JPH0911481A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 圧電体の表面に形成された導電層の一部を効
率よく除去することで、高密度に配列した圧電アクチュ
エータに対応した電極を高精度で且つ低コストに形成す
るインクジェットヘッドの製造方法を提示することを目
的とする。 【構成】 圧電体１の表面一面に形成された導電層から
なる電極９を放電加工を用いて独立した複数の電極に分
割する。具体的には、銅製の放電電極１３を圧電セラミ
ックス基盤１の上方に配置させて低電圧・高電流のエネ
ルギーパルスで駆動させることにより、放電現象を生じ
させ、電極９の一部を蒸発除去させる。結果、圧電側壁
７の上端に位置する表面電極１１を除去し、絶縁部を形
成し、高密度に配列した圧電アクチュエータに対応した
複数の電極を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットヘッド
の製造方法に関し、さらに詳細には、圧電体に溝を形成
し、前記圧電体の表面に電極を形成する製造工程を有す
るインクジェットヘッドの製造方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、これまでのインパクト方式の記録
装置にとってかわり、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト方式の記録装置の中で、原理が最も単純
で、かつ多階調化やカラー化が容易であるものとして、
インクジェット方式の記録装置が挙げられる。インクジ
ェットプリンタは高速印字、低騒音、高印字品質であ
り、且つ比較的簡易な構成で製造コストが低くできるな
どの利点があることから注目されている。

【０００３】インクジェットプリンタに用いられるイン
クジェットヘッドには複数の方式が提案されており、中
でも記録に使用するインク滴のみを噴射するドロップ・
オン・デマンド型が、噴射効率の良さ、ランニングコス
トの安さなどから急速に普及している。

【０００４】この種のインクジェットヘッドとしては、
特公昭５３−１２１３８号公報に開示されているカイザ
ー型、特公昭６１−５９９１４号公報に開示されている
サーマルジェット型、もしくは特開昭６３−２４７０５
１号公報、特公平６−６３７５号公報及び特開平２−１
５０３５５号公報に開示されているせん断モード型等が
ある。

【０００５】これらのうち、せん断モード型のインクジ
ェットヘッドはインク室の少なくとも一つの壁を圧電セ
ラミックスで構成し、その壁のせん断モードによる変形
によりインク室の容積を変化させている。そして、その
容積増大時にインク室内にインクを導入するようにし、
容積減少時にインク室内に圧力波を発生させインク滴を
ノズル部から吐出するようにしている。装置に入力され
る印字信号に基づいて、インク室から選択的にインクを
噴射させることにより、所望する文字や画像を形成する
ことが出来る。

【０００６】このような圧電式インクジェットヘッドの
製造方法の一例について、図６及び図７を用いて説明す
る。前記インクジェットヘッドは、圧電体である圧電セ
ラミックス基板５１に、ダイシング加工等によって互い
に平行な溝加工がなされ、インク室５２が多数形成され
ている。尚、図７（ａ）に示すように、インク室５２を
構成する圧電側壁５７は上部と下部とで分極方向５８が
異なるように形成されており、圧電側壁５７の表面には
電極５９が形成されている。また、インク室５２の一方
の端には、ノズルプレート５３が接続され、前記ノズル
プレート５３にはノズル５４が形成されている。更に、
インク室５２が形成された圧電セラミックス基板５１の
上部には、インク供給口５５を有する上部蓋５６によっ
て蓋がされており、インク室５２はインク供給口５５を
経て図示しないインク貯蔵タンクに接続している。この
ような構成によって、インク室５２の断面形状は、圧電
側壁５７と上部蓋５６に囲まれた長方形を呈することに
なる。

【０００７】このような構成を有する従来のインクジェ
ットヘッドは、前記電極５９に電圧パルスを印加する
と、図７（ｂ）に示すように、圧電側壁５７が内側へせ
ん断変形し、インク室５２の内部を正圧として、インク
室５２の一端に接続されたノズルプレート５３上のノズ
ル５４からインク液滴が噴射される。

