JPH09123161A - ワイヤソーのワーク保持装置 - Google Patents
ワイヤソーのワーク保持装置Info
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- JPH09123161A JPH09123161A JP30233895A JP30233895A JPH09123161A JP H09123161 A JPH09123161 A JP H09123161A JP 30233895 A JP30233895 A JP 30233895A JP 30233895 A JP30233895 A JP 30233895A JP H09123161 A JPH09123161 A JP H09123161A
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- wire saw
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
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- Mechanical Engineering (AREA)
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ワークＷにスライスベース３１を間に入れて
取付板３２を取り付け、取付板３２を移動ブロック（ワ
ークＷを保持しＺ方向に移動するもの）２３に装着する
方式のワイヤソーのワーク保持装置において、特別の剥
離装置が不要でスライスベース３１の剥離が短時間に処
理できるとともに、接着剤がウェーハに残るおそれがな
いワーク保持装置を提供する。 【解決手段】 移動ブロック２３に内部冷凍器２６を設
け、ワイヤソーの外部に外部冷凍器３５を設ける。そし
て、外部冷凍器３５によってワークＷとスライスベース
３１とを氷で接合し、ワークＷを移動ブロック２３に取
り付けた後は、内部冷凍器２６によってワークＷとスラ
イスベース３１との間の氷を冷凍維持する。切断後は氷
を解かしてワークＷからスライスベース３１を剥離す
る。
取付板３２を取り付け、取付板３２を移動ブロック（ワ
ークＷを保持しＺ方向に移動するもの）２３に装着する
方式のワイヤソーのワーク保持装置において、特別の剥
離装置が不要でスライスベース３１の剥離が短時間に処
理できるとともに、接着剤がウェーハに残るおそれがな
いワーク保持装置を提供する。 【解決手段】 移動ブロック２３に内部冷凍器２６を設
け、ワイヤソーの外部に外部冷凍器３５を設ける。そし
て、外部冷凍器３５によってワークＷとスライスベース
３１とを氷で接合し、ワークＷを移動ブロック２３に取
り付けた後は、内部冷凍器２６によってワークＷとスラ
イスベース３１との間の氷を冷凍維持する。切断後は氷
を解かしてワークＷからスライスベース３１を剥離す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、砥粒が付着したワ
イヤを高速走行させ、そのワイヤにワークを押し当てて
ワークを薄板状に切断するワイヤソーの、ワーク保持装
置に関する。なお、本明細書では、互いに直交する３軸
方向を各々Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向という。
イヤを高速走行させ、そのワイヤにワークを押し当てて
ワークを薄板状に切断するワイヤソーの、ワーク保持装
置に関する。なお、本明細書では、互いに直交する３軸
方向を各々Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向という。
【０００２】
【従来の技術】半導体材料（シリコン等）やセラミック
ス等の被加工物（本明細書では「ワーク」という）を薄
板状に切断する切断装置の一つにワイヤソーがある。こ
のワイヤソーは砥粒が付着したワイヤを多数平行に並べ
て高速走行させ、そのワイヤにワークを押し当てること
によってワークを切断する。
ス等の被加工物（本明細書では「ワーク」という）を薄
板状に切断する切断装置の一つにワイヤソーがある。こ
のワイヤソーは砥粒が付着したワイヤを多数平行に並べ
て高速走行させ、そのワイヤにワークを押し当てること
