JPH09120569A - 結晶ディスク基板の露光装置 - Google Patents

結晶ディスク基板の露光装置

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Publication number
JPH09120569A
JPH09120569A JP8262163A JP26216396A JPH09120569A JP H09120569 A JPH09120569 A JP H09120569A JP 8262163 A JP8262163 A JP 8262163A JP 26216396 A JP26216396 A JP 26216396A JP H09120569 A JPH09120569 A JP H09120569A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
modulator
laser beam
disk substrate
write
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8262163A
Other languages
English (en)
Inventor
Bernd Hensel
ヘンゼル ベルント
Friedrich Hofmann
ホーフマン フリードリッヒ
Hermann Dr Koop
コープ ヘルマン
Paul Kaiser
カイザー パウル
Ralf Suess
ズュース ラルフ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold AG
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Leybold AG, Balzers und Leybold Deutschland Holding AG filed Critical Leybold AG
Publication of JPH09120569A publication Critical patent/JPH09120569A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
    • G11B7/125—Optical beam sources therefor, e.g. laser control circuitry specially adapted for optical storage devices; Modulators, e.g. means for controlling the size or intensity of optical spots or optical traces
    • G11B7/128—Modulators
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/004—Recording, reproducing or erasing methods; Read, write or erase circuits therefor
    • G11B7/0045—Recording
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
  • Optical Head (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レーザーの横方向偏向を高精度に、かつ磨耗
の少ないように行う。 【解決手段】 レーザーにより形成されるレーザービー
ムによってディスク基板を露光する装置であって、書き
込み信号変調と書き込み強度変化のためのレーザービー
ムを変調器によって変調し、レーザービームを横方向に
偏向する手段を有する、結晶ディスク基板の露光装置に
おいて、変調器が、書き込み信号および書き込み強度の
変調という本来の機能に加えて、曲折溝をレーザービー
ムの横方向偏向によって、電気信号に基づいて形成する
ように構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザーにより形
成されるレーザービームによってディスク基板を露光す
る装置であって、書き込み信号変調と書き込み強度変化
のためのレーザービームを変調器によって変調し、レー
ザービームを横方向に偏向する手段を有する、結晶ディ
スク基板の露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】このような基板では、ピットが螺旋状の
書き込みトラックに配置される。この書き込みトラック
はユーザーに対して重要な情報を含むだけでなく、再生
装置に対する制御データも含まなければならない。その
ためには書き込みトラックは曲折する溝として構成され
ている。その際に、レーザービームの焦点は３０ｋＨｚ
までの周波数で書き込みトラックに対して横方向に振動
する。この焦点の横方向の偏向は、レコーダの対物レン
ズを書き込みトラックに保持するためのサーボに必要で
あり、またレコーダの情報担体の回転数制御に必要であ
る。この焦点の横方向偏向はこれまで、このようなディ
スク状基板の製造の際にデフレクタを用いてレーザービ
ームを周期的に横方向に偏向することによって形成され
ている。そのためにデフレクタは機械的に制御され、こ
のことは非常に大きな機械−光電的コストを必要とす
る。さらにこのような機械的装置によっては、十分に大
きな精度を達成することができない。生じた運動の不規
則性は実際には製品の品質を悪化させ、場合によっては
損品となる。この欠点は、デフレクタの機械的駆動部が
比較的に急速に磨耗することによりますます大きくな
り、不精度が大きくなる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、冒頭
に述べた形式の装置を改善し、レーザーの横方向偏向を
高精度に、かつ磨耗の少ないように行うことである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題は本発明によ
り、変調器が、書き込み信号および書き込み強度の変調
という本来の機能に加えて、曲折溝をレーザービームの
横方向偏向によって、電気信号に基づいて形成するよう
に構成して解決される。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明により、いずれにしろ必要
な構成部材、すなわち変調器が付加的な機能を満たすた
めに使用され、これまで機械的に駆動され、不正確に動
作し、磨耗および故障の危険性のあるデフレクタが必要
ない。本発明を実現するためには、従来の技術よりも少
数の光学素子しか必要ない。したがって、光強度の損失
も低減する。本発明の装置は、これまで公知の類似装置
よりも安価に製造することができる。
【０００６】本発明の有利な実施例では、変調器を付加
的に別の機能に使用することができる。すなわち、変調
器をレーザービームの半径方向微調整とノイズ抑圧を行
うように構成するのである。
【０００７】他の目的に使用される変調器について本発
明のために置換することができる。すなわち、本発明の
有利な構成により変調器が音響光学的変調器であり、こ
の変調器が結晶格子のところで回折することによって光
を結像ビーム路に入力結合し、回折の効率を変化させる
ことにより、入力結合すべき光強度を制御するのであ
る。これにより、格子制御周波数の変動によって光の方
向を変化させることができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ベルント ヘンゼル ドイツ連邦共和国 エシュボルン リーダ ーバッハー シュトラーセ 13 (72)発明者 フリードリッヒ ホーフマン ドイツ連邦共和国 ビューディンゲン ハ インガルテン24 (72)発明者 ヘルマン コープ ドイツ連邦共和国 ロネンベルク バッハ ステルツェンヴェーク 10 (72)発明者 パウル カイザー ドイツ連邦共和国 ミュンヘン バランシ ュトラーセ 89エー (72)発明者 ラルフ ズュース ドイツ連邦共和国 ミュンヘン タイマー ホーフシュトラーセ 48

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 レーザーにより形成されるレーザービー
    ムによってディスク基板を露光する装置であって、書き
    込み信号変調と書き込み強度変化のためのレーザービー
    ムを変調器によって変調し、レーザービームを横方向に
    偏向する手段を有する、結晶ディスク基板の露光装置に
    おいて、 変調器が、書き込み信号および書き込み強度の変調とい
    う本来の機能に加えて、曲折溝をレーザービームの横方
    向偏向によって、電気信号に基づいて形成するように構
    成されている、ことを特徴とする露光装置。
  2. 【請求項２】 変調器は付加的にレーザービームの半径
    方向微調整とノイズ抑圧を行うように構成されている、
    請求項１記載の装置。
  3. 【請求項３】 変調器は音響光学的変調器であり、該音
    響光学的変調器は結晶格子における回折により光を結像
    ビーム路に入力結合し、回折の効率変化によって入力結
    合すべき光を制御し、格子制御周波数の変動によって光
    の方向を可変とする、請求項１または２記載の装置。
JP8262163A 1995-10-09 1996-10-02 結晶ディスク基板の露光装置 Pending JPH09120569A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19537406A DE19537406A1 (de) 1995-10-09 1995-10-09 Vorrichtung zum Belichten eines kreisscheibenförmigen Substrates
DE19537406.1 1995-10-09

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH09120569A true JPH09120569A (ja) 1997-05-06

Family

ID=7774286

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8262163A Pending JPH09120569A (ja) 1995-10-09 1996-10-02 結晶ディスク基板の露光装置

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0768653A1 (ja)
JP (1) JPH09120569A (ja)
DE (1) DE19537406A1 (ja)

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Also Published As

Publication number Publication date
DE19537406A1 (de) 1997-04-10
EP0768653A1 (de) 1997-04-16

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