JPH09121136A

JPH09121136A - 共振器梯子型弾性表面波フィルタ

Info

Publication number: JPH09121136A
Application number: JP8074917A
Authority: JP
Inventors: Shunichi Seki; 俊一関; Kazuo Eda; 和生江田; Yutaka Taguchi; 豊田口; Keiji Onishi; 慶治大西; Hiroteru Satou; 浩輝佐藤; Osamu Kawasaki; 修川崎
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1995-04-12
Filing date: 1996-03-28
Publication date: 1997-05-06

Abstract

(57)【要約】【課題】通過帯域幅が広く、通過帯域内にスプリアス
が無く、通過帯域内が平坦な共振器梯子型弾性表面波フ
ィルタを提供する。【解決手段】４１゜回転ＹカットＸ伝搬ニオブ酸リチ
ウム基板１の上に、入力電極部２と、一方が入力電極部
２に接続され、弾性表面波を励振する一対のすだれ状ト
ランスデューサ（ＩＤＴ）からなる直列腕弾性表面波共
振器５と、直列腕弾性表面波共振器５の他方のＩＤＴに
接続された出力電極部３と、一方が出力電極部３に接続
され、弾性表面波を励振する一対のＩＤＴからなる並列
腕弾性表面波共振器６と、並列腕弾性表面波共振器６の
他方のＩＤＴに接続されたアース電極部４とを形成す
る。ＩＤＴをＡｌ又はＡｌを主成分とするＡｌ合金の金
属膜によって形成し、前記金属膜の膜厚を並列腕弾性表
面波共振器６のＩＤＴの電極周期の２．５％以上７．５
％以下とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電性材料からな
る基板上に弾性表面波を励振させ、所望の周波数帯域を
選択的に取り出すことができる弾性表面波フィルタに関
し、特に移動体通信機器の高周波フィルタに適した共振
器梯子型弾性表面波フィルタに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、移動体通信用の高周波フィルタと
しては、弾性表面波フィルタが広く用いられている。特
に、共振器梯子型弾性表面波フィルタは挿入損失が小さ
く、５０Ω整合性が優れているなどの理由から注目され
ている。

【０００３】以下、従来の共振器梯子型弾性表面波フィ
ルタについて説明する。共振器梯子型弾性表面波フィル
タの原理は、従来のセラミック梯子型フィルタと同一で
あり、共振器部分が弾性表面波共振器に置き換わってい
るだけである。この場合、入出力端子に直列に接続され
た弾性表面波共振器（以下「直列腕弾性表面波共振器」
という。）の共振周波数と入出力端子に並列に接続され
た弾性表面波共振器（以下「並列腕弾性表面波共振器」
という。）の反共振周波数とをほぼ一致させることによ
り、この周波数の近傍を通過帯域とし、直列腕弾性表面
波共振器の反共振周波数よりも高い周波数及び並列腕弾
性表面波共振器の共振周波数よりも低い周波数を阻止域
とするフィルタ特性が得られる。

【０００４】共振器梯子型弾性表面波フィルタにおける
通過帯域幅は、圧電性基板の電気機械結合係数と相関が
ある。すなわち、電気機械結合係数が大きいほど弾性表
面波共振器の共振周波数と反共振周波数との差が大きく
なり、通過帯域幅が広くなる。電気機械結合係数が約５
％と比較的大きい３６゜回転ＹカットＸ伝搬タンタル酸
リチウム基板は、比通過帯域幅（通過帯域幅／中心周波
数）が３％程度であるＮＴＴ、ＡＭＰＳ（北米地域
等）、ＧＳＭ（欧州地域等）などの移動体通信用の８０
０ＭＨｚ帯の規格に適するため、一般に使用され、良好
なフィルタ特性が得られている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】近年、１台の移動体通
信機器で複数の規格を利用できるような、極めて広い通
過帯域幅を有するフィルタが要望されている。例えば、
ＮＴＴアナログ規格とＮＴＴデジタル規格とを併せて利
用できるようにするためには、受信フィルタではＮＴＴ
デジタル規格の８１０ＭＨｚ〜８３０ＭＨｚとＮＴＴア
ナログ規格の８６０ＭＨｚ〜８８５ＭＨｚとを含む通過
帯域が必要となる。この場合の比通過帯域幅は約９％と
なり、従来の３６゜回転ＹカットＸ伝搬タンタル酸リチ
ウム基板では電気機械結合係数が小さいために対応する
ことができない。図１７に、ＮＴＴアナログ規格の受信
フィルタを従来の３６゜回転ＹカットＸ伝搬タンタル酸
リチウム基板上に作製したときの周波数特性の一例を示
す。

【０００６】３６゜回転ＹカットＸ伝搬タンタル酸リチ
ウム基板よりも電気機械結合係数の大きい圧電性基板と
して、６４゜回転ＹカットＸ伝搬ニオブ酸リチウム基板
及び４１゜回転ＹカットＸ伝搬ニオブ酸リチウム基板が
知られている。これらの圧電性基板の電気機械結合係数
は、前者で約１１％、後者で約１７％である。現在知ら
れている基板の中で比通過帯域幅９％程度を実現できる
可能性のある基板は、４１゜回転ＹカットＸ伝搬ニオブ
酸リチウム基板だけである。

【０００７】しかし、電子通信学会論文誌’８４／１
Ｖｏｌ．Ｊ６７−ＣＮｏ．１第１５８頁から１６５
頁に記載されているように、４１゜回転ＹカットＸ伝搬
ニオブ酸リチウム基板には、すだれ状トランスデューサ
（以下「ＩＤＴ」という。）の励振によりバルク波と結
合してそのエネルギーを基板内部に放射しながら伝搬す
る疑似弾性表面波（以下「リーキー弾性表面波」とい
う。）が主波として伝搬するが、基板表面にほぼ平行に
放射されるバルク波であるＳＳＢＷ（Ｓｕｒｆａｃｅ
ｓｋｉｍｍｉｎｇＢｕｌｋｗａｖｅ）も伝搬し、か
つ、強い圧電性のためにこれら弾性波の励振特性は複雑
である。４１゜回転ＹカットＸ伝搬ニオブ酸リチウム基
板において表面が電気的に短絡されている金属表面を伝
搬する弾性波の速度は、ＳＳＢＷで約４７９０［ｍ／
ｓ］、リーキー弾性表面波で約４３７０［ｍ／ｓ］であ
る。従って、この基板を用いてＩＤＴ及び反射器により
構成される従来の弾性表面波共振器では、図１５に示す
ように、リーキー弾性表面波及びＳＳＢＷの共振特性が
それぞれ異なる周波数で観察される。このような弾性表
面波共振器を用いて共振器梯子型弾性表面波フィルタを
構成すると、直列腕弾性表面波共振器におけるリーキー
弾性表面波の反共振点に当たるスプリアスがフィルタの
通過帯域の中心となるために通過帯域内にリップルが生
じ、通過帯域幅が狭くなる。この場合、特開平６−２９
１６００号公報に記載されているように、弾性表面波共
振器を、ＩＤＴの弾性表面波伝搬方向に沿った両側に反
射器を設けることなくＩＤＴだけで構成すれば、図１６
に示すように、リーキー弾性表面波の伝搬が抑制され、
スプリアスが回避される。