によってワークを切断する。
【０００３】このようなワイヤソーの一例の加工部の構
成を図５・図６に示す。この例ではワークは円柱形状を
したシリコンのインゴットである。図５は正面図で、図
６のＣ−Ｃ断面に相当する。図６は図５のＢ−Ｂ断面図
（ただし、支持板１１は図示省略）である。いずれもワ
ーク切断途中の状態を表している。図５・図６に示すよ
うに、加工部は大きく分けてワイヤ駆動部１０とワーク
駆動部２０から構成されている。
成を図５・図６に示す。この例ではワークは円柱形状を
したシリコンのインゴットである。図５は正面図で、図
６のＣ−Ｃ断面に相当する。図６は図５のＢ−Ｂ断面図
（ただし、支持板１１は図示省略）である。いずれもワ
ーク切断途中の状態を表している。図５・図６に示すよ
うに、加工部は大きく分けてワイヤ駆動部１０とワーク
駆動部２０から構成されている。
【０００４】ワイヤ駆動部１０では、２個の支持板１１
の間に３個の溝付きローラ１２が回転自在に支持されて
いる。溝付きローラ１２には円周上に多数の溝が形成さ
れ、各溝にワイヤ１３が順次巻き掛けられて平行なワイ
ヤ列が構成されている。溝付きローラ１２は図示しない
モーターによって回転され、その結果ワイヤ１３は高速
走行する。さらに、ワイヤ１３には図示しない砥粒液供
給装置から砥粒液が吐出されて砥粒が付着する。
の間に３個の溝付きローラ１２が回転自在に支持されて
いる。溝付きローラ１２には円周上に多数の溝が形成さ
れ、各溝にワイヤ１３が順次巻き掛けられて平行なワイ
ヤ列が構成されている。溝付きローラ１２は図示しない
モーターによって回転され、その結果ワイヤ１３は高速
走行する。さらに、ワイヤ１３には図示しない砥粒液供
給装置から砥粒液が吐出されて砥粒が付着する。
【０００５】ワーク駆動部２０ではコラム２１にリニア
ガイド２２が設けられ、リニアガイド２２にＺ方向移動
自在に移動ブロック２３が支持されている。また、移動
ブロック２３の先端２箇所には角溝部２４が形成され、
角溝部２４の上方に各々クランプシリンダー２５が設け
られている。
ガイド２２が設けられ、リニアガイド２２にＺ方向移動
自在に移動ブロック２３が支持されている。また、移動
ブロック２３の先端２箇所には角溝部２４が形成され、
角溝部２４の上方に各々クランプシリンダー２５が設け
られている。
【０００６】加工部はこのように構成され、まず、ワー
クＷの外周の一部にカーボン等の材料からなるスライス
ベース３１が接着され、さらにスライスベース３１に取
付板３２が接着される。そして、ワークＷが取り付けら
れた取付板３２を角溝部２４に挿入すると、クランプシ
リンダー２５によって取付板３２が固定される。
クＷの外周の一部にカーボン等の材料からなるスライス
ベース３１が接着され、さらにスライスベース３１に取
付板３２が接着される。そして、ワークＷが取り付けら
れた取付板３２を角溝部２４に挿入すると、クランプシ
リンダー２５によって取付板３２が固定される。
【０００７】こうしてワークＷが装着された後、起動操
作するとワイヤ１３がＹ方向に高速走行し、移動ブロッ
ク２３がＺ下方向に移動して、スライスベース３１が接
着されていない側からワークＷが切断されていく。切断
はワークＷが全て切断され、スライスベース３１の一部
が切り込まれた状態で完了する。
作するとワイヤ１３がＹ方向に高速走行し、移動ブロッ
ク２３がＺ下方向に移動して、スライスベース３１が接
着されていない側からワークＷが切断されていく。切断
はワークＷが全て切断され、スライスベース３１の一部
が切り込まれた状態で完了する。
【０００８】次に、ワークＷの切断が完了すると、移動
ブロック２３がＺ上方向に移動して薄板状になった部分
Ｗａがワイヤ１３から抜き出される。そして、ワークＷ
は取付板３２ごと外部に取り出され、別の装置でワーク
Ｗからスライスベース３１が剥離される。スライスベー
ス３１が剥離されると、薄板状になった部分Ｗａは１枚
ずつ分離される。１枚ずつ分離されたもの（以下、「ウ
ェーハ」という）は、半導体素子の基板となる。ただ
し、ワークＷの両端部分は一般的に使用しない。なお、
スライスベース３１の剥離は、一般的にワークＷごと熱
湯（１００゜程度）の中に入れ、ワークＷとスライスベ
ース３１との間の接着剤を軟化させて行う。