【０００８】電極５９への電圧パルスの印加を断ち切る
と、圧電側壁５７が、図７（ａ）に示す状態に復帰し、
その際の負圧にてインク室５２にインク供給口５５をよ
りインクが供給される。

【０００９】このような構成のインクジェットヘッドに
おいては、インク室５２が多数存在すると共に、インク
液滴を各々のインク室先端のノズル５４から選択的に噴
射する必要がある。このため、各インク室５２の圧電側
壁５７の表面に形成する電極５９は互いに電気的に独立
している必要がある。

【００１０】電極５９を形成するための方法としては、
真空蒸着、スパッタリング、或いはメッキ等の金属薄膜
形成手段を用いるのが一般的である。しかしながら、上
述のような手段によって、電気的に独立な電極を、効率
良く且つ安定的に形成するのは困難である。そこで、一
旦上述のような手段によって、圧電体の全表面に対して
電極を形成し、しかる後に電極の一部を除去することに
より、電気的に不連続な箇所を形成する方法が考えられ
ていた。

【００１１】ここで、このような工程を含んだ従来のイ
ンクジェットヘッドの製造方法として、特開平６−６４
１７７号公報に示される方法が知られている。

【００１２】この製造方法によれば、図８に示されるよ
うに、電極の形成が不要な部分に対して、予めレジスト
膜６０を塗布した後、電極５９を前述のような金属薄膜
形成手段で形成する。しかる後に溶剤内に浸積させるリ
フトオフ法によってレジスト膜６０を除去することで、
レジスト膜６０の表面に形成された電極を化学的に除去
するものである。

【００１３】また、その他に電極の除去には単純な機械
加工による研削や研磨がよく用いられていた。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のインクジェットヘッドの製造方法においては、下記
のような問題点がある。

【００１５】即ち、上述したような従来の製造方法で
は、圧電体の所定の位置に、レジスト膜を塗布などの方
法で事前に形成させておく必要があった。さらに、上記
のようなリフトオフ法の工程を製造ライン上に組み込む
ことにより、ライン生産の流れを阻害すると共に、製造
ラインの構成も複雑となっていた。

【００１６】さらに図９に示すように、圧電体が、異な
る分極方向を有する２枚の圧電体を接着剤で接着して構
成されているような場合、予め接着された接着部６１
に、リフトオフ法において用いられる溶剤が浸透し、接
着部６１の強度を低下させていた。そして、最悪の場
合、接着部６１においてインクジェットヘッドが破壊す
る虞があった。

【００１７】また、単純な機械的研削や研磨では圧電体
に過剰な力を与え易く、圧電体に加工歪みによるワレや
クラック、若しくは変形を発生させていた。そのため、
歩留まりが悪く、コストアップを招いていた。

【００１８】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、圧電体の表面に形成された電極
の一部を、ライン生産の生産性を損なうことなく、効率
よく除去することで、生産性の高いインクジェットヘッ
ドの製造方法を提示することを目的とする。

【００１９】さらに、その加工工程において圧電体に無
理な応力をかけて破損を招くことなく、また、２枚以上
の圧電体が予め接着剤で接着されているような場合にお
いても、接着部に対して影響を与えない電極除去を行う
ことで、圧電体の接着部の強度を損なわないような、歩
留まりのよいインクジェットヘッドの製造方法を提示す
ることを目的とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、インク
が充填されたインク液室と、前記インク液室を構成し、
且つ分極された圧電部で少なくとも一部が構成された側
壁と、前記圧電部に分極方向と略直交する駆動電界を発
生するために前記側壁に形成された駆動電極とを備えた
アクチュエータを有し、前記駆動電極より印加される電
界を受けて、圧電厚みすべり効果により前記側壁が変形
し、前記インク液室内のインクに圧力を与えてインクを
噴射するインクジェットヘッドを作製する手法であっ
て、少なくとも一部が厚み方向に分極された圧電材料か
らなる圧電体プレートに、厚み方向を深さとする溝部を
形成する第１の工程と、前記溝部が形成された側の表面
全体に導電性膜を形成する第２の工程と、前記側壁の上
端部に形成された導電性膜を放電加工により除去し、前
記導電性膜を溝部毎に独立した電極に分割する第３の工
程と、前記溝部の開口部を覆うように、前記圧電体プレ
ートの上層にカバープレートを接着する第４の工程とを
有する。