【０００８】以上のように４１゜回転ＹカットＸ伝搬ニ
オブ酸リチウム基板を用いた弾性表面波共振器はすでに
提案されているが、４１゜回転ＹカットＸ伝搬ニオブ酸
リチウム基板上に共振器梯子型弾性表面波フィルタを作
製した前例はない。また、４１゜回転ＹカットＸ伝搬ニ
オブ酸リチウム基板を用いた場合には、ＩＤＴの電極指
端における弾性表面波の反射係数が大きいため、ＩＤＴ
内での弾性表面波の内部反射によって共振特性に細かな
スプリアスが多数発生する。

【０００９】本発明は、以上の点に鑑みてなされたもの
であり、通過帯域幅が広く、通過帯域内にスプリアスが
存在せず、通過帯域内が平坦で良好な周波数特性を示す
共振器梯子型弾性表面波フィルタを提供することを目的
とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る共振器梯子型弾性表面波フィルタの第
１の構成は、４１゜回転ＹカットＸ伝搬ニオブ酸リチウ
ム基板上に、弾性表面波を励振するすだれ状トランスデ
ューサからなる少なくとも１個の直列腕弾性表面波共振
器と、弾性表面波を励振するすだれ状トランスデューサ
からなる少なくとも１個の並列腕弾性表面波共振器とを
備えた共振器梯子型弾性表面波フィルタであって、前記
すだれ状トランスデューサがＡｌ又はＡｌを主成分とす
るＡｌ合金の金属膜からなり、前記金属膜の膜厚が前記
並列腕弾性表面波共振器のすだれ状トランスデューサの
電極周期の２．５％以上７．５％以下であることを特徴
とする。

【００１１】また、前記本発明の第１の構成において
は、金属膜の膜厚が並列腕弾性表面波共振器のすだれ状
トランスデューサの電極周期の４％以上７％以下である
のが好ましい。

【００１２】また、本発明に係る共振器梯子型弾性表面
波フィルタの第２の構成は、４１゜回転ＹカットＸ伝搬
ニオブ酸リチウム基板上に、弾性表面波を励振するすだ
れ状トランスデューサからなる少なくとも１個の直列腕
弾性表面波共振器と、弾性表面波を励振するすだれ状ト
ランスデューサからなる少なくとも１個の並列腕弾性表
面波共振器とを備えた共振器梯子型弾性表面波フィルタ
であって、前記すだれ状トランスデューサがＡｌ以外の
任意の電極材料の金属膜からなり、Ａｌの密度をρ_Al、
前記任意の電極材料の密度をρ_Meとするとき、金属膜の
膜厚が並列腕弾性表面波共振器のすだれ状トランスデュ
ーサの電極周期の２．５・ρ_Al／ρ_Me％以上７．５・ρ
_Al／ρ_Me％以下であることを特徴とする。

【００１３】また、前記本発明の第２の構成において
は、金属膜の膜厚が並列腕弾性表面波共振器のすだれ状
トランスデューサの電極周期の４・ρ_Al／ρ_Me％以上７
・ρ_Al／ρ_Me％以下であるのが好ましい。

【００１４】また、前記本発明の構成においては、並列
腕弾性表面波共振器のすだれ状トランスデューサの弾性
表面波伝搬方向に沿った両側に反射器がさらに備わって
いるのが好ましい。また、この場合には、並列腕弾性表
面波共振器のすだれ状トランスデューサと反射器が互い
に対面する最近接の電極指の中心間距離ｄをｄ＝（α＋
ｎ）・Ｌ／２（ｎは０以上の整数、αは１以下の実数、
Ｌは前記並列腕弾性表面波共振器のすだれ状トランスデ
ューサの電極周期）とするとき、αが０．８以上１．０
以下であるのが好ましい。

【００１５】また、前記本発明の構成においては、直列
腕弾性表面波共振器のすだれ状トランスデューサの弾性
表面波伝搬方向に沿った両側に反射器がさらに備わって
いるのか好ましい。また、この場合には、直列腕弾性表
面波共振器の反射器内の隣合う電極指の中心間距離Ｐｒ
をＰｒ＝ｐ・Ｐｉ（ｐは実数、Ｐｉは前記直列腕弾性表
面波共振器のすだれ状トランスデューサ内の隣合う電極
指の中心間距離）とするとき、ｐが０．９６以上１．０
６以下であるのが好ましい。

【００１６】また、前記本発明の構成においては、すだ
れ状トランスデューサ内の向かい合う電極指の対数をＮ
とするとき、Ｎが５０対以上であるのが好ましい。ま
た、前記本発明の構成においては、すだれ状トランスデ
ューサ内の向かい合う電極指の交差幅ＷＤをすだれ状ト
ランスデューサの電極周期Ｌで除して規格化した値をＷ
（＝ＷＤ／Ｌ）とするとき、Ｗが８以上であるのが好ま
しい。

【００１７】また、前記本発明の構成においては、すだ
れ状トランスデューサの電極指の幅をＬｍ、電極指の間
隙幅をＬｇとし、η＝Ｌｍ／（Ｌｍ＋Ｌｇ）と定義する
とき、ηが０．２以上０．５以下であるのが好ましい。

【００１８】また、前記本発明の構成においては、直列
腕弾性表面波共振器及び並列腕弾性表面波共振器からな
る群から選ばれる少なくとも一方のすだれ状トランスデ
ューサ内の向かい合う電極指に交差幅重み付けが施され
ているのが好ましい。

【００１９】尚、本発明においては、バルク波の一種で
あるリーキー弾性表面波及びＳＳＢＷ（Ｓｕｒｆａｃｅ
ｓｋｉｍｍｉｎｇＢｕｌｋｗａｖｅ）を共に弾性
表面波という。

