JPH09114233A - 現像装置 - Google Patents

現像装置

Info

Publication number
JPH09114233A
JPH09114233A JP7274286A JP27428695A JPH09114233A JP H09114233 A JPH09114233 A JP H09114233A JP 7274286 A JP7274286 A JP 7274286A JP 27428695 A JP27428695 A JP 27428695A JP H09114233 A JPH09114233 A JP H09114233A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
carrier
developer
image
linear electrode
toner
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7274286A
Other languages
English (en)
Inventor
Yukie Hosokoshizawa
幸恵 細越澤
Masayasu Onodera
正泰 小野寺
Isao Endo
勇雄 遠藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Konica Minolta Inc
Original Assignee
Konica Minolta Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Konica Minolta Inc filed Critical Konica Minolta Inc
Priority to JP7274286A priority Critical patent/JPH09114233A/ja
Publication of JPH09114233A publication Critical patent/JPH09114233A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Developing For Electrophotography (AREA)
  • Dry Development In Electrophotography (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 トナー飛散による機内汚れや画像汚れを発生
させずに、十分な濃度で被りのない良好な現像を行い得
るだけでなく、流動性の悪い現像剤を用いたときでも現
像濃度むらのない良好な画像を形成することができる像
担持体の帯電と同極性に帯電したトナーを現像剤搬送体
上の現像剤層から飛翔させて像担持体の静電潜像に付着
させる現像装置の提供 【構成】 像担持体と現像剤搬送体との間隙に線状電極
を張設し、振動電界下で現像剤搬送体上の像担持体に非
接触の現像剤層から像担持体の帯電と同極性に帯電した
トナーを飛翔させて像担持体上の静電潜像に付着させる
現像装置において、前記線状電極を1本として、該線状
電極と前記現像剤搬送体にそれぞれ交流成分とトナーの
帯電と同極性の直流成分の重畳電圧を印加し、少なくと
もそれら交流成分の周波数を変えることを特徴とする

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子写真方式に用いら
れる像担持体上の静電潜像を現像するための現像装置に
関し、特に、像担持体と現像剤搬送体との間隙に線状電
極を張設し、振動電界下で現像剤搬送体上の像担持体に
非接触の現像剤層から像担持体の帯電と同極性に帯電し
たトナーを飛翔させて像担持体上の静電潜像に付着させ
る現像装置に関する。
【0002】
【従来の技術】電子写真方式を用いた像担持体上の静電
潜像を現像して多色の画像を形成する画像形成装置とし
て、帯電、露光、現像、転写の各工程を複数回繰り返
し、転写材上で複数のトナー像を重ね合わせて多色の画
像を形成する画像形成装置がある。この画像形成装置
は、各色の現像が終了する毎にトナー像を同一転写材に
転写するため、装置内部に転写材を位置ずれが生じない
ように保持する機構を設ける必要があり、装置が大型化
するという欠点がある。
【0003】それに対して、帯電、露光、現像の各工程
を複数回繰り返して像担持体上で複数のトナー像を重ね
合わせ、それによって像担持体上に形成されたカラー画
像を転写材に転写して多色の画像を形成する画像形成装
置がある。この画像形成装置は、装置内部に転写材を保
持する機構を設ける必要がなく、装置を小型化し得ると
いう利点がある。この画像形成装置には、現像剤搬送体
上の現像剤層を像担持体に非接触とし、現像剤搬送体に
直流成分と交流電圧の重畳電圧を印加して、振動電界下
でトナーを飛翔させて像担持体上の静電潜像に付着させ
る現像装置が用いられる。この現像装置は、現像剤搬送
体の現像剤層が像担持体に非接触であるため、先に像担
持体上に付着している前段の現像装置のトナーが異なる
色のトナーを収容している後段の現像装置に大量に混入
することがないという利点がある。
【0004】上述の画像形成装置にも、原稿からの像露
光を色分解フィルタを通して像担持体の帯電面に入射
し、それによって形成された静電潜像に像担持体の帯電
と逆極性に帯電したトナー付着させる複写装置と、原稿
読み取り手段やコンピュータ等からの色別の画像信号に
基いてレーザビームスキャナーや発光素子アレイ等から
ドット構成の像露光を像担持体の帯電面に入射し、それ
によって形成された静電潜像に像担持体の帯電と同極性
に帯電したトナー付着させる所謂反転現像を行う記録装
置の2種類があり、汎用性の点更には下記のように現像
装置に異色トナー混入が生じにくく安定して鮮明なカラ
ー画像を形成できる等の点から記録装置が主流になって
来ている。
【0005】上述の複写装置は、像担持体とトナーの帯
電が逆極性であるから、現像濃度を上げ易い反面、非画
