JPH09118545A - 居住性を高めたガラス板 - Google Patents

居住性を高めたガラス板

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JPH09118545A
JPH09118545A JP8061005A JP6100596A JPH09118545A JP H09118545 A JPH09118545 A JP H09118545A JP 8061005 A JP8061005 A JP 8061005A JP 6100596 A JP6100596 A JP 6100596A JP H09118545 A JPH09118545 A JP H09118545A
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JP
Japan
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glass
layer
film
glass plate
thin film
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Application number
JP8061005A
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English (en)
Inventor
Masaaki Yonekura
正明 米倉
Osamu Miyazaki
修 宮崎
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Central Glass Co Ltd
Original Assignee
Central Glass Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH09118545A publication Critical patent/JPH09118545A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/3411—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials
    • C03C17/3429—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating
    • C03C17/3435—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions with at least two coatings of inorganic materials at least one of the coatings being a non-oxide coating comprising a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な膜構成等で、透明性とミラー性並びに
断熱性を効果的にバランスよく持たせて同時に満足し、
人や環境に優しくかつ居住性に優れ、ガラスの透過色調
がニュ−トラル系色調で、かつ淡い青緑色系乃至淡い緑
色系のガラス面反射色調を呈しかつ電波透過性を有する
ガラス板を得る。 【解決手段】 透明なガラス基板の一方の表面に、ガラ
ス面側から第１層目として膜厚が５nm以上70nm以下であ
るSn、Ta、Tiの酸化物薄膜、第１層の上に第２層目とし
て膜厚が２nm以上15nm以下であるTi、Cr、SUS 、NiCrの
窒化物薄膜、更に第２層の上に膜厚が５nm以上70nm以下
であるSn、Ta、Tiの酸化物薄膜を被覆積層した積層膜か
らなり、ガラス面側からの反射光の可視光線波長域での
主波長が 490〜560nm でかつガラス面側からの反射光の
可視光線波長域での刺激純度が２〜10％であって、淡い
ブル−グリ−ン色系乃至淡いグリ−ン色系のガラス面反
射色調を呈するとともに該ガラスの透過色調がニュ−ト
ラル系色調である居住性を高めたガラス板。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、簡単な３層の積層膜を
被膜し、ガラス板の透明性とミラー効果ならびに断熱性
をバランスよく持たせ、同時に満足しうるものとするこ
とで、人や環境に優しくかつガラスらしさと存在観を発
現せしめ、透視色がニュートラル系色調であって、淡い
ブル−グリーン色系乃至淡いグリーン色系のガラス面反
射色調を呈し、さらに電波透過性を有する居住性を高め
たガラス板に関し、建築用窓材としてはもちろん、ビル
ディング等各種の用途においてその機能を活かすことが
できる居住性や環境性に優れたガラス板を提供するもの
である。
【０００２】
【従来技術】一般に反射率を高くした高性能熱線反射ガ
ラスは数多く提案されかつ商品化されており、そのなか
で高透過率を有する赤外線反射ガラスがあり、またさら
に無反射ガラス等が知られている。
【０００３】例えば、特開昭63-190742 号公報には、熱
線反射ガラスの製法が記載されており、ガラス基板上に
第１層として酸素含有雰囲気中で10〜200 Åの厚さを有
する酸化チタン（TiO2）層を物理蒸着法により形成し、
次いで第２層として純窒素雰囲気中で窒化チタン（TiN
x,x≧1.0 ）層、又は希ガス及び窒素からなる混合ガス
雰囲気中で窒化チタン（TiN ）層を物理蒸着法により形
成し、更に第３層として10〜200 Åの厚さを有する酸化
チタン（TiO2）層を物理蒸着法により形成して、可視ス
ペクトル帯域で40％以下の透過率及び熱線に対する高い
反射能を有するものが開示されている。
【０００４】その中で，第１層のTiO2層の厚みが140 〜
180 Å、第２層のTiNx層の厚みが375 〜425 Å、第３層
のTiO2層の厚みが85〜155 Åであり、そのガラス基板側
からの反射色調がグリ−ン色を呈すること、ならびに第
１層のTiO2層の厚みが90〜130 Å、第２層のTiNx層の厚
みが380 〜420 Å、第３層のTiO2層の厚みが155 〜200
Åであり、そのガラス基板側からの反射色調がグリ−ン
色を呈することが開示されている。
【０００５】また例えば、特開昭63-252944 号公報に
は、透明熱線反射板が記載されており、透明基板表面に
5〜350nm の範囲の光学的厚さで透明誘電体層を形成
し、この透明誘電体層の表面に30〜100nm の範囲の幾何
学的厚さでチッ化チタン層を形成したものが開示されて
いる。具体的には例えば、透明基板／TiO2(22nm)／TiNx
(80nm)／TiO2(84nm)の膜構成で反射光が緑〜黄緑色、可
視光透過率が13.2％となることが開示されている。
【０００６】さらに例えば、特開平2-44046 号公報に
は、青色乃至緑色の反射色を呈する透明板およびその製
造方法が記載されており、透明な基体の一方の表面に窒
化チタン膜が形成され、該窒化チタン膜上に透明な金属
酸化物からなる被膜が形成された、該透明基体の他方の
面に於いる反射光が青色乃至緑色を呈する透明体が開示