【００２０】前記本発明の第１の構成によれば、４１゜
回転ＹカットＸ伝搬ニオブ酸リチウム基板上に、弾性表
面波を励振するすだれ状トランスデューサからなる少な
くとも１個の直列腕弾性表面波共振器と、弾性表面波を
励振するすだれ状トランスデューサからなる少なくとも
１個の並列腕弾性表面波共振器とを備えた共振器梯子型
弾性表面波フィルタであって、前記すだれ状トランスデ
ューサがＡｌ又はＡｌを主成分とするＡｌ合金の金属膜
からなり、前記金属膜の膜厚が前記並列腕弾性表面波共
振器のすだれ状トランスデューサの電極周期の２．５％
以上７．５％以下であることを特徴とすることにより、
実用上スプリアスが問題とならず、良好な周波数特性が
得られる。

【００２１】また、前記本発明の第１の構成において、
金属膜の膜厚が並列腕弾性表面波共振器のすだれ状トラ
ンスデューサの電極周期の４％以上７％以下であるとい
う好ましい例によれば、スプリアスを完全に抑えること
ができ、さらに良好な周波数特性が得られる。

【００２２】また、前記本発明の第２の構成によれば、
４１゜回転ＹカットＸ伝搬ニオブ酸リチウム基板上に、
弾性表面波を励振するすだれ状トランスデューサからな
る少なくとも１個の直列腕弾性表面波共振器と、弾性表
面波を励振するすだれ状トランスデューサからなる少な
くとも１個の並列腕弾性表面波共振器とを備えた共振器
梯子型弾性表面波フィルタであって、前記すだれ状トラ
ンスデューサがＡｌ以外の任意の電極材料の金属膜から
なり、Ａｌの密度をρ_Al、前記任意の電極材料の密度を
ρ_Meとするとき、金属膜の膜厚が並列腕弾性表面波共振
器のすだれ状トランスデューサの電極周期の２．５・ρ
_Al／ρ_Me％以上７．５・ρ_Al／ρ_Me％以下であることを
特徴とすることにより、実用上スプリアスが問題となら
ず、良好な周波数特性が得られる。

【００２３】また、前記本発明の第２の構成において、
金属膜の膜厚が並列腕弾性表面波共振器のすだれ状トラ
ンスデューサの電極周期の４・ρ_Al／ρ_Me％以上７・ρ
_Al／ρ_Me％以下であるという好ましい例によれば、スプ
リアスを完全に抑えることができ、さらに良好な周波数
特性が得られる。

【００２４】また、前記本発明の構成において、並列腕
弾性表面波共振器のすだれ状トランスデューサの弾性表
面波伝搬方向に沿った両側に反射器がさらに備わってい
るという好ましい例によれば、共振周波数と反共振周波
数との差が大きくなり、通過帯域幅が広くなるので、良
好な周波数特性が得られる。また、この場合、並列腕弾
性表面波共振器のすだれ状トランスデューサと反射器が
互いに対面する最近接の電極指の中心間距離ｄをｄ＝
（α＋ｎ）・Ｌ／２（ｎは０以上の整数、αは１以下の
実数、Ｌは前記並列腕弾性表面波共振器のすだれ状トラ
ンスデューサの電極周期）とするとき、αが０．８以上
１．０以下であるという好ましい例によれば、さらに共
振周波数と反共振周波数との差が大きくなり、通過帯域
幅が広くなるので、良好な周波数特性が得られる。

【００２５】また、前記本発明の構成において、直列腕
弾性表面波共振器のすだれ状トランスデューサの弾性表
面波伝搬方向に沿った両側に反射器がさらに備わってい
るという好ましい例によれば、共振周波数と反共振周波
数との差が大きくなり、通過帯域幅が広くなるので、良
好な周波数特性が得られる。また、この場合、直列腕弾
性表面波共振器の反射器内の隣合う電極指の中心間距離
ＰｒをＰｒ＝ｐ・Ｐｉ（ｐは実数、Ｐｉは前記直列腕弾
性表面波共振器のすだれ状トランスデューサ内の隣合う
電極指の中心間距離）とするとき、ｐが０．９６以上
１．０６以下であるという好ましい例によれば、さらに
共振周波数と反共振周波数との差が大きくなり、通過帯
域幅が広くなるので、良好な周波数特性が得られる。

【００２６】また、前記本発明の構成において、すだれ
状トランスデューサ内の向かい合う電極指の対数をＮと
するとき、Ｎが５０対以上であるという好ましい例によ
れば、すだれ状トランスデューサの弾性表面波伝搬方向
に弾性表面波が漏れることはなく、反射器を設けなくて
も損失が抑えられる。

【００２７】また、前記本発明の構成において、すだれ
状トランスデューサ内の向かい合う電極指の交差幅ＷＤ
をすだれ状トランスデューサの電極周期Ｌで除して規格
化した値をＷ（＝ＷＤ／Ｌ）とするとき、Ｗが８以上で
あるという好ましい例によれば、通過帯域内にスプリア
スが出現することはなく、通過帯域内が平坦となるの
で、良好な周波数特性が得られる。

【００２８】また、前記本発明の構成において、すだれ
状トランスデューサの電極指の幅をＬｍ、電極指の間隙
幅をＬｇとし、η＝Ｌｍ／（Ｌｍ＋Ｌｇ）と定義すると
き、ηが０．２以上０．５以下であるという好ましい例
によれば、通過帯域内のリップルが小さくなり、通過帯
域幅が広くなるので、良好な周波数特性が得られる。

【００２９】また、前記本発明の構成において、直列腕
弾性表面波共振器及び並列腕弾性表面波共振器からなる
群から選ばれる少なくとも一方のすだれ状トランスデュ
ーサ内の向かい合う電極指に交差幅重み付けが施されて
いるという好ましい例によれば、すだれ状トランスデュ
ーサ内における弾性表面波の内部反射効率を高めて、共
振器梯子型弾性表面波フィルタの低損失化及び低リップ
ル化を図ることができるので、さらに良好な周波数特性
が得られる。

【００３０】

【発明の実施の形態】

〈第１の実施の形態〉図１は本発明の第１の実施の形態
における共振器梯子型弾性表面波フィルタを示す模式図
であり、（ａ）は基板上の構成図、（ｂ）は（ａ）のＩ
−Ｉ断面図である。

