示色によ
つて異物の大きさを識別し得るようにした場合について
述べたが、本発明はこれに限らず、文字や記号によつて
異物の大きさを識別し得るようにしても上述の場合と同
様の効果を得ることができる。特に、第３実施例の場合
には、表示区画２１Ａの中の表示位置によつて異物の大
きさが識別し得るため、同一の色や文字、或いは記号を
表示したとしても異物の大きさを十分識別し得る。

【００４５】さらに上述の実施例においては、レチクル
２の異物検査を行う異物検査装置１に本発明を適用した
場合について述べたが、本発明はこれに限らず、例えば
ＬＳＩ回路用フオトマスクやウエハ等を検査する異物検
査装置に本発明を適用した場合にも上述の場合と同様の
効果を得ることができる。

【００４６】

【発明の効果】上述のように本発明によれば、単位区画
を少なくとも２つ以上に分割し、被検査物の複数の検査
面から得た異物の分布状況又は被検査物の同一検査面か
ら得た検査時点の異なる異物の分布状況を同時表示させ
る表示制御手段を設けるようにしたことにより、複数の
検査面から得た異物の分布状況又は同一検査面から得た
検査時点の異なる異物の分布状況を見比べる場合、頻繁
に画面を切り換える必要がなくなり、複数の検査結果を
容易に閲覧し得る。かくするにつき複数の検査結果を容
易に閲覧し得る使い勝手の向上した異物検査装置を実現
し得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による異物検査装置の全体構
成を示す略線図である。

【図２】通常表示のときのマツプを示す略線図である。

【図３】横に２分割した表示区画を示す略線図である。

【図４】縦に２分割した表示区画を示す略線図である。

【図５】横に４分割した表示区画を示す略線図である。

【図６】縦横で４分割した表示区画を示す略線図であ
る。

【図７】被検査物の表面の検査結果を示すマツプの略線
図である。

【図８】被検査物の裏面の検査結果を示すマツプの略線
図である。

【符号の説明】

１……異物検査装置、２……レチクル、３……Ｙステー
ジ、４Ａ〜４Ｃ……駆動部、５……スイツチングミラ
ー、６……光源、７……スキヤナーミラー、８……集光
レンズ、９、１５……ミラー、１０Ａ〜１０Ｅ……光電
変換素子、１１……制御部、１２……メモリ、１３……
情報入力部、１４……デイスプレイ、２０……マツプ、
２１Ａ、２１ＡＡ〜２１ＡＬ……表示区画。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被検査物の検査面上に光束を走査し、該検
   査面上に存在する異物によつて反射された前記光束の散
   乱光を光電変換素子によつて受光することにより前記検
   査面上に存在する異物の位置及び大きさを検出する異物
   検査手段と、前記検査面を表す表示画面を複数の単位区
   画に分けて該単位区画毎に前記異物の大きさを表すこと
   によつて前記異物の分布状況を表示する表示手段とを有
   する異物検査装置において、 前記単位区画を少なくとも２つ以上に分割し、前記被検
   査物の複数の検査面から得た異物の分布状況又は前記被
   検査物の同一検査面から得た検査時点の異なる異物の分
   布状況を同時に表示させる表示制御手段を具えることを
   特徴とする異物検査装置。
2. 【請求項２】被検査物の検査面上に光束を走査し、該検
   査面上に存在する異物によつて反射された前記光束の散
   乱光を光電変換素子によつて受光することにより前記検
   査面上に存在する異物の位置及び大きさを検出する異物
   検査手段と、前記検査面を表す表示画面を複数の単位区
   画に分けて該単位区画毎に前記異物の大きさを表すこと
   によつて前記異物の分布状況を表示する表示手段とを有
   する異物検査装置において、 前記単位区画内で大きさの異なる複数の異物が検出され
   た場合には、前記単位区画を異物の大きさの分類数に応
   じて分割し、該単位区画内で検出され大きさの異なる異
   物を全て同時に表示させる表示制御手段を具えることを
   特徴とする異物検査装置。
3. 【請求項３】被検査物の検査面上に光束を走査し、該検
   査面上に存在する異物によつて反射された前記光束の散
   乱光を光電変換素子によつて受光することにより前記検
   査面上に存在する異物の位置及び大きさを検出し、前記
   検査面を表す表示画面を複数の単位区画に分けて該単位
   区画毎に前記異物の大きさを表すことによつて前記異物
   の分布状況を表示する異物検査結果表示方法において、 前記単位区画を少なくとも２つ以上に分割し、前記被検
   査物の複数の検査面から得た異物の分布状況又は前記被
   検査物の同一検査面から得た検査時点の異なる異物の分
   布状況を同時に表示するようにしたことを特徴とする異
   物検査結果表示方法。
4. 【請求項４】被検査物の検査面上に光束を走査し、該検
   査面上に存在する異物によつて反射された前記光束の散
   乱光を光電変換素子によつて受光することにより前記検
   査面上に存在する異物の位置及び大きさを検出し、前記
   検査面を表す表示画面を複数の単位区画に分けて該単位
   区画毎に前記異物の大きさを表すことによつて前記異物
   の分布状況を表示する異物検査結果表示方法において、 前記単位区画内で大きさの異なる複数の異物が検出され
   た場合には、前記単位区画を異物の大きさの分類数に応
   じて分割し、該単位区画内で検出され大きさの異なる異
   物を全て同時に表示するようにしたことを特徴とする異
   物検査結果表示方法。