【００２１】尚、前記圧電体プレートは、厚み方向に分
極され、且つ互いに相反する分極方向を有する圧電材料
からなる少なくとも２枚のシートを重ねて一体化した積
層体であり、前記第１の工程において、積層方向を深さ
とし、下層に位置するシートにまでおよぶ溝部が形成さ
れてもよい。

【００２２】尚、前記放電加工は、放電ワイヤーを前記
圧電体プレートの溝部が形成された側に近接して配置
し、放電ワイヤを前記圧電体プレート上で相対的に走査
させながら、前記導電性膜と前記放電ワイヤとの間に所
定のパルス電圧を印加させることにより行なってもよ
い。

【００２３】尚、前記放電加工は、端面が平板状の放電
電極を前記圧電体プレートの溝部が形成された側の上部
に配置し、前記導電性膜と前記放電電極との間に所定の
パルス電圧を印加させることにより行なってもよい。

【００２４】尚、前記放電加工は、加工液の満たされた
加工槽内で行なわれ、前記加工槽では、常に前記加工液
の温度が少なくとも前記圧電材料のキュリー温度以下に
なるように温度制御がなされていてもよい。

【００２５】

【作用】上記の構成を有する本発明の請求項１に係るイ
ンクジェットヘッドの製造方法によれば、先ず、少なく
とも一部が厚み方向に分極された圧電材料からなる圧電
体プレートに、インク室として厚み方向を深さとする溝
部が形成され、前記溝部が形成された側の表面全体に導
電性膜が形成される。そして、前記圧電プレートの表面
に形成された導伝性膜の一部を放電加工によって除去す
ることにより、圧電体の表面において電気的に不連続な
箇所を形成し、インク室毎に独立した電極が寸法精度良
く形成される。よって、加工工程数を少なく、且つ簡易
な設備で加工することが出来、ライン生産の生産性を損
なうことない。また、この加工の際には、リフトオフ法
のように溶剤を用いたりしないため、接着部の強度に悪
影響を及ぼさない。

【００２６】更に、放電加工は被加工物に大きな加工歪
みを与えないため、製造時にアクチュエータ部を折損さ
せることはない。

【００２７】請求項２に係るインクジェットヘッドの製
造方法によれば、前記圧電体プレートが、少なくとも２
個の圧電シートを接着して形成されており、上部と下部
とで異なる分極特性を有する側壁を備えたアクチュエー
タが容易に形成される。また、この側壁を備えたアクチ
ュエータは変形効率がよくなる。

【００２８】請求項３に係るインクジェットヘッドの製
造方法においては、放電ワイヤーを前記圧電体プレート
の溝部が形成された側に近接して配置し、放電ワイヤを
前記圧電体プレート上で相対的に走査させながら、前記
導電性膜と前記放電ワイヤとの間に所定のパルス電圧を
印加させることにより、導電性膜の除去が行なわれる。
また、放電ワイヤの走査経路を制御することで、所定の
パターンを有する精密な電極の形成を行なうことが可能
となる。

【００２９】請求項４に係るインクジェットヘッドの製
造方法においては、端面が平板状の放電電極を前記圧電
体プレートの溝部が形成された側の上部に配置し、前記
導電性膜と前記放電電極との間に所定のパルス電圧を印
加させることにより、導電性膜の除去が行なわれる。複
数の側壁の上部を覆う放電電極により、側壁の上端部に
形成された導電性膜を一度に複数除去される。よって、
作業効率が向上し、生産性がよい。

【００３０】請求項５に係るインクジェットヘッドの製
造方法においては、加工槽内がキュリー温度を越えない
ような温度制御がなされるため、加工中に圧電素子の分
極特性が損なわれることがない。