像部分にトナーの付着する被りが生じ易く、そのため現
像剤搬送体に印加する現像バイアスの直流成分を被り防
止のためのトナーの帯電と逆極性の電圧にするが、被り
を無くそうとすれば、現像濃度が低下すると共に、現像
装置に異色トナーの混入が生じ易くなるという問題があ
る。それに対して記録装置は、像担持体とトナーの帯電
が同極性であるから、像担持体にトナーを付着させるた
め現像剤搬送体に印加する現像バイアスの直流成分を像
担持体へとトナーを移行させるトナーの帯電と同極性の
電圧にする必要があり、現像装置に異色トナー混入の生
ずる惧れ少なく、安定して鮮明なカラー画像を形成でき
る反面、被りを発生させずに十分な現像濃度即ち画像濃
度を得て繊細な線や点或いは濃淡差を再現した高画質画
像を形成しようとすれば、像担持体の帯電電位とそれに
伴って現像バイアスの直流成分電圧値(絶対値で自明な
ときは単に電圧ともいう)を高めることになるので、現
像域からのトナー飛散による機内汚れが発生し易くなる
という問題がある。
【0006】一方、一般に高画質画像を得るためにはト
ナーを微粒子化することが有効である。そこで、上述の
記録装置の反転現像に用いるトナーを微粒子化した場
合、被りを生じさせずに十分な画像濃度を得ようとする
と、現像剤搬送体に印加する交流電圧を大きくする必要
があり、そのため一層トナー飛散による機内汚れが発生
し易くなると共に、現像装置に異色トナー混入が生じ易
くなって、折角の反転現像の現像装置に異色トナー混入
が生じにくく安定して鮮明なカラー画像を形成できると
いうメリットが失われるようになるから、結局、反転現
像のトナーを微粒子化して高画質を得ることは困難であ
った。
【0007】以上の反転現像の問題を解消するものとし
て、例えば特開昭59−223467号公報に、像担持
体と現像剤搬送体上の現像剤層との間隙にトナーの飛翔
を制御するワイヤー状の制御電極を設け、該制御電極又
は現像剤搬送体の少なくとも一方に交流電圧を印加して
振動電界を形成し、トナーを飛翔させて現像を行う現像
方法が開示されている。それによれば二成分現像剤のト
ナーとして微粒子トナーを用いることができ、しかも被
りが防止され、鮮明な高画質が得られると同公報は記載
している。しかし、この公報に記載の現像方法を用いた
場合でも、線状電極にトナーが付着滞積して画像汚れが
発生したり、微粒子トナーを用いたとき現像剤の流動性
が悪くなって現像濃度むらが発生したりして、高画質が
得られないことがあるという問題があった。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述の事情
に鑑みてなされたものであり、トナー飛散による機内汚
れや画像汚れを発生させずに、十分な濃度で被りのない
良好な現像を行い得るだけでなく、流動性の悪い現像剤
を用いたときでも現像濃度むらのない良好な画像を形成
することができる像担持体の帯電と同極性に帯電したト
ナーを現像剤搬送体上の現像剤層から飛翔させて像担持
体の静電潜像に付着させる現像装置の提供を目的とす
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
を達成するため、像担持体と現像剤搬送体の間隙に線状
電極を設け、該線状電極と現像剤搬送体のそれぞれに交
流電圧とトナーの帯電と同極性の直流電圧を重畳印加
し、それによる振動電界下で現像剤搬送体上の現像剤層
からトナーを飛翔させて像担持体のトナーと同極性の帯
電面に形成された低電位ドットの分布から成る静電潜像
に付着させる現像装置について検討を行った結果、以下
のことを究明した。
【0010】(1)線状電極と現像剤搬送体にそれぞれ
印加する現像バイアスの交流成分と直流成分について 線状電極に印加する交流成分の周波数f1〔Hz〕と
現像剤搬送体に印加する交流成分の周波数f2〔Hz〕
が同一であると共振し、段ムラのある画像になってしま
う。
【0011】線状電極に印加する交流成分の周波数f
1と現像剤搬送体に印加する交流成分の周波数f2が異な
る場合は共振することなしに線状電極にトナーが付着滞
積することを防止でき、特に0.1f2<f1<f2<3
1の条件を満足する場合に良好な画像が得られる。
【0012】線状電極に印加する直流成分の電圧V
DC1〔V〕が現像剤搬送体に印加する直流成分の電圧V
DC2〔V〕よりも小さい場合は線状電極から像担持体に
放電することがなくて、濃度むらのない画像が得られる
ようになり、特にVDC2/2≦VDC1<VDC2の条件を満
足する場合に高度な画像が得られる。
【0013】(2)像担持体と現像剤搬送体の間隙にお
ける線状電極と現像剤層の関係について 線状電極が現像剤搬送体上の現像剤層表面から完全に
離れている場合や逆に現像剤搬送体表面に近づき過ぎて
現像剤層の内部に完全に埋没している場合、現像性が低
い。
【0014】線状電極と現像剤搬送体の最近接距離が
現像剤搬送体上の現像剤層の厚さにほぼ等しいか、線状
電極が完全に埋没することなく現像剤搬送体上の現像剤
層と接触している場合、現像性が高い。
【0015】上記の条件を満足していても、像担持
体から現像剤層までの距離したがって像担持体から線状
電極までの距離が増す程現像性が低下する。
【0016】線状電極と現像剤搬送体の最近接距離を
1〔mm〕、線状電極と像担持体の最近接距離をX
2〔mm〕、線状電極の直径をd〔mm〕、線状電極に
対する現像剤搬送体表面の線状電極が無い状態での現像
剤層の高さをh〔mm〕として、X1≧X2、X1+d≧
h≧X1≧h/2を満足するように現像剤搬送体や像担
持体と線状電極の位置関係及び現像剤搬送体上の現像剤
層の厚さとの関係を設定すると、特に現像性が向上す
る。
【0017】(3)線状電極の現像剤搬送体と像担持体
の再近接位置からの位置と本数について 線状電極が現像剤搬送体と像担持体の最近接位置から
遠ざかるにつれて徐々に現像性が低下し、ある点を境に
急激に現像性が低下して、現像剤搬送体と像担持体の最
近接位置から現像剤搬送体上の現像剤層の移動の上流側
