JPH0911482A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 圧電体の表面に形成された導電層の一部を効
率よく除去することで、高密度に配列した圧電アクチュ
エータに対応した電極を高精度で且つ低コストに形成す
るインクジェットヘッドの製造方法を提示することを目
的とする。 【構成】 圧電体１の表面一面に形成された導電層から
なる電極９を超音波加工機２０を用いて独立した複数の
電極に分割する。具体的には、高周波数で振動する超音
波加工チップ１４を圧電セラミックス基盤１に接触させ
て高周波数で駆動させることにより、砥粒１６を打ち込
み、研削・研磨加工を行なう。結果、圧電側壁７の上端
に位置する表面電極１１を除去し、絶縁部を形成し、高
密度に配列した圧電アクチュエータに対応した複数の電
極を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットヘッド
の製造方法に関し、さらに詳細には、圧電体に溝を形成
し、前記圧電体の表面に電極を形成する製造工程を有す
るインクジェットヘッドの製造方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、これまでのインパクト方式の記録
装置にとってかわり、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト方式の記録装置の中で、原理が最も単純
で、かつ多階調化やカラー化が容易であるものとして、
インクジェット方式の記録装置が挙げられる。インクジ
ェットプリンタは高速印字、低騒音、高印字品質であ
り、且つ比較的簡易な構成で製造コストが低くできるな
どの利点があることから注目されている。

【０００３】インクジェットプリンタに用いられるイン
クジェットヘッドには複数の方式が提案されており、中
でも記録に使用するインク滴のみを噴射するドロップ・
オン・デマンド型が、噴射効率の良さ、ランニングコス
トの安さなどから急速に普及している。

【０００４】この種のインクジェットヘッドとしては、
特公昭５３−１２１３８号公報に開示されているカイザ
ー型、特公昭６１−５９９１４号公報に開示されている
サーマルジェット型、もしくは特開昭６３−２４７０５
１号公報、特公平６−６３７５号公報及び特開平２−１
５０３５５号公報に開示されているせん断モード型等が
ある。

【０００５】これらのうち、せん断モード型のインクジ
ェットヘッドはインク室の少なくとも一つの壁を圧電セ
ラミックスで構成し、その壁のせん断モードによる変形
によりインク室の容積を変化させている。そして、その
容積増大時にインク室内にインクを導入するようにし、
容積減少時にインク室内に圧力波を発生させインク滴を
ノズル部から吐出するようにしている。装置に入力され
る印字信号に基づいて、インク室から選択的にインクを
噴射させることにより、所望する文字や画像を形成する
ことが出来る。

【０００６】このような圧電式インクジェットヘッドの
製造方法の一例について、図５及び図６を用いて説明す
る。前記インクジェットヘッドは、圧電体である圧電セ
ラミックス基板５１に、ダイシング加工等によって、互
いに平行な溝加工がなされ、インク室５２が多数形成さ
れている。尚、図６（ａ）に示すように、インク室５２
を構成する圧電側壁５７は上部と下部とで分極方向５８
が異なるように形成されており、圧電側壁５７の表面に
は電極５９が形成されている。また、インク室５２の一
方の端には、ノズルプレート５３が接続され、前記ノズ
ルプレート５３にはノズル５４が形成されている。更
に、インク室５２が形成された圧電セラミックス基板５
１の上部には、インク供給口５５を有する上部蓋５６に
よって蓋がされており、インク室５２はインク供給口５
５を経て図示しないインク貯蔵タンクに接続している。
このような構成によって、インク室５２の断面形状は、
圧電側壁５７と上部蓋５６に囲まれた長方形を呈するこ
とになる。

【０００７】このような構成を有する従来のインクジェ
ットヘッドは、前記電極５９に電圧パルスを印加する
と、図６（ｂ）に示すように、圧電側壁５７が内側へせ
ん断変形し、インク室５２の内部を正圧として、インク
室５２の一端に接続されたノズルプレート５３上のノズ
ル５４からインク液滴が噴射される。

【０００８】電極５９への電圧パルスの印加を断ち切る
と、圧電側壁５７が、図６（ａ）に示す状態に復帰し、
その際の負圧にてインク室５２にインク供給口５５をよ
りインクが供給される。

