JPH09123032A - Ｘｙテーブル装置 - Google Patents
Ｘｙテーブル装置Info
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- JPH09123032A JPH09123032A JP28163795A JP28163795A JPH09123032A JP H09123032 A JPH09123032 A JP H09123032A JP 28163795 A JP28163795 A JP 28163795A JP 28163795 A JP28163795 A JP 28163795A JP H09123032 A JPH09123032 A JP H09123032A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ＸＹテーブル装置のサーボ特性を高帯域化する
ことにより、従来にない高加減速位置決めが可能なＸＹ
テーブル装置を提供する。 【解決手段】Ｘ軸方向に直線移動するＸ軸テーブル１及
びＹ軸方向に直線移動するＹ軸テーブル２に連繋され、
ＸＹ平面上を任意の方向に移動して所定位置に位置決め
される出力テーブル３を備えたＸＹテーブル装置におい
て、出力テーブル３とＹ軸テーブル２とを連繋するＹ軸
カップリングを直動案内装置であるリニアガイド装置９
で構成し、そのリニアガイド装置９の案内レール９Ｒを
Ｙ軸テーブル２側に、スライダ９Ｓを出力テーブル３側
に固定した。これにより出力テーブル３のヨーイングが
防止できる。さらに出力テーブル３とＹ軸テーブル２と
をほぼ同一高さに配設するとピッチングも防止できる。
ことにより、従来にない高加減速位置決めが可能なＸＹ
テーブル装置を提供する。 【解決手段】Ｘ軸方向に直線移動するＸ軸テーブル１及
びＹ軸方向に直線移動するＹ軸テーブル２に連繋され、
ＸＹ平面上を任意の方向に移動して所定位置に位置決め
される出力テーブル３を備えたＸＹテーブル装置におい
て、出力テーブル３とＹ軸テーブル２とを連繋するＹ軸
カップリングを直動案内装置であるリニアガイド装置９
で構成し、そのリニアガイド装置９の案内レール９Ｒを
Ｙ軸テーブル２側に、スライダ９Ｓを出力テーブル３側
に固定した。これにより出力テーブル３のヨーイングが
防止できる。さらに出力テーブル３とＹ軸テーブル２と
をほぼ同一高さに配設するとピッチングも防止できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＸＹテーブル装置
に係り、特に高加減速位置決め用ＸＹテーブル装置の位
置決め特性の改良に関する。
に係り、特に高加減速位置決め用ＸＹテーブル装置の位
置決め特性の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の高加減速位置決め用ＸＹテーブル
装置としては、例えば図４ないし図６に示すようなもの
がある。一般的なＸＹテーブル装置がボールねじ駆動の
Ｘ軸テーブルとＹ軸テーブルとを上下二段に積み重ねて
各軸の負荷重量を軽減する構成となっているのに対し
て、このものは、Ｘ軸テーブル１とＹ軸テーブル２とが
積み重ねることなく平面方向にずらして配置されてい
る。そして、Ｘ軸テーブル１の上に、被搬送物を取り付
ける出力テーブル３が重ねて配設され、それら両テーブ
ル１，３はＸ軸の力を伝達する直動案内装置であるリニ
アガイド装置４（以下、Ｘ軸カップリングという）を介
して連結されている。このＸ軸カップリング４は、二基
一対のリニアガイド装置からなり、その案内レール４Ｒ
はＸ軸テーブル１の直動案内装置としてベースＢ上に左
右一対に配したリニアガイド装置６に対し直交させて出
力テーブル３の下面に取り付けられている。一方、Ｙ軸
テーブル２の方は、ベースＢ上に配されているリニアガ
イド装置６に支持されており、そのテーブル面上に高さ
調整用部材８を介して取り付けたＹ軸の力を伝達する直