【００３１】図１に示すように、４１゜回転ＹカットＸ
伝搬ニオブ酸リチウム基板１の上には、入力電極部２
と、一方が入力電極部２に接続され、弾性表面波を励振
する一対のすだれ状トランスデューサ（以下「ＩＤＴ」
という。）からなる直列腕弾性表面波共振器５と、直列
腕弾性表面波共振器５の他方のＩＤＴに接続された出力
電極部３と、一方が出力電極部３に接続され、弾性表面
波を励振する一対のＩＤＴからなる並列腕弾性表面波共
振器６と、並列腕弾性表面波共振器６の他方のＩＤＴに
接続されたアース電極部４とが形成されている。以上に
より、共振器梯子型弾性表面波フィルタが構成されてい
る。尚、直列腕弾性表面波共振器５及び並列腕弾性表面
波共振器６には、ＩＤＴの弾性表面波伝搬方向に沿った
両側に反射器は設けられていない。図１（ｂ）に示す電
極膜厚（ＩＤＴの金属膜厚）Ｈは、共振器の特性を決定
する重要な変数である。共振器にはスプリアスの無い良
好な周波数特性が要求される。そこで、電極膜厚Ｈとし
てどのような値が最適であるか検討を行った。

【００３２】図２に、弾性表面波共振器において電極膜
厚を変数としたインピーダンスの虚数部の周波数特性を
示す。弾性表面波共振器の構成は、次のとおりである。
すなわち、電極材料はＡｌであり、ＩＤＴの電極指の対
数は１００対、ＩＤＴ内の向かい合う電極指の交差幅Ｗ
Ｄ（図１（ａ）参照）はＩＤＴの電極周期Ｌ（図１
（ｂ）参照；実質的に励振される弾性表面波の波長に等
しい）の１５倍である。ここで、電極膜厚は、実際の電
極膜厚ＨをＩＤＴの電極周期Ｌで除して規格化されてい
る。図２に示すように、電極膜厚（Ｈ／Ｌ）が２％程度
と薄いときは共振器は十分に共振せず、スプリアスＡが
出現するが、電極膜厚（Ｈ／Ｌ）が厚くなるに従い、こ
のスプリアスＡは徐々に小さくなって消滅する。しか
し、電極膜厚（Ｈ／Ｌ）が８％程度まで大きくなると、
ＳＳＢＷ以外のバルク波等の影響によってスプリアスＢ
が出現する。電極膜厚（Ｈ／Ｌ）が２％から８％までの
間で弾性表面波共振器の共振特性をさらに詳しく調べた
ところ、実用上スプリアスが問題とならない電極膜厚
（Ｈ／Ｌ）の範囲は２．５％以上７．５％以下であり、
スプリアスが完全に抑えられ最も良好な周波数特性が得
られる電極膜厚（Ｈ／Ｌ）の範囲は４％以上７％以下で
あった。

【００３３】尚、本実施例においては、電極材料として
Ａｌを用いているが、耐電力特性を向上させる等のため
にＡｌにＣｕ、Ｔｉ、Ｓｉ、Ｓｃ等の異種金属を数重量
％混入させたＡｌ合金からなる金属膜や前記複数のＡｌ
合金製金属膜を層状構造とした積層膜を用いても、好ま
しい電極膜厚の範囲は本実施の形態の場合と殆ど変わら
なかった。この場合、Ａｌ合金に含まれるＡｌの割合は
７０％以上であるのが好ましい。

【００３４】また、弾性表面波共振器の電極膜厚による
周波数特性は、金属膜の質量に依存している。すなわ
ち、電極材料がＡｌ以外のときの最適電極膜厚を得るに
は、前記した電極膜厚にＡｌの密度とＡｌ以外の電極材
料の密度との比を剰ずればよい。従って、Ａｌの密度を
ρ_Al、任意の電極材料の密度をρ_Meとすれば、実用上ス
プリアスが問題とならない電極膜厚の範囲は２．５・ρ
_Al／ρ_Me％以上７．５・ρ_Al／ρ_Me％以下であり、スプ
リアスが完全に抑えられ最も良好な周波数特性が得られ
る電極膜厚の範囲は４・ρ_Al／ρ_Me％以上７・ρ_Al／ρ
_Me％以下となる。例えば、電極材料がＡｕの場合、ρ_Au
は１８．９、ρ_Alは２．７であるので、実用上スプリア
スが問題とならない電極膜厚の範囲は０．３６％以上
１．０７％以下であり、スプリアスが完全に抑えられ最
も良好な周波数特性が得られる電極膜厚の範囲は０．５
７％以上１．０％以下である。

【００３５】図３に、電極膜厚が並列腕弾性表面波共振
器のＩＤＴの電極周期の６％であるＡｌ製共振器梯子型
弾性表面波フィルタの周波数特性を示す。この共振器梯
子型弾性表面波フィルタは、図４に示すようなＴ型２段
構成を有している。すなわち、この共振器梯子型弾性表
面波フィルタは、入力電極端子１１と出力電器端子１２
との間に直列に配置された４個の直列腕弾性表面波共振
器１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄと、入力電極端子１
１に接続された直列腕弾性表面波共振器１４ａとこの直
列腕弾性表面波共振器１４ａに隣接する直列腕弾性表面
波共振器１４ｂとを接続する接続線とアース電極端子１
３との間に配置された並列腕弾性表面波共振器１５ａ
と、出力電極端子１２に接続された直列腕弾性表面波共
振器１４ｄとこの直列腕弾性表面波共振器１４ｄに隣接
する直列腕弾性表面波共振器１４ｃとを接続する接続線
とアース電極端子１３との間に配置された並列腕弾性表
面波共振器１５ｂとにより構成されている。ここで、直
列腕弾性表面波共振器１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ
は、ＩＤＴの電極指の幅が１．１９０μｍ、ＩＤＴの電
極周期が４．７６０μｍ、ＩＤＴ内の向かい合う電極指
の対数が１２０．５対、ＩＤＴ内の向かい合う電極指の
交差幅が４０μｍである。また、並列腕弾性表面波共振
器１５ａ、１５ｂは、ＩＤＴの電極指の幅が１．３４０
μｍ、ＩＤＴの電極周期が５．３６０μｍ、ＩＤＴ内の
向かい合う電極指の対数が１５０．５対、ＩＤＴ内の向
かい合う電極指の交差幅が７０μｍである。図３に示す
ように、この共振器梯子型弾性表面波フィルタは、スプ
リアスが存在せず周波数特性が良好な直列腕弾性表面波
共振器及び並列腕弾性表面波共振器によって構成されて
いるので、通過帯域内にスプリアスが存在せず、リップ
ルが小さく（１．５ｄＢ）、広帯域（最小挿入損失から
１．５ｄＢ下がったところの通過帯域幅が８５ＭＨｚ）
の優れた周波数特性が得られる。