【０００９】このような構成のインクジェットヘッドに
おいては、インク室５２が多数存在すると共に、インク
液滴を各々のインク室先端のノズル５４から選択的に噴
射する必要がある。このため、各インク室５２の圧電側
壁５７の表面に形成する電極５９は互いに電気的に独立
している必要がある。

【００１０】電極５９を形成するための方法としては、
真空蒸着、スパッタリング、或いはメッキ等の金属薄膜
形成手段を用いるのが一般的である。しかしながら、上
述のような手段によって、電気的に独立な電極を、効率
良く且つ安定的に形成するのは困難である。そこで、一
旦上述のような手段によって、圧電体の全表面に対して
電極を形成し、しかる後に電極の一部を除去することに
より、電気的に不連続な箇所を形成する方法が考えられ
ていた。

【００１１】ここで、このような工程を含んだ従来のイ
ンクジェットヘッドの製造方法として、特開平６−６４
１７７号公報に示される方法が知られている。

【００１２】この製造方法によれば、図７に示されるよ
うに、電極の形成が不要な部分に対して、予めレジスト
膜６０を塗布した後、電極５９を前述のような金属薄膜
形成手段で形成する。しかる後に溶剤内に浸積させるリ
フトオフ法によってレジスト膜６０を除去することで、
レジスト膜６０の表面に形成された電極を化学的に除去
するものである。

【００１３】また、その他に電極の除去には単純な機械
加工による研削や研磨がよく用いられていた。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のインクジェットヘッドの製造方法においては、下記
のような問題点がある。

【００１５】即ち、上述したような従来の製造方法で
は、圧電体の所定の位置に、レジスト膜を塗布などの方
法で事前に形成させておく必要があった。さらに、上記
のようなリフトオフ法の工程を製造ライン上に組み込む
ことにより、ライン生産の流れを阻害すると共に、製造
ラインの構成も複雑となっていた。

【００１６】さらに図８に示すように、圧電体が、異な
る分極方向を有する２枚の圧電体を接着剤で接着して構
成されているような場合、予め接着された接着部６１
に、リフトオフ法において用いられる溶剤が浸透し、接
着部６１の強度を低下させていた。そして、最悪の場
合、接着部６１においてインクジェットヘッドが破壊す
る虞があった。

【００１７】また、単純な機械的研削や研磨では圧電体
に過剰な力を与え易く、圧電体に加工歪みによるワレや
クラック、若しくは変形を発生させていた。そのため、
歩留まりが悪く、コストアップを招いていた。

【００１８】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、圧電体の表面に形成された電極
の一部を、ライン生産の生産性を損なうことなく、効率
よく除去することで、生産性の高いインクジェットヘッ
ドの製造方法を提示することを目的とする。

【００１９】さらに、その加工工程において圧電体に無
理な応力をかけて破損を招くことなく、また、２枚以上
の圧電体が予め接着剤で接着されているような場合にお
いても、接着部に対して影響を与えない電極除去を行う
ことで、圧電体の接着部の強度を損なわないような、歩
留まりのよいインクジェットヘッドの製造方法を提示す
ることを目的とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、インク
が充填されたインク液室と、前記インク液室を構成し、
且つ分極された圧電部で少なくとも一部が構成された側
壁と、前記圧電部に分極方向と略直交する駆動電界を発
生するために前記側壁に形成された駆動電極とを備えた
アクチュエータを有し、前記駆動電極より印加される電
界を受けて、圧電厚みすべり効果により前記側壁が変形
し、前記インク液室内のインクに圧力を与えてインクを
噴射するインクジェットヘッドを製造する方法であっ
て、少なくとも一部が厚み方向に分極された圧電材料か
らなる圧電体プレートに、厚み方向を深さとする溝部を
形成する第１の工程と、少なくとも前記溝部が形成され
た側の表面全体に導電性膜を形成する第２の工程と、前
記側壁の上端部に形成された導電性膜を超音波砥粒加工
により除去し、前記導電性膜を溝部毎に独立した電極に
分割する第３の工程と前記溝部の開口部を覆うように、
前記圧電体プレートの上層にカバープレートを接着する
第４の工程とを有する。

【００２１】尚、前記圧電体プレートは、厚み方向に分
極され、且つ互いに相反する分極方向を有する圧電材料
からなる少なくとも２枚のシートを重ねて一体化した積
層体であり、前記第１の工程において、積層方向を深さ
とし、下層に位置するシートにまでおよぶ溝部が形成さ
れるものでもよい。