【００３１】

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して詳細に説明する。

【００３２】最初に、図１及び図２を参照して、本発明
のインクジェットヘッドの構成ならびに製造方法の一例
を説明する。

【００３３】ＰＺＴ系（チタン酸ジルコン酸鉛）の圧電
体である圧電セラミックス基板１には、互いに平行に配
列されたインク室２が多数溝加工により形成されてい
る。インク室２の一方の端には、ノズルプレート３が接
続されている。ノズルプレート３には、各々のインク室
２に対応して、インク滴を吐出するためのノズル４が形
成されている。また、インク室２が形成された圧電セラ
ミックス基板１の上部は、各インク室２に適宜インクを
供給するインク供給口５を有する上部蓋６によって蓋を
されている。インク室２は、インク供給口５を経て、図
示しないインク貯蔵タンクに接続している。

【００３４】このような構成によって、インク室２の断
面形状は、圧電側壁７と上部蓋６に囲まれた長方形を呈
することになる。また、圧電セラミックス基板１は、予
め分極方向が異なる２枚の基板を接着剤で接着してあ
る。従って、圧電側壁７は接着部１０を介して分極方向
８が異なる２個の圧電側壁により形成されている。ま
た、各圧電側壁７の両側面及び溝部の底面には複数の電
極９が形成されている。

【００３５】上述の構成は、以下の製造方法によって形
成される。

【００３６】厚み方向に分極された２枚の圧電セラミッ
クス基板１を、その分極方向が互いに相反するように積
層し、接着剤で接着した後、所定の厚みを有するダイヤ
モンドブレードを使用してダイシング加工を施すことに
より、圧電セラミックス基板１の片面上に一定のピッチ
で溝加工されたインク室２を多数形成する。

【００３７】次に、真空蒸着、スパッタリング、或いは
メッキ等の金属薄膜形成手段によって、圧電セラミック
ス基板１の表面全面に電極９を形成する。この際、圧電
側壁７の表面にも電極９が形成される。

【００３８】次に、電極９のうちインク室２の溝の形成
された側の片面において、圧電側壁７の上端に形成され
た表面電極１１に対して放電加工を施し、前記表面電極
１１のみを除去する。

【００３９】放電加工は、一般に白燈油等の絶縁液中で
工具と被加工物とをそれぞれ電極とし、その間で火花放
電を繰り返し行なわせ、放電により加工物表面を微少量
ずつ除去して加工を行なう方法である。このような加工
に用いられる放電加工機は、前後、左右に移動できる基
台と、その上に装着された加工槽と、前記加工槽内に備
え付けられた被加工物を取り付ける為のテーブルと、電
極を備えた工具、パルス発生用電源装置等からなる。
尚、加工槽には前出の白燈油等の加工液が満たされてい
る。

【００４０】工具は任意に上下に移動可能に取り付けら
れており、その位置制御は電極間げき即ち放電間げきを
一定に保つようにサーボモータやマグネットサーボ、或
は油圧により制御することにより行なわれる。また、工
具に備えられる電極の材質としては加工目的に応じて、
黄銅、銅、炭素、銀−タングステン焼結物等が用いられ
る。

【００４１】以下、図１及び図３を参照して、本発明の
インクジェットヘッドの製造方法における電極除去の一
例を詳述する。

【００４２】被加工物である圧電セラミックス基板１
は、図３に示すように、通電可能なテーブル１２に装着
され、銅製の放電電極１３の下方に配置されている。こ
れらの構成は、白燈油からなる加工液１４の入った加工
槽１５の内部に配置される。放電電極１３及びテーブル
１２はパルス電源装置１６に接続されている。

【００４３】圧電セラミックス基板１に放電電極１３を
近接させ、パルス電源装置１６によって放電電極１３と
テーブル１２の間にパルス電圧を付加する。テーブル１
２と圧電セラミックス基板１上に形成された電極９は電
気的に導通しているため、放電電極１３と圧電セラミッ
クス基板１上に形成された電極９、特に、放電電極１３
に近接している表面電極１１との間に放電現象が生じ
る。この結果、圧電セラミックス基板１上の電極９のう
ち、表面電極１１のみが放電加工作用によって除去され
るものである。