【００３６】以下、ＩＤＴの電極指の対数、ＩＤＴ内の
向かい合う電極指の交差幅及びＩＤＴメタライゼーショ
ン比が共振器梯子型弾性表面波フィルタの周波数特性に
及ぼす影響について説明する。これらの影響は、ＩＤＴ
の電極指の対数をＮ、ＩＤＴ内の向かい合う電極指の交
差幅ＷＤをＩＤＴの電極周期Ｌで除して規格化した値を
Ｗ（＝ＷＤ／Ｌ）としたとき、Ｎ・Ｗ＝１５０となるよ
うにした弾性表面波共振器を直列腕及び並列腕に用い、
図４のＴ型２段構成の共振器梯子型弾性表面波フィルタ
を作製して検討した。直列腕弾性表面波共振器１４ａ、
１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ及び並列腕弾性表面波共振器１
５ａ、１５ｂのＩＤＴの電極周期は、図３の共振器梯子
型弾性表面波フィルタと同一である。すなわち、直列腕
弾性表面波共振器１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄのＩ
ＤＴの電極周期は４．７６０μｍ、並列腕弾性表面波共
振器１５ａ、１５ｂのＩＤＴの電極周期は５．３６０μ
ｍである。また、電極膜厚（Ａｌ製）は並列腕弾性表面
波共振器１５ａ、１５ｂのＩＤＴの電極周期の６％であ
る。

【００３７】まず、ＩＤＴの電極指の対数が共振器梯子
型弾性表面波フィルタの周波数特性に及ぼす影響につい
て説明する。ここで用いた弾性表面波共振器は反射器を
備えていないため、ＩＤＴの弾性表面波伝搬方向に弾性
表面波が幾分か洩れ、反射器を備えている場合と比較し
て損失が大きくなる。しかし、ＩＤＴの電極指の対数を
多くすれば、この問題は解決される。図５に、Ｎ・Ｗ＝
１５０のときのＩＤＴの電極指の対数Ｎと最小挿入損失
との関係を示す。図５に示すように、ＩＤＴの電極指の
対数Ｎが５０対よりも小さくなると、共振器梯子型弾性
表面波フィルタの最小挿入損失が急激に増加する。従っ
て、ＩＤＴの電極指の対数Ｎが５０対以上であれば、弾
性表面波の洩れは問題とならない。

【００３８】次に、ＩＤＴ内の向かい合う電極指の交差
幅が共振器梯子型弾性表面波フィルタの周波数特性に及
ぼす影響について説明する。図６に、Ｎ・Ｗ＝１５０の
ときの規格化された電極指交差幅Ｗと通過帯域内のスプ
リアス数との関係を示す。図６に示すように、電極指交
差幅Ｗが１０以上では通過帯域内にスプリアスは存在し
ないが、電極指交差幅Ｗが１０よりも小さくなると通過
帯域内にスプリアスが出現する。これは、ＩＤＴ内の向
かい合う電極指の交差幅が小さくなると、ＩＤＴの先端
部における弾性表面波の回折が無視できなくなって共振
周波数がずれてくることに起因する。尚、通過帯域内の
スプリアス数の許容数を２個とした場合には、電極指交
差幅Ｗは８以上であれば十分である。

【００３９】最後に、ＩＤＴメタライゼーション比が共
振器梯子型弾性表面波フィルタの周波数特性に及ぼす影
響について説明する。ここで、ＩＤＴの電極指の幅をＬ
ｍ、ＩＤＴの電極指の間隙幅をＬｇとし（図１（ｂ）参
照）、η＝Ｌｍ／（Ｌｍ＋Ｌｇ）と定義する。図７に、
ηと通過帯域内リップル（リップルは最小挿入損失と通
過帯域幅８５ＭＨｚを確保できる挿入損失との差；図３
参照）との関係を示す。図７に示すように、ηが０．５
よりも大きくなると通過帯域内リップルは大きくなり、
ηが０．５よりも小さくなると通過帯域内リップルは小
さくなる。しかし、ηが０．３付近よりもさらに小さく
なると、ＩＤＴの電極抵抗が大きくなり、その結果、挿
入損失が急増すると共に、フィルタの周波数特性が緩慢
になるので、通過帯域内リップルは急激に大きくなる。
従って、η＝０．５の通過帯域内リップルの値を基準と
して通過帯域内リップルをこの値よりも小さくするに
は、ηを０．２以上０．５以下に設定することが必要で
ある。このようにηが０．２以上０．５以下であれば、
通過帯域内リップルが小さくなり、通過帯域幅が広くな
るので、良好な周波数特性が得られる。

【００４０】尚、直列腕弾性表面波共振器５又は並列腕
弾性表面波共振器６のＩＤＴ内の向かい合う電極指に、
図８に一例を示すような交差幅重み付けを少なくとも一
箇所施せば、ＩＤＴ内における弾性表面波の内部反射効
率を高めて、共振器梯子型弾性表面波フィルタの低損失
化及び低リップル化を図ることができるので、さらに良
好な周波数特性が得られる。

【００４１】以上のように、本実施の形態の共振器梯子
型弾性表面波フィルタによれば、従来の共振器梯子型弾
性表面波フィルタと比較して、通過帯域内にスプリアス
が存在せず、通過帯域が広く、通過帯域内リップルの小
さい良好な周波数特性が得られる。

【００４２】〈第２の実施の形態〉図９は本発明の第２
の実施の形態における共振器梯子型弾性表面波フィルタ
を示す模式図である。図９に示すように、４１゜回転Ｙ
カットＸ伝搬ニオブ酸リチウム基板１の上には、入力電
極部２と、一方が入力電極部２に接続され、弾性表面波
を励振する一対のＩＤＴからなる直列腕弾性表面波共振
器５と、直列腕弾性表面波共振器５の他方のＩＤＴに接
続された出力電極部３と、一方が出力電極部３に接続さ
れ、弾性表面波を励振する一対のＩＤＴからなる並列腕
弾性表面波共振器６と、並列腕弾性表面波共振器６の他
方のＩＤＴに接続されたアース電極部４とが形成されて
いる。また、４１゜回転ＹカットＸ伝搬ニオブ酸リチウ
ム基板１の上には、並列腕弾性表面波共振器６のＩＤＴ
の弾性表面波の伝搬方向に沿った両側に反射器７が形成
されている。以上により、共振器梯子型弾性表面波フィ
ルタが構成されている。このように並列腕弾性表面波共
振器６に反射器７が備わっていると、図１５に示すよう
に、周波数特性にリーキー弾性表面波によるスプリアス
が出現するが、共振周波数と反共振周波数との差が大き
くなるので、フィルタ構成としたときに通過帯域幅が広
くなる。その結果、良好な周波数特性が得られる。