され、金属酸化物が酸化チタン、酸化錫、酸化タンタル
等のいずれかからなることが記載されている。
【０００７】そのなかで具体的には例えば、透明基体／
TiN(30nm) ／TiO2(25nm)の膜構成で可視光透過率が40
％、また透明基体／TiN(15nm) ／TiO2(45nm)の膜構成で
可視光透過率が51％、いずれも被膜面と異なる面の反射
色が緑色であることが開示されている。
【０００８】また例えば、特開平6-305774号公報には、
熱線反射ガラスが記載されており、ガラス基板上に第１
層として窒化物、第２層として酸化物、第３層として窒
化物を順次形成し、かつ可視スペクトル帯域で40％以下
の透過率を有するものが開示されている。
【０００９】そのなかで具体的には例えば、ブル−色フ
ロ−トガラス板／TiN(14nm) ／TiO2(55nm)／TiN(14nm)
の膜構成により、ガラス面側がグリ−ン色の反射色調で
その反射率が19％、膜面側がニュ−トラル色の反射色調
でその反射率が29％であり、透過色調がニュ−トラル色
で透過率が31％となることが開示されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする問題点】上記した従来の各公
報に開示されている、例えば特開昭63-190742 号公報に
記載の熱線反射ガラスの製法では、可視スペクトル帯域
での透過率が40％以下であり、また特開昭63-252944 号
公報に記載の透明熱線反射板では、例えば前記したよう
に可視光透過率が13.2％となる等、到底可視光透過率が
例えば30％程度を超えるようなものとはならないもので
あり、いずれも本発明がめざす居住性を高めたガラス板
にするために必要な条件を満たすようなものとは到底成
し難いものである。
【００１１】また例えば、特開平2-44046 号公報に記載
の青色乃至緑色の反射色を呈する透明板およびその製造
方法では、前記した具体例でも明らかなように、可視光
透過率がせいぜい51.2％であり到底本発明がめざす居住
性を高めたガラス板に採用できるような値には及ばない
ものであり、熱線遮蔽性を確保するためには窒化チタン
の膜厚は５nm以上必要であり、また反射色のあざやかさ
を得るためには金属酸化物の膜厚は５nm以上が有用であ
ることが記載され、金属酸化物として一つに酸化錫が挙
げてあるものの通常550nm の波長における屈折率が1.9
〜2.6 であるものが好んで用いられることが開示されて
いるのみであって、本発明がめざす居住性を高めたガラ
ス板にするために必要な条件、すなわち膜構成とその膜
厚の組み合わせが異なり、さらに可視光透過率だけでは
なく種々の光学特性をすべてみたしているものとは到底
言い難いものである。
【００１２】さらに例えば、特開平6-305774号公報に記
載の熱線反射ガラスでは、可視光透過率が40％を超えな
いものであって、到底本発明がめざす居住性を高めたガ
ラス板に採用できるような値には及ばないものであり、
低くなり過ぎて暗い色調で透視性を高めることができな
いものであり、しかも例えばガラス基板としてブル−系
の熱線吸収ガラスを用い、グリ−ン系のガラス面反射色
を呈するようにできるというものであって、本発明がめ
ざす居住性を高めたガラス板にするために必要な条件を
みたしているものとは到底言い難いものである。
【００１３】
【問題点を解決するための手段】本発明は、従来のかか
る問題点に鑑みてなしたものであって、特定した簡単な
３層の膜構成とその膜厚の組み合わせでなり、ガラス面
側からの反射光の可視光線波長域での主波長ならびに刺
激純度を特定し、淡いブル−グリ−ン色系乃至淡いグリ
−ン色系のガラス面反射色調を呈しせしめ、ニュ−トラ
ル系の透過色調を有するものとしたことで、ガラスらし
さを充分発揮してアピールし、透明感と存在観、意匠性
ならびに透視性とミラー性および断熱性を発現するなか
で、バランスよい光学特性を有し、耐薬品性、耐候性あ
るいは耐摩耗性等耐久性を備え、しかもソフトな淡いブ
ル−グリ−ン色系乃至淡いグリーン色系ガラス面反射色
調を呈し、人や環境に優しく、さらに電波透過性を有す
る居住性を高めたガラス板を安価に提供することができ
るものである。
【００１４】すなわち、本発明は、透明なガラス基板の
一方の表面に、ガラス面側から第１層目として膜厚が５
nm以上70nm以下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄膜、第１層
の上に第２層目として膜厚が２nm以上15nm以下であるT
i、Cr、SUS 、NiCrの窒化物薄膜、さらに第２層の上に
膜厚が５nm以上70nm以下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄膜
を被覆積層した積層膜からなり、ガラス面側からの反射
光の可視光線波長域での主波長が 490〜560nm でかつガ
ラス面側からの反射光の可視光線波長域での刺激純度が
２〜10％であって、淡いブル−グリ−ン色系乃至淡いグ
リ−ン色系のガラス面反射色調を呈するとともに該ガラ
スの透過色調がニュ−トラル系色調であることを特徴と
する居住性を高めたガラス板。
【００１５】ならびに、透明なガラス基板の一方の表面
に、ガラス面側から第１層目として膜厚が20nm以上60nm
以下であるSnの酸化物薄膜、第１層の上に第２層目とし
て膜厚が２nm以上15nm以下であるTiの窒化物薄膜、さら
に第２層の上に膜厚が10nm以上70nm以下であるSnの酸化
物薄膜を被覆積層した積層膜からなり、ガラス面側から
の反射光の可視光線波長域での主波長が 492〜560nm で
かつガラス面側からの反射光の可視光線波長域での刺激
純度が２〜10％であって、淡いブル−グリ−ン色系乃至
淡いグリ−ン色系のガラス面反射色調を呈するとともに
該ガラスの透過色調がニュ−トラル系色調であることを
特徴とする上述した居住性を高めたガラス板。
【００１６】また、前記居住性を高めたガラス板におい
て、該ガラスのガラス面側からの可視光線反射率が30％
以下であることを特徴とする上述した居住性を高めたガ
ラス板。
【００１７】さらに、前記居住性を高めたガラス板にお
いて、該ガラスの膜面側からの可視光線反射率が35％以
下であることを特徴とする上述した居住性を高めたガラ
ス板。
【００１８】さらに、前記居住性を高めたガラス板にお
いて、該ガラスの可視光透過率が50〜75％であることを
特徴とする上述した居住性を高めたガラス板。さらに、
前記居住性を高めたガラス板において、該ガラスの日射
透過率が70％以下であることを特徴とする上述した居住
性を高めたガラス板。
【００１９】またさらに、前記積層膜の表面抵抗率が、
0.5ｋΩ／口以上であることを特徴とする上述した居住
性を高めたガラス板。またさらに、前記積層膜の表面抵
抗率が、１ｋΩ／口以上であることを特徴とする上述し
た居住性を高めたガラス板。
【００２０】さらにまた、前記居住性を高めたガラス板
が、電波透過性を有することを特徴とする上述した居住
性を高めたガラス板を提供するものである。
【００２１】
【発明の実施の形態】ここで、透明なガラス基板の一方