と下流側で現像性低下の割合を比較すると、下流側の方
がやや大きく、像担持体と現像剤搬送体の最近接距離を
0〔mm〕、像担持体と現像剤搬送体の最近接位置の
現像剤搬送体の曲率半径をr〔mm〕、その曲率中心か
ら像担持体の曲率中心を結ぶ直線と線状電極の曲率中心
を結ぶ直線とが成す角度θ°を線状電極の曲率中心が現
像剤搬送体の前記曲率中心と像担持体の曲率中心を結ぶ
直線よりも現像剤搬送体上の現像剤層移動の上流側ある
とき+として、線状電極の張設位置が
【0018】
【数2】
【0019】を満足すると高い現像性が得られる。
【0020】線状電極を現像剤搬送体と像担持体の最
近接位置に1本設置すると、設置していない場合と比較
して大きく現像性が向上し、現像剤搬送体と像担持体の
最近接位置から直角に離れる方向に並べて複数本平行に
設置すると更に現像性は向上するが、その現像性向上の
割合は小さい。
【0021】線状電極を現像剤搬送体と像担持体の最
近接位置から直角に離れる方向に並べて複数本平行に設
置すると、画像ベタ部後端での画像濃度ムラが強調され
る。
【0022】(4)現像剤について トナーの平均粒径10μm以上の一成分現像剤を用い
ることもできるが、トナーとキャリアの混合した二成分
現像剤と比較すると高画質画像を得る安定性が乏しい。
【0023】従来の二成分現像剤でトナーの平均粒径
が10μm以上の場合は、線状電極に交流成分を印加し
なくても画像上に濃度むらは発生しない。
【0024】従来の二成分現像剤でトナーの平均粒径
を10μmより小さくした場合は、現像剤の流動性が悪
くなる。特に、トナーの平均粒径が8μm以下になると
極端に流動性が悪くなり、画像上に濃度むらが発生す
る。
【0025】上記の場合を含めて流動性の悪い現像
剤を用いたとき、現像間隙の線状電極に前述の(1)の
ような直流成分と交流成分の重畳電圧を印加すると画像
上の濃度むらは解消される。
【0026】本発明は、本発明者らの上記知見に基いて
成されたものであり、像担持体と現像剤搬送体との間隙
に線状電極を張設し、振動電界下で現像剤搬送体上の像
担持体に非接触の現像剤層から像担持体の帯電と同極性
に帯電したトナーを飛翔させて像担持体上の静電潜像に
付着させる現像装置において、前記線状電極を1本とし
て、該線状電極と前記現像剤搬送体にそれぞれ交流成分
とトナーの帯電と同極性の直流成分の重畳電圧を印加
し、少なくともそれら交流成分の周波数を変えることを
特徴とした第1発明、又は、像担持体と現像剤搬送体の
間の交流成分とトナーの帯電と同極性の直流成分の重畳
電圧を印加する1本の線状電極と現像剤搬送体の最近接
距離をX1〔mm〕、線状電極と像担持体の最近接距離
をX2〔mm〕、線状電極の直径をd〔mm〕、線状電
極に対する現像剤搬送体表面の線状電極が無い状態での
現像剤層の高さをh〔mm〕としたとき、 X1≧X2、X1+d≧h≧X1≧h/2 を満足するように前記線状電極を設置したことを特徴と
した第2発明の構成によって前記目的を達成する。
【0027】
【作用】即ち本発明においては、線状電極数を1本とし
たことによって、線状電極により形成される強い振動電
界の領域が狭くなり、その振動電界によって形成される
トナークラウドの領域が狭くなるので、実際に現像作用
が行われる領域が狭くなって、画像ベタ部の後方に見ら
れる画像濃度ムラの発生を防止することができる。そし
て第1発明では、線状電極と現像剤搬送体にそれぞれ交
流成分とトナーの帯電と同極性の直流成分の重畳電圧を
印加し、少なくともそれら交流成分の周波数を変えるよ
うにしているので、共振することなしに線状電極にトナ
ーが付着滞積することを防止でき、トナークラウドが再
配置され均一化されて、流動性の悪い現像剤を用いたと
しても、濃度むらのない高度な画像を得ることができ
る。
【0028】また第2発明では、交流成分とトナーの帯
電と同極性の直流成分の重畳電圧を印加する線状電極と
現像剤搬送体の最近接距離をX1〔mm〕、線状電極と
像担持体の最近接距離をX2〔mm〕、線状電極の直径
をd〔mm〕、線状電極に対する現像剤搬送体表面の線
状電極が無い状態での現像剤層の高さをh〔mm〕とし
て、X1≧X2、X1+d≧h≧X1≧h/2を満足するよ
うに現像剤搬送体や像担持体と線状電極の位置関係及び
現像剤搬送体上の現像剤層の厚さとの関係を設定したの
で、線状電極が現像剤層表面付近のトナーに強い振動作
用を与えて安定した密度の高いトナークラウドを形成さ
せ、そのトナークラウドが線状電極による強い振動電界
の作用で像担持体面に十分供給されて高い現像性が得ら
れる。
【0029】
【実施例】以下、図面を参照して本発明を説明する。
【0030】図1は本発明の現像装置の一例を示す断面
図、図2は本発明の現像装置が用いられる画像形成装置
の一例を示す構成図、図3は線状電極設置前の現像作用
範囲測定方法説明図である。
【0031】図1において、41は内部に固定の磁石体
42を有する現像剤搬送体である現像ローラ、43は線
状電極、45は現像剤供給部材である供給ローラ、46
は現像剤搬送量規制部材である規制棒、47は現像剤掻
き取り部材であるスクレーパ、48は現像剤撹拌部材で
ある撹拌ローラ、49は現像装置のケーシング、50は
トナーとキャリアの混合からなる二成分現像剤、51及
び52はそれぞれ現像バイアス印加手段としての電源、
10は導電性基体11上に感光層12を形成した像担持
体である感光体ドラム、X0は感光体ドラム10と現像
ローラ41の最近接距離、X1は線状電極43と現像ロ
ーラ41の最近接距離、X2は線状電極43と感光体ド
ラム10の最近接距離、dは線状電極43の直径、hは
線状電極43の設置位置における線状電極43が無い状
態での現像ローラ41上の現像剤層の高さを表す。また
図中の矢印は感光体ドラム10及び現像ローラ41の回
転方向を示す。
【0032】現像ローラ41は、例えばアルミニウム、
ステンレス鋼等の非磁性で導電性の金属から成る直径5
〜30〔mm〕の円筒であり、表面粗さが1〜30〔μ