動案内装置であるリニアガイド装置９（以下、Ｙ軸カッ
プリングという）により出力テーブル３に連結されてい
る。
装置としては、例えば図４ないし図６に示すようなもの
がある。一般的なＸＹテーブル装置がボールねじ駆動の
Ｘ軸テーブルとＹ軸テーブルとを上下二段に積み重ねて
各軸の負荷重量を軽減する構成となっているのに対し
て、このものは、Ｘ軸テーブル１とＹ軸テーブル２とが
積み重ねることなく平面方向にずらして配置されてい
る。そして、Ｘ軸テーブル１の上に、被搬送物を取り付
ける出力テーブル３が重ねて配設され、それら両テーブ
ル１，３はＸ軸の力を伝達する直動案内装置であるリニ
アガイド装置４（以下、Ｘ軸カップリングという）を介
して連結されている。このＸ軸カップリング４は、二基
一対のリニアガイド装置からなり、その案内レール４Ｒ
はＸ軸テーブル１の直動案内装置としてベースＢ上に左
右一対に配したリニアガイド装置６に対し直交させて出
力テーブル３の下面に取り付けられている。一方、Ｙ軸
テーブル２の方は、ベースＢ上に配されているリニアガ
イド装置６に支持されており、そのテーブル面上に高さ
調整用部材８を介して取り付けたＹ軸の力を伝達する直
動案内装置であるリニアガイド装置９（以下、Ｙ軸カッ
プリングという）により出力テーブル３に連結されてい
る。
【０００３】この場合、Ｘ軸テーブル１，Ｙ軸テーブル
２とも、テーブル駆動手段としては、サーボモータ１０
とこれにカップリング１１を介してねじ軸１２が連結さ
れたボールねじ式走行装置１３を備えており、図示しな
い位置検出器の位置情報に基づいてサーボモータ１０を
駆動し、出力テーブル３の位置をフィードバック制御す
る。
２とも、テーブル駆動手段としては、サーボモータ１０
とこれにカップリング１１を介してねじ軸１２が連結さ
れたボールねじ式走行装置１３を備えており、図示しな
い位置検出器の位置情報に基づいてサーボモータ１０を
駆動し、出力テーブル３の位置をフィードバック制御す
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ＸＹテーブル装置にお
いて高加減速の位置決めを行うためには、サーボ特性の
高帯域化換言すれば剛性の向上が不可欠である。しかし
ながら、従来のＸＹテーブル装置では、サーボモータ１
０で駆動されるＹ軸テーブル２とこれに連繋する出力テ
ーブル３との間に介在しているＹ軸カップリング９がサ
ーボ特性の帯域を制限しているため、より高加減速の位
置決めはできないという問題点がある。具体的には、図
６に示すように、出力テーブル３とＹ軸テーブル２とが
Ｘ軸方向にずれている状態では、Ｙ軸カップリング９の
スライダ９Ｓを介して加えられるＹ軸テーブル２からの
駆動力Ｆの方向は、スライダ９Ｓが案内レール９Ｒに沿
って移動するために出力テーブル３の重心からずれる。
ところがこの場合、Ｙ軸テーブル２の方は、図４，図５
に示すようにリニアガイド装置６の案内レール６Ｒがベ
ースＢに固定されていてヨーイング剛性が高いのに対
し、出力テーブル３はＸ軸カップリング４を介してＸ軸
テーブル１に固定されていることからヨーイング剛性が
Ｙ軸テーブル２より低くなっている。そのため出力テー
ブル３に、矢印ｙ0 （図６）のようなヨーイングが発生
する。
いて高加減速の位置決めを行うためには、サーボ特性の
高帯域化換言すれば剛性の向上が不可欠である。しかし
ながら、従来のＸＹテーブル装置では、サーボモータ１
０で駆動されるＹ軸テーブル２とこれに連繋する出力テ
ーブル３との間に介在しているＹ軸カップリング９がサ
ーボ特性の帯域を制限しているため、より高加減速の位
置決めはできないという問題点がある。具体的には、図
６に示すように、出力テーブル３とＹ軸テーブル２とが
Ｘ軸方向にずれている状態では、Ｙ軸カップリング９の
スライダ９Ｓを介して加えられるＹ軸テーブル２からの
駆動力Ｆの方向は、スライダ９Ｓが案内レール９Ｒに沿