【００４４】以上の加工により、電極９のうち、表面電
極１１のみが圧電セラミックス基板１の表面より除去さ
れ、圧電セラミックス基板１上の電極９に絶縁部を形成
することができる。

【００４５】尚、放電電極１３と表面電極１１との間に
生じた放電のエネルギーのほとんどは、熱に変化する。
そのため、上記加工により、両電極間や圧電セラミック
ス基板１を取り巻く環境温度が上昇する。圧電素子の分
極特性は熱に左右され易く、特にキュリー温度を越える
温度環境下では分極特性が失われかねない。よって、圧
電セラミックス基板１の分極特性を保持するために、加
工槽１５内の温度（加工液１４の温度）を制御してやる
ことが得策である。そのためには、加工槽１５に放熱容
量の大きいヒートシンクを備え付けたり、クーラーを備
え付けてもよい。そうして、少なくとも圧電セラミック
ス基板１のキュリー温度以下に加工液の温度が保たれる
ようにすればよい。

【００４６】また、加工液１４の温度が局所的に高温に
なって、圧電セラミックス基板１に悪影響を与えないよ
うに、加工槽１５内の加工液１４を強制的に循環させる
機構を備え付けてもよい。

【００４７】放電加工は、工具の回転や工具・被加工物
間の大きな相対運動を必要としない加工方法であり、次
のような特徴を有している。（１）短時間で確実に電極
を除去することが出来、生産性がよい。尚、本実施例の
ように複数の圧電側壁７の上部を同時に加工出来るよう
に広域に広がった平板状の電極１３を工具先端に備えさ
せれば、加工に係る工数を低減させることも可能とな
る。（２）放電加工は被加工物に大きな加工歪みを与え
ないため、製造時に圧電セラミックス基板１にワレやク
ラック等の折損や歪みを発生させることはない。よっ
て、電極１３形状や電源回路１６等の放電環境さえ許せ
ば、放電加工は、高密度、高精度の加工を行なうことが
できる。

【００４８】尚、放電加工は、上述した実施例に限定さ
れるものではなく、被加工物の材質や加工形状、求めら
れる加工精度および加工速度に応じて、種々の加工環境
の変更を加えて実施されるべきものである。

【００４９】例えば、上記実施例では放電電極として銅
を用いたが、黄銅、炭素、銀−タングステン焼結物等を
用いても同様の加工が行える。また、一般に、放電加工
に用いられるパルスは高電圧であるが、本実施例のよう
にインクジェットヘッドに用いられる高密度圧電アクチ
ュエータを加工するような場合には、低電圧のパルスを
用いて高精度に加工するのが好ましい。尚、パルス周波
数は高い方が圧電セラミックスの分極等に与える影響を
小さくできる。

【００５０】以上のようにして電極９の分離がなされた
圧電セラミックス基盤の上面には、インク室２の溝の開
口部を塞ぐように、インク供給口５が形成された樹脂製
の上部蓋６が接着される。このようにしてインクジェッ
トヘッドが作成される。

【００５１】次に、図４に示す圧電式インクジェットヘ
ッドの一部の断面図を用いて、該インクジェットヘッド
のインク噴射の動作を説明する。

【００５２】インクジェットヘッドにおいて、与えられ
た印字データに従って、例えばインク室２ｂが選択され
ると、金属電極９ａ，９ｃに正の駆動電圧が印加され、
金属電極９ｂ及びその他のインク室に対応する金属電極
は接地される。これにより圧電側壁７ａには図中右方向
へ向かう駆動電界が、側壁７ｂには図中左方向へ向かう
駆動電界が発生する。このとき各々の駆動電界方向と圧
電セラミックスプレートの分極方向８とが直交している
ため、側壁７ａ及び７ｂは圧電厚みすべり効果によっ
て、圧電セラミックスプレートの接合部で屈曲するよう
にインク室２ｂの内部方向に急速に変形する（図４
（ｂ）参照）。

【００５３】これらの変形によりインク室２ｂの容積が
減少してインク室２ｂのインク圧力が急速に増大し、圧
力波が発生して、インク室２ｂに連通するノズル（図示
しない）からインク液滴が噴射される。