m〕であるように加工されている。現像ローラ41は、
回転するが、その表面の磁界強度を500〜1,200
〔ガウス〕とするN極とS極の4〜12極を配設した円
柱状の固定磁石体42を内部に設けている。これに限ら
ず、磁石体42が現像ローラ41の回転方向と反対方向
に回転するものでも、磁石体42が回転して現像ローラ
41が固定でもよい。
【0033】線状電極43は、例えばタングステン、ス
テンレス鋼等の導電性の金属ワイヤーから成り、好まし
くは表面に現像ローラ41との間の放電発生を防止する
ポリウレタン、ポリアミド等の絶縁樹脂から成る被覆層
を有するものであって、感光体ドラム10と現像ローラ
41が対向している間隙に、現像ローラ41上の現像剤
層の移動方向と直角の現像ローラ41と平行の方向に架
設されている。
【0034】ケーシング49は例えばアクリル、ポリカ
ーボネート等の絶縁性の樹脂から成り、ケーシング49
内には前述の磁石体42を内包した現像ローラ41、供
給ローラ45、スクレーパ47及び撹拌ローラ48が配
設され、ケーシング49の出口には規制棒46が配設さ
れている。またケーシング49の不図示の両側板の外面
には固定ピンが植設されており、それら固定ピンには線
状電極43の一端が直接、他端が引張りばねを介してそ
れぞれ係着されている。
【0035】ケーシング49の内部にはトナーとキャリ
アからなる二成分現像剤50が貯留され、二成分現像剤
50は撹拌ローラ48により撹拌混合されてトナーを感
光体ドラム10の帯電極性と同極性に摩擦帯電されると
共に、供給ローラ45により現像ローラ41上に供給さ
れて現像ローラ41に付着して搬送され現像剤層を形成
する。現像ローラ41上の現像剤層は規制棒46により
層厚を規制されて現像ローラ41が感光体ドラム10に
対向している現像域に搬送される。
【0036】現像ローラ41には電源52から感光体ド
ラム10の帯電と同極性の直流成分電圧VDC2〔V〕と
周波数f2〔Hz〕の交流成分との重畳電圧が、また線
状電極43には電源51から同じ極性の直流成分電圧V
DC1〔V〕と周波数f1〔Hz〕の交流成分の重畳電圧が
印加されるが、電源52から印加される交流成分の周波
数f2と電源51から印加される交流成分の周波数f1
互いに異なる周波数にする。そして周波数f1、f2
0.1f2<f1<f2<3f1の条件を満足することが好
ましい。また、電源52から印加される直流成分電圧V
DC2と電源51から印加される直流成分電圧VDC1はV
DC2/2≦VDC1<VDC2の条件を満足することが好まし
い。これによって、現像ローラ41と線状電極43の間
隙に生ずる強い振動電界によりトナーがキャリアから離
れてトナークラウドを形成し、そのトナークラウドが線
状電極43と感光体ドラム10の間隙に生ずる振動電界
により高い密度に保持されて、現像ローラ41から特に
線状電極43から感光体ドラム10上の静電潜像に向か
う現像バイアスにより十分な濃度のトナー像を形成す
る。
【0037】図2の画像形成装置は記録装置としてコピ
ーを行うものであり、20は矢印方向に回転する感光体
ドラム10を一様に帯電するスコロトロン帯電器を用い
た帯電手段、25は画像読み取り部、30はレーザービ
ームを用いた像露光手段の画像書き込み部、40A、4
0B、40C及び40Dはそれぞれ例えばイエロー、マ
ゼンタ、シアン、黒のトナーを現像剤に用いた前述の図
1と同様の現像装置、60は第1給紙ローラ61及び第
2給紙ローラ62を備えた給紙部、70はコロナ帯電器
を用いた転写手段、75はコロナ帯電器を用いた分離手
段、80は搬送部、85は定着部、90はクリーニング
ブレード91を備えたクリーニング装置、95は露光ラ
ンプを用いた帯電前除電手段を示す。
【0038】この画像形成装置における多色画像形成プ
ロセスの基本動作は、まず、図示しない操作部から図示
しない制御部にコピー開始指令が送出され、感光体ドラ
ム10が回転を始める。感光体ドラム10の回転に従
い、その周面は帯電手段20により一様に帯電される。
また、画像読み取り部25では原稿からの光情報が電気
信号に変換され、該電気信号は画像処理を加えられた
後、画像書き込み部30に入力される。画像書き込み部
30は帯電された感光体ドラム10上にレーザービーム
を出力して低電位ドットの分布からなる静電潜像を形成
する。この静電潜像は現像装置40A、40B、40
C、40Dの例えば40Aによりイエロートナー像に現
像される。
【0039】感光体ドラム10のイエロートナー像を形
成された表面は、再び帯電手段20により一様帯電さ
れ、画像書き込み部30によりレーザービームを入射さ
れて次の静電潜像を形成される。その静電潜像は現像装
置40B、40C、40Dの例えば40Bによりマゼン
タトナー像に現像され、それにより感光体ドラム10上
にイエロー、マゼンタの二色像が形成される。更に以上
のような潜像形成工程、現像工程が2回繰り返され、感
光体ドラム10上に4色のトナー像の重ね合わせからな
るカラー画像が形成される。
【0040】給紙部60には転写材である記録紙が収納
されており、記録紙は第1給紙ローラ61及び第2給紙
ローラ62により感光体ドラム10上のカラー画像と同
期して転写手段70に送出される。感光体ドラム10上
のカラー画像は転写手段70により記録紙上に転写さ
れ、該記録紙は分離手段75により感光体ドラム10か
ら分離されて、搬送部80により定着部85へ送られ、
定着部85でカラー画像を溶融加圧定着された後、装置
外に排出される。
【0041】一方、カラー画像転写後の感光体ドラム1
0表面は、タイミングをとって表面に圧着されるクリー
ニングブレード91を備えたクリーニング装置90によ
り残留トナーを掻き落とされ、帯電前除電手段95によ
り残留電位を除去された後、次回の画像形成プロセスに
供せられる。
【0042】以上のように用いられる前述の本発明の現
像装置は、線状電極43を現像ローラ41が感光体ドラ
ム10に対向している現像域に1本だけ設けているか