の表面に、ガラス面側から第１層目として膜厚が５nm以
上70nm以下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄膜、第１層の上
に第２層目として膜厚が２nm以上15nm以下であるTi、C
r、SUS 、NiCrの窒化物薄膜、さらに第２層の上に膜厚
が５nm以上70nm以下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄膜を被
覆積層した積層膜からなり、ガラス面側からの反射光の
可視光線波長域での主波長が 490〜560nm でかつガラス
面側からの反射光の可視光線波長域での刺激純度が２〜
10％であって、淡いブル−グリ−ン色系乃至淡いグリ−
ン色系のガラス面反射色調を呈するとともに該ガラスの
透過色調がニュ−トラル系色調である居住性を高めたガ
ラス板を実施するにあたっては次のようにする。
【００２２】先ず、透明なガラス基板としては、例えば
建築用窓材としてはもちろん、ビルディング等各種のガ
ラス板状体等に用いられる市販のソーダライムガラスで
ある無機質ガラス板状体、ことにフロートガラスが最適
であり、またはポリカーボネートやアクリルなどである
有機質からなる所謂ガラス板状体等であってもよく、ク
リアガラスが最もよいことはもちろんグリ−ンガラス等
の着色、紫外線や熱線吸収性ガラスでもよく、平板状あ
るいは曲げ板ガラス、さらに強化ガラス、合わせガラ
ス、複層ガラスならびに表面処理ガラス等各種加工処理
ガラスまたは各種用途ガラスであってもよい。また、該
ガラス板の形状としては、とくに限定するものではない
が、長辺と短辺でなる略四辺形でなるものが最も好まし
く採用できるものである。なお、前記透明ガラス基板の
板厚については特に限定するものではない。
【００２３】また、前記表面に薄膜層を形成したガラス
基板において、薄膜層がガラス面側から第１層目として
膜厚が５nm以上70nm以下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄
膜、第１層の上に第２層目として膜厚が２nm以上15nm以
下であるTi、Cr、SUS 、NiCrの窒化物薄膜、さらに第２
層の上に膜厚が５nm以上70nm以下であるSn、Ta、Tiの酸
化物薄膜を被覆積層した積層膜からなるものとしたの
は、先ずSnOx（１＜ｘ≦２）薄膜については、TiNx、Cr
Nx、SUSNx あるいはNiCrNxの薄膜の下地膜ならびに保護
膜となってガラス面との密着力を高め、積層膜の膜強度
を増大して耐久性を高めしかも干渉現象により淡いブル
−グリ−ン色系乃至淡いグリ−ン色系色調、特に淡いグ
リ−ン系色を発現するために有用であって、居住性の一
つとしてガラス面側からの可視光反射率が30％以下、好
ましくは28％以下という低反射性能が必要なため、酸化
物薄膜／断熱薄膜／酸化物薄膜の構成のなかでTiOx薄膜
と比較してガラス面側からの可視光反射率に影響が少な
く、しかも他の酸化物薄膜に比べて成膜速度が速く生産
性に優れる等のため、第１層目ならびに第３層目に選ん
だ。
【００２４】つぎにTiOx（１＜ｘ≦２）薄膜について
は、TiNx、CrNx、SUSNx あるいはNiCrNxの薄膜の下地膜
ならびに保護膜となって耐久性を高めしかも干渉膜とし
て有用であって、淡いブル−グリ−ン色系乃至淡いグリ
−ン色系色調、特に淡いグリ−ン色系色調に対しては必
要であるため、第１層目ならびに第３層目に選んだ。
【００２５】つぎにTaOx（１＜ｘ≦5/2 ）薄膜について
は、TiNx、CrNx、SUSNx あるいはNiCrNxの薄膜の下地膜
ならびに保護膜となって耐久性を高めしかも干渉膜とし
て有用であって、淡いブル−グリ−ン色系乃至淡いグリ
−ン色系色調、特に淡いグリ−ン色系色調に対しては必
要なことはもちろん、特に耐摩耗性を高めるのに優れて
いる等のため、第１層目ならびに第３層目に選んだ。
【００２６】また例えば、中間層である前記TiNx（x
は、スパッタ時のArガスとN2ガスの流量比で決まる。例
えば x＝0.5 〜1.0 ）薄膜については、ガラス面側から
の反射色調が淡いブル−グリ−ン色系乃至淡いグリ−ン
系色を発現させることが可能な耐久性に優れる膜であ
り、可視光透過率を確保するなかで、熱線吸収ガラス程
度の熱的性能である日射透過率70％以下、好ましくは67
％以下を確保しつつ、他の光学特性についても例えば熱
線反射ガラスの可視光反射率ほどは高くまでには到らな
いものとでき、断熱性能等を有する機能性膜として量産
に適しており、さらに表面抵抗率が0.5 〜0.7 ｋΩ／口
以上、好ましくは１ｋΩ／口以上で電波透過性を有する
ものであるため、第２層目に選んだ。
【００２７】また例えば、中間層である前記CrNx（x
は、スパッタ時のArガスとN2ガスの流量比で決まる。例
えばArガスとN2ガスの流量比は1:1 から0:1 の範囲であ
ればよい、すなわち x＝0.5 〜1.0 ）薄膜については、
可視光透過率約50％程度以上を確保し、ガラス面側から
の反射色調を淡いブル−グリ−ン乃至グリ−ン系色の色
調とするなかで、熱線吸収ガラス程度あるいはより近い
熱的性能である日射透過率70％以下、好ましくは65％以
下を確保しつつ、他の光学特性についても例えば熱線反
射ガラスの可視光反射率ほどは高くまでには到らないも
のとでき、断熱性能等を有する機能性膜として量産に適
しており、第２層目に選んだ。
【００２８】また例えば、中間層である前記SUSNx なら
びにNiCrNx（x は、スパッタ時のArガスとN2ガスの流量
比で決まる。例えばArガスとN2ガスの流量比は1:1 から
0:1の範囲であればよい）薄膜については、可視光透過
率約50％程度以上を確保し、ガラス面側からの反射色調
を淡いブル−グリ−ン乃至グリ−ン系色の色調とするな
かで、熱線吸収ガラス程度あるいはより近い熱的性能で
ある日射透過率70％以下、好ましくは63％以下を確保し
つつ、他の光学特性についても例えば熱線反射ガラスの
可視光反射率ほどは高くまでには到らないものとでき、
断熱性能等を有する機能性膜として量産に適しているた
め、第２層目に選んだ。
【００２９】また、上述した各薄膜の成膜については、
大きさ300mm ×300mm 、厚さ６mmのフロートクリアガラ
ス(Fl6) を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコー
ルで順次洗浄し、乾燥した後、DCマグネトロンスパッタ
リング装置の真空槽内にセットしてあるSn,Ti,Ta等のタ
ーゲットに対向して上方を往復できるようセットし、次
に前記槽内を真空ポンプで約５×10-6Torrまでに脱気し
た後、該真空槽内にO2ガスとArガス〔但し、ArガスとO2
ガスのガス流量比はO2／(Ar+O2) の値が0.5 〜1.0 （な
お、該1.0 の値の際はArガス流量が零である）の範囲で
あればよい。〕、あるいはTi,Cr,SUS,NiCr等のターゲッ
トの際にはN2ガスとArガス〔但し、ArガスとN2ガスのガ
ス流量比はN2／(Ar+N2) の値が0.5 〜1.0 （なお、該1.