【００４３】図１０に、並列腕弾性表面波共振器のＩＤ
Ｔの弾性表面波伝搬方向に沿った両側に反射器を設けた
共振器梯子型弾性表面波フィルタ（図９）の周波数特性
を示す。この共振器梯子型弾性表面波フィルタは、図４
に示すようなＴ型２段構成を有している。尚、図１０中
の破線は図３の共振器梯子型弾性表面波フィルタの周波
数特性を示している。ここで、直列腕弾性表面波共振器
１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ（図４参照）は、ＩＤ
Ｔの電極指の幅が１．１９０μｍ、ＩＤＴの電極周期が
４．７６０μｍ、ＩＤＴ内の向かい合う電極指の対数が
１２０．５対、ＩＤＴ内の向かい合う電極指の交差幅が
４０μｍである。また、並列腕弾性表面波共振器１５
ａ、１５ｂ（図４参照）は、ＩＤＴの電極指の幅が１．
３４０μｍ、ＩＤＴの電極周期が５．３６０μｍ、ＩＤ
Ｔ内の向かい合う電極指の対数が１５０．５対、ＩＤＴ
内の向かい合う電極指の交差幅が７０μｍ、反射器の電
極指の幅が１．３４０μｍ、反射器の電極周期が４．７
６０μｍ、反射器内の隣合う電極指の本数が５０本、反
射器の隣合う電極指の交差幅が４５μｍである。また、
並列腕弾性表面波共振器１５ａ、１５ｂのＩＤＴと反射
器が互いに対面する最近接の電極指の中心間距離ｄをｄ
＝（α＋ｎ）・Ｌ／２としたとき、α＝０．９、ｎ＝０
である。図１０に示すように、本実施の形態の共振器梯
子型弾性表面波フィルタは、図３の共振器梯子型弾性表
面波フィルタと比較して通過帯域への立ち上がりは劣る
ものの、通過帯域幅はより広くなる。すなわち、通過帯
域幅として、最小挿入損失から１．５ｄＢ下がったとこ
ろで９０ＭＨｚが確保される。

【００４４】ここで、本実施の形態の共振器梯子型弾性
表面波フィルタにおいて、並列腕弾性表面波共振器のＩ
ＤＴと反射器が互いに対面する最近接の電極指の中心間
距離ｄ＝（α＋ｎ）・Ｌ／２のα、ｎをα＝０．９、ｎ
＝０としたことについて説明する。図１５に示したリー
キー弾性表面波によるスプリアスは、並列腕弾性表面波
共振器のＩＤＴの弾性表面波の伝搬方向に沿った両側に
反射器を設けたことによって生じる。そして、並列腕弾
性表面波共振器のＩＤＴと反射器が互いに対面する最近
接の電極指の中心間距離ｄがＩＤＴ内の向かい合う電極
指の中心間距離と等しいとき、このスプリアスは共振器
梯子型弾性表面波フィルタの通過帯域内にあり、リップ
ルの原因となる。このスプリアスは、並列腕弾性表面波
共振器のＩＤＴと反射器が互いに対面する最近接の電極
指の中心間距離ｄを大きくしていくと低周波数側に移動
し、α＝０．５付近で通過帯域外に排除される。また、
α＝１でα＝０のときと同等になる。すなわち、このス
プリアスは、Ｌ／２を周期として移動する。図１１に、
αと通過帯域幅との関係を示す。通過帯域幅は最小挿入
損失から１．５ｄＢ下がったところで定義した。図１１
に示すように、α＝０．９のときに通過帯域幅は最大と
なり、α＝０．８〜１．０のときにα＝０のときよりも
通過帯域幅が広くなる。但し、α＝０．２〜０．５付近
では、通過帯域内のスプリアスのために通過帯域内のリ
ップルが１．５ｄＢ以上となり、通過帯域幅を決定する
ことはできない。

【００４５】尚、ＩＤＴの電極指の対数、ＩＤＴ内の向
かい合う電極指の交差幅及びＩＤＴメタライゼーション
比が共振器梯子型弾性表面波フィルタの周波数特性に及
ぼす影響は、上記第１の実施の形態の場合と同様であ
る。

【００４６】また、ＩＤＴの交差幅重み付けが共振器梯
子型弾性表面波フィルタの周波数特性に及ぼす影響も、
上記第１の実施の形態の場合と同様である。また、本実
施の形態においても、直列腕弾性表面波共振器５又は並
列腕弾性表面波共振器６のＩＤＴ内の向かい合う電極指
に、交差幅重み付けを少なくとも一箇所施せば（図８参
照）、ＩＤＴ内における弾性表面波の内部反射効率を高
めて、共振器梯子型弾性表面波フィルタの低損失化及び
低リップル化を図ることができるので、さらに良好な周
波数特性が得られる。

【００４７】以上のように、本実施の形態の共振器梯子
型弾性表面波フィルタによれば、従来の共振器梯子型弾
性表面波フィルタと比較して、通過帯域幅の広い良好な
周波数特性が得られる。

【００４８】〈第３の実施の形態〉図１２は本発明の第
３の実施の形態における共振器梯子型弾性表面波フィル
タを示す模式図である。図１２に示すように、４１゜回
転ＹカットＸ伝搬ニオブ酸リチウム基板１の上には、入
力電極部２と、一方が入力電極部２に接続され、弾性表
面波を励振する一対のＩＤＴからなる直列腕弾性表面波
共振器５と、直列腕弾性表面波共振器５の他方のＩＤＴ
に接続された出力電極部３と、一方が出力電極部３に接
続され、弾性表面波を励振する一対のＩＤＴからなる並
列腕弾性表面波共振器６と、並列腕弾性表面波共振器６
の他方のＩＤＴに接続されたアース電極部４とが形成さ
れている。また、４１゜回転ＹカットＸ伝搬ニオブ酸リ
チウム基板１の上には、直列腕弾性表面波共振器５のＩ
ＤＴの弾性表面波の伝搬方向に沿った両側に反射器７が
形成されている。以上により、共振器梯子型弾性表面波
フィルタが構成されている。このように直列腕弾性表面
波共振器５に反射器７が備わっていると、上記第２の実
施の形態と同様、図１５に示すように、周波数特性にリ
ーキー弾性表面波によるスプリアスが出現するが、共振
周波数と反共振周波数との差が大きくなり、フィルタ構
成としたときに通過帯域幅が広くなるので、良好な周波
数特性が得られる。但し、直列腕弾性表面波共振器５の
リーキー弾性表面波によるスプリアスがフィルタの通過
帯域の中央付近に位置するために、反射器７の電極指の
本数が多すぎると通過帯域内のリーキー弾性表面波によ
るスプリアスがリップルとなるので、反射器７の電極指
の本数はリップルを許容できる範囲内に止める必要があ
る。この許容範囲はフィルタの要求仕様にも因るが、概
ね５０本以下であればよい。