ら、線状電極43によって形成される強い振動電界の領
域が狭くなり、したがって振動電界によって形成される
トナークラウドの領域が狭くなって、現像作用の行われ
る領域が狭くなる結果、画像ベタ部後端に続いて現れる
画像濃度ムラの発生を防止することができる。これに対
して、線状電極43を複数本とした場合は、トナークラ
ウドが形成される空間が広くなるために現像性は向上す
るが、ベタ画像部後端側に見られる画像濃度ムラが発生
し易くなって、場合によっては画像濃度ムラが拡大する
し、現像領域からのトナー飛散も増加するようになる。
【0043】また、線状電極43に印加する交流成分の
周波数f1〔Hz〕と現像ローラ41に印加する交流成
分の周波数f2〔Hz〕を異なる値にしたこと、更に好
ましくは0.1f2<f1<f2<3f1を満足させること
によって、トナークラウドを安定して高い密度に形成し
て前述の狭い領域に保持することができる。これに対し
て、周波数f1、f2が同一であると共振して高い密度の
トナークラウドを形成することが困難になり、f1、f2
が異なってもf1>f2ではトナークラウドの発生が不十
分になり易く、0.1f2>f1ではトナークラウドを狭
い領域に保持することが難しくなるし、f2>3f1では
トナーの現像領域からの飛散が生じ易くなる。
【0044】また、線状電極43に印加するトナーの帯
電と同極性の直流成分電圧VDC1〔V〕と現像ローラ4
1に印加する直流成分電圧VDC2〔V〕にVDC2/2≦V
DC1≦VDC2を満足させることが好ましく、それによって
線状電極43にトナーが付着滞積すること無く安定して
十分な濃度で感光体ドラム10の静電潜像にトナーを付
着させることができる。それに対してVDC1<VDC2/2
では線状電極43にトナーが付着滞積し易くて現像むら
が生じ易くなるし、VDC1 >VDC2では線状電極43か
ら感光ドラム10に放電が起こって画像乱れが生じ易
い。
【0045】また、線状電極43と現像ローラ41の最
近接距離をX1〔mm〕、線状電極43と感光体ドラム
10の最近接距離をX2〔mm〕、線状電極43の直径
をd〔mm〕、線状電極43設置位置の線状電極43が
無い状態での現像剤層の高さをh〔mm〕としたときX
1≧X2、X1+d≧h≧X1≧h/2を満足するように現
像領域に線状電極43を設置する。そして線状電極43
に交流電圧とトナーや感光体ドラム10の帯電と同極性
の直流電圧の重畳から成る現像バイアスを印加すること
により、安定して十分な濃度の現像が可能となる。この
場合は、現像ローラ41に印加する現像バイアスに交流
成分を重畳させなくてもよくなる。しかし、前述のよう
な交流成分を重畳させる方が好ましい。
【0046】上述の条件に対してX1<X2とした場合
は、高い密度のトナークラウドを線状電極43によって
保持するのが困難となり、現像濃度が低下するようにな
って、被りも発生し易くなる。またh<X1としたり、
1<h/2とした場合は、高い密度のトナークラウド
を線状電極43によって形成するのが困難となって、現
像濃度が低下するようになる。
【0047】更に、感光体ドラム10と現像ローラ41
の最近接距離をX0〔mm〕、現像ローラ41の曲率半
径をr〔mm〕、現像ローラ41の曲率中心と感光体ド
ラム10の曲率中心を結ぶ直線と線状電極43の曲率中
心と現像ローラ41の曲率中心を結ぶ直線とが成す角度
をθ°として、現像ローラ41上の現像剤層の移動方向
上流側を+方向としたとき、
【0048】
【数3】
【0049】を満足するように線状電極43を設置する
のが好ましい。このことを図3を用いて説明する。
【0050】線状電極43を設置する前の状態での非接
触反転現像法に於いて、現像作用は感光体ドラム10と
現像ローラ41の最近接位置が最も大きく、最近接位置
から現像ローラ41上の現像剤層搬送方向上流側及び下
流側に行くに従って現像作用は小さくなり、やがて全く
現像作用は行われなくなる。これは感光体ドラム10と
現像ローラ41の距離が離れるためである。現像作用が
感光体ドラム10と現像ローラ41の最近接位置から現
像ローラ41の周方向のどの範囲まで行われているかを
以下の方法で測定した。
【0051】感光体ドラム10と現像ローラ41の間隙
に、感光体ドラム10と現像ローラ41の最近接位置か
ら充分離れた現像剤層搬送方向の上流側に板状の遮蔽部
材を設置する。そして設置した遮蔽部材を徐々に感光体
ドラム10と現像ローラ41の最近接位置に向かって移
動させ、その時の遮蔽部材の位置と現像性を測定する。
同様の測定を感光体ドラム10と現像ローラ41の最近
接位置から現像剤層搬送方向の下流側についても行う。
【0052】以上の測定の結果、以下のことがわかっ
た。
【0053】感光体ドラム10と現像ローラ41の最
近接位置から現像剤層搬送方向の上流側は、遮蔽部材が
図3の現像ローラ41上の点Qより感光体ドラム10と
現像ローラ41の最近接位置に近くなると現像性が低下
し始める。
【0054】反対の現像剤層搬送の下流側は、遮蔽部
材が図3の現像ローラ上の点Q′より感光体ドラム10
と現像ローラ41の最近接位置に近くなると現像性が低
下し始める。
【0055】上記Q、Q′点から感光体ドラム10まで
の距離と感光体ドラム10と現像ローラ41の最近接距
離X0の関係を調べると、それぞれ1.2倍、1.1倍
になっていることがわかった。
【0056】そこで感光体ドラム10と現像ローラ41
の最近接位置に於ける現像ローラ41上の最近接点を
P、Pと現像ローラ41の回転中心を結ぶ直線とQと現
像ローラ41の回転中心を結ぶ直線とが成す角をα
〔°〕、Pと現像ローラ41の回転中心を結ぶ直線と
Q′と現像ローラ41の回転中心を結ぶ直線とが成す角
をα′〔°〕とし、現像ローラ41上の現像剤層の移動
方向上流側を+方向とし、現像ローラ41の半径と比較
して感光体ドラム10の半径が充分に大きく、感光体ド
ラム10の表面が平面である仮定すると、
【0057】
【数4】
【0058】となり、これで表される領域内で現像作用