【００２２】尚、前記超音波砥粒加工は、砥粒として炭
化珪素、窒化崩素、又はアルミナ、あるいはそれらの混
合物を用いるものでもよい。

【００２３】

【作用】上記の構成を有する本発明の請求項１に係るイ
ンクジェットヘッドの製造方法によれば、先ず、少なく
とも一部が厚み方向に分極された圧電材料からなる圧電
体プレートに、インク室として厚み方向を深さとする溝
部が形成され、少なくとも前記溝部が形成された側の表
面全体に導電性膜が形成される。そして、前記圧電プレ
ートの表面に形成された導伝性膜の一部を超音波加工に
よって除去することにより、圧電体の表面において電気
的に不連続な箇所を形成し、インク室毎に独立した電極
が寸法精度良く形成される。よって、加工工程数を少な
く、且つ簡易な設備で加工することが出来、ライン生産
の生産性を損なうことない。また、この加工の際には、
リフトオフ法のように溶剤を用いたりしないため、接着
部の強度に悪影響を及ぼさない。

【００２４】また、圧電体プレートの上層にはカバープ
レートが接着されるが、超音波加工がなされた接合面は
滑らかな表面に加工されるため、前記カバープレートと
確実に密着し、各々のインク室は互いに充分な気密性が
備えられる。

【００２５】また、超音波砥粒加工は、工具先端の形状
を代えるだけで自由な加工を容易に施すことができる。
よって、あらゆる形状の電極パターンを形成可能とな
る。更に、超音波砥粒加工は被加工物に大きな加工歪み
を与えないため、製造時にアクチュエータ部を折損させ
ることはない。

【００２６】請求項２に係るインクジェットヘッドの製
造方法によれば、前記圧電体プレートが、少なくとも２
個の圧電シートを接着して形成されており、上部と下部
とで異なる分極特性を有する側壁を備えたアクチュエー
タが容易に形成される。また、この側壁を備えたアクチ
ュエータは変形効率がよくなる。

【００２７】請求項３に係るインクジェットヘッドの製
造方法においては、扱いの容易な炭化珪素、窒化崩素、
又はアルミナ、あるいはそれらの混合物を砥粒として用
いる。

【００２８】

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して詳細に説明する。

【００２９】最初に、図１及び図２を参照して、本発明
のインクジェットヘッドの構成ならびに製造方法の一例
を説明する。

【００３０】ＰＺＴ系（チタン酸ジルコン酸鉛）の圧電
体である圧電セラミックス基板１には、互いに平行に配
列されたインク室２が多数溝加工により形成されてい
る。インク室２の一方の端には、ノズルプレート３が接
続されている。ノズルプレート３には、各々のインク室
２に対応して、インク滴を吐出するためのノズル４が形
成されている。また、インク室２が形成された圧電セラ
ミックス基板１の上部は、各インク室２に適宜インクを
供給するインク供給口５を有する上部蓋６によって蓋を
されている。インク室２は、インク供給口５を経て、図
示しないインク貯蔵タンクに接続している。

【００３１】このような構成によって、インク室２の断
面形状は、圧電側壁７と上部蓋６に囲まれた長方形を呈
することになる。また、圧電セラミックス基板１は、予
め分極方向が異なる２枚の基板を接着剤で接着してあ
る。従って、圧電側壁７は接着部１０を介して分極方向
８が異なる２個の圧電側壁により形成されている。ま
た、各圧電側壁７の両側面及び溝部の底面には複数の電
極９が形成されている。

【００３２】上述の構成は、以下の製造方法によって形
成される。

【００３３】厚み方向に分極された２枚の圧電セラミッ
クス基板１を、その分極方向が互いに相反するように積
層し、接着剤で接着した後、所定の厚みを有するダイヤ
モンドブレードを使用してダイシング加工を施すことに
より、圧電セラミックス基板１の片面上に一定のピッチ
で溝加工されたインク室２を多数形成する。

【００３４】次に、真空蒸着、スパッタリング、或いは
メッキ等の金属薄膜形成手段によって、圧電セラミック
ス基板１の表面全面に電極９を形成する。この際、圧電
側壁７の表面にも電極９が形成される。

【００３５】次に、電極９のうちインク室２の溝の形成
された側の片面において、圧電側壁７の上端に形成され
た表面電極１１に対して超音波加工を施し、前記表面電
極１１のみを除去する。