って移動するために出力テーブル３の重心からずれる。
ところがこの場合、Ｙ軸テーブル２の方は、図４，図５
に示すようにリニアガイド装置６の案内レール６Ｒがベ
ースＢに固定されていてヨーイング剛性が高いのに対
し、出力テーブル３はＸ軸カップリング４を介してＸ軸
テーブル１に固定されていることからヨーイング剛性が
Ｙ軸テーブル２より低くなっている。そのため出力テー
ブル３に、矢印ｙ0 （図６）のようなヨーイングが発生
する。
【０００５】また、出力テーブル３とＹ軸テーブル２と
は高さに段差があり、これを高さ調整用部材８を介して
取り付けた一台のリニアガイド装置からのみ構成されて
いるＹ軸カップリング９で連携している。そのため出力
テーブル３にＹ軸テーブル２による駆動力を伝達する際
に、高さ調整用部材８が図４に矢印ｐ0 で示すように上
下に揺動してしまい、出力テーブル３にピッチングが発
生する。
は高さに段差があり、これを高さ調整用部材８を介して
取り付けた一台のリニアガイド装置からのみ構成されて
いるＹ軸カップリング９で連携している。そのため出力
テーブル３にＹ軸テーブル２による駆動力を伝達する際
に、高さ調整用部材８が図４に矢印ｐ0 で示すように上
下に揺動してしまい、出力テーブル３にピッチングが発
生する。
【０００６】そこで本発明は、このような従来の高加減
速のＸＹテーブル装置の問題点に着目してなされたもの
で、前記出力テーブルのヨーイング及びピッチングを除
去することにより、従来にない高加減速位置決めが可能
なＸＹテーブル装置を提供することを目的とする。
速のＸＹテーブル装置の問題点に着目してなされたもの
で、前記出力テーブルのヨーイング及びピッチングを除
去することにより、従来にない高加減速位置決めが可能
なＸＹテーブル装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する本
発明に係る請求項１の発明は、Ｘ軸方向に直線移動する
Ｘ軸テーブルとＹ軸方向に直線移動するＹ軸テーブルと
に連繋され、ＸＹ平面上を任意の方向に移動して所定位
置に位置決めされる出力テーブルを備えたＸＹテーブル
装置に係り、前記出力テーブルと前記Ｙ軸テーブルとを
直動案内装置を介して連繋すると共に、該直動案内装置
の案内レールはＹ軸テーブル側に、スライダはＸ軸テー
ブル側に固定したことを特徴とするものである。
発明に係る請求項１の発明は、Ｘ軸方向に直線移動する
Ｘ軸テーブルとＹ軸方向に直線移動するＹ軸テーブルと
に連繋され、ＸＹ平面上を任意の方向に移動して所定位
置に位置決めされる出力テーブルを備えたＸＹテーブル
装置に係り、前記出力テーブルと前記Ｙ軸テーブルとを
直動案内装置を介して連繋すると共に、該直動案内装置
の案内レールはＹ軸テーブル側に、スライダはＸ軸テー
ブル側に固定したことを特徴とするものである。
【０００８】また、本発明に係る請求項２の発明は、請
求項１における出力テーブルとＹ軸テーブルとをほぼ同
一高さに配設したことを特徴とするものである。
求項１における出力テーブルとＹ軸テーブルとをほぼ同
一高さに配設したことを特徴とするものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は本発明に係る高加減速位置
決め用ＸＹテーブル装置の実施の形態の一例を示す側面
図，図２はその平面図であり、従来と同一の部分には同
一の符号を付してある。
を参照して説明する。図１は本発明に係る高加減速位置
決め用ＸＹテーブル装置の実施の形態の一例を示す側面
図，図２はその平面図であり、従来と同一の部分には同
一の符号を付してある。
【００１０】先ず、構成を説明すると、ベースＢ１上
に、直動案内装置としての一対のリニアガイド装置６を
介してＸ軸テーブル１が取り付けられている。リニアガ
イド装置６はいわゆるリニアモーション・ベアリングで
ある。すなわち、側面に転動体転動溝を有する案内レー
ル６Ｒ上に、多数の転動体（ボール又はころ）が循環移