が行われていることが分かった。
【0059】即ち、上記α、α′で表される領域内にト
ナー及び感光体ドラム10の帯電と同極性の直流成分と
交流成分の重畳から成る現像バイアスを印加する線状電
極43を設置することによって、線状電極43が形成す
る強い振動電界で密度の高いトナークラウドを発生させ
て現像領域内に保持できるので高い現像性が得られる。
この場合も現像ローラ41に印加する現像バイアスは前
述のような交流成分を重畳していることが好ましいが、
交流成分を含まなくてもよくなる。
【0060】上述の条件に対してα、α′の外側に線状
電極43を設置した場合は、現像作用が行われる領域の
外側にトナークラウドが形成されるので、充分な現像性
は得られないし、また現像域外へのトナー飛散が増加し
て機内汚れが発生し易くなる。
【0061】感光体ドラム10と現像ローラ41の最近
接距離X0を非接触反転現像で良好な現像が行われるた
めの現像バイアス等の条件設定が比較的容易な点から好
ましい0.2〜1〔mm〕の範囲に設定した場合、線状
電極43を設置する前の現像剤層の高さhは0.1〜
0.5〔mm〕、現像ローラ41と線状電極43の最近
接距離X1は0.05〜0.35〔mm〕、線状電極4
3と感光体ドラム10の最近接距離X2は0.05〜
0.3〔mm〕、線状電極43の直径dは0.02〜
0.25〔mm〕の範囲にあって、X1+d+X2
0、X1≧X2、X1+d≧h≧X1≧h/2を満足する
値に設定するのが好ましい。
【0062】そして例えば、負に帯電する感光体ドラム
10と負に帯電するトナーの現像剤を用いた非接触反転
現像の場合、感光体が−800〔V〕に帯電されて静電
潜像を形成されるとき、現像ローラ41には−700
〔V〕の直流バイアス電圧と周波数5〜20〔KHz〕
でピーク間電圧600〜2000〔Vpp〕の交流バイ
アス電圧の重畳電圧を印加し、線状電極43には−70
0〔V〕(現像ローラ41に印加する直流バイアス電
圧)〜0〔V〕好ましくは−200〜−600〔V〕の
直流バイアス電圧と周波数1〜20〔kHz〕好ましく
は1〜10〔kHz〕でピ−ク間電圧0〜1000〔V
pp〕の交流バイアス電圧の重畳電圧を印加するのがよ
い。
【0063】更に本発明に関わる他の好ましい条件や構
成について説明すると、線状電極43の現像装置への取
付は、例えば一端は現像装置のケーシング49の外面に
植設した固定ピンに固定し、他端は引っ張りバネを介し
てケーシング49に植設した固定ピンに固定する。線状
電極43の位置決めは現像ローラ41の回転軸の両端側
に現像ローラ41の回転を阻害しないように固定して設
けた位置決め部材に張り渡すことよって行われ、現像ロ
ーラ41との最近接距離及び感光体ドラム10と現像ロ
ーラ41の最近接位置からの距離を決定する。線状電極
43の架設張力は、前記引っ張りバネによって設定し、
その大きさは材質と直径から決定される許容荷重、許容
たわみ量、現像ローラ41に印加する交流電圧の周波数
と線状電極43の固有振動数の関係等を考慮して決定す
る。例えば直径dが30〜300〔μm〕のタングステ
ンワイヤーで、現像ローラ41と対向する部分の長さが
200〜350〔mm〕の場合、張力は200〜150
0〔g〕が適切である。
【0064】線状電極43の振動が問題となる場合に
は、前記位置決め部材より内側に防振部材を接触させて
振動を吸収させるようにするとよい。防振部材に弾性の
高い材料を用いるのが良い。
【0065】現像剤について説明すると、先にも触れた
ように一成分現像剤も用いられるが、二成分現像剤が好
ましく用いられる。そして、一般にトナーの平均粒径が
大きくなると画像の荒れが目立つようになるが、通常1
0〔本/mm〕程度のピッチで並んだ細線の解像力を得
るためには平均粒径は20〔μm〕程度でも問題がな
い。しかし、解像力を更に向上させ濃淡差も忠実に再現
した鮮明な高画質画像を得るためには、トナーの平均粒
径は10〔μm〕以下が好ましく、4〜6〔μm〕が特
に好ましい。このトナーの平均粒径は、電解水溶液約2
00〔ml〕中に試料約1〔mg〕と界面活性剤とを加
えて超音波分散器で約1分間分散して得られた懸濁液を
粒度分布測定装置「コールターカウンターTA−II型」
(コールター社製、アパーチャー100〔μm〕)を用
いて体積平均粒径分布を測定することにより得られた値
である。
【0066】トナーの平均帯電量が大きくなるとトナー
を飛翔させるために必要な電界を強くする必要があり、
線状電極43と現像ローラ41の間隙において放電が起
こり易くなる。逆にトナーの平均帯電量が小さすぎると
はトナーが現像装置から飛散し易くなる。トナーの平均
帯電量は通常絶対値で5〜40〔μC/g〕の範囲が適
当である。このトナーの平均帯電量は、2〔cm〕×5
〔cm〕の導電性板を直径20〔mm〕の現像ローラ4
1に最近接距離0.7〔mm〕で対向させ、現像ローラ
41を200〔rpm〕で回転させてその表面に現像剤
を供給して現像剤層を形成させると共に搬送させ、そし
て現像ローラ41に例えば直流成分VDC2=−1000
〔V〕と交流成分f2=8000〔Hz〕、VAC2=15
00〔Vpp〕の重畳電圧を印加して現像ローラ41上
の現像剤層から前記導電性板上にトナーを飛翔させて付
着させ、次にトナーの付着した導電性板をファラデーケ
ージに接続してトナーを吹き飛ばし、このとき飛ばされ
たトナーの電荷量と重量とを測定することにより求めら
れる。
【0067】トナーは、例えばスチレン系樹脂、ビニル
系樹脂、アクリル系樹脂、ポリアミド樹脂、シリコン樹
脂、ポリエステル樹脂、フッ素樹脂、エポキシ樹脂など
の樹脂にカーボンブラック又はカラー顔料やカラー染料
のような着色成分と荷電制御剤等をいれ、従来公知のト
ナー粒子製造方法と同様の方法によってつくることがで
きる。また、必要に応じて粒子の流動性を上げるための
流動化剤や感光体ドラム10面の清浄化の為のクリーニ
ング剤を混合することができる。流動化剤としては、コ
ロイダルシリカ、シリコンワニス、金属石鹸、非イオン