【００３６】一般に超音波砥粒加工を行なう超音波加工
機は、振動子部、加圧機構、超音波発振器、砥粒循環シ
ステムなどから構成されている。図３に本実施例の超音
波加工機２０の概要を示す。振動子部は、発振器からの
高周波電力を受けて振動する振動子と、振動子に発生し
た振動振幅を拡大するコーン及び超音波加工ホーン１３
からなり、超音波加工ホーン１３端には加工内容に見合
った形状を有する超音波加工チップ１４が接続されてい
る。超音波砥粒加工は、振動系に組み込まれたこの超音
波加工チップ１４により、水に懸濁した遊離砥粒を被加
工物に打ち込み、衝撃破砕する加工法である。そして、
超音波加工チップ１４の輪郭形状がそのまま被加工物に
転写加工される。

【００３７】以下、図１及び図３を参照して、本発明の
インクジェットヘッドの製造方法における電極除去の一
例を詳述する。

【００３８】被加工物である圧電セラミックス基板１
は、図に示すようにテーブル１２に装着され、超音波加
工ホーン１３の下方に配置されている。本実施例の超音
波加工ホーン１３の先端には、平板状のブレード形状を
有する超音波加工チップ１４が接続されている。超音波
加工ホーン１３には、２０ｋＨｚ程度の高周波を発振す
る超音波発振器１５が接続されている。

【００３９】圧電セラミックス基板１に超音波加工ホー
ン１３を接触させ、所定の荷重（数百ｇ程度の荷重）を
付加した後、超音波発振器１５によって超音波加工ホー
ン１３を振動させる。この振動は超音波加工チップ１４
を介して、被加工物である圧電セラミックス基板１に伝
達される。この時、加工部に対して、１０μｍ程度の粒
径のアルミナセラミックスなどからなる砥粒１６と水を
混合したものを供給させながら、周波数で超音波加工ホ
ーン１３を駆動する。その結果、超音波加工チップ１４
が砥粒１６を衝撃して、その衝撃エネルギーによって加
工部の表面電極１１を除去する。

【００４０】以上の加工により、電極９のうち、超音波
加工チップ１４と接触している表面電極１１のみが圧電
セラミックス基板１の表面より除去され、圧電セラミッ
クス基板１上の電極９に絶縁部を形成することができ
る。

【００４１】超音波砥粒加工は、工具の回転や工具・被
加工物間の大きな相対運動を必要としない加工方法であ
り、次のような特徴を有している。（１）加工部は砥粒
により研磨されるので、滑らかな加工面を有する寸法精
度のよいアクチュエータ部を形成できる。（２）超音波
砥粒加工は、工具先端の形状を代えるだけで自由な加工
を容易に施すことができる。よって、あらゆる形状の電
極パターンを形成可能とする。尚、本実施例のように複
数の圧電側壁７の上部を同時に加工出来るように広域に
広がった平板状の刃先を超音波加工ホーン１３先端に備
えさせれば、加工に係る工数を低減させることも可能と
なる。（３）超音波砥粒加工は被加工物に大きな加工歪
みを与えないため、製造時に圧電セラミックス基板１に
ワレやクラック等の折損や歪みを発生させることはな
い。よって、工具形状さえ許せば、超音波砥粒加工は、
高密度、高精度の加工を行なうことができる。

【００４２】尚、超音波砥粒加工は、上述した実施例に
限定されるものではなく、被加工物の材質や加工形状、
求められる加工精度および加工速度に応じて、種々の加
工環境の変更を加えて実施されるべきものである。例え
ば、加工用の砥粒はアルミナセラミックス以外にも窒化
崩素や炭化硅素、あるいはそれらの混合物を用いても、
同様に加工することができる。一般に、超音波砥粒加工
に用いられる砥粒の粒径は５０μｍであるが、本実施例
のようにインクジェットヘッドに用いられる高密度圧電
アクチュエータを加工するような場合には、１０μｍ程
度の砥粒を用いて高精度に加工するのが好ましい。但
し、その分粒径の大きいものと比較して加工速度は低下
する。また、振動周波数は十数ｋＨｚから２０ｋＨｚ程
度の範囲でよく用いられる。また、被加工物の加工面に
与える加工圧は１０〜１００ｇ／ｍｍ² が圧電セラミッ
クス上の電極加工には適している。