【００４９】図１３に、図３の共振器梯子型弾性表面波
フィルタと同様に電極膜厚が並列腕弾性表面波共振器の
ＩＤＴの電極周期の６％であるＴ型２段構造のＡｌ製共
振器梯子型弾性表面波フィルタの周波数特性を示す。こ
の共振器梯子型弾性表面波フィルタの直列腕弾性表面波
共振器５は、ＩＤＴの電極指の幅が１．１８５μｍ、Ｉ
ＤＴの電極周期が４．７４０μｍ、ＩＤＴ内の向かい合
う電極指の対数が１２０．５対、ＩＤＴ内の向かい合う
電極指の交差幅が４０μｍである。また、反射器７は、
電極指の本数が５０本、隣合う電極指の交差幅が４５μ
ｍである。そして、直列腕弾性表面波共振器５の反射器
７内の隣合う電極指の中心間距離Ｐｒ（図１２参照）を
Ｐｒ＝ｐ・Ｐｉ（ｐは実数、Ｐｉは直列腕弾性表面波共
振器５のＩＤＴ内の隣合う電極指の中心間距離（図１２
参照））としたとき、ｐ＝０．９８である。また、並列
腕弾性表面波共振器６は、ＩＤＴの電極指の幅が１．３
４０μｍ、ＩＤＴの電極周期が５．３６０μｍ、ＩＤＴ
内の向かい合う電極指の対数が１５０．５対、ＩＤＴ内
の向かい合う電極指の交差幅が７０μｍである。ここ
で、本実施の形態の共振器梯子型弾性表面波フィルタに
おいて、直列腕弾性表面波共振器の反射器のｐを０．９
８にしたことについて説明する。図１４に、本実施の形
態の共振器梯子型弾性表面波フィルタにおいて、直列腕
弾性表面波共振器５の反射器７のｐを変化させたとき
の、ｐとＶＳＷＲ（電圧定在波比）及び通過帯域幅との
関係を示す。通過帯域幅は最小挿入損失から１．５ｄＢ
下がったところで定義している。尚、ＶＳＷＲは弾性表
面波フィルタの入射波と反射波に関する比であり、１以
上の値をとる。ＶＳＷＲが１に近いほど反射波が小さく
外部回路との整合性が良好になる。図１４に示すよう
に、ＶＳＷＲは反射器７のｐが１のときに極大値とな
り、反射器７のｐが１から外れるとＶＳＷＲが小さくな
る。しかし、通過帯域幅は、反射器７のｐが１のときに
最も広く、反射器７のｐが１から外れると通過帯域幅が
狭くなる。従って、許容できる通過帯域幅の減少を０．
５％とした場合、反射器７のｐは０．９６以上１．０６
以下であれば十分である。

【００５０】また、本実施の形態のように、直列腕弾性
表面波共振器５に反射器７が備わっていると、共振周波
数が低周波数側に移動する。そこで、図３の共振器梯子
型弾性表面波フィルタと同程度の帯域内ＶＳＷＲを得る
ために、直列腕弾性表面波共振器５のＩＤＴの電極周期
を小さくして共振周波数及び反共振周波数を高周波数側
に移動させ、直列腕弾性表面波共振器５の共振周波数と
並列腕弾性表面波共振器６の反共振周波数との差を図３
の共振器梯子型弾性表面波フィルタと同程度にする。こ
れにより、図３の共振器梯子型弾性表面波フィルタより
も通過帯域幅が広くなり、通過帯域幅として最小挿入損
失から１．５ｄＢ下がったところで８８ＭＨｚ確保され
る（図１３参照）。

【００５１】尚、ＩＤＴの電極指の対数、ＩＤＴ内の向
かい合う電極指の交差幅及びＩＤＴメタライゼーション
比が共振器梯子型弾性表面波フィルタの周波数特性に及
ぼす影響は、上記第１の実施の形態の場合と同様であ
る。

【００５２】また、ＩＤＴの交差幅重み付けが共振器梯
子型弾性表面波フィルタの周波数特性に及ぼす影響も、
上記第１の実施の形態の場合と同様である。また、本実
施の形態においても、直列腕弾性表面波共振器５又は並
列腕弾性表面波共振器６のＩＤＴ内の向かい合う電極指
に、交差幅重み付けを少なくとも一箇所施せば（図８参
照）、ＩＤＴ内における弾性表面波の内部反射効率を高
めて、共振器梯子型弾性表面波フィルタの低損失化及び
低リップル化を図ることができるので、さらに良好な周
波数特性が得られる。

【００５３】以上のように、本実施の形態の共振器梯子
型弾性表面波フィルタによれば、従来の共振器梯子型弾
性表面波フィルタと比較して、通過帯域幅の広い良好な
周波数特性が得られる。

【００５４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の共振器梯
子型弾性表面波フィルタによれば、通過帯域幅が広く、
通過帯域内にスプリアスが存在せず、通過帯域内が平坦
である良好な周波数特性を有する共振器梯子型弾性表面
波フィルタが実現される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態における共振器梯子
型弾性表面波フィルタを示す模式図であり、（ａ）は基
板上の構成図、（ｂ）は（ａ）のＩ−Ｉ断面図である。

【図２】本発明の第１の実施の形態の弾性表面波共振器
において電極膜厚を変数としたインピーダンスの虚数部
の周波数特性図である。

【図３】本発明の第１の実施の形態のＡｌ製共振器梯子
型弾性表面波フィルタの周波数特性図である。

【図４】本発明の第１の実施の形態のＴ型２段構造を有
する共振器梯子型弾性表面波フィルタの回路構成図であ
る。

【図５】本発明の第１の実施の形態の共振器梯子型弾性
表面波フィルタにおけるＩＤＴの電極指の対数と最小挿
入損失との関係を示す図である。

【図６】本発明の第１の実施の形態の共振器梯子型弾性
表面波フィルタにおけるＩＤＴ内の向かい合う電極指の
交差幅と通過帯域内のスプリアス数との関係を示す図で
ある。