動する無限循環経路を備えたスライダ（ベアリング）６
Ｓが跨架され、転動体が転動体転動溝に沿って転動循環
することにより案内レール６Ｒとスライダ６Ｓとが相対
直線運動をする。その案内レール６Ｒの方をベースＢ１
上にＸ軸に沿って平行に固定してある。スライダ６Ｓは
各案内レール６Ｒごとに２台づつ取り付けてあり、計４
台のスライダ６ＳでＸ軸テーブル１を支持している。
に、直動案内装置としての一対のリニアガイド装置６を
介してＸ軸テーブル１が取り付けられている。リニアガ
イド装置６はいわゆるリニアモーション・ベアリングで
ある。すなわち、側面に転動体転動溝を有する案内レー
ル６Ｒ上に、多数の転動体（ボール又はころ）が循環移
動する無限循環経路を備えたスライダ（ベアリング）６
Ｓが跨架され、転動体が転動体転動溝に沿って転動循環
することにより案内レール６Ｒとスライダ６Ｓとが相対
直線運動をする。その案内レール６Ｒの方をベースＢ１
上にＸ軸に沿って平行に固定してある。スライダ６Ｓは
各案内レール６Ｒごとに２台づつ取り付けてあり、計４
台のスライダ６ＳでＸ軸テーブル１を支持している。
【００１１】そのＸ軸テーブル１の走行駆動システム
は、従来のものと同じくサーボモータ１０とこれにカッ
プリング１１を介してねじ軸１２が連結されたボールね
じ式走行装置１３であり、図外のボールねじナットがＸ
軸テーブル１の下面に固定されている。そして、図示し
ない位置検出器の位置情報に基づいてサーボモータ１０
を駆動し、Ｘ軸テーブル１の位置をフィードバック制御
する。
は、従来のものと同じくサーボモータ１０とこれにカッ
プリング１１を介してねじ軸１２が連結されたボールね
じ式走行装置１３であり、図外のボールねじナットがＸ
軸テーブル１の下面に固定されている。そして、図示し
ない位置検出器の位置情報に基づいてサーボモータ１０
を駆動し、Ｘ軸テーブル１の位置をフィードバック制御
する。
【００１２】Ｘ軸テーブル１の上面と出力テーブル３と
の間に配設されて両者を連繋するＸ軸カップリング４も
前記一対のリニアガイド装置６と同タイプのものである
が、スライダ４Ｓを下に配置してＸ軸テーブル１に固定
し、上に位置する案内レール４ＲがＹ軸に沿って出力テ
ーブル３の下面に固定されている。一方、Ｙ軸テーブル
２の方は、ベースＢ１より高くして段差をつけたベース
Ｂ２の上に、一対のリニアガイド装置６で支持され、出
力テーブル３と同一の高さにされている。二本の案内レ
ール６ＲはＹ軸に沿って平行にベースＢ２に固定されて
おり、各レール６Ｒごとに２台づつ取り付けた４台のス
ライダ６ＳがＹ軸テーブル２の下面に固定されている。
この場合、そのＹ軸テーブル２の一端面は出力テーブル
３の一端面と相い対しており、両者を連繋するリニアガ
イド装置からなるＹ軸カップリング９は、従来とは異な
り案内レール９Ｒの方がＹ軸テーブル２の端面に固定さ
れ、スライダ９Ｓの方は、出力テーブル３の幅の中心に
位置させてテーブル端面に固定されている。すなわち、
Ｙ軸テーブル２からＹ軸カップリング９を介して出力テ
ーブル３に加えられる駆動力が、出力テーブル３の重心
に作用するようにしてある。なお、この例は出力テーブ
ル３上に負荷が載っていない場合のものであるが、負荷
が載置される場合にはその負荷を含めた出力テーブル３
の重心に力が作用するように、Ｙ軸テーブル２の高さを
調節してもよい。
の間に配設されて両者を連繋するＸ軸カップリング４も
前記一対のリニアガイド装置６と同タイプのものである
が、スライダ４Ｓを下に配置してＸ軸テーブル１に固定
し、上に位置する案内レール４ＲがＹ軸に沿って出力テ
ーブル３の下面に固定されている。一方、Ｙ軸テーブル
２の方は、ベースＢ１より高くして段差をつけたベース
Ｂ２の上に、一対のリニアガイド装置６で支持され、出
力テーブル３と同一の高さにされている。二本の案内レ
ール６ＲはＹ軸に沿って平行にベースＢ２に固定されて
おり、各レール６Ｒごとに２台づつ取り付けた４台のス