0 の値の際はArガス流量が零である）の範囲であればよ
い。〕を導入し、真空度を約２×10-3Torrに保持し、タ
ーゲットと膜の種類によって印加電力を変え、例えば前
記SnあるいはTiのターゲットに約1.0kw の電力を印加
し、前記混合ガスによるDCマグネトロン反応スパッタの
中を、例えば前記SnあるいはTi等のターゲット上方にお
いて必要膜厚に応じたスピードで前記板ガラスを搬送す
ることによって必要厚さの例えばSnOx（１＜ｘ≦２）薄
膜あるいはTiNx（例えば、x が0.8 程度）等を上述した
ように３層膜に順次成膜した。
【００３０】なお、成膜法としては、スパッタ法が最適
であるが、常用されている他の成膜法、例えば CVD法、
蒸着法、印刷法、スプレ−法、各種ロ−ルコ−ト法、フ
ロ−コ─ト法あるいはフレキソ法等も適宜採用しうるも
のである。
【００３１】さらに、前記薄膜の積層膜が特定した膜厚
でTiNx、CrNx、SUSNx あるいはNiCrNxの薄膜を、SnOx、
TiOxあるいはTaOxの薄膜で挟み込むよう適宜組み合わ
せ、ガラス面側からの反射光の可視光線波長域での主波
長を490 〜560nm としかつその刺激純度を２〜10％とし
たのは、淡い上品なグリーン色がかった色合いを呈する
ためであり、主波長が490nm 未満では淡いブル−グリ−
ン色系ガラス面反射色調が発現し難く、主波長560nm を
超えるとイエロ−色系のガラス面反射色調を呈するよう
に次第になり、淡いグリ−ン色系ガラス面反射色調が発
現し難い。さらに刺激純度が２％未満または10％を超え
ると所期の淡い上品なガラス面反射色調を得ることが困
難である。また３層でデザイン的にも所期の可視光反射
性を有してミラー効果を適当にもたらすようにでき、ギ
ラツキ感が発現し難く、違和感が生じ難く、人や環境に
優しいものとなるためである。
【００３２】さらに例えば、下地とする前記SnOx、TiOx
あるいはTaOxの薄膜層の膜厚を５nm以上70nm以下とし、
中間となるTiNx、CrNx、SUSNx あるいはNiCrNxの薄膜層
の膜厚を２nm以上15nm以下とし、被覆する前記SnOx、Ti
OxあるいはTaOxの薄膜層の膜厚を５nm以上70nm以下とし
たのは、下地の薄膜層の膜厚が５nm未満で中間の薄膜層
の膜厚が２nm未満かつ被覆する保護の薄膜層の膜厚が５
nm未満であれば、例えば可視光透過率が75％を超え透視
性が強くなってしまい、かつ下地膜や保護膜としての機
能が充分ではなくなり、熱的性能である日射透過率が70
％を超えて断熱性を満足するものでなくなり、また前記
下地の薄膜層の膜厚が70nmを超え中間の薄膜層の膜厚が
15nmを超えかつ被覆保護の薄膜層の膜厚が70nmを超えれ
ば、例えばガラス面反射色調がイエロ−またはゴ−ルド
色系となり、また可視光透過率が50％より低くなり透視
性が弱くなってしまい、可視光反射率も高くなり過ぎ、
ガラス面と膜面の可視光反射率が30％あるいは35％を大
きく超えることとなって到底居住性を高めたガラス板と
は言えないものとなるためである。
【００３３】さらに、ガラス面の可視光反射率を30％以
下であるものとしたまたは／および膜面の可視光反射率
を35％以下であるものとしたのは、該両者の値を超える
とミラ−効果が発現し過ぎ、環境や人に優しいものとは
言い難く、不快感をもたらすようになるためである。例
えば好ましくは、ガラス面の可視光反射率が約28％以下
程度、膜面の可視光反射率が約33〜34％以下程度であ
る。
【００３４】さらにまた、可視光透過率を50〜75％の範
囲であるものとしたのは、この範囲内の値にある場合に
おいて、最も適度の透視性や視認性を有するものとなる
ためであり、さらにまた、日射透過率を70％以下である
ものとしたのは、充分な断熱性を併せて付与することで
より多機能性を有するものとすることができるためであ
る。例えば好ましくは、可視光透過率が約52〜71％程
度、日射透過率が約67％以下程度である。
【００３５】一般に光学的特性は、図１の特性図に示す
ように、透過率（ｔ）、反射率（ｒ）、吸収率（ａ）の
組み合わせであり、そのバランスにより異なる面もある
が、上述の範囲内（例えば、一例として図１のハッチン
グ部）にあれば、透過性と反射性すなわちミラー性なら
びに断熱性が同時にバランスよく、人や環境に優しいも
のとなってより居住性を満足せしめることができる。
【００３６】またさらに、電波透過性を有するガラス基
板としたのは、積層膜の表面抵抗率が 0.5ｋΩ／口以
上、ことに１ｋΩ／口以上であれば、ビル用等では充分
電波透過性を有し、仮に電波反射型であると周辺の住民
にＴＶにゴースト現象等の所謂電波障害を発生させ、環
境に優しいものとは言い難く、結局居住性を高めたガラ
ス板でなくなるためである。
【００３７】前述したように、本発明の居住性を高めた
ガラス板によれば、積層薄膜付きガラスでありながら、
例えば図１の特性図〔可視光における透過率（ｔ）、反
射率（ｒ）、吸収率（ａ）で表す三角ダイヤグラム（単
位：％）〕において、居住性を高めたガラス板域の一例
をハッチングで示すように、クリアガラスの優れた特性
と熱線反射ガラスの特性とを活かしつつ、熱線吸収ガラ
スに匹敵する特性を発現せしめるようにし、ガラスらし
さを充分発揮して意匠性をアピールし、透明感と存在観