【００４３】以上のようにして電極９の分離がなされた
圧電セラミックス基盤の上面には、インク室２の溝の開
口部を塞ぐように、インク供給口５が形成された樹脂製
の上部蓋６が接着される。このようにしてインクジェッ
トヘッドが作成される。尚、超音波加工がなされた接合
面は滑らかな表面に加工されるため、前記上部蓋６と確
実に密着し、各々のインク室２は互いに充分な気密性が
備えられている。

【００４４】次に、図４に示す圧電式インクジェットヘ
ッドの一部の断面図を用いて、該インクジェットヘッド
のインク噴射の動作を説明する。

【００４５】インクジェットヘッドにおいて、与えられ
た印字データに従って、例えばインク室２ｂが選択され
ると、金属電極９ａ，９ｃに正の駆動電圧が印加され、
金属電極９ｂ及びその他のインク室に対応する金属電極
は接地される。これにより圧電側壁７ａには図中右方向
へ向かう駆動電界が、側壁７ｂには図中左方向へ向かう
駆動電界が発生する。このとき各々の駆動電界方向と圧
電セラミックスプレートの分極方向８とが直交している
ため、側壁７ａ及び７ｂは圧電厚みすべり効果によっ
て、圧電セラミックスプレートの接合部で屈曲するよう
にインク室２ｂの内部方向に急速に変形する（図４
（ｂ）参照）。

【００４６】これらの変形によりインク室２ｂの容積が
減少してインク室２ｂのインク圧力が急速に増大し、圧
力波が発生して、インク室２ｂに連通するノズル（図示
しない）からインク液滴が噴射される。

【００４７】また、駆動電圧の印加を停止すると、側壁
７ａ及び７ｂが変形前の位置（図４（ａ）参照）に戻る
ため、インク室２ｂ内のインク圧力が低下し、インク供
給口５からマニホールドを通してインク室２ｂ内にイン
クが供給される。

【００４８】但し、上記の動作は基本動作に過ぎず、製
品として具体化される場合には、まず駆動電圧を容積が
増加する方向に印加し、先にインク室２ｂにインクを供
給させた後に駆動電圧の印加を停止して、側壁７ａ，７
ｂを変形前の位置（図４（ａ）参照）に戻してインク液
滴を噴射させることもある。さらにインク液滴噴射後に
インク室内の圧力波を減衰させるためにキャンセルパル
スと呼ばれる駆動電圧パターンをしかるべき時間の後に
付随させることもある。

【００４９】このような構成のインクジェットヘッドで
は、隣接する２つのインク室２に連通する２つのノズル
から同時にインク液滴を噴射することができないため、
例えば、左端から奇数番目のインク室２ａ，２ｃに連通
するノズルからインク液滴を噴射した後、偶数番目のイ
ンク室２ｂに連通するノズルからインク液滴を噴射し、
次に再び奇数番目からインク液滴を噴射するというよう
に、インク室２及びノズルを２つのグループに分割して
インク液滴の噴射を行う。さらに、インク室２及びノズ
ルを３つ以上のグループに分割してインク液滴の噴射を
行うこともある。

【００５０】このように、本実施例の圧電式インクジェ
ットプリンタの製造方法においては、上記の通り超音波
砥粒加工により容易に且つ精密にインク室２に対応した
電極９を分割形成する。超音波砥粒加工は、超音波の振
幅や周波数を適切に制御することにより、圧電セラミッ
クス基板１への衝撃の影響を最低限かつ局部的にするこ
とが可能であり、圧電セラミックス基板１の特性に及ぼ
す影響は無視できる。また、前述の接着部１０への影響
も無い。

【００５１】尚、本発明は、上述した実施例に限定され
るものでなく、その主旨を逸脱しない範囲に於て種々の
変更を加えることが出来る。

【００５２】例えば、上記実施例では、圧電セラミック
ス基板１は分極方向が異なる２枚の基板から構成されて
いたが、従来例のような１枚の基板よりなるものでもよ
い。尚、１枚の基板よりなり、且つ一方向の分極特性の
み有する場合には、弾性率の低い素材よりなるシートを
カバープレート６と圧電セラミックス基板１との間にを
接合させる、或は、カバープレート６自体を弾性率の低
い素材に変えて接合させて、側壁７の駆動に追従して変
形可能とし、各インク室２の容積変化が充分なされるよ
うにする必要がある。