ブロック２３がＺ上方向に移動して薄板状になった部分
Ｗａがワイヤ１３から抜き出される。そして、ワークＷ
は取付板３２ごと外部に取り出され、別の装置でワーク
Ｗからスライスベース３１が剥離される。スライスベー
ス３１が剥離されると、薄板状になった部分Ｗａは１枚
ずつ分離される。１枚ずつ分離されたもの（以下、「ウ
ェーハ」という）は、半導体素子の基板となる。ただ
し、ワークＷの両端部分は一般的に使用しない。なお、
スライスベース３１の剥離は、一般的にワークＷごと熱
湯（１００゜程度）の中に入れ、ワークＷとスライスベ
ース３１との間の接着剤を軟化させて行う。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
方法では、スライスベース３１を剥離するために専用の
剥離装置が必要であるとともに、剥離に時間がかかる。
また、スライスベース３１が剥離されても接着剤がウェ
ーハに残ることもある。さらに、スライスベース３１を
剥離するときや残った接着剤を除去するときにウェーハ
を破損するおそれがあるという問題がある。
方法では、スライスベース３１を剥離するために専用の
剥離装置が必要であるとともに、剥離に時間がかかる。
また、スライスベース３１が剥離されても接着剤がウェ
ーハに残ることもある。さらに、スライスベース３１を
剥離するときや残った接着剤を除去するときにウェーハ
を破損するおそれがあるという問題がある。
【００１０】本発明はこのような事情を鑑みてなされた
もので、ワークＷにスライスベース３１を間に入れて取
付板３２を取り付け、取付板３２を移動ブロック２３に
装着するワイヤソーのワーク保持装置において、特別の
剥離装置が不要でスライスベース３１の剥離が短時間に
処理できるとともに、接着剤がウェーハに残るおそれが
ないワーク保持装置を提供することを目的とする。
もので、ワークＷにスライスベース３１を間に入れて取
付板３２を取り付け、取付板３２を移動ブロック２３に
装着するワイヤソーのワーク保持装置において、特別の
剥離装置が不要でスライスベース３１の剥離が短時間に
処理できるとともに、接着剤がウェーハに残るおそれが
ないワーク保持装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワークＷとスライスベース３１との接合
を氷によって行うようにする。すなわち、ワイヤソーの
ワーク保持装置を次のように構成する。 （イ）移動ブロック２３に内部冷凍器２６を設ける。 （ロ）ワイヤソーの外部に外部冷凍器３５を設ける。 そして、 （ハ）外部冷凍器３５によってワークＷとスライスベー
ス３１とを氷で接合する。 （ニ）ワークＷを移動ブロック２３に取り付けた後は、
内部冷凍器２６によってワークＷとスライスベース３１
との間の氷を冷凍維持する。 以上のようにした。
成するために、ワークＷとスライスベース３１との接合
を氷によって行うようにする。すなわち、ワイヤソーの
ワーク保持装置を次のように構成する。 （イ）移動ブロック２３に内部冷凍器２６を設ける。 （ロ）ワイヤソーの外部に外部冷凍器３５を設ける。 そして、 （ハ）外部冷凍器３５によってワークＷとスライスベー
ス３１とを氷で接合する。 （ニ）ワークＷを移動ブロック２３に取り付けた後は、
内部冷凍器２６によってワークＷとスライスベース３１
との間の氷を冷凍維持する。 以上のようにした。
【００１２】この場合、スライスベース３１を従来の技
術のようにカーボン等の材料で製作してもよいが、次の
ようにして氷で製作することもできる。すなわち、 （イ）ワイヤソーの外部にスライスベース３１と同じ形
状を内側にもつ水槽４２を設ける。 （ロ）水槽４２に貯えた水にワークＷを接触させるとと
もに外部冷凍器３５によってその水を冷凍する。
術のようにカーボン等の材料で製作してもよいが、次の
ようにして氷で製作することもできる。すなわち、 （イ）ワイヤソーの外部にスライスベース３１と同じ形
状を内側にもつ水槽４２を設ける。 （ロ）水槽４２に貯えた水にワークＷを接触させるとと
もに外部冷凍器３５によってその水を冷凍する。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明に係るワイヤソーのワーク