【００５４】また、駆動電圧の印加を停止すると、側壁
７ａ及び７ｂが変形前の位置（図４（ａ）参照）に戻る
ため、インク室２ｂ内のインク圧力が低下し、インク供
給口５からマニホールドを通してインク室２ｂ内にイン
クが供給される。

【００５５】但し、上記の動作は基本動作に過ぎず、製
品として具体化される場合には、まず駆動電圧を容積が
増加する方向に印加し、先にインク室２ｂにインクを供
給させた後に駆動電圧の印加を停止して、側壁７ａ，７
ｂを変形前の位置（図４（ａ）参照）に戻してインク液
滴を噴射させることもある。さらにインク液滴噴射後に
インク室内の圧力波を減衰させるためにキャンセルパル
スと呼ばれる駆動電圧パターンをしかるべき時間の後に
付随させることもある。

【００５６】このような構成のインクジェットヘッドで
は、隣接する２つのインク室２に連通する２つのノズル
から同時にインク液滴を噴射することができないため、
例えば、左端から奇数番目のインク室２ａ，２ｃに連通
するノズルからインク液滴を噴射した後、偶数番目のイ
ンク室２ｂに連通するノズルからインク液滴を噴射し、
次に再び奇数番目からインク液滴を噴射するというよう
に、インク室２及びノズルを２つのグループに分割して
インク液滴の噴射を行う。さらに、インク室２及びノズ
ルを３つ以上のグループに分割してインク液滴の噴射を
行うこともある。

【００５７】このように、本実施例の圧電式インクジェ
ットプリンタの製造方法においては、上記の通り放電加
工により容易に且つ精密にインク室２に対応した電極９
を分割形成する。放電加工は、放電電極１３と圧電セラ
ミックス基板１の距離、ならびにパルス電圧値を適切に
制御することにより、圧電セラミックス基板１への入熱
が最低限かつ局部的であり、圧電セラミックス基板の特
性変化に及ぼす影響は無視できる程度にする事が出来
る。また、前述の接着部１０への影響も無い。

【００５８】尚、本発明は、上述した実施例に限定され
るものでなく、その主旨を逸脱しない範囲に於て種々の
変更を加えることが出来る。

【００５９】例えば、図５に示すように、放電電極１３
の代わりに放電ワイヤー１７を用いた、いわゆるワイヤ
ーカット工法により、放電ワイヤー１７と電極９間に放
電現象を発生させて、電極９を除去するような方法も考
えられる。この場合、圧電セラミックス基板１と放電ワ
イヤ１７との相対位置を変化させて、電極９と放電ワイ
ヤ１７間に所定のパルス電圧を印加させながら、前記放
電ワイヤ１７が各表面電極１１上を走査するようにさせ
る。この場合、加工槽１５内の加工液１４は水等であっ
ても加工可能である。

【００６０】この放電加工によれば、走査経路を代える
だけで自由な加工を容易に施すことができる。よって、
あらゆる形状の電極パターンを形成可能とする。尚、表
面電極を同じピッチで配列された複数の放電ワイヤ１７
を工具先端に備えさせれば、加工に係る工数を低減させ
ることも可能となる。

【００６１】また、上記実施例では、圧電セラミックス
基板１は分極方向が異なる２枚の基板から構成されてい
たが、従来例のような１枚の基板よりなるものでもよ
い。尚、１枚の基板よりなり、且つ一方向の分極特性の
み有する場合には、弾性率の低い素材よりなるシートを
カバープレート６と圧電セラミックス基板１との間にを
接合させる、或は、カバープレート６自体を弾性率の低
い素材に変えて接合させて、側壁７の駆動に追従して変
形可能とし、各インク室２の容積変化が充分なされるよ
うにする必要がある。

【００６２】逆に、圧電セラミックス基板１は３枚以上
の基板を接着して構成したものであってもよい。

【００６３】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように本発
明のインクジェットヘッドの製造方法によれば、圧電体
の表面に形成された電極の一部に対して、放電加工を施
すことにより、従来のリフトオフ法のようにレジスト膜
を事前に塗布する必要がなくなる他、ライン生産の生産
性を損なうことなく電極を除去することができる。