ならびに透視性とミラー性を発現するなかで、断熱性を
も含めバランスよい光学特性を有し同時に満足しうるも
のとなし、耐薬品性、耐候性あるいは耐摩耗性等耐久性
を備え、しかも淡いブル−グリーン色系乃至淡いグリー
ン色系のガラス面反射色調を呈しかつ透過色調をニュ−
トラルとなりさらに電波透過性を有する居住性を高めた
ガラス板を簡単な膜構成等で安価に提供することがで
き、例えば中庭において、ビルディング内の中庭を大き
く見せることができるミラー性、室内から外の景色をよ
く見えるようにする透視性を同時に達成でき、さらに例
えば省エネルギー効果を持ちながらホテル等での室内か
らの夜景を楽しむという、人や環境に快適でかつ最適な
るものとすることができる。
【００３８】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。ただし本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。
【００３９】実施例１ 大きさ約300 mm×300mm 、厚さ約６mmのフロートクリア
ガラス(6) を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコ
ールで順次洗浄し、乾燥した後、DCマグネトロンスパッ
タリング装置の真空槽内にセットしてあるSnとTiのター
ゲットに対向して上方を往復できるようセットし、次に
前記槽内を真空ポンプで約５×10-6Torrまでに脱気した
後、該真空槽内にO2ガスとArガス〔但し、ArガスとO2ガ
スのガス流量比はO2／(Ar+O2) の値が0.5 〜1.0 （な
お、該1.0 の値の際はArガス流量が零である）の範囲で
あればよい。〕を導入して真空度を約２×10-3Torrに保
持し、前記Snのターゲットに約1.0kw の電力を印加し、
前記混合ガスによるDCマグネトロン反応スパッタの中
を、前記Snのターゲット上方においてスピード約218mm
／min で前記板ガラスを搬送することによって約20nm厚
さのSnOx（１＜ｘ≦２）薄膜を第１層として成膜した。
成膜が完了した後、Snターゲットへの印加を停止した。
【００４０】次いで、前記板ガラスを前記真空槽中にお
いたまま、前記槽内を真空ポンプで約５×10-6Torrまで
に脱気した後、該真空槽内にN2ガスとArガス〔但し、Ar
ガスとN2ガスのガス流量比はN2／(Ar+N2) の値が0.5 〜
1.0 （なお、該1.0 の値の際はArガス流量が零である）
の範囲であればよい。〕を導入して真空度を約２×10 -3
Torrに保持し、前記Tiのターゲットに約1.0kw の電力を
印加し、前記混合ガスによるDCマグネトロン反応スパッ
タの中を、前記Tiのターゲット上方においてスピード約
226mm ／min で前記板ガラスを搬送することによって前
記板ガラスのSnOx薄膜表面上に約６nm厚さのTiNx（例え
ば、x が0.8 程度）薄膜を第２層として積層成膜した。
成膜が完了した後、Tiターゲットへの印加を停止した。
【００４１】続いて、前記板ガラスを前記真空槽中にお
いたまま、前記槽内を真空ポンプで約５×10-6Torrまで
に脱気した後、該真空槽内にO2ガスとArガス〔但し、Ar
ガスとO2ガスのガス流量比はO2／(Ar+O2) の値が0.5 〜
1.0 （なお、該1.0 の値の際はArガス流量が零である）
の範囲であればよい。〕を導入して真空度を約２×10 -3
Torrに保持し、前記Snのターゲットに約1.0kw の電力を
印加し、前記混合ガスによるDCマグネトロン反応スパッ
タの中を、前記Snのターゲット上方においてスピード約
73mm／min で前記板ガラスを搬送することによって約60
nm厚さのSnOx（１＜ｘ≦２）薄膜を第３層として成膜し
た。成膜が完了した後、Snターゲットへの印加を停止し
た。
【００４２】得られた３層でなる積層薄膜付き板ガラス
について、可視光透過率（Tv：380〜780nm ）、可視光
反射率（Rv：380 〜780nm ）、可視光反射率差、刺激純
度（Pv：380 〜780nm ）ならびに日射透過率（Ts：340
〜1800nm）と日射反射率（Rs：340 〜1800nm）等につい
ては340 型自記分光光度計（日立製作所製）により測定
し、所定の波長毎の透過率、反射率の各データとJIS Z
8722、JIS R 3106によってそれぞれその光学的特性（光
源：D65 2°視野）を求め、その一部を表１、２および
３に可視光透過率、可視光反射率、可視光反射率差、日
射透過率および主波長、刺激純度等について示した。
【００４３】また、耐久性としては、JIS R 3221に基づ
いて、耐薬品性テストについては、酸とアルカリの各１
規定、25℃溶液に約６時間浸漬後の可視光透過率の変化
量（△Tv, ％）で評価し、例えば△Tvが4.0 ％以下であ
れば合格とした。さらに、テーバーテストについては、
摩耗輪（CS-10F）、荷重 500ｇ、100 回回転後の可視光
透過率の変化量（△Tv, ％）で評価し、例えば△Tvが約
4.0 ％以下であれば合格とした。
【００４４】また、表面抵抗率については、105 Ω／口
以下のものは四探針抵抗測定装置RT-8（NAPSON社製）、