ライダ６ＳがＹ軸テーブル２の下面に固定されている。
この場合、そのＹ軸テーブル２の一端面は出力テーブル
３の一端面と相い対しており、両者を連繋するリニアガ
イド装置からなるＹ軸カップリング９は、従来とは異な
り案内レール９Ｒの方がＹ軸テーブル２の端面に固定さ
れ、スライダ９Ｓの方は、出力テーブル３の幅の中心に
位置させてテーブル端面に固定されている。すなわち、
Ｙ軸テーブル２からＹ軸カップリング９を介して出力テ
ーブル３に加えられる駆動力が、出力テーブル３の重心
に作用するようにしてある。なお、この例は出力テーブ
ル３上に負荷が載っていない場合のものであるが、負荷
が載置される場合にはその負荷を含めた出力テーブル３
の重心に力が作用するように、Ｙ軸テーブル２の高さを
調節してもよい。
【００１３】Ｙ軸テーブル２の走行駆動システムは、Ｘ
軸テーブル１と同一のボールねじ式走行装置１３であ
り、図示されないボールねじナットがＹ軸テーブル２の
下面に取り付けられている。次に上記ＸＹテーブル装置
の作用を説明する。Ｘ軸テーブル１及びＹ軸テーブル２
は、それぞれ、ボールねじ式走行装置１３により駆動さ
れて、リニアガイド装置６に案内されつつ直線運動す
る。出力テーブル３はＸ軸テーブル１によりＸ軸方向
に、Ｙ軸テーブル２によりＹ軸方向に駆動されて二次元
運動を行い所定位置に位置決めされる。
軸テーブル１と同一のボールねじ式走行装置１３であ
り、図示されないボールねじナットがＹ軸テーブル２の
下面に取り付けられている。次に上記ＸＹテーブル装置
の作用を説明する。Ｘ軸テーブル１及びＹ軸テーブル２
は、それぞれ、ボールねじ式走行装置１３により駆動さ
れて、リニアガイド装置６に案内されつつ直線運動す
る。出力テーブル３はＸ軸テーブル１によりＸ軸方向
に、Ｙ軸テーブル２によりＹ軸方向に駆動されて二次元
運動を行い所定位置に位置決めされる。
【００１４】しかして、図３に示すように出力テーブル
３とＹ軸テーブル２とがＸ軸方向にずれている状態で
も、Ｙ軸カップリング９のスライダ９Ｓを介して加えら
れるＹ軸テーブル２からの駆動力Ｆの方向は、常に出力
テーブル３の重心線に一致している。そのためヨーイン
グ剛性が低い出力テーブル３にモーメント力が働から
ず、したがって出力テーブル３にヨーイングは発生しな
い。
３とＹ軸テーブル２とがＸ軸方向にずれている状態で
も、Ｙ軸カップリング９のスライダ９Ｓを介して加えら
れるＹ軸テーブル２からの駆動力Ｆの方向は、常に出力
テーブル３の重心線に一致している。そのためヨーイン
グ剛性が低い出力テーブル３にモーメント力が働から
ず、したがって出力テーブル３にヨーイングは発生しな
い。
【００１５】また、出力テーブル３とＹ軸テーブル２と
は同一高さにあるから、出力テーブル３にＹ軸カップリ
ング９を介してＹ軸テーブル２による駆動力を伝達する
際に、出力テーブル３にピッチングは発生しない。な
お、上記の実施の形態では、Ｘ軸テーブル１及びＹ軸テ
ーブル２の支持機構としていわゆるリニアモーション・
ベアリングタイプのリニアガイド装置６を採用した場合
を示したが、これに限らず、その他例えばＶ溝を有して
対向する二本のレールの間に多数の円筒ころを交互に９
０°づつ位相をずらして配列してなる非循環式の転がり
案内装置のようなタイプの直線案内機構であっても良
く、要はリニアモータ２０の固定子と可動子との間の所
定ギャップを維持し且つＸ軸テーブル１やＹ軸テーブル
２の直線移動を滑らかに案内できるものであれば良い。
は同一高さにあるから、出力テーブル３にＹ軸カップリ
ング９を介してＹ軸テーブル２による駆動力を伝達する
際に、出力テーブル３にピッチングは発生しない。な
お、上記の実施の形態では、Ｘ軸テーブル１及びＹ軸テ
ーブル２の支持機構としていわゆるリニアモーション・
ベアリングタイプのリニアガイド装置６を採用した場合
を示したが、これに限らず、その他例えばＶ溝を有して
対向する二本のレールの間に多数の円筒ころを交互に９