表面活性剤などを用いることができ、クリーニング剤と
しては脂肪酸金属塩、有機基置換シリコン、フッ素など
の表面活性剤を用いることができる。
【0068】またトナーとともに二成分現像剤50を構
成するキャリアには、鉄、クロム、ニッケル、コバル
ト、亜鉛、銅、などの金属、或いはそれらの化合物や合
金、たとえばγ−酸化第二鉄、二酸化クロム、酸化マン
ガン、フェライトといった強磁性体や常磁性体の球形化
された粒子、又はそれら磁性体粒子表面をスチレン系樹
脂、ビニル系樹脂、エチレン系樹脂、アクリル系樹脂、
ポリアミド樹脂、ポリエステルなどの樹脂で被覆する
か、磁性体微粒子を分散して含有した樹脂や脂肪酸ワッ
クスの球形粒子をつくるかして得られた粒子が用いられ
る。その平均粒径は70〔μm〕以下、好ましくは30
〜50〔μm〕程度のものが好適に用いられる。この平
均粒径はトナーの平均粒径と同様に求めた値である。
【0069】以下、本発明の具体的実施例を比較例と共
に示す。
【0070】(現像装置)図1の現像装置として、フル
カラー複写機「Konica9028」(コニカ社製)
用のイエロー(Y)、マゼンタ(M)、シアン(C)、
黒(K)の各現像剤を収容する4種類の現像装置のケー
シング49の両側板をそれぞれ改造して線状電極43を
張設したものを用い、及び比較基準用に線状電極の張設
をしないものを用いる。
【0071】(画像形成装置)図2の画像形成装置とし
て、フルカラー複写機「Konica9028」(コニ
カ社製)のイエロー(Y)、マゼンタ(M)、シアン
(C)、黒(K)の各現像装置の代わりに上記図1の現
像装置を現像装置40A、40B、40C及び40Dと
したものを用い、及び比較基準用に線状電極を張設しな
い現像装置を現像装置40A、40B、40C及び40
Dとしたものを用いる。各現像装置の現像ローラ41と
線状電極43に対してはそれぞれ直流成分と交流成分の
重畳電圧を印加するための電源51、52を設けてい
る。各現像装置の現像ローラ41及び線状電極43に現
像バイアスを印加するタイミングはそれぞれが現像する
静電潜像を形成する像露光の開始所定時間前から像露光
の終了所定時間後までとし、現像ローラ41の回転タイ
ミングも同一とした。
【0072】(実験例1)感光体ドラム10の半径90
mm、感光体ドラム10の矢印方向移動速度140mm
/sec、感光体ドラム10の帯電電位−800
〔V〕、書き込みレーザビーム直径62〔μm〕、静電
潜像低電位ドットの電位−50〔V〕、感光体ドラム4
0と現像ローラ41の最近接距離X00.70〔m
m〕、現像ローラ41の半径10〔mm〕、現像ローラ
41の矢印方向移動速度350〔mm/sec〕、現像
ローラ41に印加する直流電圧VDC2−700〔V〕、
現像ローラ41に印加する交流電圧VAC21000〔V
pp〕、現像ローラ41に印加する交流周波数f2
〔KHz〕、現像ローラ41に印加する交流波形矩形
波、トナーの平均粒径5.5〔μm〕、トナーの平均帯
電量−20〔μC/g〕、トナー濃度7.0〔wt
%〕、キャリアの平均粒径46〔μm〕、線状電極ない
状態での現像剤層の層厚h0.4〔mm〕として、線状
電極を張設しない現像装置を用いた場合と、線状電極を
張設した現像装置を用いた線状電極43の直径d0.0
96〔mm〕、線状電極43と現像ローラ41の間隙X
10.35〔mm〕、線状電極43と感光体ドラム10
の間隙X20.26〔mm〕、線状電極43に印加する
直流電圧VDC1−400〔V〕、線状電極43に印加す
る交流電圧VAC1500〔Vpp〕、線状電極43に印
加する交流波形矩形波であって、線状電極43に印加す
る交流周波数f1を0.8、4、12〔kHz〕の3種
類に変えた場合のそれぞれについて、均一低電位ドット
分布で低電位ドット面積比率74%と37%の静電潜像
を単色モードで現像して記録紙に転写して定着し、画像
記録による記録紙の重量増加から記録紙の画像記録部単
位面積当たりのトナー付着量M1とM2を求め、低電位ド
ット単位面積当たりのトナー付着量と背景白地部単位面
積当たりのトナー付着量の差に比例する(M1−M2)=
M(Mは低電位ドットのトナー付着量が多くて被りが少
ない程と大なる)の値を比較した。
【0073】その結果、線状電極の無い場合のMを1と
して、線状電極43に印加する交流周波数f1が0.8
〔kHz〕のMは1.01、f1が4〔kHz〕のMは
1.28、f1が12〔kHz〕のMは1.02であっ
た。即ち、0.1f2<f1<f2<3f1の条件を満足す
るとき、低電位ドットへのトナー付着量が多くて被りの
少ない鮮明な画像形成の行われることが分かった。
【0074】(実験例2)実験例1の線状電極を張設し
た現像装置を用いた場合の線状電極43に印加する交流
周波数f14〔kHz〕とし、線状電極43に印加する
直流電圧VDC1−350、−400、−700〔V〕の
3種類に変えた以外は、実験例1と同様に2種類の静電
潜像の現像、転写、定着を行って、Mの値を比較した。
【0075】その結果、線状電極の無い場合のMを1と
して、線状電極43に印加する直流電圧VDC1−350
〔V〕のMは1.02、VDC1−400〔V〕のMは
1.28、VDC1−700〔V〕のMは1.01であっ
た。即ち、VDC2/2≦VDC1<VDC2の条件を満足する
とき、低電位ドットへのトナー付着量が多くて被りの少
ない鮮明な画像形成の行われることが分かった。
【0076】(実験例3)実験例1の線状電極を張設し
た現像装置を用いた場合の線状電極43に印加する交流
周波数f14〔kHz〕とし、線状電極43と現像ロー
ラ41の間隙X1を0.30、0.35、0.41〔m
m〕、それらに伴って線状電極43と感光体ドラム10
の間隙X20.36、0.26、0.20〔mm〕の3
組の条件に変えた以外は、実験例1と同様に2種類の静
電潜像の現像、転写、定着を行って、Mの値を比較し
た。
【0077】その結果、線状電極の無い場合のMを1と
して、線状電極43と現像ローラ41の間隙X1が0.