105 Ω／口〜105 ＭΩ／口のものは表面高抵抗計HIREST
A HT-210（三菱油化社製）によって測定し、1.0 ｋΩ／
口以上、好ましくは1.5 ｋΩ／口以上であるものを電波
透過性を有するものとして○印をした。
【００４５】さらに、生産性等を加味したコスト上良好
なもの、および上述した各特性ならびに外観上等から所
期の居住性を高めたガラス板となったものを総合的な評
価をした。
【００４６】その結果、G(ガラス) ／SnOx（20nm）／Ti
Nx（６nm）／SnOx（60nm）と３層膜の構成でなる積層薄
膜付き板ガラスは、表１、表２および表３に示すよう
に、可視光透過率（Tv）が62.3％、ガラス面側からの可
視光反射率（Rg）が26.3％、膜面側からの可視光反射率
（Rf）が20.8％、ガラス面と膜面の可視光反射率差（△
Rv）が5.5 ％であって、可視光透過の主波長が514.8nm
、可視光透過の刺激純度も0.3 ％でかつガラス面から
の可視光反射の主波長が523.8 nm、可視光反射の刺激純
度も2.2 ％であり、透明性とミラー効果をバランスよく
持ち、人や環境に対して優しく、しかも日射透過率（T
s）が56.9％である等断熱性を持ち、例えば冷房負荷軽
減効果も大きく発揮するものである。
【００４７】さらに、耐久性も例えば耐薬品性およびテ
ーバーのテストでの可視光透過率の変化量（△Tv）も約
2.0 ％以下と合格するものであり、ガラス面側からの反
射色調が淡いグリ−ン色系であって優れた電波透過性も
あり、所期の居住性を高めたガラス板であった。
【００４８】実施例２〜13 実施例１と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、実施例１と同様の膜構成であって、膜厚のみ表
１に示すような値に変化させ、積層薄膜付き板ガラスを
得た。
【００４９】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表１、２
および３に示すようになり、実施例１と同様に可視光透
過率、可視光反射率、可視光反射率差および主波長、刺
激純度等の各光学特性はもちろん、日射透過率による熱
的性能、色調や電波透過性も含めいずれもめざす範囲内
にあり、めざす所期の居住性を高めたガラス板であっ
た。
【００５０】
【表１】
【００５１】
【表２】
【００５２】
【表３】
【００５３】実施例14〜15 実施例１と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、実施例１と同様の３層の膜構成であって、第２
層（中間層）のみCrNx薄膜に変え、膜厚は表４に示すよ
うな値に変化させ、積層薄膜付き板ガラスを得た。
【００５４】なお、CrNx（４nm）薄膜はCrタ−ゲット、
前記N2ガスとArガス〔但し、ArガスとN2ガスのガス流量
比はN2／(Ar+N2) の値が0.5 〜1.0 （なお、該1.0 の値
の際はArガス流量が零である）の範囲であればよ
い。〕、印加電力約0.5kw 、板ガラスの搬送スピード約
509mm ／min で成膜を行った。
【００５５】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表４、５
および６に示すようになり、実施例１と同様に可視光透
過率、可視光反射率、可視光反射率差および主波長、刺
激純度等の各光学特性はもちろん、日射透過率による熱
的性能、色調や電波透過性も含めいずれもめざす範囲内
にあり、めざす所期の居住性を高めたガラス板であっ
た。
【００５６】実施例16〜19 実施例１と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、実施例１と同様の３層の膜構成であって、第２
層（中間層）のみ SUSNx薄膜に変え、膜厚は表４に示す
ような値に変化させ、積層薄膜付き板ガラスを得た。
【００５７】なお、SUSNx （４nm）薄膜は、SUS タ−ゲ
ット、前記N2ガスとArガス〔但し、ArガスとN2ガスのガ
ス流量比はN2／(Ar+N2) の値が0.5 〜1.0 （なお、該1.
0 の値の際はArガス流量が零である）の範囲であればよ
い。〕、印加電力約0.5kw 、板ガラスの搬送スピード約
526mm ／min で成膜を行った。
【００５８】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表４、５
および６に示すようになり、実施例１と同様に可視光透
過率、可視光反射率、可視光反射率差および主波長、刺
激純度等の各光学特性はもちろん、日射透過率による熱
的性能、色調や電波透過性も含めいずれもめざす範囲内
にあり、めざす所期の居住性を高めたガラス板であっ
た。
【００５９】実施例20 実施例１と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、実施例１と同様の３層の膜構成であって、第１
層と第３層をTiOx薄膜に変え、膜厚は表４に示すような
値に変化させ、積層薄膜付き板ガラスを得た。
【００６０】なお、例えばTiOx（30nm、１＜ｘ≦２）薄
膜は、Tiタ−ゲット、前記O2ガスとArガス〔但し、Arガ
スとO2ガスのガス流量比はO2／(Ar+O2) の値が0.5 〜1.