保持装置の実施の形態１を図１・図２に示す。図１は正
面図、図２は図１のＡ−Ａ断面図で、いずれもワイヤソ
ーの加工部の中の一部を表している。本発明に係るワー
ク保持装置の大きな特徴はワークＷとスライスベース３
１との接合を氷によって行うことであるので、ワーク保
持装置の基本構成は従来の技術で説明した内容とほぼ同
様でよい。
保持装置の実施の形態１を図１・図２に示す。図１は正
面図、図２は図１のＡ−Ａ断面図で、いずれもワイヤソ
ーの加工部の中の一部を表している。本発明に係るワー
ク保持装置の大きな特徴はワークＷとスライスベース３
１との接合を氷によって行うことであるので、ワーク保
持装置の基本構成は従来の技術で説明した内容とほぼ同
様でよい。
【００１４】図１・図２に示すように、本発明に係るワ
ーク保持装置は、従来の技術で説明したものに対して、
移動ブロック２３の先端の角溝部２４の近傍に内部冷凍
器２６及びそれをＺ方向に駆動する支持シリンダー２７
が設けられているところ、及び図３に示すようにワイヤ
ソーの外部に外部冷凍器３５が設けられているところが
異なる。内部冷凍器２６及び外部冷凍器３５には、熱電
対素子（ペルチェ素子とも呼ばれている。）が内蔵され
ている。熱電対素子は、直流電流を流すと片側からカロ
リーを吸収し反対側に放出するもので、片側（取付板３
２側）が０゜以下に冷却され反対側が発熱する。発熱す
る側には冷却水が循環されて（図示省略）冷却される。
ーク保持装置は、従来の技術で説明したものに対して、
移動ブロック２３の先端の角溝部２４の近傍に内部冷凍
器２６及びそれをＺ方向に駆動する支持シリンダー２７
が設けられているところ、及び図３に示すようにワイヤ
ソーの外部に外部冷凍器３５が設けられているところが
異なる。内部冷凍器２６及び外部冷凍器３５には、熱電
対素子（ペルチェ素子とも呼ばれている。）が内蔵され
ている。熱電対素子は、直流電流を流すと片側からカロ
リーを吸収し反対側に放出するもので、片側（取付板３
２側）が０゜以下に冷却され反対側が発熱する。発熱す
る側には冷却水が循環されて（図示省略）冷却される。
【００１５】このように構成されたワーク保持装置では
次のようにしてワークＷをワイヤソーに装着する。ま
ず、図３に示すように、あらかじめ取付板３２が接着さ
れたスライスベース（カーボン等の材料）３１を外部冷
凍器３５の上に載せ、スライスベース３１の上面に水分
を供給した後、ワークＷを載せる。そして、外部冷凍器
３５によってスライスベース３１の上面の水分を冷凍し
て氷にし、ワークＷとスライスベース３１とを接合す
る。
次のようにしてワークＷをワイヤソーに装着する。ま
ず、図３に示すように、あらかじめ取付板３２が接着さ
れたスライスベース（カーボン等の材料）３１を外部冷
凍器３５の上に載せ、スライスベース３１の上面に水分
を供給した後、ワークＷを載せる。そして、外部冷凍器
３５によってスライスベース３１の上面の水分を冷凍し
て氷にし、ワークＷとスライスベース３１とを接合す
る。
【００１６】次に、ワークＷが取り付けられた取付板３
２を角溝部２４に挿入すると、２個のクランプシリンダ
ー２５によって取付板３２が固定されるとともに、内部
冷凍器２６が支持シリンダー２７によって取付板３２に
接触するまで下降する。そして、内部冷凍器２６によっ
て、取付板３２・スライスベース３１を介しワークＷと
スライスベース３１の間に生成された氷が冷凍維持され
る。
２を角溝部２４に挿入すると、２個のクランプシリンダ
ー２５によって取付板３２が固定されるとともに、内部
冷凍器２６が支持シリンダー２７によって取付板３２に
接触するまで下降する。そして、内部冷凍器２６によっ
て、取付板３２・スライスベース３１を介しワークＷと
スライスベース３１の間に生成された氷が冷凍維持され
る。
【００１７】こうしてワークＷが装着された後は、従来
の技術と同様に、起動操作すると、ワイヤ１３がＹ方向
に高速走行し移動ブロック２３がＺ下方向に移動してワ
ークＷが切断される。ワークＷの切断が完了すると、移
動ブロック２３がＺ上方向に移動して薄板状になった部
分Ｗａがワイヤ１３から抜き出され、ワークＷは取付板
３２ごと外部に取り出される。
の技術と同様に、起動操作すると、ワイヤ１３がＹ方向
に高速走行し移動ブロック２３がＺ下方向に移動してワ