０°づつ位相をずらして配列してなる非循環式の転がり
案内装置のようなタイプの直線案内機構であっても良
く、要はリニアモータ２０の固定子と可動子との間の所
定ギャップを維持し且つＸ軸テーブル１やＹ軸テーブル
２の直線移動を滑らかに案内できるものであれば良い。
【００１６】また、上記実施の形態では、Ｘ軸テーブル
１及びＹ軸テーブル２の走行駆動システムとしてボール
ねじ式走行装置１３を用いたが、ボールねじ式走行装置
１３の代わりにＸ軸テーブル１及びＹ軸テーブル２の下
面側にリニアモータを配設した走行装置を用いてもよ
い。
１及びＹ軸テーブル２の走行駆動システムとしてボール
ねじ式走行装置１３を用いたが、ボールねじ式走行装置
１３の代わりにＸ軸テーブル１及びＹ軸テーブル２の下
面側にリニアモータを配設した走行装置を用いてもよ
い。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のＸＹテー
ブル装置によれば、ＸＹ平面上を任意の方向に移動して
所定位置に位置決めされる出力テーブル３とＹ軸テーブ
ル２とを連繋するにあたり、Ｙ軸テーブル２からＹ軸カ
ップリング９を介して伝達する駆動力が、常時、出力テ
ーブル３の重心に向かうようにしたため、従来のように
出力テーブル３にヨーイングは発生せず、ＸＹテーブル
装置の剛性が高くなり、高加減速の位置決めが実現でき
るという効果を奏する。
ブル装置によれば、ＸＹ平面上を任意の方向に移動して
所定位置に位置決めされる出力テーブル３とＹ軸テーブ
ル２とを連繋するにあたり、Ｙ軸テーブル２からＹ軸カ
ップリング９を介して伝達する駆動力が、常時、出力テ
ーブル３の重心に向かうようにしたため、従来のように
出力テーブル３にヨーイングは発生せず、ＸＹテーブル
装置の剛性が高くなり、高加減速の位置決めが実現でき
るという効果を奏する。
【００１８】また、出力テーブル３とＹ軸テーブル２と
を同一高さにしたものにあっては、従来のように出力テ
ーブル３にピッチングが発生せず、さらにＸＹテーブル
装置の剛性が高くなり、より高加減速の位置決めが実現
できるという効果を奏する。
を同一高さにしたものにあっては、従来のように出力テ
ーブル３にピッチングが発生せず、さらにＸＹテーブル
装置の剛性が高くなり、より高加減速の位置決めが実現
できるという効果を奏する。
【図１】本発明に係るＸＹテーブル装置の一例の側面図
である。
である。
【図２】その平面図である。
【図３】そのＹ軸カップリングの作用を説明する平面図
である。
である。
【図４】従来のＸＹテーブル装置の側面図である。
【図５】その平面図である。
【図６】従来のＸＹテーブル装置のＹ軸カップリングの
作用を説明する平面図である。
作用を説明する平面図である。
１ Ｘ軸テーブル ２ Ｙ軸テーブル ３ 出力テーブル ４ リニアガイド装置（Ｘ軸カップリング） ６ リニアガイド装置（直動案内装置） ９ リニアガイド装置（Ｙ軸カップリング） ９Ｒ 案内レール ９Ｓ スライダ １３ ボールねじ式走行装置
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成８年７月８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する本
発明に係る請求項１の発明は、Ｘ軸テーブルとＹ軸テー
ブルとを垂直方向に重ねることなく水平方向にずらして
配置すると共に、それら両テーブルに連繋してＸＹ方向
に移動し所定位置に位置決めされる出力テーブルをＸ軸
テーブル上に備えたＸＹテーブル装置において、前記出
力テーブルと前記Ｙ軸テーブルとを直動案内装置を介し
て連繋すると共に、該直動案内装置の案内レールはＹ軸
テーブル側に、スライダは出力テーブル側に固定したこ
とを特徴とするものである。
発明に係る請求項１の発明は、Ｘ軸テーブルとＹ軸テー
ブルとを垂直方向に重ねることなく水平方向にずらして