【００５３】逆に、圧電セラミックス基板１は３枚以上
の基板を接着して構成したものであってもよい。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように本発
明のインクジェットヘッドの製造方法によれば、圧電体
の表面に形成された電極の一部に対して、超音波加工を
施すことにより、従来のリフトオフ法のようにレジスト
膜を事前に塗布する必要がなくなる他、ライン生産の生
産性を損なうことなく電極を除去することができる。ま
た、超音波砥粒加工は、工具先端の形状を代えるだけで
自由な加工を容易に施すことができる。よって、あらゆ
る形状の電極パターンを形成する事も可能である。

【００５５】更に、超音波砥粒加工は被加工物に大きな
加工歪みを与えないため、製造時にアクチュエータ部を
折損させることはない。２枚以上の圧電体が接着剤で接
着されているような場合には、従来のリフトオフ法を用
いると、溶剤の浸透によって接着部の強度の低下が懸念
されていたが、本発明の製造方法によれば溶剤等を使用
しないため、接着部への影響はない。

【００５６】また、圧電体プレートの上層にはカバープ
レートが接着されるが、超音波加工がなされた接合面は
滑らかな表面に加工されるため、前記カバープレートと
確実に密着し、各々のインク室は互いに充分な気密性が
備えられる。よって、高精度で且つ高密度に配列された
電極を形成することが可能となり、印字品質及び信頼性
の高い小型のヘッドを提供することが可能となる。

【００５７】以上のように本発明は、精度が高く且つ生
産性の高いインクジェットヘッドの製造方法を提供する
ことができるといった産業上著しい効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるインクジェットヘッド
の製造方法を示す断面図である。

【図２】本発明の一実施例であるインクジェットヘッド
の部品斜視図である。

【図３】本発明の一実施例であるインクジェットヘッド
の製造方法を示す概略図である。

【図４】前記実施例のインクジェットヘッドの一部を示
す断面図である。

【図５】従来のインクジェットヘッドを示す斜視図であ
る。

【図６】従来のインクジェットヘッドの一部を示す断面
図である。

【図７】従来のインクジェットヘッドの製造方法を示す
説明図である。

【図８】従来のインクジェットヘッドの製造方法におけ
る部品断面図である。

【符号の説明】

１ 圧電セラミックス基板 ２ インク室 ３ ノズルプレート ４ ノズル ７ 圧電側壁 ９ 電極 １０ 接着部 １１ 表面電極 １３ 超音波加工ホーン １４ 超音波加工チップ １５ 超音波発振器 １６ 砥粒 ２０ 超音波砥粒加工機

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクが充填されたインク液室と、前記
   インク液室を構成し、且つ分極された圧電部で少なくと
   も一部が構成された側壁と、前記圧電部に分極方向と略
   直交する駆動電界を発生するために前記側壁に形成され
   た駆動電極とを備えたアクチュエータを有し、前記駆動
   電極より印加される電界を受けて、圧電厚みすべり効果
   により前記側壁が変形し、前記インク液室内のインクに
   圧力を与えてインクを噴射するインクジェットヘッドの
   製造方法であって、 少なくとも一部が厚み方向に分極された圧電材料からな
   る圧電体プレートに、厚み方向を深さとする溝部を形成
   する第１の工程と、 少なくとも前記溝部が形成された側の表面全体に導電性
   膜を形成する第２の工程と、 前記側壁の上端部に形成された導電性膜を超音波砥粒加
   工により除去し、前記導電性膜を溝部毎に独立した電極
   に分割する第３の工程と、 前記溝部の開口部を覆うように、前記圧電体プレートの
   上層にカバープレートを接着する第４の工程とを有する
   ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 前記圧電体プレートは、 厚み方向に分極され、且つ互いに相反する分極方向を有
   する圧電材料からなる少なくとも２枚のシートを重ねて
   一体化した積層体であり、前記第１の工程において、積
   層方向を深さとし、下層に位置するシートにまでおよぶ
   溝部が形成されることを特徴とする請求項１記載のイン
   クジェットヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 前記超音波砥粒加工は、砥粒として炭化
   珪素、窒化崩素、又はアルミナ、あるいはそれらの混合
   物を用いることを特徴とする請求項１に記載の積層型圧
   電素子の製造方法。