【図７】本発明の第１の実施の形態の共振器梯子型弾性
表面波フィルタにおけるＩＤＴメタライゼーション比と
通過帯域内リップルとの関係を示す図である。

【図８】本発明の第１の実施の形態の共振器梯子型弾性
表面波フィルタの他の例を示す模式図である。

【図９】本発明の第２の実施の形態における共振器梯子
型弾性表面波フィルタを示す模式図である。

【図１０】本発明の第２の実施の形態の共振器梯子型弾
性表面波フィルタの周波数特性図である。

【図１１】本発明の第２の実施の形態の共振器梯子型弾
性表面波フィルタにおけるＩＤＴ及び反射器の電極指の
中心間距離と通過帯域幅との関係を示す図である。

【図１２】本発明の第３の実施の形態における共振器梯
子型弾性表面波フィルタを示す模式図である。

【図１３】本発明の第３の実施の形態の共振器梯子型弾
性表面波フィルタの周波数特性図である。

【図１４】本発明の第３の実施の形態の共振器梯子型弾
性表面波フィルタにおける反射器のｐとＶＳＷＲ及び通
過帯域幅との関係を示す図である。

【図１５】従来技術における反射器が備わった弾性表面
波共振器の周波数特性図である。

【図１６】従来技術における反射器が備わっていない弾
性表面波共振器の周波数特性図である。

【図１７】従来技術における共振器梯子型弾性表面波フ
ィルタの周波数特性図である。

【符号の説明】

１４１゜回転ＹカットＸ伝搬ニオブ酸リチウム基板２入力電極部３出力電極部４アース電極部５、１４ａ、１４ｂ、１４ｃ、１４ｄ直列腕弾性表面
波共振器６、１５ａ、１５ｂ並列腕弾性表面波共振器７反射器１１入力電極端子１２出力電極端子１３アース電極端子

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者大西慶治大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者佐藤浩輝大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者川崎修大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】４１゜回転ＹカットＸ伝搬ニオブ酸リチ
ウム基板上に、弾性表面波を励振するすだれ状トランス
デューサからなる少なくとも１個の直列腕弾性表面波共
振器と、弾性表面波を励振するすだれ状トランスデュー
サからなる少なくとも１個の並列腕弾性表面波共振器と
を備えた共振器梯子型弾性表面波フィルタであって、前
記すだれ状トランスデューサがＡｌ又はＡｌを主成分と
するＡｌ合金の金属膜からなり、前記金属膜の膜厚が前
記並列腕弾性表面波共振器のすだれ状トランスデューサ
の電極周期の２．５％以上７．５％以下であることを特
徴とする共振器梯子型弾性表面波フィルタ。
【請求項２】金属膜の膜厚が並列腕弾性表面波共振器
のすだれ状トランスデューサの電極周期の４％以上７％
以下である請求項１に記載の共振器梯子型弾性表面波フ
ィルタ。
【請求項３】４１゜回転ＹカットＸ伝搬ニオブ酸リチ
ウム基板上に、弾性表面波を励振するすだれ状トランス
デューサからなる少なくとも１個の直列腕弾性表面波共
振器と、弾性表面波を励振するすだれ状トランスデュー
サからなる少なくとも１個の並列腕弾性表面波共振器と
を備えた共振器梯子型弾性表面波フィルタであって、前
記すだれ状トランスデューサがＡｌ以外の任意の電極材
料の金属膜からなり、Ａｌの密度をρ_Al、前記任意の電
極材料の密度をρ_Meとするとき、金属膜の膜厚が並列腕
弾性表面波共振器のすだれ状トランスデューサの電極周
期の２．５・ρ_Al／ρ_Me％以上７．５・ρ_Al／ρ_Me％以
下であることを特徴とする共振器梯子型弾性表面波フィ
ルタ。
【請求項４】金属膜の膜厚が並列腕弾性表面波共振器
のすだれ状トランスデューサの電極周期の４・ρ_Al／ρ
_Me％以上７・ρ_Al／ρ_Me％以下である請求項３に記載の
共振器梯子型弾性表面波フィルタ。
【請求項５】並列腕弾性表面波共振器のすだれ状トラ
ンスデューサの弾性表面波伝搬方向に沿った両側に反射
器がさらに備わった請求項１〜４のいずれかに記載の共
振器梯子型弾性表面波フィルタ。
【請求項６】並列腕弾性表面波共振器のすだれ状トラ
ンスデューサと反射器が互いに対面する最近接の電極指
の中心間距離ｄをｄ＝（α＋ｎ）・Ｌ／２（ｎは０以上
の整数、αは１以下の実数、Ｌは前記並列腕弾性表面波
共振器のすだれ状トランスデューサの電極周期）とする
とき、αが０．８以上１．０以下である請求項５に記載
の共振器梯子型弾性表面波フィルタ。
【請求項７】直列腕弾性表面波共振器のすだれ状トラ
ンスデューサの弾性表面波伝搬方向に沿った両側に反射
器がさらに備わった請求項１〜４のいずれかに記載の共
振器梯子型弾性表面波フィルタ。
【請求項８】直列腕弾性表面波共振器の反射器内の隣
合う電極指の中心間距離ＰｒをＰｒ＝ｐ・Ｐｉ（ｐは実
数、Ｐｉは前記直列腕弾性表面波共振器のすだれ状トラ
ンスデューサ内の隣合う電極指の中心間距離）とすると
き、ｐが０．９６以上１．０６以下である請求項７に記
載の共振器梯子型弾性表面波フィルタ。
【請求項９】すだれ状トランスデューサ内の向かい合
う電極指の対数をＮとするとき、Ｎが５０対以上である
請求項１〜８のいずれかに記載の共振器梯子型弾性表面
波フィルタ。
【請求項１０】すだれ状トランスデューサ内の向かい
合う電極指の交差幅ＷＤをすだれ状トランスデューサの
電極周期Ｌで除して規格化した値をＷ（＝ＷＤ／Ｌ）と
するとき、Ｗが８以上である請求項１〜８のいずれかに
記載の共振器梯子型弾性表面波フィルタ。
【請求項１１】すだれ状トランスデューサの電極指の
幅をＬｍ、電極指の間隙幅をＬｇとし、η＝Ｌｍ／（Ｌ
ｍ＋Ｌｇ）と定義するとき、ηが０．２以上０．５以下
である請求項１〜８のいずれかに記載の共振器梯子型弾
性表面波フィルタ。
【請求項１２】直列腕弾性表面波共振器及び並列腕弾
性表面波共振器からなる群から選ばれる少なくとも一方
のすだれ状トランスデューサ内の向かい合う電極指に交
差幅重み付けが施された請求項１〜１１のいずれかに記
載の共振器梯子型弾性表面波フィルタ。