ークＷが切断される。ワークＷの切断が完了すると、移
動ブロック２３がＺ上方向に移動して薄板状になった部
分Ｗａがワイヤ１３から抜き出され、ワークＷは取付板
３２ごと外部に取り出される。
【００１８】取付板３２ごと外部に取り出されたワーク
Ｗは、外部に放置される、あるいは温水の中に入れられ
る等して、ワークＷとスライスベース３１の間に生成さ
れた氷が解かされ、スライスベース３１が剥離されてウ
ェーハとして１枚ずつ分離される。なお、この場合、ス
ライスベース３１と取付板３２との接合は接着剤等によ
ってあらかじめ行っておくようにしたが、両者の間も氷
で接合する方法としてもよい。
Ｗは、外部に放置される、あるいは温水の中に入れられ
る等して、ワークＷとスライスベース３１の間に生成さ
れた氷が解かされ、スライスベース３１が剥離されてウ
ェーハとして１枚ずつ分離される。なお、この場合、ス
ライスベース３１と取付板３２との接合は接着剤等によ
ってあらかじめ行っておくようにしたが、両者の間も氷
で接合する方法としてもよい。
【００１９】次に、本発明に係るワイヤソーのワーク保
持装置の実施の形態２を説明する。この方法は、前述し
た実施の形態１に対して、スライスベース３１のみが異
なる。すなわち、図４に示すように、ワイヤソーの外部
に設けられた外部冷凍器３５の他に水槽４２が設けられ
ている。
持装置の実施の形態２を説明する。この方法は、前述し
た実施の形態１に対して、スライスベース３１のみが異
なる。すなわち、図４に示すように、ワイヤソーの外部
に設けられた外部冷凍器３５の他に水槽４２が設けられ
ている。
【００２０】図４において、水槽４２の内側寸法は前述
したスライスベース３１の外形寸法と同様である。した
がって、水槽４２に水４１を満たしその上にワークＷを
載せ（水４１の一部が溢れ出る。）、これを外部冷凍器
３５の上に載せて、外部冷凍器３５によって水４１を冷
凍すると、スライスベース３１と同様の形状のものが氷
で生成される。
したスライスベース３１の外形寸法と同様である。した
がって、水槽４２に水４１を満たしその上にワークＷを
載せ（水４１の一部が溢れ出る。）、これを外部冷凍器
３５の上に載せて、外部冷凍器３５によって水４１を冷
凍すると、スライスベース３１と同様の形状のものが氷
で生成される。
【００２１】次に、外部冷凍器３５の冷凍をやめ、逆に
水槽４２を少し暖める（外部冷凍器３５に内蔵された熱
伝対素子への電流の向きを変える。）と、水槽４２の内
壁部分の氷が解けて、氷で生成されたスライスベース４
１ａをワークＷに接合した状態で取り出すことができ
る。
水槽４２を少し暖める（外部冷凍器３５に内蔵された熱
伝対素子への電流の向きを変える。）と、水槽４２の内
壁部分の氷が解けて、氷で生成されたスライスベース４
１ａをワークＷに接合した状態で取り出すことができ
る。
【００２２】さらに、外部冷凍器３５から水槽４２を取
り除いて取付板３２を載せ、その上にスライスベース４
１ａを載せて、外部冷凍器３５によって取付板３２を冷
凍する。この結果、取付板３２とスライスベース４１ａ
とが接合されるので、前述した実施の形態１と同様に、
取付板３２を角溝部２４に装着する。そして、内部冷凍
器２６によって、取付板３２を介しスライスベース４１
ａが冷凍され続けて、スライスベース４１ａそのものが
維持されるとともに、取付板３２及びワークＷとの接合
が維持される。
り除いて取付板３２を載せ、その上にスライスベース４
１ａを載せて、外部冷凍器３５によって取付板３２を冷
凍する。この結果、取付板３２とスライスベース４１ａ
とが接合されるので、前述した実施の形態１と同様に、
取付板３２を角溝部２４に装着する。そして、内部冷凍
器２６によって、取付板３２を介しスライスベース４１
ａが冷凍され続けて、スライスベース４１ａそのものが
維持されるとともに、取付板３２及びワークＷとの接合
が維持される。
【００２３】この後、実施の形態１と同様に、切断が完
了するとワークＷは取付板３２ごと外部に取り出され
る。そして、外部に放置される、あるいは温水の中に入
れられる等して、スライスベース４１ａが解凍され、ワ
ークＷとスライスベース４１ａとの接合が解除されて、
ウェーハとして１枚ずつ分離される。