30、線状電極43と感光体ドラム10の間隙X2
0.36のときのMは0.75、X1が0.35、X2
0.26のときのMは1.28、X1が0.41、X2
0.20のときのMは0.86であった。即ち、X1
2、X1+d≧h≧X1≧h/2の条件を満足すると
き、低電位ドットへのトナー付着量が多くて被りの少な
い鮮明な画像形成の行われることが分かった。
【0078】
【発明の効果】本発明の非接触反転の現像装置によれ
ば、トナー飛散による機内汚れや画像汚れを発生させず
に、十分な濃度で被りのない良好な現像を行い得、流動
性の悪い現像剤を用いたときでも現像濃度むらのない良
好な画像を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の現像装置の一例を示す断面図。
【図2】本発明の現像装置が用いられる画像形成装置の
一例を示す構成図。
【図3】線状電極設置前の現像作用範囲測定方法説明
図。
【符号の説明】
10 感光体ドラム(像形成体) 11 導電性基体 12 感光層 20 帯電手段 25 画像読み取り部 30 画像書き込み部 40A,40B,40C,40D 現像装置 41 現像ローラ(現像剤搬送体) 42 磁石体 43 線状電極 45 供給ローラ 46 規制棒 47 スクレーパ 48 撹拌ローラ 49 ケーシング 50 二成分現像剤 51,52 電源

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 像担持体と現像剤搬送体との間隙に線状
    電極を張設し、振動電界下で現像剤搬送体上の像担持体
    に非接触の現像剤層から像担持体の帯電と同極性に帯電
    したトナーを飛翔させて像担持体上の静電潜像に付着さ
    せる現像装置において、前記線状電極を1本として、該
    線状電極と前記現像剤搬送体にそれぞれ交流成分とトナ
    ーの帯電と同極性の直流成分の重畳電圧を印加し、少な
    くともそれら交流成分の周波数を変えることを特徴とす
    る現像装置。
  2. 【請求項2】 前記線状電極に印加する交流成分の周波
    数f1〔Hz〕、直流成分の電圧値VDC1〔V〕、前記現
    像剤搬送体に印加する交流成分の周波数f2〔Hz〕、
    直流成分の電圧値VDC2〔V〕として、0.1f2<f1
    <f2<3f1とVDC2/2≦VDC1<VDC2の条件を満足
    することを特徴とする請求項1に記載の現像装置。
  3. 【請求項3】 像担持体と現像剤搬送体との間隙に線状
    電極を張設し、振動電界下で現像剤搬送体上の像担持体
    に非接触の現像剤層から像担持体の帯電と同極性に帯電
    したトナーを飛翔させて像担持体上の静電潜像に付着さ
    せる現像装置において、前記線状電極を1本としてそれ
    に交流成分とトナーの帯電と同極性の直流成分の重畳電
    圧を印加し、該線状電極と前記現像剤搬送体の最近接距
    離をX1〔mm〕、前記線状電極と前記像担持体の最近
    接距離をX2〔mm〕、前記線状電極の直径をd〔m
    m〕、前記線状電極に対する現像剤搬送体表面の線状電
    極が無い状態での現像剤層の高さをh〔mm〕としたと
    き、 X1≧X2、X1+d≧h≧X1≧h/2 を満足するように前記線状電極を設置したことを特徴と
    する現像装置。
  4. 【請求項4】 前記像担持体と前記現像剤搬送体の最近
    接距離をX0〔mm〕、前記像担持体と前記現像剤搬送
    体の最近接位置の前記現像剤搬送体の曲率半径をr〔m
    m〕、前記像担持体と前記現像剤搬送体の最近接位置の
    前記現像剤搬送体の曲率中心と像担持体の曲率中心を結
    ぶ直線と前記線状電極の曲率中心と前記現像剤搬送体の
    曲率中心を結ぶ直線とが成す角度θ°を前記線状電極の
    曲率中心が前記現像剤搬送体の曲率中心と像担持体の曲
    率中心を結ぶ直線よりも現像剤搬送体による現像剤層移
    動の上流側あるとき+として、 【数1】 を満たすように前記線状電極を設置していることを特徴
    とする請求項1乃至請求項3の何れかの請求項に記載の
    現像装置。
  5. 【請求項5】 前記現像剤がトナーとキャリアの混合か
    ら成る二成分現像剤であり、トナーの平均粒径が10μ
    m以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項4の
    何れかの請求項に記載の現像装置。
JP7274286A 1995-10-23 1995-10-23 現像装置 Pending JPH09114233A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7274286A JPH09114233A (ja) 1995-10-23 1995-10-23 現像装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7274286A JPH09114233A (ja) 1995-10-23 1995-10-23 現像装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09114233A true JPH09114233A (ja) 1997-05-02

Family

ID=17539540

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7274286A Pending JPH09114233A (ja) 1995-10-23 1995-10-23 現像装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH09114233A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010012717A (ja) * 2008-07-04 2010-01-21 Ricoh Co Ltd 画像形成装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010012717A (ja) * 2008-07-04 2010-01-21 Ricoh Co Ltd 画像形成装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2853104B2 (ja) 画像形成装置
US7890029B2 (en) Image forming apparatus
US4822711A (en) Electrostatic image-developing process using a magnetic roller
US5701553A (en) Multi-color image forming apparatus having high developability without fogging and without mixing of colors
US6049687A (en) Developing apparatus
JPH06175485A (ja) 現像装置
JPH08286477A (ja) カラー画像記録方法
JP2000010336A (ja) 画像形成装置
JPH08110697A (ja) 現像装置および画像形成装置
JPH0950180A (ja) 現像装置
JPH06274039A (ja) 現像装置
JPH08202144A (ja) 現像装置
JPH0968863A (ja) 現像装置
JPH10319699A (ja) 現像装置ならびに画像形成装置
JPH11265121A (ja) カラー画像形成装置
JPH08314243A (ja) 現像装置
JP3099143B2 (ja) カラー画像形成装置
JP2000206794A (ja) 画像形成装置
JPH07209995A (ja) 現像装置
JP3674281B2 (ja) 現像装置
JPH08129296A (ja) 現像装置および画像形成装置
JPH117150A (ja) 画像形成方法および負帯電型非磁性トナー
JPH08220853A (ja) 現像装置
JP2000010386A (ja) 現像装置および画像形成装置
JPS6326669A (ja) 現像方法