配置すると共に、それら両テーブルに連繋してＸＹ方向
に移動し所定位置に位置決めされる出力テーブルをＸ軸
テーブル上に備えたＸＹテーブル装置において、前記出
力テーブルと前記Ｙ軸テーブルとを直動案内装置を介し
て連繋すると共に、該直動案内装置の案内レールはＹ軸
テーブル側に、スライダは出力テーブル側に固定したこ
とを特徴とするものである。
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｘ軸方向に直線移動するＸ軸テーブル及
びＹ軸方向に直線移動するＹ軸テーブルに連繋され、Ｘ
Ｙ平面上を任意の方向に移動して所定位置に位置決めさ
れる出力テーブルを備えたＸＹテーブル装置において、 前記出力テーブルと前記Ｙ軸テーブルとを直動案内装置
を介して連繋すると共に、該直動案内装置の案内レール
はＹ軸テーブル側に、スライダはＸ軸テーブル側に固定
したことを特徴とするＸＹテーブル装置。 - 【請求項２】 前記出力テーブルと前記Ｙ軸テーブルと
をほぼ同一高さに配設したことを特徴とする請求項１記
載のＸＹテーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28163795A JPH09123032A (ja) | 1995-10-30 | 1995-10-30 | Ｘｙテーブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28163795A JPH09123032A (ja) | 1995-10-30 | 1995-10-30 | Ｘｙテーブル装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005157827A Division JP2005297189A (ja) | 2005-05-30 | 2005-05-30 | Ｘｙテーブル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09123032A true JPH09123032A (ja) | 1997-05-13 |
Family
ID=17641894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28163795A Pending JPH09123032A (ja) | 1995-10-30 | 1995-10-30 | Ｘｙテーブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09123032A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006081705A1 (fr) * | 2005-02-05 | 2006-08-10 | Beijing Yuande Bio-Medical Engineering Co., Ltd. | Mécanisme de convoyage transportant des gaz réactifs |
| CN108568788A (zh) * | 2018-07-11 | 2018-09-25 | 南通理工学院 | 一种智能多功能工作台及控制方法 |
-
1995
- 1995-10-30 JP JP28163795A patent/JPH09123032A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006081705A1 (fr) * | 2005-02-05 | 2006-08-10 | Beijing Yuande Bio-Medical Engineering Co., Ltd. | Mécanisme de convoyage transportant des gaz réactifs |
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