了するとワークＷは取付板３２ごと外部に取り出され
る。そして、外部に放置される、あるいは温水の中に入
れられる等して、スライスベース４１ａが解凍され、ワ
ークＷとスライスベース４１ａとの接合が解除されて、
ウェーハとして１枚ずつ分離される。
【００２４】なお、以上説明した実施の形態では、ワー
クＷをＺ下方向に移動させて切断する構成のワイヤソー
に適用した例を示したが、ワイヤ駆動部１０とワーク駆
動部２０との上下関係を反対に構成してワークＷをＺ上
方向に移動させて切断するワイヤソーについても適用で
きる。また、移動ブロック２３の取付板３２の保持構造
を角溝としＹ方向から装着するようにしたが、角溝の代
わりに蟻溝としてもよいし、Ｘ方向から装着する保持構
造としてもよい。さらに、内部冷凍器２６や外部冷凍器
３５の冷凍手段としては、熱電対素子に限らず、冷凍サ
イクルを構成したものでもよい。
クＷをＺ下方向に移動させて切断する構成のワイヤソー
に適用した例を示したが、ワイヤ駆動部１０とワーク駆
動部２０との上下関係を反対に構成してワークＷをＺ上
方向に移動させて切断するワイヤソーについても適用で
きる。また、移動ブロック２３の取付板３２の保持構造
を角溝としＹ方向から装着するようにしたが、角溝の代
わりに蟻溝としてもよいし、Ｘ方向から装着する保持構
造としてもよい。さらに、内部冷凍器２６や外部冷凍器
３５の冷凍手段としては、熱電対素子に限らず、冷凍サ
イクルを構成したものでもよい。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るワイ
ヤソーのワーク保持装置では、ワークＷとスライスベー
ス３１との接合を氷によって行うようにした。また、こ
の場合、スライスベース３１を従来の技術のようにカー
ボン等の材料で製作する方法の他に、氷で製作するよう
にした。したがって、特別の剥離装置が不要でスライス
ベース３１の剥離が短時間に処理できるとともに、接着
剤がウェーハに残るおそれがないワーク保持装置を提供
することができる。また、スライスベース３１を氷で製
作するとカーボン等の材料が不要となり、加工コストを
低減することができる。
ヤソーのワーク保持装置では、ワークＷとスライスベー
ス３１との接合を氷によって行うようにした。また、こ
の場合、スライスベース３１を従来の技術のようにカー
ボン等の材料で製作する方法の他に、氷で製作するよう
にした。したがって、特別の剥離装置が不要でスライス
ベース３１の剥離が短時間に処理できるとともに、接着
剤がウェーハに残るおそれがないワーク保持装置を提供
することができる。また、スライスベース３１を氷で製
作するとカーボン等の材料が不要となり、加工コストを
低減することができる。
【図１】本発明に係るワーク保持装置の実施の形態１の
加工部の一部で正面図
加工部の一部で正面図
【図２】図１のＡ−Ａ断面図
【図３】本発明に係るワーク保持装置の実施の形態１及
び２の外部冷凍器の使用状態図
び２の外部冷凍器の使用状態図
【図４】本発明に係るワーク保持装置の実施の形態２の
スライスベース生成状態図
スライスベース生成状態図
【図５】一般的なワイヤソーの加工部の構成図（正面図
で、図６のＣ−Ｃ断面相当）
で、図６のＣ−Ｃ断面相当）
【図６】図５のＢ−Ｂ断面図
２３……移動ブロック ２４……角溝部 ２５……クランプシリンダー ２６……内部冷凍器 ２７……支持シリンダー ３１……スライスベース ３２……取付板 Ｗ………ワーク Ｗａ……薄板状になった部分
Claims (2)
- 【請求項１】Ｘ方向に多数平行に設けられＹ方向に高速
走行する砥粒が付着したワイヤと、ワークを保持すると
ともにＺ方向に移動自在な移動ブロックと、から構成さ
れ、前記ワイヤにワークを押し当てることによってワー
クを薄板状に切断するワイヤソーにおける、ワークのＺ
方向面にスライスベースを間に入れて取付板を取り付
け、その取付板を前記移動ブロックに装着するワーク保
持装置において、 前記移動ブロックに内部冷凍器を設けるとともに、ワイ
ヤソーの外部に外部冷凍器を設け、 前記外部冷凍器によってワークと前記スライスベースと
を氷で接合し、 ワークを前記移動ブロックに取り付けた後は、前記内部
冷凍器によってワークと前記スライスベースとの間の氷
を冷却維持する、ことを特徴とするワイヤソーのワーク