【００６４】さらに、２枚以上の圧電体が接着剤で接着
されているような場合には、従来のリフトオフ法を用い
ると、溶剤の浸透によって接着部の強度の低下が懸念さ
れるが、本発明の製造方法によれば溶剤等を使用しない
ため、接着部への影響はない。

【００６５】また、放電加工は被加工物に大きな加工歪
みを与えないため、製造時にアクチュエータ部を折損さ
せることはない。

【００６６】以上の結果、生産性の高いインクジェット
ヘッドの製造方法を提供することができるといった、産
業上著しい効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるインクジェットヘッド
の製造方法を示す断面図である。

【図２】本発明の一実施例であるインクジェットヘッド
の斜視図である。

【図３】前記実施例であるインクジェットヘッドの概略
図である。

【図４】前記実施例のインクジェットヘッドの動作を示
す断面図である。

【図５】本発明のインクジェットヘッドの製造方法の別
の一例を示す概略図である。

【図６】従来のインクジェットヘッドを示す斜視図であ
る。

【図７】従来のインクジェットヘッドの動作を示す断面
図である。

【図８】従来のインクジェットヘッドの製造方法を示す
説明図である。

【図９】従来の他のインクジェットヘッドの断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 圧電セラミックス基板 ２ インク室 ３ ノズルプレート ４ ノズル ７ 圧電側壁 ９ 電極 １０ 接着部 １１ 表面電極 １２ テーブル １３ 放電電極 １６ パルス電源装置 １７ 放電ワイヤー

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクが充填されたインク液室と、前記
   インク液室を構成し、且つ分極された圧電部で少なくと
   も一部が構成された側壁と、前記圧電部に分極方向と略
   直交する駆動電界を発生するために前記側壁に形成され
   た駆動電極とを備えたアクチュエータを有し、前記駆動
   電極より印加される電界を受けて、圧電厚みすべり効果
   により前記側壁が変形し、前記インク液室内のインクに
   圧力を与えてインクを噴射するインクジェットヘッドの
   製造方法であって、 少なくとも一部が厚み方向に分極された圧電材料からな
   る圧電体プレートに、厚み方向を深さとする溝部を形成
   する第１の工程と、 前記溝部が形成された側の表面全体に導電性膜を形成す
   る第２の工程と、 前記側壁の上端部に形成された導電性膜を放電加工によ
   り除去し、前記導電性膜を溝部毎に独立した電極に分割
   する第３の工程と、 前記溝部の開口部を覆うように、前記圧電体プレートの
   上層にカバープレートを接着する第４の工程とを有する
   ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 前記圧電体プレートは、 厚み方向に分極され、且つ互いに相反する分極方向を有
   する圧電材料からなる少なくとも２枚のシートを重ねて
   一体化した積層体であり、前記第１の工程において、積
   層方向を深さとし、下層に位置するシートにまでおよぶ
   溝部が形成されることを特徴とする請求項１に記載のイ
   ンクジェットヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 前記放電加工は、放電ワイヤーを前記圧
   電体プレートの溝部が形成された側に近接して配置し、
   放電ワイヤを前記圧電体プレート上で相対的に走査させ
   ながら、前記導電性膜と前記放電ワイヤとの間に所定の
   パルス電圧を印加させることにより行なうことを特徴と
   する請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方
   法。
4. 【請求項４】 前記放電加工は、端面が平板状の放電電
   極を前記圧電体プレートの溝部が形成された側の上部に
   配置し、前記導電性膜と前記放電電極との間に所定のパ
   ルス電圧を印加させることにより行なうことを特徴とす
   る請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
5. 【請求項５】 前記放電加工は、加工液の満たされた加
   工槽内で行なわれ、前記加工槽では、常に前記加工液の
   温度が少なくとも前記圧電材料のキュリー温度以下にな
   るように温度制御がなされていることを特徴とする請求
   項１乃至４のいずれかに記載のインクジェットヘッドの
   製造方法。