0 （なお、該1.0 の値の際はArガス流量が零である）の
範囲であればよい。〕、印加電力約3.0kw 、板ガラスの
搬送スピード約47mm／min で成膜を行った。
【００６１】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表４、５
および６に示すようになり、実施例１と同様に可視光透
過率、可視光反射率、可視光反射率差および主波長、刺
激純度等の各光学特性はもちろん、日射透過率による熱
的性能、色調や電波透過性も含めいずれもめざす範囲内
にあり、めざす所期の居住性を高めたガラス板であっ
た。
【００６２】実施例21〜23 実施例１と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、実施例１と同様の３層の膜構成であって、第１
層と第３層をTaOx薄膜に変え、膜厚は表４に示すような
値に変化させ、積層薄膜付き板ガラスを得た。
【００６３】なお、例えばTaOx（40nm、１＜ｘ≦5/2 ）
薄膜は、Taタ−ゲット、前記O2ガスとArガス〔但し、Ar
ガスとO2ガスのガス流量比はO2／(Ar+O2) の値が0.5 〜
1.0（なお、該1.0 の値の際はArガス流量が零である）
の範囲であればよい。〕、印加電力約2.0kw 、板ガラス
の搬送スピード約33mm／min で成膜を行った。
【００６４】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表４、５
および６に示すようになり、実施例１と同様に可視光透
過率、可視光反射率、可視光反射率差および主波長、刺
激純度等の各光学特性はもちろん、日射透過率による熱
的性能、色調や電波透過性も含めいずれもめざす範囲内
にあり、めざす所期の居住性を高めたガラス板であっ
た。
【００６５】
【表４】
【００６６】
【表５】
【００６７】
【表６】
【００６８】比較例１ 実施例１と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(6)
を用い、実施例１と同様にして、膜構成および膜厚を表
７に示すように変化させ、積層薄膜付き板ガラスを得
た。
【００６９】すなわち、実施例１と同様に、先ずDCマグ
ネトロンスパッタリング装置で、Snタ−ゲットを用い、
前記O2ガスとArガスを導入し、約1.0kw の電力を印加
し、板ガラスの搬送スピード約109mm ／min で約40nm厚
さのSnOx薄膜を第１層として成膜した。成膜が完了した
後、Snターゲットへの印加を停止した。
【００７０】次いで、TiSiのターゲットを用い、前記N2
ガスとArガスを導入し、約1.5kw の電力を印加し、板ガ
ラスの搬送スピード約181mm ／min でもって約17nm厚さ
のTiSiN 薄膜を第２層として成膜した。成膜が完了した
後、TiSiターゲットへの印加を停止した。
【００７１】続いて、表７に示すように、第１層として
同様にし、板ガラスの搬送スピード約218mm ／min で約
20nm厚さのSnOx薄膜をそれぞれ得た。得られた積層薄膜
付き板ガラスについて実施例１と同様に各機器を用いて
各測定を行い評価した。
【００７２】その結果、得られた積層薄膜付き板ガラス
は、表７、８および９に示すようになり、実施例１と膜
構成及び膜厚の相異によって、可視光透過率、可視光反
射率差および刺激純度、ならびに日射透過率による熱的
性能、電波透過性も含めめざす範囲内にあるものの、透
過の色調がイエロ−系色であり、めざす所期の居住性を
高めたガラス板とは言い難いものであった。
【００７３】比較例２ 比較例１の第２層膜と同様にして、表７に示すように、
板ガラスの搬送スピードのみ約77mm／min に変えて、厚
さ６mmのフロートクリアガラス(6) の表面上に約40nm厚
さのTiSiN 薄膜のみを成膜することで単層薄膜付き板ガ
ラスを得た。
【００７４】得られた単層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた単層薄膜付き板ガラスは、表７、８
および９に示すようになり、実施例１と膜構成及び膜厚
の相異によって、透過の色調がイエロ−系色でしかもガ
ラス面側および膜面側から可視光反射率がそれぞれ33.1
％と38.2％とめざす値より高くいずれも範囲外にあり、
このためガラス面側からの反射の色調がシルバ−系色と
なる。また可視光透過の刺激純度が18.8％と10％を超
え、到底めざす所期の居住性を高めたガラス板とは言い
難いものであった。
【００７５】比較例３ 実施例１あるいは比較例１と第１および３層で膜厚のみ
変え、かつ実施例14、15と同様に第２層の膜成分および
膜厚を変え、表７に示すように、G(ガラス) ／SnOx（60
nm）／CrNx（４nm）／SnOx（10nm）と３層膜の構成でな
る積層薄膜付き板ガラスを得た。
【００７６】なお、SnOx（10nm）薄膜は板ガラスの搬送
スピードのみ約437mm ／min に変えて行い、CrNx（４n
m）薄膜はCrタ−ゲット、前記N2ガスとArガス、印加電
力約0.5kw 、板ガラスの搬送スピード約509mm ／min で
成膜を行った。
【００７７】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表７、８
および９に示すようになり、実施例14、15と膜厚の相異
によって、ガラス面側からの反射光の可視光線波長域で
の刺激純度が1.6 ％とめざす値より低く範囲外にあるた
め、ガラス面側からの反射の色調がシルバ−系色とな
り、到底めざす所期の居住性を高めたガラス板とは言い
難いものであった。
【００７８】比較例４ 実施例１と同様にして第３層の膜厚のみ約80nmに変え、
表７に示すように、G(ガラス) ／SnOx（20nm）／TiNx
（６nm）／SnOx（80nm）と３層膜の構成でなる積層薄膜
付き板ガラスを得た。
【００７９】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表７、８
および９に示すように、第３層目のSnOx膜の膜厚が80nm
と範囲外であるため、ガラス面側からの反射光の可視光
線波長域での主波長が572.2nm と範囲外となり、さらに
刺激純度が28.1％と高く、ガラス面側の反射の色調がゴ
−ルド系色となる等、到底めざす所期の居住性を高めた
ガラス板とは言い難いものであった。
【００８０】比較例５〜７ 実施例１と第１と３層の膜成分を変え、表７に示すよう
に、G(ガラス) ／TiOx（20，40nm）／TiNx（5,4nm ）／
TiOx（25,35,20nm）と３層膜の構成でなる積層薄膜付き
板ガラスを得た。なお例えば、TiOx薄膜はTiタ−ゲッ