保持装置。 - 【請求項２】ワイヤソーの外部に前記スライスベースと
同じ形状を内側にもつ水槽を設け、その水槽に貯えた水
にワークを接触させるとともに前記外部冷凍器によって
前記水を冷凍して、前記スライスベースを氷で製作する
ことを特徴とする請求項１に記載のワイヤソーのワーク
保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30233895A JPH09123161A (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | ワイヤソーのワーク保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30233895A JPH09123161A (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | ワイヤソーのワーク保持装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09123161A true JPH09123161A (ja) | 1997-05-13 |
Family
ID=17907737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30233895A Pending JPH09123161A (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | ワイヤソーのワーク保持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09123161A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101850579A (zh) * | 2009-03-31 | 2010-10-06 | 小松Ntc株式会社 | 工件切断方法以及工件切断用线材卷绕宽度变更装置 |
| JP2010253664A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-11-11 | Komatsu Ntc Ltd | ワーク切断方法およびワーク切断用ワイヤ巻き変更装置 |
| CN104608037A (zh) * | 2013-11-05 | 2015-05-13 | 松下电器产业株式会社 | 切片装置 |
| CN106903812A (zh) * | 2017-05-03 | 2017-06-30 | 江苏秉宸科技有限公司 | 一种多线切片机的工件复合进给控制方法 |
| CN107433694A (zh) * | 2016-05-26 | 2017-12-05 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 工件固定机构、线锯切边装置及工件切边方法 |
| CN112895164A (zh) * | 2021-02-03 | 2021-06-04 | 湖南云隆新材料科技有限公司 | 一种环保新型墙体材料快速打孔装置 |
| CN114227964A (zh) * | 2021-12-21 | 2022-03-25 | 三河建华高科有限责任公司 | 一种适合立式内圆切片机随动接料机构 |
| JP2023173451A (ja) * | 2022-05-26 | 2023-12-07 | 信越半導体株式会社 | ワークの切断方法、スライス装置及びスライスベース |
-
1995
- 1995-10-27 JP JP30233895A patent/JPH09123161A/ja active Pending
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| CN107433694B (zh) * | 2016-05-26 | 2020-05-22 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 工件固定机构、线锯切边装置及工件切边方法 |
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