ト、前記O2ガスとArガス、印加電力約3.0kw 、膜厚20nm
を板ガラスの搬送スピード約70mm／min 、膜厚25nmで板
ガラスの搬送スピード約56mm／min で成膜を行った。ま
た例えば、TiNx薄膜はTiタ−ゲット、前記N2ガスとArガ
ス、印加電力約1.0kw 、膜厚5nm を板ガラスの搬送スピ
ード約272mm ／min で成膜を行った。
【００８１】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表７、８
および９に示すようになり、実施例１と膜成分の相異に
よって、ガラス面側からの反射の色調がブル−系、シル
バ−系、イエロ−系色であり、ガラス面側からの反射光
の可視光線波長域での反射率が比較例６で32.4％とやや
高く、主波長が比較例５で485.5nm と低くおよび刺激純
度が10.2％、1.9 ％、11.9％とめざす値の範囲外、膜面
側からの反射光の可視光線波長域での反射率が比較例７
で35.3％とやや高くいずれも範囲外にあり、到底めざす
所期の居住性を高めたガラス板とは言い難いものであっ
た。
【００８２】
【表７】
【００８３】
【表８】
【００８４】
【表９】
【００８５】
【発明の効果】以上前述したように、本発明によれば、
３層でなる積層薄膜層を表面に形成したガラス板の膜構
成ならびにその膜厚、ガラス面側反射光の可視光線波長
域での主波長ならびに刺激純度を特定し、ガラス面反射
色調を淡いブル−グリ−ン系色乃至淡いグリ−ン系色、
ガラスの透過色調をニュ−トラル系色としたことによ
り、ガラスらしさを充分発揮して意匠性をアッピール
し、充分な透明感と透視性ならびに比較的低い反射で適
度な存在観とミラー性を発現させて断熱性とともにバラ
ンスよく同時に満足しうるものとでき、耐久性を備え、
しかも最も優しい淡いブル−グリ−ン系色乃至淡いグリ
ーン色系色調のガラス面反射色でニュートラル色系の透
過色調を呈しかつ電波透過性を有する等、人や環境に優
しく居住性を高めたガラス板を簡単な膜構成等で安価に
提供することができ、建築用窓材としてはもちろん、ビ
ルディング等各種の用途にその機能を発揮する、居住性
と環境性に優れたガラス板を提供するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の居住性を高めたガラス板域の一例を、
可視光における透過率（ｔ）、反射率（ｒ）および吸収
率（ａ）で表す特性図（三角ダイヤグラム、単位：％）
においてハッチングで示す説明図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｅ０６Ｂ 9/24 Ｅ０６Ｂ 9/24 Ａ

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 透明なガラス基板の一方の表面に、ガラ
    ス面側から第１層目として膜厚が５nm以上70nm以下であ
    るSn、Ta、Tiの酸化物薄膜、第１層の上に第２層目とし
    て膜厚が２nm以上15nm以下であるTi、Cr、SUS 、NiCrの
    窒化物薄膜、さらに第２層の上に膜厚が５nm以上70nm以
    下であるSn、Ta、Tiの酸化物薄膜を被覆積層した積層膜
    からなり、ガラス面側からの反射光の可視光線波長域で
    の主波長が 490〜560nm でかつガラス面側からの反射光
    の可視光線波長域での刺激純度が２〜10％であって、淡
    いブル−グリ−ン色系乃至淡いグリ−ン色系のガラス面
    反射色調を呈するとともに該ガラスの透過色調がニュ−
    トラル系色調であることを特徴とする居住性を高めたガ
    ラス板。
  2. 【請求項２】 透明なガラス基板の一方の表面に、ガラ
    ス面側から第１層目として膜厚が20nm以上60nm以下であ
    るSnの酸化物薄膜、第１層の上に第２層目として膜厚が
    ２nm以上15nm以下であるTiの窒化物薄膜、さらに第２層
    の上に膜厚が10nm以上70nm以下であるSnの酸化物薄膜を
    被覆積層した積層膜からなり、ガラス面側からの反射光
    の可視光線波長域での主波長が 492〜560nm でかつガラ
    ス面側からの反射光の可視光線波長域での刺激純度が２
    〜10％であって、淡いブル−グリ−ン色系乃至淡いグリ
    −ン色系のガラス面反射色調を呈するとともに該ガラス
    の透過色調がニュ−トラル系色調であることを特徴とす
    る請求項１記載の居住性を高めたガラス板。
  3. 【請求項３】 前記居住性を高めたガラス板において、
    該ガラスのガラス面側からの可視光線反射率が30％以下
    であることを特徴とする請求項１乃至２記載の居住性を
    高めたガラス板。
  4. 【請求項４】 前記居住性を高めたガラス板において、
    該ガラスの膜面側からの可視光線反射率が35％以下であ
    ることを特徴とする請求項１乃至３記載の居住性を高め
    たガラス板。
  5. 【請求項５】 前記居住性を高めたガラス板において、
    該ガラスの可視光透過率が50〜75％であることを特徴と
    する請求項１乃至４記載の居住性を高めたガラス板。
  6. 【請求項６】 前記居住性を高めたガラス板において、
    該ガラスの日射透過率が70％以下であることを特徴とす
    る請求項１乃至５記載の居住性を高めたガラス板。
  7. 【請求項７】 前記積層膜の表面抵抗率が、 0.5ｋΩ／
    口以上であることを特徴とする請求項１乃至６記載の居
    住性を高めたガラス板。
  8. 【請求項８】 前記積層膜の表面抵抗率が、１ｋΩ／口
    以上であることを特徴とする請求項１乃至６記載の居住
    性を高めたガラス板。
  9. 【請求項９】 前記居住性を高めたガラス板が、電波透
    過性を有することを特徴とする請求項１乃至８記載の居
    住性を高めたガラス板。
JP8061005A 1995-08-24 1996-03-18 居住性を高めたガラス板 Pending JPH09118545A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1597066A4 (en) * 2003-01-29 2009-01-21 Guardian Industries HEAT TREATED COATED ARTICLE WITH INFRARED CHROMIUM NITRIDE REFLECTIVE LAYER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME

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